JP2001502063A - 回転角度センサのための方法および装置 - Google Patents

回転角度センサのための方法および装置

Info

Publication number
JP2001502063A
JP2001502063A JP11502954A JP50295499A JP2001502063A JP 2001502063 A JP2001502063 A JP 2001502063A JP 11502954 A JP11502954 A JP 11502954A JP 50295499 A JP50295499 A JP 50295499A JP 2001502063 A JP2001502063 A JP 2001502063A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotation angle
blade
light
angle sensor
rotation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11502954A
Other languages
English (en)
Inventor
シェーファー,フィリップ
Original Assignee
シミュラ・インコーポレーテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by シミュラ・インコーポレーテッド filed Critical シミュラ・インコーポレーテッド
Publication of JP2001502063A publication Critical patent/JP2001502063A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/093Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by photoelectric pick-up
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/28Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication
    • G01D5/30Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication the beams of light being detected by photocells
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/006Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of fluid seismic masses
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/0888Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values for indicating angular acceleration

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】 回転角度センサ(102)は流体充填容器(104)を有し、流体(106)内に浸漬してある羽根(107)を内蔵する。羽根(107)は容器(104)に対して自由に回転する。容器(104)は、回転角度の測定が望ましい物体に固定して取り付ける。物体と共に容器(104)が回転すると、流体(106)およびこのために羽根(107)が回転に対して停留しようとする。したがって、容器(104)が羽根(107)に対して回転した量を判定することにより、回転角度を測定することができる。

Description

【発明の詳細な説明】 回転角度センサのための方法および装置 関連出願に対する引用 本願は、1997年6月5日に出願した米国予備出願第60/048,738号および1997年 10月15日に出願した米国予備出願第60/062,336号の出願日の優先権を主張する。背景 発明の分野 本発明は、動きセンサに関する。更に特定すれば、本発明は、物体が回転して いない場合であっても、当該物体内の回転および角度位置を検出することに関す るものである。 発明の背景 絶対角度即ち傾斜を測定することが望ましい数多くの用途がある。その例には 、誘導および操舵システム、建設用工具および機器、ならびに車両用ロールオー バ保護デバイス(rollover protection device)が含まれる。 これまでに、気泡に基づく傾斜計(標準的な大工の水準の概念に基づく)、振 り子、および加速度計を含む種々の技術が、角度の測定に実施されている。これ らの技術は各々、角度を測定することができる。しかしながら、望ましくないの は、これらの技術は、線形加速度を受けると出力を生成することである。自動車 のロールオーバへの適用は、特によい例である。何故なら、エア・バックの展開 およびその他の安全対策は、部分的にロールオーバの指示で制御するようにして あるからである。車両が実際には加速しているかあるいは角を曲がっている(遠 心加速度を生ずる)ときに、車両がロールオーバしていることをセンサが指示す るのは、このような指示が車両のエアバッグ使用を誘発し得るので、センサにと って非常に望ましくない。 これまで、線形加速度による問題を回避するために、種々の技法が実施されあ るいは提案されてきた。その各々には、固有の欠点がある。機械的なジャイロス コープは、線形加速度を除去しつつ回転に応答することができる。しかしながら 、これらにはドリフトの問題があり、非常に嵩張り、高価であり、しかも脆弱な 可能性がある。光ファイバ・ジャイロは、これらの問題の多くを解決するが、絶 対角度ではなく角速度に応答する。角速度に応答するセンサは多くの用途におい て有用であるが、車両における不安定なロール角度の検出のように絶対角度が必 要な場合、絶対角度の測定が望まれる。 同調フォーク・アセンブリ("Detection of Incipient Rollovers Grows in I mportance"(初期ロールオーバの検出の重要性の成長)(Automotive Engineerin g、1997年9月、94〜96ページ(以下"Automotive Engineering")を参照)および ファラデイ効果デバイス(Greene(以下「グリーン」)の米国特許第3,940,983号 、"Faraday effect fluid flow and direction indicator"(ファラデイ効果流 体流および方向指示器)を参照)のようなその他の技法は、比較的低コストで作 成することができるが、これらもまた、絶対角度情報ではなく、角速度情報を与 えるものである。 従来のデバイスには、円筒状または球状容器内に多数の流体を用いるものがあ った(Lopes,et al.(ロペスその他)(以下「ロペス」)の米国特許第4,779,35 3号、"Tool for measuring inclination and rotation(傾斜および回転測定ツ ール)"およびStriffler(ストリフラ)(以下「ストリフラ」)の米国特許第5, 416,977号、"Pitch Sensor System"(ピッチ・センサ・システム)を参照)。こ れらのデバイスは、論理的には絶対角度情報を与えるが、流体間で混合があった り、または流体間の境界層が変化した場合、障害の虞れがある(即ち、誤った結 果を与える)。その他には、角速度に応答して移動する流体を用いたデバイスが 存在する。その各々は、前述の技法と同様の性質を有する(Taplin,et al.(タ プリンその他、以下「タプリン」)の米国特許第4,361,040号、"Integrating An gular Accelerometer"(積分角加速度計)、およびHughes(ヒューズ、以下「ヒ ューズ」)の米国特許第4,163,325号、"Verticality Sensors"(垂直度センサ) を参照)。 絶対角度の推定値を与えるために、混成センサの手法が提案され実施されてい る。自動車のロールオーバへの適用に用いられる共通の技法の1つは、加速度計 (またはその他の重力感知デバイス)を角速度センサと組み合わせることである (Automotive Engineeringを参照)。静止角度の測定は、車両が加速していない と思われるときにはいつでも(例えば、測定した加速度が1.0Gである場合、 重力による加速度)、行われる。この基準静止角度に基づいて、角速度センサか らの出力を積分し、絶対角度の推定値を得る。この手法は、車両が比較的安定な 場合は高精度となり得るが、回転の角速度が速い場合、積分に大きな誤差を発生 する虞れがある。積分の問題は、大量の時間(1秒は多くの場合大量である)に わたって積分を行う必要がある場合、一層厳しくなる。この場合、角速度センサ の出力にあるずれが僅かであっても、積分は蓄積誤差を有し、時間と共に大きく なっていく。 したがって、蓄積角度測定誤差を発生せず、デバイスが線形加速度を受けても 、絶対角度を測定可能なセンサを有することができれば好ましいであろう。 発明の摘要 本発明は、物体が回転していない場合であっても、当該物体における回転およ び角度位置を測定する回転センサを対象とする。好ましくは、この回転センサは 、流体充填容器で構成する。容器を回転させると、流体は静止状態を保とうとす る。しかしながら、容器が重力または線形(非回転)加速度を受けると、流体は シリンダと共に移動しようとする。本発明の装置および方法を用いて、流体に対 する容器の相対的な動きを測定する。 好適な実施形態では、前述の容器はシリンダである。1組の自由に回転する1 つ以上の羽根をシリンダ内に回転自在に取り付ける。羽根は軸上に取り付けてあ り、流体と共に自由に移動する。したがって、シリンダを回転させると、回転す る羽根は流体に対して静止状態を保とうとするため、シリンダに対しては回転す る。 本発明の別の好適な実施形態を用いて、回転速度を検出することができる。こ の好適な実施形態では、可撓性のカンチレバーをシリンダの一端に固定して取り 付ける。シリンダの角速度が大きい程、カンチレバーの撓みも大きくなる。 カンチレバーまたは回転する羽根(複数)の位置が、シリンダの回転を示す出 力を与える。カンチレバーまたは回転する羽根(複数)の位置を用いてシリンダ の回転を示す出力を生成するためのいくつかの実施形態について記載する。 一実施形態では、LEDまたはその他の光源を用いて羽根またはカンチレバー 上を照射する。1つ以上の光検出器を用いて光を受ける。光源および光検出器( 複数)は、カンチレバーまたは羽根の位置が、各光検出器が受ける光量を変調す るように配置する。この実施形態では、流体が光に対して透過性であることが必 要である。 他の実施形態では、2つ以上の電極を用いて、これら電極間の電気的インピー ダンスを測定する。