JP2001507126A - サンプルの熱拡散率の放射エネルギーフラッシュ測定に使用する測定用ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、放射エネルギー発生手段によって発生したプローブビーム(B)と、サンプル(S)の温度上昇を検出するための検出器手段とを用いた、異成分から成るサンプル(S)の熱拡散率の放射エネルギーフラッシュ測定で使用するための測定用ヘッドに関し、該ヘッドはサンプル(S)を支えるためのサンプル把持手段(SH)を有する。解決すべき技術的問題は、サンプル(S)の軸方向の熱拡散率の局所測定を実行するためにプローブビーム(B)でサンプル(S)を心合わせを行い、所定のサンプルの特性によってサンプル(S)の最適領域上にエネルギーの発射を当てる機会を提供する測定用ヘッドを設けることである。それ故、本発明に拠れば、プローブビーム(B)の光軸(AB)に対して垂直な少なくとも１つの方向(X、Y)に移動可能なサンプル把持手段(SH)を配置することが提案される。

Description

【発明の詳細な説明】 サンプルの熱拡散率の放射エネルギーフラッシュ測定に使用する測定用ヘッド 本発明は異成分から成るサンプル、特に、遠隔操作が必要な異成分から成る高 放射性サンプルまたは他のサンプルの熱拡散率の放射エネルギーフラッシュ測定 に使用する測定用ヘッドに関する。 応用物理学ジャーナル(J．Appl．Phys.)32(9)、(p．1679-1684(1961年))のW.J ．Parker、R.J．Jenkins、C.P．Butler及びG.L．Abbotによる、熱拡散率“a”を 測定するためのいわゆる“フラッシュ測定法”が知られている。この方法では小 さなディスク状の標本あるいはサンプルの前面はレーザー又はフラッシュランプ から発する非常に短いバーストの放射エネルギーにかけられる。この方法では１ ミリ秒のオーダーの照射時間が用いられる。その結果生じたサンプルの後側の温 度上昇が測定、記録され、次いで温度上昇対時間から熱拡散率値が計算される。 熱拡散率を計算するための最も単純で最も頻繁に利用される方法では、特性とし てt_1/2、すなわち後側温度がその最大値の50%に達するのに要する時間、が使用 される。 a＝0.1388L²/t_1/2（m²/s） R.E．Taylor及びK.D．Maglic著“熱物理特性測定方法概諭２”(K.D．Mglic、A ．Cezairliyan及びV.E．Peletsky編p.281-314、Plenum Press、New York(1991年))に記載されている過渡温度の測定方法が知られている。過渡温度 の測定用検出器は熱電対、赤外線検出器あるいは光高温計であってもよい。該検 出器は外界温度より0.1度高い変化を記録できるものでなければならない。検出 器/増幅器の組み合わせの応答時間はt_1/2の10%未満でなければならない。 図４は熱拡散率を測定する公知の方法を概略的に例示するものである。 以上説明した熱拡散率の測定方法を実行するための従来技術による測定用ヘッ ドは、放射エネルギー発生手段としてのレーザーとサンプルの後側の温度上昇を 検出するための検出器手段とに関連して使用される。該測定用ヘッドは測定対象 サンプルを支えるサンプル把持手段を有する。しかしながら、これらのヘッドは すべて、予め固定されたタイプの温度スパイクを発生させ、分析することを考慮 して組み立てられている。特に、レーザーによって生じたプローブビームでサン プルを心合わせするチャンスは提供されない。そのため、所定のサンプルの特性 に左右されてエネルギーの発射を最適領域に行うことができず、局所軸拡散測定 を行うことができない。 したがって、異成分から成るサンプルの熱拡散率の放射エネルギーフラッシュ 測定に使用する測定用ヘッドを提供することが本発明の目的である。これによっ て、サンプル・ホルダを取り替えることなく熱拡散率の局所測定を実行すること ができる。 この技術的問題は、請求の範囲第１項に記載の特徴を持つ測定用ヘッドによっ て解決される。さらに本発明の特徴は従属クレームに開示されている。 