JP2002043053A - 有機エレクトロルミネッセンス表示パネル及び有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法及び多面取り用基板 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセンス表示パネル及び有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法及び多面取り用基板Info
- Publication number
- JP2002043053A JP2002043053A JP2000202245A JP2000202245A JP2002043053A JP 2002043053 A JP2002043053 A JP 2002043053A JP 2000202245 A JP2000202245 A JP 2000202245A JP 2000202245 A JP2000202245 A JP 2000202245A JP 2002043053 A JP2002043053 A JP 2002043053A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- organic
- identification code
- display panel
- material layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 115
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 35
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 43
- 239000010408 film Substances 0.000 description 14
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 11
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 10
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 2
- 101100321669 Fagopyrum esculentum FA02 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 有機エレクトロルミネセンス表示パネルの製
造効率を向上できる多面取り用基板及び該基板を用いた
表示パネルの製造方法を提供する。 【解決手段】 有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
ルであって、基板と、基板上に積層された複数の電極及
び有機材料層からなる有機エレクトロルミネッセンス素
子からなる表示パネル領域と、基板上に形成された配線
と、基板上において電極及び有機材料層を構成する少な
くとも１つの材料と同一材料で形成された識別符号表示
部と、を含む。
造効率を向上できる多面取り用基板及び該基板を用いた
表示パネルの製造方法を提供する。 【解決手段】 有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
ルであって、基板と、基板上に積層された複数の電極及
び有機材料層からなる有機エレクトロルミネッセンス素
子からなる表示パネル領域と、基板上に形成された配線
と、基板上において電極及び有機材料層を構成する少な
くとも１つの材料と同一材料で形成された識別符号表示
部と、を含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電流の注入によっ
て発光するエレクトロルミネッセンス（以下、ＥＬとも
いう）を呈する有機化合物材料の薄膜からなる発光層
（以下、有機発光層という）を各々が備えた複数の有機
ＥＬ素子を、所定パターンにて基板上に形成する有機Ｅ
Ｌ表示パネルの製造方法に関し、特に該製造方法に用い
る多面取り用基板に関する。
て発光するエレクトロルミネッセンス（以下、ＥＬとも
いう）を呈する有機化合物材料の薄膜からなる発光層
（以下、有機発光層という）を各々が備えた複数の有機
ＥＬ素子を、所定パターンにて基板上に形成する有機Ｅ
Ｌ表示パネルの製造方法に関し、特に該製造方法に用い
る多面取り用基板に関する。
【０００２】
【従来の技術】有機ＥＬ素子は、透明基板上に、透明電
極と、有機ＥＬ媒体と、金属電極とが順次積層されて構
成される。例えば、有機ＥＬ媒体は、有機発光層の単一
層、あるいは有機正孔輸送層、有機発光層及び有機電子
輸送層の３層構造の媒体、又は有機正孔輸送層及び有機
発光層２層構造の媒体、さらにこれらの適切な層間に電
子或いは正孔の注入層を挿入した積層体の媒体などであ
る。
極と、有機ＥＬ媒体と、金属電極とが順次積層されて構
成される。例えば、有機ＥＬ媒体は、有機発光層の単一
層、あるいは有機正孔輸送層、有機発光層及び有機電子
輸送層の３層構造の媒体、又は有機正孔輸送層及び有機
発光層２層構造の媒体、さらにこれらの適切な層間に電
子或いは正孔の注入層を挿入した積層体の媒体などであ
る。
【０００３】有機ＥＬ表示パネルの例えばマトリクス表
示タイプのものは、透明電極層を含む行電極と、有機Ｅ
Ｌ媒体と、行電極に交差する金属電極層を含む列電極
と、が順次積層されて構成される。行電極は、各々が帯
状に形成されるとともに、所定の間隔をおいて互いに平
行となるように配列されており、列電極も同様である。
このように、マトリクス表示タイプの表示パネルは、複
数の行と列の電極の交差点（ドットともいう）に形成さ
れた複数の有機ＥＬ素子の発光画素からなる画像表示配
列すなわち表示パネル領域を有している。
示タイプのものは、透明電極層を含む行電極と、有機Ｅ
Ｌ媒体と、行電極に交差する金属電極層を含む列電極
と、が順次積層されて構成される。行電極は、各々が帯
状に形成されるとともに、所定の間隔をおいて互いに平
行となるように配列されており、列電極も同様である。
このように、マトリクス表示タイプの表示パネルは、複
数の行と列の電極の交差点（ドットともいう）に形成さ
れた複数の有機ＥＬ素子の発光画素からなる画像表示配
列すなわち表示パネル領域を有している。
【０００４】この有機ＥＬ表示パネルの製造工程におい
て、透明電極層を透明基板上に形成後、有機ＥＬ媒体が
発光画素に対応する１層以上の薄膜として、通常、蒸着
法により成膜される。その理由は、薄膜のパターニング
に用いられるフォトリソグラフィ法を有機ＥＬ素子に用
いる場合、フォトレジスト中の溶剤の素子への侵入や、
レジストベーク中の高温雰囲気や、レジスト現像液又は
エッチング液の素子への浸入や、ドライエッチング時の
プラズマによる有機ＥＬ媒体へのダメージにより、有機
ＥＬ素子特性が劣化する問題が生じるためである。
て、透明電極層を透明基板上に形成後、有機ＥＬ媒体が
発光画素に対応する１層以上の薄膜として、通常、蒸着
法により成膜される。その理由は、薄膜のパターニング