電極は、カンチレバーまたは羽根の位置が、電極問のインピ ーダンスを変調するように位置付ける。この実施例では、流体が完全な導電体で ないことが必要である。 他の実施形態では、羽根またはカンチレバーにカムを固定する。カムの位置が 、2点間の光透過度または電気的インピーダンスを変調し、シリンダの回転角を 示す出力を生成する。 他の実施形態では、羽根またはカンチレバーに取り付けた光ファイバを用いる 。光ファイバの位置付けは、カンチレバーまたは羽根が動くと、ファイバを通過 する光量が変化するか、あるいはファイバを通過する光の照射方向が変化するよ うに決める。ファイバを通過する光量、またはファイバを通過する光の方向の変 化が、シリンダの回転角を示す。 シリンダの回転を測定する手段の出力に数学的フィルタ処理を施し、デバイス の非理想性を補正するとよい。この非理想性が発生するのは、流体がある程度シ リンダと共に移動し始めるからである。この流体移動の原因には、シリンダの内 側表面に沿った摩擦、カンチレバーまたは羽根の流体中を通過する際の相対的な 動きが含まれ、測定デバイスが回転と線形に撓まないからでもある。この数学的 フィルタ処理は、これら非理想性の逆モデルを作成することによって実現する。 本発明のこれらおよびその他の目的について、本発明の詳細な説明、添付図面 および添付の請求の範囲において更に詳しく説明する。 図面の簡単な説明 図1は、本発明の好適な実施形態による回転角度センサの好適な実施形態を概 略的に示す。 図2は、本発明による回転角度センサを実施するための好適な実施形態を概略 的に示す。 図3は、センサ出力空間の一例をグラフで示す。 図4は、動作時のセンサ出力空間の使用法をグラフで示す。 図5は、本発明の別の好適な実施形態による回転角度センサを概略的に示す。 図6は、本発明の別の好適な実施形態による回転角度センサを概略的に示す。 図7は、本発明の別の好適な実施形態による回転角度センサを概略的に示す。 図8は、本発明の別の好適な実施形態による回転角度センサを概略的に示す。 図8Aは、本発明の別の好適な実施形態による回転角度センサを概略的に示す 。 図9は、軸外れ回転の影響を減少させるための好適な技法を概略的に示す。 図10は、横加速度の影響を減少させるための、本発明の別の好適な実施形態 による回転角度センサを概略的に示す。 図11Aは、横加速度の影響を補償するための、本発明の別の好適な実施形態 による回転角度センサを概略的に示す。 図11Bは、横加速度の影響を補償するための、本発明の別の好適な実施形態 による回転角度センサを概略的に示す。 図12Aは、本発明の好適な実施形態において横加速度の影響を補償するため の回路を概略的に示す。 図12Bは、本発明の好適な実施形態において横加速度の影響を除去するため の回路を概略的に示す。 図13Aは、本発明の好適な実施形態において摩擦を補償する方法である。 図13Bは、本発明の好適な実施形態による摩擦を補償する回路を概略的に示 す。 図14は、温度を変化させることによって生ずるセンサ出力空間のずれの一例 をグラフで示す。 図15は、本発明の別の好適な実施形態による角速度センサを概略的に示す。 図16は、本発明の別の好適な実施形態による角速度センサを概略的に示す。 好適な実施形態の詳細な説明 本発明は、種々の用途において使用可能な回転角度センサである。このような 用途には、a)車両が回転するときを検知し、ロールオーバ事故の場合に、エア バッグのような乗員保護装置の展開を開始する、車両(例えば、自動車)内のロ ールオーバ・センサ、b)建設作業のために傾斜や水準を動的に測定する測定工 具、ならびにc)種々の空中、水中、宇宙プラットフォームの操舵および姿勢制 御システムおよび誘導システムが含まれるが、これらに限定される訳ではない。 回転角度センサのことを、ここでは代わりに回転センサ、回転型センサまたは回 転型角度センサとも呼ぶことにする。 従来のシステムとは異なり、本発明は、質量を自由に回転させるために、慣性 質量または高品質の軸受けには頼らない。代わりに、流体内に浸漬した軽量の羽 根を用いる。慣性質量の性質ではなく、液体の慣性的性質を動作原理とする。軽 量の羽根に対する液体の力は、いずれの合理的な軸受けに対する摩擦力よりもは るかに大きく、このために本発明はベアリングの種別または品質には比較的感応 しない。これらの性質のために、デバイスの構造において不偏物質(neutrally-b uoyant material)の必要性がなくなり、材料および流体部に対する制約が大幅に 減少する。 図1は、本発明の好適な実施形態による回転角度センサ102の好適な実施形 態を概略的に示す。回転センサ102は、流体106で充填した容器104を含 む。好ましくは、容器104は円筒形であり、ここではシリンダ104と呼ぶこ とにする。シリンダ104内に羽根107を回転自在に取り付ける。好ましくは 、羽根107を軸110に取り付ける。軸110は、シリンダ104の中央軸1 11を貫通して延びる。好ましくは、軸110は、先細端部(pointed end)11 2aおよび112bを有する。流体を保持できる容器であれば、いずれでも本発 明に使用可能である。しかしながら、シリンダ104のような円筒形の容器を用 いることが好ましい。好適な実施形態では、軸110はステンレス鋼製とする。 最適な動作(performance)のためには、流体106は、羽根107の密度およ び質量と比較して、低い粘度および大きな質量を有することが望ましい。また、 流体106は温度による粘度または密度のばらつきを殆ど示さないことも望まし い。光学的(および/またはレーザ)検出手段を用いる場合、流体106は良好 な透過性質を有する必要がある。好適な実施形態では、流体106は水である。 所望の特性を有する水以外の流体も使用可能であることは、当業者には明らかで あろう。例えば、温度に極値(extremes)があり、水が凍結する可能性がある場 合、あるいは沸騰水が適正に機能しない場合、他の物質を用いることも可能であ る。 軸が発生する摩擦を減少させるために、端部を宝石軸受け113aおよび11 3bで保持することが好ましい。好ましくは、宝石軸受け113aおよび113 bは、孔または切り欠きを有する。好適な実施形態では、軸110の先細端部1 12aおよび112bを宝石軸受け113aおよび113bの孔にそれぞれ挿入 する。宝石軸受け113aおよび113bは、シリンダ104の上面177aお よび底面117bの内面に固定可能に取り付けることが好ましい。 前述の回転センサ102の実施形態では、羽根107がシリンダ104に対し て実質的に自由に回転することができるようにする。これは、シリンダ104が 回転する場合でも、流体106が羽根107を適所に保持しようとするからであ る。シリンダ104の内面と流体106との間に摩擦がないと仮定すると、シリ ンダ104は、羽根107を回転させることなく、その中心軸111を中心とし て回転することができる(例えば、矢印120で示す方向)。羽根107はシリ ンダ104の回転に対して固定されるので、シリンダ104の回転量を測定する ことができる。本発明の装置を用いた回転の測定について以下に説明する。 羽根が光検出器に対して反射する光の光学的検出を用いる本発明の実施形態で は、羽根107の一方側または両側を、反射性被膜118で被覆する。本発明を 用いることによって得られる信号の検出および処理については、以下で説明する 。好ましくは、羽根107は、白く染色したポリエチレンのような、光の拡散散 乱体(diffuse scatterer)である材料で作る。あるいは、羽根107に、例えば 、白いペンキのような反射性被膜を被覆することも可能である。好ましくは、反 射性被膜118は、羽根106の全表面またはいくつかの表面を覆う。あるいは 、反 射性被膜118は、羽根107の表面の一部のみを覆う。更に、好適な実施形態 では、反射性被膜118を羽根107の両面上に塗布する。あるいは、反射性被 膜118は、羽根107の一方の面のみに塗布する。 羽根107の位置を用いて、シリンダ104の回転を判定するためには、いく つかの構成を用いることができる。図2は、本発明の好適な実施形態による回転 角度センサを実施する構成を概略的に示す。図2を参照して、回転角度センサ1 02の上面切除図を示す。図2に示す実施形態は、2つの発光ダイオード(LE D)光源204および206、ならびに光検出器208を示す。好ましくは、L ED204および206は羽根107に光を照射する。反射性被膜のために、光 は、反射光として羽根107から反射する。羽根107の方位、およびLED2 04または206のどちらが活性状態にあったかに応じて、異なる量の光が反射 する。即ち、羽根107の方位が、事実上反射光を変調する。光検出器208は 反射光を受光する。 光検出器208は、公知の方法で、受けた光を電圧に変換する。公知の方法で 増幅器210において電圧を増幅し、エイリアス防止フィルタ212に渡す。エ イリアス防止フィルタは、従来のロー・パス・エイリアス防止フィルタである。 エイリアス防止フィルタ212は、その出力をコンピュータ214に伝達し、更 に処理してシリンダ104の羽根107に対する回転量を判定する。 好適な実施形態では、点線211で表すように、増幅器210およびフィルタ 212をアクティブ・フィルタ内で組み合わせる。好適な実施形態では、コンピ ュータ214は従来のマイクロコントローラである。本発明との関連において用 いるマイクロコントローラは、当業者には公知である。他の計算装置を用いて、 ここに記載するように、回転角度を判定することも可能であることは当業者には 明白であろう。 また、コンピュータ214はLED204および206の活性化も制御する。 光検出器は、光検出器2081つのみであるので、LEDを交互に活性化しなけ ればならない。コンピュータは、この交互の活性化を制御する。好適な実施形態 では、LEDを常時活性化しておく訳ではないので、電力の節約になる。LED は、交互に活性化するだけでなく、アクティブ状態にあるのは短期間のみである 。 好ましくは、光検出器208のサンプリングを毎秒50回行う。これが意味する のは、LED204および206を各々順番に点灯しなければならず、各々から の光は、20ミリ秒以内に光検出器208によって測定しなければならないこと である。好適な実施形態では、LED204および206は、3ないし4ミリ秒 の間のみ活性化するようにする。 LED204がアクティブ状態の間、次いでLED206がアクティブ状態の ときに光検出器208が受けた光量に基づいて、コンピュータは回転角度を判定 する。光検出器208が受けた光量に対応する値がコンピュータ214に与えら れた際に、回転量を算出するために使用可能な方法にはいくつかある。第1の方 法は、単純な値の参照テーブルである。即ち、回転角度に対応する値の二次元テ ーブルを記憶しておく。受けた光を適切に整数に変換した後の値を用いることに よって、回転角度を評価する。