本発明によれば、放射エネルギー発生手段によって発生させたプローブビーム と、プローブビームの光軸に対して垂直な少なくとも１つの方向へ動かすことが 可能なサンプル把持手段でサンプルを支えるためのサンプル把持手段を有する、 サンプルの温度上昇を検出するための検出器手段とを用いて、異成分から成るサ ンプルの熱拡散率の放射エネルギーフラッシュ測定に使用する測定用ヘッドの提 供が提案される。好適には、放射エネルギー発生手段としてレーザーを使用しつ つ、プローブビームを発生させるためのフラッシュランプや他の適当な手段を用 いることが望ましい。 熱拡散率の局所測定を実行し、所定のサンプル特性に依ってサンプルの最適領 域にエネルギーの発射を行うことができるように、放射エネルギー発生手段によ って発生させたプローブビームで簡単にサンプルを心合わせすることができると いう利点が、本発明に準拠した測定用ヘッドによって提供される。 さらに本発明の特徴によれば、該測定用ヘッドは、サンプル上の第一の位置か らサンプル上の第二の位置まで検出探査スポットを移動するための調節可能な検 視用ヘッドを備えている。 このように、サンプル・ホルダを取り替えることなく、軸拡散測定から放射拡 散測定へ測定方法を変更することが可能になる。測定対象サンプルのフィールド を決定するフィールド停止孔を持つミラーを有する検視用ヘッドオプティクスを 調節することによって、プローブビームスポットの位置とサイズとは無関係にサ ンプル面の任意のゾーンに焦点合わせすることができる。したがって、非同質サ ンプルにおいて、サンプルを移動してサンプルを取り巻く加熱手段によって与え られる背景温度を乱すことなく、放射分析方法を用いることによって異なる位置 での拡散率を測定することができる。最終的に、フィールド停止開口部が配置さ れている検視用ヘッドオプティクスのミラーのおかげで、サンプルの全画像が得 られ被測定領域の座標を精密に決定することが可能となる。 このように、本発明は熱拡散率を測定するための多目的測定用ヘッドを提供する ものである。 特に高放射性サンプルを測定するためのものであるので、放射エネルギー発生 手段、検出器及び前置増幅器のようなすべての関係する精巧な部分をサンプルか ら任意の距離に保つことが重要である。サンプルによって出射されフィールド停 止孔によって見える光を検出器まで伝送し、放射エネルギー発生手段から放射エ ネルギー入力手段まで放射エネルギーを伝送するための光ファイバを用いて、加 熱手段、対物レンズ、ミラー並びにサンプル把持手段を含む鉛でシールドされた セルの中にプローブビームを放射することによってこれは達成される。 プローブビームの光軸に対して垂直な少なくとも１つの方向に移動可能な放射 エネルギー入力手段によって、任意のサイズの領域上にプローブビームスポット を焦点合わせすることができ、予想される測定方法のための最適温度スパイク条 件をつくり出すことが可能となるという利点が提供される。前記放射エネルギー 入力手段はサンプル・ホルダの一方の側部に設けられ、一方前記調節可能な検視 用ヘッドがサンプル・ホルダの反対側に設けられる。換言すれば、前記プローブ ビームはサンプルの一方の側部へ向けられ、一方前記調節可能な検視用ヘッドは 検出探査スポットをサンプルの反対側の任意のゾーン上に向けていることになる 。 加えて調節可能な検視用ヘッドには検出探査スポットの移動運動をモニターす るためのテレスコープが備えられ、サンプルによって検視用ヘッドへ出射された 光を焦点合わせするための対物レンズが設けられている。 サンプル把持手段はサンプルを取り囲む加熱手段に取り外し可能に固定されて いる。したがって加熱手段はサンプル把持手段と共に移動可能である。好適には 、該加熱手段は、少なくとも１つの高周波(ＨＦ)コイルと、本発明に準拠する測 定用ヘッドが作動中であっても、加熱手段とサンプル把持手段との運動を容易に する熱シールドとからなることが望ましい。 添付図面を参照しながら本発明の一つの実施例を説明する。 図１は本発明に準拠した測定用ヘッドの実施例の設計図を概略的に図示する。 図２は本発明に準拠する測定用ヘッドによって測定された温度検出器信号対時 間を図示する。 