CN105628210B - 高温检测装置、其校准方法及用于生产三维工件的设备 - Google Patents

高温检测装置、其校准方法及用于生产三维工件的设备 Download PDF

Info

Publication number
CN105628210B
CN105628210B CN201510777582.9A CN201510777582A CN105628210B CN 105628210 B CN105628210 B CN 105628210B CN 201510777582 A CN201510777582 A CN 201510777582A CN 105628210 B CN105628210 B CN 105628210B
Authority
CN
China
Prior art keywords
light guide
temperature detection
light
substrate
plane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201510777582.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105628210A (zh
Inventor
迪特尔·施瓦策
丹尼尔·阿尔贝茨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Slm Solutions Co ltd
Original Assignee
SLM Solutions Group AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SLM Solutions Group AG filed Critical SLM Solutions Group AG
Publication of CN105628210A publication Critical patent/CN105628210A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105628210B publication Critical patent/CN105628210B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/0818—Waveguides
    • G01J5/0821—Optical fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/90—Means for process control, e.g. cameras or sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/20—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B29C64/264—Arrangements for irradiation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/30—Auxiliary operations or equipment
    • B29C64/386—Data acquisition or data processing for additive manufacturing
    • B29C64/393—Data acquisition or data processing for additive manufacturing for controlling or regulating additive manufacturing processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y50/00—Data acquisition or data processing for additive manufacturing
    • B33Y50/02—Data acquisition or data processing for additive manufacturing for controlling or regulating additive manufacturing processes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/0003—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiant heat transfer of samples, e.g. emittance meter
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/0037—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the heat emitted by liquids
    • G01J5/004—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the heat emitted by liquids by molten metals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/04—Casings
    • G01J5/047—Mobile mounting; Scanning arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/07—Arrangements for adjusting the solid angle of collected radiation, e.g. adjusting or orienting field of view, tracking position or encoding angular position
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/0808—Convex mirrors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/0896—Optical arrangements using a light source, e.g. for illuminating a surface
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer
    • G01J5/53—Reference sources, e.g. standard lamps; Black bodies
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/60—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/60—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature
    • G01J5/602—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature using selective, monochromatic or bandpass filtering
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/80—Calibration
    • G01J5/806—Calibration by correcting for reflection of the emitter radiation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/40—Radiation means
    • B22F12/41—Radiation means characterised by the type, e.g. laser or electron beam
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/40—Radiation means
    • B22F12/44—Radiation means characterised by the configuration of the radiation means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10—Processes of additive manufacturing
    • B29C64/141—Processes of additive manufacturing using only solid materials
    • B29C64/153—Processes of additive manufacturing using only solid materials using layers of powder being selectively joined, e.g. by selective laser sintering or melting
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/80—Calibration
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00—Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25—Process efficiency

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
  • Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

本发明公开一种高温检测装置、其校准方法及用于生产三维工件的设备。在用于生产三维工件的设备中使用的高温检测装置包括：高温检测单元(10)，被配置为接收检测平面的不同点处在检测方向上发出的热辐射；以及校准装置(12)，包括基板(14)和多个光导(16)，每个光导(16)具有用于将光耦合到光导(16)中的第一端(18)和用于从光导(16)发出光的第二端(20)，第二端(20)被固定到基板(14)。基板(14)适于，在高温检测装置的校准状态下，以使得多个光导(16)的第二端(20)设置在检测平面(38)中并在检测方向上发射光的方式，相对于高温检测单元(10)可移除地设置。

