JP2002079771A - Master plate for intaglio offset printing, manufacturing method of the master plate and forming method of film circuit using the master plate - Google Patents

Master plate for intaglio offset printing, manufacturing method of the master plate and forming method of film circuit using the master plate

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JP2002079771A
JP2002079771A JP2000270873A JP2000270873A JP2002079771A JP 2002079771 A JP2002079771 A JP 2002079771A JP 2000270873 A JP2000270873 A JP 2000270873A JP 2000270873 A JP2000270873 A JP 2000270873A JP 2002079771 A JP2002079771 A JP 2002079771A
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JP
Japan
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offset printing
film
forming
plating
resist pattern
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Application number
JP2000270873A
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Japanese (ja)
Inventor
Noritoshi Tsuchiya
權壽 土屋
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Shinwa Kogyo Inc
Shinwa Industry Co Ltd
Original Assignee
Shinwa Kogyo Inc
Shinwa Industry Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a master plate for a deep-etch plate type offset printing which is excellent in reproducibility and enables attainment of a minute and highly precise image and a manufacturing method thereof and also to provide a forming method of a film circuit having high reproducibility and enabling attainment of a minute and highly precise circuit pattern. SOLUTION: A recess part 5 to be an image part is formed in an aluminum substrate 3 prepared by forming an anodized film 4 on the surface of an aluminum sheet, and a ground metal layer 6 excellent in adhesion to aluminum and a copper-plating layer 7 are formed on the recess part 5.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、凹版オフセット
印刷用マスタ版、そのマスタ版の製造方法及びそのマス
タ版を用いた膜回路の形成方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a master plate for intaglio offset printing, a method of manufacturing the master plate, and a method of forming a film circuit using the master plate.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の小型軽量化および多機
能化が進む中で、回路基材の高密度化、配線の微細化が
増々要望されている。フォトリソグラフィ技術は、周知
の通り上記のような高密度化、微細化の要望に対応可能
な技術であるが、プロセスの複雑さ、製造設備およびプ
ロセス副資材に起因するコスト高という問題があり、製
造コストの削減が切実に望まれる分野、例えば、民生機
器用プリント配線基板(以下、PCBと略す)、あるい
はカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ等の
製造においては、プロセスが単純であり、かつ量産性が
期待できる印刷技術を用いて微細な膜回路を形成する研
究が行われている。
2. Description of the Related Art In recent years, as electronic devices have become smaller and lighter and have more functions, there is an increasing demand for higher density circuit substrates and finer wiring. As is well known, the photolithography technology is a technology capable of responding to the demand for higher density and miniaturization as described above, but has a problem that the process is complicated, and the cost is high due to manufacturing facilities and process auxiliary materials. In a field where a reduction in manufacturing cost is urgently required, for example, in the manufacture of a printed wiring board for consumer equipment (hereinafter abbreviated as PCB) or a color filter used in a color liquid crystal display device, the process is simple, and Research has been conducted to form a fine film circuit using a printing technology that can be expected to be mass-produced.

【0003】例えば、特開平11−354979号公報
には、凹版オフセット印刷法によって、導電性金属膜上
にレジストパターンを印刷形成し、レジストパターン内
に露出した部分の金属膜をエッチングにより除去するこ
とによって、ストライプ状または格子状の電磁波シール
ドパターンを形成する方法が記載されている。
[0003] For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-354979 discloses that a resist pattern is formed by printing on a conductive metal film by intaglio offset printing, and a portion of the metal film exposed in the resist pattern is removed by etching. Describes a method of forming a stripe-shaped or lattice-shaped electromagnetic wave shield pattern.

【0004】オフセット印刷に用いられる平版(マスタ
ー版)には、「特殊印刷」(著者:松本和雄、発行所:
(株)印刷出版研究所、昭和58年発行)のp.25〜
29に記載されているように、2種の異なる金属層から
なる平凹版と平凸版がある。平凹版は銅板にクロムめっ
きを施し、画像部のクロムをエッチングにより除去して
銅が露出した凹部を形成し、平凸版はアルミニウム板全
面に銅めっきを施し、非画像部の銅をエッチングにより
除去してアルミニウムを露出させ、銅からなる凸部を形
成する。
[0004] The lithographic plate (master plate) used for offset printing includes "special printing" (author: Kazuo Matsumoto, publisher:
Printing and Publishing Laboratory Co., Ltd., published in 1983). 25-
As described in No. 29, there are a planographic intaglio plate and a planographic plate plate composed of two different metal layers. The planographic printing plate is chrome-plated on the copper plate, the chromium in the image area is removed by etching to form a concave part where copper is exposed, and the planographic printing plate is copper-plated on the entire aluminum plate, and the copper in the non-image area is removed by etching. Then, aluminum is exposed to form a projection made of copper.

【0005】上記オフセット印刷に用いられるマスター
版は、平凹版、平凸版いずれの場合も、非画像部である
クロムあるいはアルミニウムが親水性で、画像部である
銅凸部あるいは銅凹部が親油性であり、マスター版の版
面に湿し水を与えると非画像部は水を受け付けるが、画
像部は水を反発する。このような状態で、版面にインキ
の付いたローラをころがすと非画像部ではインキが剥離
され、画像部はインキを受容して画像部にインキの膜が
できる。このインキの膜を一旦ゴムなどの弾性体で構成
されるブランケットへ転移させた後、ブランケットから
被印刷物へ再度転移させる。
[0005] Regarding the master plate used for the offset printing, chromium or aluminum which is a non-image portion is hydrophilic, and a copper convex portion or a copper concave portion which is an image portion is lipophilic in both planographic and planographic printing plates. When the dampening solution is applied to the master plate, the non-image portion receives the water, but the image portion repels the water. In such a state, when the roller with the ink is rolled on the plate surface, the ink is peeled off in the non-image area, and the image area receives the ink and forms an ink film on the image area. After the ink film is once transferred to a blanket made of an elastic material such as rubber, the film is transferred again from the blanket to the print substrate.

【0006】上記のように、非画像部にはインキが付着
しないようにする、すなわち離型性をよくすることが必
要であるので、非画像部はより親水性が強く、湿し水を
より受容し易いことが望ましい。
[0006] As described above, it is necessary to prevent ink from adhering to the non-image area, that is, it is necessary to improve the releasability. Desirably, it is easy to accept.

【0007】また、被印刷物へのインキ転移量は多い方
が好ましい。しかし、上記のように非画像部におけるイ
ンキの離型性をよくするためには、粘着性の低いインキ
を選択せざるを得ない。そのため、平凸版では画像部に
おけるインクの膜厚は厚くできず、インキ転移量には限
界がある。一方、平凹版は画像部の凹部を深くすること
によってインキの膜厚を厚くし、インキ転移量を多くす
ることができる。
[0007] Further, it is preferable that the amount of ink transferred to the printing substrate is large. However, in order to improve the releasability of the ink in the non-image area as described above, it is necessary to select an ink having low tackiness. Therefore, in the planographic printing plate, the thickness of the ink in the image area cannot be increased, and the amount of transferred ink is limited. On the other hand, in the planographic printing plate, the ink film thickness can be increased by increasing the depth of the concave portion in the image area, and the ink transfer amount can be increased.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】この発明はプロセスが
単純であり、かつ量産性が期待できる印刷技術を用いて
微細な膜回路を形成することを目的としている。上記の
ように、オフセット印刷においてインキ転移量を多くす
るためには、平凹版のマスター版を用いるのがよい。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to form a fine film circuit by using a printing technique which has a simple process and can be expected to be mass-produced. As described above, in order to increase the amount of ink transfer in offset printing, it is preferable to use a planographic master plate.

