JP2002071236A - 蓄冷式冷凍機 - Google Patents

蓄冷式冷凍機

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JP2002071236A JP2000254445A JP2000254445A JP2002071236A JP 2002071236 A JP2002071236 A JP 2002071236A JP 2000254445 A JP2000254445 A JP 2000254445A JP 2000254445 A JP2000254445 A JP 2000254445A JP 2002071236 A JP2002071236 A JP 2002071236A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 蓄冷式冷凍機の多段化に伴い発生する不具
合、例えば構成の複雑化に起因する設計時間の増大、装
置全体が大型化することによるスペース的な問題、コス
ト的な問題を解消し、効率的に吸熱を得ること。 【解決手段】 2段型パルス管冷凍機の冷凍発生部10
1において、2段目蓄冷器120の低温端120Lと高
温端120Hとの間に中間熱交換器(内側中間熱交換器
125及び外側中間熱交換器127)を介在させる。作
動ガスの非理想性に起因して、低温端120Lで吸熱で
きない熱損失分を、中間熱交換器から吸熱することによ
り、2段目熱交換器144での吸熱、1段目熱交換器1
34での吸熱に加え、中間熱交換器からも効率的に吸熱
を得ることができる。また、この中間熱交換器で吸熱し
ても、2段目熱交換器144での吸熱量に影響を与えな
い。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、蓄冷式冷凍機に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】蓄冷器内で作動ガスを往復動させて熱輸
送することにより寒冷を発生する蓄冷式冷凍機として
は、パルス管冷凍機、GM冷凍機、スターリング冷凍機
等が知られている。このような蓄冷式冷凍機は、一般的
に、低温端及び高温端を備える蓄冷器を用い、作動ガス
が該蓄冷器を往復する際に低温端側から高温端側に熱を
汲み上げることにより、蓄冷器の低温端側で寒冷を発生
する。従って、蓄冷器の低温端部分で発生する寒冷を被
冷却体に熱的に結合して、被冷却体を冷却する。
【0003】通常の蓄冷式冷凍機において、必要とされ
る寒冷が比較的高温でかつ1つである場合には、1段型
の蓄冷式冷凍機で十分だが、必要とされる寒冷が液体ヘ
リウム温度域程度の極低温であったり、冷却箇所が2以
上ある場合には、2段型の蓄冷式冷凍機を用いる。例え
ば、液体窒素温度域(77K程度)の寒冷が必要な1つ
の冷却対象物に利用される蓄冷式冷凍機は、通常1段型
の蓄冷式冷凍機を用い、蓄冷器の低温端部分で得られる
77K程度の寒冷を上記冷却対象物に熱的に結合してお
けば良い。一方、液体ヘリウム温度域(4.2K程度)
の寒冷が必要な冷却対象物に蓄冷式冷凍機を利用しよう
とする場合には、その冷却対象物の外周を取り巻くよう
に液体窒素槽又は第1輻射熱シールド板を設け、冷却対
象物への輻射熱を減ずる手段が採られる。従って、この
ような液体ヘリウム温度域に蓄冷式冷凍機を利用するた
めには、冷却対象物への4K程度の寒冷と、液体窒素槽
又は第1輻射熱シールド板への77K程度の寒冷が必要
である。この場合、通常は2段型蓄冷式冷凍機を用い、
1段目の蓄冷器低温端部分で得られる77K程度の寒冷
を液体窒素槽又は第1輻射熱シールド板に熱的結合し、
2段目蓄冷器低温端部分で得られる約4K程度の寒冷を
冷却対象物に熱的に結合する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来に
おいては、温度レベルの異なる冷凍が必要な箇所が複数
あると、それに見合った数の蓄冷器を段積みした多段型
蓄冷式冷凍機が採用される。しかしながら、多段化の数
が増えるにつれて、その構成が複雑化し、設計に時間を
要するとともに、装置全体も大型化し、スペース的にも
不利となる。さらに、多段化することで当然コストも増
大し、経済的にも好ましくない。
【0005】例えば、上記従来技術で示したような、液
体ヘリウム温度域の寒冷が必要な冷却対象物に蓄冷式冷
凍機を利用する場合、通常は上記したように2段型蓄冷
式冷凍機を用い、1段目蓄冷器の低温端部分を冷却対象
物に、2段目蓄冷器の低温端部分を液体窒素槽又は第1
輻射熱シールド板に、それぞれ熱的結合させるが、この
ようにしても依然として冷却対象物への熱侵入が著しい
場合は、冷却対象物と液体窒素槽又は第1輻射熱シール
ド板との間に約20K程度の温度を持つ第2輻射熱シー
ルド板を設け、外部からの輻射熱を完全に遮断する必要
がある。この場合には、通常は3段型蓄冷式冷凍機を用
い、1段目の蓄冷器低温端部分で得られる77K程度の
寒冷を液体窒素槽又は第1輻射熱シールド板に熱的結合
し、2段目の蓄冷器低温端部分で得られる約20K程度
の寒冷を第2輻射熱シールド板に熱的結合し、3段目の
蓄冷器低温端部分で得られる約4K程度の寒冷を冷却対
象物に熱的結合する。
【0006】しかしながら、3段型蓄冷式冷凍機は、2
段型蓄冷式冷凍機に比べて構成がはるかに複雑となり、
設計に要するリードタイムが長くなる。また、3段型蓄
冷式冷凍機はその構成の複雑さから必然的に全体的な装
置構成が大型化し、スペース的にも不利である。さら
に、3段型蓄冷式冷凍機は2段型蓄冷式冷凍機に比べて
コストの面でも不利である。
【0007】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であり、蓄冷式冷凍機において、多段化に伴う上記不具
合を解消することを技術的課題とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るためになされた請求項1の発明は、低温端及び高温端
を備える蓄冷器を用い、作動ガスが該蓄冷器を往復する
際に前記低温端側から前記高温端側へ熱を汲み上げるこ
とにより寒冷を発生する蓄冷式冷凍機において、前記蓄
冷器の低温端における作動ガスの非理想性が顕著に現れ
るとき、前記低温端と前記高温端との間の1箇所又は異
なった2箇所以上に中間熱交換器を介在させて、作動ガ
スの非理想性に起因する熱損失分(エンタルピー損失
分)を前記中間熱交換器から吸熱させることを特徴とす
る蓄冷式冷凍機とすることである。
【0009】上記請求項1の発明によれば、蓄冷式冷凍
機に使用する蓄冷器において、その低温端における作動
ガスの非理想性が顕著に現れている場合には、蓄冷器の
低温端と高温端との間に中間熱交換器を介在させ、作動
ガスの非理想性に起因する熱損失分を熱交換器から吸熱
させる。
【0010】従って、蓄冷器の低温端以外に、低温端と
高温端との間に介在した中間熱交換器からも吸熱が行わ
れ、この部分で発生する寒冷を効率的に被冷却体に提供
することができるので、1つの蓄冷器で2箇所以上の寒
冷取出し部分を提供することができ、蓄冷式冷凍機を多
段化せずとも複数の冷凍箇所を持つ被冷却体を冷却する
ことができる。このため、多段化に伴う上記不具合を解
消することができる。
【0011】また、請求項2の発明は、請求項1におい
て、前記蓄冷器の低温端における作動ガスの非理想性が
顕著に現れるときは、前記蓄冷器の低温端における作動
ガスの温度をT、体積をV、圧力をPとしたとき、|1
−T(∂V/∂T)/V|>0.01であることを特
徴としている。
【0012】気体が理想気体として近似できる場合、理
想気体の状態方程式から、1−T(∂V/∂T)/V
=0が成り立つ。これに対し、|1−T(∂V/∂T)
/V|>0.01となると、気体の非理想性が現れ
る。これは、実在気体の状態方程式を例えばビリアル方
程式で近似した場合、ビリアル係数が無視できないほど
大きくなっている状態である。このような状態、即ち気
体の非理想性が概ね1%以上現れる場合には、本発明を
適用したときの効果が大きい。