図３は、本発明に準拠する測定用ヘッドによって測定された熱拡散率対温度を KD．Maglic、N.L．Perovic及びZ.P．Zivotic著“高温高圧”(12、p.555-560(198 0年))に拠るデータと比較して図示したものである。 図４は、W.J．Parker、R.J．Jenkins、C.P．Butler並びにG.L．Abbotの“応用 物理学ジャーナル”（J．Appl．Phys.）(32(9)、p.1679-1684(1961年))に記載さ れている、熱拡散率を測定するための公知の従来技術による方法を概略的に図示 するものである。 図１に示す実施例は放射エネルギー発生手段としてのレーザー(図示せず)と関 連して使用される。したがって、以下の詳細な説明では“レーザー”という用語 が“放射エネルギー”という用語の代わりに使用される。 さらに、図１のＺ方向とは“軸方向”と同一であり、一方図１のＸ及びＹ方向 は適切な場合“放射方向”という用語と関連する。 図１に例示した熱拡散率のレーザーフラッシュ測定に使用する測定用ヘッドは 、少なくとも１つのレンズＬからなるレーザー入力手段、X−Y方向に移動可能な サンプル・ホルダＳＨ、熱シールド付きの高周波(ＨＦ)コイルＣを有する炉、対 物レンズＯ及び調節可能な検視用ヘッドを有する。該検視用ヘッドには、フィー ルド停止孔ＦＳ付きのミラーＭと、サンプル・ホルダＳＨによって支えられたサ ンプルＳの後側または上側によって検出器(図示せず)まで出射された光を伝送す るための光ファイバＯＦとが備えられている。測定用ヘッドのこれらの構成要素 は、マニピュレーター手段によって容易に取り除いたり、大きな故障の場合には 取り替えることのできる、独立した機械的モジュールである。さらに、炉Ｆ、サ ンプル・ホルダＳＨ及びレンズＬ、対物レンズＯ、ミラーＭのような光学部品は 、二つの遠隔操作用マニピュレーターで可能な場合を除いて、補修のためのどん なアクセスも最終的にはできない鉛でシールドされたセル中に実装された設計に なっている。 図１では、前記レーザー入力手段、すなわち前記レンズＬは、サンプル・ホル ダＳＨより下に設けられ、一方前記調節可能な検視用ヘッドと前記対物レンズＯ とは、サンプル・ホルダＳＨより上に設けられている。換言すれば、前記レーザ ーによって発生させたプローブビームＢのスポットは、前記レンズＬによってサ ンプルＳの前側または下側へ向けられ、一方前記対物レンズＯは、サンプルＳの 後側または上側によって検視用ヘッドまで出射された光を焦点合わせする。 光ファイバＯＦによって伝送された光を受信する据え付け温度検出器は、赤外 線検出器または光高温計であってもよい。さらに、過渡温度測定を行うためには 、広域可変オフセット付き特殊低ノイズ前置増幅器を備えたInGaAs及びSiフォト ダイオード検出器を使用することが可能であり、これによって800-2500Kの範囲 で背景プランク放射の補償が可能となる。核放射線損傷に特に敏感な適当な検出 器がセルの外側に配置され、光は、γ放射線のためにほぼ黒くなったとき簡単に プラグイン／アウトして取り替えることができる光ファイバＯＦの中を伝送され る。ＨＦ炉ハウジング内に配置された対物レンズＯのレンズは、軸回転するタン グステンシールドによって保護されており、該シールドはサンプルＳが直接核放 射線にさらされる短い測定時間中だけ移動する。 炉Ｆの直接的電気加熱の代わりにＨＦ加熱を使用する主な利点は、電気的接続 を行うことなく炉Ｆを取り替えることが可能であり、作動中であってもサンプル ・ホールダＳＨと一緒に炉Ｆを移動することができるということにある(図１に 概略図示)。したがって、このような加熱手段の設計によって、サンプル・ホル ダＳＨと炉Ｆ内のサンプルＳを正確にかつ遠隔操作でX−Y方向へ移動することが 可能となる。サンプルＳのこの正確な位置決めを行う理由の一つは、測定すべき サンプルＳの正確な局所ポイントを選ぶことができるようにするためである。こ のようにして、非同質材料を処理する際特に重要となる、サンプルＳの複数の局 所ポイントでのディスク状のサンプルＳの軸方向の熱拡散率の測定を行うことが できる。