JP2002071464A - 複屈折測定器校正装置及び複屈折測定器校正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複屈折測定器の校正のための手間を増大させ
ることなく、校正による生産性の低下を防止しつつ、校
正時の測定対象となる位相板の回転角度位置の数を増大
させ、高精度の校正を可能とする。 【解決手段】 位相板１を被測定物として複屈折測定器
による第１の測定を行い、この第１の測定の結果に基づ
いて位相板１の回転角度位置についての校正を行い、位
相板１の光軸回りの回転角度位置を少なくとも４つの異
なる角度位置として複屈折測定器による第２の測定を行
い、これら第２の測定の結果に基づいて複屈折測定器の
校正を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば光ディスク
基板の如き被測定物となる透明材料中の複屈折量を測定
する複屈折測定器の測定精度を校正するための複屈折測
定器校正装置及び複屈折測定器校正方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、情報信号の記録媒体として、透明
材料からなるディスク基板とこのディスク基板の主面部
に形成された信号記録面部とを有する光ディスクが提案
されている。このような光ディスクにおいては、ディス
ク基板内において発生する複屈折が、この光ディスクよ
り読出され、または、この光ディスクに書込まれる情報
信号の状態に大きく影響することが知られている。

【０００３】そのため、ディスク基板のような透明材料
については、複屈折測定器を用いて、該材料内の複屈折
量を測定することが行われている。この複屈折測定器
は、円偏光状態の光束を被測定物に照射し、この被測定
物を経た光束を偏光検波することにより、該被測定物内
の複屈折量を測定するものである。

【０００４】そして、この複屈折測定器は、被測定物に
ついての測定に先立って、複屈折量の値の校正をしてお
く必要がある。この複屈折量の値の校正は、予め位相差
のわかっている位相板（（１／４）λ板など）を被測定
物として複屈折量の測定を行い、この測定結果に基づい
て行う。そして、この測定結果が位相板について既知の
位相差の数値に一致するように、偏光検波を行う光学系
の調整などを行う。

【０００５】偏光検波を行う光学系は、偏光ビームスプ
リッタと、この偏光ビームスプリッタにおいて反射され
る光束を受光する第１の光検出器と、該偏光ビームスプ
リッタを透過する光束を受光する第２の光検出器とから
構成されている。この光学系の調整としては、偏光ビー
ムスプリッタの傾きの調整などを行う。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
に位相板を用いて複屈折測定器の校正を行う場合におい
ては、この位相板の光軸回りの回転角度位置について
は、１つの角度位置、または、２乃至３の角度位置につ
いてしか、校正の基礎となる測定を行うことができな
い。これは、位相板が、複屈折測定器に対して被測定物
と同様に固定して配置される支持部材によって固定的に
支持されていることによる。

【０００７】すなわち、位相板の光軸回りの回転角度位
置を複数の互いに異なる状態としてそれぞれについて測
定を行おうとすると、それぞれの角度位置について、支
持部材に位相板を取付けた測定冶具が１個ずつ必要とな
る。

【０００８】したがって、測定対象とする位相板の回転
角度位置の数が増大すると、必要となる測定冶具の数が
増大し、その作製のための時間及び費用が甚大なものと
なる。また、一の回転角度位置についての測定の後、他
の回転角度位置についての測定を行おうとする度に、測
定冶具を取り替えなければならず、膨大な手間がかかる
こととなってしまう。

【０００９】ところが、近年の光ディスクの記録容量の
増大に伴い、光ディスクのディスク基板について複屈折
量を測定する複屈折測定器においては、位相板の回転角
度位置の数が３以下での校正では、十分な校正にはなら
ないことが判明してきている。すなわち、これまで、校
正のための測定における位相板の回転角度位置及び偏光
ビームスプリッタの調整状態と測定値との関係は、十分
に解明されておらず、少数の測定ポイントから全体の測
定値の変化の振る舞いを推測することには無理があるか
らである。

