JP2002069158A - Epoxy resin composition and semiconductor sealing device - Google Patents

Epoxy resin composition and semiconductor sealing device

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JP2002069158A
JP2002069158A JP2000264960A JP2000264960A JP2002069158A JP 2002069158 A JP2002069158 A JP 2002069158A JP 2000264960 A JP2000264960 A JP 2000264960A JP 2000264960 A JP2000264960 A JP 2000264960A JP 2002069158 A JP2002069158 A JP 2002069158A
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JP
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epoxy resin
resin composition
phenol compound
inorganic filler
general formula
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JP2000264960A
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Inventor
Masaji Tanaka
正司 田中
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Kyocera Chemical Corp
Original Assignee
Toshiba Chemical Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an epoxy resin composition which guarantees long term reliability without causing a resin cracking, and which is excellent in moisture resistance after mounting or soldering heat resistance, adhesiveness when mounted, while hygroscopicity is low, fluidity is good and moldability is excellent. SOLUTION: This epoxy resin composition containes a phenol compound shown by formula (A), a phenol compound show by formula (B), an epoxy resin shown by formula (C), an inorganic filler and a curing accelerator as essential components and is characterized by including the inorganic filler at 80-85 wt.% of a rate to the resin composition, and the semiconductor sealing device which is sealed by this curing material is provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高密着性、難燃性
を有し、低吸水性で成形性、半田耐熱性に優れたエポキ
シ樹脂組成物およびその組成物によって半導体チップが
封止された半導体封止装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition having high adhesion, flame retardancy, low water absorption, excellent moldability, and excellent solder heat resistance, and a semiconductor chip sealed with the composition. Semiconductor sealing device.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体集積回路を機械的、化学的作用か
ら保護するために、封止樹脂組成物が開発されてきた。
近年、ICは、チップの高集積化に伴う大型化、多極化
が進む一方、パッケージ外径寸法は小型化し、基板への
実装密度も高くなっている。実装密度を上げるために
は、半導体デバイスの表面実装が不可欠である。表面実
装を行う際には、IRリフローなどの手法が用いられる
が、この実装方式に対応する半導体封止装置には、高い
半田耐熱性が要求される。半田耐熱性に関して重要なこ
とは、パッケージ内部の各種の部材に対する密着力と、
樹脂組成物の低吸水化である。そこで、封止樹脂組成物
は問題解決のために高密着化、低吸水化のために無機充
填剤の高充填化、密着付与剤の添加等を行ってきた。し
かし、この改良により成形時における不具合も発生して
いる。例えば、外部巣、内部巣の増加、ボンディングワ
イヤの変形、薄型パッケージにおける充填性不足という
欠点である。
2. Description of the Related Art In order to protect semiconductor integrated circuits from mechanical and chemical actions, sealing resin compositions have been developed.
In recent years, ICs have become larger and more multi-polarized due to higher integration of chips, while the package outer diameter has been reduced and the mounting density on a substrate has been increased. In order to increase the mounting density, surface mounting of a semiconductor device is indispensable. When performing surface mounting, a technique such as IR reflow is used, but a semiconductor sealing device corresponding to this mounting method is required to have high solder heat resistance. The important thing about the solder heat resistance is the adhesion to various members inside the package,
Low water absorption of the resin composition. Therefore, the sealing resin composition has been made to have high adhesion to solve the problem, to increase the amount of the inorganic filler to reduce water absorption, and to add an adhesion promoter. However, this improvement also causes problems during molding. For example, there are drawbacks such as an increase in outer nests and inner nests, deformation of bonding wires, and insufficient filling in a thin package.

