JP2002054501A - センサ付きヘッドガスケット - Google Patents

センサ付きヘッドガスケット

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JP2002054501A JP2000240170A JP2000240170A JP2002054501A JP 2002054501 A JP2002054501 A JP 2002054501A JP 2000240170 A JP2000240170 A JP 2000240170A JP 2000240170 A JP2000240170 A JP 2000240170A JP 2002054501 A JP2002054501 A JP 2002054501A
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Takashi Yamamoto
隆士 山本
Atsushi Hashikawa
淳 橋川
Muneo Yorinaga
宗男 頼永
Kazuya Kichijima
一也 吉島
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Soken Inc
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Nippon Soken Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 内燃機関のヘッドガスケットのシール性能の
評価のために、実機運転時において変動する面圧を正確
に、且つ容易に測定すること。 【解決手段】 金属基板3の表面を絶縁膜によって被覆
し、その上に圧力の大きさに応じて電気抵抗値が変化す
る薄膜状の抵抗体からなるセンシング部11を配線膜8
と共に配置し、更にその上に絶縁膜を被覆した構造を有
するセンサ基板2と、内燃機関のヘッドガスケットとを
積層して一体化することにより、センサ付きヘッドガス
ケット1を構成している。従って、ヘッドガスケットの
直下に組み込まれた薄膜状の抵抗体によって、ヘッドガ
スケットに作用する面圧を実機運転時に計測することが
できる。面圧は筒内圧に比例するので、センサ基板2に
よって筒内圧を検知することもできる。更に、歪みや温
度をも同様に検出し、面圧信号を補正してより正確にす
ることも可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、内燃機関(エンジ
ン)に使用されるヘッドガスケットに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】ヘッドガスケットは、内燃機関のエンジ
ンヘッド(シリンダヘッド)とシリンダブロックとの間
を密封するために使用される重要な部品である。もしヘ
ッドガスケットのシール性能が十分でなければ、気筒内
の燃焼ガスが外部へ漏れ出て内燃機関の出力が低下す
る。従って、ヘッドガスケットのシール性能を向上させ
るために、特開2000−161494号公報に記載さ
れているようなヘッドガスケットの改良が試みられてい
る。ヘッドガスケットのシール性能が十分であるか否か
を評価するための手段として感圧紙(登録商標)を使用
する方法が知られている。また、特開平8−32747
4号公報には、ピンチローラやスキージの圧力バランス
を測定するというように、ヘッドガスケットとは全く異
なる目的に使用されるものではあるが、膜状の形態を有
する圧力分布センサが記載されている。
【0003】従来から行われている感圧紙を用いる方法
によっては、ヘッドガスケットに作用する面圧の最高値
のデータが得られるだけで、面圧の変動を測定すること
はできない。また、ピンチローラ用の圧力分布センサ
は、最高圧以外に圧力変動を測定することも可能である
が、内燃機関の実機運転時におけるヘッドガスケットの
ように、高温の下での圧力測定に使用可能であるとは考
えられない。何故なら、この圧力分布センサにおいて
は、センシング部が受ける熱に対する考慮が払われてい
ないので、使用されている材料にクリープが発生するこ
とにより、繰り返して測定する場合に、検出結果に再現
性が得られるとは考えられないからである。従って、従
来のセンサによっては、内燃機関の実機運転時における