参照テーブルの回転値は、シリンダに対して既知 の回転角度に羽根207を実際に設定し、LED204がアクティブのときおよ びLED206がアクティブのときに受けた光量を測定することによって決定す る。次に、これを多数の角度において繰り返す。角度が多いほど、一層精度が高 い参照テーブルとなるが、一段と大きな参照テーブルとなるという犠牲を払う。 推定値の一層の高精度化には、公知の形態の補間を用い、実際の受光値が正確な 整数に変換されない場合に、これらを補間すればよい。このような補間は、当業 者には公知である。 回転角度を判定する他の方法として、多項式モデルを用いて回転センサ102 の出力をモデル化することがあげられる。例えば、公知の曲線当てはめ技法を用 いて、LED204および206が特定の角度で羽根207に照射するときに受 ける光量に当てはめることができる。次に、実際の使用時に、LED204およ び206によって受けた光量を、得られた多項式モデルに入力し、回転量を推定 することができる。 回転角度を判定する前述の方法は、計算時間および/またはメモリの使用に関 して不経済である。この理由のために、本発明の好適な実施形態は、回転角度を 判定するために、異なる方法を用いる。 好適な実施形態は、羽根207が回転する際、センサ出力「空間」内にそれが 追従する経路があるという事実を利用するものである。センサ出力空間は、羽根 をシリンダ104に対して種々の角度に設定した場合の光検出器208の出力を プロットすることによって、グラフに表すことができる。図3を参照すると、好 適な実施形態において、グラフの横軸304は、LEDの一方、例えば、LED 204を活性化した結果としての受光量(光検出器208の出力)を表す。グラ フ306の縦軸は、他方のLED、例えば、LED206を活性化した後の受光 量(光検出器208の出力)である。点308は、羽根207が回転しなかった 場合の出力である。また、点308は、センサ出力空間のゼロ角度としても定義 する。センサ出力によって定義した曲線の中心から点308を通過して延びる線 を、状態出力空間のゼロ度線309として定義する。好ましくは、状態出力空間 において測定した全ての角度は、ゼロ度線308を基準として測定する。点31 0では、羽根207は90度回転した後である。これは、状態出力空間における 180度の角度、即ち、セロ度線309から180度に対応する。 曲線302は、羽根207を360度回転させ、回転の間多数の点において出 力を測定することによって発生する。例えば、5度毎に出力を測定するとよい。 次に、曲線302を、センサ出力空間角度と実際の回転角度との間の1対1の対 応関係に変換する。これは以下のように行う。 曲線302上の各点は、ゼロ度線309と角度シータ(θ)をなすものと考え ることができる。角度シータは、曲線302の中心において一方の終点が形成さ れ、曲線上の対象点を通過する線と、ゼロ度線309との間にわたる角度である 。例えば、点312は、ゼロ度線309と約30度の角度を形成する。曲線30 2を作成する際に実際に測定した各点に対する角度を判定し、当該測定値対に対 する対応する既知の角度(羽根207を種々の角度に設定して曲線302を作成 したので、角度は既知である)と共にテーブルに格納する。 図4は、上述のようにして作成したグラフの動作時の使用法を表す。図4にお いて、LED204を活性化した後の光検出器208の出力(横軸304に対応 する)を、点402で表す。LED206の活性化の後の光検出器208の出力 (横軸304に対応する)を、点404で表す。これらの出力値は、センサ出力 区間では、点406に対応する。センサ出力空間グラフ302の中心から点40 6を通過するベクトルおよびゼロ度線309がなす角度に対応する角度シータ( θ)を算出することができる。図4の例では、角度θは60度と算出する。これ は、センサ出力空間における角度である。上述の角度測定値の参照テーブルを用 いて、回転角度を判定する。角度が参照テーブルの点の1つに正確に対応する場 合、それが回転角度となる。角度が正確に対応しない場合、公知の補間技法を用 いて回転角度を推定することができる。 参照テーブルの使用に加えて、一次元当てはめ曲線(one-dimensional fitted curve)を用いて、センサ空間角度からセンサ角度への変換を行うことができる。 参照テーブルまたは一次元曲線の当てはめのいずれかを用いることは、2つのセ ンサ出力からセンサ角度を導出するよりも効率的である。何故なら、2つの数値 (2つのフォトダイオードの出力)から1つの数値ではなく、1つの数値(セン サ空間角度)から1つの数値(センサ角度)の導出であるからである。 羽根107に対するシリンダ104の回転量を判定する第2の好適な実施形態 を、図5に概略的に示す。図5を参照すると、LED502を光源として活性化 し、反射性の羽根107を照らし、反射光を生成する。2つの光検出器504お よび506が反射光を受け、その強度を示す電圧を測定し供給する。光検出器5 04からの電圧は、増幅器段508aおよびエイリアス防止フィルタ510aを 通過し、コンピュータ512においてデジタル化し、格納する。光検出器506 からの電圧は、増幅器段508bおよびエイリアス防止フィルタ510bを通過 し、コンピュータ512においてデジタル化し格納する。好適な実施形態では、 増幅器段508aおよびフィルタ処理段510aを、点線511aで表すアクテ ィブ・フィルタ内で組み合わせる。同様に、好適な実施形態では、増幅器段50 8bおよびフィルタ処理段510bを、点線511bで表すアクティブ・フィル タ内で組み合わせる。 図5に示すように、本発明のこの実施形態は、その動作が図2に示したものと 類似する。しかしながら、図5に示す実施形態は、前述のタイミングの考慮を必 要としない。逆に、LED502は、必要に応じて活性化する(好適な実施形態 では、50回/秒)。電圧によって表す光量は、コンピュータ512が受け、コ ンピュータ512はこれを処理して、図2ないし図4において説明した実施形態 と同様に、回転角度を判定する。この場合、光検出器506からの出力は、LE D206の活性化後の光検出器208の出力に類似し、光検出器504の出力は 、LED204の活性化後の光検出器208の出力に類似する。残りの計算は、 前述のものと同一である。 この実施形態を図2に図示した実施形態と比較した場合、1対ではなく、2対 の増幅器/フィルタが必要となるという欠点がある。 図6は、本発明の別の好適な実施形態による、回転角度センサ601を概略的 に示す。回転センサ601は、シリンダ602、羽根604、LED606、光 検出器608、および軸610を有する。シリンダ602、羽根604、LED 606、光検出器608、および軸610は、図2に示したシリンダ、羽根、L EDおよび光検出器と同様である。羽根604の一方側または両側には、前述の ように、反射性被膜を被覆してある。前述のようにシリンダ604には流体61 1を充填してある。好ましくは、軸610は、検知対象物体に取り付ける。この 場合、点613aおよび613bにおいてこの物体に取り付けた取付具を有する 、宝石軸受けによって取り付ける(先に述べた)。 LED606を活性化して、反射性の羽根604に光を照射する。光検出器6 08が、羽根604の反射性面から反射した光を受け、このように受けた光量を 電圧に変換する。増幅器/フィルタ612によって、電圧の増幅およびフィルタ 処理を行う。前述のように、増幅器/フィルタ612は、2段プロセスとするこ とができる。増幅器/フィルタ612の出力をコンピュータ614に送り、デジ タル化して更に処理を進める。あるいは、データをコンピュータ614に送る前 に、デジタル化することも可能である。 増幅器/フィルタ612の出力を用いて、コンピュータ614は羽根604の 回転角度を判定する。1つのセンサおよび光源のみであるので、前述の2入力を 処理するにあたっての考慮は不要となる。したがって、コンピュータは、参照テ ーブルまたは多項式の当てはめのいずれかを用いて、受けた信号を処理する。 本発明のこの実施形態において用いる参照テーブルは、羽根604の回転角度 を固定し、LED606を活性化し、コンピュータ614において最終的に受け た対応する電圧を、デジタル化済みでも未だデジタル化が必要であっても、セー ブすることによって発生する。参照テーブルは、固定位置における回転角度と、 それに対応するデジタル化した光の値とから成る。任意数の回転角度について、 このプロセスを繰り返す。位置の数(異なる回転角度)が多い程、テーブルの精 度は高くなるが、テーブルが大きくなり、格納するためにより多くのメモリが必 要となるという犠牲を払うことになる。動作において、光量が格納してある値と 同一でない場合、公知の方法で参照テーブル値の補間を行い、回転角度を判定す ることができる。光の値および/または参照テーブルを整数に変換し、処理の一 層の効率化が可能であることは、当業者には明白であろう。この目的のためには 、公知のスケーリングおよび丸め(truncation)の技法が使用可能である。 あるいは、多項式を導出し、受けた光の量を回転角度に変換することも可能で ある。これを行うには、多数の公知の曲線当てはめ技法のいずれかを用いる。例 えば、最少二乗技法および三次元近似技法(cubic spline technique)を用いるこ とができる。好適な実施形態では一次多項式を用いるが、多項式を一次に限定す ることは必要条件ではない。本発明のこの実施形態による回転角度センサは、少 ない部品で済むが、図2または図5の実施形態よりも測定範囲は更に限定される ことを注記しておく。この実施形態の明確な測定範囲は、図2および図5の実施 形態の明確な範囲が180度であるのに対し、90度である。 図7は、本発明の別の好適な実施形態による回転センサ701を概略的に示す 。回転センサ701は、流体充填シリンダ702、羽根704、LED706、 光検出器708、ならびに宝石軸受け713aおよび713bに回転自在に取り 付けてある軸712を含む。流体充填シリンダ702、羽根704、LED70 6、光検出器708、軸712、ならびに宝石軸受け713aおよび713bは 、前述のものと同様である。羽根704は、様々な面で異なる。第1に、羽根7 04には反射性被膜が不要である。第2に、羽根704は、中心に穿設した孔7 10を有する。孔710によって、LED706から発した光は光検出器708 に達し、光検出器708が受光することができる。 光検出器708が受けた光を電圧に変換する。電圧を増幅器/フィルタ714 に通過させる。前述のように、増幅器/フィルタ714は、2段で実現すること ができる。増幅器/フィルタ714の出力をコンピュータ716に送る。出力は 、 コンピュータ716が受ける前または受けるときにデジタル化することができる 。このようなデジタル化は、当業者には公知である。これらのデジタル化技法は 、ここに記載する実施形態のいずれでも使用可能である。 羽根704が回転すると、光検出器708の見通し線(perspective)から見た 孔710の断面積のサイズが変化する。