【0003】また、従来の封止樹脂組成物には、難燃性
を維持するためにハロゲン系難燃剤等が使用されてきた
が、環境的な側面からこれらの難燃剤を含まない封止樹
脂組成物が市場で大きなニーズとなりつつある。同様
に、環境問題に対する配慮から、鉛を使用しない半田が
使用される傾向にあるが、半田から鉛を除くことによ
り、半導体デバイスの実装温度は引き上げられる可能性
があり、半導体封止装置には、さらに高い半田耐熱性が
要求されている。
[0003] In addition, halogen-based flame retardants and the like have been used in conventional sealing resin compositions in order to maintain flame retardancy. However, from the environmental point of view, sealing resins containing no such flame retardants are used. Compositions are becoming a major need in the market. Similarly, due to environmental concerns, solders that do not use lead tend to be used, but by removing lead from the solder, the mounting temperature of semiconductor devices may be raised. Further, higher solder heat resistance is required.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
を解消するためになされたもので、高い半田耐熱性を維
持し、また、流動性・成形性が良好でワイヤの変化を起
こさず、さらに、アンチモン等の難燃助剤やハロゲン系
難燃剤を用いなくとも高い難燃性を有する封止樹脂組成
物及び半導体封止装置を提供しようとするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and maintains high solder heat resistance, and has good fluidity and moldability and does not cause a change in wire. Another object of the present invention is to provide a sealing resin composition and a semiconductor sealing device having high flame retardancy without using a flame retardant auxiliary such as antimony or a halogen-based flame retardant.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の目的
を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、特定のフェノー
ル化合物、特定のエポキシ樹脂を用いることによって、
樹脂組成物の高い半田耐熱性を維持し、また高流動性を
兼ね備えることにより良好な成形性がが付与され、さら
にアンチモン等の難燃助剤やハロゲン系難燃剤を用いな
くとも高い難燃性を有する樹脂組成物が得られることを
見いだし、本発明を完成したものである。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have made intensive studies to achieve the above object, and as a result, by using a specific phenol compound and a specific epoxy resin,
The resin composition maintains high solder heat resistance and has good moldability by combining high fluidity.High flame retardancy without the use of flame retardant aids such as antimony or halogen-based flame retardants. It has been found that a resin composition having the following formula is obtained, and the present invention has been completed.

【0006】即ち、本発明は、 (A)次の一般式で示されるフェノール化合物、That is, the present invention provides: (A) a phenol compound represented by the following general formula:

【化7】 (但し、式中、nは1以上の整数を表す) (B)次の一般式で示されるフェノール化合物、Embedded image (Wherein, n represents an integer of 1 or more) (B) a phenol compound represented by the following general formula:

【化8】 (但し、式中、nは1以上の整数を表す) (C)次の一般式で示されるエポキシ樹脂、Embedded image (Wherein, n represents an integer of 1 or more) (C) an epoxy resin represented by the following general formula:

【化9】 (但し、式中、R1 はメチル基を、R2 は水素原子又は
メチル基をそれぞれ表す) (C)無機質充填剤および (D)硬化促進剤 を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(D)無機質
充填剤を80〜95重量%の割合で含有してなることを
特徴とするエポキシ樹脂組成物である。また別の本発明
は、このエポキシ樹脂組成物の硬化物によって、半導体
チップが封止されてなることを特徴とする半導体封止装
置である。
Embedded image (Wherein, R 1 represents a methyl group, and R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group, respectively) (C) an inorganic filler and (D) a curing accelerator as essential components, and (D) An epoxy resin composition comprising an inorganic filler in a proportion of 80 to 95% by weight. Another aspect of the present invention is a semiconductor encapsulation device, wherein a semiconductor chip is encapsulated by a cured product of the epoxy resin composition.

【0007】以下、本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0008】本発明に用いるフェノール化合物として
は、前記の一般式化7で示される(A)フェノール化合
物および前記一般式化8に示される(B)フェノール化
合物を併用するものである。また、(A)成分と(B)
成分の配合割合は、それぞれ重量比で3:1〜20:1
の割合で配合することが望ましい。(A)成分のフェノ
ール化合物単体で使用した封止樹脂組成物は、硬化性が
低いため作業性に劣る。また、(B)成分のフェノール
化合物単体で使用した封止樹脂組成物は、吸湿量が大き
くなり、半田耐熱性を損ねるため好ましくない。
As the phenol compound used in the present invention, a phenol compound (A) represented by the above general formula (7) and a phenol compound (B) represented by the above general formula (8) are used in combination. Further, the component (A) and the component (B)
The mixing ratio of the components is 3: 1 to 20: 1 by weight, respectively.
It is desirable to mix in the ratio of. The sealing resin composition used alone with the phenol compound as the component (A) is inferior in workability due to low curability. Further, the sealing resin composition used alone with the phenol compound as the component (B) is not preferable because it has a large moisture absorption and impairs solder heat resistance.