に用いられるフォトリソグラフィ法を有機ＥＬ素子に用
いる場合、フォトレジスト中の溶剤の素子への侵入や、
レジストベーク中の高温雰囲気や、レジスト現像液又は
エッチング液の素子への浸入や、ドライエッチング時の
プラズマによる有機ＥＬ媒体へのダメージにより、有機
ＥＬ素子特性が劣化する問題が生じるためである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】蒸着法による製造プロ
セスにおいては、基板毎に、それぞれ異なる蒸着用マス
クを用いて種々の蒸着工程を経て、複数の上記電極、有
機ＥＬ媒体からなる複数の有機ＥＬ素子が形成される。
小型有機ＥＬ表示パネルを製造する場合、複数の小型表
示パネル用透明基板領域を１つの大型の透明基板に形成
して、大型の透明基板を小型基板毎に分割、すなわち、
多面取りして形成するすることにより、製造効率を高め
ている。
セスにおいては、基板毎に、それぞれ異なる蒸着用マス
クを用いて種々の蒸着工程を経て、複数の上記電極、有
機ＥＬ媒体からなる複数の有機ＥＬ素子が形成される。
小型有機ＥＬ表示パネルを製造する場合、複数の小型表
示パネル用透明基板領域を１つの大型の透明基板に形成
して、大型の透明基板を小型基板毎に分割、すなわち、
多面取りして形成するすることにより、製造効率を高め
ている。
【０００６】大型化した透明基板を用いた場合、各々が
積層された複数の有機ＥＬ素子からなる表示パネル領域
とこれに接続される外部端子及び配線からなる配線領域
とを含む単位基板領域を、いくつか、当該大型透明基板
に形成しなければならない。また、この多面取り用透明
基板の大型化によって、複数の単位基板領域に対応する
マスク開口領域を備えた蒸着用マスクも大型化する必要
がある。
積層された複数の有機ＥＬ素子からなる表示パネル領域
とこれに接続される外部端子及び配線からなる配線領域
とを含む単位基板領域を、いくつか、当該大型透明基板
に形成しなければならない。また、この多面取り用透明
基板の大型化によって、複数の単位基板領域に対応する
マスク開口領域を備えた蒸着用マスクも大型化する必要
がある。
【０００７】しかしながら、蒸着用大型マスクでも、何
らかの原因で、その中の一部のマスク開口領域のうち１
つでも精度不良、開口部のバリ、つぶれなどの欠陥が生
じると、多面取り用透明基板から得られる小型有機ＥＬ
表示パネルの製造歩留まりが低下するという問題点があ
る。本発明は、このような問題を解決すべくなされ、本
発明の目的は、製造工程における複数の蒸着用大型マス
クの欠陥部位を特定できるとともに製造効率を向上でき
る多面取り用基板及び該基板を用いた有機ＥＬ表示パネ
ルの製造方法を提供することにある。
らかの原因で、その中の一部のマスク開口領域のうち１
つでも精度不良、開口部のバリ、つぶれなどの欠陥が生
じると、多面取り用透明基板から得られる小型有機ＥＬ
表示パネルの製造歩留まりが低下するという問題点があ
る。本発明は、このような問題を解決すべくなされ、本
発明の目的は、製造工程における複数の蒸着用大型マス
クの欠陥部位を特定できるとともに製造効率を向上でき
る多面取り用基板及び該基板を用いた有機ＥＬ表示パネ
ルの製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の有機エレクトロ
ルミネッセンス表示パネル基板は、基板と、前記基板上
に積層された複数の電極及び有機材料層からなる有機エ
レクトロルミネッセンス素子からなる表示パネル領域
と、前記基板上に形成された配線と、前記基板上におい
て前記電極及び有機材料層を構成する少なくとも１つの
材料と同一材料で形成された識別符号表示部と、を含む
ことを特徴とする。
ルミネッセンス表示パネル基板は、基板と、前記基板上
に積層された複数の電極及び有機材料層からなる有機エ
レクトロルミネッセンス素子からなる表示パネル領域
と、前記基板上に形成された配線と、前記基板上におい
て前記電極及び有機材料層を構成する少なくとも１つの
材料と同一材料で形成された識別符号表示部と、を含む
ことを特徴とする。
【０００９】本発明の有機エレクトロルミネッセンス表
示パネルにおいては、前記識別符号表示部は前記配線に
対応した符号を含むことを特徴とする。本発明の有機エ
レクトロルミネッセンス表示パネルにおいては、前記識
別符号表示部は複数の前記電極及び有機材料層を構成す
る材料に対応した符号を含むことを特徴とする。
示パネルにおいては、前記識別符号表示部は前記配線に
対応した符号を含むことを特徴とする。本発明の有機エ
レクトロルミネッセンス表示パネルにおいては、前記識
別符号表示部は複数の前記電極及び有機材料層を構成す
る材料に対応した符号を含むことを特徴とする。
【００１０】本発明の有機エレクトロルミネッセンス表
示パネルにおいては、前記識別符号表示部は文字、図形
若しくは記号若しくはこれらの結合であることを特徴と
する。本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
ルにおいては、前記識別符号表示部は前記基板の反射率
よりも高い反射率を有する材料で形成されたことを特徴
とする。
示パネルにおいては、前記識別符号表示部は文字、図形
若しくは記号若しくはこれらの結合であることを特徴と
する。本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
ルにおいては、前記識別符号表示部は前記基板の反射率
よりも高い反射率を有する材料で形成されたことを特徴
とする。
【００１１】また、本発明の基板は、有機エレクトロル
ミネッセンス表示パネルを製造するための多面取り用基
板であって、各々が積層された複数の電極及び有機材料
層からなる有機エレクトロルミネッセンス素子の複数か
らなる表示パネル領域を含む複数の単位基板領域からな
る基板と、前記単位基板領域上において前記電極及び有
機材料層を構成する少なくとも１つの材料と同一材料で
形成された識別符号表示部と、からなることを特徴とす
る。
ミネッセンス表示パネルを製造するための多面取り用基
板であって、各々が積層された複数の電極及び有機材料
層からなる有機エレクトロルミネッセンス素子の複数か
らなる表示パネル領域を含む複数の単位基板領域からな
る基板と、前記単位基板領域上において前記電極及び有
機材料層を構成する少なくとも１つの材料と同一材料で
形成された識別符号表示部と、からなることを特徴とす
る。
【００１２】本発明の基板においては、前記基板上に形
成された配線を備え、前記識別符号表示部は前記配線に
対応した符号を含むことを特徴とする。本発明の基板に
おいては、前記識別符号表示部は複数の前記単位基板領
域に対応した符号を含むことを特徴とする。本発明の基
板においては、前記識別符号表示部は複数の前記電極及
び有機材料層を構成する材料に対応した符号を含むこと
を特徴とする。
成された配線を備え、前記識別符号表示部は前記配線に
対応した符号を含むことを特徴とする。本発明の基板に
おいては、前記識別符号表示部は複数の前記単位基板領
域に対応した符号を含むことを特徴とする。本発明の基
板においては、前記識別符号表示部は複数の前記電極及
