JP2002076635A - Manufacturing method of multilayer printed-wiring board - Google Patents

Manufacturing method of multilayer printed-wiring board

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JP2002076635A
JP2002076635A JP2000258879A JP2000258879A JP2002076635A JP 2002076635 A JP2002076635 A JP 2002076635A JP 2000258879 A JP2000258879 A JP 2000258879A JP 2000258879 A JP2000258879 A JP 2000258879A JP 2002076635 A JP2002076635 A JP 2002076635A
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Japan
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printed wiring
via hole
wiring board
multilayer printed
circuit pattern
Prior art date
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Application number
JP2000258879A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazukuni Kawakami
千国 川上
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To machine a via hole to an insulating material by an inexpensive machining device and to effectively suppress the increase in machining time and costs even if the number of via holes to be machined to the insulating material increases. SOLUTION: The tip of a metal drilling pin 26 is positioned onto an interlayer connection section 66 and the drilling pin 26 is moved to the side of a printed- wiring surface 46, the via hole 74 reaching a circuit pattern 52 from a printed- wiring surface 60 is drilled onto the insulating material 58, and at the same time an interlayer connection section 66 is deformed plastically to form a cylindrical section 76 in contact with an interlayer terminal section 68 through the inside of the via hole 74, thus simultaneously drilling the via hole 74 at the insulating substance 58, and at the same time plastically deforming the interlayer connection section 66 at the position of the via hole 74 for electrical connection to the interlayer terminal section 68. Then, a conductive material 78 having flowability is filled into the via hole 74 and is heated and cured, thus reliably connecting the interlayer connection section 66 to the interlayer terminal section 68.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、複数枚の回路基板
が積層され一体化された多層プリント配線板の製造方法
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer printed wiring board in which a plurality of circuit boards are laminated and integrated.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7には従来の多層プリント配線板の構
成が示されている。この多層プリント配線板100は公
知のビルドアップ法を用いて製造されたものであり、コ
ア層102及び、このコア層102上に設けられたビル
ドアップ層104を備えている。コア層102は基板支
持体として板状の絶縁基材118を備え、この絶縁基材
104の表裏両面はそれぞれプリント配線面106,1
08とされている。これらのプリント配線面106上に
はそれぞれ銅メッキ層110が成膜され、銅メッキ層1
10が公知のフォトレジスト法などにより選択的にエッ
チングされて回路パターン112,114が形成されて
いる。
2. Description of the Related Art FIG. 7 shows the structure of a conventional multilayer printed wiring board. The multilayer printed wiring board 100 is manufactured by using a known build-up method, and includes a core layer 102 and a build-up layer 104 provided on the core layer 102. The core layer 102 includes a plate-shaped insulating base material 118 as a substrate support, and both sides of the insulating base material 104 are printed wiring surfaces 106, 1 respectively.
08. A copper plating layer 110 is formed on each of these printed wiring surfaces 106, and the copper plating layer 1 is formed.
10 is selectively etched by a known photoresist method or the like to form circuit patterns 112 and 114.

【0003】コア層102上に設けられたビルドアップ
層104は、それぞれコア層102のプリント配線面1
06上に積層された絶縁基材118を備えており、この
絶縁基材118の表面、すなわちプリント配線面106
とは反対側の面がプリント配線面120とされている。
ビルドアップ層104のプリント配線面120には銅メ
ッキ層122が成膜されており、この銅メッキ層122
が選択的にエッチングされて回路パターン124が形成
されている。
[0003] The build-up layer 104 provided on the core layer 102 includes a printed wiring surface 1 of the core layer 102.
06 is provided on the surface of the insulating base material 118, that is, the printed wiring surface 106.
The surface on the opposite side is the printed wiring surface 120.
A copper plating layer 122 is formed on the printed wiring surface 120 of the build-up layer 104.
Are selectively etched to form a circuit pattern 124.

【0004】上記のような多層プリント配線板100に
おいて、コア層102の回路パターン112とビルドア
ップ層104の回路パターン124とを電気的に接続す
る場合、例えば、ビルドアップ層104の絶縁基材11
8に銅メッキ層122の成膜前に炭酸ガスレーザー等か
らのレーザー光により絶縁基材118にプリント配線面
120からコア層102の回路パターン112の表面に
達するビアホール126を穿設した後、プリント配線面
120及びビアホール126内に銅メッキ層122を一
体的に成膜し、このビアホール126内の銅メッキ層1
22により回路パターン112と回路パターン124と
を電気的に接続する。
In the above-described multilayer printed wiring board 100, when the circuit pattern 112 of the core layer 102 and the circuit pattern 124 of the buildup layer 104 are electrically connected, for example, the insulating base material 11 of the buildup layer 104 is used.
8, before forming the copper plating layer 122, a via hole 126 is formed in the insulating base material 118 from the printed wiring surface 120 to the surface of the circuit pattern 112 of the core layer 102 by laser light from a carbon dioxide laser or the like, and then printed. A copper plating layer 122 is integrally formed in the wiring surface 120 and the via hole 126, and the copper plating layer 1 in the via hole 126 is formed.
22, the circuit pattern 112 and the circuit pattern 124 are electrically connected.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
方法で絶縁基材118にビアホール126を加工するた
めに用いられる高出力のレーザ加工装置は装置価格が高
く、このようなレーザ加工装置を備えた多層プリント配
線板100の製造ラインの設備価格も高額になる。また
レーザ加工装置を用いて絶縁基材118に複数のビアホ
ール126を穿設する場合には、1個のビアホール12
6毎にそれぞれレーザ光軸と多層プリント配線板100
との相対位置を精度良く調整し、レーザ光を所定時間に
亘って多層プリント配線板100へ照射する作業を繰り
返す必要があり、ビアホール126の個数が増加するに
従って多層プリント配線板100への加工時間が増加す
る。この結果、多数個のビアホール126が絶縁基材1
18に設けられる多層プリント配線板100はその製造
コストが高くなってしまう。
However, a high-power laser processing apparatus used for processing the via hole 126 in the insulating base material 118 by the above-described method is expensive, and such a laser processing apparatus is expensive. The equipment cost of the production line for the multilayer printed wiring board 100 provided is also expensive. When a plurality of via holes 126 are formed in the insulating base material 118 using a laser processing apparatus, one via hole 12
The laser beam axis and the multilayer printed wiring board 100 for each 6
It is necessary to repeat the operation of irradiating the multilayer printed wiring board 100 with laser light for a predetermined time with high precision by adjusting the relative position with respect to the multilayer printed wiring board 100. As the number of via holes 126 increases, the processing time for the multilayer printed wiring board 100 increases. Increase. As a result, a large number of via holes 126 are
The manufacturing cost of the multilayer printed wiring board 100 provided at 18 increases.

