JP2001503787A - デカフルオロペンタン組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 洗浄剤、置換乾燥剤、拭取溶剤、冷媒、エアゾル推進薬、伝熱媒体、気状誘電体、消化剤、ポリオレフィンおよびポリウレタン用膨張剤、およびパワーサイクル動作流体として有用な、共沸組成物または共沸混合物状組成物の形成に有効な量の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタンおよびシクロヘキサン、または１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタンおよびシクロヘキサンおよびアセトンを含む、共沸組成物または共沸混合物状組成物について、説明されている。

Description

【発明の詳細な説明】 デカフルオロペンタン組成物 発明の分野 本発明は、フッ化炭化水素組成物、またはその混合物に関し、より詳細には共 沸組成物、または共沸混合物状組成物の形成に有効な量の、１，１，１，２，３ ，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタンおよびシクロヘキサン、または１ ，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン、シクロヘキサ ン、およびアセトンを含む、共沸組成物または共沸混合物状組成物に関する。こ のような組成物は、洗浄剤、拭取溶剤、ポリオレフィンおよびポリウレタン用膨 張剤、冷媒、エアゾル噴霧体、伝熱媒体、気状誘電体、消火剤、パワーサイクル 動作流体、重合媒体、微粒子除去流体、キャリヤ流体、バフ研摩剤、拭取溶剤塗 布剤、および置換乾燥剤として有用である。 発明の背景 フッ化炭化水素には多くの利用法があり、その一つは、例えば電子回路基板を 洗浄する洗浄剤または洗浄溶剤としての利用法である。電子構成部品は、基板の 回路側全体をフラックスで被覆し、その後フラックスで被覆された基板を予熱器 に移して溶融はんだに通すことによって、回路基板にはんだ付けされる。フラッ クスによって導電性金属部品が洗浄され、はんだ溶融が促進するが、洗浄剤で除 去しなければならない残渣が回路基板上に残される。またフッ化炭化水素は、蒸 気脱脂操作および拭取溶剤塗布にも有用な洗浄剤である。 洗浄剤は、洗浄した基板に損傷を与えることなくフラックスおよびフラックス 残渣を除去できるように、低沸点、難燃性、低毒性、および高溶解力を有するこ とが好ましい。さらに、フッ化炭化水素を含む洗浄剤が沸騰または蒸発によって 分別しないように、共沸性または共沸混合物状であることが望まれている。洗浄 剤が共沸性または共沸混合物状ではない場合、洗浄剤の揮発性の高い組成物が優 先的に蒸発し、洗浄剤は可燃性となり、またはロジンフラックス溶解力が低下し たり、洗浄する電子構成部品に対する不活性度が低下するなど、望ましくない溶 解特性を有することになる。共沸特性は蒸気脱脂操作においても望ましく、これ は、一般に洗浄剤が、再蒸留されてから最終リンス洗浄用に再使用されるためで ある。 また、フッ化炭化水素を冷媒として使用することも可能である。冷凍に用いる 場合、冷媒は作動中に、シャフトシール、ホース接続、はんだ接合、および破損 ラインからしばしば漏れて浪費される。加えて冷媒は、冷凍装置のメンテナンス 処置の間に大気中に放出される可能性がある。従って冷媒として、一種類のフッ 化炭化水素、あるいは一種類または複数種類のフッ化炭化水素を含む共沸組成物 または共沸混合物状組成物を使用することが望まれている。一種類または複数種 類のフッ化炭化水素を含む非共沸組成物には冷媒として使用されるものもあるが 、それらは充填された冷媒の一部が漏れたり大気中に放出された場合、組成が変 化し、または分別するという短所を有する。非共沸組成物が可燃性組成物を含有 する場合、その混合物は上記のような組成変化のため可燃性になる。