び有機材料層を構成する材料に対応した符号を含むこと
を特徴とする。
【００１３】本発明の基板においては、前記識別符号表
示部は文字、図形若しくは記号若しくはこれらの結合で
あることを特徴とする。本発明の基板においては、前記
識別符号表示部は前記基板の反射率よりも高い反射率を
有する材料で形成されたことを特徴とする。本発明の基
板においては、前記複数の単位基板領域の周囲に位置す
る枠領域を備え、前記枠領域上に前記電極及び有機材料
層を構成する少なくとも１つの材料と同一材料で形成さ
れた識別符号表示部を有することを特徴とする。
示部は文字、図形若しくは記号若しくはこれらの結合で
あることを特徴とする。本発明の基板においては、前記
識別符号表示部は前記基板の反射率よりも高い反射率を
有する材料で形成されたことを特徴とする。本発明の基
板においては、前記複数の単位基板領域の周囲に位置す
る枠領域を備え、前記枠領域上に前記電極及び有機材料
層を構成する少なくとも１つの材料と同一材料で形成さ
れた識別符号表示部を有することを特徴とする。
【００１４】さらに、本発明の基板製造方法は、有機エ
レクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法であっ
て、単位基板領域が複数の電極及び有機材料層からなる
有機エレクトロルミネッセンス素子の複数からなる表示
パネル領域を含むように、１つの基板上において前記単
位基板領域を複数形成する複数の工程群を含み、前記複
数の工程群の少なくとも１つの工程において、前記単位
基板領域上に、前記電極及び有機材料層を構成する少な
くとも１つの材料と同一材料で、識別符号表示部を形成
する工程を含むことを特徴とする。
レクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法であっ
て、単位基板領域が複数の電極及び有機材料層からなる
有機エレクトロルミネッセンス素子の複数からなる表示
パネル領域を含むように、１つの基板上において前記単
位基板領域を複数形成する複数の工程群を含み、前記複
数の工程群の少なくとも１つの工程において、前記単位
基板領域上に、前記電極及び有機材料層を構成する少な
くとも１つの材料と同一材料で、識別符号表示部を形成
する工程を含むことを特徴とする。
【００１５】本発明の基板製造方法においては、前記基
板上に形成された配線を備え、前記識別符号表示部は前
記配線に対応した符号を含むことを特徴とする。本発明
の基板製造方法においては、前記識別符号表示部は、複
数の前記単位基板領域に対応した符号を含むことを特徴
とする。本発明の基板製造方法においては、前記識別符
号表示部は、前記複数の工程群における前記電極及び有
機材料層を構成する材料に対応した符号を含むことを特
徴とする。
板上に形成された配線を備え、前記識別符号表示部は前
記配線に対応した符号を含むことを特徴とする。本発明
の基板製造方法においては、前記識別符号表示部は、複
数の前記単位基板領域に対応した符号を含むことを特徴
とする。本発明の基板製造方法においては、前記識別符
号表示部は、前記複数の工程群における前記電極及び有
機材料層を構成する材料に対応した符号を含むことを特
徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は実施形態の一例の有機Ｅ
Ｌ表示パネルを製造するための多面取り用透明基板４０
の一部を示す（背面側から見た図）。多面取り用透明基
板４０は大判ガラスからなり、整列された複数の単位基
板領域４２と、これらを囲む枠領域４３とから構成され
ている。単位基板領域４２は複数の有機ＥＬ素子からな
る表示パネル領域４１と、有機ＥＬ素子に接続される外
部端子及び配線からなる配線領域４４とを含んでいる。
を参照しつつ説明する。図１は実施形態の一例の有機Ｅ
Ｌ表示パネルを製造するための多面取り用透明基板４０
の一部を示す（背面側から見た図）。多面取り用透明基
板４０は大判ガラスからなり、整列された複数の単位基
板領域４２と、これらを囲む枠領域４３とから構成され
ている。単位基板領域４２は複数の有機ＥＬ素子からな
る表示パネル領域４１と、有機ＥＬ素子に接続される外
部端子及び配線からなる配線領域４４とを含んでいる。
【００１７】図２の部分断面図（図１の線ＡＡ）に示す
ように、有機ＥＬ素子の表示パネル領域４１は、多面取
り用透明基板４０である基板２上にマトリクス状に配置
されかつ各々が赤Ｒ、緑Ｇ及び青Ｂの発光部からなる発
光画素１の複数からなる画像表示配列領域であり、第１
表示電極すなわち透明陽極ライン３と垂直方向の第２表
示電極すなわち背面側の陰極ライン９との交差する部分
に挟まれた対応色発光する有機ＥＬ媒体８により、各発
光部が形成されている。第２表示電極ライン９はそれら
の間に配置されかつ絶縁膜６上に形成された隔壁７によ
り、電気的に分断されている。第２表示電極ライン９及
び隔壁７の上には封止膜５０が形成されている。
ように、有機ＥＬ素子の表示パネル領域４１は、多面取
り用透明基板４０である基板２上にマトリクス状に配置
されかつ各々が赤Ｒ、緑Ｇ及び青Ｂの発光部からなる発
光画素１の複数からなる画像表示配列領域であり、第１
表示電極すなわち透明陽極ライン３と垂直方向の第２表
示電極すなわち背面側の陰極ライン９との交差する部分
に挟まれた対応色発光する有機ＥＬ媒体８により、各発
光部が形成されている。第２表示電極ライン９はそれら
の間に配置されかつ絶縁膜６上に形成された隔壁７によ
り、電気的に分断されている。第２表示電極ライン９及
び隔壁７の上には封止膜５０が形成されている。
【００１８】図１に示すように、複数の単位基板領域４
２の各々には、単位基板領域を識別する異なる識別符号
表示部４５がそれぞれ形成されている。すなわち、識別
符号表示部は複数の単位基板領域に対応した異なる符号
を含む。識別符号表示部は文字、図形若しくは記号若し
くはこれらの結合である。また、番号に限らず例えばバ
ーコードなど他の情報を入れることも可能である。
２の各々には、単位基板領域を識別する異なる識別符号
表示部４５がそれぞれ形成されている。すなわち、識別
符号表示部は複数の単位基板領域に対応した異なる符号
を含む。識別符号表示部は文字、図形若しくは記号若し
くはこれらの結合である。また、番号に限らず例えばバ
ーコードなど他の情報を入れることも可能である。
【００１９】大判ガラス内での識別符号表示部４５によ
るパネル番号付けは、得られる表示パネルの品質管理に
用いられる。大判ガラスからパネル分割した後の検査工
程などで不良が発見された場合に、その大判ガラスでど
の位置に当たるのかを番号で特定することが可能にな
る。それにより不良の連続発生の可能性がある蒸着マス
クなどの不具合を発見しやすくなる。連続発生した不良
に関しても、そのパネル番号を不具合発生とすればよい
ので、品質管理が簡単となり、また、大判ガラスにおけ
る位置が表示パネル特性に及ぼす影響も調査しやすくな
る。
るパネル番号付けは、得られる表示パネルの品質管理に
用いられる。大判ガラスからパネル分割した後の検査工
程などで不良が発見された場合に、その大判ガラスでど