したがって、孔710を通過し最終的に 光検出器708が受ける光量が変化する。受けた光の量を用いて、コンピュータ 716は回転量を判定する。好ましくは、この判定は、参照テーブルまたは多項 式の当てはめを用いて行う。その技法については、先に図6に関して説明してあ り、ここで再度説明する必要はないであろう。当業者であれば、ここに与える記 載に基づいて、必須の参照テーブルまたは多項式モデルをどのように作成し使用 するかについて分かるであろう。また、当業者であれば、受けた光量から回転角 度を判定する他の技法も利用可能であり、本発明の範囲および精神に該当するこ とも分かるであろう。 前述の2つの光源または2つの光検出器を用いることによって180度の明確 な測定範囲を得る方法と類似した方法で、図7に示す実施形態は、例えば、対7 06/708から90度の位置に、追加のLED/光検出器対を増設し、角度を 明確にすることが可能である。この理論は、図2に示した実施形態について説明 したものと同一であり、ここで繰り返す必要はないであろう。 図8は、本発明の別の好適な実施形態による回転センサ81を概略的に示す。 回転センサ801は、流体充填容器802(前述のものと同様)、軽量羽根80 4(前述のものと同様であるが、図8に示す実施例には、反射性被膜は不要であ る)を含む。羽根804は、軸805に取り付けてある。軸805は、宝石軸受 け813aおよび813bを用いて、測定対象物体に回転自在に取り付けてある 。また、回転センサ801は、カム806、844、1対以上の電極808およ び809、ならびに各電極対間に接続してある電流源814aおよび814bも 含む。第1の電極対808は、電極808aおよび808bを備え、第2の電極 対809は、電極809aおよび809bを備えている。流体813は、完全な 導電体でないことが好ましい。 この好適な実施形態では、カム806は、カム周囲で予め決めたように直径が 変化する誘電体である。この好適な実施形態では、円形のプラスチックを用い、 スタッフに取り付けるが中心点から多少ずらすことによって、カム806を形成 する。あるいは、カム806は、カム周囲で予め決めたように厚さが変化するも のとしてもよい。好適な実施形態では、誘電体は、ポリエチレンまたはその他の 種類のプラスチックであるが、他の誘電体も使用可能であることは、当業者には 明白であろう。好ましくは、電極対808および809は、対の一方の電極がカ ムの上側にあり、対の他方の電極がカムの下側にあるというように実装する。図 8に示すように、例えば、電極対808の電極808bはカムの上側にあり、電 極対808の808aはカムの下側にある。同様に、電極対809の電極809 aはカムの上側にあり、電極対809の809bはカムの下側にある。このよう にして、電極間にある誘電体の量に比例するインピーダンスを有するコンデンサ を形成する。部分的に導電性のある流体813(例えば水)を用いる場合、電極 間の容量に加えて、変調抵抗値(modulated resistance)があり、これを測定する ことができる。容量を測定しようとする場合、電流源814aおよび814bは 交流電流を供給し、増幅器810に入力する電圧を生成する。抵抗値を測定しよ うとする場合、直流電流源を用いることができる。 好適な実施形態では、カム806を羽根804に固定的に取り付け、一方電極 対808および809をシリンダ802に固定的に取り付ける。したがって、シ リンダ802が羽根804に対して回転すると、電極対808および809はカ ム806に対して回転しようとする。カム806の厚さ(または直径)が変化す ることによって、誘電体量が変化し、したがって電極対間のインピーダンスが変 化する。カム806周囲の各点における厚さまたは直径は分かっているので、当 該点における電極対間のインピーダンスが分かる。一方、インピーダンスは、電 極対間に発生する電圧に影響を与える。この電圧はインピーダンスに対応するの で、当該点におけるカム806の厚さまたは直径が測定できる。このようにして 、カムの位置が判定でき、これからシリンダ802の回転量を判定することがで きる。 増幅器/フィルタ810aおよび810bによって、電圧を増幅しフィルタ処 理する。フィルタの出力をコンピュータ812に送り、更に処理してシリンダ8 02の回転量を判定する。前述のように、増幅器/フィルタ810aおよび81 0bの出力は、コンピュータ812に到達する前、またはこれらがコンピュータ 812に到達したときに、ディジタル化することができる。更に、前述のように 、増幅器/フィルタ810aおよび810bは、2段で実現することができる。 カム806上の種々の位置に対応する電圧を有する参照テーブルを作成するこ とができる。参照テーブルは、前述のものと同様である。参照テーブルは、電圧 および対応する回転角度(カム806上の既知の位置から判定する)を有するエ ントリを含む。動作において、コンピュータ806は、電圧を参照テーブル内の 電圧と比較することができる。電圧が一致した場合、カム806上の位置が正確 に分かり、角度または回転を参照テーブルから読み出す。一致する電圧がない場 合、公知の補間技法を用いて回転量を判定する。 あるいは、参照テーブル内の電圧を整数値に変換することも可能である。コン ピュータ812が電圧を受けたときに、同じ変換を行う。この場合、参照テーブ ルには、整数値のインデックスを付ける。これによって、一層効率的なデータ検 索が可能となるが、補間はこちらの方が難しくなる。 先に用いたLED/光検出器構造の代替実施形態では、光ファイバ測定技法を 用いて、羽根の位置を測定することができる。図8Aは、光ファイバ羽根測定デ バイス850の好適な実施形態を概略的に示す。 図8Aを参照すると、流体充填シリンダ852の側面図を示してある。羽根8 54は、前述の羽根と同様に、シリンダ852に回転自在に取り付けたものとし て示してある。光ファイバのループ856を羽根854に取り付けてある。この 好適な実施形態では、ループ856は、グルー(glue)のような接着剤を用いて取 り付ける。ループ856はシリンダ852の内側に緩く取り付け、前述のような 回転の測定中に、羽根854が妨害なく自由に回転するようにする。こうするた めには、光ファイバ856はゲージが小さい(125マイクロメートルのような )もので、一般的に用いられているプラスチック被膜のような可撓性があり軽量 の被膜のみで被覆しなければならない。ループ856を形成する光ファイバの端 部を、光プロセッサ857に取り付ける。光プロセッサ857は、光源858、 およびフォトダイオードのような光強度検出器860を含む。光プロセッサ85 7 の出力をコンピュータ862に伝達し、角速度を判定する。 光源858は、既知の強度の光を出力する。回転センサ851の角度により羽 根が回転すると、シリンダ852への取付部と羽根854との間のループ856 の部分は、曲率半径が変化する。これらの変化が、光の強度変化を誘発する。し たがって、光プロセッサ857が受ける光強度の変化を測定することによって、 角度を測定することができる。好適な実施形態では、これを行うために、参照テ ーブルおよび/または多項式の当てはめを用いる。ここに記載する本発明の説明 に基づけば、参照テーブルまたは多項式の当てはめをどのように発生し使用する かは、当業者には明白であろう。 羽根の回転軸に垂直な軸に沿ったセンサの回転が、有害な影響を及ぼす可能性 がある。これは、シリンダの中心にある流体のいくらかが、このような動きの間 、シリンダに対して回転しようとするからである。垂直に回転する流体に対して 羽根を非対象的に方位付けると、望ましくない力が羽根を動かそうとして誤差が 生ずる。 前述の実施例におけるシリンダの方位付けを、その軸が地球(またはその他の 重力物体)に平行となるようにすると、それを取り付けてある物体の傾斜を測定 するために用いることができる(例えば、回転または勾配)。しかしながら、羽 根(複数)が完全に釣り合っている場合、振動、温度変化、またはその他の環境 変化の間に遅いランダムな回転が発生する可能性がある。このドリフトをなくす ために、羽根(複数)を多少不均衡状態とする。重力の効果が、羽根に一定の方 位を探させる。 羽根(複数)を不均衡状態とし重力方位(gravitational orientation)を利用 する場合、注意が必要である。羽根を余りに一方的に不均衡とすると、線形加速 のために誤った読取が生じる可能性がある。しかしながら、羽根は流体に対抗し て移動する必要があるので、応答は非常に弱くなる(文字通り)。しかしながら 、羽根を僅かだけ不均衡にすることにより、重力によって適正な方位付けがなさ れようとする。これは遅いが有用である。不均衡は僅かに過ぎないので、多くの 用途において、他の加速度に対する著しい反応はない。 好適な実施形態では、羽根の両側の各々に異なる長さを用いるか、または一方 の側に孔を挿入することによって、不均衡状態を実現する。羽根を僅かに不均衡 にして重力方位を利用する他の方法も、当業者には明白であろう。 図9は、軸外れ回転(off-axis rotation)の影響を低減する好適な技法を概略 的に示す。図9は、流体充填シリンダ902、およびそれに取り付けてある反射 性の羽根904を示す。図9において、反射性領域は、羽根904の表面を一部 のみ覆っている。あるいは、前述のように、反射性物質で羽根4904の表面全 体を覆ってもよい。 軸外れ回転の影響を低減するために、羽根904の端部908aおよび908 bをリング906に取り付ける。好ましくは、グルーのような接着剤を用いて端 部908aおよび908bを取り付ける。好適な実施形態では、リング906は 透過性であり、前述のようにLEDからの光が光検出器に反射されるようにする 。 リング906は、羽根の形状を修正して軸外れ回転に対して対称性を高め、軸 外れ回転の問羽根を異常回転させるように作用する正味の力を減少させる。表面 積が大きい程、横加速度の存在の下での羽根の動きに抵抗する。 前述のように、横加速度は、回転センサの精度に悪影響を与える。この理由の ために、横加速度の影響を減少させることおよび/または補償することが望まし い。これを減少および/または補償する好適な方法にはいくつかあり、機械式の ものや計算式のものがある。 図10は、流体と接触する羽根構造体の表面積を広げることによって、横加速 度の影響を低減するための好適な実施形態による回転センサ1002を示す。図 10を参照すると、流体充填シリンダ1002が、4枚のパネル100a〜10 0dを有する羽根を内蔵している。パネル数を増加すると、それ自体におけるお よびそれ自体の、流体と接触する羽根の表面積が広がるが、回転角度を判定する ための複雑度も増大する。何故なら、光はいくつかのパネルで反射し得るからで ある。前述のように、シリンダ1002に回転自在に取り付けた軸1005にパ ネルを取り付ける。 この難題を克服するために、図9に示したものと同様に、パネル1004a〜 1004dの端部にリング1006を取り付ける。リング1006の外側に、反 射性物質1008を配する。