JP2002039955A - 光学自動測定方法 - Google Patents
光学自動測定方法Info
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- JP2002039955A JP2002039955A JP2000229518A JP2000229518A JP2002039955A JP 2002039955 A JP2002039955 A JP 2002039955A JP 2000229518 A JP2000229518 A JP 2000229518A JP 2000229518 A JP2000229518 A JP 2000229518A JP 2002039955 A JP2002039955 A JP 2002039955A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】サンプル測定中、リファレンスとなる基準反射
物を測定光路にセットすることなくリファレンス光量の
推定ができ、もって測定精度を上げることができる光学
自動測定方法を実施する。 【解決手段】可動反射板６を光軸下に移動させた状態
で、投光部３ａから投光された光を可動反射板６、固定
反射板１１、可動反射板６を介して受光部３ｂによって
受光し、可動反射板６を光軸から外した状態で、サンプ
ル設置台１０にリファレンス８を設置して投光部３ａか
ら投光された光をリファレンス８を介して受光部３ｂに
よって受光し、両光量の比を求め、サンプルの測定期間
中に、可動反射板６を光軸下に移動させた状態で、投光
部３ａから投光された光を可動反射板６、固定反射板１
１、可動反射板６を介して受光部３ｂによって受光し
て、この受光光量と前記比とを用いて、リファレンスを
置いたときの測定光量を推定し、これを用いて、サンプ
ルの受光光量の補正を行う。
物を測定光路にセットすることなくリファレンス光量の
推定ができ、もって測定精度を上げることができる光学
自動測定方法を実施する。 【解決手段】可動反射板６を光軸下に移動させた状態
で、投光部３ａから投光された光を可動反射板６、固定
反射板１１、可動反射板６を介して受光部３ｂによって
受光し、可動反射板６を光軸から外した状態で、サンプ
ル設置台１０にリファレンス８を設置して投光部３ａか
ら投光された光をリファレンス８を介して受光部３ｂに
よって受光し、両光量の比を求め、サンプルの測定期間
中に、可動反射板６を光軸下に移動させた状態で、投光
部３ａから投光された光を可動反射板６、固定反射板１
１、可動反射板６を介して受光部３ｂによって受光し
て、この受光光量と前記比とを用いて、リファレンスを
置いたときの測定光量を推定し、これを用いて、サンプ
ルの受光光量の補正を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、投光部、受光部を
設け、投光部から投光された光をサンプルに当て、その
反射光等を測定する光学自動測定方法に関するものであ
る。
設け、投光部から投光された光をサンプルに当て、その
反射光等を測定する光学自動測定方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】複数のサンプルを搬送して光反射率、光
透過率を測定する場合に、サンプル測定時に、環境温度
の変動、光源の光量変動、検出器の感度変動、光ファイ
バを曲げる曲率の変化などが起こると測定誤差につなが
るので、サンプル搬送に先立ち、また測定中でもサンプ
ル搬送を中断して、定期的にリファレンスとなる基準反
射物を測定光学系の光路にセットしてリファレンス測定
を行っている。これにより、光源、検出器を含む測定系
全体の測定精度向上を行っている。
透過率を測定する場合に、サンプル測定時に、環境温度
の変動、光源の光量変動、検出器の感度変動、光ファイ
バを曲げる曲率の変化などが起こると測定誤差につなが
るので、サンプル搬送に先立ち、また測定中でもサンプ
ル搬送を中断して、定期的にリファレンスとなる基準反
射物を測定光学系の光路にセットしてリファレンス測定
を行っている。これにより、光源、検出器を含む測定系
全体の測定精度向上を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、リファレンス
となる基準反射物を定期的に測定光路にセットするため
には、基準反射物を搬送する機構が、サンプルの搬送機
構とは別に必要になり、測定系の複雑化、コスト高の要
因になる。また、リファレンスとなる基準反射物のセッ
トのために、サンプルを外し、リファレンス測定が終わ
ると、また、サンプルをセットし直さなければならず、
それがサンプルを測定する時間に食い込むため、測定の
時間効率が悪化する。
となる基準反射物を定期的に測定光路にセットするため
には、基準反射物を搬送する機構が、サンプルの搬送機
構とは別に必要になり、測定系の複雑化、コスト高の要
因になる。また、リファレンスとなる基準反射物のセッ