の位置に当たるのかを番号で特定することが可能にな
る。それにより不良の連続発生の可能性がある蒸着マス
クなどの不具合を発見しやすくなる。連続発生した不良
に関しても、そのパネル番号を不具合発生とすればよい
ので、品質管理が簡単となり、また、大判ガラスにおけ
る位置が表示パネル特性に及ぼす影響も調査しやすくな
る。
【００２０】また、識別符号表示部４５は、絶縁材料、
電極及び有機材料層を構成する少なくとも１つの材料と
同一材料で形成されている。すなわち、識別符号表示部
は複数の電極及び有機材料層を構成する材料に対応した
異なる符号を含む。具体的に、識別符号表示部は複数の
電極及び有機材料層を構成する材料に対応した異なる符
号となるように、例えば、補助電極材料（Ｃｒ）、背面
電極材料（Ａｌ）及び有機材料での番号付けを行う他
に、ポリイミドなどの絶縁材料で番号付けを行うことも
できる。これにより、工程の識別も可能となる。また、
識別符号表示部は透明基板の反射率よりも高い反射率を
有する材料、例えば、補助電極材料で形成されることが
好ましい。人間による目視、ＣＣＤなどの装置による反
射光の確認が容易になるからである。さらに、パネル番
号を製品ロット番号の一部とすることで、別個に印字す
る文字数を減らすことができる。
電極及び有機材料層を構成する少なくとも１つの材料と
同一材料で形成されている。すなわち、識別符号表示部
は複数の電極及び有機材料層を構成する材料に対応した
異なる符号を含む。具体的に、識別符号表示部は複数の
電極及び有機材料層を構成する材料に対応した異なる符
号となるように、例えば、補助電極材料（Ｃｒ）、背面
電極材料（Ａｌ）及び有機材料での番号付けを行う他
に、ポリイミドなどの絶縁材料で番号付けを行うことも
できる。これにより、工程の識別も可能となる。また、
識別符号表示部は透明基板の反射率よりも高い反射率を
有する材料、例えば、補助電極材料で形成されることが
好ましい。人間による目視、ＣＣＤなどの装置による反
射光の確認が容易になるからである。さらに、パネル番
号を製品ロット番号の一部とすることで、別個に印字す
る文字数を減らすことができる。
【００２１】さらにまた、ドット陽極又は陰極の番号
（又は記号）をドット周囲に付けたり、外部端子番号
（又は記号）を付けたり、アイコンなど主な表示パネル
以外の領域の番号をつけたり、蒸着材料のみ異なる同一
形状のパネルに色識別記号を付けることもできる。上記
実施形態の多面取り用透明基板を用いた有機ＥＬ表示パ
ネルの製造方法を説明する。 （第１表示電極ライン形成）まず、図３に示すように、
大判ガラス板などの透明基板２を用意し、この主面上
に、表示パネル領域４１のためのインジウム錫酸化物
（以下、ＩＴＯという）などからなり各々が水平方向に
伸長する複数の第１表示電極即ち透明陽極３を形成す
る。同時に、アイコンなどのアイコン表示領域３９及び
画像表示配列領域の外の外部電極端部用、さらに、後に
形成される陰極の接続用のパッド部３ＰもＩＴＯにより
形成する。
（又は記号）をドット周囲に付けたり、外部端子番号
（又は記号）を付けたり、アイコンなど主な表示パネル
以外の領域の番号をつけたり、蒸着材料のみ異なる同一
形状のパネルに色識別記号を付けることもできる。上記
実施形態の多面取り用透明基板を用いた有機ＥＬ表示パ
ネルの製造方法を説明する。 （第１表示電極ライン形成）まず、図３に示すように、
大判ガラス板などの透明基板２を用意し、この主面上
に、表示パネル領域４１のためのインジウム錫酸化物
（以下、ＩＴＯという）などからなり各々が水平方向に
伸長する複数の第１表示電極即ち透明陽極３を形成す
る。同時に、アイコンなどのアイコン表示領域３９及び
画像表示配列領域の外の外部電極端部用、さらに、後に
形成される陰極の接続用のパッド部３ＰもＩＴＯにより
形成する。
【００２２】なお、透明陽極３は、連結した複数の島状
ＩＴＯ電極を画像表示配列領域となるようにマトリクス
状に形成し、これら島状ＩＴＯ電極を水平方向に電気的
に接続する金属のバス電極を蒸着などにより形成するこ
ともできる。バス電極の幅は島状ＩＴＯ電極の幅よりも
小とする。 （補助電極形成）次に、図４及び図５に示すように、Ｉ
ＴＯからなるアイコンなど表示領域３９の接続部及び外
部電極端部用及び陰極接続用のパッド部３Ｐ並びに透明
陽極３の端部での陽極接続部上に、Ｃｒなどからなる補
助電極３ｂを形成する。この単位基板領域４２の複数の
補助電極３ｂはエッチングにより形成される。
ＩＴＯ電極を画像表示配列領域となるようにマトリクス
状に形成し、これら島状ＩＴＯ電極を水平方向に電気的
に接続する金属のバス電極を蒸着などにより形成するこ
ともできる。バス電極の幅は島状ＩＴＯ電極の幅よりも
小とする。 （補助電極形成）次に、図４及び図５に示すように、Ｉ
ＴＯからなるアイコンなど表示領域３９の接続部及び外
部電極端部用及び陰極接続用のパッド部３Ｐ並びに透明
陽極３の端部での陽極接続部上に、Ｃｒなどからなる補
助電極３ｂを形成する。この単位基板領域４２の複数の
補助電極３ｂはエッチングにより形成される。
【００２３】この工程において、エッチングにより補助
電極３ｂ材料（Ｃｒ）からなる識別符号表示部４５を各
単位基板領域４２の表示パネル領域４１の横に形成す
る。図４に示した場合では、大判の基板から８枚の単位
基板を得るために、Ａ１〜Ａ８の符号が付されている。
Ｃｒなどの反射率の高い金属からなる補助電極が製造工
程の比較的初期の段階で形成されるので、後の工程にお
いての基板の識別には好適である。
電極３ｂ材料（Ｃｒ）からなる識別符号表示部４５を各
単位基板領域４２の表示パネル領域４１の横に形成す
る。図４に示した場合では、大判の基板から８枚の単位
基板を得るために、Ａ１〜Ａ８の符号が付されている。
Ｃｒなどの反射率の高い金属からなる補助電極が製造工
程の比較的初期の段階で形成されるので、後の工程にお
いての基板の識別には好適である。
【００２４】識別符号表示部は、単位基板領域４２上だ
けでなく、図４に示すように、枠領域４３にも設けても
よい。枠領域上に形成された識別符号表示部４５も電極
及び有機材料層を構成する少なくとも１つの材料と同一
材料で構成できる。また、Ｃｒなど補助電極材料によっ
て、発光するドットを構成する陽極又は陰極のライン
３，９の昇順又は降順番号又は記号（例えば５行又は列
ごとに丸記号の数を交互に変えて）の識別符号表示部４
５を、図１１に示すように、表示パネル領域４１の周囲
に付けることもできる。これにより、検査工程で発見さ
れた不良位置を、目視により視認可能となる。
けでなく、図４に示すように、枠領域４３にも設けても
よい。枠領域上に形成された識別符号表示部４５も電極
及び有機材料層を構成する少なくとも１つの材料と同一
材料で構成できる。また、Ｃｒなど補助電極材料によっ
て、発光するドットを構成する陽極又は陰極のライン
３，９の昇順又は降順番号又は記号（例えば５行又は列
ごとに丸記号の数を交互に変えて）の識別符号表示部４
５を、図１１に示すように、表示パネル領域４１の周囲
に付けることもできる。これにより、検査工程で発見さ
れた不良位置を、目視により視認可能となる。
【００２５】さらにまた、陽極又は陰極のライン３，９
