JP2002009375A - 光増幅器 - Google Patents
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Abstract
をもたらすことができる光増幅器が必要とされている。 【解決手段】 励起された光は、窓41,43を含むス
ラブの側面に向けられる。レーザー軸に沿う励起ビーム
の内部反射をさせるために、端面28,30は、励起さ
れた光を増幅された光と同軸状スラブ内で反射させるべ
く長手軸線に対して約45°の角度で形成されている。
励起された光の吸収をスラブの中心部に限定するため
に、スラブは、ドープ処理なし主材料によって作られた
対向端部と、ドープ処理された主材料によって作られた
中心部分とを備えた複合材料によって作られる。
Description
体レーザーにおいて使用するための光増幅器に関し、よ
り特別には、固体レーザー材料の細長いスラブ、例え
ば、希土類元素がドープ処理されたイットリウム−アル
ミニウム−ガーネット(YAG)結晶及び固体レーザー
材料を比較的高エネルギの準安定状態に励起するための
複数のダイオードアレイを含み、励起光が、比較的長い
吸収長さ、従って、より高い全効率を生じる増幅された
光と相互に整列されて、Yb及びTmのような比較的低
い吸収長さを有する固体レーザー材料を使用する光増幅
器に特に適した形状を作るようになされた光増幅器に関
する。
−アルミニウム−ガーネット(YAG)結晶のようなレ
ーザー材料の細長いほぼ矩形又は四角形のスラブを含ん
でいる光増幅器が知られている。スラブは、一対の対向
する端面及び4つの側面を画成しているほぼ矩形又は四
角形の断面領域によって形成されている。スラブのため
の材料は、比較的高い屈折率を有するように選択され
る。スラブは、比較的低屈折率を有する冷却剤によって
冷却される。スラブの冷却剤境界面における屈折率のこ
の変化によって、ジクザグ状にスラブ内で内部全反射さ
れるスラブの一方の端面に向けられた入射光が生じる。
従って、このような形状を有する光増幅器は、ジグザグ
増幅器として知られるようになった。このようなジグザ
グ増幅器を利用している固体レーザーの例が、米国特許
第4,730,324号、第4,852,109号及び
第5,305,345号に開示されている。
較的高いエネルギ準安定状態まで励起するためには、例
えば、米国特許第4,852,109号、第4,94
9,346号、第4,984,246号、第5,27
1,031号、第5,305,345号、第5,31
7,585号及び第5,351,251号に開示されて
いるダイオードアレイのような種々の励起光源が使用さ
れる。多くの公知の光増幅器においては、励起光源は、
同励起光源からの光がスラブの長手軸線にほぼ直角の方
向にスラブ側面に沿って導かれる。このような構造の光
増幅器の例が、米国特許第4,127,827号、第
4,852,109号、第5,271,031号、第
5,305,345号、第5,646,773号及び第
5,651,021号に開示されている。共有にかかる
米国特許第5,900,967号は、複数のダイオード
アレイがスラブの側面に沿って導かれている形状を開示
している。‘434号出願に開示されている装置は、ス
ラブ内にほぼ均一なエネルギ分布を提供するために側面
に対してほぼ直角に向けられたダイオードアレイを利用
している。側方から励起される形状として知られている
このような形状は、励起光の吸収長さを、不幸にも2な
いし3ミリメートルに限定する。このような側方励起形
状が、Yb及びTmがドープされた材料のような低吸収
係数を有する固体レーザー材料を使用する光増幅器と共
に使用されるとき、比較的低吸収率、従って、より低い
全効率がもたらされる。従って、比較的高い全効率で比
較的より長い吸収長さをもたらすことができる光増幅器
が必要とされている。
は、希土類元素をドープ処理したイットリウム−アルミ
ニウム−ガーネット(YAG)スラブのような固体レー
ザー材料の細長いスラブを含んでいる光増幅器に関す
る。比較的高い吸収長さ、従って、より高い全効率を提
供するために、本発明による光増幅器は、励起光が、比
較的長い吸収長さとより高い全効率を生じる増幅された
光と整合される、端部励起を組み入れている。整合され
た励起光源は、励起波長において反射防止コーティング
によって作られた光受容可能領域すなわち窓を含んでい
るスラブの側面に導かれる。レーザー軸線に沿った励起
ビームの内部反射を生じさせるためには、端面は、長手
軸線に対して約45゜の角度で形成されて、励起された
光が長手軸線に沿ってスラブ内で反射されるようにさせ
る。励起された光の吸収をスラブの中心部分に制限する