Description

高温检测装置、其校准方法及用于生产三维工件的设备
技术领域
本发明涉及高温检测装置及其校准方法。本发明进一步涉及用于生产三维工件的设备。
背景技术
粉末床熔化是附加的成层过程，通过该过程，粉状原材料，尤其是金属和/或陶瓷原材料可被处理成复杂形状的三维工件。为此目的，原材料粉末层被施加于载体上，并依据要生产的工件的期望几何形状以位置可选的方式经受激光辐射。穿透到粉末层中的激光辐射导致对原材料粉末粒子进行加热并最终熔融或烧结。然后将另外的原材料粉末层相继施加于载体上的已经经受激光辐射的层，直至工件具有期望的形状和尺寸。粉末床熔化可特别用于基于CAD数据来生产原型、工具、替换部件或医学假体，诸如例如牙科或整形外科假体。诸如电子辐射之类的其它电磁或粒子辐射可代替激光辐射用于原材料粉末粒子的熔融或烧结。
为了获得具有期望的物理特性的工件，可通过监测装置在生产过程中监测辐射斑处的熔融或烧结状况。
发明内容
本发明致力于提供高温检测装置及其校准方法的目的，允许精确地监测通过使用电磁辐射或粒子辐射对原材料粉末层进行辐射而生成三维工件的建立过程。本发明还致力于提供用于生产三维工件的设备的目的。
以上目的通过如权利要求1中限定的高温检测装置、如权利要求10中限定的用于生产三维工件的设备、如权利要求14中限定的用于对高温检测装置进行校准的方法来实现。
根据第一方面，在用于生产三维工件的设备中使用的高温检测装置包括：高温检测单元，被配置为接收检测平面的不同点处在检测方向上发出的热辐射；以及校准装置，包括基板和多个光导，每个光导具有用于将光耦合到光导中的第一端和用于从光导发出光的第二端，第二端被固定到基板。基板适于，在高温检测装置的校准状态下，以使得多个光导的第二端设置在检测平面中并在检测方向上发射光的方式，相对于高温检测单元可移除地设置。
高温检测单元可包括对熔融或烧结斑的激光器发射的热辐射对应的波长区域中的电磁辐射灵敏的光学检测器。具体而言，高温检测单元可包括用于检测两个不同波长范围处的热辐射的至少两个光学检测器，其中可使用光学滤波器(例如，高通、低通或带通滤波器)或波长相关分束器将期望波长范围中的热辐射的进入光束导向相应的检测器。热辐射可处于红外波长范围，并且光学检测器可对红外辐射范围中的热辐射灵敏。高温检测单元的光学检测器可依据各个检测器处的特定波长范围中的热辐射的辐射强度输出电信号。可提供估算单元用于基于电信号(例如，基于来自检测不同波长范围处的热辐射的两个检测器的两个电信号的比)计算温度值。
校准装置的多个光导可为借助内部全反射将(例如，可见或红外波长范围中的)光从第一端导向其第二端的光导。多个光导的第二端可固定至基板，以便第二端相对于基板的定向不随时间改变。
基板适于，通过将基板手动设置在期望位置，或通过使用马达或机器人手臂将基板移动到期望的位置，相对于高温检测单元可移除地设置。在校准状态下，多个光导的第二端设置在检测平面中。第二端可为多个光导的发光端，并且可基本设置在关于基板的平面中。在校准状态下，该平面对应于高温检测单元的检测平面。光导适于在高温检测单元的检测方向上发光，以便在校准状态下，从多个光导发出的光可被高温检测单元检测。高温检测装置的校准状态可为对高温检测单元进行校准以补偿高温检测单元关于检测平面中的不同点(即，不同位置)处发出的辐射的相关性。
基板可为板状，并且多个光导的第二端可设置在与板状的基板的上侧对应的平面中。基板可为例如金属板。具体而言，基板可为黑色阳极化处理的铝板。
光导中的每一个可被引导通过基板中的通孔。例如，多个光导中的每一个可被引导通过独立的通孔。多个光导可借助通孔和/或使用紧固设备(例如，胶粘物或橡胶)被固定至基板。通孔中的至少一个可关于基板的表面以一倾斜角提供，以便被引导通过该通孔的光导的主发光方向为相对于基板的表面的倾斜方向。
在校准状态下，多个光导的第二端可固定至基板，以便每个光导的主发光方向对应于高温检测单元的检测方向。主发光方向可对应于从相应光导发出的光的最高强度的方向。换言之，在校准状态下，多个光导中的每一个的第二端可被定向为使得来自光导中的每一个的发出光强度的最大值在高温检测单元的检测方向上定向。
在校准状态下，多个光导的第二端可固定至基板，以便多个光导的第二端在高温检测单元的检测方向上定向。换言之，主发光方向可对应于光导被定向的方向，即相应光导的第二端被定向的方向。
多个光导的第二端可以矩阵的形式设置在基板上。例如，可以矩阵的形式设置多个通孔，光导被引导通过多个通孔。矩阵可以为例如具有n行和m列的n乘以m矩阵，其中行被彼此平行设置，并且列被彼此平行设置。行和列可以90度的角度彼此交叉。在每个交叉处，可设置多个光导中的一个的第二端。该矩阵可为具有相同量的行和列的n乘以n矩阵。每对相邻列之间的距离可以相同，且每对相邻行之间的距离可以相同。另外，相邻列之间的距离可与相邻行之间的距离相同。