の終端形状を、図１２に示すように、識別符号表示部４
５として矩形から円形へ変化させ或いはその長さを周期
的に変化させても、不良位置を、目視により視認可能と
なる。さらに、周期的に変化と番号（又は記号）とを組
み合わせて設けても、同様の効果を得ることができる。
の終端形状を、図１２に示すように、識別符号表示部４
５として矩形から円形へ変化させ或いはその長さを周期
的に変化させても、不良位置を、目視により視認可能と
なる。さらに、周期的に変化と番号（又は記号）とを組
み合わせて設けても、同様の効果を得ることができる。
【００２６】一方、補助電極３ｂを拡張してＣｒなど補
助電極材料によって例えば発光する星形アイコン周囲を
被覆して、図１３に示すように、アイコン表示領域３９
近傍に、アイコン表示領域３９へ接続すべき配線の記号
（例えば、１Ａなど）の識別符号表示部４５を設けるこ
ともできる。これにより、配線を目視により追跡するこ
となく、配線表なしに端子番号などを認識できる。
助電極材料によって例えば発光する星形アイコン周囲を
被覆して、図１３に示すように、アイコン表示領域３９
近傍に、アイコン表示領域３９へ接続すべき配線の記号
（例えば、１Ａなど）の識別符号表示部４５を設けるこ
ともできる。これにより、配線を目視により追跡するこ
となく、配線表なしに端子番号などを認識できる。
【００２７】これら補助電極材料などにて電極ライン、
アイコン表示領域などの配線の近傍に、配線などに対応
した符号を含ませることにより、配線などの意味を目視
により視認可能となるので、製造工程におけるパネルの
品質管理が容易になり、歩留まりが向上する。 （絶縁膜及び隔壁形成）次に、図６に示すように、表示
パネル領域４１内のＩＴＯ透明陽極３上を除きそれらの
間をポリイミドなどの絶縁膜で被覆する。すなわち、発
光部となる部分を除いて絶縁膜にて被覆する。同様に、
補助電極３ｂが形成されているアイコン表示領域３９や
その接続部、外部電極端部用及び陰極接続用のパッド部
３Ｐ並びに透明陽極３端部の陽極接続部上を除いてポリ
イミド絶縁膜にて被覆する。
アイコン表示領域などの配線の近傍に、配線などに対応
した符号を含ませることにより、配線などの意味を目視
により視認可能となるので、製造工程におけるパネルの
品質管理が容易になり、歩留まりが向上する。 （絶縁膜及び隔壁形成）次に、図６に示すように、表示
パネル領域４１内のＩＴＯ透明陽極３上を除きそれらの
間をポリイミドなどの絶縁膜で被覆する。すなわち、発
光部となる部分を除いて絶縁膜にて被覆する。同様に、
補助電極３ｂが形成されているアイコン表示領域３９や
その接続部、外部電極端部用及び陰極接続用のパッド部
３Ｐ並びに透明陽極３端部の陽極接続部上を除いてポリ
イミド絶縁膜にて被覆する。
【００２８】さらに、図６に示すように、後工程で互い
に平行な複数の第２表示電極９の陰極を分散、形成する
ため、ポリイミドからなる複数の隔壁７も形成される。
すなわち、第１表示電極に対して垂直方向に伸長しかつ
各々が透明陽極間に位置するように複数の電気絶縁性の
隔壁７を形成する。 （発光層形成）次に、図７に示すように、各々の第１表
示電極３の一部上に、有機ＥＬ媒体８を堆積し、複数の
少くとも１層の有機ＥＬ媒体の薄膜を蒸着により形成す
る。例えば、有機ＥＬ媒体の正孔輸送層を予め一様に蒸
着しておく。つぎに、有機発光層を蒸着し、この工程で
電子輸送層も成膜できる。さらにこれらの適切な機能層
間に電子或いは正孔の注入層をも成膜できる。
に平行な複数の第２表示電極９の陰極を分散、形成する
ため、ポリイミドからなる複数の隔壁７も形成される。
すなわち、第１表示電極に対して垂直方向に伸長しかつ
各々が透明陽極間に位置するように複数の電気絶縁性の
隔壁７を形成する。 （発光層形成）次に、図７に示すように、各々の第１表
示電極３の一部上に、有機ＥＬ媒体８を堆積し、複数の
少くとも１層の有機ＥＬ媒体の薄膜を蒸着により形成す
る。例えば、有機ＥＬ媒体の正孔輸送層を予め一様に蒸
着しておく。つぎに、有機発光層を蒸着し、この工程で
電子輸送層も成膜できる。さらにこれらの適切な機能層
間に電子或いは正孔の注入層をも成膜できる。
【００２９】例えば、有機発光層の成膜では、蒸着マス
クを、隔壁７間の露出したＩＴＯ電極３に位置合わせし
て、隔壁上に基板を載置して、有機ＥＬ媒体８の１番目
（例えば赤色発光）の有機材料を蒸着方法を用いて所定
厚さに成膜する。次に、マスクをずらして位置合わせを
した後、同様に、隔壁上に基板を載置して２番目（例え
ば緑色発光）、３番目（例えば青色発光）の有機ＥＬ媒
体を所定膜厚に順次蒸着する。このように、１つの開口
が１つの第１表示電極上からその隣接する第１表示電極
上へ配置されるように基板を順次移動せしめる発光層形
成工程を順次繰り返す。このように、有機ＥＬ媒体はそ
れぞれ第１表示電極上に別個に並置されかつ電圧印加に
よりそれぞれ赤、緑及び青色などの所定色の光を発光す
る複数の有機発光層が形成される。
クを、隔壁７間の露出したＩＴＯ電極３に位置合わせし
て、隔壁上に基板を載置して、有機ＥＬ媒体８の１番目
（例えば赤色発光）の有機材料を蒸着方法を用いて所定
厚さに成膜する。次に、マスクをずらして位置合わせを
した後、同様に、隔壁上に基板を載置して２番目（例え
ば緑色発光）、３番目（例えば青色発光）の有機ＥＬ媒
体を所定膜厚に順次蒸着する。このように、１つの開口
が１つの第１表示電極上からその隣接する第１表示電極
上へ配置されるように基板を順次移動せしめる発光層形
成工程を順次繰り返す。このように、有機ＥＬ媒体はそ
れぞれ第１表示電極上に別個に並置されかつ電圧印加に
よりそれぞれ赤、緑及び青色などの所定色の光を発光す
る複数の有機発光層が形成される。
【００３０】この工程において、各々の蒸着マスクに所
定の識別符号表示部に対応する開口を設けておくことに
より、有機材料層を構成する少なくとも１つの材料即
ち、赤、緑及び青色発光材料、正孔輸送層、電子輸送
層、電子或いは正孔の注入層と同一材料で、識別符号表
示部４５ａを形成する。かかる識別符号表示部により、
各有機材料層の工程管理が可能となる。識別符号表示部
は、複数の単位基板領域に対応した異なる符号としても
よく、複数の蒸着工程群における電極及び有機材料層を
構成する材料に対応した異なる符号としてもよい。 （第２表示電極形成）図８に示すように、有機ＥＬ媒体
８の薄膜上に、アルミニウムなどの金属を所定マスクを
介して蒸着して、垂直方向に伸長する複数の第２表示電
極９の陰極を形成し、第１表示電極との各交差部にて発
光部を画定する。同時に、所定マスクにて有機ＥＬ素子
に接続される外部端子及び配線からなる配線領域４４を
も成膜する。
定の識別符号表示部に対応する開口を設けておくことに
より、有機材料層を構成する少なくとも１つの材料即
ち、赤、緑及び青色発光材料、正孔輸送層、電子輸送
層、電子或いは正孔の注入層と同一材料で、識別符号表
示部４５ａを形成する。かかる識別符号表示部により、
各有機材料層の工程管理が可能となる。識別符号表示部
は、複数の単位基板領域に対応した異なる符号としても
よく、複数の蒸着工程群における電極及び有機材料層を