【0006】本発明の目的は、上記事実を考慮して、低
価格の加工装置により絶縁基材にビアホールを加工する
こと可能とし、また絶縁基材に加工するビアホールの個
数が増加しても、その加工時間及び加工コストの増加を
効果的に抑制できる多層プリント配線板の製造方法を提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above fact, it is an object of the present invention to make it possible to process via holes in an insulating base material using a low-cost processing apparatus. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a multilayer printed wiring board that can effectively suppress an increase in processing time and processing cost.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の多層プリ
ント配線板の製造方法によれば、金属製の穿孔ピンの先
端部を第2のプリント配線面における金属導体及び第1
の回路パターン上に置決めし、該穿孔ピンを第1のプリ
ント配線面側へ相対移動させ、穿設ピンからの押圧力に
より第2の絶縁基材に第2のプリント配線面から第1の
回路パターンへ達するビアホールを穿設すると同時に、
第2のプリント配線面上の金属導体がビアホール内を通
って第1の回路パターンへ接するように該金属導体の一
部を塑性的に変形させることにより、穿孔ピンを第2の
プリント配線面上の金属導体上の所定位置へ位置決め
し、穿孔ピンを第1のプリント配線面側へ移動させると
いう作業によってビアホールを通して第2のプリント配
線面上の金属導体と第1の回路パターンを電気的に接続
できるので、穿孔ピンの支持体、穿孔ピンを第1のプリ
ント配線面側へ相対的に押圧する機構等からなる構造が
簡単な装置を用いて第2の絶縁基材にビアホールを穿設
すると同時に、このビアホールの位置で第2のプリント
配線面上の金属導体と第1のプリント配線面上の回路パ
ターンとを電気的に接続できる。
According to the method of manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the tip of the perforated pin made of metal is connected to the metal conductor on the second printed wiring surface and to the first printed wiring board.
And the perforated pins are relatively moved to the first printed wiring surface side, and the pressing force from the perforated pins causes the second insulating base material to move from the second printed wiring surface to the first printed wiring surface. At the same time as drilling a via hole that reaches the circuit pattern,
The perforation pin is formed on the second printed wiring surface by plastically deforming a part of the metal conductor on the second printed wiring surface so that the metal conductor passes through the via hole and contacts the first circuit pattern. The metal conductor on the second printed wiring surface is electrically connected to the first circuit pattern through the via hole by the operation of positioning the drilled pin toward the first printed wiring surface side by positioning the hole at a predetermined position on the metal conductor. Since a via hole can be formed in the second insulating base material using a device having a simple structure including a support for the perforation pin, a mechanism for relatively pressing the perforation pin toward the first printed wiring surface, and the like, At the position of the via hole, the metal conductor on the second printed wiring surface and the circuit pattern on the first printed wiring surface can be electrically connected.

【0008】この結果、従来のレーザ加工装置等を用い
て絶縁基材にビアホールを加工する方法と比較し、構造
が簡単で低価格の加工装置により絶縁基材にビアホール
を加工できるので多層プリント配線板の製造コストを低
減できる。
As a result, as compared with the conventional method of forming a via hole in an insulating base material using a laser processing device or the like, a via hole can be formed in the insulating base material by a processing device having a simple structure and a low price, so that a multilayer printed wiring is provided. The manufacturing cost of the plate can be reduced.

【0009】また複数本の穿孔ピンを支持体により支持
し、この支持体を介して複数本の穿孔ピンを第2のプリ
ント配線面上の金属導体に当接させ、これらの穿孔ピン
を同時に第1のプリント配線面側へ押圧するようにすれ
ば、第2の絶縁基材に複数のビアホールを同時に穿設で
きるので、第2の絶縁基材に加工されるビアホールの個
数が増加しても、その加工時間が増加することを効果的
に抑制でき、加工時間の増加に伴う多層プリント配線板
の加工コストの増加も抑制できる。
Further, a plurality of perforation pins are supported by a support, and the plurality of perforation pins are brought into contact with a metal conductor on the second printed wiring surface via the support, and these perforation pins are simultaneously connected to the second conductor. By pressing the printed circuit board toward the first printed wiring surface, a plurality of via holes can be formed in the second insulating base material at the same time. Therefore, even if the number of via holes processed in the second insulating base material increases, An increase in the processing time can be effectively suppressed, and an increase in the processing cost of the multilayer printed wiring board due to the increase in the processing time can also be suppressed.

【0010】ここで、第2のプリント配線面上の金属導
体は第2のプリント配線面上に形成される回路パターン
(第2の回路パターン)の加工素材であっても、第2の
回路パターン自体であっても良く、さらに前記加工素材
又は第2の回路パターンとは別に設けられ、第2の回路
パターンに電気的に接続されるものであっても良い。
Here, even if the metal conductor on the second printed wiring surface is a processing material of a circuit pattern (second circuit pattern) formed on the second printed wiring surface, It may be itself, or may be provided separately from the processing material or the second circuit pattern, and may be electrically connected to the second circuit pattern.

【0011】また穿孔ピンにより穿設されるビアホール
は第1の回路パターンの表面よりも深い位置まで達する
ように穿設しても良く、例えば、第1の回路パターンを
突き破って第1の絶縁基材の厚さ方向に沿った中間部に
達するように穿設しても良い。
The via hole formed by the perforation pin may be formed so as to reach a position deeper than the surface of the first circuit pattern. For example, the first insulating pattern may be formed by breaking through the first circuit pattern. It may be perforated so as to reach an intermediate portion along the thickness direction of the material.

【0012】請求項2記載の多層プリント配線板の製造
方法によれば、請求項1記載の多層プリント配線板の製
造方法において、前記ビアホール内に流動性を有する導
体原料を充填し、該導体原料を加熱硬化して前記ビアホ
ール内の金属導体と前記第2の回路パターン部とにそれ
ぞれ密着した接続導体を形成することにより、ビアホー
ル内を通って第1の回路パターンへ接するように塑性的
に変形した金属導体の一部と第1の回路パターンとの接
触面積が小さい場合や、ビアホール穿設後の基板変形等
により金属導体の一部と第1の回路パターンとが離間方
向へ相対移動した場合でも、接続導体により第2のプリ
ント配線面上の金属導体と第1の回路パターンとの接続
を確実に維持でき、かつ第2のプリント配線面上の金属
導体と第1の回路パターンとの間での電気抵抗の増加も
防止できる。
According to the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the second aspect, in the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the first aspect, the via hole is filled with a conductive material having fluidity, and the conductive material is filled. Is heat-cured to form connection conductors that are in close contact with the metal conductor in the via hole and the second circuit pattern portion, respectively, thereby plastically deforming through the via hole and contacting the first circuit pattern. When the contact area between the part of the metal conductor and the first circuit pattern is small, or when the part of the metal conductor and the first circuit pattern are relatively moved in the direction away from each other due to deformation of the board after the formation of the via hole. However, the connection between the metal conductor on the second printed wiring surface and the first circuit pattern can be reliably maintained by the connection conductor, and the connection between the metal conductor on the second printed wiring surface and the first circuit pattern is ensured. It is possible to prevent an increase in the electrical resistance between the turn.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係る多
層プリント配線板の製造方法について図面を参照して説
明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0014】(第1の実施形態)図1には本発明の第1
の実施形態に係る多層プリント配線板のホール加工装置
が示されている。このホール加工装置10は多層プリン
ト配線板の製造ラインに配設されて絶縁基材へビアホー
ルを穿設するためのものである。ホール加工装置10に
は肉厚板状の加工テーブル12が設けられ、この加工テ
ーブル12の上面は加工基準面14とされ、この加工基
準面14には加工対象となる多層プリント配線板16が
載置される。加工基準面14は平坦性が十分高い平面と
なるように加工されており、その面方向に沿った形状が
略長方形になっている。ここで、加工基準面14の短手
方向をX軸方向、長手方向をY軸方向、加工テーブル1
2の厚さ方向をZ軸方向として以下の説明を行う。
(First Embodiment) FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
1 shows a hole processing apparatus for a multilayer printed wiring board according to the embodiment. The hole processing apparatus 10 is provided in a production line of a multilayer printed wiring board and is for forming a via hole in an insulating base material. The hole processing apparatus 10 is provided with a processing table 12 in the form of a thick plate. The upper surface of the processing table 12 is used as a processing reference surface 14, and a multilayer printed wiring board 16 to be processed is mounted on the processing reference surface 14. Is placed. The processing reference surface 14 is processed so as to be a plane having sufficiently high flatness, and the shape along the surface direction is substantially rectangular. Here, the short direction of the processing reference surface 14 is the X-axis direction, the long direction is the Y-axis direction, and the processing table 1
The following description will be made with the thickness direction of No. 2 as the Z-axis direction.