この実施形態では、リング1006は、軸外れ回転 の望ましくない影響の除去も付加的に行う。好適な実施形態では、反射性物質は 、その幅がリング1006周囲で変化する。幅を変化させることによって、リン グ1006上の正確な位置情報を与える。あるいは、デジタルの位置情報、例え ば、リング1006上の基準点からの度数で位置を示す数値を符号化したパター ンとした反射性物質1008を、リング1006の外側面上に配する。幅を変化 させる実施形態の場合に回転角度を判定するには、光検出器(図示せず)によっ て光量を検出し、前述のようにコンピュータ(図示せず)によって処理する。デ ジタル符号化の場合、反射光は、位置を示すデジタル・ワードを示す。このデジ タル・ワードをコンピュータ(図示せず)によって読み取り、位置を判定する。 このようなデジタル・エンコーダ/デコーダは、当業者には公知である。 リング1006は回転角度の判定を簡略化するだけでなく、羽根構造体100 7に「水車」構造を与える。水車構造は、流体に接触する羽根構造体1007の 表面積を広げる。前述のように、流体と接触する表面積を広げることにより、横 加速度の影響を減少させる。 図11Aおよび図11Bは、横加速度の影響を補償する好適な実施形態を示す 。図11Aおよび図11Bにおける回転センサは、横加速度を補償するための機 械および計算を混成した解決策である。図11Aを参照すると、回転センサ11 01は、第1の羽根1104および第2の羽根1106を内蔵した流体充填シリ ンダ1102を含む。羽根1106には、孔1108を穿設してある。羽根11 04および1106は双方とも、軸1107に固定的に取り付けてある。軸11 07は、好ましくは、宝石軸受けを用いて、点1110aおよび1110bにお いてシリンダ1102に回転自在に取り付けてある。しかしながら、軸1107 は2つの部分を有するので、羽根1104は羽根1106とは独立して回転する ことが可能である。 動作において、回転センサ1101が横加速度を受けると、羽根1104は羽 根1106よりも動くのが少なくなる傾向となる。その理由は、孔1108が羽 根1106の両側間の質量不均衡を増大し、それによって羽根1106上の正味 のトルクの方が大きくなるので、羽根に対する横加速度の影響が増大するからで ある。横加速度がない場合、双方の羽根は同じ値を読み取るはずである。したが って、横加速度の影響を判定するために、コンピュータ(図示せず)によって、 羽根1104および1106間の読取値の差を判定する。次に、この差を参照テ ーブルに供給する。参照テーブルは、関連する横方向加速度および差の値の対を 含むエントリを有する。次に、横加速度の値を用いて補償値を決定し、羽根11 04が与える回転の値を調節するために用いる。 参照テーブルを作成するには、回転センサ1101を種々の横加速度に晒し、 関連する差の値および横加速度の値の対を含むエントリを作成する。前述のよう に、正確な差の値が参照テーブル内で見出せない場合、補間技法を用いることが できる。 図11Bは、横加速度の影響を補償する、回転センサ1101aの別の好適な 実施形態を概略的に示す。回転センサ1101aは、羽根1104aおよび11 06b双方に孔を有することを除いて、回転センサ1101と同一である。この 実施形態では、双方の羽根は大きな質量の不均衡を有する。しかしながら、これ らの質量の不均衡は異なるので、それらが受ける加速度による影響は、その度合 いが異なる。このように双方の羽根を不均衡とすることにより、羽根にかかる重 力によって、安定化させる力が確実に大きくなるようにする。このため、流体の 粘度による摩擦力により、回転への影響は僅かなもののみとなる。その結果、こ のような力の数学的補償(以下で述べる)を簡略化することができる。その他の 全ての点に関して、回転センサ1101aは、回転センサ1101と同様に用い る。 また、横加速度の影響は、計算によって考慮することも可能である。図12A および図12Bは、横加速度が長時間続き羽根を流体中で移動させたことによる 誤差を補償する回路を概略的に示す。図12Aおよび図12Bに示す回路は、電 子的なハードウエアまたはソフトウエアで実施することができる。この望ましく ない影響を、ロー・パス・フィルタとしてモデル化することができる。図12A を参照すると、横加速度の影響を除去する回路1201を概略的に示してある。 回転センサ1202の出力1203を、ロー・パス・フィルタ1206(LPF )を通過する横加速度としてモデル化し、これを実際の回転角度(θ)に加算す る。LPF1206は、回転センサの横加速度に対する応答の伝達関数のモデル であ る。好適な実施形態では、LPF1206を、二次バターワース・フィルタ(sec ond order butterworth filter)としてモデル化する。バターワース・フィルタ の係数は、フィルタ出力が所定の許容範囲内でデバイスの出力を測定するまで、 デバイスの試行錯誤検査を通じて経験的に決定する。本発明の好適な実施形態に よれば、回転センサの実施形態毎にパラメータは変化する。 好適な実施形態では、加速度計1204を用いて、加速度および実際の回転角 度(θ)を測定する。加速度計は、それが動いていない場合、回転角度即ち重力 を測定することは当業者には公知であろう。加速度計1204の出力1205は 、回転角度、および回転デバイスのシリンダに与えられる横加速度の関数である 。横加速度の効果を除去するには、加速度除去回路1208によって、実際の角 度(θ)の推定値を生成する。 図12Bを参照すると、横加速度の効果を除去する回路1208を概略的に示 してある。回転センサ1203の出力および加速度計1205の出力を、加速度 除去回路1208に入力する。加速度計の出力1203を回転センサのモデルに 印加し、回転センサの横加速度(acc)に対する影響の推定値を生成する。L PFが線形デバイスであると仮定すると、その出力は、実際の角度(LPF(θ)) のフィルタ応答と、フィルタ処理した横加速度(LPF(acc))との和とな る。減算器1210がLPF1206の出力および回転センサ1203の出力を 減算し、加速度LPF(acc)の影響を除去する。即ち、LPF(acc)項 同士が、減算器1210内の減算のために打ち消しあう。次に、減算器1212 の出力をフィルタF1に入力する。フィルタF1は、それ自体からロー・パス・ フィルタ処理した信号を減算することの逆である応答を有するフィルタである。 このフィルタは、いくらかハイ・パス・フィルタと同様に作用する。 フィルタF1が確かに安定していることに注意を払う必要がある。F1は、角 度変化が頻繁に生じない場合、処理対象の信号が殆どなくなるため、安定でなく なる可能性がある。これは、0−LFP(0)が殆ど0となるからである。純粋 に数値的なフィルタの代替案として、発見的知識を用いて、F1を補強(augment )することができる。例えば、1つの発見(heuristic)として、F1の値が加速度 計および回転センサの出力と比較して小さい場合、回転センサは主に加速度を受 け ており、したがってフィルタの利得は減少する可能性があるというものが可能で ある。他の発見としては、加速度計および回転センサからの入力の値が非常に近 い場合、回転センサは主に回転を受けているというものが可能である。この場合 、フィルタF1のパラメータを修正し、純粋な回転センサ信号を多く、フィルタ 処理作用を少なく出力するようにすることができる。 加速度除去回路1208の代わりの好適な実施形態は、センサに対する加速度 の影響を記述する異なる方程式による解決策である。このような方程式は、当業 者には公知の技法を用いて解くことができる。横加速度の影響を記述する1つの 簡略化した式は以下の通りである。 γ=羽根の地球に対する角度(加速度によるセンサ出力の誤差) dγ/dt=ガンマの時間導関数 d2γ/dt2=ガンマの二次時間導関数 g=地球による重力加速度 av=加速度の垂直成分 ah=加速度の水平成分 k1=流体内の羽根の2つの半部分間の質量不均衡に比例する定数 k2=流体内の羽根の抵抗係数を示す定数 とすると、 d2γ/dt2=−k1(g+av)sin(γ)−k1ahcos(γ)−k2 dγ/dt 1つの加速度計を用いて成分ahを測定する(センサが0度付近で動作してい ると仮定できる場合)か、または2つの加速度計を用いてah,g,およびavの 成分を測定することにより、この式を解いて、加速度による誤差を求めることが できる。次に、これをセンサ出力から減算する。 図12Bに示す「Acc.除去」動作の更に別の代替実施形態は、ニューラル ・ネットワーク・プロセッサを用いて、加速度計および回転センサからの信号を 結合するというものである。ニューラル・ネットワークを種々の加速度および回 転の例で訓練し、センサ信号から横加速度の影響を除去し、正しい角度出力を生 成するように自動的に学習させる。これらの入力および出力が与えられた場合に 、 ニューラル・ネットワークをどのように構成し訓練するのかについては、当業者 には明白であろう。 用途によっては、本発明の回転センサを非常に小さくすることが好ましい場合 がある。例えば、自動車の用途に用いる回転センサは、その直径が1/2インチ 程度でなければならない。他の用途には、直径がミクロン単位以下の微細加工セ ンサを必要とするものもあり得る。しかしながら、超小型センサに伴う問題は、 摩擦のために流体がシリンダと共に回転し始めようとするということである。急 速にまたは長時間回転する場合、これら摩擦力は流体にトルクを加え、最終的に 液体は測定可能な程度にまで回転し始める可能性がある。勿論、流体の回転のた めに羽根が回転し、回転センサから出力誤差が生ずることになる。これと同じ現 象が、粘度の高い流体を用いる場合にも発生する可能性がある。多くの場合、摩 擦の影響は、高精度の結果のためには、できるだけ多く減少させる必要がある。 摩擦の影響は、図13Aに示す方法1301によって補償することができる。 図13Aを参照すると、ステップ1302において、回転センサ出力の数学的モ デルを作成する。モデルを発生する方法の1つは、実際のセンサからのデータを 用いることである。データを曲線に当てはめ、モデルを発生することができる。 モデルを発生する他の方法は、センサの理論的モデルからのデータを使用するこ とである。いずれの場合でも、モデルは、シリンダの回転に基づいて、センサ出 力を予測する。ステップ1304において、公知の技法を用いて、このモデルの 逆モデルを作成する。逆モデルは、センサの読取値を補正角度読取値に変換する 。実際の使用では、例えば、ステップ1306において、回転センサからの見掛 け上のデータ1305を逆モデルに入力し、補正した角度1308を逆モデルか ら出力する。 続いて、本発明の好適な実施形態によるモデルの一例およびその逆について説 明する。このモデルでは、流体は、当該流体の全てが同じ角速度で回転するコラ ムによって近似できると仮定することは1つの簡略化である。