この測定方法は局所軸拡散測定と呼ばれる。 サンプル・ホルダＳＨによって、本発明に準拠する測定用ヘッドのオペレータ は、マニピュレーターの助けにより遠隔操作でサンプルＳを変更することができ る。 システムレーザープローブビームＢ/サンプルＳ/フィールド停止孔ＦＳの心合 わせは、レーザープローブビームＢを焦点合わせするための少なくとも１つのレ ンズＬを有するレーザー入力手段をサンプルＳに対してX−Y粗調節を行い、その 後サンプルＳの被測定フィールドに対応するフィールド停止孔ＦＳが在るミラー の中心にミラーＭを測微計測定X−Y−Z変位を行うことによって確実に行われる 。この穴すなわち開口部の中心は、最適測定条件の下でレーザープローブビーム Ｂで心合わせされる。この最初の心合わせに基づいて、精密ステッパーモーター によって移動する測微計測定X−Yテーブルに黒鉛サンプル・ホルダＳＨを固定し たまま黒鉛サンプル・ホルダＳＨに装着されたサンプルＳの位置を変えることが できる。このようにして、軸拡散測定の所望の空間分解能を精密に制御すること ができる。 ミラーＭを通じてサンプルＳの全表面の観察が可能であり、その一方で、フィ ールド停止孔ＦＳ上へ投影された領域のみを見ることにより検出器で検出するこ とができる。本発明に準拠した測定用ヘッドによって、サンプルの血小板が不揃 いな形状をしている場合であっても、あるいは炉Ｆに再現可能にホルダを配置す ることができないときでも、オペレータは調節可能な検視用ヘッドに設けられて いるテレスコープＴの助けによって適切な測定条件を見つけることができる。 フィールド停止孔ＦＳによるミラーＭの正確な位置決めを行う更なる利点は、 レーザープローブビームＢの光軸ＡＢによって表される位置P1から、位置P1か ら放射状に間隔をおいて離れている位置P2まで、検出探査スポットの十分に再現 可能な移動を確実に行うことである。検出探査スポットのそのような放射運動に よって、オペレータが放射方向にサンプルＳの熱拡散率の測定を行うことが可能 になる。この測定方法は放射拡散測定と呼ばれ、R.E．Taylor及びK.D．Maglic著 “熱物理特性測定方法概論２”(K.D．Maglic、A．Cezairliyan及びV．E．Pelsts ky編p.281-314、Plenum Press社、New York(1991))に記載されている。 このように、本発明に準拠する測定用ヘッドは、局所軸拡散測定方法と放射拡 散測定方法の双方に従って熱拡散率の測定へ向けられた多目的作動を行うことも できる。 検出器と前置増幅器を放射性サンプルＳから任意の距離に保つだけでなく、レ ーザーにプローブビームＢを放射させ続けるために、遠隔地に設けられたレーザ ーから鉛でシールドされたセル内にやはり配置されたレンズＬへレーザー放射線 を伝送するための追加光ファイバ(図示せず)が、設けられる。 サンプルＳ近辺にあり、したがってγ放射に露光される部品としてはかなり鈍 感なミラーＭ、レンズＬ、及び少なくとも１つのレンズＯから成る容易に交換可 能な対物レンズがある。 本発明に準拠する測定用ヘッドは、黒鉛とセラミック・ジルコニアサンプルＳ を用いてテストを行った。図２は、レーザープローブビームＢが、衝突した面と 反対の面上で検出された信号を図示する。ミリ秒(ms)パルス中に拡散反射したレ ーザー光によって著しい外乱が発生した。しかし、特殊な多層光学フィルタを挿 入することによって、この摂動は除去された。使用された過渡現象記録装置によ ってビットの分解能が与えられ、量子化ノイズが低減される。1/100のオーダー あるいは場合によってはそれ以上のオーダーの信号対雑音比が10J/cm²のオーダ ーの蓄積されたパルスエネルギーで達成された。 図３は、K.D．Maglic、N.L．Perovic及びZ.P．Zivotic著“高温高圧”(12、p. 555-560(1980年))に記載の測定データと比較した、本発明に準拠した測定用ヘッ ド手段によって導き出された、POCOグレード黒鉛に関する実験データを図示する ものである。 