【0009】しかしながら、従来の銅板にクロムめっき
を施し、クロムをエッチングして銅が露出した画像部を
形成した平凹版は、重金属であるクロムの排水処理、取
扱いが極めて厄介であるという問題がある。
[0009] However, the conventional intaglio plate in which a chromium plating is applied to a conventional copper plate and the chromium is etched to form an image portion where copper is exposed has a problem that the drainage treatment and handling of heavy metal chromium are extremely troublesome. .

【0010】また、親油性の銅板に親水性のクロムをめ
っきしたような2層板を用いて平凹版を製造する場合、
凹画像部の底面は親油性であるが側面部は親水性になる
ため、インキ転移量を多くするために凹画像部の深さを
深くすると、凹画像部の側面部に受容された水によって
インキの乳化が起こり、再現性がよく、微細で精度のよ
い画像が得られなくなるという問題がある。
When a planographic printing plate is manufactured using a two-layer plate in which a hydrophilic chromium is plated on a lipophilic copper plate,
Since the bottom surface of the concave image portion is lipophilic but the side portion becomes hydrophilic, if the depth of the concave image portion is increased in order to increase the amount of ink transfer, water received on the side portion of the concave image portion There is a problem in that emulsification of the ink occurs, so that it is difficult to obtain a fine and accurate image with good reproducibility.

【0011】また、非画像部にはインキが付着しないよ
うにする、すなわち離型性をよくすることが必要であ
り、非画像部はより親水性が強く、湿し水をより受容し
易いようにしなければならないという問題がある。
In addition, it is necessary to prevent the ink from adhering to the non-image area, that is, it is necessary to improve the releasability, and the non-image area is more hydrophilic and more easily accepts dampening solution. There is a problem that must be.

【0012】この発明は、上記のような問題を解決し、
クロム等の重金属材料を用いず、再現性がよく、微細で
精度の高い画像が得られる平凹版型のオフセット印刷用
マスター版およびその製造方法を提供するとともに、こ
のマスター版を用いて、再現性の高い、微細で高精度の
回路パターンが得られる膜回路の形成方法を提供するも
のである。
[0012] The present invention solves the above problems,
It provides a planographic intaglio-type offset printing master plate that does not use heavy metal materials such as chromium and has good reproducibility and can obtain fine and highly accurate images, and a method for manufacturing the same. It is intended to provide a method for forming a film circuit capable of obtaining a fine, high-precision circuit pattern with high accuracy.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この発明に係る第1の凹
版オフセット印刷用マスタ版は、表面に陽極酸化被膜を
形成したアルミニウム支持体に画像部となる凹部を形成
し、この凹部に順次、アルミニウムとの密着性がよい下
地金属層と銅めっき層とを形成したものである。
The first master for intaglio offset printing according to the present invention has a concave portion serving as an image portion formed on an aluminum support having an anodized film formed on a surface thereof, and the concave portion is sequentially formed in the concave portion. This is one in which a base metal layer and a copper plating layer having good adhesion to aluminum are formed.

【0014】この発明に係る第2の凹版オフセット印刷
用マスタ版は、上記第1の凹版オフセット印刷用マスタ
版において、下地金属層が、錫または亜鉛であるもので
ある。
[0014] A second intaglio offset printing master plate according to the present invention is the first intaglio offset printing master plate, wherein the base metal layer is tin or zinc.

【0015】この発明に係る第1の凹版オフセット印刷
用マスタ版の製造方法は、表面に陽極酸化被膜が形成さ
れたアルミニウム支持体上にフォトレジストを塗布する
工程、画像パターンを有するフォトマスクを用いて、上
記フォトレジストを露光し、現像処理によって上記フォ
トレジストがパターニングされたマスキングレジストパ
ターンを形成する工程、りん酸およびフッ酸を含有する
エッチング浴を用いて、上記アルミニウム支持体に凹部
を形成する工程、ほぼ中性のめっき浴を用いて置換めっ
きを行い、上記凹部に下地金属層を形成する工程、電解
めっきにより上記下地金属層上に銅めっき層を形成する
工程、上記マスキングレジストパターンを剥離する工
程、を備えたものである。
According to a first method of manufacturing a master plate for intaglio offset printing according to the present invention, a step of applying a photoresist on an aluminum support having an anodic oxide film formed on its surface, and using a photomask having an image pattern. Exposing the photoresist to form a masking resist pattern in which the photoresist has been patterned by a development process, and forming recesses in the aluminum support using an etching bath containing phosphoric acid and hydrofluoric acid. Performing a displacement plating process using a substantially neutral plating bath to form a base metal layer in the recess, forming a copper plating layer on the base metal layer by electrolytic plating, and stripping the masking resist pattern. To perform the process.

【0016】この発明に係る第2の凹版オフセット印刷
用マスタ版の製造方法は、上記第1の凹版オフセット印
刷用マスタ版の製造方法において、下地金属層は、錫ま
たは亜鉛からなるものである。
According to a second method of manufacturing an intaglio offset printing master plate according to the present invention, in the first method of manufacturing an intaglio offset printing master plate, the base metal layer is made of tin or zinc.

【0017】この発明に係る第1の膜回路形成方法は、
表面に陽極酸化被膜を形成したアルミニウム支持体に画
像部となる凹部を形成し、この凹部に順次、アルミニウ
ムとの密着性がよい下地金属層と銅めっき層とを形成し
た凹版オフセット印刷用マスタ版を用いて、回路基材上
にレジストインキを印刷してレジストパターンを形成す
るオフセット印刷工程を含むものである。
A first method for forming a film circuit according to the present invention comprises:
A master plate for intaglio offset printing in which a concave portion serving as an image portion is formed on an aluminum support having an anodic oxide film formed on the surface, and a base metal layer and a copper plating layer having good adhesion to aluminum are sequentially formed in the concave portion. And an offset printing step of printing a resist ink on a circuit substrate to form a resist pattern.

【0018】この発明に係る第2の膜回路形成方法は、
上記第1の膜回路形成方法において、オフセット印刷工
程は、回路基材として絶縁材に導体膜が形成された基材
を用い、上記導体膜上にポジ型のレジストパターンを形
成し、このオフセット印刷工程の後に、上記ポジ型のレ
ジストパターンをマスキングレジストとして上記導体膜
をエッチングするエッチング工程を含むものである。
According to a second method of forming a film circuit according to the present invention,
In the first film circuit forming method, in the offset printing step, a positive resist pattern is formed on the conductor film using a substrate having a conductor film formed on an insulating material as a circuit substrate. After the step, an etching step of etching the conductor film using the positive resist pattern as a masking resist is included.