【００１０】したがって、十分に高精度の校正を行うに
は、校正時の測定対象となる位相板の回転角度位置の数
を増大させる必要がある。

【００１１】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されるものであって、複屈折測定器の校正のための手
間を増大させることなく、すなわち、校正による生産性
の低下を防止しつつ、校正時の測定対象となる位相板の
回転角度位置の数を増大させることができる複屈折測定
器校正装置及び複屈折測定器校正方法を提供しようとす
るものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る複屈折測定器校正装置は、被測定物と
なる透明材料中の複屈折量を測定する複屈折測定器にお
ける測定値の校正に用いる複屈折測定器校正装置であっ
て、複屈折量測定器に対して固定して設置される基台部
と、位相板と、基台部に対して回転可能に配設され位相
板を光軸回りに回転可能として支持する第１の回転部材
と、基台部及び第１の回転部材に対して回転可能となさ
れ該基台部に対する回転角度を表示する回転角度表示手
段を有する第２の回転部材とを備えて構成されている。

【００１３】そして、この複屈折測定器校正装置におい
ては、位相板を被測定物として設置し、複屈折測定器に
よる測定を行い、この測定結果に基づいて第１の回転部
材及び第２の回転部材間の回転角度位置の校正を行い、
次いで、該位相板の光軸回りの回転角度位置を少なくと
も４つの異なる角度位置として該複屈折測定器による測
定を行い、これら測定結果に基づいて該複屈折測定器の
校正を行うことを特徴とするものである。

【００１４】また、本発明に係る複屈折測定器校正方法
は、被測定物となる透明材料中の複屈折量を測定する複
屈折測定器における測定値の校正を行う複屈折測定器校
正方法であって、位相板を被測定物として複屈折測定器
による第１の測定を行い、この第１の測定の結果に基づ
いて位相板の回転角度位置についての校正を行い、位相
板の光軸回りの回転角度位置を少なくとも４つの異なる
角度位置として該複屈折測定器による第２の測定を行
い、これら第２の測定の結果に基づいて複屈折測定器の
校正を行うことを特徴とするものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。

【００１６】本発明に係る複屈折測定器校正装置を用い
て本発明に係る複屈折測定器校正方法によって校正を行
う複屈折測定器は、図１に示すように、円偏光状態の光
束を発する光源部１０１と、この光源部１０１から発せ
られ被測定物２０１を経た光束が入射される偏光ビーム
スプリッタ１０２と、この偏光ビームスプリッタ１０２
において反射された光束を受光する第１の光検出器１０
３と、該偏光ビームスプリッタ１０２を透過した光束を
受光する第２の光検出器１０４とを備えて構成され、被
測定物２０１である透明材料中の複屈折量を測定するも
のである。光源部１０１は、直線偏光状態の光束を発す
るレーザダイオード１０５と、このレーザダイオード１
０５より発せられた光束を円偏光状態に変換する（１／
４）波長板１０６とから構成されている。この（１／
４）波長板１０６は、レーザダイオード１０５より発せ
られた光束を円偏光状態とするように、光学軸の方向を
調整されている。

【００１７】この複屈折測定器においては、第１の光検
出器１０３の光検出出力Ａを第１のＩ／Ｖアンプ１０７
を介して演算器１０８に送るとともに、第２の光検出器
１０４の光検出出力Ｂを第２のＩ／Ｖアンプ１０９を介
して演算器１０８に送り、この演算器１０８において、
以下の演算を行うことによって、複屈折量ψを算出す
る。

【００１８】ψ＝sin^-1{（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）} そして、この複屈折測定器としては、図２に示すよう
に、光源部１０１より発せられ被測定２０１を透過した
光束を受光する透過型の装置と、図３に示すように、光
源部１０１より発せられ被測定２０１を透過し反射面に
よって反射されて再び被測定２０１を透過した光束を受
光する反射型の装置とがある。

【００１９】この複屈折測定器において被測定物２０１
となる透明材料としては、情報信号記録媒体となる光デ
ィスクのディスク基板が考えられる。すなわち、この複
屈折測定器は、光ディスクの作製においてディスク基板
の品質の良否を判定するために使用される。