また冷凍装 置の作動は、組成変化および分別の結果生じる蒸気圧のために、その影響を逆に 受ける可能性もある。 フッ化炭化水素の共沸組成物または共沸混合物状組成物は、独立気泡のポリウ レタン、フェノール、および熱可塑性プラスチックのフォーム製造における発泡 剤としても有用である。絶縁フォームは発泡剤を必要とするが、これはポリマー を形成するためばかりではなく、さらに重要なのは発泡剤の低蒸気熱伝導率を利 用するためであり、この性質は絶縁価値として重要な特徴である。 エアゾル製品は、一種類のフッ化炭化水素組成物と、フッ化炭化水素の共沸組 成物または共沸混合物状組成物の両方を、エアゾルシステム内の推進剤蒸気圧減 衰器として用いる。共沸組成物または共沸混合物状組成物は、実質上一定の組成 および蒸気圧であり、エアゾル内の溶媒および推進剤として有用である。 フッ化炭化水素を含む共沸組成物または共沸混合物状組成物は、伝熱媒体、気 状誘電体、消火剤、ヒートポンプなどのパワーサイクル動作流体、重合反応用不 活性媒体、金属表面から微粒子を除去するための流体、および、例えば金属部品 上に潤滑剤のファインフィルムを配置するために使用されるキャリヤ流体として も有用である。 フッ化炭化水素を含む共沸組成物または共沸混合物状組成物はさらに、金属な どの研摩された表面からバフ研摩組成物を除去するためのバフ研摩洗浄剤、宝石 類や金属部品などから水分を除去するための置換乾燥剤、塩素型現像剤を使用す る従来の回路製造技術でのレジスト現像剤、および、例えば１，１，１−トリク ロロエタンまたはトリクロロエチレンなどのクロロ炭化水素と共に使用する場合 のフォトレジスト用剥離剤として有用である。 発明の概要 本発明は、共沸組成物または共沸混合物状組成物の形成に有効な量の、１，１ ，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタンおよびシクロヘキサ ン混合物、または１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペン タン、シクロヘキサン、およびアセトンの混合物を含む、共沸組成物または共沸 混合物状組成物の発見に関する。 詳細な説明 本発明の組成物は、共沸組成物または共沸混合物状組成物の形成に有効な量の １，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン（HFC-43-10m ee、ＣＦ₃ＣＨＦＣＨＦＣＦ₂ＣＦ₃、沸点＝５４．６℃）とシクロヘキサン（− ＣＨ₂ＣＨ₂ＣＨ₂ＣＨ₂ＣＨ₂ＣＨ₂−、沸点＝８０．７℃）とアセトン（ＣＨ₃Ｃ ＯＣＨ₃、沸点＝５６．２℃）を含む、定沸点の共沸組成物または共沸混合物状 組成物、あるいはその混合物である。 共沸組成物または共沸混合物状組成物の形成に有効な１，１，１，２，３，４ ，４，５，５，５−デカフルオロペンタンおよびシクロヘキサン、または、１， １，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン、シクロヘキサン 、およびアセトンの量は、特定の圧力または温度でのその成分の重量パーセント で定義される場合、以下のものを含む。 実質上定沸点の、HFC-43-10meeおよびシクロヘキサンの共沸組成物または共沸 混合物状組成物は、約５８〜９９重量パーセントのHFC-43-10meeと約１〜４２重 量パーセントのシクロヘキサンを含む。これらの組成物は、実質上の大気圧下、 約５１℃で沸騰する。好ましい組成物は、約８０〜９９重量パーセントのHFC-43 -10meeと１〜２０重量パーセントのシクロヘキサンを含む。より好ましい組成物 は、約８７重量パーセントのHFC-43-10meeと約１３重量パーセントのシクロヘキ サンを含み、実質上の大気圧下、約５１℃で沸騰する共沸混合物である。 