【0019】この発明に係る第3の膜回路形成方法は、
上記第1の膜回路形成方法において、オフセット印刷工
程は、回路基材として絶縁材を用い、上記絶縁材上にネ
ガ型のレジストパターンを形成し、このオフセット印刷
工程の後に、上記ネガ型のレジストパターンに導体膜を
形成する導体膜形成工程を含むものである。
According to a third method of forming a film circuit according to the present invention,
In the first film circuit forming method, in the offset printing step, an insulating material is used as a circuit base, a negative resist pattern is formed on the insulating material, and after the offset printing step, the negative resist is formed. The method includes a conductor film forming step of forming a conductor film in a pattern.

【0020】この発明に係る第4の膜回路形成方法は、
上記第1の膜回路形成方法において、オフセット印刷工
程は、回路基材として絶縁材に導体膜が形成された基材
を用い、上記導体膜上にネガ型のレジストパターンを形
成し、このオフセット印刷工程の後に、上記ネガ型のレ
ジストパターンの上記導体膜上に半田または錫からなる
めっき膜を形成するめっき工程と、上記ネガ型のレジス
トパターンを剥離する工程と、上記めっき膜をマスキン
グレジストとして上記導体膜をエッチングするエッチン
グ工程とを含むものである。
According to a fourth method of forming a membrane circuit according to the present invention,
In the first film circuit forming method, in the offset printing step, a negative resist pattern is formed on the conductive film using a base material having a conductive film formed on an insulating material as a circuit base material. After the step, a plating step of forming a plating film made of solder or tin on the conductor film of the negative resist pattern, a step of peeling the negative resist pattern, and using the plating film as a masking resist And an etching step of etching the conductive film.

【0021】この発明に係る第5の膜回路形成方法は、
上記第1の膜回路形成方法において、レジストインク
は、加熱または紫外線照射により硬化する樹脂を含有す
るものである。
According to a fifth method of forming a membrane circuit according to the present invention,
In the first method for forming a film circuit, the resist ink contains a resin which is cured by heating or irradiation with ultraviolet rays.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】この発明は、アルミニウム板等に
陽極酸化被膜が形成されたアルミニウム支持体を用い、
このアルミニウム支持体に凹形状の画像部を形成したも
のであるが、従来、アルミニウム板等に陽極酸化被膜が
形成されたアルミニウム支持体を用い、このアルミニウ
ム支持体に凹形状の画像部を形成した凹版オフセット印
刷用マスタ版は見当たらない。その理由は、アルミニウ
ム支持体に凹形状を形成する、あるいは凹形状部に親油
性の金属膜を形成するに当たって、フォトレジストの耐
性が障害となって、調整された深さの凹部の形成および
凹部への密着性のよい親油性の金属膜形成ができないた
めであった。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention uses an aluminum support having an anodized film formed on an aluminum plate or the like,
A concave image portion was formed on this aluminum support. Conventionally, an aluminum support having an anodized film formed on an aluminum plate or the like was used, and a concave image portion was formed on the aluminum support. There is no master plate for intaglio offset printing. The reason is that in forming a concave shape in the aluminum support or forming a lipophilic metal film in the concave portion, the resistance of the photoresist becomes an obstacle, and the formation of the concave portion with the adjusted depth and the concave portion This is because a lipophilic metal film having good adhesion to the film cannot be formed.

【0023】この発明は、アルミニウム支持体に塗布す
るフォトレジストと、このフォトレジストの耐性を考慮
したアルミニウム板のエッチング浴およびめっき浴を種
々検討し、凹部の深度調整を精度よく行うことができる
エッチング条件、フォトレジストの耐性を損なうことな
く凹部に均一、かつ、密着性のよい銅めっきを形成する
ことができるめっき条件を見いだした結果実現できたも
のである。
The present invention examines various photoresists to be applied to an aluminum support, and an etching bath and a plating bath for an aluminum plate in consideration of the durability of the photoresist, and performs etching capable of accurately adjusting the depth of a concave portion. The present invention has been realized as a result of finding plating conditions capable of forming copper plating with uniformity and good adhesion in the concave portion without impairing the conditions and the resistance of the photoresist.

【0024】図1は、この発明のオフセット印刷用マス
ター版の一実施の形態を示す断面図である。図におい
て、1はマスター版、3はアルミニウム板に陽極酸化被
膜4が形成されたアルミニウム支持体、5はエッチング
によりアルミニウム支持体3に形成された凹部、6は凹
部5に無電解めっきにより形成された下地金属層であ
る。7は下地金属層6上に電解めっきにより形成された
銅めっき層であり、凹部5の深さは5μm〜30μmの
範囲の所定の深さに調整されている。下地金属層6は、
錫めっき、亜鉛めっき等アルミニウムと置換されて密着
性のよいめっき膜を形成するものであればよく、アルミ
ニウムとは密着性の悪い銅めっきの下地金属となり、銅
めっきの密着性を改善するものである。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an offset printing master plate according to the present invention. In the figure, 1 is a master plate, 3 is an aluminum support having an aluminum plate on which an anodic oxide film 4 is formed, 5 is a recess formed in the aluminum support 3 by etching, and 6 is a recess formed in the recess 5 by electroless plating. Base metal layer. Reference numeral 7 denotes a copper plating layer formed on the base metal layer 6 by electrolytic plating, and the depth of the concave portion 5 is adjusted to a predetermined depth in a range of 5 μm to 30 μm. The base metal layer 6
Anything that can be replaced with aluminum, such as tin plating or zinc plating, to form a plating film with good adhesion may be used.Aluminum is a base metal for copper plating with poor adhesion and improves the adhesion of copper plating. is there.

【0025】凹部5の深さは30μm以上になっても、
パイリング(インキが100%転移しない現象)のた
め、インキ転移量は増加しない。また、銅めっき層7の
厚さは、2〜3μm以上の厚さであれば親油性を維持す
ることができる。
Even if the depth of the concave portion 5 becomes 30 μm or more,
Due to piling (a phenomenon in which 100% of the ink does not transfer), the ink transfer amount does not increase. In addition, if the thickness of the copper plating layer 7 is 2 to 3 μm or more, lipophilicity can be maintained.

【0026】陽極酸化被膜3が形成された非画像部は、
陽極酸化被膜3の親水性が強く、インキの離型性が極め
てよく、画像部には凹部全面に下地金属を介して密着性
が改善された親油性の銅めっき層が形成されているの
で、このマスター版1を用いてオフセット印刷を行うこ
とにより、インク転移量が多く、再現性のよい、微細な
パターンを印刷することができ、また、耐刷性も極めて
良好になる。
The non-image area where the anodic oxide film 3 is formed
Since the anodic oxide coating 3 has a strong hydrophilic property, the releasability of the ink is very good, and an lipophilic copper plating layer with improved adhesion is formed on the entire surface of the concave portion via a base metal in the image portion. By performing offset printing using the master plate 1, it is possible to print a fine pattern with a large amount of ink transfer, good reproducibility, and extremely high printing durability.