次に、微分方程式 を書くことができ、シリンダ(したがって、センサを取り付けたオブジェクト) の角度位置についてこれを解くことができる。 このモデルでは、 θ=流体の角度位置、 Φ=シリンダの角度位置(補正した角度)、 F(θ,Φ)=α=回転センサの出力(測定した角度により明らか)、 dx/dt=xの時間導関数、および d2x/dt2=二次導関数、 である。 流体に対する力が、シリンダと流体との間の角速度差に比例すると仮定すると 、角度力(angular force)即ちd2θ/dt2は、以下のようになる。 d2θ/dt2=k(dΦ/dt−dθ/dt)、または同等に、 d2θ/dt2=k1(dΦ/dt−dθ/dt) (式1)または、 式1を積分することにより、 dθ/dt=k1(Φ−θ) (式1.5) ここで、k1は、シリンダの半径、摩擦力、および流体の密度を含む種々のパラ メータに依存する量である。 センサは、羽根とシリンダとの間の相対的な角度位置を測定する。 F(θ,Φ)=k2(Φ−θ) (式2) ここで、k2は、センサの利得に関係する量である。k1およびk2は、経験的 に決定することができ、あるいは物理的な分析によって決定することができる。 式1.5の式2への代数的な代入により、次の式が求まる。 F(θ,Φ)=k2(dθ/dt/k1)、または 式2から、Φ=1/k2F(θ,Φ)+θであるから、したがって、 k1およびk2に適正な値を選択すれば、式3は、角度の測定値を改善し、粘 度や小径シリンダによる理想的でない影響を補正する。基本的なモデルでは、式 1を改善し、非線形性、軸受け上の羽根(複数)の回転摩擦、温度等を考慮し、 一層の改善を図った角度測定値を得ることができる。 逆数学的モデル1306の別の実施形態を概略的に図13Bに示す。このモデ ルは、摩擦の影響による誤差が、センサの総出力よりも大幅に小さい場合に用い ることができる。図13Bを参照すると、回転センサ1320の出力をモデル化 してある。重要な摩擦源は、角速度(dθ/dt)に比例すると仮定する。流体 間摩擦、粘性効果を、ロー・パス・フィルタ1324で近似する。一般的に、ロ ー・パス・フィルタ1324の応答は、ロー・パス・フィルタ1206の応答と は同等でないことを注記しておく。種々の角速度および角加速度において取った データの経験的分析によって、ロー・パス・フィルタ1324のパラメータを見 出す。 図13Bにおいて、流体間摩擦、粘性効果は、角速度に作用し、センサ132 6によって出力する見掛け上の角度(α)に加算される。その和は、流体のシリ ンダの内面との摩擦の影響、および流体の粘度を考慮し改善を図った回転角の推 定値となる。 2つの検出器を用いて実施する本発明の回転角度センサ(例えば、図2および 図5を参照)において検討可能な別の考慮点は、検出した信号レベルを変化させ る温度またはその他の影響に対する補償である。このような影響は、受けた信号 にも同様に影響を及ぼす。双方の検出器が同様に影響を受けるので、センサ出力 空間曲線全体がシフトすることになる。図14は、温度上昇に対する、センサ出 力空間のシフトを示す。最初にセンサは10度であった。前述のように決定した 出力空間は、曲線1402である。後のある時点で、動作温度が50度に上昇し た。このために、出力空間が、曲線1402から曲線1404にシフトした。曲 線がシフトするのは、温度変化が双方のセンサ出力源からの測定値双方に同様に 影響を及ぼすからである。センサ出力源は、1つのLEDによって活性化するよ うにした2つのフォトダイオード、または2つのLEDによって活性化するよう にした1つのダイオードのいずれかであり、横軸1406および縦軸1408に よって表してある通りである。 このような温度変化を補償するために、センサ・システムは、センサ出力空間 のどこに特定の測定点があるかに注意する。測定点が曲線上にない場合、センサ ・コンピュータは、測定点が再度曲線上に乗るように、どの辺に曲線がシフトし たかについて判定を行う。この情報を用いて、コンピュータは、センサ出力空間 に新たな中心点を判定し、これから回転角度を計算する。これによって、温度変 化による誤差を実質的に排除する。 好適な実施形態では、シフト量を決定する基準点は点1410、即ち、センサ 出力空間の中心から45度の角度のところにある点である。その理由は、双方の センサが同じように影響を受け、曲線は常に45度の点に沿って移動するからで ある。したがって、新たな45度点が、元のセンサ出力空間曲線上のいずれかの 点と整合し、そのため、温度変化はなかったという指示が得られる可能性は非常 に低い。しかしながら、基準点が新たな曲線と一致する可能性は低いので、セン サ出力空間内のいずれかの点を理論的に用いることができることは、当業者には 明白であろう。 角速度の測定 車両のロールオーバ検出のように、用途によっては、前述のセンサが本質的に 与える絶対角度に加えて、補助パラメータとして、角速度を測定することが望ま しい場合がある。第1の好適な実施形態では、角度測定値を前述のように計算し た後にこれらを微分するように前述のコンピュータをプログラムしてある。前述 の角度計算から、この説明中の微分をどのように行うかは当業者には明白であろ う。このような数値微分の欠点の1つは、信号におけるノイズの影響である。例 えば、低コストの構成要素を用いたために出力のデジタル化によって出力に著し い量子化(即ち、段々)が発生した場合、微分は、実際の角速度よりはむしろ、 デジタル化の副作用である対応するノイズ(例えば、スパイク)を含む。解像度 を高めたデジタル化を行って、量子化誤差を低減することができる。しかしなが ら、一般的に、デジタル化の解像度が高い程一層高価な構成要素が必要となり、 回転センサの実施において、それを推進する要因がコストである場合には、他の 解決策が必要となる場合もある。 他の技法として、ロジック・プロセスを用いて、量子化ノイズによる誤差の相 当の量を検出し補正することがあげられる。これを効果的に行うためには、シス テムの要求周波数応答より高い周波数で、センサ出力をサンプリングしなければ ならない。好ましくは、サンプリング・レートは、システムの周波数応答の約4 ないし8倍とする。好適な実施形態では、以下の論理ルールを実装する。 a.あるサンプル期間において、値が2つの隣接する値の間を行ったり来りす る場合、回転センサはゼロの角速度を出力する。これは、例えば、センサの出力 が2つの「同等の」値の間で行ったり来りしている場合に発生する可能性がある 。 b.センサ出力において、ほぼ均一なステップが、サンプル期間全体にわたっ て観察される場合、回転センサは傾斜を出力する。これは、公知の方法で、観察 した角度測定値から算出する。 c.サンプル期間にわたって非均一なステップが観察される場合、回転センサ は、当該サンプル期間において隣接する「等価な」値間でステップを調節し、サ ンプル期間全体にわたって最も均一なステップ・サイズを与える傾斜を選択する 。 量子化の影響を更に低減するための代替実施形態として、本発明の回転センサ 内のフォトダイオードからの電子信号を微分することによって、誤差を小さくす ることができる。これを行うにあたって、サンプリング解像度の向上は不要であ る。公知のアナログ微分回路を用いて、電予的に光検出器の信号を微分可能であ ることは、当業者には明白であろう。この電子的に微分した信号は、異なるA/ Dチャネル上で、角度と同じ解像度でサンプリングすることができる。このよう に電子的に微分することにより、量子化の問題を回避する。何故なら、量子化の 前に導関数を計算するからである。このような電子的な微分は、多くの場合、前 述の論理的な方法よりも、量子化の影響の多くを低減することができる。 図15は、回転センサを取り付けた物体の回転の角速度を機械的に測定するた めの、本発明の好適な実施形態による回転角度センサ1501を概略的に示す。 回転角度センサ1501は、流体充填シリンダ1502(前述のものと同様)を 含む。加えて、回転角度センサ1501は、可撓性カンチレバー1504も含む 。可撓性カンチレバー1504は、シリンダ1502の内面にその一端1505 を固定して取り付けてある。好適な実施形態では、可撓性カンチレバー1504 は、グルーのような接着剤を用いて取り付ける。 回転角度センサ・デバイス1501の回転によって、可撓性カンチレバー15 04が屈曲する。屈曲の量は回転の角速度に比例する。角速度が大きい程、可撓 性カンチレバー1504の屈曲は大きくなる。したがって、角速度は、カンチレ バー1504の屈曲を測定することによって算出することができる。 好適な実施形態では、角速度は、参照テーブルまたは多項式の当てはめを用い て算出する。参照テーブルの場合、多数の既知の角速度について、可撓性カンチ レバー1504の屈曲量を測定し格納する。即ち、既知の速度で回転角度センサ 1501を回転させ、可撓性のカンチレバー1504における屈曲量を測定し格 納する。動作において、実際に測定した屈曲量を、テーブル内のそれらと比較す る。一致があった場合、観察した屈曲に対応する値が角速度の正確な尺度となる 。一致がない場合、公知の補間技法を用いて、参照テーブル内の既知の値から角 速度の値を推定することができる。 多項式の当てはめの場合、多数の既知の角速度について、可撓性のカンチレバ ー1540の屈曲量を測定し格納する。次に、このデータを用いて、所定の多項 式の係数を決定する。係数を決定するための技法は、当業者には公知である。動 作において、実際に測定した屈曲量をパラメータとして多項式に入力する。多項 式の出力が角速度の推定値となる。 図16は、角速度を測定する回転角度センサ1601の好適な実施形態を概略 的に示す。図16を参照すると、流体充填シリンダ1602の切断上面図を示し ている。可撓性カンチレバー1604は、点1605においてシリンダ1602 の内面に取り付けてある状態を示している。光ファイバ1606のループが、可 撓性カンチレバー1604に取り付けてある。好適な実施形態では、ループ16 06は、グルーのような接着剤を用いて取り付ける。ループ1606を形成する 光ファイバの端部を光プロセッサ1607に取り付ける。光プロセッサ1607 は、光源1608および光強度検出器1610を含む。光プロセッサ1607の 出力をコンピュータ1612に伝達し、角速度を判定する。 光源1608は、既知の強度を有する光を出力する。回転角度センサ1601 の角速度のために可撓性のカンチレバーが屈曲すると、ループ1606が形状を 変化させる。これらの変化によって、光の強度が変化する。したがって、光プロ セッサ1607が受ける光の強度変化を測定することにより、角速度を測定する ことができる。好適な実施形態では、参照テーブルおよび/または多項式の当て はめを用いてこれを行う。ここに記載する本発明の説明に基づけば、どのように 参照テーブルまたは多項式の当てはめを発生し使用するかは、当業者には明白で あろう。 代替実施形態では、カンチレバー1604を反射性物質で作るか、あるいは図 2に示した羽根の実施形態におけるように、反射性被膜を被覆する。同等のLE Dおよび光検出回路を用いてカンチレバーの撓みを得て、前述と同じ技法を用い て角速度を算出する。 前述の実施形態のいずれにおいても、流体を保持することができるものであれ ば、あらゆる容器を使用することができる。好適な実施形態では、容器は、前述 のようにシリンダである。 前述の本発明の実施形態の開示は、例示および説明の目的のために提示したも のである。これだけで全てであり、開示した正確な形態に本発明を限定すること を意図する訳ではない。これまでの開示に基づいて、ここに記載した実施形態に 対して多くの変形および変更が当業者には明白であろう。ここに添付する請求の 範囲、およびその均等物によってのみ、本発明の範囲を規定するものとする。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,ML,MR, NE,SN,TD,TG),AP(GH,GM,KE,L S,MW,SD,SZ,UG,ZW),EA(AM,AZ ,BY,KG,KZ,MD,RU,TJ,TM),AL ,AM,AT,AU,AZ,BA,BB,BG,BR, BY,CA,CH,CN,CU,CZ,DE,DK,E E,ES,FI,GB,GE,GH,GM,GW,HU ,ID,IL,IS,JP,KE,KG,KP,KR, KZ,LC,LK,LR,LS,LT,LU,LV,M D,MG,MK,MN,MW,MX,NO,NZ,PL ,PT,RO,RU,SD,SE,SG,SI,SK, SL,TJ,TM,TR,TT,UA,UG,UZ,V N,YU,ZW