ヘッドガスケットの圧力変動を測定して動的にシール性
能を評価することは不可能であって、シール性能の評価
は静的な測定によるものに限られる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】内燃機関のヘッドガス
ケットについてのシール性能の評価は静的な状態におけ
るものよりも、実機運転時のように高温下で変動する面
圧が作用する動的な状態におけるものがより重要である
から、実機運転時における圧力変動を正確に測定するこ
とはヘッドガスケットのシール性能の評価のために必要
なことであるが、従来はそのための好適な測定手段が無
かったと言える。そこで、本発明は、従来技術における
このような問題に対処して、内燃機関の実機運転時にお
いてヘッドガスケットに作用する圧力を正確に検出する
ことができるような、改良された測定手段を提供するこ
とを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記の課題を
解決するための手段として、特許請求の範囲の請求項1
に記載されたセンサ付きヘッドガスケットを提供する。
【0006】本発明のセンサ付きヘッドガスケットを使
用すれば、リード線のようなものによって外部へ接続さ
れる配線膜を介して、薄膜状の抵抗体の電気抵抗値を測
定することにより、その値の大きさからヘッドガスケッ
トに作用している面圧を直接に且つ容易に検知すること
ができる。この測定は内燃機関の静止時は勿論、ヘッド
ガスケットが高温となる実機運転時においても何の支障
もなく行うことができるので、ヘッドガスケットの動的
なシール性能の評価が可能になる。また、薄膜抵抗体は
ヘッドガスケットと一体化されていて組み付けに特別の
手数を要することがなく容易であり、その厚さも僅かで
あるから、薄膜抵抗体等によってヘッドガスケット本来
のシール性能が損なわれる恐れはない。
【0007】本発明のセンサ付きヘッドガスケットにお
いては、圧力計測用の薄膜抵抗体を含むセンサ基板の近
傍に、或いはそれに積み重ねるように、歪計測用の薄膜
抵抗体を含むセンサ基板と、温度計測用の薄膜抵抗体を
含むセンサ基板との少なくとも一方を配置することがで
きる。圧力計測用のセンサ基板の出力信号には歪みや温
度の影響が加わっていることが多いので、歪計測用のセ
ンサ基板や温度計測用のセンサ基板の出力信号によって
補正を加えることにより、一層正確な圧力を計測するこ
とができる。この場合、複数個の歪計測用センサ基板を
使用して、例えば、シリンダボアの半径方向における歪
と、それに対して直角の円周方向における歪というよう
に、異なる方向の歪みをそれぞれ別に計測すれば、歪み
による補正が更に正確なものとなる。
【0008】薄膜抵抗体等を含むセンサ基板とヘッドガ
スケットとを一体化させるために、センサ基板の金属基
板とヘッドガスケットを溶接によって固定することがで
きる。それによってセンサ付きヘッドガスケットの強度
が向上し、耐久性が高くなるだけでなく、圧力等の検出
精度も高くなる。また、具体的に、金属基板としてヘッ
ドガスケットよりも小さいものを使用すると共に、セン
サ基板の高さに見合うブランク板を設けて両者の高さを
揃えるとか、ブランク板とセンサ基板との間の隙間を液
状パッキンによって密封し、流体の漏洩を防止すると
か、センサ基板の上下にヘッドガスケットと同じ形状の
当て板を配置することもできる。
【0009】本発明のセンサ付きヘッドガスケットにお
いては、このように、薄膜抵抗体等を含むセンサ基板を
ヘッドガスケットのシール面の直下に設けるので、実機
運転時における内燃機関のヘッドガスケットのシール面
における圧力の変化を確実に測定することができる。ま
た、シール面の圧力は筒内圧と直線的な関係にあるの
で、本発明のセンサ付きヘッドガスケットのセンサ基板
を筒内圧センサとして利用することもできる。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明による内燃機関用の圧力セ
ンサ付きヘッドガスケットの実施例の構造を図1〜図5
に示す。圧力計測用のセンサ基板2は、例えば、ステン
レス鋼であるSUS631の、厚さが0.2mmの薄板
からなる当て板3上に形成されている。以下、その構成
