JP2002011581A - ビーム接合方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 第１の部材上の所定角度ごとの範囲において
第２の部材を効率的に接合することができるビーム接合
方法を提供する。 【解決手段】 ワークＷ（ポンプシェル２１）を所定回
転数で回転駆動する。このワークＷに対して電子ビーム
を連続的に照射する。ワークＷ（ポンプシェル２１）の
回転に同期して、その回転中心から加工半径だけ離隔さ
れ、Ｙ軸方向（周方向）に所定振幅値だけ離隔された第
１及び第２の面域Ｓ１，Ｓ２にビームを切り替え偏向
し、ワークＷ（ポンプシェル２１）の回転移動に追従す
る態様でその所定角度ごとの範囲Ａに電子ビームを重畳
照射し、ポンプシェル２１の各範囲においてブレード２
２を接合する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ビーム接合方法に
係り、詳しくは第１の部材上の所定角度ごとの範囲にビ
ームを照射して第２の部材を接合するビーム接合方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、金属製の異なる部材同士をつなぎ
合わせる方法として種々のものが提案されている。こう
した方法としては、例えば、炉（真空、雰囲気）、アー
ク、火炎、若しくは高周波などによるろう付けやカシメ
による方法が知られている。

【０００３】一般に、炉ろう付けでは、部材全体を加熱
してろう付けを行うため、同部材の熱ひずみが大きくな
る。また、全体として消費エネルギーが多くなり、コス
トの増大を余儀なくされる。

【０００４】一方、アーク、火炎、高周波ろう付けでは
局所加熱が可能であるが、一般に大気中での工程であ
り、ろう材及び部材の酸化を防止するためのフラックス
を使用するため、ろう付け後にその除去工程が必要とな
る。

【０００５】さらに、カシメでは、その接合強度が不十
分であるとともに製造コストの増大を余儀なくされる。
これら各方法に加えて、例えば電子ビーム接合装置によ
るろう付けも知られている。この場合、局所加熱が可能
であるとともに、もともと真空中での工程であるため、
フラックスを使用する必要性もなくなる。従って、部材
同士をつなぎ合わせるための必要箇所のみをろう付けす
ればよく、ろう付け後の工程（フラックスの除去工程）
も不要となる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、こうした電
子ビームろう付けでは、予め設定された所定位置に対し
て電子ビームを照射してろう付けを行うため、部材上の
互いに規則性をもって離隔された複数箇所においてろう
付けを行う場合には、１箇所に対して電子ビームを所要
の期間だけ連続して照射し、同箇所でのろう付けを終了
した後、その都度、上記規則性に基づき部材側を移動し
て次の箇所のろう付けを行うのが一般的である。

【０００７】例えば、第１の部材上の所定角度ごとの各
位置（範囲）で第２の部材をろう付けする場合には、１
箇所に対して電子ビームを所要の期間だけ連続して照射
し、同箇所でのろう付けを終了した後、その都度、第１
の部材を上記所定角度だけ回動して次の箇所のろう付け
を行うことになる。従って、各位置（範囲）でのろう付
けの終了の都度、上記第１の部材の回動のために作業が
中断され、同作業は極めて非効率であった。

【０００８】本発明の目的は、第１の部材上の所定角度
ごとの範囲において第２の部材を効率的に接合すること
ができるビーム接合方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、連続的に照射されるビ
ームの照射面域を、所定回転数で回転駆動される第１の
部材の回転に同期させて複数箇所に切り替え偏向し、前
記第１の部材上の所定角度ごとの範囲にビームを照射し
て該第１の部材上の各範囲において第２の部材を接合す
ることを要旨とする。

【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のビーム接合方法において、前記ビームの照射面域を前
記第１の部材の周方向に切り替え偏向し、前記第１の部
材の回転移動に追従する態様で前記範囲にビームを重畳
照射して該第１の部材上の各範囲において第２の部材を
接合することを要旨とする。

【００１１】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
のビーム接合方法において、前記ビームの照射面域を前
記第１の部材の径方向に切り替え偏向し、前記第１の部
材上の径方向の距離が異なる複数の所定角度ごとの各範
囲にビームを照射して該第１の部材上の各範囲において
第２の部材を接合することを要旨とする。