構成する材料に対応した異なる符号としてもよい。 （第２表示電極形成）図８に示すように、有機ＥＬ媒体
８の薄膜上に、アルミニウムなどの金属を所定マスクを
介して蒸着して、垂直方向に伸長する複数の第２表示電
極９の陰極を形成し、第１表示電極との各交差部にて発
光部を画定する。同時に、所定マスクにて有機ＥＬ素子
に接続される外部端子及び配線からなる配線領域４４を
も成膜する。
【００３１】隔壁７の頂上のオーバーハング部が金属蒸
気流れに対して屋根及び軒となり、隔壁７の頂上及びオ
ーバーハング部上に堆積した金属膜は第２表示電極９か
ら離れているので、有機ＥＬ媒体８の薄膜とともに第２
表示電極ライン９間の短絡を防止できる。図９に示すよ
うに、さらに配線に必要な金属蒸着を繰り返して、有機
ＥＬ素子の表示パネル領域４１の結線を完成させる。
気流れに対して屋根及び軒となり、隔壁７の頂上及びオ
ーバーハング部上に堆積した金属膜は第２表示電極９か
ら離れているので、有機ＥＬ媒体８の薄膜とともに第２
表示電極ライン９間の短絡を防止できる。図９に示すよ
うに、さらに配線に必要な金属蒸着を繰り返して、有機
ＥＬ素子の表示パネル領域４１の結線を完成させる。
【００３２】この工程において、各々の蒸着マスクに所
定の識別符号表示部に対応する開口を設けておくことに
より、電極を構成するＡｌ材料で、識別符号表示部４５
ｂを形成する。かかる識別符号表示部により、第２表示
電極形成工程管理が可能となる。識別符号表示部は、複
数の単位基板領域に対応した異なる符号としてもよく、
複数の蒸着工程群における電極材料に対応した異なる符
号としてもよい。 （封止工程）図１０に示すように、第２表示電極の形成
後、無機及び又は有機材料にて防湿用の封止膜５０を領
域全体に形成して封止し、フルカラーの有機ＥＬ表示パ
ネルが得られる。
定の識別符号表示部に対応する開口を設けておくことに
より、電極を構成するＡｌ材料で、識別符号表示部４５
ｂを形成する。かかる識別符号表示部により、第２表示
電極形成工程管理が可能となる。識別符号表示部は、複
数の単位基板領域に対応した異なる符号としてもよく、
複数の蒸着工程群における電極材料に対応した異なる符
号としてもよい。 （封止工程）図１０に示すように、第２表示電極の形成
後、無機及び又は有機材料にて防湿用の封止膜５０を領
域全体に形成して封止し、フルカラーの有機ＥＬ表示パ
ネルが得られる。
【００３３】以上の実施形態では、蒸着の場合を示した
が、この発明は、スパッタ、ＣＶＤなどの成膜方法にお
ける、マスクを用いた金属膜、誘電体膜、透明導電膜な
どを、平板上に成膜する工程に応用できる。
が、この発明は、スパッタ、ＣＶＤなどの成膜方法にお
ける、マスクを用いた金属膜、誘電体膜、透明導電膜な
どを、平板上に成膜する工程に応用できる。
【００３４】
【発明の効果】以上の如く、本発明によれば、多面取り
用透明基板を枠領域と単位基板領域とに分け、識別符号
表示部を設ける構成としたので、小面積の単位基板領域
を精度高く高品質で作成できるようになり、従来の大面
積の多面取り用透明基板内の一部の表示パネル領域の欠
陥による全体の不良化を回避でき、多面取り用透明基板
の製造歩留まりが向上する。
用透明基板を枠領域と単位基板領域とに分け、識別符号
表示部を設ける構成としたので、小面積の単位基板領域
を精度高く高品質で作成できるようになり、従来の大面
積の多面取り用透明基板内の一部の表示パネル領域の欠
陥による全体の不良化を回避でき、多面取り用透明基板
の製造歩留まりが向上する。
【図１】 本発明による実施例の多面取り用透明基板の
概略部分拡大平面図。
概略部分拡大平面図。
【図２】 図１の線ＡＡの部分拡大断面図。
【図３】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製
造工程における基板の概略平面図。
造工程における基板の概略平面図。
【図４】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製
造工程における基板の概略平面図。
造工程における基板の概略平面図。
【図５】 図４の線ＢＢの部分拡大断面図。
【図６】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製
造工程における基板の部分拡大断面図。
造工程における基板の部分拡大断面図。
【図７】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製
造工程における基板の部分拡大断面図。
造工程における基板の部分拡大断面図。
【図８】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製
造工程における基板の部分拡大断面図。
造工程における基板の部分拡大断面図。
【図９】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製
造工程における基板の部分拡大断面図。
造工程における基板の部分拡大断面図。
【図１０】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル
製造工程における基板の部分拡大断面図。
製造工程における基板の部分拡大断面図。
【図１１】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パ
ネル製造工程における基板の部分拡大平面図。
ネル製造工程における基板の部分拡大平面図。
【図１２】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パ
ネル製造工程における基板の部分拡大平面図。
ネル製造工程における基板の部分拡大平面図。
【図１３】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パ
ネル製造工程における基板の部分拡大平面図。
ネル製造工程における基板の部分拡大平面図。
２ 透明基板 ３ 第１表示電極ライン ３ｂ 補助電極 ７ 隔壁 ８ 有機ＥＬ媒体 ９ 第２表示電極ライン ４０ 多面取り用透明基板 ４１ 表示パネル領域 ４２ 単位基板領域 ４３ 枠領域 ４４ 配線領域 ４５ 識別符号表示部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｂ 33/14 Ｈ０５Ｂ 33/14 Ａ Ｆターム(参考） 3K007 AB04 AB17 AB18 BA06 BB00 CA01 CB01 DA00 DB03 EB00 FA01 FA02 5C094 AA06 AA08 AA42 AA43 AA44 BA27 CA19 EA05 EB02 EC04 HA08 5G435 AA00 AA17 BB05 KK05 KK10 LL08
Claims (16)
- 【請求項１】 有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
ルであって、 基板と、 前記基板上に積層された複数の電極及び有機材料層から
なる有機エレクトロルミネッセンス素子からなる表示パ