トのために、サンプルを外し、リファレンス測定が終わ
ると、また、サンプルをセットし直さなければならず、
それがサンプルを測定する時間に食い込むため、測定の
時間効率が悪化する。
【０００４】そこで、本発明は、サンプル測定中、リフ
ァレンスとなる基準反射物を測定光路にセットすること
なくリファレンス光量の推定ができ、もって測定精度を
上げることができる光学自動測定方法を実現することを
目的とする。
ァレンスとなる基準反射物を測定光路にセットすること
なくリファレンス光量の推定ができ、もって測定精度を
上げることができる光学自動測定方法を実現することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の光学自動測定方
法は、サンプル設置台と、投光部及び受光部との間に、
可動反射部材を移動可能に設置し、可動反射部材の、サ
ンプル設置台と反対の側に固定反射部材を設置し、可動
反射部材を光軸下に移動させた状態で、投光部から投光
された光を可動反射部材、固定反射部材、可動反射部材
を介して受光部によって受光し、可動反射部材を光軸か
ら外した状態で、サンプル設置台にリファレンスを設置
して投光部から投光された光をリファレンスを介して受
光部によって受光し、両光量の比を求め、サンプルの測
定期間中に、可動反射部材を光軸下に移動させた状態
で、投光部から投光された光を可動反射部材、固定反射
部材、可動反射部材を介して受光部によって受光して、
この受光光量と前記比とを用いて、リファレンスを置い
たときの測定光量を推定し、これを用いて、サンプルの
受光光量の補正を行う方法である。
法は、サンプル設置台と、投光部及び受光部との間に、
可動反射部材を移動可能に設置し、可動反射部材の、サ
ンプル設置台と反対の側に固定反射部材を設置し、可動
反射部材を光軸下に移動させた状態で、投光部から投光
された光を可動反射部材、固定反射部材、可動反射部材
を介して受光部によって受光し、可動反射部材を光軸か
ら外した状態で、サンプル設置台にリファレンスを設置
して投光部から投光された光をリファレンスを介して受
光部によって受光し、両光量の比を求め、サンプルの測
定期間中に、可動反射部材を光軸下に移動させた状態
で、投光部から投光された光を可動反射部材、固定反射
部材、可動反射部材を介して受光部によって受光して、
この受光光量と前記比とを用いて、リファレンスを置い
たときの測定光量を推定し、これを用いて、サンプルの
受光光量の補正を行う方法である。
【０００６】前記の方法によれば、可動反射部材、固定
反射部材と、リファレンスとを用いて測定した前記比
は、環境温度の変動、光源の光量変動、検出器の感度変
動、光ファイバを曲げる曲率の変化等の装置変動によら
ない装置構造定数となる。サンプルの測定期間中に、可
動反射部材、固定反射部材を用いて測定した光量と前記
比とを用いて、リファレンスを置いたとしたときの測定
光量を推定することができる。この推定されたリファレ
ンスの測定光量は、当該測定時点の装置変動に対応した
値となる。
反射部材と、リファレンスとを用いて測定した前記比
は、環境温度の変動、光源の光量変動、検出器の感度変
動、光ファイバを曲げる曲率の変化等の装置変動によら
ない装置構造定数となる。サンプルの測定期間中に、可
動反射部材、固定反射部材を用いて測定した光量と前記
比とを用いて、リファレンスを置いたとしたときの測定
光量を推定することができる。この推定されたリファレ
ンスの測定光量は、当該測定時点の装置変動に対応した
値となる。
【０００７】この推定されたリファレンスの測定光量を
用いれば、装置変動によらない、サンプル光量の測定を
することができる。
用いれば、装置変動によらない、サンプル光量の測定を
することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、添
付図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、光学自
動測定装置の正面配置図、図２は側面配置図である。測
定光源１に、投光ファイバ４が接続され、その先は金属
筒７ａに挿入され、ファイバプローブ３ａを形成してい
る。測定光源１は、サンプルを測定するのに適した波長
の光を放出するものであればよく、レーザ、白色光源な
どを用いることができる。
付図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、光学自
動測定装置の正面配置図、図２は側面配置図である。測
定光源１に、投光ファイバ４が接続され、その先は金属
筒７ａに挿入され、ファイバプローブ３ａを形成してい
る。測定光源１は、サンプルを測定するのに適した波長
の光を放出するものであればよく、レーザ、白色光源な
どを用いることができる。
【０００９】受光ファイバ５の先端も、金属筒７ｂに挿
入され、ファイバプローブ３ｂを形成している。受光フ
ァイバ５の終端は、検出器２に接続されている。検出器