高温检测装置还可包括光源，其适于经由多个光导的第一端将光耦合进多个光导中的每一个，其中耦合进多个光导中的每一个中的光的强度基本相同。光源可将光束引导至多个第一端中的每一个，以便相同量(相同强度)的光耦合进光导的每一个中。例如，可将具有顶冒束剖面的气体放电灯或激光器用作光源。在使用激光器的情况下，激光器可发射具有与高温检测单元检测的热辐射的波长不同的波长的光。
光导可为玻璃纤维，且多个光导的第一端可以捆的形式彼此邻近设置。该捆可借助捆套保持在一起。捆可设置为使得多个第一端中的每一个以相同的方向定向。可提供光源用于照射该捆，以便基本相同强度的光被耦合进多个光导中的每一个中。
光导中的每一个可具有相同的长度。另外，光导中的每一个可具有相同的光学特性。耦合出多个光导中的每一个的第二端的光的强度可相同。
根据第二方面，用于生产三维工件的设备包括：载体；粉末施加装置，用于将原材料粉末施加到载体上；以及辐射装置，用于选择性地将电磁或粒子辐射辐射到施加于载体的表面上的原材料粉末上。该设备还包括本文的高温检测装置，其中高温检测装置的检测平面对应于载体上限定的辐射平面。
该设备可为用于粉末床熔化的设备。高温检测装置的高温检测单元可安装在该设备上，并且校准装置的基板可适于相对于该设备可移除地设置。在校准状态下，多个光导的第二端可设置在该设备的辐射平面中。辐射平面可在载体上限定，以便辐射平面为与载体的表面平面平行的平面。在设备的操作期间，当写入三维工件的第一层时，辐射平面可基本对应于载体的表面平面。
在校准状态下，基板、多个光导和光源可设置在该设备的处理室内部。该处理室可为适于封闭密封的室。处理器可在启动设备的操作状态之前被抽真空。另外，在操作状态期间，该室可充满预定气体，特别是惰性气体。
辐射装置可包括配置为发射激光束的激光源，以及配置为将激光束导向辐射平面的预定点处的光学单元。激光源可适于发射用于熔融或烧结原材料粉末的激光束。光学单元可包括可旋转镜子。可旋转镜子可关于至少两个旋转轴旋转，以便激光束可在辐射平面的两个维度上被导向预定点。另外，光学单元可包括其它光学元件，例如至少一个透镜。可提供一个透镜或多个透镜用于将激光束聚焦到辐射平面上。另外，可提供可移动透镜用于使辐射平面中的辐射斑变窄或变宽。
光学单元可被配置为将检测平面的不同点处发出的热辐射导向高温检测单元，并且检测平面的每个点处的检测方向可与激光束的入射方向相反。检测平面的点处的热辐射可由检测平面的那个点处的原材料粉末的激光熔融引起，其中检测平面对应于设备的辐射平面。另外，在校准状态下，光学单元可配置为将从激光源进来的激光导向辐射平面(对应于检测平面)。激光束的光学路径与由高温检测单元检测的热辐射的光学路径可至少部分地彼此对应。
根据第三方面，用于对在生产三维工件的设备中使用的高温检测装置进行校准的方法包括：相对于被配置为接收检测平面的不同点处在检测方向上发出的热辐射的高温检测单元可移除地设置校准装置。校准装置包括基板和多个光导，每个光导具有用于将光耦合进光导中的第一端和用于从光导发出光的第二端，第二端固定至基板，其中多个光导的第二端设置在检测平面中。该方法还包括经由第一端将光耦合进多个光导中的每一个中；借助高温检测单元在检测方向上独立地测量从多个光导的第二端中的每一个发出的光的强度；以及基于强度测量的结果校准高温检测单元。
可将强度测量的结果保存在设备的存储器中。校准的步骤可由计算机执行。该方法的另外的步骤也可通过设备的控制器自动执行。
耦合进多个光导中的每一个中的光的强度可基本相同。例如，光源可用于用恒定的光强度辐射光导的第一端中的每一个。
附图说明
现在将参照所附示意性附图更详细地描述本发明的优选实施例，其中：
图1示出在用于生产三维工件的设备中使用的高温检测装置的示意性透视图；
图2示出高温检测装置的沿图1的线A-A的示意性剖面图；
图3示出处于校准状态的用于生产三维工件的设备的示意性侧视图；并且
图4示出处于操作状态的用于生产三维工件的设备的示意性侧视图。
具体实施方式
图1示出根据本发明实施例的高温检测装置的示意性透视图。高温检测装置包括被配置为接收热辐射的高温检测单元10。依据发射斑处的温度(根据黑体辐射原理)，热辐射可以是在特定波长处具有最大的强度的光学和/或红外波长范围中的电磁辐射。高温检测单元10还配置为检测热辐射，以依据热辐射生成电信号，并输出指示热辐射的发射斑处的温度的值。
例如，高温检测单元10可包括第一光学传感器和第二光学传感器(图1中未示出)。第一和第二光学传感器中的每一个被配置为依据所检测到的特定波长范围内的热辐射的强度输出电信号。可使用光学滤波器和/或波长相关的分束器，以便将进来的所期望的波长范围的热辐射导向各个检测器。指示发射斑处的温度的值可通过考虑第一光学检测器的电信号与第二光学检测器的电信号之间的比来计算。