【0015】加工基準面14上には、4本の位置決めピ
ン18が立設されると共に、一対の固定レール20がそ
れぞれY軸方向へ延在するように配設されている。これ
ら一対の固定レール20間には梁状の可動レール22が
X軸方向へ延在するように配置されており、この可動レ
ール22は、その両端部がそれぞれ一対の固定レール2
0へ係合し、一対の固定レール20によりY軸方向に沿
って移動可能に支持されている。また可動レール22上
には筐体状のキャリア部材24がX軸方向に沿って移動
可能に配置されている。
On the processing reference surface 14, four positioning pins 18 are provided upright, and a pair of fixed rails 20 are disposed so as to extend in the Y-axis direction. A beam-shaped movable rail 22 is arranged between the pair of fixed rails 20 so as to extend in the X-axis direction.
0 and is movably supported by the pair of fixed rails 20 along the Y-axis direction. A housing-like carrier member 24 is arranged on the movable rail 22 so as to be movable along the X-axis direction.

【0016】ここで、可動レール22にはY軸方向に沿
った駆動力を伝達するためのY軸駆動機構(図示省略)
が連結され、このY軸駆動機構からの駆動力により可動
レール22はY軸方向に沿って駆動される。またキャリ
ア部材24にはX軸方向に沿った駆動力を伝達するため
のX軸駆動機構(図示省略)が連結され、このX軸駆動
機構からの駆動力によりキャリア部材24はX軸方向に
沿って駆動される。従って、キャリア部材24は、加工
基準面14上における任意の位置へ移動可能となり、そ
の移動範囲は少なくとも4本の位置決めピン18に対し
て内側の領域全体をカバーしている。
Here, a Y-axis driving mechanism (not shown) for transmitting a driving force along the Y-axis direction to the movable rail 22.
Are connected, and the movable rail 22 is driven along the Y-axis direction by the driving force from the Y-axis driving mechanism. An X-axis driving mechanism (not shown) for transmitting a driving force along the X-axis direction is connected to the carrier member 24. The driving force from the X-axis driving mechanism causes the carrier member 24 to move along the X-axis direction. Driven. Accordingly, the carrier member 24 can be moved to an arbitrary position on the processing reference surface 14, and the moving range covers the entire area inside at least the four positioning pins 18.

【0017】キャリア部材24には、図1に示されるよ
うに穿孔ピン26及びそのZ軸機構が搭載されている。
このZ軸駆動機構は、図2に示されるようにシリンダ状
のピンホルダ28を備え、このピンホルダ28を電磁ア
クチュエータ等によりZ軸方向に沿って駆動する。ピン
ホルダ28には、中空円筒状のアウタケース30及びこ
のアウタケース30が設けられ、アウタケース30内に
はインナロッド32が摺動可能に挿入されている。この
インナロッド32はアウタケース30によりZ軸方向に
沿って移動可能に支持されると共に、アウタケース30
内に配設されたコイルスプリング34に常に加工テーブ
ル12側へ付勢されている。
As shown in FIG. 1, a piercing pin 26 and its Z-axis mechanism are mounted on the carrier member 24.
The Z-axis drive mechanism includes a cylindrical pin holder 28 as shown in FIG. 2, and drives the pin holder 28 in the Z-axis direction by an electromagnetic actuator or the like. The pin holder 28 is provided with a hollow cylindrical outer case 30 and the outer case 30, and an inner rod 32 is slidably inserted into the outer case 30. The inner rod 32 is supported by the outer case 30 so as to be movable along the Z-axis direction.
Is always urged toward the machining table 12 by a coil spring 34 disposed therein.

【0018】インナロッド32の先端部には、図2に示
されるように径方向へ拡径する鍔部36が設けられてい
る。鍔部36の下面側には平面状のストッパ面38が形
成されており、このストッパ面38は加工基準面14と
平行となるように支持されている。ストッパ面38に
は、インナロッド32の軸心に沿って加工テーブル12
側へ突出するように穿孔ピン26が取り付けられてい
る。穿孔ピン26は銅メッキ素材として用いられる銅や
銅合金よりも十分硬い金属材料により形成され、例え
ば、炭素鋼、ステンレス、チタン系合金、ニッケル系合
金、超硬合金等により形成されている。穿孔ピン26
は、その外径Rが絶縁基材に穿設するビアホール(図4
参照)の内径よりも僅かに小さく、ストッパ面38から
の突出長Lがビルドアップ層42における絶縁基材58
及び銅メッキ層62の厚さ(図4参照)よりも僅かに長
くなっている。また穿孔ピン26はその先端形状が先端
へ向かって縮径する略円錐状に形成されている。
As shown in FIG. 2, a flange 36 is provided at the tip of the inner rod 32 to expand its diameter in the radial direction. A flat stopper surface 38 is formed on the lower surface side of the flange portion 36, and the stopper surface 38 is supported so as to be parallel to the processing reference surface 14. The machining table 12 is provided on the stopper surface 38 along the axis of the inner rod 32.
A piercing pin 26 is attached so as to protrude to the side. The perforation pin 26 is formed of a metal material sufficiently harder than copper or a copper alloy used as a copper plating material, and is formed of, for example, carbon steel, stainless steel, a titanium alloy, a nickel alloy, a cemented carbide, or the like. Piercing pin 26
Is a via hole whose outer diameter R is formed in the insulating base material (FIG. 4).
Is slightly smaller than the inner diameter of the insulating base material 58 in the build-up layer 42.
And the thickness is slightly longer than the thickness of the copper plating layer 62 (see FIG. 4). The tip of the piercing pin 26 is formed in a substantially conical shape whose diameter decreases toward the tip.

【0019】図3には図1のホール加工装置によりビア
ホールが加工される多層プリント配線板が示されてい
る。この多層プリント配線板16は公知のビルドアップ
法を用いて製造されたものであり、図3(A)に示され
るように、コア層40及び、このコア層40上に設けら
れたビルドアップ層42を備えている。コア層40は基
板支持体として板状の絶縁基材44を備えている。絶縁
基材44は、例えば、ガラスエポキシ基板、ガラスポリ
イミド基板、ガラスフッ素樹脂基板、BT(ビスマレー
トトリアジン)−レジン基板、紙フェノール基板などに
より構成され、その厚さ方向に沿った表裏両面がそれぞ
れプリント配線面46,48とされている。
FIG. 3 shows a multilayer printed wiring board in which via holes are formed by the hole forming apparatus of FIG. The multilayer printed wiring board 16 is manufactured by using a known build-up method. As shown in FIG. 3A, a core layer 40 and a build-up layer provided on the core layer 40 are provided. 42 are provided. The core layer 40 includes a plate-shaped insulating base material 44 as a substrate support. The insulating base material 44 is made of, for example, a glass epoxy substrate, a glass polyimide substrate, a glass fluororesin substrate, a BT (bismaleate triazine) -resin substrate, a paper phenol substrate, or the like. The printed wiring surfaces 46 and 48 are provided.