２の構造は、限定されるものではなく、例えば、光電
管、光ダイオードアレイが採用できる。検出器２の前段
に分光器やフィルタを設けてもよい。投光ファイバ４、
受光ファイバ５の材質は何でもよく、例えば石英、透明
プラスチックが使用される。
入され、ファイバプローブ３ｂを形成している。受光フ
ァイバ５の終端は、検出器２に接続されている。検出器
２の構造は、限定されるものではなく、例えば、光電
管、光ダイオードアレイが採用できる。検出器２の前段
に分光器やフィルタを設けてもよい。投光ファイバ４、
受光ファイバ５の材質は何でもよく、例えば石英、透明
プラスチックが使用される。
【００１０】ファイバプローブ３ａ，３ｂの先の交叉部
位には、サンプル又はリファレンスの設置台１０があ
る。また、ファイバプローブ３ａ，３ｂと設置台１０と
の中間位置には、可動式ミラー６が移動可能に取り付け
られている。さらに、可動式ミラー６の上方には、固定
ミラー１１が下を向いて取り付けられている。可動式ミ
ラー６は、図２に示すように、ファイバプローブ３ａ，
３ｂの光軸に交わる位置と、光軸から離れた位置との間
で平行移動可能になっている。移動手段には、例えば、
モータに駆動されるピニオンとラックなど周知の手段を
使用することができる。モータを使わず手動で移動して
もよい。
位には、サンプル又はリファレンスの設置台１０があ
る。また、ファイバプローブ３ａ，３ｂと設置台１０と
の中間位置には、可動式ミラー６が移動可能に取り付け
られている。さらに、可動式ミラー６の上方には、固定
ミラー１１が下を向いて取り付けられている。可動式ミ
ラー６は、図２に示すように、ファイバプローブ３ａ，
３ｂの光軸に交わる位置と、光軸から離れた位置との間
で平行移動可能になっている。移動手段には、例えば、
モータに駆動されるピニオンとラックなど周知の手段を
使用することができる。モータを使わず手動で移動して
もよい。
【００１１】前記構成の光学自動測定装置の使用方法を
説明する。 (1)光学自動測定装置立ち上げ時の測定 測定光源１を点灯し、図１に示したように、リファレン
スとなる基準反射板８（その反射率は既知とする）を設
置台１０に置き、可動式ミラー６を光軸下に移動させ
る。この状態では、投光ファイバ４から照射された光
は、可動式ミラー６、固定ミラー１１に反射され、再度
可動式ミラー６に反射され、受光ファイバ５に入射され
る。この受光ファイバ５の入射光量を検出器２により測
定する。この光量をＭ０とする。
説明する。 (1)光学自動測定装置立ち上げ時の測定 測定光源１を点灯し、図１に示したように、リファレン
スとなる基準反射板８（その反射率は既知とする）を設
置台１０に置き、可動式ミラー６を光軸下に移動させ
る。この状態では、投光ファイバ４から照射された光
は、可動式ミラー６、固定ミラー１１に反射され、再度
可動式ミラー６に反射され、受光ファイバ５に入射され
る。この受光ファイバ５の入射光量を検出器２により測
定する。この光量をＭ０とする。
【００１２】次に、可動式ミラー６を光軸から外した状
態で、投光ファイバ４から照射された光を基準反射板８
に当て、反射光を受光ファイバ５に入射させて、光量を
測定する。この光量をＲ０とする。Ｒ０／Ｍ０を計算し
てその結果を装置定数Ｆとする。 (2)サンプルの測定 図３は、サンプル９の反射率を測定するための光学自動
測定装置の正面配置図である。
態で、投光ファイバ４から照射された光を基準反射板８
に当て、反射光を受光ファイバ５に入射させて、光量を
測定する。この光量をＲ０とする。Ｒ０／Ｍ０を計算し
てその結果を装置定数Ｆとする。 (2)サンプルの測定 図３は、サンプル９の反射率を測定するための光学自動
測定装置の正面配置図である。
【００１３】可動式ミラー６を光軸下に移動させる。こ
の状態では、投光ファイバ４から照射された光は、可動
式ミラー６、固定ミラー１１に反射され、再度可動式ミ
ラー６に反射され、受光ファイバ５に入射される。この
受光ファイバ５の入射光量を検出器２により測定する。
この光量をＭ１とする。次に、可動式ミラー６を光軸か
ら外した状態で、投光ファイバ４から照射された光をサ
ンプル９に当て、反射光を受光ファイバ５に入射させ
て、光量を測定する。この光量をＳとする。
の状態では、投光ファイバ４から照射された光は、可動
式ミラー６、固定ミラー１１に反射され、再度可動式ミ
ラー６に反射され、受光ファイバ５に入射される。この
受光ファイバ５の入射光量を検出器２により測定する。
この光量をＭ１とする。次に、可動式ミラー６を光軸か
ら外した状態で、投光ファイバ４から照射された光をサ
ンプル９に当て、反射光を受光ファイバ５に入射させ
て、光量を測定する。この光量をＳとする。
【００１４】Ｓ／Ｍ１Ｆにより、サンプル９の、光量補
正された反射率を求める人ができる。以上のように、サ
ンプル測定時、基準反射板８を実際にセットすることな
く、測定光源の光量が変動したときでも正確なサンプル
９の反射率を測定することができる。
正された反射率を求める人ができる。以上のように、サ