について詳細に説明する。図4に示すように、当て板3
は、その上に繊細な薄膜抵抗体5〜7を形成するので、
薄膜抵抗体5〜7の断線を防止するために、表面に鏡面
研磨を施すことが望ましい。また、当て板3には高温の
下でシール面に圧力が作用するため、熱とシール面圧に
よってクリープによる塑性変形を起こさないように、常
温における降伏点が高いだけでなく、高温の下における
耐力の大きい(クリープ限界の高い)材質を用いる必要
がある。実施例においてSUS631の薄板を当て板3
の材料として使用しているのは、クリープに対する耐力
が大きいためである。
【0011】圧力計測用のセンサ基板2は、図4に示す
ように、当て板3上に被覆された下層の絶縁膜4aと、
その上に積層して設けられた圧力検出用の薄膜抵抗体5
と、それに重ねるか、或いは図3に示すように圧力検出
用抵抗体5にできるだけ接近して設けられた歪補正用の
薄膜抵抗体6及び温度補正用の薄膜抵抗体7と、各薄膜
抵抗体5〜7に対して接続される配線膜8と、それら薄
膜抵抗体5〜7や配線膜8等の上面を覆う上層の絶縁膜
4bとから構成されており、配線膜8には電極膜9が設
けられていて、それに接続するようにリード線10が取
り付けられている。薄膜抵抗体5〜7のうちの2つ以上
が積層される部分では、それら複数の薄膜抵抗体の間に
も図示しない絶縁膜が設けられる。なお、図3にも例示
している薄膜抵抗体5〜7等はセンサ基板2の要部であ
るから、以下の説明においては、これらを纏めてセンシ
ング部11と呼んでいる。
【0012】薄膜抵抗体5〜7を当て板3の絶縁膜4a
上に、例えば図3に示すようなパターンにおいて形成す
るには、スパッタリング、蒸着、CVD等のような一般
的に行われる薄膜形成方法を使用することができる。ま
た、当然のことながら、薄膜抵抗体5〜7の材質として
は、薄膜の形成が可能なものであることが必要である。
圧力検出用の薄膜抵抗体5の材料は、圧力感度が大きく
て、歪みや温度に対する感度が小さい材質であることが
必要である。従って、圧力検出用抵抗体5のために好適
な材料としては、例えば、クロームが60〜99原子%
で、酸素が20〜30原子%、アルミニウムのような金
属元素が0〜10原子%の組成を有するクロームサーメ
ットやマンガニン等がある。これらの材料を細い線状の
薄膜に形成すると、その両面の間に作用する圧力の大き
さに応じて電気抵抗値が変化するので、本発明における
薄膜抵抗体5として利用することができる。
【0013】また、歪補正用抵抗体6の材料としては、
歪感度が大きい反面、圧力感度や温度感度が小さいもの
が必要であるから、例えば、ニッケル・クローム合金
や、銅・ニッケル合金が好適である。更に、温度補正用
抵抗体7の材料としては、温度感度が大きくて、圧力感
度や歪感度が小さいことが必要なので、例えば、チタン
や白金が好適である。いずれの材料も、図3に例示した
ような形状の薄膜抵抗体6,7に形成して、細い線状の
部分の電気抵抗値によって、曲げのような機械的歪みの
大きさや温度を検出し、圧力検出用抵抗体5の検出信号
に含まれる歪みや温度の成分を取り除くために利用され
る。なお、配線膜8の材料としては比抵抗が小さくて、
圧力や歪み、温度等に対する感度が小さいものが必要で
あるから、例えば、アルミニウムや銅が好適である。
【0014】図2に例示したように、センサ基板2の形
状は、ヘッドガスケット16の形状及び所望の測定エリ
アの位置や大きさに応じて、r方向(シリンダボア18
の半径方向)の幅や、θ方向(シリンダボア18の半径
方向に対して直角の方向、即ち接線方向)の幅等を必要
な大きさに設計すればよい。但し、センシング部11を
構成する薄膜抵抗体5〜7の抵抗値が常温において50
Ω以上となるように設計することが望ましい。この理由
は、測定誤差の原因となる配線抵抗の値に対して薄膜抵
抗体5〜7の抵抗値を大きくして、前者/後者の比の値
を小さくするためである。また、薄膜抵抗体5〜7の出
力が微弱であるため、図示しない増幅回路によって出力
信号を増幅するが、薄膜抵抗体5〜7の抵抗値が小さい
ときはノイズも大きくなるので、出力信号を明確に検知
することができなくなるためである。
【0015】図1はヘッドガスケット16とそれに一体
化されたセンサ基板2からなるセンサ付きヘッドガスケ
ット1を全体的に例示したもので、図2は、同じ例にお