【0020】コア層40におけるプリント配線面46,
48には、それぞれ銅メッキ層50が成膜され、この銅
メッキ層50が公知のフォトレジスト法などにより選択
的にエッチングされて回路パターン52,54が形成さ
れている。なお、プリント配線面46,48には銅メッ
キ層50の下部層として銅箔をライネート法などにより
貼り合せ、この銅箔上に銅メッキ層50を成膜するよう
にしても良い。また絶縁基材44には、必要に応じて基
板厚さ方向へ貫通するスルーホール56が穿設され、こ
のスルーホールの内周面にプリント配線面46,48上
の銅メッキ層50と一体的に銅メッキ層が成膜される。
これにより、回路パターン52,54がスルーホール5
6内の銅メッキ層50によって互いに電気的に接続され
る。
The printed wiring surface 46 of the core layer 40,
48, a copper plating layer 50 is formed, and the copper plating layer 50 is selectively etched by a known photoresist method or the like to form circuit patterns 52 and 54. Note that a copper foil may be bonded to the printed wiring surfaces 46 and 48 as a lower layer of the copper plating layer 50 by a lining method or the like, and the copper plating layer 50 may be formed on the copper foil. Further, a through hole 56 is formed in the insulating base material 44 so as to penetrate in the thickness direction of the substrate as necessary. The inner peripheral surface of the through hole is integrated with the copper plating layer 50 on the printed wiring surfaces 46 and 48. A copper plating layer is formed.
As a result, the circuit patterns 52 and 54 are
6 are electrically connected to each other by a copper plating layer 50.

【0021】ビルドアップ層42は、それぞれコア層4
0のプリント配線面46上に積層された絶縁基材58を
備えている。このビルドアップ層42の絶縁基材58
は、例えば、エポキシ樹脂、BT−レジン、熱硬化PP
E(ポリフェニレンエ−テル)樹脂を素材として、樹脂
コーティング法、積層プレス法、ラミネート法などによ
り成形され、コア層40と一体化されている。また絶縁
基材58の表面、すなわちコア層40とは反対側の面は
プリント配線面60とされている。プリント配線面には
銅メッキ層62が成膜され、この銅メッキ層62が選択
的にエッチングされて回路パターン64が形成されてい
る。
Each of the build-up layers 42 has a core layer 4
The printed circuit board has an insulating base material 58 laminated on the printed wiring surface. The insulating base material 58 of the build-up layer 42
Are, for example, epoxy resin, BT-resin, thermosetting PP
Using E (polyphenylene ether) resin as a material, the resin layer is formed by a resin coating method, a laminating press method, a laminating method, or the like, and is integrated with the core layer 40. The surface of the insulating base material 58, that is, the surface opposite to the core layer 40 is a printed wiring surface 60. A copper plating layer 62 is formed on the printed wiring surface, and the copper plating layer 62 is selectively etched to form a circuit pattern 64.

【0022】ビルドアップ層42の回路パターン64に
は、コア層40の回路パターン52への接続部位に層間
接続部66が形成されている。層間接続部66は、ビア
ホールが加工される前の状態で、図3(B)に示される
ように略円形のランドとして形成され、その直径がビア
ホール74(図4参照)の内径よりも十分大きくなって
いる。またコア層40の回路パターン52には、層間接
続部66を基板厚さ方向に沿って投影した領域の中心部
に略円形の層間端子部68が形成されている。
In the circuit pattern 64 of the build-up layer 42, an interlayer connection portion 66 is formed at a portion where the core layer 40 is connected to the circuit pattern 52. Before the via hole is processed, the interlayer connection portion 66 is formed as a substantially circular land as shown in FIG. 3B, and the diameter thereof is sufficiently larger than the inner diameter of the via hole 74 (see FIG. 4). Has become. In the circuit pattern 52 of the core layer 40, a substantially circular interlayer terminal portion 68 is formed at the center of a region where the interlayer connection portion 66 is projected along the substrate thickness direction.

【0023】多層プリント配線板16の各コーナ部に
は、図1に示されるように位置決めピン18に対応する
位置決め穴70がそれぞれ穿設されている。多層プリン
ト配線板16をホール加工装置10へ装填する際には、
プリント配線面60を上方へ向けた状態で、4本の位置
決めピン18をそれぞれ4個の位置決め穴70へ挿通さ
せつつ、多層プリント配線板16を加工基準面14上へ
載置する。これにより、多層プリント配線板16は加工
基準面14に対して面方向(X軸−Y軸方向)及び厚さ
方向(Z軸方向)に沿って所定の加工位置に位置決めさ
れる。この際、多層プリント配線板16のZ軸方向への
変位を防止するため多層プリント配線板16上にウェイ
トを積載したり、位置決めピン18の先端部をねじ部と
し、このねじ部にナットをねじ込んで多層プリント配線
板16をZ軸方向へ確実に拘束するようにしても良い。
At each corner of the multilayer printed wiring board 16, positioning holes 70 corresponding to the positioning pins 18 are formed as shown in FIG. When loading the multilayer printed wiring board 16 into the hole processing apparatus 10,
With the printed wiring surface 60 facing upward, the multilayer printed wiring board 16 is placed on the processing reference surface 14 while the four positioning pins 18 are inserted into the four positioning holes 70 respectively. Thereby, the multilayer printed wiring board 16 is positioned at a predetermined processing position along the plane direction (X-axis-Y-axis direction) and the thickness direction (Z-axis direction) with respect to the processing reference plane 14. At this time, in order to prevent the multilayer printed wiring board 16 from being displaced in the Z-axis direction, a weight is loaded on the multilayer printed wiring board 16 or the tip of the positioning pin 18 is used as a screw portion, and a nut is screwed into this screw portion. Thus, the multilayer printed wiring board 16 may be securely restrained in the Z-axis direction.

【0024】次に、本実施形態に係るホール加工装置1
0による多層プリント配線板16に対するビアホール7
4の加工方法を説明する。ホール加工装置10は外部か
らのデータ入力が可能とされたコントローラ(図示省
略)を備えており、このコントローラには、ビアホール
74の加工開始前にビルドアップ層42の回路パターン
64における層間接続部66の位置情報、すなわち加工
基準面14におけるX−Y座標に対応する情報が入力さ
れる。このとき、キャリア部材24はX軸−Y軸方向へ
は所定の原点位置に待機しており、また穿孔ピン26は
Z軸駆動機構により多層プリント配線板16上方の待機
位置に保持されている。
Next, the hole processing apparatus 1 according to the present embodiment
Via hole 7 for multilayer printed wiring board 16 with 0
The processing method No. 4 will be described. The hole processing apparatus 10 includes a controller (not shown) capable of inputting data from the outside. The controller includes an interlayer connection portion 66 in the circuit pattern 64 of the build-up layer 42 before starting the processing of the via hole 74. , That is, information corresponding to the XY coordinates on the machining reference plane 14 is input. At this time, the carrier member 24 is waiting at a predetermined origin position in the X-axis and Y-axis directions, and the perforation pins 26 are held at a standby position above the multilayer printed wiring board 16 by a Z-axis driving mechanism.