高温检测装置还包括校准装置12。校准装置12包括基板14。在图1的实施例中，基板为板状。基板可由金属，例如铝(特别是，黑色阳极化处理的铝，以吸收光)形成。校准装置12还包括多个光导16。光导16可为光纤(玻璃纤维)或被配置为将特定波长的光例如借助于内部全反射从其第一端导向其第二端的任何其它类型的光导16。多个光导16中的每一个具有第一端18和第二端20。如图1中所示，多个光导16的第一端18可以以捆的形式设置。捆可由捆套22保持在一起。
提供光源24用于发射一波长范围(例如可见和/或红外)的光，该波长范围的光包括高温检测单元10可检测到的成分。因此，光源24发出的光可用于校准高温检测装置。可提供另外的光学元件，像镜子、分束器和/或透镜(未示出)，用于将光源24发出的光导向多个光导16的第一端18。光源24发出的光经由光导16的第一端18耦合进光导16中。光源24和第一端18设置为使得耦合进光导16的每一个中的光的强度基本相同。可使用例如具有(加宽)顶帽束剖面的气体放电灯或激光器的光源24。
可替代地，可提供多个光源用于向光导16的第一端18发射恒定强度的光，使得耦合进光导16中的每一个中的光的强度基本相同。
多个光导16的第二端20中的每一个固定到基板14，使得各个第二端20的位置和各个第二端20相对于基板14的定向不随时间改变。例如，光导的靠近它们的第二端20的部分可被胶合或以其它方式机械附着到基板14。如图1中所示，多个光导16可被引导通过基板中提供的通孔26。可为第二端20中的每一个提供相应的通孔26，各个光导16被引导通过通孔26。光导16可通过通孔26中提供的紧固设备(例如胶粘物或树脂)固定到基板14。
多个光导16的第二端20被提供为使得它们基本被提供在公共的平面中。在图1中所示的实施例中，该平面对应于基板14的表面平面28。然而，在另外的实施例中，该平面可对应于例如基板14上方或内部的与表面平面28平行的平面。例如，如果第二端20设置在与表面平面28平行且位于基板14内部的平面中，则通孔26的侧壁可用于阻挡与各个光导16的主要发光方向不对应的非期望方向发出的光。
其中设置有多个第二端20的平面对应于高温检测单元10的检测平面。高温检测单元10配置为接收检测平面中的不同点处发出的热辐射。可提供导光单元30用于将检测平面的预定点处发出的光导向高温检测单元10。导光单元30可包括例如具有两个旋转轴的可旋转镜子或多个可旋转镜子。导光单元30可以是电可控的，以便将检测平面的特定的预定点处发出的光(热辐射)导向高温检测单元10。
当光从光源24耦合进多个光导16中时，光从多个光导16的第二端20发出。多个光导16中的每一个可具有基本相同的长度。另外，多个光导16中的每一个可具有相同的光学特性，以便耦合进光导16的强度与从光导16发出的强度的比对于光导16中的每一个而言是相同的。如果相同的光强度经由多个光导16的第一端18被耦合进多个光导16，则从第二端20的每一个发出的光的强度对于多个光导16中的每一个而言也可以是相同的。
多个光导16中的每一个具有主发光方向。主发光方向对应于经由各个光导16的第二端20发出最大光强的方向。例如，主发光方向可对应于光导16在其第二端20处定向的方向。换言之，主发光方向可对应于光导16在其第二端20处的延伸方向。光导16的主发光方向可对应于各个光导16的第二端20所面对的方向。
然而，多个光导16中的每一个可不仅将光发进其主发光方向，还发进半空间中。多个光导16的第二端20在检测平面中被设置为使得它们在高温检测单元10的检测方向发光。如图1的实施例中所示，多个光导16可设置为使得主发光方向(由虚线表示)对应于高温检测单元10的光检测方向。例如，多个光导16中的每一个的主发光方向可指向导光单元30。如以上所解释的，(包括例如可旋转镜子的)导光单元30将检测平面的预定点处发出的热辐射(和/或光)导向高温检测单元10。依据导光单元30的定向状态，从第二端20中的预定一个发出的光可被导向高温检测单元10。
如图1中所示，多个光导16的第二端20可设置为矩阵。示例性地，图1中示出3乘以3矩阵。然而，可使用任意的具有n行和m列的n乘以m矩阵。如图1中所示，光导16的总数为9(3乘以3)。可增大光导的总数(例如，增大到16、25、36、49或任何其它随意的数目)，以增大高温检测装置的校准精度。第二端20相对于基板14的设置不限于矩阵，可使用任何其它二维设置，只要第二端20被提供在公共平面中即可。
另外，基板的形状不限于板状基板。可使用任何其它形状(例如格或盒)。
如图1中所示，在高温检测装置的校准状态下，以上述方式放置校准装置12。然而，高温检测装置可以以校准装置12被移除的不同状态被操作，例如如稍后关于图4所描述的。
图2示出高温检测装置的实施例的示意性剖面图，该剖面沿图1的线A-A取得。多个光导16中的每一个被引导通过相应的通孔26，使得第二端20的每一个基本设置在基板14的表面平面28中。如上所述，可替换地，第二端20可设置在表面平面28上或下的平面中。通孔26中的至少一个以与第二端20被设置的平面成倾斜角α被提供，该平面对应于高温检测单元10的检测平面。通过提供倾斜的通孔26，可确定引导通过通孔26的光导16的定向。因此，可确定主发光方向(如图2中的虚线所表示的)。如图2中所示，光导16被提供为使得它们经由它们各自的第二端20在检测方向上发光。更具体地，多个光导16可设置为使得光导16的每一个的主发光方向对应于高温检测单元10的光检测方向。