【0013】また、上記技術的課題を解決するためにな
された請求項3の発明は、低温端及び高温端を備える蓄
冷器を用い、作動ガスが該蓄冷器を往復する際に前記低
温端側から前記高温端側へ熱を汲み出すことにより寒冷
を発生する蓄冷式冷凍機において、前記蓄冷器は、低温
端及び高温端を備える1段目蓄冷器と、低温端及び前記
1段目蓄冷器の低温端と熱的に結合した高温端を備える
2段目蓄冷器を有し、該2段目蓄冷器の低温端と高温端
との間に中間熱交換器を介在させてなることを特徴とす
る蓄冷式冷凍機とすることである。
【0014】上記請求項3の発明によれば、蓄冷式冷凍
機を2段型蓄冷式冷凍機とし、2段目蓄冷器の低温端と
高温端との間に中間熱交換器を介在させる。
【0015】2段型蓄冷式冷凍機を使用した場合、2段
目蓄冷器の低温端においては極めて低い寒冷を得ること
ができる。例えば、作動ガスとしてヘリウムを用いれ
ば、2段目蓄冷器の低温端では約4K程度の寒冷を得る
こともできる。この程度の温度領域となると、作動ガス
は顕著に非理想性を示す。従って、作動ガスの非理想性
が顕著に現れる2段目蓄冷器の低温端と高温端との間に
中間熱交換器を介在し、この中間熱交換器から吸熱を行
うことにより、2段型蓄冷式冷凍機において3箇所の寒
冷取出し部分、即ち、1段目蓄冷器の低温端での寒冷取
出し部分、中間熱交換器での寒冷取出し部分、2段目蓄
冷器の低温端での寒冷取出し部分を効率的に得ることが
できる。このため、蓄冷式冷凍機を3段にせずとも3つ
の冷凍箇所を持つ被冷却体を冷却することができ、3段
化に伴う不具合を解消することができる。
【0016】また、請求項4の発明は、請求項3の発明
において、前記蓄冷式冷凍機に使用する作動ガスはヘリ
ウムガスであり、前記2段目蓄冷器の低温端における温
度は2〜10Kであることを特徴としている。
【0017】作動ガスとしてヘリウムガスを使用し、2
段目蓄冷器の低温端における温度を2〜10K程度とな
るように蓄冷式冷凍機を運転すれば、作動ガスは2段目
蓄冷器において顕著に非理想性を示す。従って、このよ
うな場合に、2段目蓄冷器の低温端と高温端との間に中
間熱交換器を介在させれば、2段目蓄冷器の高温端の温
度(例えば60K)と低温端の温度(例えば4K)との
間の領域の温度、例えば、10〜20K程度の温度領域
において、寒冷を効率的に取出すことができる。
【0018】また、請求項5の発明は、請求項3又は4
において、前記中間熱交換器は、前記2段目蓄冷器の内
部に配設される内側中間熱交換器と、前記2段目蓄冷器
の外周に配設される外側中間熱交換器とを備えて構成さ
れ、前記内側中間熱交換器と前記外側中間熱交換器とは
略対面した位置関係で各々配設されることを特徴として
いる。
【0019】上記請求項5の発明によれば、中間熱交換
器を内側中間熱交換器と外側中間熱交換器とに分け、内
側中間熱交換器を2段目蓄冷器の内部に配設し、外側中
間熱交換器を2段目蓄冷器の外周に配設している。従っ
て、2段目蓄冷器内部で発生する寒冷はまず内側中間熱
交換器に受け渡され、次いで外側中間熱交換器に受け渡
される。そして、この外側中間熱交換器に被冷却体を当
接させて、被冷却体を冷却する。このように、蓄冷器の
中間部分から寒冷の取出しが簡単に可能となる。
【0020】また、請求項6の発明は、請求項3〜5の
いずれか1項において、前記蓄冷式冷凍機の冷却対象物
は、液体ヘリウム温度域での冷却が必要な主冷却対象物
と、該主冷却対象物の回りに配設された第2輻射熱シー
ルド板と、該第2輻射熱シールド板の回りに配設された
液体窒素槽又は第1輻射熱シールド板とを具備する冷却
系であり、前記2段目蓄冷器の低温端で発生する寒冷は
前記主冷却対象物の冷却に利用され、前記1段目蓄冷器
の低温端で発生する寒冷は前記液体窒素槽又は前記第1
輻射熱シールド板の冷却に利用され、前記中間熱交換器
で発生する寒冷は前記第2輻射熱シールド板の冷却に利
用されることを特徴としている。
【0021】上記請求項6の発明によれば、冷却対象物
が、液体ヘリウム温度域での冷却が必要な主冷却対象物
と、主冷却対象物の回りに配設された第2輻射熱シール
ド板と、第2輻射熱シールド板の回りに配設された液体
窒素槽又は第1輻射熱シールド板とを具備する冷却系で
ある場合に、主冷却対象物を2段目蓄冷器の低温端で発
生する寒冷で冷却し、液体窒素槽又は第2輻射熱シール
ド板を1段目蓄冷器の低温端で発生する寒冷で冷却し、
第2輻射熱シールド板を中間熱交換器で発生する寒冷で
冷却する。このため、上記3つの冷却箇所をもつ冷却系
を、本発明を適用した2段型蓄冷式冷凍機で冷却するこ
とが可能となり、この種の冷却系を持つ装置、例えばM
RI用超伝導磁石装置を効率的に冷却することができ
る。
【0022】上記主冷却対象物とは、液体ヘリウム温度
域での冷却が必要な物であれば、その目的や態様は問わ
ない。電子素子等の本来液体ヘリウム温度域で機能する
部品は、過去においては液体ヘリウム中に浸漬されて使
用されていた。従って、このような場合には、主冷却対
象物は、液体ヘリウム又は液体ヘリウム槽となり、その
目的は液体ヘリウムの蒸発防止である。ところが、近年
の冷凍技術の進歩によって、冷凍機の寒冷発生部分で
も、液体ヘリウム温度域で所定の出力を得ることができ
るようになってきたので、上記電子素子等を直接冷凍機
に熱的結合させて(即ち液体ヘリウムを用いることなし
に)機能させることもできるようになってきた。従っ
て、このような場合には、主冷却対象物は、上記電子素
子等であり、その目的は上記電子素子等の冷却である。
このように、本明細書における「主冷却対象物」とは、
その目的や態様を問わず、適用する冷却系の構成により
適宜定められるものである。
【0023】また、請求項7の発明は、請求項1〜6の
いずれか1項において、前記蓄冷式冷凍機はパルス管冷
凍機であることを特徴としている。パルス管冷凍機とし
て本発明を適用することにより、冷却対象物へ与える振
動の低減、低温部分のメンテナンスフリーの実現、磁場
中での冷凍機運転の容易化を図ることができる。
【0024】また、請求項8の発明は、請求項1〜6の
いずれか1項において、前記蓄冷式冷凍機はGM冷凍機
又はスターリング冷凍機であることを特徴としている。
GM冷凍機又はスターリング冷凍機として本発明を適用
することにより、高効率及び高信頼性を確保することが
できる。
【0025】
【発明の実施の形態】まず、本発明の原理について説明
する。
【0026】蓄冷式冷凍機に使用する作動ガスが理想気
体として近似でき、かつ蓄冷器の再生作用が完全な場
合、蓄冷器の高温端から低温端に向かうエンタルピー流
はほぼ0とみなせ、蓄冷器の低温端で作動ガスの行うP
V図示仕事に対してほぼ等しい熱量(吸熱量)が該低温
端で吸収される。例えば図1に示す蓄冷器10を考えて
みる。図1において、蓄冷器10は、低温端10L及び
高温端10Hを備え、それぞれの端部に低温端熱交換器
11L及び高温端熱交換器11Hが取り付けられてい
る。また、作動ガスはヘリウムガス、作動ガスの変動圧
力範囲は0.7MPa〜2.0MPa、蓄冷器低温端1
0Lでの温度が60K、蓄冷器高温端10Hでの温度が
300Kとすると、蓄冷器10の低温端10Lから高温
端10Hまでの全域にかけて作動ガスの理想性が維持さ
れる。つまり、作動ガスは近似的に理想気体とみなせ、
1−T(∂V/∂T)/V=0が成り立つ。この場
合、蓄冷器の再生作用が完全であるとすると、蓄冷器1
0の高温端10Hから低温端10Lに向かうエンタルピ
ー流は発生せず、低温端10Lにおける作動ガスのPV
図示仕事と同量の熱量が、低温端10Lに取り付けられ
た低温端熱交換器11Lから吸熱される。例えば、低温
端10Lにおける作動ガスのPV図示仕事が40Wであ
る場合、低温端熱交換器11Lでの吸熱量も40Wであ
る。
【0027】次に、図2に示す蓄冷器20を考えてみ
る。図2において、蓄冷器20の基本構成及び作動ガス
の種類及び変動圧力は、図1の蓄冷器10の場合と同一
である。即ち、蓄冷器20は、低温端20L及び高温端
20Hを備え、それぞれの端部に低温端熱交換器21L
及び高温端熱交換器21Hが取り付けられている。作動