【0025】コントローラは、加工開始命令が入力する
と入力済みの位置情報に基づいてX軸駆動機構及びY軸
駆動機構をそれぞれ制御し、キャリア部材24に搭載さ
れた穿孔ピン26を層間接続部66の中心点へ移動させ
る。次いで、コントローラはZ軸駆動機構により待機位
置にあった穿孔ピン26をストッパ面38が下降させ
る。このとき、穿孔ピン26は、図4(A)に示される
ようにインナロッド32のストッパ面38が層間接続部
66の外周縁部に当接する穿設位置まで下降する。これ
により、穿孔ピン26は層間接続部66の中央部及びそ
の下側の絶縁基材58を突き破り、さらにプリント配線
面46の層間端子部68の中央部を押圧し、層間端子部
68及びその下部側の絶縁基材44に穿孔ピン26の先
端形状に対応する窪み72を形成する。また、穿孔ピン
26の下降時に層間接続部66、絶縁基材58及び層間
端子部68の材質異常等により穿孔ピン26の移動抵抗
が過大になると、コイルスプリング34が圧縮して穿孔
ピン26及びZ軸駆動機構を保護するようになってい
る。この後、コントローラはZ軸駆動機構により穿孔ピ
ン26を待機位置へ復帰させ、キャリア部材24をX軸
駆動機構及びY軸駆動機構により一旦原点位置へ復帰さ
せる。
When the machining start command is input, the controller controls the X-axis drive mechanism and the Y-axis drive mechanism based on the input positional information, and controls the perforation pin 26 mounted on the carrier member 24 to Move to the center point. Next, the controller causes the stopper surface 38 to lower the perforation pin 26 at the standby position by the Z-axis drive mechanism. At this time, the piercing pin 26 descends to a piercing position where the stopper surface 38 of the inner rod 32 abuts on the outer peripheral edge of the interlayer connecting portion 66 as shown in FIG. As a result, the perforated pin 26 breaks through the central portion of the interlayer connection portion 66 and the insulating base material 58 under the interlayer connection portion 66, further presses the central portion of the interlayer terminal portion 68 on the printed wiring surface 46, and the interlayer terminal portion 68 and the lower portion thereof. A recess 72 corresponding to the tip shape of the perforated pin 26 is formed in the insulating substrate 44 on the side. Further, when the movement resistance of the perforated pin 26 becomes excessive due to an abnormal material of the interlayer connecting portion 66, the insulating base material 58, and the interlayer terminal portion 68 when the perforated pin 26 is lowered, the coil spring 34 is compressed and the perforated pins 26 and Z The shaft drive mechanism is protected. Thereafter, the controller causes the Z-axis drive mechanism to return the piercing pin 26 to the standby position, and returns the carrier member 24 to the origin position once by the X-axis drive mechanism and the Y-axis drive mechanism.

【0026】穿孔ピン26が層間接続部66及び絶縁基
材58を突き破ることにより、図4(B)に示されるよ
うに、絶縁基材58にプリント配線面60から層間端子
部68の上面側に達するテーパ状のビアホール74が穿
設されると共に、層間接続部66の中央部付近がビアホ
ール74の内周面に沿って撓み方向へ塑性変形した筒部
76が形成され、その筒部76の先端部が層間端子部6
8の窪みの外周側へ接する。これにより、層間接続部6
6がビアホール74内を通って層間端子部68へ電気的
に接続される。
As shown in FIG. 4B, the perforated pin 26 penetrates the interlayer connecting portion 66 and the insulating base material 58 so that the insulating base material 58 is moved from the printed wiring surface 60 to the upper surface side of the interlayer terminal portion 68 as shown in FIG. A tapered via hole 74 is formed, and a cylindrical portion 76 is formed in which the vicinity of the center of the interlayer connecting portion 66 is plastically deformed in the bending direction along the inner peripheral surface of the via hole 74. Part is interlayer terminal part 6
8 is in contact with the outer peripheral side of the depression. Thereby, the interlayer connection part 6
6 is electrically connected to the interlayer terminal portion 68 through the via hole 74.

【0027】コントローラは、位置情報が入力された全
ての層間接続部66について上記の動作を繰り返し、ビ
ルドアップ層42の回路パターン64に設けられた層間
接続部66を順次、コア層40の回路パターン52に設
けられた層間端子部68へ電気的に接続して行く。
The controller repeats the above operation for all the interlayer connections 66 to which the position information has been input, and sequentially switches the interlayer connections 66 provided on the circuit pattern 64 of the buildup layer 42 to the circuit pattern of the core layer 40. The electrical connection is made to the interlayer terminal portion 68 provided in the second terminal 52.

【0028】ホール加工装置10による多層プリント配
線板16に対するビアホール74及び筒部76の加工が
完了すると、多層プリント配線板16は加工テーブル1
2から取り外され、クリーム半田や導電性ペースト等の
流動性を有する導体素材を用いた導体成形工程へ送られ
る。この導体成形工程では、図4(C)に示されるよう
にビアホール74及び窪み72内に流動性を有する導体
素材78が隙間無く充填された後、この導体素材78が
加熱されて硬化又は燒結され、層間接続部66の筒部7
6及び層間端子部68の窪み72にそれぞれ密着した導
体が成形される。これにより、層間接続部66と層間端
子部68との接触面積が小さくても、回路パターン64
と回路パターン52との間の抵抗を十分小さくでき、ま
たビアホール74の加工後に多層プリント配線板16の
歪みが生じても、回路パターン64と回路パターン52
との間の接続を確実に維持できる。なお、この導体成形
工程は、多層プリント配線板16への電子部品の実装時
に同時に行うようにしても良い。
When the processing of the via hole 74 and the cylindrical portion 76 on the multilayer printed wiring board 16 by the hole processing apparatus 10 is completed, the multilayer printed wiring board 16 is mounted on the processing table 1.
2 and is sent to a conductor molding step using a fluid conductor material such as cream solder or conductive paste. In this conductor molding step, as shown in FIG. 4C, after the conductor material 78 having fluidity is filled in the via holes 74 and the depressions 72 without gaps, the conductor material 78 is heated and hardened or sintered. The cylindrical portion 7 of the interlayer connecting portion 66
6 and the conductor closely contacting the recess 72 of the interlayer terminal portion 68 are formed. Thus, even if the contact area between the interlayer connection part 66 and the interlayer terminal part 68 is small, the circuit pattern 64
The resistance between the circuit pattern 64 and the circuit pattern 52 can be reduced sufficiently even if the multilayer printed wiring board 16 is distorted after the processing of the via hole 74.
The connection with is surely maintained. Note that this conductor forming step may be performed simultaneously with the mounting of the electronic component on the multilayer printed wiring board 16.

【0029】次に、本実施形態の多層プリント配線板の
製造方法による作用について説明する。
Next, the operation of the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present embodiment will be described.