【００１２】請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の
いずれかに記載のビーム接合方法において、前記範囲の
内部には、熱容量に応じた異なる分布にてビームを照射
することを要旨とする。

【００１３】請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の
いずれかに記載のビーム接合方法において、前記第１の
部材と第２の部材とをろう付けにて接合することを要旨
とする。

【００１４】（作用）請求項１〜３のいずれかに記載の
発明によれば、所定回転数で回転駆動される第１の部材
に対してビームを連続的に照射しながらその照射面域を
同第１の部材の回転に同期させて複数箇所に切り替え偏
向し、同第１の部材上の所定角度ごとの範囲にビームを
照射することで、同第１の部材上の各範囲において第２
の部材が接合される。このように、第１の部材を回転駆
動した状態でビームを連続照射しながらビームの照射面
域を切り替え偏向するのみによって、必要な部分（所定
角度ごとの範囲）にビームを照射して第１の部材上の各
範囲において第２の部材を接合することができ、その作
業は極めて効率的なものとされる。

【００１５】請求項４に記載の発明によれば、第１の部
材上の所定角度ごとの範囲の内部には、熱容量に応じた
異なる分布にてビームが照射される。従って、例えば熱
容量の大きい範囲に対して十分な電子ビームを照射する
ことで、同範囲は迅速に温められ、一方、熱容量の小さ
い範囲に対しては過剰なビームが照射されることが回避
される。

【００１６】請求項５に記載の発明によれば、第１の部
材と第２の部材とはろう付けにて接合される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態を図１〜図４に従って説明する。なお、図１はビー
ム接合のための電子ビーム接合装置１及び同電子ビーム
接合装置１によるワークＷのろう付け加工態様を示す概
略図であり、図２は同ワークＷのろう付け加工態様を模
式的に示す平面図である。また、図３は電子ビーム接合
装置１からの電子ビームの偏向態様を示すタイムチャー
トであり、図４は後述の態様でろう付け加工を行う場合
に対応する電子ビーム接合装置１の各設定条件を示す一
覧図である。

【００１８】図１に示されるように、電子ビーム接合装
置１は汎用の装置であって、高圧電源１１と、偏向コイ
ル１２と、本体部１３と、回転モータ１４と、排気装置
１５と、ＥＢ（electron beam ）高速偏向制御装置１６
と、総合制御装置１７とを備えている。

【００１９】上記高圧電源１１は、図示しない電子銃か
ら放射された電子ビームを上記総合制御装置１７におい
て設定された所定の電圧（例えば、６０ｋＶ）にて加速
する。

【００２０】上記偏向コイル１２は、上記放射された電
子ビームを偏向する。すなわち、この偏向コイル１２
は、図２において平面上に規定されるＸ軸方向及びＹ軸
方向にそれぞれ電子ビームを偏向するｘ−偏向コイル１
２ａ及びｙ−偏向コイル１２ｂを有しており、それぞれ
が上記ＥＢ高速偏向制御装置１６からの制御信号に基づ
き制御されて電子ビームを偏向する。なお、上記ＥＢ高
速偏向制御装置１６は、上記総合制御装置１７において
設定された偏向条件に基づき上記制御信号を発生する。

【００２１】上記本体部１３は、ワークＷを設置するた
めの内部空間を形成している。この内部空間は、上記排
気装置１５により空気が排出される真空室１３ａとなっ
ている。

【００２２】上記回転モータ１４は、上記総合制御装置
１７において設定された所定の回転速度にて上記本体部
１３（真空室１３ａ）に設置されたワークＷを回転駆動
する。

【００２３】上記総合制御装置１７は、設定された加工
条件に基づき上記高圧電源１１、偏向コイル１２（ＥＢ
高速偏向制御装置１６）及び回転モータ１４を好適に制
御する。

【００２４】次に、この電子ビーム接合装置１を用いた
ワークＷのろう付け加工態様について図２及び図３を併
せ参照して説明する。本実施形態では、ワークＷとして
トルクコンバータのポンプインペラを構成する略ドーナ
ツ板状のポンプシェル２１と、同ポンプシェル２１に対
して所定角度ごとに配設される複数のブレード２２との
場合を一例として説明する。このワークＷは、上記ポン
プシェル２１に対して複数のブレード２２が所定角度ご
とに仮組みされたものであり、各ブレードの接合位置に
対応して接合のための、例えば銅製のろう材が配設され
ている。ワークＷは、この状態で本体部１３内に設置さ
れる。