【0027】図1に示したマスター版の製造方法を、図
2に示す製造工程断面図に基づき説明する。まず、アル
ミニウム板に陽極酸化被膜が形成されたアルミニウム支
持体にポジ型レジストを塗布する、あるいは、アルミニ
ウム板に陽極酸化被膜が形成され、さらにポジ型フォト
レジスト8が塗布された、いわゆるPS版(プリセンシ
タイズド版)2を準備する(図2(a))。以下、PS
版2を用いて説明する。
The method of manufacturing the master plate shown in FIG. 1 will be described with reference to the manufacturing process sectional views shown in FIG. First, a positive resist is applied to an aluminum support having an anodic oxide film formed on an aluminum plate, or a so-called PS plate in which an anodic oxide film is formed on an aluminum plate and further coated with a positive photoresist 8 ( A presensitized version 2 is prepared (FIG. 2A). Below, PS
This will be described using version 2.

【0028】次に、画像パターンが形成されたフォトマ
スク9(ネガ型)をポジ型レジスト8上に密着させて露
光し(図2(b))、フォトマスク9を除去して0.5
〜1.5重量%KOH水溶液中で現像しマスキングレジ
ストパターンを形成する(図2(c))。ここでは、ポ
ジ型レジスト8をネガ型のフォトマスク9で露光し、現
像しているが、ネガ型レジストをポジ型のフォトマスク
で露光し、現像してもよい。
Next, a photomask 9 (negative type) on which an image pattern is formed is brought into close contact with the positive type resist 8 and exposed (FIG. 2B).
Develop in a 1.5% by weight KOH aqueous solution to form a masking resist pattern (FIG. 2C). Here, the positive resist 8 is exposed and developed using a negative photomask 9, but the negative resist may be exposed and developed using a positive photomask.

【0029】次に、りん酸を3〜10重量%、フッ化水
素酸酸を0.1〜1.0重量%および非イオン系界面活
性剤を0.2重量%含有する水溶液からなる、25〜3
0℃のエッチング浴中に浸漬し、ポジ型レジスト8の開
口部(マスキングレジストパターン)のアルミニウムを
エッチングして凹部10を形成する(図2(d))。凹
部10の深さは浸漬時間によって調整することができ
る。このエッチング液は、ポジ型レジスト8の耐性を損
なうことなく、アルミニウム板に陽極酸化被膜が形成さ
れたPS版2を均一にエッチングし得るものである。
Next, an aqueous solution containing 3 to 10% by weight of phosphoric acid, 0.1 to 1.0% by weight of hydrofluoric acid and 0.2% by weight of a nonionic surfactant is prepared. ~ 3
The substrate is immersed in an etching bath at 0 ° C., and the aluminum in the opening (masking resist pattern) of the positive resist 8 is etched to form a concave portion 10 (FIG. 2D). The depth of the recess 10 can be adjusted by the immersion time. This etching solution can uniformly etch the PS plate 2 having the anodic oxide film formed on the aluminum plate without impairing the resistance of the positive resist 8.

【0030】次に、無電解めっきにより凹部10に下地
金属層6を形成する(図2(e))。無電解めっきに
は、アルミニウムと置換可能な無電解錫めっき又は無電
解亜鉛めっき等を用いる。無電解錫めっき及び無電解亜
鉛めっきの場合、金属イオンとして亜鉛または錫を10
〜20g/l含む水溶液に、塩化物および有機塩を添加
してpH7〜9に調整した無電解めっき浴中に、60〜
90秒間浸漬する。
Next, the underlying metal layer 6 is formed in the recess 10 by electroless plating (FIG. 2E). For the electroless plating, electroless tin plating or electroless zinc plating that can be replaced with aluminum is used. In the case of electroless tin plating and electroless zinc plating, 10 or 10
In an electroless plating bath adjusted to pH 7 to 9 by adding chlorides and organic salts to an aqueous solution containing
Soak for 90 seconds.

【0031】上記無電解めっきでは、ポジ型レジスト8
の耐性を考慮してpHを調整し、中性に近い中性浴とす
る。また、アルミニウムに密着性のよい電解銅めっきを
施すことはできないが、この無電解めっきにより形成さ
れた、アルミニウムとの密着性のよい下地金属層6を、
次の、電解銅めっきの下地金属とすることによって、銅
めっきの密着性を改善することができる。
In the above electroless plating, the positive resist 8
The pH is adjusted in consideration of the resistance of the solution to a neutral bath close to neutral. In addition, although electrolytic copper plating with good adhesion cannot be applied to aluminum, the base metal layer 6 with good adhesion to aluminum formed by this electroless plating is
By using the base metal for the electrolytic copper plating, the adhesion of the copper plating can be improved.

【0032】次に、銅イオンを0.5〜1.0重量%含
み、EDTAおよび有機アルカリででpH10程度に調
整した水溶液中に浸漬して、フラッシュめっきを行う。
このフラッシュめっきは、0.5〜1.0V定電圧管理
で、約30〜60秒間浸漬する。このフラッシュめっき
に引き続いて、硫酸銅を5〜50g/l、イオウ化合物
を0.01g/l程度含む水溶液中で電解めっきを行
い、2〜3μm厚さの銅めっき層7を形成し、最後に、
有機溶剤に浸漬して、ポジ型レジスト8を剥離し、除去
する(図2(f))。この電解めっきは0.5〜1.0
V定電圧管理で行う。
Next, flash plating is performed by immersion in an aqueous solution containing 0.5 to 1.0% by weight of copper ions and adjusted to about pH 10 with EDTA and an organic alkali.
This flash plating is immersed for about 30 to 60 seconds at a constant voltage control of 0.5 to 1.0 V. Subsequent to the flash plating, electrolytic plating is performed in an aqueous solution containing about 5 to 50 g / l of copper sulfate and about 0.01 g / l of a sulfur compound to form a copper plating layer 7 having a thickness of 2 to 3 μm. ,
The resist is immersed in an organic solvent to peel off and remove the positive resist 8 (FIG. 2 (f)). This electrolytic plating is 0.5 to 1.0
It is performed by V constant voltage management.

【0033】次に、上記のように製造されたマスター版
を用いて、膜回路を形成する方法を説明する。
Next, a method for forming a film circuit using the master plate manufactured as described above will be described.

【0034】図3は、オフセット印刷機の構成を示す構
成図である。図において、11はマスター版1が外周に
セットされたロール状の版胴、12はマスター版1に湿
し水を供給する湿し装置、13は湿し水が供給されたマ
スター版1にインキを供給するインキ装置、14はゴム
製のブランケット15が外周にセットされたロール状の
ゴム胴、16は被印刷物17をゴム胴14との間に供給
する圧胴であり、版胴11、ゴム胴14および圧胴16
は夫々矢印の方向に回転する。
FIG. 3 is a configuration diagram showing the configuration of the offset printing press. In the figure, 11 is a roll-shaped cylinder on which the master plate 1 is set on the outer periphery, 12 is a damping device for supplying dampening water to the master plate 1, and 13 is an ink for the master plate 1 supplied with dampening water. Is a roll-shaped blanket cylinder on which a rubber blanket 15 is set on the outer circumference; 16 is an impression cylinder that supplies a printing material 17 between the blanket cylinder and the plate cylinder 11; Cylinder 14 and impression cylinder 16
Rotate in the directions of the arrows.