いてヘッドガスケット16と当て板13及びポリイミド
シート14を取り除いた状態の、センサ基板2を拡大し
て示したものである。図2において17は内燃機関本体
のシリンダブロックの頂面を示している。図3は、図2
に示したようなセンサ基板2の中核となるセンシング部
11における薄膜抵抗体5〜7の具体的な構成を例示し
たもので、前述のようにセンシング部11には、幅の狭
い線状の薄膜部分を有する圧力検出用抵抗体5、歪補正
用抵抗体6、及び温度補正用抵抗体7が、それぞれ図3
に例示されているように近接して配置されている。な
お、歪補正用抵抗体6はr方向の歪みを検出する薄膜抵
抗体6aと、θ方向の歪みを検出する薄膜抵抗体6bに
分類することができる。圧力検出用抵抗体5と補正用の
薄膜抵抗体6,7は重ねて、間に絶縁膜を挟んで積層し
てもよい。
【0016】図3に例示したようなセンシング部11を
構成する薄膜抵抗体5〜7は、当て板3上の絶縁膜4a
の上にマスクを使用してスパッタリングや蒸着、CVD
等の方法によって、あたかも印刷のように形成される
が、そのように形成される薄膜抵抗体5〜7の線の幅
は、当て板3にSUS631を使用する場合でも下地の
欠陥によって断線が生じるのを防止するために10μm
以上とすることが望ましい。しかし、下地の欠陥をなく
すためにポリイミド樹脂やSiO2 系被膜形成用塗布液
を絶縁膜として使用する場合には、線の幅を10μm以
下に細くすることもできる。
【0017】本発明のセンサ付きヘッドガスケット1に
おいては、ヘッドガスケット16に対して前述のような
構造の必要な種類のセンサ基板2を、必要な数だけ一体
化させた構成となっている。センサ基板2とヘッドガス
ケット16を一体化させるための構造を図5に例示す
る。図5の例では、センサ基板2とヘッドガスケット1
6の高さを揃えるためにスペーサとなるブランク板12
を設けると共に、センサ基板2とブランク板12を一体
化させるために、それらの上下にヘッドガスケット16
と同じ形状を有する当て板13a及び13bを設けてい
る。もっとも、当て板13を上下に設ける必要はなく、
上下の当て板13a又は13bのいずれか一方のみであ
ってもよい。
【0018】また、センサ基板2とブランク板12との
間の隙間は、シリンダ内のガスや内燃機関本体内を流れ
る冷却水或いは潤滑油等の漏れを防止するために、液状
パッキン15によって埋める。更に、センサ基板2と当
て板13との間にはセンサ基板2の絶縁性能を高めるた
めにポリイミドのシート14を設ける。それによってセ
ンサ基板2の寿命が長くなる。そして、これらの上にヘ
ッドガスケット16を設けて、各センサ基板2のセンシ
ング部11とヘッドガスケット16との位置関係を固定
するために、シリンダボア18の縁部に対応する部分を
図1に示すようにレーザ溶接19によって固定する。こ
のようにセンサ基板2とヘッドガスケット16を固定す
るのは、ヘッドガスケット16には圧力分布が存在する
ため、センサ基板2とヘッドガスケット16の位置関係
が変化することによって測定精度が悪化するので、それ
を防止するためである。
【0019】また、各センサ基板2の当て板3とヘッド
ガスケット16を一体化させるために、図1に例示した
ように、当て板3をヘッドガスケット16よりも大きく
したり、ヘッドガスケット16を当て板3の代わりに使
用して、センサ基板2をヘッドガスケット16の上に直
接に形成してもよい。このようにすると、ブランク板1
2や当て板13等の部品が不要となるので、部品点数を
少なくすることができるという利点がある。なお、1枚
の当て板3の上にセンサ基板2を1個だけでなく複数個
構成することができることは言うまでもない。
【0020】図示実施例においては、センサ基板2の要
部であるセンシング部11に、圧力検出用のCr−Al
−O合金からなる薄膜抵抗体5、歪補正用のNi−Cr
合金からなる薄膜抵抗体6a,6b、及び温度補正用の
Tiからなる薄膜抵抗体7という4種類の薄膜抵抗体を
設けている。圧力検出用抵抗体5は歪感度をも有してい
るし、実機運転時におけるヘッドガスケット16のシー
ル面には僅かに曲げ等の歪みが発生するので、圧力検出
用抵抗体5が出力する信号には歪みによるものも含まれ
ている。これを補正するために、r方向及びθ方向の歪