【0030】本実施形態に係る多層プリント配線板16
の製造方法によれば、金属製の穿孔ピン26の先端部を
層間接続部66上へ位置決めし、この穿孔ピン26をプ
リント配線面46側へ移動させ、絶縁基材58にプリン
ト配線面60から回路パターン52へ達するビアホール
74を穿設すると同時に、層間接続部66を塑性変形さ
せてビアホール74内を通って層間端子部68へ接する
筒部76を形成することにより、構造が簡単なホール加
工装置10を用いて絶縁基材58にビアホール74を穿
設すると同時に、このビアホール74の位置で回路パタ
ーン64の層間接続部66と回路パターン52の層間端
子部68とを電気的に接続できる。この結果、従来のレ
ーザ加工装置等を用いて絶縁基材にビアホールを加工す
る方法と比較し、構造が簡単で低価格のホール加工装置
10を用いて簡単な作業で絶縁基材58にビアホール7
4を穿設できるので多層プリント配線板16の製造コス
トを低減できる。
The multilayer printed wiring board 16 according to the present embodiment
According to the manufacturing method of (1), the distal end of the metal perforated pin 26 is positioned on the interlayer connection portion 66, and the perforated pin 26 is moved to the printed wiring surface 46 side, so that the insulating substrate 58 is At the same time as forming the via hole 74 reaching the circuit pattern 52, the interlayer connecting portion 66 is plastically deformed to form the cylindrical portion 76 which passes through the inside of the via hole 74 and contacts the interlayer terminal portion 68. At the same time when the via hole 74 is formed in the insulating base material 58 using the insulating layer 10, the interlayer connection portion 66 of the circuit pattern 64 and the interlayer terminal portion 68 of the circuit pattern 52 can be electrically connected at the position of the via hole 74. As a result, as compared with a conventional method of forming a via hole in an insulating base material using a laser processing device or the like, a via hole 7 is formed in the insulating base material 58 by a simple operation using a low-cost hole processing device 10 having a simple structure.
4, the manufacturing cost of the multilayer printed wiring board 16 can be reduced.

【0031】なお、本実施形態に係るホール加工装置1
0では、穿孔ピン26を加工テーブル12上の多層プリ
ント配線板16に対して3軸方向へ移動させて穿孔ピン
26を位置決め及び昇降させていたが、これとは逆に、
多層プリント配線板16が載置された加工テーブル12
を3軸方向へ移動させて多層プリント配線板16を穿孔
ピン26に対して位置決めし、更に昇降させて絶縁基材
58にビアホール74を穿設するようにしても良い。
The hole processing apparatus 1 according to the present embodiment
At 0, the perforation pin 26 was moved in the three-axis direction with respect to the multilayer printed wiring board 16 on the processing table 12 to position and move the perforation pin 26 up and down.
Processing table 12 on which multilayer printed wiring board 16 is placed
May be moved in three axial directions to position the multilayer printed wiring board 16 with respect to the perforation pins 26, and then moved up and down to form a via hole 74 in the insulating base material 58.

【0032】(第2の実施形態)図5には本発明の第2
の実施形態に係る多層プリント配線板のホール加工装置
が示されている。このホール加工装置80は、第1の実
施形態に係るホール加工装置10と同様に、多層プリン
ト配線板16の製造ラインに配設されて絶縁基材58へ
ビアホールを穿設するためのものである。
(Second Embodiment) FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention.
1 shows a hole processing apparatus for a multilayer printed wiring board according to the embodiment. The hole processing device 80 is provided on a production line of the multilayer printed wiring board 16 and drills a via hole in the insulating base material 58, similarly to the hole processing device 10 according to the first embodiment. .

【0033】本実施形態のホール加工装置80には肉厚
板状の加工テーブル82が設けられ、この加工テーブル
82の上面は治具載置面84とされている。治具載置面
84は平坦性が十分高い平面となるように加工されてい
る。治具載置面84には4本の位置決めピン86が立設
されている。ホール加工装置80では、治具載置面84
上に板状の穿孔治具88が載置される。穿孔治具88に
は、加工対象となる多層プリント配線板16と対応する
面形状を有する支持基板90が設けられており、この支
持基板90は炭素鋼、ニッケル系合金、ステンレス等の
金属材料からなる。
The hole processing apparatus 80 of this embodiment is provided with a processing table 82 having a thick plate shape, and the upper surface of the processing table 82 is a jig mounting surface 84. The jig mounting surface 84 is processed so as to be a flat surface with sufficiently high flatness. Four positioning pins 86 are provided upright on the jig mounting surface 84. In the hole processing device 80, the jig mounting surface 84
A plate-shaped drilling jig 88 is placed on top. The drilling jig 88 is provided with a support substrate 90 having a surface shape corresponding to the multilayer printed wiring board 16 to be processed. The support substrate 90 is made of a metal material such as carbon steel, a nickel-based alloy, and stainless steel. Become.

【0034】支持基板90の各コーナ部には、図5に示
されるようにそれぞれ位置決め穴91が穿設されてお
り、穿孔治具88を加工テーブル82へ装填する際に
は、加工テーブル82の4本の位置決めピン86をそれ
ぞれ4個の位置決め穴91へ挿通させつつ、穿孔治具8
8の支持基板90を治具載置面84上へ載置する。これ
により、穿孔治具88は面方向に沿って治具載置面84
における所定位置に精度良く位置決めされる。
As shown in FIG. 5, a positioning hole 91 is formed in each corner of the support substrate 90. When the drilling jig 88 is loaded on the processing table 82, While inserting the four positioning pins 86 into the four positioning holes 91 respectively, the drilling jig 8
8 is placed on the jig placing surface 84. As a result, the drill jig 88 moves along the jig mounting surface 84 along the surface direction.
Is accurately positioned at a predetermined position in the.

【0035】穿孔治具88の支持基板90はその上面が
加工基準面92とされており、この加工基準面92に
は、図6に示されるように先端部が略円錐状とされた穿
孔ピン93が立設されている。加工基準面92には、図
5に示されるように複数本の穿孔ピン93が立設されて
おり、これらの穿孔ピン93は、多層プリント配線板1
6における層間接続部66(図6参照)に対応する位置
にそれぞれ配置されている。このような穿孔ピン93
は、例えば、加工基準面92を公知のフォトレジスト法
などにより選択的にエッチングし、加工基準面92に略
円柱状の突起部を形成した後、この突起部を電解法等よ
り研磨することにより形成される。また穿孔ピン93
は、ビアホール74の寸法に対応して長さが数十〜百数
十μm、外径が数十μm程度であるので、支持基板90
に対する研削及び研磨加工等の機械的な加工によっても
形成でき、また超硬合金等を精密加工して形成された穿
孔ピン93の基端部を支持基板90の加工基準面92へ
打ち込むことにより、支持基板90とは別体の穿孔ピン
93を加工基準面92へ固着するようにしても良い。
The upper surface of the support substrate 90 of the drilling jig 88 is a processing reference surface 92. The processing reference surface 92 has a drilling pin having a substantially conical tip as shown in FIG. 93 is erected. As shown in FIG. 5, a plurality of perforation pins 93 are erected on the processing reference surface 92, and these perforation pins 93
6 are disposed at positions corresponding to the interlayer connection portions 66 (see FIG. 6). Such a piercing pin 93
For example, by selectively etching the processing reference surface 92 by a known photoresist method or the like, forming a substantially columnar projection on the processing reference surface 92, and polishing the projection by an electrolytic method or the like. It is formed. Also the piercing pin 93
Since the length is several tens to one hundred and several tens μm and the outer diameter is several tens μm corresponding to the size of the via hole 74, the supporting substrate 90
It can also be formed by mechanical processing such as grinding and polishing on the base plate, and by driving the base end of a perforation pin 93 formed by precision processing of a cemented carbide or the like into a processing reference surface 92 of a support substrate 90, A perforation pin 93 separate from the support substrate 90 may be fixed to the processing reference surface 92.