【0035】湿し装置12から供給された湿し水はマス
ター版1の非画像部に受容され、湿し水が供給されたマ
スター版1にインキ装置13からインキが供給され、画
像部にインキが受容される。さらに、マスター版1の画
像部に受容されたインキは、ゴム胴14のブランケット
15に転移され、ブランケット15に転移されたインキ
は、ゴム胴14と圧胴16との間に供給された被印刷物
17に転移される。
The dampening solution supplied from the dampening device 12 is received by the non-image portion of the master plate 1, the ink is supplied from the ink device 13 to the master plate 1 to which the dampening solution is supplied, and the ink is supplied to the image portion. Is accepted. Further, the ink received in the image area of the master plate 1 is transferred to the blanket 15 of the blanket cylinder 14, and the ink transferred to the blanket 15 is the printing material supplied between the blanket cylinder 14 and the impression cylinder 16. Transferred to 17.

【0036】図4は、この発明の膜形成方法の一実施の
形態を示す断面図である。図に示したように、オフセッ
ト印刷機を用いて導体19を絶縁材20表面に形成した
回路基材21にレジストインキを印刷してマスキングレ
ジスト18のパターンを形成し、マスキングレジスト1
8を熱硬化または紫外線照射硬化させることによって、
レジストパターンを形成し(図4(a))、マスキング
レジスト18間に露出した導体19を湿式エッチング法
によって除去して導体19からなる膜回路を形成する
(図4(b))。
FIG. 4 is a sectional view showing an embodiment of the film forming method of the present invention. As shown in the drawing, a resist ink is printed on a circuit substrate 21 having a conductor 19 formed on the surface of an insulating material 20 by using an offset printing machine to form a pattern of a masking resist 18.
8 by heat curing or UV irradiation curing,
A resist pattern is formed (FIG. 4A), and the conductor 19 exposed between the masking resists 18 is removed by wet etching to form a film circuit composed of the conductor 19 (FIG. 4B).

【0037】導体19からなる膜回路形成後は、アルカ
リ溶液あるいは有機溶剤などでマスキングレジスト18
を剥離し、洗浄乾燥する。
After the formation of the film circuit composed of the conductor 19, the masking resist 18 is washed with an alkaline solution or an organic solvent.
Is peeled off and washed and dried.

【0038】回路基材21には、ポリイミド樹脂フィル
ム、ベークライト板あるいはガラスエポキシ樹脂板等の
絶縁材に、銅あるいは銅合金等の導体を被着したものの
他、ガラス基板にITO(インジウム−錫酸化物)を被
着したものなど種々のものを適用することができる。
The circuit substrate 21 has a conductor such as copper or copper alloy adhered to an insulating material such as a polyimide resin film, a bakelite plate, or a glass epoxy resin plate, and an ITO (indium-tin oxide) ) Can be applied.

【0039】レジストインキには、熱硬化型または紫外
線硬化型の成分が含まれる樹脂を使用し、上記湿式エッ
チングに用いる薬液に応じて、その薬液に耐性を有し、
かつ回路基材21への密着性が高いものを選択する。
As the resist ink, a resin containing a thermosetting or ultraviolet-curable component is used, and the resist ink has resistance to the chemical depending on the chemical used for the wet etching.
A material having high adhesion to the circuit substrate 21 is selected.

【0040】紫外線硬化型の成分としては、例えば、ポ
リエステルアクリレート、エポキシアクリレート、ポリ
ウレタンアクリレート等を主成分とし、光重合性モノマ
および光重合開始剤を配合したものを挙げることができ
る。配合方法および配合割合に特に制限はないが、印刷
時における湿し水による乳化等を考慮して、非水溶性の
材料を配合する必要がある。
As the UV-curable component, there can be mentioned, for example, those containing polyester acrylate, epoxy acrylate, polyurethane acrylate or the like as a main component, and blending a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator. There is no particular limitation on the mixing method and mixing ratio, but it is necessary to mix a water-insoluble material in consideration of emulsification with a fountain solution during printing.

【0041】熱硬化型のレジストインキとしては、従来
PCB製造で使用されているアルカリ可溶性のロジン変
成樹脂をベースとし、インキとするための揮発成分を改
良して使用することができる。
As the thermosetting resist ink, an alkali-soluble rosin-modified resin conventionally used in the production of PCBs can be used as a base, and the volatile components for forming the ink can be improved.

【0042】また、上記レジストインキには、必要に応
じて、分散剤、可塑剤、酸化防止剤、有機または無機顔
料、導電粒子等を添加することができる。
Further, a dispersant, a plasticizer, an antioxidant, an organic or inorganic pigment, conductive particles, and the like can be added to the resist ink as required.

【0043】上記図4に示した膜回路の形成方法では、
絶縁材に導体を被着した回路基材にポジ回路型のレジス
トパターンを形成し、レジストパターン間に露出した導
体をエッチングにより除去して膜回路を形成したが、図
5に示すように、絶縁材からなる回路基材22にネガ型
のレジストパターンを形成するようにマスキングレジス
ト18を印刷し(図5(a))、レジスパターン間に、
化学蒸着、スパッタ、電解めっき、あるいは無電解めっ
きにより銅、銅合金等の金属からなる導体19を形成し
(図5(b))、この導体19形成後に、マスキングレ
ジス18を剥離する、いわゆるリフトオフ法により、膜
回路を形成することもできる。
In the method of forming the film circuit shown in FIG.
A positive circuit type resist pattern was formed on a circuit substrate having a conductor adhered to an insulating material, and the conductor exposed between the resist patterns was removed by etching to form a film circuit. As shown in FIG. The masking resist 18 is printed so as to form a negative resist pattern on the circuit substrate 22 made of a material (FIG. 5A).
A conductor 19 made of a metal such as copper or a copper alloy is formed by chemical vapor deposition, sputtering, electrolytic plating, or electroless plating (FIG. 5B), and after forming the conductor 19, the masking resist 18 is peeled off, so-called lift-off. A film circuit can also be formed by the method.

【0044】このリフトオフ法の回路基材22には、ポ
リイミド樹脂フィルム、ベークライト板あるいはガラス
エポキシ樹脂板等の絶縁体の他、ガラス、セラミック等
を用いることができる。この場合、回路基材には、パラ
ジウム等の触媒入りのものを用いるか、あるいはパラジ
ウム等の触媒を回路基材に付着させる。
As the circuit substrate 22 of the lift-off method, glass, ceramic, or the like can be used in addition to an insulator such as a polyimide resin film, a bakelite plate, or a glass epoxy resin plate. In this case, a circuit substrate containing a catalyst such as palladium is used, or a catalyst such as palladium is adhered to the circuit substrate.

【0045】このリフトオフ法において、電解めっきお
よび無電解めっきによる導体19の形成方法を用いるこ
とにより、化学蒸着およびスパッタによる導体19の形
成方法を用いるよりも、製造設備コストを低減すること
ができ、また、量産性を向上することができる。
In the lift-off method, by using the method of forming the conductor 19 by electrolytic plating and electroless plating, the cost of manufacturing equipment can be reduced as compared with the method of forming the conductor 19 by chemical vapor deposition and sputtering. In addition, mass productivity can be improved.