ためには、スラブは、ドープ処理されていない主材料に
よって作られたスラブの対向する端部を備え、一方、長
手軸線に沿ったスラブの中心部分がドープ処理された主
材料によって作られている、複合材料によって作ること
ができる。このような構造は、実質上は二つの屈折率
(birefringence)を備えない比較的低い
残留熱レンジング(thermal lensing)
を提供する。一つの実施形態においては、ダイオードア
レイからの励起光は、レンズ又はレンズダクト(len
s ducts)を介してスラブに結合される。更に別
の実施形態においては、励起光とレーザービームとが置
き換えられて、端部励起構造を備えた低損失の真っ直ぐ
に貫通するスラブが形成されている。
て特定されている光増幅器に関する。本発明の重要な特
徴によれば、光増幅器20は、端部励起(エンドポンピ
ング)を利用している。このような形状においては、励
起光は、スラブの長手軸線に沿って増幅された光と整合
されて、比較的長い吸収長さをもたらし、このようにし
て、比較的高い全効率を提供する。本発明は、特に、Y
b及びTmドーパントを使用した材料のような比較的低
吸収係数を備えた固体レーザー材料を利用する光増幅器
に適している。以下においてより詳細に説明されるよう
に、励起された光の吸収は、歪み(warping)を
受けるものとして知られているスラブ両端での熱を低減
させるように、スラブの中心領域に閉じ込められても良
い。
する。1998年7月7日に出願された共有にかかる同
時継続の米国特許第09/111,080号に示されて
いる図1ないし4は、励起がレンズ又はレンズダクトを
介して結合されたダイオードアレイによって提供され
る、端部励起のジグザグ光増幅器構造の第1の実施形態
を図示している。図5ないし7は、スラブの励起が、ス
ラブが積み重ねられるのを許容する光ファイバによって
スラブに結合されたダイオードアレイからの光によって
提供される、本発明のもう一つ別の実施形態を示してい
る。図8は、励起及びレーザービームが図1に対して入
れ替えられている、低損失の真っ直ぐに延びた光増幅器
を形成している、本発明のもう一つ別の実施形態を図示
している。
いスラブ22と、一対の励起ビーム発生源24及び26
と、を含んでいる。細長いスラブ22は、一対の対向す
る端面28及び30と、4つの側面32と、を画成して
いるほぼ矩形又は四角形の断面によって形成されてい
る。ここに使用されているように、長手方向すなわちレ
ーザー光発生軸34は、対向する端面28と30との間
の側面32にほぼ平行な軸として規定されている。主軸
は、ジグザグパターンの方向における水平軸として規定
され、一方、副軸は、主軸にほぼ直角な垂直軸として規
定される。主軸及び副軸は、両方とも長手軸線に直角で
ある。
成している図1に示されたような概してジグザグパター
ンで入力ビームの内部反射を生じさせる比較的高屈折率
の固体レーザー材料によることができる。このようなジ
グザグ増幅器は、入力ビームが均一な利得媒体を有効に
提供するスラブ内の熱勾配を平均化するのを許容するこ
とによって、輝度の基準化(scaling)を可能に
することが知られている。スラブ22の端部の加熱を減
らすためには、スラブ22は、拡散接合(diffus
ion bond)された複合材料として形成してもよ
い。より特別には、スラブ22の長手軸線34に沿っ
て、スラブ22の両端部35及び36は、イットリウム
−アルミニウム−ガーネット(YAG)(Yb:YA
G)のようなドープ処理された主(host)材料によ
って作られたスラブ22の中心部分38に拡散接合する
ことができる。このような拡散接合技術は、例えば、番
号を記すことによって本明細書に組み入れられた米国特
許第5,441,803号に詳しく記載されているよう
に、従来技術において公知である。このような形状は、
吸収長さをスラブ22の中心部分38に限定する。吸収
長さをスラブ22の中心部分38に限定することによっ
て、光励起によって発生される熱は、中心部分38内に
あり且つ歪みを受け易い端部35及び36から逃げる。
上記したように、励起された光は、スラブ22内で反射
される。従って、励起ビーム24及び26は、図1にお
いて全体的に示されているように、各々、端部35及び
36においてスラブ22の対向する側面32に入射する
ことができる。光がスラブ22内に入るのを可能にする
ために、一以上の光受容可能領域すなわち窓41及び4
3を、対向する端部35及び36上に形成してもよい。
窓41及び43は、励起ビーム24及び26の波長に対
して選択された反射防止コーティングのようなコーティ