【0036】加工テーブル82の治具載置面84上に
は、図5に示されるように穿孔治具88を介して多層プ
リント配線板16が載置される。この多層プリント配線
板16は、4個の位置決め穴70に4本の位置決めピン
86がそれぞれ挿通した状態で載置される。これによ
り、多層プリント配線板16は面方向に沿って治具載置
面84上における加工位置へ精度良く位置決めされ、穿
孔治具88のセンタと多層プリント配線板16のセンタ
とが精度良く一致する。また多層プリント配線板16
は、ビルドアップ層42のプリント配線面60が加工基
準面92へ正対するような方向で加工テーブル82上へ
載置される。
The multilayer printed wiring board 16 is mounted on the jig mounting surface 84 of the processing table 82 via a drill jig 88 as shown in FIG. The multilayer printed wiring board 16 is placed with four positioning pins 86 inserted through four positioning holes 70, respectively. As a result, the multilayer printed wiring board 16 is accurately positioned at the processing position on the jig mounting surface 84 along the surface direction, and the center of the drilling jig 88 and the center of the multilayer printed wiring board 16 accurately match. . The multilayer printed wiring board 16
Is placed on the processing table 82 in such a direction that the printed wiring surface 60 of the build-up layer 42 faces the processing reference surface 92.

【0037】ホール加工装置80には、図5に示される
ように加工テーブル82の上方に肉厚板状の加圧テーブ
ル94が設けられおり、この加圧テーブル94はZ軸駆
動機構(図示省略)により昇降可能に支持されている。
加圧テーブル82の下面側は平面状の加圧面96とされ
ており、この加圧面96の各コーナ部には、それぞれ加
工テーブル82の位置決めピン86に対応する位置決め
穴97が穿設されている。
As shown in FIG. 5, the hole processing apparatus 80 is provided with a thick plate-shaped pressing table 94 above the processing table 82. The pressing table 94 is a Z-axis driving mechanism (not shown). ) So that it can be moved up and down.
The lower surface side of the pressing table 82 is a flat pressing surface 96, and a positioning hole 97 corresponding to the positioning pin 86 of the processing table 82 is formed in each corner of the pressing surface 96. .

【0038】次に、本実施形態に係るホール加工装置8
0による多層プリント配線板16に対するビアホール7
4の加工方法を説明する。ホール加工装置80は、加工
テーブル82上に穿孔治具88及び多層プリント配線板
16がそれぞれ載置されると、Z軸駆動機構により加圧
テーブル94を下降させ、その加圧面96を加工テーブ
ル82上の多層プリント配線板16に所定の押圧力で圧
接させる。これにより、穿孔治具88の穿孔ピン93
は、図6に示されるように層間接続部66の中央部及び
その下側の絶縁基材58を突き破り、さらにプリント配
線面46の層間端子部68の中央部を押圧し、層間端子
部68及びその下部側の絶縁基材44に穿孔ピン26の
先端形状に対応する窪み72を形成する。この後、ホー
ル加工装置80はZ軸駆動機構により加圧テーブル94
を上昇させて待機位置に復帰させる。
Next, the hole machining apparatus 8 according to the present embodiment will be described.
Via hole 7 for multilayer printed wiring board 16 with 0
The processing method No. 4 will be described. When the drilling jig 88 and the multilayer printed wiring board 16 are respectively mounted on the processing table 82, the hole processing apparatus 80 lowers the pressing table 94 by the Z-axis drive mechanism, and the pressing surface 96 is moved to the processing table 82. The upper multilayer printed wiring board 16 is pressed into contact with a predetermined pressing force. Thereby, the piercing pin 93 of the piercing jig 88 is
6 pierces through the center portion of the interlayer connection portion 66 and the insulating base material 58 under the interlayer connection portion 66 as shown in FIG. 6, and further presses the center portion of the interlayer terminal portion 68 on the printed wiring surface 46 so that the interlayer terminal portion 68 and A depression 72 corresponding to the tip shape of the perforated pin 26 is formed in the insulating base material 44 on the lower side. Thereafter, the hole processing device 80 is driven by the Z-axis
To return to the standby position.

【0039】穿孔ピン93が層間接続部66及び絶縁基
材58を突き破ることにより、図6に示されるように、
絶縁基材58にプリント配線面60から層間端子部68
の上面側に達するテーパ状のビアホール74が穿設され
ると共に、層間接続部66の中央部付近がビアホール7
4の内周面に沿って撓み方向へ塑性変形した筒部76が
形成され、その筒部76の先端部が層間端子部68の窪
み72の外周側へ接する。これにより、層間接続部66
がビアホール74内を通って層間端子部68へ電気的に
接続される。またホール加工装置80では、穿孔治具8
8の支持基板90に複数の穿孔ピン93が設けられてい
ることから、1回の作業で上記のようなビアホール74
及び筒部76を複数個同時に形成できる。
As shown in FIG. 6, the perforated pins 93 pierce the interlayer connection portion 66 and the insulating base material 58,
From the printed wiring surface 60 to the insulating base material 58, the interlayer terminal portion 68
A via hole 74 having a tapered shape reaching the upper surface side of the via hole is formed, and a via hole 7 is formed near the center of the interlayer connection portion 66.
A cylindrical portion 76 plastically deformed in the bending direction is formed along the inner peripheral surface of the cylindrical member 4, and the distal end of the cylindrical portion 76 contacts the outer peripheral side of the recess 72 of the interlayer terminal portion 68. Thereby, the interlayer connection part 66
Are electrically connected to the interlayer terminals 68 through the via holes 74. In the hole processing device 80, the drilling jig 8
8 is provided with a plurality of perforation pins 93 in the support substrate 90, so that the via hole 74 described above can be
And a plurality of cylindrical portions 76 can be formed simultaneously.

【0040】ホール加工装置80による多層プリント配
線板16に対するビアホール74及び筒部76の加工が
完了すると、多層プリント配線板16は加工テーブル8
2から取り外され、第1の実施形態に係る場合と同様
に、クリーム半田や導電性ペースト等の流動性を有する
導体素材を用いた導体成形工程へ送られ、ビアホール7
4及び窪み72内に流動性を有する導体素材が隙間無く
充填された後、この導体素材が加熱されて硬化又は燒結
され、層間接続部66の筒部76及び層間端子部68の
窪み72にそれぞれ密着した導体が成形される。
When the processing of the via hole 74 and the cylindrical portion 76 on the multilayer printed wiring board 16 by the hole processing apparatus 80 is completed, the multilayer printed wiring board 16 is
2 and is sent to a conductor molding step using a fluid conductive material such as cream solder or conductive paste, as in the case of the first embodiment.
After the conductive material having fluidity is filled into the recesses 4 and the recesses 72 without gaps, the conductive material is heated and hardened or sintered, so that the tubular portions 76 of the interlayer connecting portions 66 and the recesses 72 of the interlayer terminal portions 68 are respectively provided. A closely adhered conductor is formed.

【0041】次に、本実施形態の多層プリント配線板の
製造方法による作用について説明する。
Next, the operation of the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present embodiment will be described.