【0046】また、上記リフトオフ法の効果的な適用例
として、PCBのスルーホール内に銅めっきを施す場合
を挙げることができる。すなわち、PCBのスルーホー
ル内に銅めっきを施すと、PCB基板表面の面内におけ
る銅膜厚にばらつきが生じてしまうが、図6の断面図に
示すように、PCB23のスルーホールランド部24の
みを露出させたネガ型のレジストパターンを形成するよ
うにマスキングレジスト18を印刷し、スルーホール2
5内に銅めっきを施すことによって、PCB表面の面内
における銅膜厚のばらつきが生じないようにすることが
できる。
As an effective application example of the lift-off method, there is a case where copper plating is performed in a through hole of a PCB. That is, when copper plating is performed in the through holes of the PCB, the thickness of the copper film in the surface of the PCB substrate varies, but as shown in the cross-sectional view of FIG. The masking resist 18 is printed so as to form a negative resist pattern exposing the
By performing copper plating in 5, it is possible to prevent variations in the copper film thickness in the plane of the PCB surface.

【0047】また、図7に示すように、ネガ型のレジス
トパターン(ネガ型の回路パターン)を、スルーホール
25内に銅めっきを施したPCB23表面にマスキング
レジスト18を印刷することにより形成し、露出したス
ルーホール25を含む銅表面(回路パターン26)に半
田めっき又は錫めっき行った後、マスキングレジスト1
8を剥離し、半田めっきあるいは錫めっきをレジストと
して銅をエッチングすることにより、スルーホール25
を含む回路パターン26の導通が保証された信頼性の高
い膜回路を、安価で簡便なオフセット印刷を用いて得る
ことができる。
As shown in FIG. 7, a negative resist pattern (negative circuit pattern) is formed by printing a masking resist 18 on the surface of the PCB 23 in which the copper plating is performed in the through holes 25. After performing solder plating or tin plating on the copper surface (circuit pattern 26) including the exposed through holes 25, the masking resist 1
8 is removed, and copper is etched using solder plating or tin plating as a resist to form through holes 25.
And a highly reliable membrane circuit in which conduction of the circuit pattern 26 is ensured using inexpensive and simple offset printing.

【0048】また、ネガ型のレジストパターンを、液晶
表示装置、プラズマディスプレなどの透明電極の形成、
あるいは電磁波シールドの形成、あるいは透明電極と周
辺回路との接続等に用い、安価で簡便な製造方法を提供
することができる。
Further, a negative resist pattern is formed by forming a transparent electrode such as a liquid crystal display device or a plasma display.
Alternatively, an inexpensive and simple manufacturing method can be provided by forming an electromagnetic wave shield or connecting a transparent electrode to a peripheral circuit.

【0049】[0049]

【発明の効果】この発明に係る第1および第2の凹版オ
フセット印刷用マスタ版によれば、表面に陽極酸化被膜
を形成したアルミニウム支持体に画像部となる凹部を形
成し、この凹部に順次、アルミニウムとの密着性がよい
下地金属層と銅めっき層とを形成したものであるので、
インク転移量が多く、再現性のよい、微細なパターンを
印刷することができ、また、耐刷性も良くなる。
According to the first and second masters for intaglio offset printing according to the present invention, a concave portion serving as an image portion is formed on an aluminum support having an anodic oxide film formed on the surface thereof, and the concave portion is sequentially formed in the concave portion. Since it is formed with a base metal layer and a copper plating layer having good adhesion to aluminum,
It is possible to print a fine pattern with a large amount of ink transfer, good reproducibility, and improved printing durability.

【0050】この発明に係る第1および第2の凹版オフ
セット印刷用マスタ版の製造方法によれば、表面に陽極
酸化被膜が形成されたアルミニウム支持体上にフォトレ
ジストを塗布する工程、画像パターンを有するフォトマ
スクを用いて上記フォトレジストを露光し、現像処理に
よって上記フォトレジストがパターニングされたマスキ
ングレジストパターンを形成する工程、りん酸およびフ
ッ酸を含有するエッチング浴を用いて、上記アルミニウ
ム支持体に凹部を形成する工程、ほぼ中性のめっき浴を
用いて置換めっきを行い、上記凹部に下地金属層を形成
する工程、電解めっきにより上記下地金属層上に銅めっ
き層を形成する工程、上記マスキングレジストパターン
を剥離する工程、を備えたものであるので、インク転移
量が多く、再現性のよい、微細なパターンを印刷するこ
とができ、また、耐刷性の良い凹版オフセット印刷用マ
スタ版を製造することができる。
According to the first and second methods of manufacturing a master plate for intaglio offset printing according to the present invention, a step of applying a photoresist on an aluminum support having an anodic oxide film formed on its surface, and a step of forming an image pattern Exposing the photoresist using a photomask having, a step of forming a masking resist pattern in which the photoresist is patterned by a development process, using an etching bath containing phosphoric acid and hydrofluoric acid, to the aluminum support Forming a concave portion, performing displacement plating using a substantially neutral plating bath, forming a base metal layer in the concave portion, forming a copper plating layer on the base metal layer by electrolytic plating, and masking Since it has a process of removing the resist pattern, the ink transfer amount is large and reproducibility Good, it is possible to print a fine pattern, also, it is possible to produce a good printing durability intaglio offset printing master plate.

【0051】この発明に係る第1の膜回路形成方法によ
れば、表面に陽極酸化被膜を形成したアルミニウム支持
体に画像部となる凹部を形成し、この凹部に順次、アル
ミニウムとの密着性がよい下地金属層と銅めっき層とを
形成した凹版オフセット印刷用マスタ版を用いて、回路
基材上にレジストインキを印刷してレジストパターンを
形成するオフセット印刷工程を含むものであるので、レ
ジストインキの転移量が多く、再現性のよい、微細な回
路パターンを回路基材上に印刷することができる。
According to the first method for forming a film circuit according to the present invention, a concave portion serving as an image portion is formed on an aluminum support having an anodic oxide film formed on the surface, and the adhesiveness to aluminum is sequentially formed in the concave portion. Using an intaglio offset printing master plate with a good base metal layer and copper plating layer formed thereon, the method includes an offset printing step of printing a resist ink on a circuit substrate to form a resist pattern, so that the transfer of the resist ink It is possible to print a fine circuit pattern with a large amount and good reproducibility on a circuit substrate.

【0052】この発明に係る第2の膜回路形成方法によ
れば、オフセット印刷工程は、回路基材として絶縁材に
導体膜が形成された基材を用い、上記導体膜上にポジ型
のレジストパターンを形成し、このオフセット印刷工程
の後に、上記ポジ型のレジストパターンをマスキングレ
ジストとして上記導体膜をエッチングするエッチング工
程を含むものであるので、絶縁材に導体膜が形成された
基材上に、再現性のよい、微細な膜回路を形成すること
ができる。
According to the second film circuit forming method of the present invention, in the offset printing step, a substrate having a conductor film formed on an insulating material is used as a circuit substrate, and a positive resist is formed on the conductor film. After the offset printing step, a pattern is formed, and an etching step of etching the conductor film using the positive resist pattern as a masking resist is performed, so that the pattern is reproduced on the base material on which the conductor film is formed on the insulating material. A fine and fine film circuit can be formed.