ンプル測定時、基準反射板８を実際にセットすることな
く、測定光源の光量が変動したときでも正確なサンプル
９の反射率を測定することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明の光学自動測定方法
によれば、サンプル測定中、リファレンスとなる基準反
射物を測定光路にセットすることなくリファレンス光量
の推定ができるので、環境温度の変動、光源の光量変
動、検出器の感度変動、光ファイバを曲げる曲率の変化
等があっても、光源光量や検出感度が変動しても、サン
プル光量の正確な測定ができ、もって測定系の検出精度
を上げることができる。
によれば、サンプル測定中、リファレンスとなる基準反
射物を測定光路にセットすることなくリファレンス光量
の推定ができるので、環境温度の変動、光源の光量変
動、検出器の感度変動、光ファイバを曲げる曲率の変化
等があっても、光源光量や検出感度が変動しても、サン
プル光量の正確な測定ができ、もって測定系の検出精度
を上げることができる。
【図１】光学自動測定装置の正面配置図である。
【図２】光学自動測定装置の側面配置図である。
【図３】サンプル９の反射率を測定するための光学自動
測定装置の正面配置図である。
測定装置の正面配置図である。
１ 測定光源 ２ 検出器 ３ａ，３ｂ ファイバプローブ ４ 投光ファイバ ５ 受光ファイバ ６ 可動式ミラー ７ａ，７ｂ 金属筒 ８ 基準反射板 ９ サンプル １０ 設置台 １１ 固定式ミラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AC21 AC30 BB17 CA02 CA03 CB01 CC17 2G059 AA02 EE01 EE02 GG01 HH02 JJ02 JJ05 JJ06 JJ13 JJ17 KK02 KK04 MM01 NN02 NN05 NN06 NN08 PP01
Claims (1)
- 【請求項１】投光部から投光された光をサンプルに当
て、受光部に返ってくる光を測定する光学自動測定方法
において、 サンプル設置台と、投光部及び受光部との間に、可動反
射部材を移動可能に設置し、 可動反射部材の、サンプル設置台と反対の側に固定反射
部材を設置し、 可動反射部材を光軸下に移動させた状態で、 投光部から投光された光を可動反射部材、固定反射部
材、可動反射部材を介して受光部によって受光し、 可動反射部材を光軸から外した状態で、サンプル設置台
にリファレンスを設置して投光部から投光された光をリ
ファレンスを介して受光部によって受光し、 両光量の比を求め、 サンプルの測定期間中に、可動反射部材を光軸下に移動
させた状態で、 投光部から投光された光を可動反射部材、固定反射部
材、可動反射部材を介して受光部によって受光して、こ
の受光光量と前記比とを用いて、リファレンスを置いた
ときの測定光量を推定し、これを用いて、サンプルの受
光光量の補正を行うことを特徴とする光学自動測定方
法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000229518A JP4347504B2 (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | 光学自動測定方法 |
| PCT/JP2001/006437 WO2002010717A2 (en) | 2000-07-28 | 2001-07-26 | Automatic optical measurement method |
| CNB018135013A CN1202414C (zh) | 2000-07-28 | 2001-07-26 | 自动光学测量方法 |
| US10/333,990 US6922247B2 (en) | 2000-07-28 | 2001-07-26 | Automatic optical measurement method |
| EP01984440.6A EP1305602B1 (en) | 2000-07-28 | 2001-07-26 | Automatic optical measurement method |
| KR10-2003-7001177A KR100495604B1 (ko) | 2000-07-28 | 2001-07-26 | 광학 자동 측정 방법 |
| TW090118418A TW575728B (en) | 2000-07-28 | 2001-07-27 | Automatic optical measurement method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000229518A JP4347504B2 (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | 光学自動測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002039955A true JP2002039955A (ja) | 2002-02-06 |