【００２５】ワークＷが本体部１３内に設置されると、
前記排気装置１５により内部の空気が排出され、真空室
１３ａは所定の真空度に維持される。そして、この状態
でワークＷは回転モータ１４により所定の回転速度にて
一側（図２において半時計回り方向）に回転駆動され
る。

【００２６】ワークＷが回転駆動されると、設定された
偏向条件に基づき電子ビームが連続して照射される。図
３は、ろう付け加工時における電子ビームの照射位置の
上記Ｘ軸方向及びＹ軸方向の各変位を示すタイムチャー
トである。図３（ａ）に示されるように、電子ビームは
前記ＥＢ高速偏向制御装置１６（ｘ−偏向コイル１２
ａ）によりＸ軸方向に偏向制御されて基準位置に対して
三角波状にΔｘの範囲で変位する。この基準位置は、図
２における加工半径だけワークＷの回転中心から離隔さ
れた位置となっている。なお、三角波状に変位させるの
は、変位の反転時近辺における電子ビームの滞留時間を
短くし、電子ビームをＸ軸方向により均一に照射するた
めである。この三角波の周波数は、例えば７ｋＨｚに設
定されている。

【００２７】一方、図３（ｂ）に示されるように、電子
ビームは前記ＥＢ高速偏向制御装置１６（ｙ−偏向コイ
ル１２ｂ）によりＹ軸方向に偏向制御されて第１の基準
位置Ｐ１（図２参照）に対して三角波状にΔｙの範囲で
変位するとともに、同第１の基準位置Ｐ１より所定振幅
値だけＹ軸方向に離隔された第２の基準位置Ｐ２（図２
参照）に対して三角波状にΔｙの範囲で変位する。この
ような第１の基準位置Ｐ１での電子ビームの照射と第２
の基準位置Ｐ２での電子ビームの照射は互いに等時間間
隔で周期的に繰り返されている。図２において上記振幅
値を誇張して描画しているが、これら第１及び第２の基
準位置Ｐ１，Ｐ２は、それぞれＸ軸の近傍に設定されて
いる。そして、第１の基準位置Ｐ１は、ワークＷの回転
方向に対して第２の基準位置Ｐ２よりも略周方向に後方
側となっている。換言すると、電子ビームの照射位置が
第１の基準位置Ｐ１から第２の基準位置Ｐ２へとＹ軸方
向（周方向）に切り替えられることにより、同電子ビー
ムはワークＷの回転移動を追従する態様で照射される。
なお、三角波状に変位させるのは、変位の反転時近辺に
おける電子ビームの滞留時間を短くし、電子ビームをＹ
軸方向により均一に照射するためである。この三角波の
周波数も、例えば７ｋＨｚに設定されている。

【００２８】電子ビームがＥＢ高速偏向制御装置１６に
よりＸ，Ｙ軸方向にそれぞれ上記のように偏向制御され
ることにより、電子ビームは上記加工半径だけワークＷ
の回転中心から離隔されたＸ軸の近辺においてＹ軸方向
（周方向）に上記振幅値だけ互いに離隔された第１の面
域Ｓ１及び第２の面域Ｓ２においてそれぞれ略均一に照
射される（図２参照）。

【００２９】ここで、ワークＷの回転速度と、電子ビー
ムの上記振幅値でのＹ軸方向の切り替えタイミングと
は、互いに同期がとられる態様で設定されている。以
下、この同期態様について図２に基づき説明する。な
お、図２においては、簡略化のために、ろう材が配置さ
れて各ブレード２２が接合されるワークＷ上の範囲Ａは
所定角度ごとに配置されているものとし、各範囲Ａの周
方向の幅及び各隣接する範囲Ａ間の周方向の幅は互いに
略同等とされているものとする。一方、電子ビームがＹ
軸方向に切り替えられるときの振幅値は誇張して描画さ
れているが、この振幅値は上記範囲Ａの周方向の幅（各
隣接する範囲Ａ間の周方向の幅）と同等の距離に設定さ
れているとする。