图3示出处于校准状态的用于生产三维工件的设备的示意性侧视图。具有与以上图1或图2的描述中使用的相同附图标记的设备的特征对应于相同或相似的特征。因此可省略这些特征的描述。
图3示出用于生产三维工件的设备的一部分的示意性侧视图。该设备可以是例如粉末床熔化设备。该设备包括具有表面平面的载体32。在设备的操作状态中(见以下图4的描述)，在载体32上建立三维工件44。然而，在图3中所示的校准状态下，校准装置12被放置于载体32上。校准装置12可以是例如以上参照图1和图2描述的校准装置12。
在校准状态下，用来自光源24的光照射多个光导16的第一端18，使得具有相同强度的光从第二端20中的每一个发向导光单元30。多个光导16的第二端20设置在高温检测单元10的检测平面38中。如图3中所示，检测平面38可由基板14的表面平面限定。检测平面为与载体32的表面平面平行的平面。
导光单元30的定向被电控制，使得一次基本只有从多个光导16中的一个发出的光被导向高温检测装置10的方向。在导光单元30与高温检测单元10之间可提供光学单元34。另外，在导光单元30与检测平面38之间可提供第二光学单元(未示出)。光学单元34也可省略，且可仅提供第二光学单元。光学单元可配置为将检测平面38中的某点(或某小区域)处发出的热辐射(光)聚焦到高温检测单元10。因此，可调节检测平面38中的焦斑。焦斑可调节为例如使得基本上只有从多个光导16中之一发出的光被导向高温检测单元10。
另外，提供分束器36(例如，半透镜)用于将从光导16发出的光导向高温检测单元10。半分束器36可以是波长相关的，使得优选热辐射(处于热辐射的波长区域中的光)朝高温检测单元10反射。
在校准状态下，高温检测单元10检测从设置在检测平面38中的多个第二端20中之一发出的光。在校准期间，改变导光单元30的定向，使得在预定的时间，从设置在检测平面38中的预定位置处的一个预定的光导16发出的光被高温检测单元10检测到。例如，在时间t1，其第二端20置于位置X1,Y1的光导发出的光可被检测到。例如，在时间t2，其第二端20置于不同于位置X1,Y1的位置X2,Y2的光导16发出的光可被检测到。因此，高温检测单元10的检测斑在整个检测平面38上被扫描。对于位置Xn,Ym中的每一个，测得高温检测单元10检测的至少一个相应强度值。
由于导光单元30和/或高温检测单元10的角度和/或位置相关性，即使从多个光导16中的每一个发出的光强度都基本相同，测量值也可能不同。通过比较不同的测量值，可对高温检测装置进行校准，并可对角度和/或位置相关性进行补偿。因此，高温检测单元10可测得检测平面38中的位置Xn,Ym处的实际发射强度所对应的强度值。
该设备还包括用于将原材料粉末施加到载体32上的粉末施加装置42。该设备还包括用于选择性地将电磁辐射或粒子辐射辐射到施加于载体32的表面上的原材料粉末的辐射装置40。在图3中所示的实施例中，辐射装置40为发射波长和强度适于在预定的熔融斑处将原材料粉末熔融的光。在图3中所示的校准状态中，激光器40可被关闭或阻挡，使得没有激光辐射被导向载体32。
基板14、多个光导16和光源24可设置在设备的封闭密封的室(构造室)中。另外，可在基板14下提供盖子，以盖住光源24和多个光导16的第一端18，以便没有非期望的光射进室中。
图4示出处于操作状态的图3的设备的示意性侧视图。在操作状态下，在载体32上建立三维工件44。因此，在操作状态下，校准装置12从载体32移除。在操作状态下，粉末施加装置42将第一层原材料粉末施加到载体32上。在写入第一层时，高温检测单元10的检测层基本对应于载体32的表面平面。
在写入第一层时，激光器40选择性地将激光辐射辐射到辐射平面中的辐射斑。因此，激光束由激光器40发射并经过分束器36。激光束由光学单元34聚焦并被导光单元30导向辐射平面中的预定辐射斑。
同时，高温检测单元10检测从辐射斑发出的热辐射。因此，辐射平面对应于载体32上限定的检测平面38。光学单元34(或光学单元34与另外的光学单元结合)可适于改变激光辐射的斑直径。另外，激光辐射的斑直径可独立于高温检测单元10的检测直径而可控。因此，可提供各个光学单元。
在完全写入三维工件44的第一层后，载体32向下移动(由图4中的箭头指示)，并且由粉末施加装置42施加第二层粉末。然后，由激光器40写入三维工件44的第二层。在写入过程期间，由高温检测单元10监测辐射斑(熔融斑)处的温度。由于参照图3描述的校准方法，高温检测单元10可输出检测平面38上的辐射斑的每个位置的可靠的温度值。基于温度值，可调节激光束的强度和/或斑尺寸。