【0053】この発明に係る第3の膜回路形成方法によ
れば、オフセット印刷工程は、回路基材として絶縁材を
用い、上記絶縁材上にネガ型のレジストパターンを形成
し、このオフセット印刷工程の後に、上記ネガ型のレジ
ストパターンに導体膜を形成する導体膜形成工程を含む
ものであるので、絶縁材上に、再現性のよい、微細な膜
回路を形成することができる。
According to the third film circuit forming method of the present invention, in the offset printing step, an insulating material is used as a circuit base material, and a negative resist pattern is formed on the insulating material. After that, a conductor film forming step of forming a conductor film on the negative resist pattern is included, so that a fine film circuit with good reproducibility can be formed on the insulating material.

【0054】この発明に係る第4の膜回路形成方法によ
れば、オフセット印刷工程は、回路基材として絶縁材に
導体膜が形成された基材を用い、上記導体膜上にネガ型
のレジストパターンを形成し、このオフセット印刷工程
の後に、上記ネガ型のレジストパターンの上記導体膜上
に半田または錫からなるめっき膜を形成するめっき工程
と、上記ネガ型のレジストパターンを剥離する工程と、
上記めっき膜をマスキングレジストとして上記導体膜を
エッチングするエッチング工程とを含むものであるの
で、絶縁材に導体膜が形成された基材上に、再現性のよ
く、微細で、導通が半田または錫膜めっきで補償された
膜回路を形成することができる。
According to the fourth film circuit forming method of the present invention, in the offset printing step, a substrate in which a conductor film is formed on an insulating material is used as a circuit substrate, and a negative resist is formed on the conductor film. Forming a pattern, after this offset printing step, a plating step of forming a plating film made of solder or tin on the conductor film of the negative resist pattern, and a step of peeling the negative resist pattern,
And an etching step of etching the conductor film using the plating film as a masking resist, so that the reproducibility, fineness, and continuity of the solder or tin film plating are improved on the substrate on which the conductor film is formed on the insulating material. Can form a compensated membrane circuit.

【0055】この発明に係る第5の膜回路形成方法によ
れば、レジストインキは、加熱または紫外線照射により
硬化する樹脂を含有するものであるので、印刷直後にお
いて可塑状態のレジストインクを速やかに硬化させるこ
とができる。
According to the fifth method of forming a film circuit according to the present invention, since the resist ink contains a resin which is cured by heating or irradiation with ultraviolet rays, the plastic ink is quickly cured immediately after printing. Can be done.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の凹版オフセット印刷用マスター版
の一実施の形態を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a master plate for intaglio offset printing according to the present invention.

【図2】 この発明の凹版オフセット印刷用マスター版
の製造方法を示す製造工程断面図である。
FIG. 2 is a manufacturing process sectional view showing a method for manufacturing a master plate for intaglio offset printing of the present invention.

【図3】 オフセット印刷機の構成の一例を示す構成図
である。
FIG. 3 is a configuration diagram illustrating an example of a configuration of an offset printing press.

【図4】 この発明の膜形成方法の一実施の形態を示す
断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing an embodiment of the film forming method of the present invention.

【図5】 この発明の膜形成方法の他の実施の形態を示
す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing another embodiment of the film forming method of the present invention.

【図6】 この発明の膜形成方法の他の実施の形態を示
す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing another embodiment of the film forming method of the present invention.

【図7】 この発明の膜形成方法の他の実施の形態を示
す平面図(a)および断面図(b)である。
7A and 7B are a plan view and a sectional view showing another embodiment of the film forming method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 マスタ版、2 PS版、3 アルミニウム板、4
陽極酸化被膜、5,10 凹部、6 下地金属層、7
銅めっき層、8 ポジ型レジスト、9 ネガフィルム
(マスク)、11 版胴、12 湿し装置、13 イン
キ装置、14 ゴム胴、15 ブランケット、16 圧
胴、17 被印刷物、18 マスキングレジスト、19
導体、20 絶縁材、21,22 回路基材、23
PCB、24 スルーホールランド部、25 スルーホ
ール、26 回路パターン。
1 master plate, 2 PS plate, 3 aluminum plate, 4
Anodized film, 5,10 recess, 6 base metal layer, 7
Copper plating layer, 8 positive resist, 9 negative film (mask), 11 plate cylinder, 12 dampening device, 13 inking device, 14 rubber cylinder, 15 blanket, 16 impression cylinder, 17 printing material, 18 masking resist, 19
Conductor, 20 insulating material, 21, 22 circuit substrate, 23
PCB, 24 through hole land, 25 through hole, 26 circuit pattern.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03F 7/00 503 G03F 7/00 503 5E339 7/40 521 7/40 521 5E343 7/42 7/42 H05K 3/02 H05K 3/02 A 3/06 3/06 F K 3/18 3/18 D 3/24 3/24 A B Fターム(参考) 2H096 AA06 CA03 CA20 HA17 HA18 HA27 JA04 LA02 2H114 AA02 AA14 AA27 AA30 DA04 EA02 FA13 GA09 GA31 4K022 AA02 BA21 BA25 DA03 DB28 DB30 4K023 AA19 BA06 CA01 DA02 DA04 DA06 DA07 4K024 AA09 AB01 BA01 BB16 BC10 CA02 CA03 CA05 FA05 GA01 5E339 AA02 AB02 AB05 AC01 BC02 BC05 BD02 BD03 BD05 BD08 BD11 BD13 BE13 CC01 CC02 CC10 CD01 CD05 CD06 CE13 CE14 CE17 CE18 CG04 DD04 5E343 AA02 AA12 AA15 AA17 AA18 BB24 BB34 BB52 BB67 BB71 DD23 DD25 DD33 DD43 ER13 GG08 GG11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G03F 7/00 503 G03F 7/00 503 5E339 7/40 521 7/40 521 5E343 7/42 7/42 H05K 3/02 H05K 3/02 A 3/06 3/06 F K 3/18 3/18 D 3/24 3/24 AB F term (reference) 2H096 AA06 CA03 CA20 HA17 HA18 HA27 JA04 LA02 2H114 AA02 AA14 AA27 AA30 DA04 EA02 FA13 GA09 GA31 4K022 AA02 BA21 BA25 DA03 DB28 DB30 4K023 AA19 BA06 CA01 DA02 DA04 DA06 DA07 4K024 AA09 AB01 BA01 BB16 BC10 CA02 CA03 CA05 FA05 GA01 5E339 AA02 AB02 AB05 AC01 BC02 BC05 BD02 BD03 BD05 CC08 CD06 CE13 CE14 CE17 CE18 CG04 DD04 5E343 AA02 AA12 AA15 AA17 AA18 BB24 BB34 BB52 BB67 BB71 DD23 DD25 DD33 DD43 ER13 GG08 GG11