ングによって形成することができる。図1に示されてい
るように、反射防止コーティングが、対向する端面28
及び30だけでなく側面32上にも配設されており、そ
れによって、入力ビーム及び励起ビームの損失を減らし
ている。励起ビーム24及び26は、スラブ32の対向
する端部35及び36において対向する側面32へと導
かれる。図1に示されているように、励起ビーム24及
び26は、全部、対向する端面28及び30によって内
部反射され、励起ビームが長手軸線34と整合されるよ
うになされている。上記した複合スラブ22を利用する
ことによって、スラブ22の吸収長さは中央部分28に
限定される。
えば、端面の法線に対して30゜未満の角度で一つの端
面28に導かれる。入力ビーム44の入射角度を確立し
且つ比較的高い屈折率を有する材料を選択することによ
って、入力光ビーム44は、図示されているようなほぼ
ジグザグパターンでスラブ22に沿って全反射され、対
向端面30から増幅されたビーム46として外部へ結合
される。ガイドされたダイオードの光及び隔離されたス
ラブの端縁による均一な励起と結合されたスラブの温度
勾配を横切るジグザグパターンによって、実質的に2つ
の屈折率を備えない比較的低い熱レンジング(ther
mal lensing)がもたらされる。
領域に高い温度をもたらすことが知られている。上記し
たように、例えば、ダイオードアレイからの励起ビーム
は、窓又は光受容可能領域41及び43を介して側面3
2に対してほぼ直角に導かれ且つ対向面28及び30か
ら反射されて、励起ビームが長手軸線34に沿って導か
れるようにさせる。スラブ22を冷却するために、種々
の冷却方法を使用することができる。伝導冷却装置及び
対流冷却装置の両方が適している。伝導冷却装置の例
は、例えば、カリフォルニア州サンディエゴにあるTh
ermo−Electron又はカリフォルニア州サン
ホセにあるSDL,Inc.によって製造されたような
高強度衝撃冷却器(impingement cool
er)にスラブ22を取り付けることである。
にするために、図3及び4に図示されたようなインジウ
ム又は金のような軟質金属の熱伝導性材料の薄い層を使
用してもよい。組立中に、冷却器/インジウム/スラブ
のアセンブリは、インジウムを流し且つ接触抵抗を除去
するために、約150℃の高温において圧力下に保持さ
れてもよい。直接又は対流による冷却のためには、スラ
ブ22は、参照番号を記すことによって本明細書に組み
入れられている米国特許第5,646,773号におい
て詳細に説明されているように、熱を除去するために、
スラブの面上を流れる乱流冷却剤の薄い層によってデッ
ドゾーン(dead zone)内にシールされても良
い。例示的な対流冷却装置が、例えば、参照番号を記す
ことによって組み入れられている共有にかかる米国特許
第5,646,773号に開示されている。
側面32は、内部全反射を確保するために、消失波コー
ティング48として作用する誘電性材料によってコーテ
ィングされている。図1に示されているように、消失波
コーティング48は、一つの端面28,30から、反対
側の端面に隣接した拡散接合境界面42を若干越えた領
域まで延びることもできる。消失波コーティング48
は、スラブ22が衝撃冷却器に直接接合されるようにす
る。MgF2又はSiO2の薄い層は、消失波コーティン
グ48として使用してもよい。
備えた高出力ダイオードアレイ56を、励起ビーム24
及び26を発生させるために使用してもよい。スラブ2
2の効率の良い励起は、図2に示されているように、適
当なアナモルフィックレンズアセンブリ50を使用する
ことによって達成してもよい。アナモルフィックレンズ
は、ダイオードアレイ56とスラブ22上の窓41及び
43との間に配設された一対のレンズ52及び54を含
んでいる。ダイオードアレイ56は、個々のマイクロレ
ンズ60を備えた複数の積み重ねられたダイオードバー
58を含んでいる。マイクロレンズ60は、バー58の
高速(fast)軸の発散角を約1゜まで減らし、一
方、低速(slow)軸は7゜程度の全発散角を有して
もよい。アナモルフィックレンズアセンブリ50を使用
することによって、ダイオードアレイ56の出力は、ス
ラブ22の窓41及び43上の入力領域上に結像され
て、2×1cmのダイオードアレイが2×2mmと同じ
くらい小さい領域上に結像されるようにすることができ
る。
ルフィックレンズアセンブリ50の代わりに使用されて
もよい。適当なレンズダクトは、参照番号を記すことに
よって本明細書に組み入れられている米国特許第5,3
07,430号に開示されている。
力増幅器(MOPA)を形成するために使用されてもよ