強いγ照射条件の下で鉛でシールドされたセル中での作業を可能にするために 、本発明に準拠した測定用ヘッドを設計してサンプルＳ、サンプル・ホルダＳＨ 、ＨＦ−コイルＣ及びミラーＭとレンズＯとＬのようなすべての光学素子を、マ ニピュレーターの補助によって、遠隔操作で取り替えることができる。 上記の測定のために使用した測定用ヘッド、レーザー及び検出器手段は以下の 特性を有していた。 １．温度範囲：500〜2000℃ ２．炉Ｆ：330kHz周波数でＨＦ加熱した黒鉛 ３．サンプルサイズ：直径×厚さ＝4〜10mm×1〜2mm ４．サンプル・ホルダＳＨ：正確な遠隔X−Y±5mm位置決めを行った黒鉛 ５．プローブレーザー： -エネルギー：0-10J -パルス長さ：100μs〜10ms(連続可変) -波長：1.06μm -レーザービーム放射システム：1mm芯光ファイバ -ビームサイズ：直径＝3mm(“放射拡散測定方法”オペレーションを行うた めに1.5mmまで小さくすることができる) ６．雰囲気：低温での真空または低圧ガス ７．後部温度測定システム： -センサ：InGaAsまたはSiフォトダイオード -検出器の温度感度：0.01K -光学系：光ファイバ付き色消対物レンズ及び精密検視システム -広い温度範囲をカバーするための変化する自動グレーフィルタ -温度測定のスポットサイズ：直径1.0または0.1mm -記録システム：12ビット分解能と256Kワードメモリーを備えた過渡現象記 録装置 -増幅器：背景信号減算回路備えた増幅器帯域幅DC-3kHz -プローブスポットの正確な位置決め：X−Y−Z±10mm ８．測定方法： ａ）1mm間隔分解能を備えた軸 ｂ）放射

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１０年１２月４日（１９９８．１２．４） 【補正内容】 請求の範囲 1. 放射エネルギー発生手段によって発生したプローブビーム(B)と、サン プル(S)の温度上昇を検出するための検出器手段とを用いる、異成分から成るサ ンプル(S)の熱拡散率の放射エネルギーフラッシュ測定に使用するための測定用 ヘッドにおいて、 前記サンプル(S)を支えるためのサンプル把持手段(SH)であって、 前記プローブビーム(B)の光軸(AB)に対して垂直な少なくとも１つの方 向(X、Y)へ移動可能な前記サンプル把持手段(SH)と、 前記サンプル(S)まで前記プローブビーム(B)を合焦するための放射エネ ルギー入力手段(L)と、 前記サンプル(S)上の第一の位置(P1)から前記サンプル(S)上の第二の位 置(P2)へ検出探査スポットを移動するための調節可能な検視用ヘッド(FS、OF、M )とを有し、 前記放射エネルギー入力手段(L)を前記サンプル把持手段(SH)の一方の 側に設け、前記調節可能な検視用ヘッド(FS、OF、M)を前記サンプル把持手段(SH )の反対側に設けることを特徴とする前記測定用ヘッド。 2. 前記検視用ヘッドが、前記光軸(AB)に対して垂直(X、Y)方向及び／又は 平行(Z)方向に移動可能なミラー(M)であって、測定すべき前記サンプル(S)のフ ィールドを決定するフィールド停止孔(FS)を持つミラー(M)を有することを特徴 とする請求項１に記載の測定用ヘッド。 3. 前記検視用ヘッドが、前記サンプル(S)によって出射され、前記フィー ルド停止孔(FS)によって見える光を前記検出器手段まで伝送するための第一の光 ファイバ(OF)を有することを特徴とする請求項２に記載の測定用ヘッド。 4. 前記検視用ヘッドが前記検出探査スポットの前記移動運動をモニターす るための望遠鏡(T)を有することを特徴とする請求項１、２又は３いずれかに記 載の測定用ヘッド。 5. 前記サンプル(S)によって前記検視用ヘッド(FS、OF、M)まで出射された 光を焦点合わせするための対物レンズ(O)を有することを特徴とする請求項１乃 至請求項４いずれかに記載の測定用ヘッド。 6. 前記サンプル把持手段(SH)が、前記サンプル(S)を取り囲む加熱手段(F) に取り外し可能に固定されており、前記加熱手段(F)が前記サンプル把持手段(SH )と一緒に移動可能であることを特徴とする請求項１乃至請求項５いずれかに記 載の測定用ヘッド。 