ガスはヘリウム、作動ガスの変動圧力範囲は、0.7M
Pa〜2.0MPaである。ただし、蓄冷器低温端20
Lでの温度は4.2K、蓄冷器高温端20Hでの温度は
60Kであるところが、図1の蓄冷器10とは異なる。
この場合、蓄冷器低温端20L付近では作動ガスは非理
想性が顕著に現れ、|1−T(∂V/∂T)/V|>
0.01となる。このような状態であると、蓄冷器20
の再生作用が完全であっても、蓄冷器20の高温端20
Hから低温端20Lに向かうエンタルピー流が発生し、
低温端20Lにおける作動ガスの行うPV図示仕事に対
してそれに見合う熱量を低温端熱交換器21Lから吸収
しないことになる。例えば、低温端20Lにおける作動
ガスのPV図示仕事が10Wである場合、低温端20L
での吸熱量は2W程度となる。このように、作動ガスの
PV図示仕事が吸熱量と一致せず、そこで差が生じる
と、エネルギー収支上、この差分をどこかで補わなけれ
ばならないが、蓄冷器20の側面20aが断熱的な材質
で形成されている場合或いは蓄冷器20が断熱的な環境
に配置されているような場合には、この差分(8W)は
蓄冷器20の高温端20Hに取り付けられた高温端熱交
換器21Hから吸熱せざるを得ない。
【0028】これに対し、本発明に従った蓄冷器30を
図3に示す。この蓄冷器30は、低温端30L及び高温
端30Hを備え、それぞれの端部に低温端熱交換器31
L及び高温端熱交換器31Hが取り付けられている。そ
して、蓄冷器低温端30Lと蓄冷器高温端30Hとの間
に中間熱交換器50が介在している。作動ガスの種類、
変動圧力、端部での温度は図2の蓄冷器20の場合と同
一である。即ち、作動ガスはヘリウムガス、変動圧力は
0.7MPa〜2.0MPa、蓄冷器低温端30Lでの
温度は4.2K、蓄冷器高温端30Hでの温度は60K
である。この場合、図2の蓄冷器20と同様、蓄冷器低
温端30L付近では作動ガスは非理想性が顕著に現れ、
|1−T(∂V/∂T)/V|>0.01となる。こ
のような状態であると、蓄冷器30の再生作用が完全で
あっても、蓄冷器30の高温端30Hから低温端30L
に向かうエンタルピー流が発生し、低温端30Lにおけ
る作動ガスの行うPV図示仕事に対してそれと同量の熱
量を低温端熱交換器31Lから吸収することができな
い。例えば、低温端30Lにおける作動ガスのPV図示
仕事が10Wである場合、低温端30Lでの吸熱量は2
W程度となる。ところが、図2の場合と異なり、図3の
蓄冷器30では、低温端30Lと高温端30Hとの間の
部分に中間熱交換器50が介在している。従って、低温
端30Lにおける作動ガスのPV図示仕事と低温端熱交
換器31Lでの吸熱量との差分(8W)の一部は、この
中間熱交換器50でも吸熱される。どの程度の吸熱が可
能かは、その温度、圧力での作動ガスの非理想性によ
る。中間熱交換器50は、上述したように低温端と高温
端との間に介在されているので、その温度も低温端での
温度(4.2K)と高温端での温度(60K)との間の
温度である。例えばこの部分の温度を10〜20Kの温
度とし、この温度域及び圧力で作動ガスが近似的に理想
気体とみなせる場合には、この熱交換器の部分で10〜
20Kの低温が8Wの出力で取出せることになる。この
温度域及び圧力で作動ガスが非理想的である場合には、
その非理想性の影響を受けるので、熱交換器の部分で1
0〜20Kの低温が例えば6Wの出力で取出せることに
なる。
【0029】図2に示す蓄冷器20と図3に示す蓄冷器
30とを比較すると、図2に示す蓄冷器20は、作動ガ
スの非理想性に起因して低温端20Lで吸熱することが
できないエンタルピー分を高温端20H側からの吸熱で
補わざるを得ないのに対し、図3に示す蓄冷器30は、
作動ガスの非理想性に起因して低温端30Lで吸熱する
ことができないエンタルピー分を、高温端30Hと低温
端30Lとの間に介在した中間熱交換器50からの吸熱
で補うことができ、この中間熱交換器50の部分での吸
熱を、低温端30Lとは別の寒冷発生部分として利用す
ることができる。
【0030】一方、図4に示す蓄冷器40を考える。こ
の蓄冷器40は、図1に示す蓄冷器10の構成に加え、
低温端40Lと高温端40Hとの間に中間熱交換器51
を介在させたものである。また、作動ガスの種類、変動
圧力、低温端及び高温端での温度は図1の場合と同じで
ある。即ち、作動ガスの種類はヘリウムガス、変動圧力
は0.7MPa〜1.0MPa、低温端の温度は60
K、高温端の温度は300Kである。この場合におい
て、図1の蓄冷器10と同様、低温端40Lから高温端
40Hまでの全域にかけて作動ガスの理想性が維持さ
れ、作動ガスは近似的に理想気体とみなせるので、1−
T(∂V/∂T)/V=0が成り立つ。この場合、蓄
冷器40の再生作用が完全であるとすると、高温端40
Hから低温端40Lに向かうエンタルピー流は発生せ
ず、低温端40Lにおける作動ガスのPV図示仕事と同
量の熱量が、低温端40Lに取り付けられた低温端熱交
換器41Lから吸熱されるはずである。例えば、低温端
40Lにおける作動ガスのPV図示仕事が40Wである
場合、低温端熱交換器41Lでの吸熱量も40Wのはず
である。ところが、図4の場合では、蓄冷器40の低温
端40Lと高温端40Hとの間に中間熱交換器51を介
在しているので、この中間熱交換器51の部分からも吸
熱が起こる。例えばこの中間熱交換器61の部分の温度
が100Kとすると、この部分で10Wの吸熱が起こ
る。このため、中間熱交換器51の部分での吸熱量分が
低温端40Lでの吸熱量分から差し引かれ、低温端40
Lでの吸熱量は30Wとなってしまう。従って、作動ガ
スの理想性が保たれる範囲で蓄冷器の低温端と高温端と
の間に熱交換器を介在させても、低温端での吸熱が減少
してしまう。
【0031】図4に示す蓄冷器40と図3に示す蓄冷器
30とを比較すると、低温端での作動ガスが、図4の場
合では理想性が保たれ、図3の場合では非理想性が顕著
に現れる点で異なる。この場合、図4の蓄冷器40で
は、中間熱交換器61で得られる吸熱量は本来ならば低
温端熱交換器41Lで得られるべき吸熱量の一部を中間
熱交換器51に分離して得ているに過ぎないのに対し、
図3の蓄冷器30では、低温端熱交換器31Lで得られ
ている吸熱量とは無関係に中間熱交換器50で吸熱が得
られる。つまり、図3の蓄冷器30から中間熱交換器5
0を取り外した場合でも、図3のように取り付けた場合
でも、低温端熱交換器31Lでの吸熱量は変わらない。
このため、図3の蓄冷器30では、低温端熱交換器30
Lで得られる吸熱量に影響を及ぼさずに、中間熱交換器
50で効率的に吸熱を得ることができる。
【0032】図5は、本発明を2段目蓄冷器に適用した
場合における2段型パルス管冷凍機を示す。図におい
て、2段型パルス管冷凍機60は、1段目蓄冷器71、
2段目蓄冷器72、1段目パルス管81、2段目パルス
管82を備える。1段目蓄冷器71は、高温端71H及
び低温端71Lを備え、2段目蓄冷器72は、高温端7
2H及び低温端72Lを備えている。また、1段目パル
ス管81は、高温端81H及び低温端81Lを、2段目
パルス管82は、高温端82H及び低温端82Lを備え
ている。1段目蓄冷器71の高温端71Hには、高温端
熱交換器71aが取り付けられている。1段目パルス管
81の低温端81Lと1段目蓄冷器71の低温端71L
は熱的に連通しており、2段目パルス管82の低温端8
2Lと2段目蓄冷器72の低温端72Lとは熱的に連通
している。そして、1段目パルス管81の低温端81L
には1段目熱交換器91が、2段目パルス管82の低温
端82Lには2段目熱交換器92が、それぞれ取り付け
られている。また、2段目蓄冷器72の高温端72Hと
低温端72Lとの間の部分には、中間熱交換器93が介
在されている。尚、1段目蓄冷器71の高温端71H側
には、圧力振動発生装置94が、1段目パルス管81の
高温端81H側には、1段目位相調節機構95が、2段
目パルス管82の高温端82H側には、2段目位相調節
機構96が、それぞれ連結されている。
【0033】上記構成において、内部を流れる作動ガス
をヘリウム、作動ガスの変動圧力を0.7MPa〜2.
