JP2001506318A - 送り設備において導体プレートや導体箔に金属層を精密に電解析出し、あるいはエッチングするための方法と装置 - Google Patents
送り設備において導体プレートや導体箔に金属層を精密に電解析出し、あるいはエッチングするための方法と装置Info
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.送り設備にて導体プレート利用物や導体箔利用物の周縁範囲にまで金属層を 精密に電解析出し、あるいはエッチングするための方法にして、上記利用物が1 つの又は2つの対向する周縁範囲にて搬送方向に駆動される複数の接触要素によ って把持されるようになった方法において、 上記利用物(18)が搬送方向(13)に相前後して配置された複数の設備部 分(15,17)にて異なる幾つかの接触把持部位(14,16,23)で上記 接触要素によって把持され、その結果、上記利用物の周縁範囲(12)での金属 層厚の変動が最小限に抑えられることを特徴とする方法。 2.上記接触要素がお互いに等しい大きさの間隔Tを有するように配置されるこ とを特徴とする請求項1に係る方法。 3.上記利用物(18)での接触把持部位(14,16,23)が設備部分(1 5)から設備部分(17)で設定可能な一定間隔Vだけずらされるように、上記 接触要素が駆動されることを特徴とする前記請求項の1つに係る方法。 4.接触要素の間隔Tと相前後して配置された設備部分の数の商に由来する値に 接触把持部位(14,16,23)の間隔Vが調整されることを特徴とする請求 項3に係る方法。 5.設備部分(15)から設備部分(17)で接触把持部位(14,16,23 )の間隔Vが設備部分での接触要素の駆動装置 (19,20)の電気的な同期によって一定に維持されることを特徴とする前記 請求項の1つに係る方法。 6.設備部分(15)から設備部分(17)で接触把持部位(14,16,23 )の間隔Vが異なる設備部分の接触要素の位相関係の電気的な調節によって互い に調整されることを特徴とする前記請求項の1つに係る方法。 7.設備部分(15)から設備部分(17)で接触把持部位(14,16,23 )の間隔Vが設備部分での接触要素の駆動装置(19,20)の機械的な同期に よって一定に維持されることを特徴とする請求項1〜4の1つに係る方法。 8.設備部分(15)から設備部分(17)で接触把持部位(14,16,23 )の間隔Vが異なる設備部分の接触要素の位相関係の機械的な調節によって互い に調整されることを特徴とする請求項7に係る方法。 9.導体プレート利用物や導体箔利用物のために搬送器具と駆動される接触要素 とを有する送り設備にて上記利用物の周縁範囲にまで金属層を精密に電解析出し 、あるいはエッチングするための装置にして、上記利用物を1つの又は2つの対 向する周縁範囲にて把持可能なように上記接触要素が配置されている装置におい て、 上記送り設備が搬送方向(13)に相前後して配置された複数の設備部分(1 5,17)から構成され、上記利用物(18)を異なる設備部分にて異なる接触 把持部位(14,16,23)で把持可能なように上記接触要素が配置され、利 用物の周縁範囲 (12)での金属層厚の変動が最小限に抑えられうることを特徴とする装置。 10.全ての設備部分(15,17)で上記接触要素が互いに等しい大きさの間 隔Tを有するように配置されていることを特徴とする請求項9に係る装置。 11.設備部分から設備部分で利用物(18)での接触把持部位(14,16, 23)が設定可能な一定間隔Vだけずらされるように形成された制御装置が接触 要素の駆動装置(19,20)のために設備部分(15,17)に備えられてい ることを特徴とする請求項9及び10の1つに係る装置。 12.設備部分から設備部分で接触把持部位(14,16,23)の間隔Vが一 定に維持されうるように電気的又は機械的に同期可能であるように上記設備部分 (15,17)での接触要素の駆動装置(19,20)が形成されていることを 特徴とする請求項9〜11の1つに係る装置。
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