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1. 回転角度センサであって、 流体充填容器と、 前記流体充填容器に回転自在に接続してある羽根であって、前記シリンダが前 記羽根に対して実質的に自由に回転可能となるようにした羽根と、 を備えることを特徴とする回転角度センサ。 2. 請求項1記載の回転角度センサであって、更に、前記容器に回転自在に取 り付けてある軸を備えており、前記羽根を前記軸に固定して取り付けてあること を特徴とする回転角度センサ。 3. 請求項1記載の回転角度センサにおいて、前記羽根を不均衡としたことを 特徴とする回転角度センサ。 4. 請求項1記載の回転角度センサにおいて、前記羽根が反射によって光を広 く散乱し、更に、 前記羽根を照明する光源と、 前記羽根から反射する光を第1光強度測定値として検出する第1光検出器と、 前記羽根から反射する光を第2光強度測定値として検出する第2光検出器と、 前記第1および第2光強度測定値を用いて、回転角度を判定する計算デバイス と、 を備えることを特徴とする回転角度センサ。 5. 請求項1記載の回転角度センサにおいて、前記根が反射によって光を広く 散乱し、更に、 前記羽根を照明する第1光源と、 前記羽根を照明する第2光源と、 前記羽根から反射する光を光強度測定値として検出する光検出器であって、前 記第1光源による照明によって前記羽根から反射する光を第1光強度測定値とし 、前記第2光源による前記羽根から反射する光を第2光強度測定値とする、光検 出器と、 前記第1および第2光源による前記羽根の照明を交互に行う手段と、 前記第1および第2光強度測定値を用いて、回転角度を判定する計算デバイス と、 を備えることを特徴とする回転角度センサ。 6. 請求項1記載の回転角度センサにおいて、前記羽根が反射によって光を広 く散乱し、更に、 前記羽根を照明する光源と、 前記羽根から反射する光を、光強度測定値として検出するフォトダイオードと 、 前記光強度測定値を用いて、回転角度を判定する計算デバイスと、 を備えることを特徴とする回転角度センサ。 7. 請求項1記載の回転角度センサにおいて、前記羽根が孔を有し、更に、 前記孔を通じて光を伝搬させる光源と、 前記LEDによって前記孔を通じて伝搬した光を、光強度測定値として検出す る光検出器と、 前記光検出測定値を用いて、回転角度を判定する計算デバイスと、 を備えることを特徴とする回転角度センサ。 8. 請求項1記載の回転角度センサであって、更に、 前記羽根に固定して取り付けてあるカムと、 1つ以上の電極対であって、各々前記カムの一方側に第1電極、前記カムの他 方側に第2電極を有する、電極対と、 各電極対間に接続してある電流源と、 各電極対間で測定可能なインピーダンスを用いて回転角度を判定する計算デバ イスと、 を備えることを特徴とする回転角度センサ。 9. 請求項1記載の回転角度センサであって、更に、 前記羽根に固定して取り付けてあり、ループを形成する光ファイバ・ケーブル と、 前記光ファイバ・ケーブルの一端を通じてパルスを送る光源と、前記ケーブル の他端から戻ってくる光の強度を検出する光検出器とを有する光プロセッサと、 前記光強度に基づいて、回転角度を判定する計算デバイスと、 を備えることを特徴とする回転角度センサ。 10. 請求項1記載の回転角度センサであって、更に、前記羽根に取り付けて ある透明リングを備えることを特徴とする回転角度センサ。 12. 請求項1記載の回転角度センサにおいて、前記羽根が、複数のパネルか ら成ることを特徴とする回転角度センサ。 13. 請求項12記載の回転角度センサであって、更に、前記羽根に取り付け てあるリングを備えることを特徴とする回転角度センサ。 14. 請求項13記載の回転角度センサにおいて、前記リングが、幅が変化す る反射性被膜を有し、前記リング上の位置を示すことを特徴とする回転角度セン サ。 15. 請求項14記載の回転角度センサにおいて、前記リング上には、前記リ ング上の位置を示すデジタル・コードが符号化してあることを特徴とする回転角 度センサ。 16. 角速度センサであって、 流体充填容器と、 一端を前記容器の内面に固定して接続して取り付けてあるカンチレバーと、 を備えることを特徴とする角速度センサ。 17. 請求項16記載の角速度検出器であって、更に、 前記カンチレバーに取り付けてある光ファイバのループを備えることを特徴と する角速度検出器。 18. 回転角度を判定する方法であって、 (a)流体充填容器内に回転自在に取り付けてある羽根の間の角度を判定する ステップから成ることを特徴とする方法。 19. 請求項18記載の方法であって、更に、 (b)2つの光源間で、前記羽根の照明を交互に行うステップと、 (c)各光源による照明に応答して、前記羽根が反射した光を検出するステッ プと、 (d)前記反射光に基づいて、回転角度を判定するステップと、 を含むことを特徴とする方法。 20. 請求項18記載の方法であって、更に、 (b)光源によって前記羽根を照明するステップと、 (c)前記羽根から反射した光を検出するステップと、 (d)前記反射光に基づいて、回転角度を判定するステップと、 を含むことを特徴とする方法。 21. 請求項18記載の方法であって、更に、 (b)カムを前記羽根に取り付けるステップを含むことを特徴とする方法。 22. 請求項18記載の方法であって、更に、 (b)光ファイバ・ケーブルのループを前記羽根に取り付けるステップを含む ことを特徴とする方法。 23. 角速度を判定する方法であって、 (a)流体充填容器内にカンチレバーを取り付けるステップと、 (b)前記カンチレバーの屈曲量を測定するステップと、 (c)前記カンチレバーの屈曲量に応じて、角速度を判定するステップと、 から成ることを特徴とする方法。 24. 請求項23記載の方法であって、更に、 (d)光ファイバ・ループを前記カンチレバーに取り付けるステップと、 (e)前記ループを通じて光を送るステップと、 (f)前記光を受信光として受けるステップと、 (g)前記受信光に応じて角速度を判定するステップと、 を含むことを特徴とする方法。
JP11502954A 1997-06-05 1998-06-05 回転角度センサのための方法および装置 Pending JP2001502063A (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US4873897P 1997-06-05 1997-06-05
US60/048,738 1997-06-05
US6233697P 1997-10-15 1997-10-15
US60/062,336 1997-10-15
PCT/US1998/011679 WO1998055836A1 (en) 1997-06-05 1998-06-05 Method and apparatus for a rotation angle sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001502063A true JP2001502063A (ja) 2001-02-13

Family

ID=26726480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11502954A Pending JP2001502063A (ja) 1997-06-05 1998-06-05 回転角度センサのための方法および装置

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6204499B1 (ja)
EP (1) EP0923741A4 (ja)
JP (1) JP2001502063A (ja)
KR (1) KR20000068067A (ja)
AU (1) AU7821098A (ja)
BR (1) BR9806037A (ja)
CA (1) CA2262587A1 (ja)
WO (1) WO1998055836A1 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6594602B1 (en) 1999-04-23 2003-07-15 Halliburton Energy Services, Inc. Methods of calibrating pressure and temperature transducers and associated apparatus
US6507016B1 (en) * 2000-04-18 2003-01-14 Trw Inc. Apparatus and method for sensing a vehicle rollover condition
US7053787B2 (en) 2002-07-02 2006-05-30 Halliburton Energy Services, Inc. Slickline signal filtering apparatus and methods
US6904377B2 (en) 2003-03-17 2005-06-07 Northrop Grumman Corporation Method for measuring force-dependent gyroscope sensitivity
US7512461B2 (en) * 2003-11-25 2009-03-31 Delphi Technologies, Inc. Vehicle rollover sensing using angular accelerometer