0MPa、高温端熱交換器71aでの温度が300K、
1段目熱交換器91での温度が60K、2段目熱交換器
92での温度が4.2Kとなるように2段型パルス管冷
凍機60を運転する。この場合、1段目蓄冷器71の内
部での作動ガスは理想気体で近似できるが、2段目蓄冷
器72の低温端部分では、作動ガスは非理想性が顕著に
現れるので、理想気体としては近似できない。
【0034】上記の場合において、例えば圧力振動発生
装置94から投入される入力仕事を600Wとし、高温
端熱交換器71aでは600Wの熱量が放熱され、1段
目蓄冷器71の再生作用が完全だとすると、低温端71
Lでの作動ガスのPV図示仕事が120Wになる。そし
て、この120Wの図示仕事のうち、100Wが2段目
蓄冷器72への入力仕事に、20Wが1段目パルス管8
1側での図示仕事に分岐されるとする。これは、即ち、
1段目蓄冷器71から外部に取出される仕事が20Wで
あることを示す。1段目蓄冷器71では作動ガスは理想
気体とみなせるので、1−T(∂V/∂T)/V=0
が成り立つ。この場合、1段目蓄冷器71の再生作用が
完全であるので、1段目蓄冷器71の高温端71Hから
低温端71Lに向かうエンタルピー流は発生せず、1段
目蓄冷器71から外部に取出されたPV図示仕事と同量
の熱量(20W)が1段目熱交換器91から吸熱され
る。このため、1段目熱交換器91では、20Wの吸熱
を得ることができる。
【0035】また、2段目蓄冷器72には、1段目蓄冷
器71の低温端71Lでの作動ガスのPV図示仕事(1
20W)のうち、外部に取出されなかった100Wが入
力され、2段目蓄冷器72の低温端72Lでの作動ガス
のPV図示仕事が7Wであったとする。2段目蓄冷器7
2の低温端72Lでは、作動ガスの非理想性が顕著に現
れるので、作動ガスを理想気体に近似することはできな
いので、|1−T(∂V/∂T)/V|>0.01と
なる。このような状態であると、2段目蓄冷器72の再
生作用が完全であっても、2段目蓄冷器72の高温端7
2Hから低温端72Lに向かうエンタルピー流が発生
し、低温端72Lにおける作動ガスの行うPV図示仕事
と同量の熱量を2段目熱交換器92から吸熱することが
できない。例えば、低温端72Lにおける作動ガスのP
V図示仕事が7Wである場合、2段目熱交換器92での
吸熱量は2W程度となる。ところが2段目蓄冷器72の
低温端72Lと高温端72Hとの間の部分に中間熱交換
器93が介在している。従って、2段目蓄冷器72の低
温端72Lにおける作動ガスのPV図示仕事(7W)と
2段目熱交換器92での吸熱量(2W)との差分(5
W)の全部又は一部は、この中間熱交換器93で吸熱さ
れる。中間熱交換器93は、上述したように2段目蓄冷
器72の低温端72Lと高温端72Hとの間に介在され
ているので、その温度も低温端72Lでの温度(4.2
K)と高温端72Hでの温度(60K)との間の温度で
ある。例えばこの部分の温度を10〜20Kの温度と
し、この部分の温度域及び圧力で作動ガスが理想気体に
近似できる場合、中間熱交換器93の部分で10〜20
Kの低温が5Wの出力で効率的に取出せることになる。
【0036】上述のような2段蓄冷器を持つ2段型蓄冷
式冷凍機は、例えば液体ヘリウム温度域での冷却が必要
な冷却対象物、例えば電子素子等が浸漬された液体ヘリ
ウム槽や、このような液体ヘリウム槽に浸漬された電子
素子等(以下、この段落において、液体ヘリウム温度域
での冷却が必要な冷却対象物を、主冷却対象物と呼ぶ)
の冷却に利用することができる。また、主冷却対象物へ
の外部からの熱輻射による熱侵入を防止するため、該主
冷却対象物の回りに液体窒素槽または第1輻射熱シール
ド板を設けて外部からの熱侵入を遮蔽している。しかし
ながら、さらにより確実に熱侵入を防止するため、主冷
却対象物と液体窒素槽又は第1輻射熱シールド板との間
に第2輻射熱シールド板を設けることが考えられる。こ
の場合、主冷却対象物を冷却するために必要な温度は
4.2K、液体窒素槽又は第1輻射熱シールド板を冷却
するために必要な温度は60K、第2輻射熱シールド板
を冷却するために必要な温度は10〜20Kである。従
って、このような冷却系を冷却するために、主冷却対象
物の冷却に2段目熱交換器を利用し、液体窒素槽又は第
1輻射熱シールド板の冷却に1段目熱交換器を利用し、
第2輻射熱シールド板の冷却に中間熱交換器を利用す
る。これにより、3箇所の冷却が必要である冷却系を、
2段型蓄冷式冷凍機で冷却することが可能となる。
【0037】上記したような中間熱交換器は、蓄冷器の
低温端と高温端との間であれば、どのような位置でも良
い。要求される温度域に合わせて適宜熱交換器の取付け
場所を変更させることにより、要求仕様に合致した冷却
システムを提供することができる。
【0038】また、上記したような中間熱交換器は、1
つの蓄冷器に対して異なった位置に2つ以上取付けても
良い。要求される温度域及び冷却箇所の数に合わせて適
宜熱交換器の取付け個数を変更させることにより、要求
仕様に合致した冷却システムを提供することができる。
【0039】また、中間熱交換器が介在される蓄冷器
は、蓄冷器としての機能を果たすものであれば良く、蓄
冷器が他の構成要素と結合された態様でも良い。例え
ば、ピストンやディスプレーサに蓄冷材が含有された蓄
冷器内蔵ピストンや蓄冷器内蔵ディスプレーサが提案さ
れているが、このような蓄冷器内蔵ピストンや蓄冷器内
蔵ディスプレーサも、本発明に従う限りにおいて、蓄冷
器として見立てることができる。この場合、蓄冷器の高
温端とは、蓄冷器内蔵ピストンや蓄冷器内蔵ディスプレ
ーサの高温端に該当し、蓄冷器の低温端とは、蓄冷器内
蔵ピストンや蓄冷器内蔵ディスプレーサの低温端に該当
する。
【0040】
【実施例】(第1実施例)図6は、2段型パルス管冷凍
機の冷凍発生部分を示す断面図である。図において、2
段型パルス管冷凍機の冷凍発生部分101は、1段目蓄
冷器110、2段目蓄冷器120、1段目パルス管13
0、2段目パルス管140を具備する。
【0041】1段目蓄冷器110は、内部に空間を擁し
た1段目蓄冷器ケーシング111と、該1段目蓄冷器ケ
ーシング111の内部空間に充填された1段目蓄冷材1
12を備えて構成されている。本例において、この1段
目蓄冷材112として、銅メッシュの積層体が使用され
ている。また、この1段目蓄冷器110は、低温端11
0L及び高温端110Hを備える。低温端110Lは、
1段目蓄冷器110の図示下方端であり、高温端110
Hは1段目蓄冷器110の図示上方端である。高温端1
10H側には、図に示すように第1通路113が形成さ
れている。この第1通路113は、その一端が1段目蓄
冷材112の図示上端部分に連通しており、その他端が
高温端110Hの端面部分に開口している。この開口部
分は、図示せぬ圧力振動発生装置に連通されている。ま
た、低温端110L側にも、図に示すように第2通路1
14が形成されている。この第2通路114は、その一
端が1段目蓄冷材112の図示下端部分に連通してお
り、その他端が低温端110Lの端面部分に開口してい
る。
【0042】2段目蓄冷器120は、内部に空間を擁し
た2段目蓄冷器ケーシング121を備える。この2段目
蓄冷器ケーシング121の内部空間には、内側中間熱交
換器125が取り付けられており、この内側中間熱交換
器125によって、2段目蓄冷器ケーシング121の内
部空間が2分されている。この2分された内部空間の
内、図示上側の空間には2段目高温側蓄冷材122a
が、図示下側の空間には2段目低温側蓄冷材122b
が、それぞれ充填されている。本例において、2段目高
温側蓄冷材122aとして鉛粒を、2段目低温側蓄冷材
122bとしてErNi粒を使用している。また、内
側中間熱交換器125には、図に示すように連通路12
6が形成されており、この連通路126によって、2段
目蓄冷器ケーシング121内の2分された内部空間が連
通可能とされている。
【0043】2段目蓄冷器ケーシング121の外周に
は、図に示すように外側中間熱交換器127が取り付け
られている。この外側中間熱交換器127は、内側中間
熱交換器125の配設位置に対面する状態で取り付けら
れている。
【0044】また、2段目蓄冷器120は、低温端12
0L及び高温端120Hを備える。低温端120Lは2
段目蓄冷器120の図示下方端であり、高温端120H
は2段目蓄冷器120の図示上方端である。高温端12
0H側には、図に示すように第3通路123が形成され
ている。この第3通路123は、その一端が2段目高温
側蓄冷材122aの図示上端部分に連通しており、その
他端は高温端120Hの端面部分に開口している。ま
た、低温端120L側にも、図に示すように第4通路1
24が形成されている。この第4通路124は、その一
端が2段目低温側蓄冷材122bの図示下端部分に連通
しており、その他端は2段目蓄冷器120の低温端12
0L側の側面に開口している。
【0045】図に示すように、1段目蓄冷器110の低
温端110L側に形成された第2通路114の開口部分
と、2段目蓄冷器120の高温端120H側に形成され
た第3通路123の開口部分とは、互いに対面するよう
に、両蓄冷器110及び120が配設されている。従っ
て、2段目蓄冷器120の高温端120Hは、1段目蓄
冷器110の低温端110Lと熱的に結合されていると
ともに、1段目蓄冷器ケーシング111の内部空間と、
2段目蓄冷器ケーシング121の内部空間とは、第3通
路114及び第4通路123を通って連通可能とされて
いる。
【0046】また、2段目蓄冷器120の高温端120
Hに形成された第3通路123は、その途中から分岐通
路128が連通されている。この分岐通路128は2段
目蓄冷器120の高温端120H側の側面に開口してい
る。
【0047】1段目パルス管130は、ステンレス鋼等
で形成された内部が中空の円筒管である。この1段目パ
ルス管130は、低温端130L及び高温端130Hを
備える。低温端130Lは1段目パルス管130の図示
下方端であり、高温端130Hは1段目パルス管130
の図示上方端である。両端130L、130Hには、図