補正用の薄膜抵抗体6a,6bが設けられており、それ
らが出力する信号によって、圧力検出用抵抗体5の出力
する信号が補正される。このような信号の処理は常套手
段として、例えば、マイクロプロセッサを使用する図示
しない演算装置において容易に行うことができる。
【0021】同様に、Cr−Al−O合金を使用する圧
力検出用抵抗体5には温度特性があるので、圧力検出用
抵抗体5が出力する信号にはセンシング部11において
部分的に異なる温度に対応するものも含まれている。こ
れを補正するために、圧力検出用抵抗体5の近傍に温度
補正用抵抗体7を設けて各部分の温度を検出し、その出
力信号によって主たる信号に修正を加える。本発明の主
たる目的はヘッドガスケット16の各部分における圧力
を検出することであるから、歪みの補正のために歪補正
用抵抗体6を圧力検出用抵抗体5に併設したり、温度補
正のために温度補正用抵抗体7を併設しているが、補正
用の薄膜抵抗体6,7の検出値をそのまま利用して歪み
を測定したり、温度を測定することも可能であることは
言うまでもない。
【0022】なお、これらの薄膜抵抗体5〜7の出力信
号は微弱なものであるから、定電流回路や定電圧回路を
使用して信号を増幅する必要がある。内燃機関の実機運
転時における面圧の変動を実測した結果を図6に示す。
また、図6には、別の測定装置によって同時に測定した
同じ内燃機関の筒内圧の変化も示されている。これらの
線図から、内燃機関の燃焼室内における爆発に応じて周
期的にヘッドガスケット16の圧力(面圧)が低下する
ことが判る。また、筒内圧の変化と、本発明のヘッドガ
スケットのセンサによって測定した面圧の変化との間に
は明らかな相関が認められる。両者の関係は、図7のよ
うな線図上に整理してみると直線的な関係(一次的な比
例関係)であることが判る。従って、圧力検出用抵抗体
5を含む本発明のセンサ基板2を筒内圧センサとして使
用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のセンサ付きヘッドガスケットの実施例
を示す平面図である。
【図2】図1においてヘッドガスケット等を取り除い
て、主としてセンサ基板を示す平面図である。
【図3】センサ基板のセンシング部の構成を拡大して例
示する平面図である。
【図4】センサ基板におけるセンシング部付近の断面構
造を拡大して例示する断面図である。
【図5】センサ基板の近傍におけるヘッドガスケットの
断面構造を例示する断面図である。
【図6】内燃機関の運転時のヘッドガスケットにおける
圧力変動を計測する本発明のセンサの出力信号と、別に
測定した筒内圧の信号を対比して示す線図である。
【図7】図6に示すセンサの出力信号と筒内圧の信号と
の関係を示す線図である。
【符号の説明】
1…センサ付きヘッドガスケット 2…センサ基板 3…当て板 4…絶縁膜 5…圧力検出用抵抗体 6…歪補正用抵抗体 7…温度補正用抵抗体 8…配線膜 9…電極膜 10…リード線 11…センシング部 12…ブランク板 13…当て板 14…ポリイミドシート 15…液状パッキン 16…ヘッドガスケット 17…シリンダブロック 18…シリンダボア 19…レーザ溶接
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋川 淳 愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地 株式会 社日本自動車部品総合研究所内 (72)発明者 頼永 宗男 愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地 株式会 社日本自動車部品総合研究所内 (72)発明者 吉島 一也 愛知県豊田市トヨタ町1番地 トヨタ自動 車株式会社内 Fターム(参考) 3J040 AA01 AA12 BA01 EA15 EA17 EA27 EA46 FA01 HA17 HA30

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属基板の表面を絶縁膜によって被覆
    し、その上に圧力の大きさに応じて電気抵抗値が変化す
    る薄膜状の抵抗体を配線膜と共に配置し、更にその上に
    絶縁膜を被覆した構造を有する圧力計測が可能なセンサ
    基板と、内燃機関のヘッドガスケットとを積層して一体