【0009】本発明に用いる(C)エポキシ樹脂として
は、前記一般式化9で示されるエポキシ樹脂である。ま
た、(C)エポキシ樹脂に加えて、ノボラック系エポキ
シ樹脂やビフェニル系エポキシ樹脂、その他の公知のエ
ポキシ樹脂を併用することができる。
The epoxy resin (C) used in the present invention is an epoxy resin represented by the general formula (9). Further, in addition to the epoxy resin (C), a novolak epoxy resin, a biphenyl epoxy resin, and other known epoxy resins can be used in combination.

【0010】本発明に用いる(D)無機質充填剤として
は、一般に使用されているものが広く使用されるが、そ
れらの中でも不純物濃度が低く、平均粒径30μm以下
のシリカ粉末が好ましく使用することができる。平均粒
径が30μmを超えると耐湿性および成形性が劣り好ま
しくない。無機質充填剤の配合割合は、全体の樹脂組成
物に対して80〜95重量%の割合で含有することが望
ましい。その割合が80重量%未満では、樹脂組成物の
吸湿率が大きくなり、半田浸漬後の耐湿性に劣り、ま
た、95重量%を超えると極端に流動性が悪くなり、成
形性に劣り好ましくない。
As the inorganic filler (D) used in the present invention, generally used inorganic fillers are widely used. Among them, silica powder having a low impurity concentration and an average particle diameter of 30 μm or less is preferably used. Can be. If the average particle size exceeds 30 μm, the moisture resistance and the moldability are poor, which is not preferable. It is desirable that the blending ratio of the inorganic filler is 80 to 95% by weight based on the entire resin composition. If the proportion is less than 80% by weight, the moisture absorption rate of the resin composition becomes large, and the moisture resistance after solder immersion is inferior. .

【0011】本発明に用いる(E)硬化促進剤として
は、DBU系硬化促進剤、リン系硬化促進剤、イミダゾ
ール系硬化促進剤、その他の硬化促進剤等が広く使用さ
れる。これらは単独又は2種以上併用することができ
る。硬化促進剤の配合割合は、樹脂組成物に対して0.
01〜5重量%含有するように配合することが望まし
い。その割合が0.01重量%未満では樹脂組成物のゲ
ルタイムが長く、硬化特性も悪くなり、また、5重量%
を超えると極端に流動性が悪くなって成形性に劣り、さ
らに電気特性も悪くなり耐湿性に劣り、好ましくない。
As the (E) curing accelerator used in the present invention, DBU-based curing accelerators, phosphorus-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, and other curing accelerators are widely used. These can be used alone or in combination of two or more. The mixing ratio of the curing accelerator is 0.1 to the resin composition.
It is desirable to mix them so as to contain from 01 to 5% by weight. If the proportion is less than 0.01% by weight, the gel time of the resin composition is long, the curing properties are deteriorated, and 5% by weight.
If it exceeds, the fluidity becomes extremely poor and the moldability is inferior, and the electrical properties also deteriorate, and the moisture resistance is inferior.

【0012】本発明のエポキシ樹脂組成物は、前述した
特定のフェノール化合物、特定のエポキシ樹脂、無機質
充填剤および硬化促進剤を必須成分とするが、本発明の
目的に反しない限度において、また必要に応じて、例え
ば天然ワックス類、合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属
塩、酸アミド類、エステル類、パラフィン類等の離型
剤、カーボンブラック、ベンガラ等の着色剤、シランカ
ップリング剤、ゴム系やシリコーン系の低応力付与剤等
を適宜、添加配合することができる。
The epoxy resin composition of the present invention contains the above-mentioned specific phenolic compound, the specific epoxy resin, the inorganic filler and the curing accelerator as essential components. Depending on, for example, natural waxes, synthetic waxes, metal salts of linear fatty acids, release agents such as acid amides, esters and paraffins, coloring agents such as carbon black and red iron, silane coupling agents, rubber A system-based or silicone-based low stress imparting agent or the like can be appropriately added and blended.