【００２０】そして、本発明に係る複屈折測定器校正装
置は、図４に示すように、複屈折測定器において被測定
物として設置される位相板１を有して構成されている。
複屈折測定器においては、予め複屈折量が分かっている
位相板１について複屈折量の測定を行い、この測定結果
が既知の位相板１の複屈折量に一致するように、偏光ビ
ームスプリッタ１０２の取り付け角度等を調整すること
により、校正が行われる。この位相板１としては、例え
ば、（１／４）波長板や（１／１２）波長板を使用する
ことができる。

【００２１】複屈折測定器校正装置は、複屈折量測定器
に対して固定して設置される基台部２と、この基台部２
に対して回転可能に配設され位相板１を光軸回りに回転
可能として支持する第１の回転部材３とを備えている。
さらに、この複屈折測定器校正装置は、基台部２及び第
１の回転部材３に対して回転可能となされた第２の回転
部材４を備えて構成されている。

【００２２】すなわち、この複屈折測定器校正装置は、
基台部２に対して第２の回転部材４が回転可能に取り付
けられ、この第２の回転部材４の回転軸に同軸となされ
てこの第２の回転部材４に対して第１の回転部材３が回
転可能に取り付けられた構造となっている。第１の回転
部材３には、この第１の回転部材３と第２の回転部材４
との間の相対的な回転を阻止するためのロックピン５が
設けられている。このロックピン５は、第１及び第２の
回転部材３，４間の相対的な回転の阻止を解除すること
もできる。

【００２３】そして、これら第１及び第２の回転部材
３，４の回転軸上に位置して、位相板１が、該第１の回
転部材３に対して着脱可能に取り付けられている。

【００２４】透過型の複屈折測定器の校正に用いる複屈
折測定器校正装置においては、第１の回転部材がリング
状に形成され、位相板１を光束が透過することが可能と
なされており、また、反射型の複屈折測定器の校正に用
いる複屈折測定器校正装置においては、第１の回転部材
は、位相板１の少なくとも一面側を外方側に臨ませ、こ
の位相板１の他面側に反射ミラー６が配設されるように
なっている。

【００２５】基台部２には、固定用の孔２ａが設けられ
ている。この孔２ａは、光ディスクのディスク基板の複
屈折量を測定する複屈折測定器を校正するための複屈折
測定器校正装置においては、該複屈折測定器においてデ
ィスク基板を保持するための保持部材１１０によって保
持され得るように、該ディスク基板に設けられた中心孔
と同一の形状及び大きさを有して形成されている。

【００２６】そして、第２の回転部材４は、図５に示す
ように、基台部２に対する回転角度を表示する回転角度
表示手段となる角度目盛り７を有している。すなわち、
第１及び第２の回転部材３，４を相対的に停止させた状
態で、該第２の回転部材４を基台部１に対して回転さ
せ、このとき、基台部１上に設けられた指標と第２の回
転部材４に設けられた角度目盛り７とによって、該第２
の回転部材４の基台部１に対する回転角度位置を読み取
れば、この回転角度位置は、位相板１の基台部１に対す
る回転角度位置を示していることになる。

【００２７】なお、この複屈折測定器校正装置は、第１
の回転部材３を直接基台部２に対して回転可能に取り付
けることとし、この第１の回転部材３に対して回転可能
に角度目盛板を取り付けて基台部１上に指標を設ける構
成としてもよく、また、第１の回転部材３に対して回転
可能に指標を取り付けて基台部１上に角度目盛りを設け
る構成としてもよい。

【００２８】この複屈折測定器校正装置を用いて複屈折
測定器の校正を行うには、基台部２を複屈折測定器に装
着して位相板１を被測定物として設置し、複屈折測定器
による第１の測定を行い、まず、この第１の測定の測定
結果に基づいて第１の回転部材３及び第２の回転部材４
間の回転角度位置の校正を行う。このときは、ロックピ
ン５による第１及び第２の回転部材３，４間の相対的な
回転の阻止を解除させておく。