    化させたことを特徴とする内燃機関用のセンサ付きヘッ
    ドガスケット。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記圧力計測が可能
    なセンサ基板に近接して、計測面の歪の計測が可能なセ
    ンサ基板と、前記計測面の温度の計測が可能なセンサ基
    板との少なくとも一方を配置して、前記圧力計測が可能
    なセンサ基板と併せて前記ヘッドガスケットに一体化さ
    せたことを特徴とする内燃機関用のセンサ付きヘッドガ
    スケット。
  3. 【請求項3】 請求項2において、前記計測面の歪の計
    測が可能なセンサ基板が、前記圧力計測が可能なセンサ
    基板が設けられる前記ヘッドガスケットの計測面におけ
    るシリンダボアの半径方向の歪と、前記半径方向に対し
    て直角な円周方向の歪とをそれぞれ別に計測するセンサ
    基板からなることを特徴とする内燃機関用のセンサ付き
    ヘッドガスケット。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
    前記センサ基板と前記ヘッドガスケットとを一体化させ
    るために、前記センサ基板の前記金属基板と前記ヘッド
    ガスケットを溶接によって固定したことを特徴とする内
    燃機関用のセンサ付きヘッドガスケット。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
    前記金属基板として前記ヘッドガスケットよりも小さい
    ものを用いると共に、前記金属基板の上に形成された前
    記センサ基板の高さに見合う高さを有するブランク板を
    設けて、前記センサ基板及び前記ブランク板の上下の少
    なくとも一方に前記ヘッドガスケットと同じ形状の当て
    板を配置し、前記ブランク板と前記センサ基板との間の
    隙間を液状パッキンによって密封したことを特徴とする
    内燃機関用のセンサ付きヘッドガスケット。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002213614A (ja) * 2001-01-19 2002-07-31 Marusan:Kk シリンダヘッドガスケットのシール性能予測評価方法
JP2004308761A (ja) * 2003-04-07 2004-11-04 Uchiyama Mfg Corp 多機能ガスケット
JP2006170707A (ja) * 2004-12-14 2006-06-29 Nissan Motor Co Ltd 圧力センサおよびその製造方法
JP2009192399A (ja) * 2008-02-15 2009-08-27 Honda Motor Co Ltd ひずみゲージ及びその製造方法
JP2010065600A (ja) * 2008-09-10 2010-03-25 Sanden Corp 流体機械

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002213614A (ja) * 2001-01-19 2002-07-31 Marusan:Kk シリンダヘッドガスケットのシール性能予測評価方法
JP4714349B2 (ja) * 2001-01-19 2011-06-29 エルリングクリンガー・マルサン株式会社 シリンダヘッドガスケットのシール性能予測評価方法
JP2004308761A (ja) * 2003-04-07 2004-11-04 Uchiyama Mfg Corp 多機能ガスケット
JP2006170707A (ja) * 2004-12-14 2006-06-29 Nissan Motor Co Ltd 圧力センサおよびその製造方法
JP2009192399A (ja) * 2008-02-15 2009-08-27 Honda Motor Co Ltd ひずみゲージ及びその製造方法
JP2010065600A (ja) * 2008-09-10 2010-03-25 Sanden Corp 流体機械

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