【0013】本発明のエポキシ樹脂組成物を成形材料と
して調製する場合の一般的な方法としては、前述した特
定のフェノール化合物、特定のエポキシ樹脂、無機質充
填剤および硬化促進剤その他の成分を所定の組成比に選
択した原料成分を配合し、ミキサー等によって十分均一
に混合した後、さらに熱ロールによる溶融混合処理又は
ニーダ等による混合処理を行い、次いで冷却固化させ、
適当な大きさに粉砕して成形材料とすることができる。
こうして得られた成形材料は、半導体装置をはじめとす
る電子部品あるいは電気部品の封止、被覆、絶縁等に適
用すれば、優れた特性と信頼性を付与させることができ
る。
As a general method for preparing the epoxy resin composition of the present invention as a molding material, a specific phenol compound, a specific epoxy resin, an inorganic filler, a curing accelerator and other components described above are added to a predetermined component. After blending the raw material components selected in the composition ratio and mixing them sufficiently uniformly with a mixer or the like, further perform a melting and mixing treatment with a hot roll or a mixing treatment with a kneader or the like, and then cool and solidify,
It can be pulverized to an appropriate size to obtain a molding material.
If the molding material thus obtained is applied to sealing, coating, insulating, etc. of electronic parts or electric parts such as semiconductor devices, excellent properties and reliability can be imparted.

【0014】本発明の半導体封止装置は、上述した成形
材料を用いて、半導体チップを封止することにより容易
に製造することができる。封止を行う半導体チップとし
ては、例えば、集積回路、大規模集積回路、トランジス
タ、サイリスタ、ダイオード等で特に限定されるもので
はない。封止の最も一般的な方法としては、低圧トラン
スファー成形法があるが、射出成形、圧縮成形、注型等
による封止も可能である。成形材料は封止の際に加熱し
て硬化させ、最終的にはこの硬化物によって封止された
半導体封止装置が得られる。加熱による硬化は、150
℃以上に加熱して硬化させることが望ましい。また、チ
ップを搭載する基板としては、セラミック、プラスティ
ック、ポリイミドフィルム、リードフレーム等特に限定
されるものではない。
The semiconductor sealing device of the present invention can be easily manufactured by sealing a semiconductor chip using the above-mentioned molding material. The semiconductor chip to be sealed is not particularly limited to, for example, an integrated circuit, a large-scale integrated circuit, a transistor, a thyristor, a diode, and the like. The most common sealing method is a low-pressure transfer molding method, but sealing by injection molding, compression molding, casting or the like is also possible. The molding material is heated and cured at the time of sealing, and finally a semiconductor sealing device sealed with the cured product is obtained. Curing by heating is 150
Desirably, the composition is cured by heating to a temperature of at least ℃. The substrate on which the chip is mounted is not particularly limited, such as ceramic, plastic, polyimide film, and lead frame.

【0015】[0015]

【作用】本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体封止
装置は、前述した特定のフェノール化合物、特定のエポ
キシ樹脂を用いたことによって、樹脂組成物の吸水性を
低減し、難燃性も向上し、かつ高流動性を兼ね備えるこ
とにより、良好な成形性が付与され、半田浸漬、半田リ
フロー後の樹脂クラックの発生がなくなり、耐湿性劣化
が少なくなるものである。
The epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention use the specific phenol compound and the specific epoxy resin described above to reduce the water absorption of the resin composition and improve the flame retardancy. Also, by having high fluidity, good moldability is imparted, resin cracks after solder immersion and solder reflow are eliminated, and deterioration of moisture resistance is reduced.

【0016】[0016]

【実施例】次に本発明を実施例によって具体的に説明す
るが、本発明はこれらの実施例によって限定されるもの
ではない。以下の実施例及び比較例において、「%」と
は「重量%」を意味する。
Next, the present invention will be described specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following Examples and Comparative Examples, “%” means “% by weight”.