【００２９】これら第１及び第２の回転部材３，４間の
回転角度位置の校正は、位相板１の光軸回りの回転角度
位置のうち、第１の光検出器１０３の光検出出力Ａが極
小、かつ、第２の光検出器１０４の光検出出力Ｂが極大
となった位置を０°位置と定義し、該第１の光検出器１
０３の光検出出力Ａが極大、かつ、該第２の光検出器１
０４の光検出出力Ｂが極小となった位置を９０°位置と
定義することによって行う。

【００３０】すなわち、位相板１を支持する第１の回転
部材３を基台部２に対して回転させて第１の光検出器１
０３の光検出出力Ａが極小となり第２の光検出器１０４
の光検出出力Ｂが極大となる回転角度位置を探し、次
に、第１の回転部材３を基台部２に対して停止させた状
態で第２の回転部材のみを回転させて、角度目盛りが０
°を示す状態とする。同様に、位相板１を支持する第１
の回転部材３を基台部２に対して回転させて第１の光検
出器１０３の光検出出力Ａが極大となり第２の光検出器
１０４の光検出出力Ｂが極小となる回転角度位置を探
し、次に、第１の回転部材３を基台部２に対して停止さ
せた状態で第２の回転部材のみを回転させて、角度目盛
りが９０°を示す状態とする。

【００３１】そして、ロックピン５により、第１及び第
２の回転部材３，４間の相対的な回転を阻止する。

【００３２】次に、位相板１の光軸回りの回転角度位置
を少なくとも４つの異なる角度位置として、複屈折測定
器による第２の測定を行い、これら第２の測定の測定結
果に基づいて、該複屈折測定器の校正を行う。ここで、
位相板１の光軸回りの回転角度位置を異なる角度位置に
するときには、第１及び第２の回転部材３，４をロック
ピン５により相対的に固定した状態で、これら各回転部
材３，４を基台部２に対して回転させる。

【００３３】この第２の測定は、位相板１の回転角度位
置を、例えば、図６に示すように、１０°間隔で、０°
乃至１８０°（±９０°）とし、順次測定する。さら
に、４５°位置及びこの倍数の角度位置について加え、
全部で２１の角度位置についての第２の測定を行えば、
校正のための情報としては略々十分といえる。すなわ
ち、第２の測定を行う位相板１の角度位置としては、０
°、１０°、２０°、３０°、４０°、４５°、５０
°、６０°、７０°、８０°、９０°、１００°、１１
０°、１２０°、１３０°、１３５°、１４０°、１５
０°、１６０°、１７０°、１８０°となる。

【００３４】そして、位相板１の各角度位置における複
屈折量の理論値（計算値）と、測定によって得られた複
屈折量の値とを比較し、図７に示すように、これらが一
致するように、偏光ビームスプリッタ１０２の取り付け
角度等を調整する校正を行う。

【００３５】ここで行う第２の測定の原理について説明
する。複屈折測定器において偏光ビームスプリッタ１０
２に入射する光束は、被測定物内での複屈折が存在しな
い場合には、円偏光状態である。この場合には、偏光ビ
ームスプリッタ１０２は入射光束を２方向に等しい光量
で分離させるので、第１及び第２の光検出器１０３，１
０４からの光検出出力は、互いに等しい。

【００３６】そして、被測定物内に複屈折が存在する場
合には、偏光ビームスプリッタ１０２に入射する光束
は、楕円偏光状態となる。この場合には、第１及び第２
の光検出器１０３，１０４からの光検出出力は、互いに
異なるレベルとなる。

【００３７】ここで、被測定物における常光軸と異常光
軸とが、光源部１０１の（１／４）波長板１０６のそれ
ぞれの軸に対してθだけずれているとする。また、被測
定物における常光軸と異常光軸との位相差をψとする。
この被測定物に入射される光束は、常光軸と異常光軸と
に分離して考えた場合、振幅が等しく９０°の位相差を
有していることになる。そして、この光束は、被測定物
を透過することにより、該被測定物の常光軸方向の成分
は、以下に示すようになる。

【００３８】 sinωｔcosθ−cosωｔsinθ＝sin（ωｔ−θ） また、被測定物の異常光軸方向の成分は、以下に示すよ
うになる。

【００３９】 sinωｔsinθ＋cosωｔcosθ＝cos（ωｔ−θ） これらの成分の位相差がψであるので、被測定物を透過
した光束を該被測定物の常光軸及び異常光軸のそれぞれ
の方向について示すと、以下のようになる。