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表面に陽極酸化被膜を形成したアルミニ
ウム支持体に画像部となる凹部を形成し、この凹部に順
次、アルミニウムとの密着性がよい下地金属層と銅めっ
き層とを形成したことを特徴とする凹版オフセット印刷
用マスタ版。
1. An aluminum support having an anodic oxide film formed on its surface, a concave portion serving as an image portion is formed, and a base metal layer and a copper plating layer having good adhesion to aluminum are sequentially formed in the concave portion. A master plate for intaglio offset printing characterized by the following.
【請求項2】 下地金属層が、錫または亜鉛であること
を特徴とする請求項1記載の凹版オフセット印刷用マス
タ版。
2. The master plate for intaglio offset printing according to claim 1, wherein the base metal layer is tin or zinc.
【請求項3】 表面に陽極酸化被膜が形成されたアルミ
ニウム支持体上にフォトレジストを塗布する工程、 画像パターンを有するフォトマスクを用いて上記フォト
レジストを露光し、現像処理によって上記フォトレジス
トがパターニングされたマスキングレジストパターンを
形成する工程、 りん酸およびフッ酸を含有するエッチング浴を用いて、
アルミニウム支持体に凹部を形成する工程、 ほぼ中性のめっき浴を用いて置換めっきを行い上記凹部
に下地金属層を形成する工程、 電解めっきにより上記下地金属層上に銅めっき層を形成
する工程、 上記マスキングレジストパターンを剥離する工程、を備
えたことを特徴とする凹版オフセット印刷用マスタ版の
製造方法。
3. A step of applying a photoresist on an aluminum support having an anodic oxide film formed on its surface, exposing the photoresist using a photomask having an image pattern, and patterning the photoresist by a development process. Forming an etched masking resist pattern, using an etching bath containing phosphoric acid and hydrofluoric acid,
Forming a recess in the aluminum support, forming a base metal layer in the recess by performing displacement plating using a substantially neutral plating bath, forming a copper plating layer on the base metal layer by electrolytic plating And a step of removing the masking resist pattern.
【請求項4】 下地金属層は、錫または亜鉛からなるこ
とを特徴とする請求項3記載の凹版オフセット印刷用マ
スタ版の製造方法。
4. The method according to claim 3, wherein the base metal layer is made of tin or zinc.
【請求項5】 表面に陽極酸化被膜を形成したアルミニ
ウム支持体に画像部となる凹部を形成し、この凹部に順
次、アルミニウムとの密着性がよい下地金属層と銅めっ
き層とを形成した凹版オフセット印刷用マスタ版を用い
て、回路基材上にレジストインクを印刷してレジストパ
ターンを形成するオフセット印刷工程を含むことを特徴
とする膜回路の形成方法。
5. An intaglio in which a concave portion serving as an image portion is formed on an aluminum support having an anodic oxide film formed on the surface, and a base metal layer and a copper plating layer having good adhesion to aluminum are sequentially formed in the concave portion. A method for forming a film circuit, comprising: an offset printing step of printing a resist ink on a circuit base material using a master plate for offset printing to form a resist pattern.
【請求項6】 オフセット印刷工程は、回路基材として
絶縁材に導体膜が形成された基材を用い、上記導体膜上
にポジ型のレジストパターンを形成し、このオフセット
印刷工程の後に、上記ポジ型のレジストパターンをマス
キングレジストとして上記導体膜をエッチングするエッ
チング工程を含むことを特徴とする請求項5記載の膜回
路の形成方法。
6. An offset printing step, wherein a substrate in which a conductor film is formed on an insulating material is used as a circuit substrate, a positive resist pattern is formed on the conductor film, and after the offset printing step, 6. The method according to claim 5, further comprising an etching step of etching the conductor film using a positive resist pattern as a masking resist.
【請求項7】 オフセット印刷工程は、回路基材として
絶縁材を用い、上記絶縁材上にネガ型のレジストパター
ンを形成し、このオフセット印刷工程の後に、上記ネガ
型のレジストパターンに導体膜を形成する導体膜形成工
程を含むことを特徴とする請求項5記載の膜回路の形成
方法。
7. An offset printing step, wherein an insulating material is used as a circuit base material, a negative resist pattern is formed on the insulating material, and after the offset printing step, a conductive film is formed on the negative resist pattern. 6. The method according to claim 5, further comprising the step of forming a conductive film.
【請求項8】 オフセット印刷工程は、回路基材として
絶縁材に導体膜が形成された基材を用い、上記導体膜上
にネガ型のレジストパターンを形成し、このオフセット
印刷工程の後に、上記ネガ型のレジストパターンの上記
導体膜上に半田または錫からなるめっき膜を形成するめ
っき工程と、上記ネガ型のレジストパターンを剥離する
工程と、上記めっき膜をマスキングレジストとして上記
導体膜をエッチングするエッチング工程とを含むことを
特徴とする請求項5記載の膜回路の形成方法。
8. The offset printing step uses a substrate having a conductor film formed on an insulating material as a circuit substrate, forms a negative resist pattern on the conductor film, and after the offset printing step, A plating step of forming a plating film made of solder or tin on the conductive film of the negative resist pattern, a step of peeling the negative resist pattern, and etching the conductive film using the plating film as a masking resist 6. The method according to claim 5, further comprising an etching step.
【請求項9】 レジストインクは、加熱または紫外線照
射により硬化する樹脂を含有することを特徴とする請求
項5記載の膜回路の形成方法。
9. The method according to claim 5, wherein the resist ink contains a resin that is cured by heating or irradiation with ultraviolet rays.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011023548A (en) * 2009-07-16 2011-02-03 Nippon Foil Mfg Co Ltd Gravure printing cylinder, method for printing etching resist using the same, and method for manufacturing printed wiring board
WO2012128482A2 (en) * 2011-03-22 2012-09-27 (주)뉴옵틱스 Method for duplicating pattern on cylindrical mold using uv imprint technique
WO2017047072A1 (en) * 2015-09-14 2017-03-23 タツタ電線株式会社 Method for manufacturing shield printed wiring board

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100797731B1 (en) * 2002-11-25 2008-01-24 삼성전자주식회사 Composition of Organometallic Compounds for forming metal alloy pattern and Method of forming metal alloy pattern using the same
KR102512295B1 (en) * 2022-09-08 2023-03-23 (주) 시에스텍 A method of manufacturing dissimilar metal bonding sheets or coils for electricity conduction and busbar using an etching process

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11354979A (en) * 1998-06-04 1999-12-24 Sumitomo Rubber Ind Ltd Production of translucent electromagnetic wave shield member

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011023548A (en) * 2009-07-16 2011-02-03 Nippon Foil Mfg Co Ltd Gravure printing cylinder, method for printing etching resist using the same, and method for manufacturing printed wiring board
WO2012128482A2 (en) * 2011-03-22 2012-09-27 (주)뉴옵틱스 Method for duplicating pattern on cylindrical mold using uv imprint technique
WO2012128482A3 (en) * 2011-03-22 2012-12-27 (주)뉴옵틱스 Method for duplicating pattern on cylindrical mold using uv imprint technique
KR101333534B1 (en) * 2011-03-22 2013-11-28 (주)뉴옵틱스 Method for reprinting pattern using UV imprint in cylindrical mold
WO2017047072A1 (en) * 2015-09-14 2017-03-23 タツタ電線株式会社 Method for manufacturing shield printed wiring board
CN108029195A (en) * 2015-09-14 2018-05-11 拓自达电线株式会社 Shield the manufacture method of printed circuit board

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