【0017】実施例1 前述した化7のフェノール化合物2.7%、前述した化
8のフェノール化合物0.5%、3,3′,5,5′−
テトラメチル−4,4′−ビス(2,3−エポキシプロ
ピルオキシ)ジフェニルメタン4.0%、シリカ粉末9
2%、硬化促進剤0.2%、天然ワックス0.2%およ
びシランカップリング剤0.4%を常温で混合し、さら
に70〜80℃で混練してこれを冷却固化して成形材料
(A)を製造した。
Example 1 2.7% of the above-mentioned phenol compound of the formula 7, 0.5% of the phenol compound of the above-mentioned formula 8, 3,3 ', 5,5'-
Tetramethyl-4,4'-bis (2,3-epoxypropyloxy) diphenylmethane 4.0%, silica powder 9
2%, 0.2% of a curing accelerator, 0.2% of a natural wax and 0.4% of a silane coupling agent are mixed at room temperature, kneaded at 70 to 80 ° C, and cooled and solidified to form a molding material ( A) was prepared.

【0018】実施例2 実施例1で用いた化7のフェノール化合物3.3%、化
8のフェノール化合物0.7%、3,3′,5,5′−
テトラメチル−4,4′−ビス(2,3−エポキシプロ
ピルオキシ)ジフェニルメタン4.9%、シリカ粉末9
0%、硬化促進剤0.2%、天然ワックス0.2%およ
びシランカップリング剤0.7%を常温で混合し、さら
に70〜80℃で混練してこれを冷却固化して成形材料
(B)を製造した。
Example 2 3.3% of the phenol compound of the formula (7) used in Example 1, 0.7% of the phenol compound of the formula (8), 3,3 ', 5,5'-
4.9% of tetramethyl-4,4'-bis (2,3-epoxypropyloxy) diphenylmethane, silica powder 9
0%, a curing accelerator 0.2%, a natural wax 0.2% and a silane coupling agent 0.7% are mixed at room temperature, further kneaded at 70 to 80 ° C., and cooled and solidified to form a molding material ( B) was prepared.

【0019】実施例3 前述した化7のフェノール化合物5.1%、前述した化
8のフェノール化合物1.0%、3,3′,5,5′−
テトラメチル−4,4′−ビス(2,3−エポキシプロ
ピルオキシ)ジフェニルメタン7.6%、シリカ粉末8
5%、硬化促進剤0.4%、天然ワックス0.2%およ
びシランカップリング剤0.7%を常温で混合し、さら
に70〜80℃で混練してこれを冷却固化して成形材料
(C)を製造した。
Example 3 5.1% of the above-mentioned phenol compound of formula 7, 1.0% of the above-mentioned phenol compound of formula 8, 3,3 ', 5,5'-
7.6% of tetramethyl-4,4'-bis (2,3-epoxypropyloxy) diphenylmethane, silica powder 8
5%, a curing accelerator 0.4%, a natural wax 0.2% and a silane coupling agent 0.7% are mixed at room temperature, further kneaded at 70 to 80 ° C, and cooled and solidified to form a molding material ( C) was prepared.

【0020】実施例4 前述した化7のフェノール化合物3.1%、前述した化
8のフェノール化合物0.6%、2,2′,3,3′,
5,5′−ヘキサメチル−4,4′−ビス(2,3−エ
ポキシプロピルオキシ)ジフェニルメタン5.1%、シ
リカ粉末90%、硬化促進剤0.2%、天然ワックス
0.2%およびシランカップリング剤0.8%を常温で
混合し、さらに70〜80℃で混練してこれを冷却固化
して成形材料(D)を製造した。
Example 4 3.1% of the above-mentioned phenol compound of the formula (7), 0.6% of the phenol compound of the above-mentioned formula (8), 2,2 ', 3,3',
5,5'-hexamethyl-4,4'-bis (2,3-epoxypropyloxy) diphenylmethane 5.1%, silica powder 90%, curing accelerator 0.2%, natural wax 0.2% and silane cup 0.8% of a ring agent was mixed at room temperature, further kneaded at 70 to 80 ° C, and cooled and solidified to produce a molding material (D).