【００３０】このような前提において、電子ビームが上
記第１及び第２の基準位置Ｐ１，Ｐ２のうちワークＷの
回転方向に対して後方側である第１の基準位置Ｐ１に偏
向されて前記第１の面域Ｓ１に照射されているとする。
このとき、ワークＷは上記所定回転速度にて回転してい
るため、同回転に基づき周方向に連続する範囲で電子ビ
ームが照射されるようになっている。電子ビームが第１
の基準位置Ｐ１に偏向されている間にワークＷの回転に
基づき電子ビームが照射される範囲は、上記範囲Ａとな
るように設定されている。すなわち、電子ビームが第１
の基準位置Ｐ１に切り替え偏向されたタイミングにおい
て、電子ビームは上記範囲Ａの前端に照射されるように
設定されており、電子ビームが第１の基準位置Ｐ１に偏
向されている時間とワークＷが上記範囲Ａの周方向の幅
だけ回転するときの時間とが一致するように設定されて
いる。これにより、第１の基準位置Ｐ１に偏向されてい
る間に、ワークＷの上記範囲Ａに電子ビームが照射され
る。

【００３１】次に、電子ビームがワークＷの回転方向に
対して上記第１の基準位置Ｐ１よりも上記振幅値だけ前
方側である第２の基準位置Ｐ２に偏向されて前記第２の
面域Ｓ２に照射されるとする。この振幅値は上記範囲Ａ
の周方向の幅と同等の距離に設定されているため、電子
ビームが第２の基準位置Ｐ２に切り替え偏向されたタイ
ミングにおいて、電子ビームは上記範囲Ａの前端に追従
する態様で照射される。そして、このときも電子ビーム
が第２の基準位置Ｐ２に偏向されている時間とワークＷ
が上記範囲Ａの周方向の幅だけ回転するときの時間とが
一致するように設定されているため、第２の基準位置Ｐ
２に偏向されている間に、ワークＷの上記範囲Ａに電子
ビームが重畳して照射される。

【００３２】次いで、電子ビームが再び上記第１の基準
位置Ｐ１に偏向されて第１の面域Ｓ１に照射されるとす
る。このとき、電子ビームが第２の面域Ｓ２に照射され
ている間に上記第１の面域Ｓ１には電子ビームが照射さ
れることなくワークＷが回転しているため、同第１の面
域Ｓ１には次の範囲Ａの前端が到達している。従って、
この到達した次の範囲Ａに対して上記と同様に電子ビー
ムを照射する。

【００３３】このようにしてワークＷを所定回数だけ連
続回転させながら、同回転に同期させて電子ビームの照
射位置（第１及び第２の基準位置Ｐ１，Ｐ２）を周期的
に切り替えることにより、上記各範囲Ａにはろう材を溶
かすための十分なエネルギーが同時に投入される。そし
て、上記ポンプシェル２１に配設された各ブレード２２
は、同ポンプシェル２１に対して迅速に接合される。

【００３４】なお、図４は、ワークＷの加工半径（図２
参照）を１００ｍｍとし、周方向に３０等分して電子ビ
ームの照射する位置（範囲Ａ）としない位置とを互い違
いに配設するときの各加工条件の一例を示すものであ
る。ここで、回転数［ｒｐｍ］はワークＷの回転速度で
あり、クロック周波数［Ｈｚ］は電子ビームをＹ軸方向
（周方向）に切り替え偏向するときの周期となってい
る。

【００３５】また、振幅ダイヤル値は、上記加工半径に
対応して電子ビームをワークＷの回転移動に追従する態
様で範囲Ａに重畳照射するときの振幅値に基づく本電子
ビーム接合装置１上での操作量となっている。

【００３６】例えば、回転数１０ｒｐｍにてワークＷを
回転駆動する場合、１回転当たり６秒であるため、周方
向に３０等分して電子ビームを照射するためのクロック
周波数の設定は５．００（＝１／（６／３０））Ｈｚと
なっている。回転数が１５、２０、２５、３０ｒｐｍの
各場合についても同様である。