実質上定沸点の、HFC-43-10meeとシクロヘキサンとアセトンの共沸組成物また は共沸混合物状組成物は、約１〜９８重量パーセントのHFC-43-10meeと、約１〜 ６５重量パーセントのシクロヘキサンと、約１〜９８重量パーセントのアセトン を含む。これらの組成物は、実質上の大気圧下、約５６℃で沸騰する。好ましい 組成物は、約４０〜９８重量パーセントのHFC-43-10meeと、１〜４０重量パーセ ントのシクロヘキサンと、約１〜４０重量パーセントのアセトンを含む。より好 ましい組成物は、約４９重量パーセントのHFC-43-10meeと、約２６重量パーセン トのシクロヘキサンと、約２５重量パーセントのアセトンを含み、実質上の大気 圧下、約５６℃で沸騰する。最適な洗浄に最も好ましい組成物は、８５重量パー セントのHFC-43-10meeと、５重量パーセントのシクロヘキサンと、１０重量パー セントのアセトンである。 本発明の目的のため、「有効な量」は、本発明による組成物の各成分が結合し た場合に共沸組成物または共沸混合物状組成物の形成をもたらす量と定義される 。この定義には、異なる圧力下で可能な異なる沸点を有しながら共沸組成物また は共沸混合物状組成物が存在し続ける間、この組成物に付与される圧力に応じて 変化する各成分の量が含まれる。 従って有効な量には、重量パーセントによって明示されるように、本明細書中 に記載される圧力以外の圧力で共沸組成物または共沸混合物状組成物を形成する 、本発明による組成物の各成分の量が含まれる。 「共沸組成物または共沸混合物状組成物」は、定沸点または実質上定沸点の、 単一物質として作用する二種類以上の物質の液体混合物を意味する。共沸組成物 または共沸混合物状組成物を特徴付ける一方法は、液体の部分蒸発または蒸留に よって発生する蒸気が、蒸発しまたは蒸留される液体と実質上同じ組成を有する ということであり、即ち、混合物は実質上組成変化することなく蒸留／還流する 。共沸組成物または共沸混合物状組成物として特徴付けられる定沸点または実質 上 定沸点の組成物は、同じ組成の非共沸性混合物に比べ、最高または最低の沸点を 示す。 蒸発または沸騰などによって組成物の５０重量パーセントが除去された後、絶 対単位で測定した場合に、当初の組成物と当初の組成物の５０重量パーセントが 除去された後の残留組成物との間の蒸気圧の差が１０パーセント未満である場合 、その組成物は共沸混合物状組成物であることが当業界では認められている。絶 対単位によって圧力測定値が表され、例えばプサイア、気圧、バール、トール、 １平方センチメートル当たりのダイン、水銀のミリメートル、水のインチ、その 他、当業界でよく知られている用語で表される。共沸混合物が存在する場合、当 初の組成物と当初の組成物の５０重量パーセントが除去された後の残留組成物と の間の蒸気圧に、差はない。 この議論の目的のため、共沸性または定沸点は、本質上の共沸性または事実上 の定沸点も意味する。換言すればこれらの用語の意味には上述の真の共沸混合物 ばかりではなく、同じ共沸系の部分でありかつその特性が共沸混合物状である等 価な組成物と同様に、他の温度および圧力で、同じ成分を異なる割合で含有する その他の組成物も含まれる。この業界でよく認識されているように、共沸混合物 と同じ成分を含有する組成の範囲が存在し、その組成では冷凍およびその他の用 途に対し実質上等価な特性が示されるばかりでなく、定沸点特性または沸点で分 離も分別もしない傾向にある点で、真の共沸組成物と実質上等価な特性が示され る。 以上より、多くの方法によって表される定沸点混合物を、選択条件に応じて以 下のいずれかの基準により特徴付けることが可能である。 （ａ） この組成物は、他ならぬ「共沸混合物」という用語が直ちに定義的か つ制限的であり、定沸点組成物であるこの物質の唯一の組成にはＡ、Ｂ、Ｃ（お よびＤ...）の有効な量が必要とされることから、Ａ、Ｂ、Ｃ（およびＤ...）の 共沸混合物と定義される。 （ｂ） 異なる圧力では、所与の共沸混合物の組成が少なくとも数段階で変化 し、また圧力変化によって少なくとも数段階で沸点温度が変化することが、当業 者によく知られている。このためＡ、Ｂ、Ｃ（およびＤ...）の共沸混合物は、 温 度および／または圧力によって変化する多様な組成を有するが、唯一のタイプの 関係を表す。従って、固定された組成以外の組成の範囲が、共沸混合物を定義す るためにしばしば使用される。 （ｃ） この組成物は、Ａ、Ｂ、Ｃ（およびＤ...）の特定の重量パーセント 関係またはモルパーセント関係として定義され、一方、このような特定の値によ ってただ一つの特定の関係が指摘され、所与の共沸混合物のため事実上存在する Ａ、Ｂ、Ｃ（およびＤ...）によって表される一連のこのような関係は、圧力の 影響によって実際上変化することが認められている。 （ｄ） Ａ、Ｂ、Ｃ（およびＤ...）の共沸混合物は、この組成物を、用い得 る分析装置によって限定されかつその装置と同程度の正確さのみを有する組成を 特定の数値で限定することによって本発明の範囲を不当に限定することなく、所 与の圧力での沸点によって、即ち確認された特徴を付与することによって特徴付 けられる共沸混合物であると定義することにより、特徴付けられる。 以下の二成分および三成分組成物は、実質上大気圧下で実質上定沸点を示すこ の範囲内の混合物中で、共沸性または共沸混合物状であると特徴付けられる。実 質上定沸点であるために、この混合物は蒸発しても、どのような程度にも分別す る傾向にない。蒸発後は、蒸気組成と初期の液相組成との間に少量の差のみが存 在する。この差は、蒸気組成と液相組成とが実質上同一とみなされることによる 。従ってこの範囲内にあるどの組成物も、真の二成分および三成分共沸混合物ま たは共沸混合物状混合物の特徴である性質を示す。 １．約５８〜９９重量パーセントのHFC-43-10meeと約１〜４２重量パーセント のシクロヘキサン、好ましくは約８０〜９９重量パーセントのHFC-43-10meeと約 １〜２０重量パーセントのシクロヘキサン。 ２．約１〜９８重量パーセントのHFC-43-10meeと約１〜６５重量パーセントの シクロヘキサンと約１〜９８重量パーセントのアセトン、好ましくは約４０〜９ ８重量パーセントのHFC-43-10meeと約１〜４０重量パーセントのシクロヘキサン と約１〜４０重量パーセントのアセトン。 以下の二成分および三成分組成物は、実質上大気圧で、真の二成分および三成 分共沸混合物または共沸混合物状混合物として与えられる。 １．約８７重量パーセントのHFC-43-10meeと約13重量パーセントのシクロヘキ サン。 ２．約４９重量パーセントのHFC-43-10meeと約26重量パーセントのシクロヘキ サンと約２５重量パーセントのアセトン。 前述の共沸混合物は、オゾン破壊能力がゼロである。 本発明の共沸組成物または共沸混合物状組成物によれば、その共沸性のため、 蒸気デフラックス操作および蒸気脱脂操作から得られた溶媒の回収および再使用 が容易になる。一例として本発明の共沸混合物を、米国特許第３８８１９４９号 などに記載される洗浄工程で、またはバフ研摩洗浄剤として、使用することが可 能である。 加えてこの混合物は、塩素型現像剤が使用されるレジスト現像剤として、また 、適切な含ハロゲン炭素化合物が添加されたレジスト剥離剤として、さらに拭取 溶剤への使用に有用である。 本発明のその他の態様は、本発明の冷媒組成物を凝縮し、その後冷却すべき物 体の近傍でその組成物を蒸発させる段階を含む冷凍方法である。同様にして、本 発明のさらにその他の態様は、本発明の冷媒を加熱すべき物体の近傍で凝縮させ 、その後冷媒を蒸発させる段階を含む、加熱方法である。 本発明のその他の態様には、活性剤および推進薬を含むエアゾル組成物が含ま れ、ここで推進薬は本発明の共沸混合物であり、これらの組成物による製品は前 記成分を結合させることによって得られる。本発明はさらに、本発明の共沸混合 物を含んだ洗浄溶剤組成物を含む。 