【0021】比較例1 ビフェニル型エポキシ樹脂4.9%、フェノールアラル
キル樹脂3.9%、シリカ粉末90%、硬化促進剤0.
2%、天然ワックス0.2%およびシランカップリング
剤0.8%を常温で混合し、さらに70〜80℃で混練
してこれを冷却固化して成形材料(E)を製造した。
Comparative Example 1 Biphenyl type epoxy resin 4.9%, phenol aralkyl resin 3.9%, silica powder 90%, curing accelerator 0.
2%, natural wax 0.2% and silane coupling agent 0.8% were mixed at room temperature, kneaded at 70-80 ° C, and cooled and solidified to produce a molding material (E).

【0022】比較例2 ビフェニル型エポキシ樹脂7.7%、フェノールアラル
キル樹脂6.2%、シリカ粉末85%、硬化促進剤0.
3%、天然ワックス0.2%およびシランカップリング
剤0.6%を常温で混合し、さらに70〜80℃で混練
してこれを冷却固化して成形材料(F)を製造した。
Comparative Example 2 Biphenyl type epoxy resin 7.7%, phenol aralkyl resin 6.2%, silica powder 85%, curing accelerator 0.1%
3%, natural wax 0.2% and silane coupling agent 0.6% were mixed at room temperature, kneaded at 70-80 ° C, and cooled and solidified to produce a molding material (F).

【0023】こうして製造した成形材料(A)〜(F)
を用いて、180℃に加熱した金型内にトランスファー
注入し、硬化させて半導体チップを封止して半導体封止
装置を製造した。これらの半導体封止装置について、諸
試験を行ったのでその結果を表1に示したが、本発明の
エポキシ樹脂組成物及び半導体封止装置は、流動性、耐
湿性、半田耐熱性に優れており、本発明の顕著な効果を
確認することができた。
The molding materials (A) to (F) thus produced
Was transferred into a mold heated to 180 ° C. and cured to seal a semiconductor chip, thereby manufacturing a semiconductor sealing device. Various tests were performed on these semiconductor sealing devices, and the results are shown in Table 1. The epoxy resin composition and the semiconductor sealing device of the present invention have excellent fluidity, moisture resistance, and solder heat resistance. Thus, a remarkable effect of the present invention could be confirmed.

【0024】[0024]

【表1】 *1:トランスファー成形によって直径50mm、厚さ
3mmの成形品を作り、これを127℃,2.5気圧の
飽和水蒸気中に24時間放置し、増加した重量によって
測定した。
[Table 1] * 1: A molded article having a diameter of 50 mm and a thickness of 3 mm was prepared by transfer molding, left in a saturated steam at 127 ° C. and 2.5 atm for 24 hours, and measured by the increased weight.

【0025】*2:吸水率の場合と同様な成形品を作
り、175℃で8時間の後硬化を行い、適当な大きさの
試験片とし、熱機械分析装置を用いて測定した。
* 2: A molded article similar to that in the case of the water absorption was prepared, post-cured at 175 ° C. for 8 hours, a test piece of an appropriate size was measured using a thermomechanical analyzer.

【0026】*3:EMMI1−66に準じて試験し
た。
* 3: Tested according to EMMI1-66.

【0027】*4:成形材料を用いて、2本のアルミニ
ウム配線を有するシリコン製チップを、通常のQFP用
フレームに接着したものを、180℃で1分間トランス
ファー成形した後、175℃で8時間の後硬化を行っ
た。こうして得た成形品を、127℃,2.5気圧の飽
和水蒸気中で耐湿試験を行い、アルミニウム腐食による
50%断線(不良発生)の起こる時間を評価した。
* 4: Using a molding material, a silicon chip having two aluminum wirings bonded to a normal QFP frame was transfer molded at 180 ° C. for 1 minute, and then at 175 ° C. for 8 hours. Was post-cured. The molded article thus obtained was subjected to a moisture resistance test in saturated steam at 127 ° C. and 2.5 atm to evaluate the time at which 50% disconnection (defect occurrence) due to aluminum corrosion occurred.