【００３７】以上詳述したように、本実施形態によれ
ば、以下に示す効果が得られるようになる。 （１）本実施形態では、ワークＷを所定回数だけ連続回
転させながら、同回転に同期させて電子ビームの照射位
置（第１及び第２の基準位置Ｐ１，Ｐ２）を周期的に切
り替えることにより、ワークＷ上に所定角度ごとに配置
された上記各範囲Ａにろう材を溶かすための十分なエネ
ルギーを一括して同時に投入することができる。そし
て、上記ポンプシェル２１に配設された各ブレード２２
を、同ポンプシェル２１に対して効率的に接合すること
ことができる。従って、ポンプインペラの生産性を向上
することができる。

【００３８】（２）本実施形態では、Ｘ軸方向の基準位
置、若しくはＹ軸方向の各基準位置Ｐ１，Ｐ２におい
て、電子ビームをそれぞれ三角波状に変位させるように
した。従って、電子ビームをより均一に照射することが
できる。

【００３９】（３）本実施形態では、電子ビーム接合に
より接合位置（範囲Ａ）への局所加熱が可能であるた
め、接合のためのエネルギー消費率を低減するととも
に、ワークＷ（ポンプシェル２１及びブレード２２）の
熱ひずみの低減を図ることができる。

【００４０】また、所定の真空度に維持された状態での
加工となるため、フラックスを使用する必要性もなくな
る。従って、ろう付け加工後の工程（フラックスの除去
工程）も不要となる。

【００４１】なお、本発明の実施の形態は上記実施形態
に限定されるものではなく、次のように変更してもよ
い。このような変更を加えても、前記実施形態と同様の
効果が得られるようになる。

【００４２】・前記実施形態においては、各範囲Ａ内に
電子ビームを略均一に照射する場合について説明した。
これに対して、各範囲Ａ内において電子ビームを所定の
態様で不均一に照射するようにしてもよい。例えば、各
範囲Ａ内での熱容量の相違に応じて電子ビームを不均一
に照射するようにしてもよい。このような照射制御は、
上記総合制御装置１７での設定により容易に実現しうる
ようになっている。なお、このような設定は、電子ビー
ムが第１の基準位置Ｐ１に偏向されて第１の面域Ｓ１に
照射されている状態に対して行ってもよく、また、電子
ビームが第２の基準位置Ｐ２に偏向されて第２の面域Ｓ
２に照射されている状態に対して行ってもよい。あるい
は、電子ビームが第１、第２の基準位置Ｐ１，Ｐ２に偏
向されて第１、第２の面域Ｓ１，Ｓ２に照射されている
状態に対してそれぞれ行ってもよい。

【００４３】一般に、ポンプインペラでは、ポンプシェ
ル２１の板厚はブレード２２の板厚よりも大きく、その
熱容量も大きくなっている。例えば、図５に示されるよ
うに、前記範囲Ａを幅方向に範囲Ａ１，Ａ２に２分した
として、範囲Ａ１はポンプシェル２１に電子ビームが照
射される側、範囲Ａ２はブレード２２に電子ビームが照
射される側とする。このとき、範囲Ａ１は範囲Ａ２より
も熱容量が大きくなるため、範囲Ａ１に対して範囲Ａ２
よりも多くの電子ビームを照射するように設定する。こ
のような設定をすることにより、各範囲Ａ１，Ａ２に対
してそれぞれ熱容量に応じた電子ビームが照射され、同
範囲Ａ１，Ａ２（ポンプシェル２１、ブレード２２）で
の温度の上昇速度を同等とすることができる。すなわ
ち、熱容量の大きい範囲Ａ１（ポンプシェル２１）に対
しては十分な電子ビームを照射して迅速に温めることが
でき、一方、熱容量の小さい範囲Ａ２（ブレード２２）
に対しては過剰な電子ビームを照射してブレード２２を
溶融させることを回避することができる。