【００４０】sin（ωｔ−θ），cos（ωｔ−θ＋ψ） 被測定物を透過して偏光ビームスプリッタ１０２に入射
した光束は、光源部１０１の（１／４）波長板１０６の
常光軸及び異常光軸の偏光面の成分に分離される。ここ
で、（１／４）波長板１０６の異常光軸方向の成分をＡ
とすると、以下の式（１）のように示される。

【００４１】 Ａ＝cos（ωｔ−θ＋ψ）cosθ−sin（ωｔ−θ）sinθ ＝cosωｔcos²θcosψ＋cosωｔsinθcosθsinψ＋sinωｔsinθcosθcosψ −sinωｔcos²θsinψ−sinωｔsinθcosθ＋cosωｔsin²θ・・・式（１） ここで、sinθ＝ａ、cosθ＝ｂと置くと、以下のように
示される。

【００４２】Ａ＝ｂ²cosψcosωｔ＋ａｂsinψcosωｔ
＋ａｂcosψsinωｔ−ｂ²sinψsinωｔ−ａｂsinωｔ＋
ａ²cosωｔ また、（１／４）波長板１０６の常光軸方向の成分をＢ
とすると、以下の式（２）のように示される。

【００４３】 Ｂ＝cos（ωｔ−θ＋ψ）sinθ＋sin（ωｔ−θ）cosθ ＝cosωｔsinθcosθcosψ＋cosωｔsin²θsinψ＋sinωｔsin²θcosψ−sinω ｔsinθcosθsinψ＋sinωｔcos²θ−cosωｔsinθcosθ ＝ａｂcosψcosωｔ＋ａ²sinψcosωｔ＋ａ²cosψsinωｔ−ａｂsinψsinωｔ＋ ｂ²sinωｔ−ａｂcosωｔ・・・式（２） さらに、これら式（１）、式（２）を整理すると、以下
の式（３）、式（４）が得られる。

【００４４】式（３）

【００４５】

【数１】

【００４６】∵ｍ＝ｂ²cosψ＋ａｂsinψ＋ａ² ∵ｎ＝ａｂcosψ−ｂ²sinψ−ａｂ ∵φ₁＝tan^-1（ｍ／ｎ） 式（４）

【００４７】

【数２】

【００４８】∵ｕ＝ａｂcosψ＋ａ²sinψ−ａｂ ∵ｖ＝ａ²cosψ−ａｂsinψ＋ｂ² ∵φ₂＝tan^-1（ｕ／ｖ） Ａ、Ｂの振幅｜Ａ｜、｜Ｂ｜は、式（３）、式（４）よ
り、それぞれ以下の式（５）、式（６）で示される。

【００４９】 ｜Ｂ｜²＝ｕ²＋ｖ²＝（ａｂcosψ＋ａ²sinψ−ａｂ）²＋（ａ²cosψ−ａｂsin ψ＋ｂ²）² ＝ａ⁴（sin²ψ＋cos²ψ）−２ａ³ｂsinψ＋ａ²ｂ²（sin²ψ＋cos²ψ＋１）−２ ａｂ³sinψ＋ｂ⁴ ＝ａ⁴−２ａ³ｂsinψ−２ａｂ³sinψ＋ｂ⁴＋２ａ²ｂ² ＝（ａ²＋ｂ²）²−２ａｂsinψ（ａ²＋ｂ²） ＝１−２ａｂsinψ ＝１−２sinθcosθsinψ ＝１−sin２θsinψ・・・式（５） ∵ａ²＋ｂ²＝sin²θ＋cos²θ＝１ ｜Ａ｜²＝ｍ²＋ｎ²＝（ｂ²cosψ＋ａｂsinψ＋ａ²）²＋（ａｂcosψ−ｂ²sin ψ−ａｂ）² ＝ｂ⁴（cos²ψ＋sin²ψ）＋２ａｂ³sinψ＋ａ²ｂ²（sin²ψ＋cos²ψ＋１）＋２ ａ³ｂsinψ＋ａ⁴ ＝ｂ⁴＋２ａｂ³sinψ＋２ａ²ｂ²＋２ａ³ｂsinψ＋ａ⁴ ＝（ａ²＋ｂ²）²＋２ａｂsinψ（ａ²＋ｂ²） ＝１＋２ａｂsinψ ＝１＋２sinθcosθsinψ ＝１＋sin２θsinψ・・・式（６） 各光検出１０３，１０４から出力される光検出出力Ａ，
Ｂは、光源が発する光束の光出力に比例しているが、こ
れは振幅の２乗に比例するので、式（５）、式（６）
は、以下の式（７）、式（８）で表される。