に示すように整流板131、131が取り付けられてお
り、これらの整流板131、131によって、1段目パ
ルス管130内に流入する作動ガスが整流される。
【0048】1段目パルス管130には、その高温端1
30Hの部分を覆うように、第1高温側熱交換器132
が取り付けられている。この第1高温端熱交換器132
は、外気と熱接触したり、冷却水と熱交換したりして、
1段目パルス管130の高温端130Hの部分を冷却す
る役割を果たす。第1高温熱交換器132の内部には、
第5通路133が形成されている。この第5通路133
の一端は、1段目パルス管130の高温端130Hに連
通し、その他端は図に示すように第1高温熱交換器13
2の端面部分に開口している。この開口部分は、図示せ
ぬ位相調節機構に連通している。
【0049】また、1段目パルス管130の低温端13
0L側には、該低温端130Lを覆うように、1段目熱
交換器134が取り付けられている。この1段目熱交換
器134は、被冷却体と熱接触して該被冷却体を冷却す
る役割を果たすものであり、本例では約60Kの低温を
生成することができる。この1段目熱交換器134に
は、図に示すように第6通路135が形成されている。
第6通路135の一端は1段目パルス管130の低温端
130Lに連通しており、他端は、1段目熱交換器13
4の側面に開口している。
【0050】1段目熱交換器134の側面に開口した第
6通路135と、2段目蓄冷器120の高温端120H
側の側面に開口した分岐通路128とは、連通配管13
6で接続されている。従って、1段目蓄冷器110内の
作動ガスは、第2通路114、第3通路123、分岐通
路128、連通配管136、第6通路135を通って、
1段目パルス管130内に連通可能とされている。
【0051】2段目パルス管140は、1段目パルス管
130と同様、ステンレス鋼等で形成された内部が中空
の円筒管である。この2段目パルス管140は、低温端
140L及び高温端140Hを備える。低温端140L
は2段目パルス管140の図示下方端であり、高温端1
40Hは2段目パルス管140の図示上方端である。両
端140L、140Hには、図に示すように整流板14
1、141が取り付けられており、これらの整流板14
1、141によって、2段目パルス管140内に流入す
る作動ガスが整流される。
【0052】2段目パルス管140には、その高温端1
40Hの部分を覆うように、第2高温側熱交換器142
が取り付けられている。この第2高温端熱交換器142
は、外気と熱接触したり、冷却水と熱交換したりして、
2段目パルス管140の高温端140Hの部分を冷却す
る役割を果たす。第2高温熱交換器142の内部には、
第7通路143が形成されている。この第7通路143
の一端は、2段目パルス管140の高温端140Hに連
通し、他端は図に示すように第2高温熱交換器142の
端面部分に開口している。この開口部分は、図示せぬ位
相調節機構に連通している。
【0053】また、2段目パルス管140の低温端14
0L側には、該低温端140Lを覆うように、2段目熱
交換器144が取り付けられている。この2段目熱交換
器144は、被冷却体と熱接触して該被冷却体を冷却す
る役割を果たすものであり、本例では約4.2Kの低温
を生成することができる。この2段目熱交換器144に
は、図に示すように第8通路145が形成されている。
第8通路145の一端は2段目パルス管140の低温端
140Lに連通しており、他端は、2段目熱交換器14
4の側面に開口している。
【0054】2段目熱交換器144の側面に開口した第
8通路145と、2段目蓄冷器120の低温端120L
側の側面に開口した第4通路124とは、連通配管14
6で接続されている。従って、2段目蓄冷器120内の
作動ガスは、第4通路124、連通配管146、第8通
路145を通って、2段目パルス管140内に連通可能
とされている。
【0055】上記構成の冷凍発生部分101を持つ2段
型パルス管冷凍機において、作動ガスとしてヘリウムガ
スを用い、図示せぬ圧力振動発生装置を駆動させる。す
ると、この圧力振動発生装置において低圧と高圧とが交
互に発生し、圧力振動を起こすが、圧力振動発生装置は
上述のように第1通路113に連通しているので、この
圧力振動は、冷凍発生部分101に伝達される。また、
このような圧力振動とともに、作動ガスが冷凍発生部分
101の内部を往復動する。このとき、図示せぬ位相調
節機構によって、1段目パルス管130内及び2段目パ
ルス管140内の作動ガスの変位と圧力変動との間に位
相差が生じる。この位相差を、各パルス管130、14
0の各低温端130L、140Lにおいて約90°とす
ることにより、各パルス管130、140の各低温端1
30L、140L側で作動ガスが断熱膨張して寒冷を発
生する。この圧力変動及び変位により、両蓄冷器11
0、120の両低温端110L、120L側から高温端
110H、120H側に向って熱が汲み上げられる。こ
のため各パルス管130、140の各低温端130L、
140Lで寒冷を発生する。この寒冷は、1段目熱交換
器134及び2段目熱交換器144に伝達され、該熱交
換器134、144に熱的に結合している被冷却体を冷
却する。
【0056】1段目熱交換器134においては、約60
K程度の寒冷が得られる。また、2段目熱交換器144
においては、約4.2K程度の寒冷が得られる。この場
合において、1段目蓄冷器110内の作動ガスの温度領
域は、約300K(常温)〜60Kであり、この温度領
域であれば、作動ガスの理想性が維持される。つまり、
作動ガスは近似的に理想気体とみなせ、1−T(∂V/
∂T)/V=0が成り立つ。従って、1段目蓄冷器1
10の高温端110Hから低温端110Lに向かうエン
タルピー流は発生せず、1段目蓄冷器110の再生作用
が完全であるとすると、低温端110Lから分岐した1
段目パルス管130の低温端部130Lへの作動ガスの
PV図示仕事と同量の熱量が、1段目パルス管130の
低温端130Lに取り付けられた1段目熱交換器134
から吸熱される。例えば、1段目蓄冷器110の低温端
110Lから1段目パルス管130に分岐した作動ガス
のPV図示仕事が20Wである場合、1段目熱交換器1
34での吸熱量も20Wである。従って、1段目熱交換
器134では、60K、20Wの冷凍出力が得られるこ
とになる。
【0057】一方、2段目蓄冷器120の低温端120
Lでの温度は4.2K、高温端120Hでの温度は約6
0Kである。この場合、低温端120L付近では作動ガ
スは非理想性が顕著に現れ、|1−T(∂V/∂T)
/V|>0.01となる。このような状態であると、2
段目蓄冷器120の再生作用が完全であっても、2段目
蓄冷器120の高温端120Hから低温端120Lに向
かうエンタルピー流が発生し、低温端120Lにおける
作動ガスの行うPV図示仕事と同量の熱量を2段目熱交
換器144から吸熱することができない。例えば、低温
端120Lにおける作動ガスのPV図示仕事が7Wであ
る場合、2段目熱交換器144での吸熱量は2W程度と
なる。従って、2段目熱交換器144では、4.2K、
2Wの冷凍出力が得られることになる。
【0058】この場合において、低温端120Lと高温
端120Hとの間の部分に介在している外側中間熱交換
器127及び内側中間熱交換器125でも吸熱が得られ
る。吸熱量は、その部分の作動ガスの非理想性に影響さ
れるが、この部分での作動ガスが理想気体として近似で
きる場合には、5Wの吸熱が期待できる。従って、この
熱交換器125、127での温度を20Kとし、作動ガ
スが理想的である場合、この部分で20K、5Wの冷凍
出力が得られることになる。
【0059】(第2実施例)図7は、2段型GM冷凍機
の冷凍発生部分を示す断面図である。図において、2段
型GM冷凍機の冷凍発生部分201は、1段目シリンダ
210、1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220、2段
目シリンダ230、2段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ2
40を具備する。
【0060】1段目シリンダ210は、円筒状に形成さ
れており、その図示上端面には、作動ガスの導入及び排
出用の連通孔211、及び、ロッド挿通用の挿通孔21
2が形成されている。連通孔211は、図示せぬ圧力振
動発生装置に連通している。挿通孔212には、後述の
ロッドが挿通されている。
【0061】1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220
は、1段目シリンダ210の内部に往復動可能に配設さ
れている。この1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220
は、内部空間を擁した1段目ディスプレーサケース22
1及び該1段目ディスプレーサケース221の内部空間
に充填された1段目蓄冷材222とを備えて構成されて
いる。1段目蓄冷材222の材質は、第1実施形態例と
同一である。
【0062】1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220
は、低温端220L及び高温端220Hを備える。低温
端220Lは、1段目ディスプレーサ220の図示下方
端であり、高温端220Hは1段目ディスプレーサ22
0の図示上方端である。図に示すように1段目蓄冷器内
蔵ディスプレーサ220の高温端220Hと1段目シリ
ンダ210の図示上端内壁との間には、背面空間Sが形
成され、1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220の低温
端220Lと1段目シリンダ210の図示下端内壁との
間には、1段目膨張空間V1が形成されている。
【0063】1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220の
高温端220Hにはロッド229の一端が接続されてい
る。ロッド229は、該1段目ディスプレーサ220の