【００４４】・前記実施形態においては、ワークＷの回
転中心から単一の加工半径だけ離隔された位置に対して
電子ビームを照射するようにした。これに対して、ワー
クＷの回転中心から複数の加工半径だけ離隔された各位
置に対して電子ビームを照射するようにしてもよい。例
えば、図６に示されるように、電子ビームは前記ＥＢ高
速偏向制御装置１６（ｘ−偏向コイル１２ａ）によりＸ
軸方向（径方向に略一致）に偏向制御されてワークＷの
回転中心から第１の加工半径だけ離隔された第１の基準
位置Ｐ３と、同回転中心から上記第１の加工半径よりも
短い第２の加工半径だけ離隔された第２の基準位置Ｐ４
とに周期的に切り替え偏向されるとする。一方、電子ビ
ームは前記ＥＢ高速偏向制御装置１６（ｙ−偏向コイル
１２ｂ）によりＹ軸方向に偏向制御されてＸ軸近傍の単
一基準位置に偏向されるとする。このとき、前記実施形
態に準じて、電子ビームがＸ，Ｙ軸方向にそれぞれ偏向
制御されることにより、電子ビームはＸ軸の近辺におい
て上記第１若しくは第２加工半径だけワークＷの回転中
心から離隔された第１の面域Ｓ３及び第２の面域Ｓ４に
おいてそれぞれ略均一に照射される。ワークＷが所定の
回転速度で回転している状態において、電子ビームが上
記のようにＸ軸方向に周期的に切り替え偏向されること
により、ワークＷ上にはその回転中心から上記第１の加
工半径だけ離隔された範囲Ｂと、同回転中心から上記第
２の加工半径だけ離隔された範囲Ｃにそれぞれ電子ビー
ムが照射される。なお、当然ながら、これら範囲Ｂ，Ｃ
はそれぞれ所定角度ごとに配設されており、また、範囲
Ｂ，Ｃは周方向において互い違いに配設されている。こ
のような態様で行うことにより、ワークＷの回転中心か
らＸ軸方向（径方向）に異なる距離（第１及び第２の加
工半径）だけ離隔された位置に対して同時にろう付けを
行うことができる。

【００４５】なお、この場合においても、各範囲Ｂ，Ｃ
内で電子ビームを略均一に照射するようにしてもよい
し、所定の態様で不均一に照射するようにしてもよい。
・前記実施形態においては、電子ビームをＹ軸方向（周
方向）に切り替え偏向する場合について説明した。これ
に対して、電子ビームをＸ軸方向（径方向）及びＹ軸方
向（周方向）の両方に切り替え偏向する方法であっても
よい。

【００４６】・前記実施形態においては、ワークＷを連
続回転させながら、同回転に同期させた電子ビームの照
射位置の切り替えを２箇所（第１及び第２の基準位置Ｐ
１，Ｐ２）に対して行った。これに対して、ワークＷを
連続回転させながら、同回転に同期させて電子ビームの
照射位置を３箇所以上に周期的に切り替えるようにして
もよい。

【００４７】例えば、前記実施形態に準じて、電子ビー
ムの照射位置をワークＷの回転移動に追従する態様で３
箇所に照射したとしても、ワークＷ上において所定角度
ごとに配置される各範囲内に電子ビームを照射すること
ができる。なお、この場合には、上記各範囲の周方向の
幅に対して各隣接する範囲間の周方向の幅は略２倍の長
さとなる。

【００４８】・前記実施形態においては、電子ビーム接
合装置１を用いたろう付け加工によりポンプシェル２１
にブレード２２を接合した。これに対して、電子ビーム
接合装置１を用いた通常の溶接として、ろう材等を使用
することなく直接、ポンプシェル２１にブレード２２を
接合してもよい。

【００４９】・前記実施形態においては、ビーム接合の
ために電子ビーム接合装置１を採用した。これに対し
て、例えばレーザビーム接合装置を適用してもよい。 ・前記実施形態においては、ポンプインペラのポンプシ
ェル２１にブレード２２を接合する場合について説明し
た。これに対して、例えばトルクコンバータのタービン
ランナーのシェルにブレードを接合する場合に本発明を
適用してもよい。また、その他の部品等の接合に本発明
を適用してもよい。要は、連続で回転駆動される第１の
部材に対して周方向に所定角度ごとの範囲において第２
の部材が接合される部品等であれば、本発明は適用可能
である。