【００５０】Ａ＝１＋sin２θsinψ・・・式（７） Ｂ＝１−sin２θsinψ・・・式（８） これら式（７）、式（８）の左右辺をそれぞれ割ると、
以下の式（９）が得られる。

【００５１】 Ａ／Ｂ＝（１＋sin２θsinψ）／（１−sin２θsinψ）・・・式（９） ところで、光ディスクのディスク基板においては、常光
軸及び異常光軸の方向は、成型時の分子の広がり方向に
存在していることが知られている。すなわち、光ディス
クにおいては、常光軸及び異常光軸は、記録トラックの
接線方向及び法線方向に存在しているので、複屈折測定
器の構造より、θは４５°となる。したがって、式
（９）は、以下の式（１０）となる。

【００５２】 Ａ／Ｂ＝（１＋sinψ）／（１−sinψ）・・・式（１０） これをψについて解くと、以下の式（１１）が得られ
る。

【００５３】sinψ＝（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ） ψ＝sin^-1（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）・・・式（１１） この式（１１）より、Ａ，Ｂの電圧がわかれば、ディス
ク基板における複屈折量がわかる。

【００５４】

【発明の効果】上述のように、本発明に係る複屈折測定
器校正方法においては、位相板を被測定物として複屈折
測定器による第１の測定を行い、この第１の測定の結果
に基づいて位相板の回転角度位置についての校正を行
い、位相板の光軸回りの回転角度位置を少なくとも４つ
の異なる角度位置として該複屈折測定器による第２の測
定を行い、これら第２の測定の結果に基づいて複屈折測
定器の校正を行う。

【００５５】そして、上記本発明に係る複屈折測定器校
正方法を実施するための本発明に係る複屈折測定器校正
装置は、複屈折量測定器に対して固定して設置される基
台部と、位相板と、基台部に対して回転可能に配設され
位相板を光軸回りに回転可能として支持する第１の回転
部材と、基台部及び第１の回転部材に対して回転可能と
なされ該基台部に対する回転角度を表示する回転角度表
示手段を有する第２の回転部材とを備えて構成されてい
る。

【００５６】この複屈折測定器校正装置においては、第
１及び第２の回転部材を相対回転させることにより、位
相板の回転角度位置についての校正が行え、第１及び第
２の回転部材を一体的に基台部に対して回転させること
により、位相板の光軸回りの回転角度位置を異なる角度
位置とすることができる。

【００５７】すなわち、本発明は、複屈折測定器の校正
のための手間を増大させることなく、校正による生産性
の低下を防止しつつ、校正時の測定対象となる位相板の
回転角度位置の数を増大させることができる複屈折測定
器校正装置及び複屈折測定器校正方法を提供することが
できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る複屈折測定器校正装置を用いて校
正をなされる複屈折測定器の構成を示す側面図である。

【図２】上記複屈折測定器校正装置であって透過型の複
屈折測定器について使用されるものの構成を示す側面図
である。

【図３】上記複屈折測定器校正装置であって反射型の複
屈折測定器について使用されるものの構成を示す側面図
である。

【図４】複屈折測定器に装着された状態の上記複屈折測
定器校正装置の構成を示す縦断面図である。

【図５】上記複屈折測定器校正装置の構成を示す平面図
である。

【図６】上記複屈折測定器校正装置を用いて複屈折測定
器の校正をする際に得られる測定値を示すグラフであ
る。

【図７】上記複屈折測定器校正装置を用いて複屈折測定
器の校正をした後に得られる測定値を示すグラフであ
る。

【符号の説明】

１ 位相板、２ 基台部、３ 第１の回転部材、４ 第
２の回転部材、５ ロックピン、６ 反射ミラー、７
角度目盛り、１０１ 光源部、１０２ 偏光ビームスプ
リッタ、１０３ 第１の光検出器、１０４ 第２の光検
出器