US20070247613A1 (en) * 2006-04-24 2007-10-25 Mathieu Cloutier Fiber optic accelerometer
US8277119B2 (en) * 2006-12-19 2012-10-02 Vibrosystm, Inc. Fiber optic temperature sensor
CA2738665A1 (en) * 2008-10-01 2010-04-08 A-Tech Corporation Method and apparatus for precision azimuth measurement
KR20110035609A (ko) * 2009-09-30 2011-04-06 삼성전자주식회사 움직임 감지 장치 및 방법
US9300409B1 (en) * 2011-08-01 2016-03-29 eentec, LLC Rotational electrochemical seismometer using magnetohydrodynamic technology and related methods
KR101386251B1 (ko) * 2012-09-20 2014-04-21 한국전력공사 가동 물체의 모션 제어 장치 및 방법
US11512985B2 (en) 2014-05-12 2022-11-29 Phaedrus, Llc Control system and method for detecting a position of a movable object
WO2015175399A1 (en) 2014-05-12 2015-11-19 Phaedrus, Llc Detecting position of movable object in a device
JP6369399B2 (ja) * 2015-06-26 2018-08-08 株式会社デンソー センサ出力補正装置
US10598682B2 (en) * 2016-02-12 2020-03-24 Board Of Trustees Of Michigan State University Laser system for measuring fluid dynamics
CN106199065B (zh) * 2016-07-07 2019-04-30 朱建钢 一种管道低压微流量气体流动信号采集装置
DE102018133120A1 (de) * 2018-12-20 2020-06-25 Universität Rostock Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Rotationsmessung
RU2747047C1 (ru) * 2020-08-19 2021-04-23 Объединенный Институт Ядерных Исследований (Оияи) Лазерный инклинометр

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3680378A (en) * 1970-09-11 1972-08-01 Fibre Optics Ind Inc Fluid flow rate meter
GB1533232A (en) * 1974-11-12 1978-11-22 Short Bros Ltd Angular position reference devices
US4002077A (en) 1975-03-06 1977-01-11 The Bendix Corporation Integrating angular accelerometer
US3940983A (en) * 1975-03-19 1976-03-02 Safe Flight Instrument Corporation Faraday effect fluid flow and direction indicator
US4056722A (en) * 1976-09-29 1977-11-01 Dictaphone Corporation Shaft position sensor
US4163325A (en) * 1977-05-21 1979-08-07 Sperry Rand Limited Verticality sensors
US4232553A (en) * 1979-01-12 1980-11-11 Kbg Corporation Angular acceleration sensing apparatus
US4361040A (en) 1980-12-15 1982-11-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Integrating angular accelerometer
US4679029A (en) * 1984-09-04 1987-07-07 Eotec Corporation Optoelectronic rotational position sensor
US4779353A (en) 1987-03-26 1988-10-25 Schlumberger Technology Corporation Tool for measuring inclination and rotation
FR2619908B1 (fr) 1987-09-01 1989-12-15 Crouzet Badin Sa Gyrometre acoustique
US4825708A (en) * 1987-10-19 1989-05-02 Sevick Peter M Fiber optic velocity sensor/flow meter
US4976157A (en) 1989-11-08 1990-12-11 The Babcock & Wilcox Company Fiber optic flow sensor
US5120951A (en) * 1990-08-07 1992-06-09 Hughes Aircraft Company Optoelectronic motion and fluid flow sensor with resilient member deflected by fluid flow
US5416977A (en) * 1994-03-24 1995-05-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Pitch sensor system

Also Published As

Publication number Publication date
EP0923741A4 (en) 1999-10-20
US6204499B1 (en) 2001-03-20
BR9806037A (pt) 1999-08-24
AU7821098A (en) 1998-12-21
WO1998055836A1 (en) 1998-12-10
KR20000068067A (ko) 2000-11-25
CA2262587A1 (en) 1998-12-10
EP0923741A1 (en) 1999-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001502063A (ja) 回転角度センサのための方法および装置
RU2256881C2 (ru) Способ определения параметров ориентации и навигации и бесплатформенная инерциальная навигационная система для быстровращающихся объектов
Luczak Single-axis tilt measurements realized by means of MEMS accelerometers
MXPA99001293A (en) Method and apparatus for a rotation angle sensor
US5886260A (en) Centripetal opposed pendulous accelerometer
JPS63275913A (ja) 傾斜計
JP3732829B2 (ja) 傾斜角計測装置および傾斜角計測方法
SU651285A1 (ru) Вертикальный градиентометр
Laššák et al. Improvement of low-cost MEMS gyroscope characteristics by data filtering and fusion
CN113260832A (zh) 使用环面形通道和图像处理的陀螺仪
SU585444A1 (ru) Комбинированный датчик параметров движени
US5708206A (en) Centripetal opposed pendulous accelerometer
Masunishi et al. Demonstration of Gyro-Less North Finding Using a T-Shaped MEMS Differential Resonant Accelerometer
FR2619451A1 (fr) Unite de mesure pour mesurer les vitesses angulaires d'un missile tournant autour d'un axe principal
SU883744A1 (ru) Интегрирующий акселерометр
JPH07324930A (ja) 傾斜度測定装置
JP4318582B2 (ja) 傾斜角計測装置および傾斜角計測方法
CN105973453A (zh) 一种新型三轴绝对扭转振动传感器
JPH11337569A (ja) 振動加速度測定装置
SU1099286A2 (ru) Интегрирующий акселерометр
SU1719888A1 (ru) Устройство дл определени угла наклона подвижного объекта
JPS63117211A (ja) 傾斜計
WO2009035369A1 (ru) Способ определения скорости равномерного и прямолинейного движения объекта относительно земли и устройство для его осуществления
GB2357148A (en) Determining a spatial position using an array of single axis transducers
CN116699172A (zh) 一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置