Claims (15)

1.一种在用于生产三维工件的设备中使用的高温检测装置，该高温检测装置包括：
高温检测单元(10)，被配置为接收检测平面(38)的不同点处在检测方向上发出的热辐射，
导光单元(30)，被配置为将在所述检测平面(38)的不同点处发出的热辐射导向所述高温检测单元(10)，以及
校准装置(12)，包括基板(14)和多个光导(16)，每个光导(16)具有用于将光耦合到该光导(16)中的第一端(18)和用于从该光导(16)发出光的第二端(20)，所述第二端(20)被固定到所述基板(14)，其中
在所述高温检测装置的校准状态下，所述基板(14)适于以使得所述多个光导(16)的所述第二端(20)设置在所述检测平面(38)中并在所述检测方向上发射光的方式，相对于所述高温检测单元(10)可移除地设置，并且所述导光单元(30)适于将从所述光导(16)的所述第二端(20)中的预定的一个第二端发出的光导向所述高温检测单元(10)。
2.根据权利要求1所述的高温检测装置，其中，
所述基板(14)为板状；并且
所述多个光导(16)的所述第二端(20)被设置在与板状基板(14)的上表面(28)对应的平面中。
3.根据权利要求1所述的高温检测装置，其中，
所述光导(16)中的每一个被引导通过所述基板(14)中的通孔(26 )。
4.根据权利要求1所述的高温检测装置，其中，
在所述校准状态下，所述多个光导(16)的所述第二端(20)被固定到所述基板(14)，使得每个光导(16)的主发光方向对应于所述高温检测单元(10)的检测方向。
5.根据权利要求4所述的高温检测装置，其中，
在所述校准状态下，所述多个光导(16)的所述第二端(20)被固定到所述基板(14)，使得所述多个光导(16)的所述第二端(20)在所述高温检测单元(10)的检测方向上定向。
6.根据权利要求1所述的高温检测装置，其中，
所述多个光导(16)的所述第二端(20)以矩阵的形式设置在所述基板(14)上。
7.根据权利要求1所述的高温检测装置，进一步包括：
光源(24)，适于将光经由所述多个光导(16)的每一个中的第一端(18)耦合到所述多个光导(16)中的每一个中，其中
耦合到所述多个光导(16)中的每一个中的光的强度基本相同。
8.根据权利要求1所述的高温检测装置，其中，
所述光导(16)为玻璃纤维；并且
所述多个光导(16)的所述第一端(18)以捆的形式设置为彼此邻近。
9.根据权利要求1所述的高温检测装置，其中所述光导(16)中的每一个具有相同的长度。
10.一种用于生产三维工件的设备，该设备包括：
载体(32)；
粉末施加装置(42)，用于将原材料粉末施加到所述载体(32)上；
辐射装置(40)，用于选择性地将电磁辐射或粒子辐射辐射到施加于所述载体(32)的表面上的所述原材料粉末上；
根据权利要求1所述的高温检测装置，其中，
所述高温检测装置的所述检测平面(38)对应于在所述载体(32)上限定的辐射平面。
11.根据权利要求10结合权利要求7所述的设备，其中，
在校准状态下，
所述基板(14)、所述多个光导(16)和所述光源(24)被设置在所述设备的封闭密封的室内部。
12.根据权利要求10所述的设备，其中，
所述辐射装置(40)包括被配置为发射激光束的激光源，并且所述导光单元(30)进一步被配置为将所述激光束导向所述辐射平面(38)的预定点。
13.根据权利要求12所述的设备，其中，
所述检测平面(38)的每个点处的检测方向与所述激光束的入射方向相反。
14.一种对在生产三维工件的设备中使用的高温检测装置进行校准的方法，该方法包括：
a)相对于被配置为接收在检测平面(38)的不同点处在检测方向上发出的热辐射的高温检测单元(10)，可移除地设置校准装置(12)，所述校准装置(12)包括基板(14)和多个光导(16)，每个光导(16)具有将用于光耦合到该光导(16)中的第一端(18)和用于从该光导(16)发出光的第二端(20)，所述第二端(20)被固定至所述基板(14)，其中所述多个光导(16)的所述第二端(20)被设置在所述检测平面(38)中；
b)经由所述第一端(18)将光耦合到所述多个光导(16)中的每一个中；
c)借助于导光单元(30)将从所述光导(16)的所述第二端(20)中的预定的一个第二端发出的光导向所述高温检测单元(10)；
d)借助所述高温检测单元(10)在所述检测方向上独立地测量从所述多个光导(16)的所述第二端(20)中的所述预定的一个第二端发出的光的强度；
e)针对所述光导(16)的所述第二端(20)中的每一个，重复步骤c)和d)；以及
f)基于强度测量的结果校准所述高温检测单元(10)。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，
耦合到所述多个光导(16)中的每一个中的光的强度基本相同。
CN201510777582.9A 2014-11-21 2015-11-13 高温检测装置、其校准方法及用于生产三维工件的设备 Active CN105628210B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP14194378.7 2014-11-21
EP14194378.7A EP3023757B1 (en) 2014-11-21 2014-11-21 Pyrometric detection device, method for calibrating the same, and apparatus for producing three-dimensional work pieces