7. 前記加熱手段(F)が少なくとも１つの高周波コイル(C)と熱シールドとを 有することを特徴とする請求項６に記載の測定用ヘッド。 8. 前記放射エネルギー入力手段(L)が前記光軸(AB)に対して垂直な少なく とも１つの方向(X、Y)に移動可能であることを特徴とする請求項１乃至請求項７ いずれかに記載の測定用ヘッド。 9. 前記放射エネルギー発生手段から前記放射エネルギー入力手段(L)へ放 射エネルギーを伝送するための第二の光ファイバを設けることを特徴とする請求 項１乃至請求項８いずれかに記載の測定用ヘッド。 10． 前記放射エネルギー入力手段(L)、前記加熱手段(F)、前記対物レンズ(O )、前記ミラー(M)並びに前記サンプル把持手段(SH)が鉛でシールドされたセル中 に実装されていることを特徴とする請求項６又は７、５及び２に記載の測定用ヘ ッド。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 1. 放射エネルギー発生手段によって発生したプローブビーム(B)と、サン プル(S)の温度上昇を検出するための検出器手段とを用いる、異成分から成るサ ンプル(S)の熱拡散率の放射エネルギーフラッシュ測定に使用するための測定用 ヘッドにおいて、 前記サンプル(S)を支えるためのサンプル把持手段(SH)を有し、前記サ ンプル把持手段(SH)が前記プローブビーム(B)の光軸(AB)に対して垂直な少なく とも１つの方向(X、Y)に移動可能であることを特徴とする測定用ヘッド。 2. 前記サンプル(S)上の第一の位置(P1)から前記サンプル(S)上の第二の位 置(P2)へ検出探査スポットを移動するための調節可能な検視用ヘッド(FS、OF、M )を有することを特徴とする請求項１に記載の測定用ヘッド。 3. 前記検視用ヘッドが、前記光軸(AB)に対して垂直方向(X、Y)及び／又は 平行方向(Z)に移動可能なミラー(H)であって、測定すべき前記サンプル(S)のフ ィールドを決定するフィールド停止孔(FS)を持つミラー(H)を有することを特徴 とする請求項２に記載の測定用ヘッド。 4. 前記検視用ヘッドが、前記サンプル(S)によって出射され、前記フィー ルド停止孔(FS)によって見える光を前記検出器手段まで伝送するための第一の光 ファイバ(OF)を有することを特徴とする請求項３に記載の測定用ヘッド。 5. 前記検視用ヘッドが前記検出探査スポットの前記移動運動をモニターす るためのテレスコープ(T)を有することを特徴とする請求項２、３又は４いずれ か 記載の測定用ヘッド。 6. 前記サンプル(S)によって前記検視用ヘッド(FS、OF、M)まで出射された 光を焦点合わせするための対物レンズ(O)を有することを特徴とする請求項２乃 至請求項５いずれか記載の測定用ヘッド。 7. 前記サンプル把持手段(SH)が前記サンプル(S)を取り囲む加熱手段(F)に 取り外し可能に固定されており、前記加熱手段(F)が前記サンプル把持手段(SH) と共に移動可能であることを特徴とする請求項１乃至請求項６いずれか記載の測 定用ヘッド。 8. 前記加熱手段(F)が少なくとも１つの高周波コイル(C)と熱シールドとを 有することを特徴とする請求項７記載の測定用ヘッド。 9. 前記サンプル(S)に前記プローブビーム(B)を焦点合わせするための放射 エネルギー入力手段(L)が設けられたことを特徴とする請求項１乃至請求項８い ずれか記載の測定用ヘッド。 10． 前記放射エネルギー入力手段(L)が、前記光軸(AB)に対して垂直な少な くとも１つの方向(X、Y)へ移動可能であることを特徴とする請求項９記載の測定 用ヘッド。 11． 前記放射エネルギー発生手段から前記放射エネルギー入力手段(L)へ放 射エネルギーを伝送するための第二の光ファイバが設けられたことを特徴とする 請求項９又は10に記載の測定用ヘッド。 12． 前記放射エネルギー入力手段(L)、前記加熱手段(F)、前記対物レンズ(O )、前記ミラー(M)並びに前記サンプル把持手段(SH)が鉛でシールドされたセル中 に実装されていることを特徴とする請求項９、７又は請求項８、６及び３に記載 の測定用ヘッド。