本発明の共沸組成物または共沸混合物状組成物は、所望の成分量を混合しまた は結合させる段階を含む、好適などのような方法によっても調製することが可能 である。好ましい方法は、所望の成分量を計量し、その後それら成分を適切な容 器内で結合させることである。 さらに詳細を必要とすることなく、当業者は前述の説明を用いて、本発明を最 大限に利用することができると考えられる。従って以下の好ましい特定の実施形 態は単なる実例と解釈され、開示の残された内容をどのような方法によっても制 限するものではない。 前述および後述の実施例では、他の方法で示されない限りすべての温度は摂氏 温度で示され、すべての部およびパーセントは重量による。 実施例１ 蒸気圧での蒸気漏れによる衝撃 容器に初期組成物を充填し、その組成物の初期蒸気圧を測定する。温度を一定 に保ちながらこの組成物を容器から漏出させ、この初期組成物の５０重量パーセ ントが除去されたとき、容器内に残留する組成物の蒸気圧を測定する。この結果 を以下にまとめる。 実施例２ 適切な容器を８５重量パーセントのHFC-43-10meeと５重量パーセントのシクロ ヘキサンと１０重量パーセントのアセトンで満たした。この混合物を室温で蒸発 させ、その蒸発の間、容器内の組成物について表２に示すように測定を行った。 この結果によれば、HFC-43-10meeの濃度は、蒸発の間中約８５重量パーセントに 保たれることが示されている。これらの混合物は、可燃性が非常に低いかまたは 不燃性であると考えられる。 実施例３ 適切な容器を８２重量パーセントのHFC-43-10meeと８重量パーセントのシクロ ヘキサンと１０重量パーセントのアセトンで満たした。この混合物を室温で蒸発 させ、その蒸発の間、容器内の組成物について表３に示すように測定を行った。 この結果によれば混合物の７０パーセントが蒸発するまでは、HFC-43-10meeの濃 度が少なくとも８４重量パーセントに保たれることが示されている。これらの混 合物は、可燃性が非常に低いかまたは不燃性であると考えられる。 実施例４ 適切な容器を８２重量パーセントのHFC-43-10meeと５重量パーセントのシクロ ヘキサンと１３重量パーセントのアセトンで満たした。この混合物を室温で蒸発 させ、その蒸発の間、容器内の組成物について表４に示すように測定を行った。 この結果によれば混合物の７０パーセントが蒸発するまでは、HFC-43-10meeの濃 度が約８４重量パーセントに保たれることが示されている。これらの混合物は、 可燃性が非常に低いかまたは不燃性であると考えられる。 実施例５ これらの混合物が良好な溶解性を示す状態で、以下のカウリブタノール（ＫＢ ）価を測定した。 実施例６ オイル除去 ハードカット５４１オイルを、予め計量したガラススライドおよび金属クーポ ンに塗布した。汚染されたスライドおよびクーポンを計量し、次いで８５重量パ ーセントのHFC-43-10meeと５重量パーセントのシクロヘキサンと１０重量パーセ ントのアセトンの混合物を用いて、基板を機械的に手で拭き取るか、または３０ 秒間スプレーした後に乾燥させることによって、洗浄した。その後基板を再度計 量し、二種類の方法、即ち肉眼で、および紫外（ＵＶ）線によって検査した。 結果を表６に示す。 この結果によれば、本発明の組成物を用いて機械的な拭取りを行うことにより 、オイル不純物が相当量除去され、また、ほとんどの場合、スプレーおよび乾燥 を行うことによって完全に除去が達成されたことが示されている。実施例７ 指紋除去 人間の指紋を、予め計量したガラススライド、金属クーポン、およびセルラー フィルムに付着させた。汚損した基板を計量し、次いで、８５重量パーセントの HFC-43-10meeと５重量パーセントのシクロヘキサンと１０重量パーセントのアセ トンの混合物を用い、三種類の洗浄方法、即ち機械的に手で拭き取るか、３０秒 間スプレーした後に空気乾燥させるか、または５分間浸漬させてから空気乾燥さ せるか、これらの方法のうち少なくとも一種類を使用して、洗浄した。