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105628210A CN105628210A (zh) 2016-06-01
CN105628210B true CN105628210B (zh) 2018-12-25

Family

ID=51945772

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510777582.9A Active CN105628210B (zh) 2014-11-21 2015-11-13 高温检测装置、其校准方法及用于生产三维工件的设备

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9903762B2 (zh)
EP (1) EP3023757B1 (zh)
JP (1) JP6158893B2 (zh)
CN (1) CN105628210B (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3243583B1 (en) 2016-05-13 2019-05-08 SLM Solutions Group AG Apparatus and method for associating a position in a construction data set with a position in a building section of the apparatus
CN106142287B (zh) * 2016-07-06 2019-01-11 嘉兴钛胺新材料科技有限公司 一种具有自动报警提示功能的3d打印机
DE102016223215A1 (de) 2016-11-23 2018-05-24 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Bestrahlungseinrichtung und Bearbeitungsmaschine damit
EP3441214B1 (en) * 2017-08-09 2022-09-28 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Apparatus for additively manufacturing of three-dimensional objects
EP3508334A1 (en) * 2018-01-08 2019-07-10 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Apparatus for additively manufacturing of three-dimensional objects
EP3524411B1 (en) * 2018-02-09 2023-05-03 Concept Laser GmbH Method for calibrating at least one apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects
JP7066557B2 (ja) * 2018-07-12 2022-05-13 東京エレクトロン株式会社 温度測定センサ、温度測定システム、および、温度測定方法
EP3626437A1 (en) * 2018-09-21 2020-03-25 Concept Laser GmbH Method for calibrating an apparatus for additively manufacturing threedimensional objects