【0042】本実施形態に係る多層プリント配線板16
の製造方法によれば、第1の実施形態に係る多層プリン
ト配線板の製造方法により得られる作用及び効果に加え
て、ビルドアップ層42の絶縁基材58に複数のビアホ
ール74及び筒部76を同時に加工できるので、絶縁基
材58に加工されるビアホール74の個数が増加して
も、その加工時間が増加することを効果的に抑制でき、
加工時間の増加に伴う多層プリント配線板16の加工コ
ストの増加も抑制できる。
The multilayer printed wiring board 16 according to the present embodiment
According to the manufacturing method of (1), in addition to the functions and effects obtained by the method of manufacturing a multilayer printed wiring board according to the first embodiment, a plurality of via holes 74 and a cylindrical portion 76 are formed in the insulating base material 58 of the build-up layer 42. Since it can be processed simultaneously, even if the number of via holes 74 processed in the insulating base material 58 increases, it is possible to effectively suppress an increase in the processing time,
An increase in processing cost of the multilayer printed wiring board 16 due to an increase in processing time can also be suppressed.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上説明したように本発明の多層プリン
ト配線板の製造方法によれば、低価格の加工装置により
多層プリント配線板における絶縁基材にビアホールを加
工でき、また絶縁基材に加工するビアホールの個数が増
加しても、その加工時間及び加工コストの増加を効果的
に抑制できる。
As described above, according to the method for manufacturing a multilayer printed wiring board of the present invention, a via hole can be formed in an insulating base material of a multilayer printed wiring board by a low-cost processing apparatus, and the insulating base material can be processed. Even if the number of via holes to be formed increases, it is possible to effectively suppress an increase in processing time and processing cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の第1の実施形態に係る多層プリント
配線板の製造方法に用いられるホール加工装置を示す斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a hole processing apparatus used in a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 図1に示されるホール加工装置における穿孔
ピン及びピンホルダの断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a drilling pin and a pin holder in the hole processing device shown in FIG.

【図3】 本発明の実施形態に係る多層プリント配線板
の製造方法によりビアホールが加工される多層プリント
配線板の構成を示す断面図及び平面図である。
FIGS. 3A and 3B are a cross-sectional view and a plan view showing a configuration of a multilayer printed wiring board in which a via hole is formed by a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to an embodiment of the present invention.

【図4】 本発明の第1の実施形態に係る多層プリント
配線板の製造方法によるビアホール及び導体の加工工程
を示す側面図である。
FIG. 4 is a side view showing a process of processing a via hole and a conductor by the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the first embodiment of the present invention.

【図5】 本発明の第2の実施形態に係る多層プリント
配線板の製造方法に用いられるホール加工装置を示す斜
視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing a hole processing apparatus used in a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to a second embodiment of the present invention.

【図6】 図5に示されるホール加工装置により多層プ
リント配線板へビアホールを加工している状態を示す側
面断面図である。
6 is a side sectional view showing a state in which a via hole is being formed in the multilayer printed wiring board by the hole processing apparatus shown in FIG. 5;

【図7】 従来の方法によりビアホールが形成された多
層プリント配線板の構造を示す側面断面図である。
FIG. 7 is a side sectional view showing a structure of a multilayer printed wiring board in which via holes are formed by a conventional method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ホール加工装置 16 多層プリント配線板 26 穿孔ピン 40 コア層(第1の積層基板) 42 ビルドアップ層(第2の積層基板) 44 絶縁基材(第1の絶縁基材) 46 プリント配線面(第1のプリント配線面) 50 銅メッキ層(金属導体) 52 回路パターン(第1の回路パターン) 58 絶縁基材(第2の絶縁基材) 60 プリント配線面(第2のプリント配線面) 62 銅メッキ層(金属導体) 66 層間接続部(金属導体) 68 層間端子部(第1の回路パターン) 74 ビアホール 80 ホール加工装置 93 穿孔ピン Reference Signs List 10 hole processing device 16 multilayer printed wiring board 26 perforated pin 40 core layer (first laminated substrate) 42 build-up layer (second laminated substrate) 44 insulating base material (first insulating base material) 46 printed wiring surface ( First printed wiring surface) 50 Copper plating layer (metal conductor) 52 Circuit pattern (first circuit pattern) 58 Insulating base material (second insulating base material) 60 Printed wiring surface (second printed wiring surface) 62 Copper plating layer (metal conductor) 66 Interlayer connection part (metal conductor) 68 Interlayer terminal part (first circuit pattern) 74 Via hole 80 Hole processing device 93 Drilling pin

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表裏面の少なくとも一方が第1のプリン
ト配線面とされた第1の絶縁基材を支持体とし、前記第
1のプリント配線面上に金属導体により第1の回路パタ
ーンが形成された第1の積層基板と、 前記第1のプリント配線面上に積層され該第1のプリン
ト配線面と反対側の面が第2のプリント配線面とされた
第2の絶縁基材を支持体とし、前記第2のプリント配線
面上に金属導体が配置された第2の積層基板と、を有
し、 前記第2の絶縁基材を貫通するビアホール内の導体によ
り前記第1の回路パターンと前記第2の回路パターンと
が接続される多層プリント配線板の製造方法であって、 金属製の穿孔ピンを前記第2のプリント配線面における
金属導体及び前記第1の回路パターン上に位置決めし、
該穿孔ピンを前記第1のプリント配線面側へ相対移動さ
せ、穿設ピンからの押圧力により前記第2の絶縁基材に
前記第2のプリント配線面から前記第1の回路パターン
へ達するビアホールを穿設すると同時に、前記第2のプ
リント配線面上の金属導体が前記ビアホール内を通って
前記第1の回路パターンへ接するように該金属導体の一
部を塑性的に変形させる工程を具備することを特徴とす
る多層プリント配線板の製造方法。
1. A first insulating substrate having at least one of a front and back surface as a first printed wiring surface is used as a support, and a first circuit pattern is formed on the first printed wiring surface by a metal conductor. And a second insulating substrate laminated on the first printed wiring surface and having a surface opposite to the first printed wiring surface as a second printed wiring surface. And a second laminated substrate having a metal conductor disposed on the second printed wiring surface, wherein the first circuit pattern is formed by a conductor in a via hole penetrating the second insulating base material. And a method for manufacturing a multilayer printed wiring board in which a metal perforated pin is positioned on a metal conductor on the second printed wiring surface and on the first circuit pattern. ,
The perforated pin is relatively moved to the first printed wiring surface side, and a via hole reaching the first circuit pattern from the second printed wiring surface to the second insulating base material by a pressing force from the perforated pin. And simultaneously plastically deforming a part of the metal conductor so that the metal conductor on the second printed wiring surface passes through the via hole and contacts the first circuit pattern. A method for manufacturing a multilayer printed wiring board, comprising:
【請求項2】 前記ビアホール内に流動性を有する導体
原料を充填し、該導体原料を加熱硬化して前記ビアホー
ル内の金属導体と前記第2の回路パターン部とにそれぞ
れ密着した接続導体を形成する工程を具備することを特
徴とする請求項1記載の多層プリント配線板の製造方
法。
2. A conductive material having fluidity is filled in the via hole, and the conductive material is heat-cured to form connection conductors which are in close contact with the metal conductor in the via hole and the second circuit pattern portion, respectively. 2. The method according to claim 1, further comprising the step of:
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