その後基 板を再度計量し、肉眼で検査した。結果を表７に示す。 この結果では、本発明の組成物を用いて指紋による汚損を除去することができ 、特に金属とセルラーフィルムから除去することが可能であることが示されてい る。 実施例８ 微粒子の除去 滑石を、予め計量したガラススライド、金属クーポン、およびセルラーフィル ムに付着させた。汚損した基板を計量し、次いで、８５重量パーセントのHFC- 43−10meeと５重量パーセントのシクロヘキサンと１０重量パーセントのアセト ンの混合物を用い、機械的に手で拭き取った。その後基板を再度計量し、肉眼で 検査した。結果を表８に示す。 この結果では、本発明の組成物を用い機械的な拭取りのみを行うことによって 、異なる種類の基板から微粒子が完全に除去されることが示されている。 実施例９ テープ残渣の除去 ダクトおよびマスキングテープを予め計量したガラススライドに接着し、次い で残渣を残した状態で剥がした。上記スライドを計量し、次いで、８５重量パー セントのHFC-43-10meeと５重量パーセントのシクロヘキサンと１０重量パーセン トのアセトンの混合物を用い、三種類の洗浄方法、即ち機械的に手で拭き取るか 、３０秒間スプレーした後に空気乾燥させるか、または５分間浸漬させてから空 気乾燥させるか、これらの方法のうち少なくとも一種類を使用して、洗浄した。 その後上記スライドを再度計量し、肉眼で検査した。結果を表９に示す。 この結果では、本発明の組成物を用いることによって、テープ残渣が部分的に 除去可能なことが示されている。 その他の化合物 ０〜１００℃の沸点を有する脂肪族炭化水素、０〜１００℃の沸点を有するフ ルオロ炭化水素アルカン、０〜１００℃の間の沸点を有するハイドロフルオロプ ロパン、０〜１００℃の間の沸点を有する炭化水素エステル、０〜１００℃の間 の沸点を有するクロロフルオロ炭化水素、０〜１００℃の沸点を有するフルオロ 炭化水素、０〜１００℃の間の沸点を有するクロロ炭化水素、クロロカーボン、 および過フッ化化合物などのその他の成分を、上述の共沸組成物または共沸混合 物状組成物の定沸点としての作用を含む特性を実質上変化させることなく、これ らの組成物に添加することができる。一般に全組成物の約１０重量パーセントを 超過しないこのような成分の例には、以下のものが含まれる。 本発明の新規な組成物を用いる際にこの組成物に逆の影響を与えないことを条 件として、潤滑剤や腐食抑制剤、安定剤、界面活性剤、染料、その他適切な物質 などの添加物を、様々な目的のために本発明の新規な組成物に添加することが可 能である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０９Ｋ 3/30 Ｃ０９Ｋ 3/30 Ｒ 5/04 5/04 Ｃ１１Ｄ 7/24 Ｃ１１Ｄ 7/24 7/26 7/26 7/30 7/30 Ｃ２３Ｇ 5/024 Ｃ２３Ｇ 5/024 (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＡＵ，ＣＡ，ＣＮ，Ｉ Ｌ，ＪＰ，ＫＲ，ＭＸ，ＲＵ (72)発明者 マイナー，バーバラ，ハビランド. アメリカ合衆国 21921 メリーランド州 エルクトン グリーン ヘブン ドライ ブ 233 (72)発明者 モイヤディ，ショエブ，アカベラリ. アメリカ合衆国 19707 デラウェア州 ホッケシン キングス グラント ロード 47