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6179465B1 (en) * 1996-03-28 2001-01-30 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system using multiple light sources
WO2001085386A2 (en) * 2000-05-09 2001-11-15 Optomec Design Company Forming structures from cad solid models
CN101553339A (zh) * 2006-11-04 2009-10-07 通快机床两合公司 用于在材料加工时监测过程的方法和装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5156461A (en) * 1991-05-17 1992-10-20 Texas Instruments Incorporated Multi-point pyrometry with real-time surface emissivity compensation
US5762419A (en) * 1995-07-26 1998-06-09 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system
US7734439B2 (en) * 2002-06-24 2010-06-08 Mattson Technology, Inc. System and process for calibrating pyrometers in thermal processing chambers
US6960769B2 (en) * 2002-10-03 2005-11-01 Abb Inc. Infrared measuring apparatus and method for on-line application in manufacturing processes
US6930278B1 (en) 2004-08-13 2005-08-16 3D Systems, Inc. Continuous calibration of a non-contact thermal sensor for laser sintering

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6179465B1 (en) * 1996-03-28 2001-01-30 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system using multiple light sources
WO2001085386A2 (en) * 2000-05-09 2001-11-15 Optomec Design Company Forming structures from cad solid models
CN101553339A (zh) * 2006-11-04 2009-10-07 通快机床两合公司 用于在材料加工时监测过程的方法和装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP6158893B2 (ja) 2017-07-05
US9903762B2 (en) 2018-02-27
EP3023757A1 (en) 2016-05-25
EP3023757B1 (en) 2019-04-03
CN105628210A (zh) 2016-06-01
US20160146671A1 (en) 2016-05-26
JP2016102784A (ja) 2016-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105628210B (zh) 高温检测装置、其校准方法及用于生产三维工件的设备
CN109070222A (zh) 用于将建造数据集中的位置与设备的构造部段中的位置相关联的设备和方法
US20160144571A1 (en) Calibration Device and Calibration Method for an Apparatus for Producing an Object in Layers
CN107877855A (zh) 用于校准制造三维物体的装置的方法和实施该方法的装置
CN110394445A (zh) 用于校准增材制造机器的熔池监测系统的系统和方法
JP2021514309A (ja) マルチビーム照射システムを整列する方法
CN110352104A (zh) 用于基于构建材料的局部热导率来制造部件的系统及方法
CN108994293A (zh) 有校准设备的用于产品增材制造的装置及其校准方法
CN104181131B (zh) 红外调制光致发光二维成像光路自动定位校准装置
KR101533588B1 (ko) 발광 소자 불량 검출 장치 및 방법
CN103575722A (zh) 用于样品光热研究的设备和方法
KR20200054700A (ko) 복합 현미경 시스템
US11850798B2 (en) Determination device for determining at least one parameter of an energy beam
JP2001507126A (ja) サンプルの熱拡散率の放射エネルギーフラッシュ測定に使用する測定用ヘッド
CN110435141A (zh) 添加式地制造三维物体的装置
WO2023117606A1 (en) Method and device for calibrating an optical system
Rodriguez Development of a thermal imaging feedback control system in electron beam melting
CN109752402A (zh) X射线荧光光度计
CN105424649B (zh) 一种气室结构、气体检测箱及气体检测系统
KR101658022B1 (ko) 세라믹 성형물의 외관 검사장치
CN116360050A (zh) 光轴校准装置及光轴校准方法
CN208155465U (zh) 一种燃烧火焰温度场瞬时定点诊断装置
US20200371269A1 (en) Information exchange using gravitational waves
US7651270B2 (en) Automated x-ray optic alignment with four-sector sensor
CN110530524A (zh) 一种基于能量法的方向发射率快速测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20231226

Address after: Lubeck, Germany

Patentee after: Nikon SLM Solutions Co.,Ltd.

Address before: Lubeck, Germany

Patentee before: SLM SOLUTIONS Group AG