【００５０】次に、以上の実施形態から把握することが
できる請求項以外の技術的思想を、その効果とともに以
下に記載する。 （イ）連続的に照射されるビームを、所定回転数で回転
駆動される第１の部材の回転に同期させて周方向に位置
の異なる第１の照射面域と第２の照射面域とに切り替え
偏向し、前記第１の部材の回転移動に追従する態様で該
第１の部材上の所定角度ごとの範囲にビームを重畳照射
し、該第１の部材上の各範囲において第２の部材を接合
することを特徴とするビーム接合方法。同方法によれ
ば、所定回転数で回転駆動される第１の部材に対してビ
ームを連続的に照射しながら、同第１の部材の回転に同
期させて第１の照射面域と第２の照射面域とに切り替え
偏向し、同第１の部材上の所定角度ごとの範囲にビーム
を重畳照射することで、同第１の部材上の各範囲におい
て第２の部材が接合される。このように、第１の部材を
回転駆動した状態でビームを連続照射しながらビームの
照射面域（第１及び第２の照射面域）を切り替え偏向す
るのみによって、必要な部分（所定角度ごとの範囲）に
ビームを照射して第１の部材上の各範囲において第２の
部材を接合することができ、その作業は極めて効率的な
ものとされる。

【００５１】（ロ）上記（イ）に記載のビーム接合方法
において、前記第１の照射面域及び第２の照射面域の少
なくとも一方でのビームを制御し、前記範囲の内部に熱
容量に応じた異なる分布にてビームを照射することを特
徴とするビーム接合方法。同方法によれば、第１の部材
上の所定角度ごとの範囲の内部には、熱容量に応じた異
なる分布にてビームが照射される。従って、例えば熱容
量の大きい範囲に対して十分な電子ビームを照射するこ
とで、同範囲は迅速に温められ、一方、熱容量の小さい
範囲に対しては過剰なビームが照射されることが回避さ
れる。

【００５２】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜３のい
ずれかに記載の発明によれば、第１の部材上の所定角度
ごとの範囲において第２の部材を効率的に接合すること
ができる。

【００５３】請求項４に記載の発明によれば、熱容量の
大きい範囲に対して十分な電子ビームを照射すること
で、同範囲を迅速に温めることができ、一方、熱容量の
小さい範囲に対しては過剰なビームが照射されることが
回避することができる。

【００５４】請求項５に記載の発明によれば、第１の部
材と第２の部材とをろう付けにて接合することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す概略図。

【図２】同実施形態を模式的に示す平面図。

【図３】同実施形態の電子ビームの偏向態様を示すタイ
ムチャート。

【図４】同実施形態の各設定条件を示す一覧図。

【図５】同実施形態の別例を模式的に示す平面図。

【図６】同実施形態の別例を模式的に示す平面図。

【符号の説明】

１ 電子ビーム接合装置 １４ 回転モータ １６ ＥＢ高速偏向制御装置 １７ 総合制御装置 ２１ 第１の部材としてのポンプシェル ２２ 第２の部材としてのブレード Ｓ１，Ｓ３ 第１の面域 Ｓ２，Ｓ４ 第２の面域

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 連続的に照射されるビームの照射面域
   を、所定回転数で回転駆動される第１の部材の回転に同
   期させて複数箇所に切り替え偏向し、 前記第１の部材上の所定角度ごとの範囲にビームを照射
   して該第１の部材上の各範囲において第２の部材を接合
   することを特徴とするビーム接合方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のビーム接合方法にお
   いて、 前記ビームの照射面域を前記第１の部材の周方向に切り
   替え偏向し、 前記第１の部材の回転移動に追従する態様で前記範囲に
   ビームを重畳照射して該第１の部材上の各範囲において
   第２の部材を接合することを特徴とするビーム接合方
   法。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のビーム接合方法にお
   いて、 前記ビームの照射面域を前記第１の部材の径方向に切り
   替え偏向し、 前記第１の部材上の径方向の距離が異なる複数の所定角
   度ごとの各範囲にビームを照射して該第１の部材上の各
   範囲において第２の部材を接合することを特徴とするビ
   ーム接合方法。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載のビー
   ム接合方法において、 前記範囲の内部には、熱容量に応じた異なる分布にてビ
   ームを照射することを特徴とするビーム接合方法。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載のビー
   ム接合方法において、 前記第１の部材と第２の部材とをろう付けにて接合する
   ことを特徴とするビーム接合方法。