| JP4347504B2 JP4347504B2 (ja) | 2009-10-21 |
Family
ID=18722623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000229518A Expired - Fee Related JP4347504B2 (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | 光学自動測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4347504B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180052510A (ko) | 2016-11-10 | 2018-05-18 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 기준기, 분광 간섭식 계측 장치, 도포 장치, 분광 간섭식 계측 장치의 계측 정밀도 보증 방법, 및 도포막의 제조 방법 |
| KR20210056901A (ko) | 2019-11-11 | 2021-05-20 | 오츠카덴시가부시끼가이샤 | 막두께 측정 장치 및 막두께 측정 방법 |
| DE102022202725A1 (de) | 2021-03-23 | 2022-09-29 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Optik-Messsystem, Optik-Messverfahren und Speichermedium, das darauf gespeichertes Messprogramm aufweist |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7341849B2 (ja) | 2019-10-24 | 2023-09-11 | 大塚電子株式会社 | 光学測定装置および光学測定方法 |
-
2000
- 2000-07-28 JP JP2000229518A patent/JP4347504B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180052510A (ko) | 2016-11-10 | 2018-05-18 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 기준기, 분광 간섭식 계측 장치, 도포 장치, 분광 간섭식 계측 장치의 계측 정밀도 보증 방법, 및 도포막의 제조 방법 |
| KR20210056901A (ko) | 2019-11-11 | 2021-05-20 | 오츠카덴시가부시끼가이샤 | 막두께 측정 장치 및 막두께 측정 방법 |
| US11293750B2 (en) | 2019-11-11 | 2022-04-05 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Film thickness measuring apparatus and film thickness measuring method |
| DE102022202725A1 (de) | 2021-03-23 | 2022-09-29 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Optik-Messsystem, Optik-Messverfahren und Speichermedium, das darauf gespeichertes Messprogramm aufweist |
| US11892281B2 (en) | 2021-03-23 | 2024-02-06 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Optical measurement system, optical measurement method, and non-transitory storage medium having measurement program stored thereon |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4347504B2 (ja) | 2009-10-21 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070601 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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