い。図3に示された実施形態においては、主発振器72
は、スラブ22の入力端面28へと向けられている。主
発振器72は、例えば、以下において図4に関して説明
され且つ図示されているようなものであってもよい。上
記したように、端面への入力ビームは、スラブの側面か
らの内部全反射を提供するのに適した角度でなければな
らない。
4を形成するために光増幅器20を使用してもよい。こ
の実施形態においては、ビームは、全反射器76と出力
ビームを提供するために部分的に伝導する出口カプラー
(outcoupler)84との間で振動する。Qス
イッチ78は、キャビティ内に含まれてもよい。
照番号100によって特定されている。この実施形態
は、励起光がファイバ束106を形成している一以上の
光ファイバ104によってスラブ102に結合されてい
る点以外は、図1に示された実施形態と基本的に同じで
ある。簡潔さのために、スラブ102の一部分のみが示
されている。図1に示された実施形態と同様に、スラブ
102は、図1に示されているように、ほぼジグザグパ
ターンで入力ビームの内部反射を生じさせるために、比
較的高い屈折率を有する固体レーザー材料によって作る
ことができる。スラブ102の端部の加熱を減らすため
に、スラブ102の両端部は、イットリウム−アルミニ
ウム−ガーネット(YAG)のようなドープ処理されて
いない主材料によって作られ、上記したように、種々の
結合境界面を形成するYbをドープ処理したYAG(Y
b:YAG)のようなドープ処理された主材料によって
作られたスラブ102の中心部分に拡散接合されてい
る。
に窓が形成されて光がスラブ内に入るのを可能にしても
良い。簡潔のために、一つの端部のみが示されている。
上記したように、窓は、励起ビームの波長に対して選択
された反射防止コーティングのようなコーティングによ
って形成してもよい。ファイバ束106(図5)からの
励起力は、端部108内の窓へと導かれる。図5に示さ
れているように、励起光は、同励起光がスラブ102の
長手軸線と整合されるように端面110から全反射され
る。図6に示されているように、Nd:YAGまたはY
b:YAG(1.82の屈折率)のような材料のための
YAG−空気境界面のための、スラブ102内での内部
全反射のための最小角度αは±30゜である。この最小
角度αは、図6に全体的に示されているように、45゜
端面110からの全反射角度に基づいている。これは、
ダイオードからの高出力光を分配するために使用される
典型的なファイバのための比較的大きなNA(nume
rical aperture:開口数)を表す0.5
の最大ファイバ開口数に変換する。
って発生させることができる。このダイオード光は、C
oherent Inc.,、Spectra Phy
sics Inc.,及びSDL Inc.から入手可
能な装置のような適当な光学系によってファイバに結合
されてもよい。
示されたように、たくさんのスラブが積み重ねられるの
を可能にする点である。特に、図5に示した構造は、励
起光のためのダイオードアレイをスラブに対して遠くに
配置することを可能にする。従って、これは、高出力増
幅器アレイを形成するために図7に示されたように積み
重ねられると、ファイバは、通常は、レンズ又はレンズ
ダクトによってはアクセスできないスラブ励起窓へのア
クチュエータを提供する。
116、118及び120を積み重ねても良い。スラブ
112、114、116、118及び120は、冷却器
122、124、126、128及び130の間にサン
ドイッチされても良い。冷却器は上記したとおりであ
る。図示したように、スラブ112、114、116、
118及び120は、各々の対向端部がそこから外方へ
延びるように、冷却器122、124、126、12
8、130及び132よりも若干長くなされている。こ
のような形状によって、励起光は、図7に示されたよう
に、複数の光ファイバ134ないし152によってスラ
ブ内の窓に導かれるのが可能になる。
出力の増幅器アレイを形成する。入力レーザービーム
は、矢印154、156、160及び162によって表
されている。出力光ビームは、矢印164、166、1
68、170及び172によって表されている。
され且つ参照番号174によって特定されている。増幅
器174は、スラブ176を含んでおり且つ基本的には
励起及びレーザービームが交換されている以外は、図1
に示された増幅器20と同じである。特に、スラブ17
6は、対向する端面178、180と、窓182、18
4とを含んでいる。この実施形態においては、励起光
は、対向端部178及び180へ導かれ、図示されてい
るように、ジグザグパターンでスラブ176内を全反射