【0028】*5:60×60mmダミーチップをQF
P(10×10×1.0mm)パッケージに納め、成形
材料を用いて、180℃で1分間トランスファー成形し
た後、175℃で8時間の後硬化を行った。こうして製
造した半導体封止装置を85℃,85%,168時間の
吸湿処理をした後、270℃のIRリフローを30秒間
行い、パッケージクラックの発生の有無を評価した。
* 5: A 60 × 60 mm dummy chip is QF
It was placed in a P (10 × 10 × 1.0 mm) package, transfer-molded at 180 ° C. for 1 minute using a molding material, and then post-cured at 175 ° C. for 8 hours. The semiconductor sealing device thus manufactured was subjected to a moisture absorption treatment at 85 ° C., 85% for 168 hours, and then subjected to IR reflow at 270 ° C. for 30 seconds to evaluate the occurrence of package cracks.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上の説明及び表1から明らかなよう
に、本発明のエポキシ樹脂組成物及び半導体封止装置
は、流動性が良好で、成形性に優れ、また、実装時の半
田耐熱性に優れ、樹脂クラックもなく、接着性も良好で
あり、また実装後の耐湿性に優れ、長期間にわたって信
頼性を保証することができる。
As is clear from the above description and Table 1, the epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention have good fluidity, excellent moldability, and solder heat resistance during mounting. It has excellent adhesion, good resin adhesion, excellent moisture resistance after mounting, and can guarantee reliability for a long period of time.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4J002 CC032 CC042 CD051 DJ017 EJ016 EJ036 EJ046 EU118 EW138 FD017 FD142 FD146 FD158 4J036 AD08 DC41 FA05 FB08 4M109 AA01 BA01 BA03 BA05 CA21 EA03 EB03 EB04 EB12 EC01 EC05 EC09 EC20  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4J002 CC032 CC042 CD051 DJ017 EJ016 EJ036 EJ046 EU118 EW138 FD017 FD142 FD146 FD158 4J036 AD08 DC41 FA05 FB08 4M109 AA01 BA01 BA03 BA05 CA21 EA03 EB03 EB04 EC20 EC05 EC05

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)次の一般式で示されるフェノール
化合物、 【化1】 (但し、式中、nは1以上の整数を表す) (B)次の一般式で示されるフェノール化合物、 【化2】 (但し、式中、nは1以上の整数を表す) (C)次の一般式で示されるエポキシ樹脂、 【化3】 (但し、式中、R1 はメチル基を、R2 は水素原子又は
メチル基をそれぞれ表す) (C)無機質充填剤および (D)硬化促進剤 を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(D)無機質
充填剤を80〜95重量%の割合で含有してなることを
特徴とするエポキシ樹脂組成物。
(A) a phenolic compound represented by the following general formula: (Wherein, n represents an integer of 1 or more) (B) A phenol compound represented by the following general formula: (Wherein, n represents an integer of 1 or more) (C) an epoxy resin represented by the following general formula: (Wherein, R 1 represents a methyl group, and R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group, respectively) (C) an inorganic filler and (D) a curing accelerator as essential components, and (D) An epoxy resin composition comprising an inorganic filler in a proportion of 80 to 95% by weight.
【請求項2】 (A)次の一般式で示されるフェノール
化合物、 【化4】 (但し、式中、nは1以上の整数を表す) (B)次の一般式で示されるフェノール化合物、 【化5】 (但し、式中、nは1以上の整数を表す) (C)次の一般式で示されるエポキシ樹脂、 【化6】 (但し、式中、R1 はメチル基を、R2 は水素原子又は
メチル基をそれぞれ表す) (C)無機質充填剤および (D)硬化促進剤 を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(D)無機質
充填剤を80〜95重量%の割合で含有してなるエポキ
シ樹脂組成物の硬化物によって、半導体チップが封止さ
れてなることを特徴とする半導体封止装置。
(A) a phenolic compound represented by the following general formula: (Wherein, n represents an integer of 1 or more) (B) a phenol compound represented by the following general formula: (Wherein, n represents an integer of 1 or more) (C) an epoxy resin represented by the following general formula: (Wherein, R 1 represents a methyl group, and R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group, respectively) (C) an inorganic filler and (D) a curing accelerator as essential components, and (D) A semiconductor sealing device, wherein a semiconductor chip is sealed with a cured product of an epoxy resin composition containing an inorganic filler in a ratio of 80 to 95% by weight.
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