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 実質上大気圧下で、共沸組成物または共沸混合物状組成物を形成するのに 有効な量の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタンお よびシクロヘキサン、または１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフ ルオロペンタン、シクロヘキサン、およびアセトンを含むことを特徴とする組成 物。 ２． ５８〜９９重量パーセントの１，１，１，２，３，４，４，５，５，５− デカフルオロペンタンおよび１〜４２重量パーセントのシクロヘキサン、または １〜９８重量パーセントの１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフル オロペンタンおよび１〜６５重量パーセントのシクロヘキサンおよび１〜９８重 量パーセントのアセトンを含むことを特徴とする、請求項１に記載の組成物。 ３． ８０〜９９重量パーセントの１，１，１，２，３，４，４，５，５，５− デカフルオロペンタンおよび１〜２０重量パーセントのシクロヘキサン、または ４０〜９８重量パーセントの１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフ ルオロペンタンおよび１〜４０重量パーセントのシクロヘキサンおよび１〜４０ 重量パーセントのアセトンを含むことを特徴とする、請求項１に記載の組成物。 ４． ８７重量パーセントの１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフ ルオロペンタンおよび１３重量パーセントのシクロヘキサン、または４９重量パ ーセントの１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタンお よび２６重量パーセントのシクロヘキサンおよび２５重量パーセントのアセトン を含むことを特徴とする、請求項１に記載の組成物。 ５． ８５重量パーセントの１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフ ルオロペンタンと、５重量パーセントのシクロヘキサンと、１０重量パーセント のアセトンを含むことを特徴とする、請求項１に記載の組成物。 ６． 請求項１に記載の組成物を用いて固体表面を処理する段階を含むことを特 徴とする、前記固体表面の洗浄方法。 ７． 請求項２に記載の組成物を用いて固体表面を処理する段階を含むことを特 徴とする、前記固体表面の洗浄方法。 ８． 請求項３に記載の組成物を用いて固体表面を処理する段階を含むことを特 徴とする、前記固体表面の洗浄方法。 ９． 請求項４に記載の組成物を用いて固体表面を処理する段階を含むことを特 徴とする、前記固体表面の洗浄方法。 １０． 請求項５に記載の組成物を用いて固体表面を処理する段階を含むことを 特徴とする、前記固体表面の洗浄方法。 １１． 請求項１に記載の組成物を発泡剤として使用する段階を含むことを特徴 とする、熱硬化性または熱可塑性フォームの調製方法。 １２． 請求項２に記載の組成物を発泡剤として使用する段階を含むことを特徴 とする、熱硬化性または熱可塑性フォームの調製方法。 １３． 請求項３に記載の組成物を発泡剤として使用する段階を含むことを特徴 とする、熱硬化性または熱可塑性フォームの調製方法。 １４． 請求項４に記載の組成物を発泡剤として使用する段階を含むことを特徴 とする、熱硬化性または熱可塑性フォームの調製方法。 １５． 請求項５に記載の組成物を発泡剤として使用する段階を含むことを特徴 とする、熱硬化性または熱可塑性フォームの調製方法。 １６． 請求項１に記載の組成物をエアゾル推進薬として使用する段階を含むこ とを特徴とする、流体を噴霧するための製造方法。 １７． 請求項２に記載の組成物をエアゾル推進薬として使用する段階を含むこ とを特徴とする、流体を噴霧するための製造方法。 １８． 請求項３に記載の組成物をエアゾル推進薬として使用する段階を含むこ とを特徴とする、流体を噴霧するための製造方法。 １９． 請求項４に記載の組成物を使用するエアゾル推進薬として段階を含むこ とを特徴とする、流体を噴霧するための製造方法。 ２０． 請求項５に記載の組成物をエアゾル推進薬として使用する段階を含むこ とを特徴とする、流体を噴霧するための製造方法。