され、スラブ176の比較的均一な励起を提供する。こ
の実施形態においては、レーザービームは、窓182、
184内へと導かれ且つスラブ176を真っ直ぐ貫通す
る対向端面178、180から反射される。図8に図示
された形状は、必要とされる出力要件が高くないが低損
失が要求される用途において有用である。励起光は、上
記したように、レンズ、レンズダクト又はファイバ束を
介してスラブ176に結合されてもよい。
上記の教示を参考にすれば可能である。従って、特許請
求の範囲内で本発明は、特に上記した方法以外の方法で
実施することができることは理解されるべきである。
レンズアセンブリとダイオードアレイとの構成図であ
る。
の構成図である。
(MOPA)構造として使用されている、図3と類似の
構成図である。
れる構造を図示している本発明の代替的な実施形態の平
面図である。
の許容基準の幾何学を示している図5に示した実施形態
の部分平面図である。
起の増幅器を示している正面図である。
ブを示している別の代替的な実施形態の平面図である。
励起ビーム発生源、28、30 端面、 32 側
面、 34 レーザー光発生軸、35、36 スラブ
の端部、 38 スラブの中心部分、40、42 拡
散接合境界面、 41、43 窓、44 入力ビー
ム、 46 増幅器ビーム、 48 コーティン
グ、50 レンズアセンブリ、 52、54 レン
ズ、56 ダイオードアレイ、 57 冷却器、58
ダイオードバー、 60 マイクロレンズ
Claims (13)
- 【請求項1】 対向端面と、複数の側面と、を有する固
体レーザー材料の細長いスラブであって、前記側面が当
該スラブの長手軸線にほぼ平行であり、前記端面は、前
記長手軸線に対して垂直な軸に関してある角度で切断さ
れている、細長いスラブと、 励起光源と、 同励起光源を前記スラブ内の前記窓に光学的に結合する
ための一以上の光ファイバと、 を含む光増幅器。 - 【請求項2】 請求項1に記載の光増幅器であって、 前記スラブが、2つの非吸収部分の間にサンドイッチさ
れた中央吸収部分を形成している二以上の材料によって
形成された複合スラブである、光増幅器。 - 【請求項3】 請求項2に記載の光増幅器であって、 前記二以上の部分が、相互に拡散接合されていて、一以
上の拡散接合境界面を形成している、光増幅器。 - 【請求項4】 請求項2に記載の光増幅器であって、 前記非吸収部分がドープ処理されていない固体レーザー
材料によって作られている、光増幅器。 - 【請求項5】 請求項4に記載の光増幅器であって、 前記ドープ処理されていない固体レーザー材料が、イッ
トリウム−アルミニウム−ガーネット(YAG)であ
る、光増幅器。 - 【請求項6】 請求項2に記載の光増幅器であって、 前記吸収部分が、ドープ処理された固体レーザー材料に
よって作られている、光増幅器。 - 【請求項7】 請求項6に記載の光増幅器であって、 前記ドープ処理された固体レーザー材料がYbをドープ
処理したYAGである、光増幅器。 - 【請求項8】 請求項1に記載の光増幅器であって、 前記側面を形成している窓の一部分に適用された反射防
止コーティングを含んでいる、光増幅器。 - 【請求項9】 請求項8に記載の光増幅器であって、 前記反射防止コーティングが、励起ビームの波長のため
に選択されている、光増幅器。 - 【請求項10】 入力光源を受け入れ且つ増幅された光
を伝導するための光増幅器であって、 対向する端面と、複数の側面と、を有する固体レーザー
材料の細長いスラブであって、前記側面が当該スラブの
ほぼ長手軸線であり、前記側面が、前記長手軸線に対す
る垂直軸に関してある角度で切断されている、細長いス
ラブと、 前記入力光源を受け入れ且つ前記増幅された光を伝導す
るために、前記側面を形成している窓に適用されたコー
ティングと、 前記端面から離れて配置された励起光源と、 前記励起光源を前記スラブ内の前記端面に光学的に結合
するための一以上の光ファイバと、 を含む光増幅器。 - 【請求項11】 請求項10に記載の光増幅器であっ
て、 前記コーティングが反射防止コーティングである、光増
幅器。 - 【請求項12】 請求項11に記載の光増幅器であっ
て、 前記反射防止コーティングが、入力光の波長に対して選
択される、光増幅器。 - 【請求項13】 対向する端面と、複数の側面と、を有
する固体レーザー材料からなる複数の積み重ねられた細
長いスラブと、 複数の励起光光源と、 前記複数の励起光光源を前記複数のスラブに光学的に結
合するための複数の光ファイバと、を含む光増幅器。
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