ネル領域と、 前記基板上に形成された配線と、 前記基板上において前記電極及び有機材料層を構成する
少なくとも１つの材料と同一材料で形成された識別符号
表示部と、を含むことを特徴とする有機エレクトロルミ
ネッセンス表示パネル。 - 【請求項２】 前記識別符号表示部は前記配線に対応し
た符号を含むことを特徴とする請求項１記載の有機エレ
クトロルミネッセンス表示パネル。 - 【請求項３】 前記識別符号表示部は複数の前記電極及
び有機材料層を構成する材料に対応した符号を含むこと
を特徴とする請求項１又は２記載の有機エレクトロルミ
ネッセンス表示パネル。 - 【請求項４】 前記識別符号表示部は文字、図形若しく
は記号若しくはこれらの結合であることを特徴とする請
求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
ル。 - 【請求項５】 前記識別符号表示部は前記基板の反射率
よりも高い反射率を有する材料で形成されたことを特徴
とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス表
示パネル。 - 【請求項６】 有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
ルを製造するための多面取り用基板であって、 各々が積層された複数の電極及び有機材料層からなる有
機エレクトロルミネッセンス素子の複数からなる表示パ
ネル領域を含む複数の単位基板領域からなる基板と、 前記単位基板領域上において前記電極及び有機材料層を
構成する少なくとも１つの材料と同一材料で形成された
識別符号表示部と、からなることを特徴とする多面取り
用基板。 - 【請求項７】 前記基板上に形成された配線を備え、前
記識別符号表示部は前記配線に対応した符号を含むこと
を特徴とする請求項６記載の多面取り用基板。 - 【請求項８】 前記識別符号表示部は複数の前記単位基
板領域に対応した符号を含むことを特徴とする請求項６
記載の多面取り用基板。 - 【請求項９】 前記識別符号表示部は複数の前記電極及
び有機材料層を構成する材料に対応した符号を含むこと
を特徴とする請求項６記載の多面取り用基板。 - 【請求項１０】 前記識別符号表示部は文字、図形若し
くは記号若しくはこれらの結合であることを特徴とする
請求項６記載の多面取り用基板。 - 【請求項１１】 前記識別符号表示部は前記基板の反射
率よりも高い反射率を有する材料で形成されたことを特
徴とする請求項６記載の多面取り用基板。 - 【請求項１２】 前記複数の単位基板領域の周囲に位置
する枠領域を備え、前記枠領域上に前記電極及び有機材
料層を構成する少なくとも１つの材料と同一材料で形成
された識別符号表示部を有することを特徴とする請求項
６記載の多面取り用基板。 - 【請求項１３】 有機エレクトロルミネッセンス表示パ
ネルの製造方法であって、 単位基板領域が複数の電極及び有機材料層からなる有機
エレクトロルミネッセンス素子の複数からなる表示パネ
ル領域を含むように、１つの基板上において前記単位基
板領域を複数形成する複数の工程群を含み、 前記複数の工程群の少なくとも１つの工程において、前
記単位基板領域上に、前記電極及び有機材料層を構成す
る少なくとも１つの材料と同一材料で、識別符号表示部
を形成する工程を含むことを特徴とする製造方法。 - 【請求項１４】 前記基板上に形成された配線を備え、
前記識別符号表示部は前記配線に対応した符号を含むこ
とを特徴とする請求項１３記載の製造方法。 - 【請求項１５】 前記識別符号表示部は、複数の前記単
位基板領域に対応した符号を含むことを特徴とする請求
項１３記載の製造方法。 - 【請求項１６】 前記識別符号表示部は、前記複数の工
程群における前記電極及び有機材料層を構成する材料に
対応した符号を含むことを特徴とする請求項１３記載の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000202245A JP4392113B2 (ja) | 2000-05-18 | 2000-07-04 | 有機エレクトロルミネッセンス表示パネル及び有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000146669 | 2000-05-18 | ||
| JP2000-146669 | 2000-05-18 | ||
| JP2000202245A JP4392113B2 (ja) | 2000-05-18 | 2000-07-04 | 有機エレクトロルミネッセンス表示パネル及び有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002043053A true JP2002043053A (ja) | 2002-02-08 |
| JP4392113B2 JP4392113B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=26592142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000202245A Expired - Lifetime JP4392113B2 (ja) | 2000-05-18 | 2000-07-04 | 有機エレクトロルミネッセンス表示パネル及び有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4392113B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007152349A (ja) * | 2002-03-13 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | 機能性素子基板の製造装置及び方法 |
| US7274151B2 (en) | 2004-03-19 | 2007-09-25 | Tohoku Pioneer Corporation | Drive device and drive method of light emitting elements |
| US7311396B2 (en) | 2003-10-13 | 2007-12-25 | Lg Electronics Inc. | Barcode marking method and apparatus for electro-luminescence display device |
| WO2010061898A1 (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-03 | 昭和電工株式会社 | 有機電界発光素子、表示装置および照明装置 |
| JP2012502459A (ja) * | 2008-09-09 | 2012-01-26 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | タグ要素を有するｏｌｅｄ照明装置 |
| WO2018179263A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | シャープ株式会社 | 表示装置の製造方法、蒸着用マスク及びアクティブマトリクス基板 |