高温端220Hから1段目ディスプレーサケース221
に形成された挿通孔212を突き抜けて外部に突出して
いる。そして、このロッド229の他端は、図示せぬ往
復駆動手段に連結されている。
【0064】1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220の
高温端220H側には、図に示すように第1連通路22
3が形成されている。この第1連通路223は、その一
端が1段目蓄冷材222の図示上端部分に連通してお
り、その他端が高温端220Hの端面部分に開口して背
面空間Sに連通している。一方、低温端220L側に
は、第2連通路224が形成されている。この第2連通
路224は、その一端が1段目蓄冷材222の図示下端
縁部分に連通しており、その他端が1段目ディスプレー
サケース221の側面に開口して1段目膨張空間V1に
連通している。また、1段目ディスプレーサケース22
1の外周には、ディスプレーサリング225が取り付け
られている。このディスプレーサリング225は、1段
目ディスプレーサケース221と1段目シリンダ210
の内壁との隙間を埋め、該隙間を通って作動ガスが流れ
るのを防止するためのものであり、第1連通路223の
開口部分と第2連通路224の開口部分との直接の連通
を遮蔽する位置に取り付けられる。従って、連通孔21
1から背面空間V1に導入された作動ガスは、1段目蓄
冷器内蔵ディスプレーサ220の高温端220H側から
第1連通路223を経て1段目蓄冷材222が充填され
た空間に入り、第2連通路224を通って1段目膨張空
間V2に到達する。このとき、ディスプレーサリング2
25の存在によって、背面空間V1の作動ガスが1段目
ディスプレーサケース221と1段目シリンダ210の
内壁との間の隙間を通って1段目膨張空間V2に抜ける
ことができないので、背面空間V1の作動ガスが1段目
蓄冷材222を経由せずに直接1段目膨張空間V2に抜
けることはない。
【0065】1段目シリンダ210の図示下端部分は、
円状に開口されている。そして、この開口縁に2段目シ
リンダ230の上端開口部が連結されている。
【0066】2段目シリンダ230は、1段目シリンダ
210よりも小径の円筒状に形成されており、その図示
上端面は開口して、上述のように1段目シリンダ210
の下端開口縁に連結されている。また、その図示下端面
は閉塞している。
【0067】2段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ240
は、2段目シリンダ230の内部に往復動可能に配設さ
れている。この2段目ディスプレーサ240は、内部に
空間を擁した2段目ディスプレーサケース241を備え
る。この2段目ディスプレーサケース241の内部空間
には、内側中間熱交換器246が取り付けられており、
この内側中間熱交換器246によって、2段目ディスプ
レーサケース241の内部空間が2分されている。この
2分された内部空間の内、図示上側の空間には2段目高
温側蓄冷材242aが、図示下側の空間には2段目低温
側蓄冷材242bが、それぞれ充填されている。これら
の蓄冷材材質は、第1実施例と同一である。また、内側
中間熱交換器246には、図に示すように連通路247
が形成されており、この連通路247によって、2段目
ディスプレーサケース241内の2分された内部空間が
連通可能とされている。
【0068】2段目シリンダ230の外周には、図に示
すように外側中間熱交換器248が取り付けられてい
る。この外側中間熱交換器248は、内側中間熱交換器
247の配設位置に略対面する状態で取り付けられてい
る。
【0069】2段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ240
は、低温端240L及び高温端240Hを備える。低温
端240Lは、2段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ240
の図示下方端であり、高温端240Hは2段目ディスプ
レーサ240の図示上方端である。そして、2段目蓄冷
器内蔵ディスプレーサ240の高温端240H側の部分
が1段目ディスプレーサ220の低温端220L側の部
分に嵌め込まれており、これにより高温端240Hと低
温端220Lとが熱的に結合されるとともに、両ディス
プレーサ220、240が一体で動作するようにされて
いる。また、2段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ240の
低温端240Lと2段目シリンダ230の図示下端壁と
の間には、2段目膨張空間V2が形成されている。
【0070】高温端240H側には、図に示すように第
3連通路243が形成されている。この第3連通路24
3は、その一端が2段目高温蓄冷材242aの図示上端
部分に連通しており、その他端が2段目ディスプレーサ
ケース221の側面部分に開口して1段目膨張空間V2
に連通している。一方、低温端240L側には、第4連
通路244が形成されている。この第4連通路244
は、その一端が2段目低温蓄冷材242bの図示下端部
分に連通しており、その他端が2段目ディスプレーサケ
ース241の側面に開口して2段目膨張空間V3に連通
している。また、2段目ディスプレーサケース241の
外周には、ディスプレーサリング245が取り付けられ
ている。このディスプレーサリング245は、2段目デ
ィスプレーサケース241と2段目シリンダ230の内
壁との隙間を埋め、該隙間を通って作動ガスが流れるの
を防止するためのものであり、第3連通路243の開口
部分と第4連通路244の開口部分との間の位置に取り
付けられる。従って、1段目膨張空間V2の作動ガス
は、第3連通路243を経て2段目高温蓄冷材242a
が充填された空間に入り、さらに内側中間熱交換器24
6の連通路247を通って2段目低温蓄冷材242bが
充填された空間に入り、そこから第4連通路244を通
って2段目膨張空間V3に到達する。このとき、ディス
プレーサリング245の存在によって、1段目膨張空間
V2の作動ガスが2段目ディスプレーサケース241と
2段目シリンダ230の内壁との間の隙間を通って2段
目膨張空間V3に抜けることができないので、1段目膨
張空間V2の作動ガスが2段目高温側蓄冷材242a及
び2段目低温側蓄冷材242bを経由せずに直接2段目
膨張空間V3に抜けることはない。
【0071】1段目シリンダ210の外周には、該シリ
ンダ210内部の1段目膨張空間V2を覆うように、1
段目熱交換器254が取り付けられている。この1段目
熱交換器254は、被冷却体と熱接触して該被冷却体を
冷却する役割を果たすものであり、本例では約60Kの
低温を生成することができる。また、2段目シリンダ2
30の外周には、該シリンダ230内部の2段目膨張空
間V3を覆うように、2段目熱交換器255が取り付け
られている。この2段目熱交換器255は、被冷却体と
熱接触して該被冷却体を冷却する役割を果たすものであ
り、本例では約4.2Kの低温を生成することができ
る。
【0072】上記構成の冷凍発生部分201を持つ2段
型GM冷凍機において、作動ガスとしてヘリウムガスを
用い、図示せぬ圧力振動発生装置を駆動させる。する
と、この圧力振動発生装置において低圧と高圧とが交互
に発生し、圧力振動を起こすが、圧力振動発生装置は上
述のように連通孔211に連通しているので、この圧力
振動は、冷凍発生部分201に伝達される。また、圧力
振動発生装置の駆動とともに、図示せぬ往復駆動手段も
駆動する。すると、往復駆動手段からの駆動力がロッド
229に伝達され、該ロッド229に連結された1段目
蓄冷器内蔵ディスプレーサ220及び該1段目蓄冷器内
蔵ディスプレーサ220に連結された2段目蓄冷器内蔵
ディスプレーサ240が1段目シリンダ210及び2段
目シリンダ230内を図示矢印方向に往復駆動する。こ
のとき、作動ガスの圧力振動と、両ディスプレーサ22
0、240の往復駆動とを、90°の位相差がつくよう
に運転させることにより、各膨張空間V2、V3で作動
ガスが断熱膨張して寒冷を発生するとともに、両ディス
プレーサ220、240の低温端220L、240L側
から高温端220H、240H側へ向って熱が汲み上げ
られる。このため各膨張空間V2、V3を覆うように取
り付けられた1段目熱交換器254及び2段目熱交換器
255が冷却され、該熱交換器254、255に熱的に
結合している被冷却体を冷却する。
【0073】1段目熱交換器254においては、約60
K程度の寒冷が得られる。また、2段目熱交換器255
においては、約4.2K程度の寒冷が得られる。この場
合において、1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220内
の作動ガスの温度領域は、約300K(常温)〜60K
であり、この温度領域であれば、作動ガスの理想性が維
持される。つまり、作動ガスは近似的に理想気体とみな
せ、1−T(∂V/∂T)/V=0が成り立つ。従っ
て、1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220の蓄冷器再
生作用が完全であるとすると、1段目蓄冷器内蔵ディス
プレーサ220の高温端220Hから低温端220Lに
向かうエンタルピー流は発生せず、1段目膨張空間V2
における作動ガスのPV図示仕事と同量の熱量が、1段
目熱交換器254から吸熱される。例えば、1段目膨張
空間V2における作動ガスのPV図示仕事が20Wであ
る場合、1段目熱交換器254での吸熱量も20Wであ
る。従って、1段目熱交換器254では、60K、20
Wの冷凍出力が得られることになる。
【0074】一方、2段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ2
40内の作動ガスの温度領域は、高温端240H側で6
0K、低温端240L側で4.2Kである。この場合、
低温端240L側で作動ガスは非理想性を顕著に発現
し、|1−T(∂V/∂T)/V|>0.01とな
る。このような状態であると、2段目蓄冷器内蔵ディス
プレーサ240の高温端240Hから低温端240Lに
向かうエンタルピー流が発生し、2段目蓄冷器内蔵ディ
スプレーサ240の蓄冷器再生作用が完全であっても、
2段目膨張空間V3における作動ガスの行うPV図示仕
事と同量の熱量を2段目熱交換器255から吸熱するこ
とができない。例えば、2段目膨張空間V3における作
動ガスのPV図示仕事が7Wである場合、2段目熱交換
器255での吸熱量は2W程度となる。従って、2段目
熱交換器255では、4.2K、2Wの冷凍出力が得ら
れることになる。
【0075】この場合において、2段目蓄冷器内蔵ディ
スプレーサ240低温端240Lと高温端240Hとの
間の部分に介在している外側中間熱交換器248及び内
側中間熱交換器246でも吸熱が得られる。吸熱量は、
その部分の作動ガスの非理想性に影響されるが、この部
分での作動ガスが理想気体として近似できる場合には、
5Wの吸熱が期待できる。従って、この熱交換器24
6、248での温度を20Kとし、作動ガスが理想的で
ある場合、この部分で20K、5Wの冷凍出力が得られ
ることになる。
【0076】上記のような2段型GM冷凍機は、第1実
施例で示した2段型パルス管冷凍機よりも構成要素が少
ない。例えば、第1実施例で示したパルス管や、それを
つなぐための接続配管を要しない。従って、簡単な構成
で本発明を実現することができるとともに、高効率でか
つ信頼性の高い冷凍機とすることができる。
【0077】(第3実施例)上記第2実施例で示した2
段型GM冷凍機では、理屈上、上記の出力が得られるこ
とになるが、実際上は、第1実施例で示した2段型パル
ス管冷凍機よりも冷凍出力は劣る。その理由は、図7か
ら明らかなように、内側中間熱交換器246と外側中間
熱交換器248との間には、2段目蓄冷器内蔵ディスプ
レーサ240の側面と2段目シリンダ側周内壁との間の
隙間(ギャップ)Lが存在し、このギャップL内の気体
層を介した熱伝達が悪いために、内側中間熱交換器24
6で得られる寒冷を外側中間熱交換器248に確実に伝
えることができず、所望の冷凍出力を取出すことができ
ないことに起因する。
【0078】このような、不具合を改良した2段型GM
冷凍機を本例で示す。
【0079】図8は、第3実施例にかかる2段型GM冷
凍機の冷凍発生部分の断面図である。この冷凍発生部分
261は、基本的には図7に示す冷凍発生部分201と
同じであり、異なる部分は2段目蓄冷器内蔵ディスプレ
ーサの部分のみである。以下、相違部分を中心に説明
し、同一部分については図7に示すものと同一符号で示
してその具体的説明は省略する。
【0080】図8において、2段目蓄冷器内蔵ディスプ
レーサ240の外周には、第1ディスプレーサリング2
45a及び第2ディスプレーサリング245bの2つの
ディスプレーサリングが取り付けられている。このた
め、2段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ240の側面と2
段目シリンダ230の側周内壁との間の隙間Lのうち、
両ディスプレーサリング245a、245bで挟まれた
部分は密閉空間Kとされている。
【0081】2段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ240内
の2段目高温側蓄冷材242aが充填された空間は、第
3連通路247aによって上記密閉空間Kに連通してい
る。また、内側中間熱交換器246内には第2連通路2
47bが形成されており、この第2連通路247bは、
その一端が2段目低温蓄冷材242bの図示上端に連通
し、その他端は2段目ディスプレーサケース241の側
面に開口して密閉空間Kに連通している。従って、2段
目高温側蓄冷材242aが充填された空間内の作動ガス
は、第1連通路247aを通って一端密閉空間K内に入
り、該密閉空間Kから第2連通路247bを通って2段
目低温側蓄冷材242bが充填された空間に導入される
ことになる。
【0082】従って、密閉空間Kの領域を、外側中間熱
交換器248と内側中間熱交換器246との対面部分に
位置するように設計した場合、冷凍機の運転中に作動ガ
スが密閉空間K内を出入するので、この部分で強制対流
が起こる。このため、対流熱伝達が促進され、内側中間
熱交換器246と外側中間熱交換器248との間の熱伝
達係数が増加し、外側中間熱交換器248での冷凍出力
(吸熱量)を向上させることができる。
【0083】(第4実施例)図9は、本発明の第4実施
例にかかる、2段型GM冷凍機の冷凍発生部分を示す断
面図である。この例は、上記第2及び第3実施例で見ら
れた、ディスプレーサ側面とシリンダ側周内壁との間の
隙間の存在による熱伝達の低下を防止した構成である。
尚、図9に示すものにおいて、1段目シリンダ及び1段
目蓄冷器内蔵ディスプレーサの構成については、図7に
示すものと基本的には同一であり、異なるところは、2
段目シリンダ及び2段目ディスプレーサの構成である。
以下、相違点を中心に説明し、図7と同一構成部分につ
いては同一符号で示してその具体的説明を省略する。
【0084】図9において、2段型GM冷凍機の冷凍発
生部分301は、1段目シリンダ210、1段目蓄冷器
内蔵ディスプレーサ220、2段目シリンダ230、2
段目ディスプレーサ260、2段目蓄冷器270を具備
する。
【0085】1段目シリンダ210は、基本的には図7
及び図8で示した1段目シリンダ210と同一である。
ただし、図に示すように該1段目シリンダ210の図示
下端面に連通孔213が形成されている点が、図7及び
図8の場合と異なる。その他、図7及び図8と同一部分
については同一符号で示してその具体的説明は省略す
る。
【0086】1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220
は、1段目シリンダ210の内部を往復動可能に配置さ
れている。そして、1段目ディスプレーサ220の高温
端220Hと1段目シリンダの上端内壁面とで背面空間
Sを、及び、1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220の
低温端220Lと1段目シリンダの下端内壁面とで1段
目膨張空間V1を、それぞれ画成している。1段目蓄冷
器内蔵ディスプレーサ220の基本構成については、図
7及び図8で示した1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ2
20と同一構成であるので、同一部分については同一符
号で示して、その具体的説明を省略する。
【0087】2段目シリンダ230の構成も、基本的に
は図7及び図8で示した2段目シリンダ230と同一で
ある。ただし、図に示すように該2段目シリンダ230
の側面に連通孔231が形成されている点が、図7及び
図8で示した2段目シリンダ230と異なる。その他、
図7及び図8と同一部分について同一符号で示してその
具体的説明は省略する。
【0088】2段目ディスプレーサ260は、2段目シ
リンダ230の内部に往復動可能に配設されている。こ
の2段目ディスプレーサ260は、円柱状の中実部材で
形成されており、図7及び図8に示す2段目ディスプレ
ーサ230と異なり内部に蓄冷材を内蔵していない。ま
た、該2段目ディスプレーサ260の図示上端は1段目
ディスプレーサ220の低温端220Lに連結されてい
る。従って、2段目ディスプレーサ260は、1段目デ
ィスプレーサ220に連動して一体に動作する。そし
て、2段目ディスプレーサ260の図示下端と2段目シ
リンダ230の図示下端内壁面との間で、2段目膨張空
間V2が画成されている。尚、この2段目ディスプレー
サ260は、本例では中実部材であるが、作動ガスが内
部に流出入しないのであれば、中空状の部材でも構わな
い。軽量化の面からは、むしろ中空状のものが好まし
い。
【0089】2段目シリンダ230の外周には、2段目
蓄冷器270が配設されている。この2段目蓄冷器27
0は、蓄冷器ケース271と、2段目高温側蓄冷材27
2aと、2段目低温側蓄冷材272bとを備えて構成さ
れている。蓄冷器ケース271は、2段目シリンダ23
0の外周を取り巻くようにリング状に形成されている。
また、蓄冷器ケース271と2段目シリンダ230との
間の空間には、内側中間熱交換器273が配設されてお
り、この内側中間熱交換器273によって、上記空間が
2分されている。この2分された空間の内、図示上側の
空間には2段目高温側蓄冷材272aが、図示下側の空
間には2段目低温側蓄冷材242bが、それぞれ充填さ
れている。また、内側中間熱交換器273には、図に示
すように連通路274が形成されており、この連通路2
74によって、2分された空間、即ち2段目高温側蓄冷
材が充填された空間と2段目低温側蓄冷材が充填された
空間とが連通可能とされている。
【0090】蓄冷器ケース271の外周には、図に示す
ように外側中間熱交換器275が取り付けられている。
この外側中間熱交換器275は、内側中間熱交換器27
4の配設位置に略対面する状態で取り付けられている。
【0091】2段目蓄冷器270は、低温端270L及
び高温端270Hを備える。低温端270Lは、2段目
蓄冷器270の図示下方端であり、高温端270Hは2
段目蓄冷器270の図示上方端である。高温端270H
は、1段目シリンダ210の図示下端に形成された連通
孔213に面しており、1段目膨張空間V1を介して1
段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ220の低温端220L
と熱的に結合している。一方、低温端270L付近の部
分は、図に示すように2段目シリンダ230に形成され
た連通孔231に連通している。従って、1段目膨張空
間V1の作動ガスは、連通孔213を通って2段目高温
蓄冷材272aが充填された空間に入り、さらに内側中
間熱交換器273の連通路274を通って2段目低温蓄
冷材272bが充填された空間に入り、そこから連通孔
231を通って2段目膨張空間V2に到達することがで
きる。この場合において、2段目ディスプレーサ260
と2段目シリンダ230の内壁との間の隙間にはディス
プレーサリング275が取り付けられているので、こ
の、ディスプレーサリング275の存在によって、1段
目膨張空間V1の作動ガスが2段目ディスプレーサ26
0と2段目シリンダ230の内壁との間の隙間を通って
2段目膨張空間V2に抜けることができない。従って、
1段目膨張空間V1の作動ガスが2段目高温側蓄冷材2
72a及び2段目低温側蓄冷材272bを経由せずに直
接2段目膨張空間V2に抜けることはない。
【0092】1段目シリンダ210の外周には、該シリ
ンダ210内部の1段目膨張空間V1を覆うように、1
段目熱交換器254が取り付けられている。この1段目
熱交換器254は、被冷却体と熱接触して該被冷却体を
冷却する役割を果たすものであり、本例では約60Kの
低温を生成することができる。また、2段目シリンダ2
30の外周には、該シリンダ230内部の2段目膨張空
間V2を覆うように、2段目熱交換器255が取り付け
られている。この2段目熱交換器255は、被冷却体と
熱接触して該被冷却体を冷却する役割を果たすものであ
り、本例では約4.2Kの低温を生成することができ
る。
【0093】本例は、上記構成で明らかなように、2段
目ディスプレーサ260と2段目蓄冷器270とを分離
し、分離された2段目蓄冷器270を2段目ディスプレ
ーサ260の外周にリング状に形成し、リング状の2段
目蓄冷器270の内部に内側中間熱交換器273を、そ
の外周に外側中間熱交換器275を取り付けた構成であ
るので、内側中間熱交換器273と外側中間熱交換器2
75との間の隙間を無くすことができる。このため、上
記第2及び第3実施例と比較して、外側中間熱交換器2
75と内側中間熱交換器273との間の熱伝達が良好と
なり、外側中間熱交換器275で得られる吸熱量を増加
させることができる。
【0094】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明は、上記実施例に限定されるものではない。
例えば、上記実施例では、いずれも2段型蓄冷式冷凍機
について説明したが、3段型蓄冷式冷凍機の3段目蓄冷
器の低温端と高温端との間に中間熱交換器を介在させた
構成でも良い。また、1段型の蓄冷式冷凍機であって
も、蓄冷器内部で作動ガスの非理想性が顕著に現れる場
合には、蓄冷器の低温端と高温端との間に中間熱交換器
を介在させた構成でも良い。尚、ヘリウムガスを用いて
4K程度の寒冷を得ることを目的とした場合、現段階で
は1段型蓄冷式冷凍機で4Kを得ることは難しいが、も
し可能となった場合には、このような1段型蓄冷式冷凍
機の蓄冷器の低温端と高温端との間に中間熱交換器を介
在させても、効率的に吸熱を得ることができる。
【0095】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
蓄冷式冷凍機の多段化に伴い発生する不具合、例えば構
成の複雑化に起因する設計時間の増大、装置全体が大型
化することによるスペース的な問題、コスト的な問題を
解消し、効率的に吸熱を得ることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】低温端温度が60K、高温端温度が300Kの
蓄冷器で、中間熱交換器を取り付けていない場合におけ
る、低温端での作動ガスのPV図示仕事と低温端熱交換
器での吸熱量との関係を示す模式図である。
【図2】低温端温度が4.2K、高温端温度が60Kの
蓄冷器で、中間熱交換器を取り付けていない場合におけ
る、低温端での作動ガスのPV図示仕事と低温端熱交換
器での吸熱量との関係を示す模式図である。
【図3】低温端温度が4.2K、高温端温度が60Kの
蓄冷器で、中間熱交換器を取り付けている場合(本発
明)における、低温端での作動ガスのPV図示仕事と低
温端熱交換器及び中間熱交換器での吸熱量との関係を示
す模式図である。
【図4】低温端温度が60K、高温端温度が300Kの
蓄冷器で、中間熱交換器を取り付けている場合におけ
る、低温端での作動ガスのPV図示仕事と低温端熱交換
器及び中間熱交換器での吸熱量との関係を示す模式図で
ある。
【図5】本発明を適用した2段型パルス管冷凍機の1段
目蓄冷器と2段目蓄冷器において、各蓄冷器の低温端で
の作動ガスのPV図示仕事と低温端熱交換器及び中間熱
交換器での吸熱量との関係を示す模式図である。
【図6】本発明の第1実施例における、2段型パルス管
冷凍機の冷凍発生部分の断面図である。
【図7】本発明の第2実施例における、2段型GM冷凍
機の冷凍発生部分の断面図である。
【図8】本発明の第3実施例における、2段型GM冷凍
機の冷凍発生部分の断面図である。
【図9】本発明の第4実施例における、2段型GM冷凍
機の冷凍発生部分の断面図である。
【符号の説明】
30・・・蓄冷器、 30L・・・低温端、 30H・
・・高温端 31L・・・低温端熱交換器、 31L・・・低温端熱
交換器 50・・・中間熱交換器 パルス管、 30L・・・パルス管低温端(低温端)、
30H・・・パルス管高温端(高温端) 60・・・2段型パルス管冷凍機(蓄冷式冷凍機) 71・・・1段目蓄冷器、 71L・・・低温端、 7
1H・・・高温端 72・・・2段目蓄冷器、 72L・・・低温端、 7
2H・・・高温端 81・・・1段目パルス管、 81L・・・低温端、
81H・・・高温端 82・・・2段目パルス管、 82L・・・低温端、
82H・・・高温端 91・・・1段目熱交換器 92・・・2段目熱交換器 93・・・中間熱交換器 101・・・2段型パルス管冷凍機 110・・・1段目蓄冷器、 110L・・・低温端、
110H・・・高温端 120・・・2段目蓄冷器、 120L・・・低温端、
120H・・・高温端 125、246、273・・・内側中間熱交換器 127、248、275・・・外側中間熱交換器 130・・・1段目パルス管 140・・・2段目パルス管 134、254・・・1段目熱交換器 144、255・・・2段目熱交換器 201、261、301・・・2段型GM冷凍機 220・・・1段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ(1段目
蓄冷器)、 220L・・・低温端、 220H・・・
高温端 240・・・2段目蓄冷器内蔵ディスプレーサ(2段目
蓄冷器)、 240L・・・低温端、 240H・・・
高温端 270・・・2段目蓄冷器、 270L・・・低温端、
270H・・・高温端
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F25B 9/10 F25B 9/10 Z

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 低温端及び高温端を備える蓄冷器を用
    い、作動ガスが該蓄冷器を往復する際に前記低温端側か
    ら前記高温端側へ熱を汲み上げることにより寒冷を発生
    する蓄冷式冷凍機において、 前記蓄冷器の低温端における作動ガスの非理想性が顕著
    に現れるとき、前記低温端と前記高温端との間の1箇所
    又は異なった2箇所以上に中間熱交換器を介在させて、
    作動ガスの非理想性に起因する熱損失分を前記中間熱交
    換器から吸熱させることを特徴とする蓄冷式冷凍機。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 前記蓄冷器の低温端における作動ガスの非理想性が顕著
    に現れるときは、前記蓄冷器の低温端における作動ガス
    の温度をT、体積をV、圧力をPとしたとき、|1−T
    (∂V/∂T)/V|>0.01であることを特徴と
    する蓄冷式冷凍機。
  3. 【請求項3】 低温端及び高温端を備える蓄冷器を用
    い、作動ガスが該蓄冷器を往復する際に前記低温端側か
    ら前記高温端側へ熱を汲み出すことにより寒冷を発生す
    る蓄冷式冷凍機において、 前記蓄冷器は、低温端及び高温端を備える1段目蓄冷器
    と、低温端及び前記1段目蓄冷器の低温端と熱的に結合
    した高温端を備える2段目蓄冷器を有し、該2段目蓄冷
    器の低温端と高温端との間に中間熱交換器を介在させて
    なることを特徴とする蓄冷式冷凍機。
  4. 【請求項4】 請求項3において、 前記蓄冷式冷凍機に使用する作動ガスはヘリウムガスで
    あり、前記2段目蓄冷器の低温端における温度は2〜1
    0Kであることを特徴とする蓄冷式冷凍機。
  5. 【請求項5】 請求項3又は4において、 前記中間熱交換器は、前記2段目蓄冷器の内部に配設さ
    れる内側中間熱交換器と、前記2段目蓄冷器の外周に配
    設される外側中間熱交換器とを備えて構成され、前記内
    側中間熱交換器と前記外側中間熱交換器とは略対面した
    位置関係で各々配設されることを特徴とする蓄冷式冷凍
    機。
  6. 【請求項6】 請求項3〜5のいずれか1項において、 前記蓄冷式冷凍機の冷却対象物は、液体ヘリウム温度域
    での冷却が必要な主冷却対象物と、該主冷却対象物の回
    りに配設された第2輻射熱シールド板と、該第2輻射熱
    シールド板の回りに配設された液体窒素槽又は第1輻射
    熱シールド板とを具備する冷却系であり、前記2段目蓄
    冷器の低温端で発生する寒冷は前記主冷却対象物の冷却
    に利用され、前記1段目蓄冷器の低温端で発生する寒冷
    は前記液体窒素槽又は前記第1輻射熱シールド板の冷却
    に利用され、前記中間熱交換器で発生する寒冷は前記第
    2輻射熱シールド板の冷却に利用されることを特徴とす
    る蓄冷式冷凍機。
  7. 【請求項7】 請求項1〜6のいずれか1項において、 前記蓄冷式冷凍機はパルス管冷凍機であることを特徴と
    する蓄冷式冷凍機。
  8. 【請求項8】 請求項1〜6のいずれか1項において、 前記蓄冷式冷凍機はGM冷凍機又はスターリング冷凍機
    であることを特徴とする蓄冷式冷凍機。
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