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物となる透明材料中の複屈折量を
   測定する複屈折測定器における測定値の校正に用いる複
   屈折測定器校正装置であって、 上記複屈折量測定器に対して固定して設置される基台部
   と、 位相板と、 上記基台部に対して回転可能に配設され、上記位相板を
   光軸回りに回転可能として支持する第１の回転部材と、 上記基台部及び上記第１の回転部材に対して回転可能と
   なされ、該基台部に対する回転角度を表示する回転角度
   表示手段を有する第２の回転部材とを備え、 上記位相板を被測定物として設置し、上記複屈折測定器
   による測定を行い、この測定結果に基づいて上記第１の
   回転部材及び上記第２の回転部材間の回転角度位置の校
   正を行い、次いで、該位相板の光軸回りの回転角度位置
   を少なくとも４つの異なる角度位置として該複屈折測定
   器による測定を行い、これら測定結果に基づいて該複屈
   折測定器の校正を行うことを特徴とする複屈折測定器校
   正装置。
2. 【請求項２】 複屈折測定器は、円偏光状態の光束を発
   する光源部と、この光源部から発せられ被測定物を経た
   光束が入射される偏光ビームスプリッタと、この偏光ビ
   ームスプリッタにおいて反射された光束を受光する第１
   の光検出器と、該偏光ビームスプリッタを透過した光束
   を受光する第２の光検出器とを備えて構成されており、 第１の回転部材及び第２の回転部材間の回転角度位置の
   校正は、位相板の光軸回りの回転角度位置のうち、上記
   第１の光検出器の光検出出力が極小、かつ、上記第２の
   光検出器の光検出出力が極大となった位置を０°位置と
   定義し、該第１の光検出器の光検出出力が極大、かつ、
   該第２の光検出器の光検出出力が極小となった位置を９
   ０°位置と定義することによって行い、 上記位相板の光軸回りの回転角度位置を異なる角度位置
   にするときには、第１の回転部材及び第２の回転部材を
   相対的に固定した状態で、これら各回転部材を基台部に
   対して回転させることを特徴とする請求項１記載の複屈
   折測定器校正装置。
3. 【請求項３】 被測定物となる透明材料中の複屈折量を
   測定する複屈折測定器における測定値の校正を行う複屈
   折測定器校正方法であって、 位相板を被測定物として複屈折測定器による第１の測定
   を行い、 この第１の測定の結果に基づいて上記位相板の回転角度
   位置についての校正を行い、 上記位相板の光軸回りの回転角度位置を少なくとも４つ
   の異なる角度位置として該複屈折測定器による第２の測
   定を行い、 これら第２の測定の結果に基づいて上記複屈折測定器の
   校正を行うことを特徴とする複屈折測定器校正方法。
4. 【請求項４】 複屈折測定器は、円偏光状態の光束を発
   する光源部と、この光源部から発せられ被測定物を経た
   光束が入射される偏光ビームスプリッタと、この偏光ビ
   ームスプリッタにおいて反射された光束を受光する第１
   の光検出器と、該偏光ビームスプリッタを透過した光束
   を受光する第２の光検出器とを備えて構成されており、 位相板の回転角度位置についての校正は、この位相板の
   光軸回りの回転角度位置のうち、上記第１の光検出器の
   光検出出力が極小、かつ、上記第２の光検出器の光検出
   出力が極大となった位置を０°位置と定義し、該第１の
   光検出器の光検出出力が極大、かつ、該第２の光検出器
   の光検出出力が極小となった位置を９０°位置と定義す
   ることによって行うことを特徴とする請求項３記載の複
   屈折測定器校正方法。