-
2000
- 2000-07-04 JP JP2000202245A patent/JP4392113B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007152349A (ja) * | 2002-03-13 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | 機能性素子基板の製造装置及び方法 |
| JP4481292B2 (ja) * | 2002-03-13 | 2010-06-16 | 株式会社リコー | 機能性素子基板の製造装置及び方法 |
| US7311396B2 (en) | 2003-10-13 | 2007-12-25 | Lg Electronics Inc. | Barcode marking method and apparatus for electro-luminescence display device |
| US7274151B2 (en) | 2004-03-19 | 2007-09-25 | Tohoku Pioneer Corporation | Drive device and drive method of light emitting elements |
| JP2012502459A (ja) * | 2008-09-09 | 2012-01-26 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | タグ要素を有するｏｌｅｄ照明装置 |
| WO2010061898A1 (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-03 | 昭和電工株式会社 | 有機電界発光素子、表示装置および照明装置 |
| WO2018179263A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | シャープ株式会社 | 表示装置の製造方法、蒸着用マスク及びアクティブマトリクス基板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4392113B2 (ja) | 2009-12-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001237073A (ja) | 多面取り用メタルマスク及びその製造方法 | |
| US20050162079A1 (en) | Display device and manufacturing method thereof | |
| US6930448B2 (en) | Organic electroluminescence display panel and fabrication method thereof | |
| JPH08227276A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 | |
| KR100819216B1 (ko) | 유기 ｅｌ 디스플레이 및 그 제조 방법 | |
| CN101015234A (zh) | 有机电场发光装置及其制造方法 | |
| JP2000091069A (ja) | 有機ｅｌフルカラーディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
| US6541910B2 (en) | Organic el display | |
| JP2001234385A (ja) | メタルマスク及びその製造方法 | |
| JP2760347B2 (ja) | 有機薄膜電界発光素子およびその製造方法 | |
| JP2006331920A (ja) | 蒸着マスク、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、及び、その製造方法 | |
| US6717357B2 (en) | Organic electroluminescent display panel | |
| JP2003077684A (ja) | 有機ｅｌ素子 | |
| JP2001093666A (ja) | 有機ｌｅｄディスプレイおよびその製造方法 | |
| KR100434276B1 (ko) | 유기 ｅｌ 소자 | |
| JP4392113B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示パネル及び有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法 | |
| JP2001230073A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示パネル及びその製造方法 | |
| JP2005183209A (ja) | 有機ｅｌ表示装置及びその製造方法 | |
| CN111477761B (zh) | 一种显示基板及其制备方法、显示面板和显示装置 | |
| JP4639662B2 (ja) | 電気光学装置および電子機器 | |
| JP2001237071A (ja) | メタルマスク及びその製造方法 | |
| JP3576857B2 (ja) | 有機薄膜ｅｌ素子とその製造方法 | |
| CN115943748A (zh) | 显示基板、显示装置及制作方法 | |
| US20060290643A1 (en) | Organic electroluminscent display device | |
| WO2021126143A1 (en) | Oled sub-pixel patterning structure |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061117 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090716 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090728 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090908 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091006 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091009 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4392113 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131016 Year of fee payment: 4 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |