JP2001347701A - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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JP2001347701A
JP2001347701A JP2000173431A JP2000173431A JP2001347701A JP 2001347701 A JP2001347701 A JP 2001347701A JP 2000173431 A JP2000173431 A JP 2000173431A JP 2000173431 A JP2000173431 A JP 2000173431A JP 2001347701 A JP2001347701 A JP 2001347701A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置全体の小型化を図るとともに、有機EL
素子が発する光を効率的に利用する。 【解決手段】 有機EL素子11からの光を反射面23
で全反射し、光の進行方向を変えて露光を行うので、有
機EL素子11の配置位置の自由度が大きくなる。この
結果、有機EL素子11を形成する位置の自由度が広が
り、装置の小型化を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、露光装置に係り、
特に有機エレクトロルミネセント素子(以下、「有機E
L素子」という。)を用いて感光体を露光する露光装置
に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】有機E
L素子は蛍光体の有機発光材料に電圧が加えられたとき
に発光するものであり、この有機EL素子の発光を利用
して感光体を露光する露光装置が提案されている。例え
ば、有機EL素子を1次元のアレイ状に配列した有機E
L素子アレイ光源を備え、この光源の発する光を感光体
に露光する露光装置が提案されている。
【0003】しかし、このような露光装置は、有機EL
素子アレイ光源が大きくなってしまうことから、その光
を結像するためのセルフォックレンズアレイ(以下、
「SLA」という。)も大きくなり、装置全体が大型に
なる問題がある。
【0004】また、従来では、有機EL素子を高デュー
ティ(≒100%)で駆動する時の配線パターンの引き
回しが複雑になっており、その配線パターンの簡略化に
応じて小型化を図ることも考えられる。さらに、今まで
以上に有機EL素子の発する光の利用効率を向上させる
必要もある。
【0005】本発明は、上述した問題点を解消するため
に提案されたものであり、装置全体の小型化を図るとと
もに、有機EL素子が発する光を効率的に利用すること
ができる露光装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
光透過性を有し、素子形成面から入射された光を光出射
面方向に反射する反射面が形成された基板と、前記基板
の素子形成面上に、アレイ状に配列された複数の有機電
界発光素子と、を備え、前記基板の光出射面から出射さ
れた光で感光体を露光するものである。
【0007】有機電界発光素子は、素子形成面から基板
の内部に向かって光を発する。その光の進行方向には、
光を全反射する反射面が形成されている。この反射面
は、素子形成面に対して45度の角度を成しているのが
好ましいが、30度から60度の角度を成していればよ
い。そして、反射面で反射された光は、基板の光出射面
を介して外部に出力され、感光体を露光する。このよう
に反射面を用いて光の経路を変えることで、有機電界発
光素子の設置位置の自由度が広がり、装置の小型化を図
ることができる。なお、反射面は、基板の内部に設けら
れているものに限らず、基板と空気層との境界であって
もよい。
【0008】前記基板の反射面は、請求項2記載のよう
に、基板の屈折率より小さい媒体との境界面、または光
を反射する反射部材が形成されている面によって形成さ
れるのが好ましい。
【0009】さらに、請求項3記載のように、前記基板
から出射された光を感光体上に集光させるレンズを更に
備えてもよい。ここにいうレンズは、セルフォックレン
ズアレイであってもよい。
【0010】前記有機電界発光素子は、請求項4記載の
ように、前記基板の素子形成面に、2以上の色相の光を
発する有機化合物層を積層して形成されてもよい。
【0011】請求項5記載の発明は、厚さ方向に光透過
性の矩形状基板が複数積層され、各矩形状基板の主面か
ら入射された光を端面方向に反射する反射面が形成され
た光透過部材と、前記各矩形状基板の主面上にアレイ状
に配列された各々異なる色相の光を発光する複数の有機
電界発光素子と、を備え、前記各矩形状基板の端面から
出射された光で感光体を露光するものである。
【0012】前記矩形状基板は、請求項1に記載された
基板を矩形状に形成したものである。このとき、前記矩
形状基板の主面、端面は、ぞれぞれ請求項1に記載され
た素子形成面、光出射面に相当する。したがって、矩形
状基板には、その主面上にアレイ状に配列された複数の
有機電界発光素子が形成されている。矩形状基板に形成
されている反射面は、有機電界発光素子からの光をその
端面方向に反射する。光透過部材はこのような矩形状基
板が複数積層して構成されていることから、小型化が図
られている。
【0013】また、請求項6記載のように、前記各矩形
状基板の光出射面に設けられる透明基板を更に備え、前
記各矩形状基板を固定するための接着層を各矩形状基板
間に形成してもよい。
【0014】さらに、請求項7記載のように、前記複数
の有機電界発光素子の電極にそれぞれ接続され、前記各
矩形状基板の主面に前記有機電界発光素子の配列方向と
交差する方向に配列された複数の配線を更に備えてもよ
い。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【0016】図1に示すように、本実施の形態に係る露
光装置1は、赤色,緑色,青色の光をそれぞれ発光する
有機電界発光素子(以下、「有機EL素子」という。)
アレイ光源10(10R,10G,10B)と、有機E
L素子アレイ光源10からの光を感光体40上に集光す
るセルフォックレンズアレイ(以下、「SLA」とい
う。)30とを備えている。有機EL素子アレイ光源1
0R,10G,10Bは、それぞれ赤色、緑色、青色を
発光し、それぞれ後述する有機EL素子11R,11
G,11Bを備えている。有機EL素子アレイ光源10
は、図2に示すように、有機EL素子11が形成された
基板20から構成されている。
【0017】(有機EL素子11の構成)図3に示すよ
うに、基板20上には、陽極としての透明電極12、発
光層を含む有機化合物層13、陰極としての金属電極1
4が順次積層されて有機EL素子11が形成されてい
る。この有機EL素子11は、例えばステンレス製缶等
の封止部材16により覆われている。封止部材16の縁
部と基板20とが接着剤層17により接着されて、乾燥
窒素ガスで置換された封止部材16内に有機EL素子1
1が封止されている。この有機EL素子11の透明電極
12と金属電極14との間に所定電圧が印加されると、
有機化合物層13に含まれる発光層が発光し、発光光が
透明電極12及び基板20を介して取り出される。
【0018】陽極である透明電極12は、400nm〜
700nmの可視光の波長領域において、少なくとも5
0パーセント以上、好ましくは70パーセント以上の光
透過率を有するものが好ましい。透明電極12を構成す
るための材料としては、酸化錫、酸化錫インジウム(I
TO)、酸化亜鉛インジウムなどの透明電極材料として
公知の化合物のほか、金や白金など仕事関数が大きい金
属からなる薄膜を用いてもよい。また、ポリアニリン、
ポリチオフェン、ポリピロールまたはこれらの誘導体な
どの有機化合物でもよい。透明導電膜については、沢田
豊監修「透明導電膜の新展開」シーエムシー刊(199
9年)に詳細に記載されており、本発明に適用すること
ができる。また、透明電極12は、真空蒸着法、スパッ
タリング法、イオンプレーティング法などにより、基板
20上に形成することができる。
【0019】有機化合物層13は、発光層のみからなる
単層構造であってもよいし、発光層の外に、ホール注入
層、ホール輸送層、電子注入層、電子輸送層等のその他
の層を適宜有する積層構造であってもよい。有機化合物
層13の具体的な構成(電極を含む。)としては、陽極
/ホール注入層/ホール輸送層/発光層/電子輸送層/
陰極、陽極/発光層/電子輸送層/陰極、陽極/ホール
輸送層/発光層/電子輸送層/陰極などが挙げられる。
また、発光層、ホール輸送層、ホール注入層、電子注入
層を複数設けてもよい。
【0020】陰極である金属電極14は、仕事関数の低
いLi、Kなどのアルカリ金属、Mg、Caなどのアル
カリ土類金属、及びこれらの金属とAgやAlなどとの
合金や混合物等の金属材料から形成されるのが好まし
い。陰極における保存安定性と電子注入性とを両立させ
るために、上記材料で形成した電極を仕事関数が大きく
導電性の高いAg、Al、Auなどで更に被覆してもよ
い。なお、金属電極14も透明電極12と同様に、真空
蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法などの公
知の方法で形成することができる。
【0021】(基板20の構成)基板20は、図2に示
すように、厚さtの板状に形成され、有機EL素子11
が形成されている透明部材21と、この透明部材21に
接合すると共に有機EL素子11の配線18が形成され
ている配線用部材22とで構成されている。
【0022】透明部材21は、断面が略三角形の三角柱
状に形成されている。この透明部材21の各側面は、配
線用部材22に接する面である反射面23と、有機EL
素子11が形成されている素子形成面24と、有機EL
素子11が発する光が外部に射出される光出射面25と
して作用する。反射面23は、素子形成面24に対して
45度の角度を成すように形成され、素子形成面24か
らの光を光出射面25方向に反射する。光出射面25
は、素子形成面24に対して90度の角度を成すように
形成されている。
【0023】透明部材21の素子形成面24には、長さ
方向に、有機EL素子11がアレイ状に配列され、これ
らの各有機EL素子11を覆うように図3で示した封止
部材16が形成されている。
【0024】配線用部材22には、その側面に沿って複
数の配線18が形成されている。各配線18は、透明部
材21上に形成されている各有機EL素子11の透明電
極12を延長したものであり、それぞれ平行になるよう
に配置されている。
【0025】反射面23は、素子形成面24からの光を
光出射面25方向に反射するものであれば特に限定され
るものではないが、例えば以下のようにして形成されて
いる。
【0026】例えば図4に示すように、透明部材21は
屈折率n1の媒質で構成され、配線用部材22は屈折率
n2(<n1)の光を透過する媒質で構成されている。
このとき、有機EL素子11が発する光は、透明部材2
1と配線用部材22の境界で反射し、光出射面25方向
に進む。すなわち、透明部材21と配線用部材22の境
界が反射面23を構成する。
【0027】また、図5に示すように、透明部材21と
配線用部材22が屈折率n2の媒質で構成されていると
きは、透明部材21にイオン注入をして、透明部材21
の屈折率をn1にしてもよい。
【0028】また、図6に示すように透明部材21又は
配線用部材22の接合面に反射コーティングを施した
り、透明部材21と配線用部材22の間に反射部材を挟
み込んで反射面23を構成してもよい。
【0029】さらに、図7に示すように、透明部材21
と配線用部材22の間に空気層を形成してもよい。この
とき、透明部材21の媒質の屈折率よりも空気の屈折率
の方が小さい。したがって、有機EL素子11が発する
光は、透明部材21と空気層の境界で全反射する。すな
わち、透明部材21と空気層が、反射面23として作用
する。なお、透明部材21と空気層で反射面23が構成
されるので、配線用部材22はなくてもよい。
【0030】また、図8に示すように、配線用部材22
を光を全反射する材質で構成してもよい。これにより、
透明部材21と接触する配線用部材22の面が反射面2
3となる。
【0031】以上のように、露光装置1は、有機EL素
子11からの光を反射面23で全反射し、光の進行方向
を変えて露光を行うので、有機EL素子11の配置位置
の自由度が大きくなり、この結果、図1に示すように各
有機EL素子アレイ光源10Rから有機EL素子アレイ
光源10Bまでの幅を(3t+α)にすることができ
る。すなわち、各有機EL素子アレイ光源10の間隔が
α/2で済むので、これに伴ってSLA30の外形も小
さくすることができ、この結果、装置全体の小型化を図
ることができる。
【0032】また、露光装置1は、有機EL素子11の
配線を形成するための配線用部材22を備えているの
で、複雑な配線の引き回しを行うことなく容易にその配
線を設計することができる。さらに、図9に示すよう
に、各有機EL素子アレイ光源10の高さを変えること
もできる。これにより、配線18と他の配線19との接
続を容易に行うことができる。
【0033】本発明は、上述した実施の形態に限定され
ず、以下のように構成されていてもよい。なお、以下の
説明では、上述した実施の形態と同じ部位については同
じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
【0034】基板20の反射面23は、素子形成面24
に対して45度の角度を成すように形成されているが、
30度から60度の範囲内の角度を成すように形成され
ていてもよい。また、図10に示すように、反射面23
を凹面鏡にして、有機EL素子11の発する光が感光体
上で集光するようにしてもよい。
【0035】光出射面25は、素子形成面24に対して
90度の角度を成す形成されているが、60度から12
0度の範囲内の角度を成すように形成されていてもよ
い。また、光出射面25を凸面状にしたり、光出射面2
5に凸レンズを設けることによって、有機EL素子11
の発する光が感光体上で集光するようにしてもよい。こ
れにより、感光体の露光を効率的に行うことができる。
【0036】(有機EL素子アレイ光源10の他の構
成)有機EL素子アレイ光源10としては、以下に説明
するような構成でもよい。なお、以下の説明では、各有
機EL素子11が発光する色は特に限定されず、有機E
L素子11R,11G,11Bの配置位置は互いに入れ
替えてもよい。
【0037】例えば図11に示すように、図1に示した
有機EL素子アレイ光源10R,10Gを2つ貼り合わ
せたような構成でもよい。具体的には、有機EL素子ア
レイ光源10Rの素子形成面24Rの反対側の面と、有
機EL素子アレイ光源10Gの素子形成面24Gの反対
側の面とが貼り合わされている。これにより、有機EL
素子アレイ光源10Rと有機EL素子アレイ光源10G
の間に隙間を設けなくても済むので、装置の小型化を図
ることができる。
【0038】また、図12に示すように、直方体状の透
明な媒質で形成された直方体基板60に対して、相対す
る側面(素子形成面24R,24G)にそれぞれ有機E
L素子11R,11Gを設けてもよい。直方体基板60
の他の側面であって、素子形成面24R,24Gにそれ
ぞれ90度の角度を成す側面には、有機EL素子11B
が形成されている。
【0039】直方体基板60内には、有機EL素子11
R,11Gからの光を光出射面25(25R,25G)
方向に反射する反射面23R,23Gが設けられてい
る。反射面23Rは、素子形成面24R及び光出射面2
5Rに対して45度の角度を成すように配置されてい
る。反射面23Gは、素子形成面24G及び光出射面2
5Gに対して45度の角度を成すように配置されてい
る。反射面23Rと反射面23Gは、最も近い箇所であ
っても透明媒質を挟んで所定の隔たりが設けられてい
る。
【0040】このような構成により、有機EL素子11
Bが発する青色の光は、直方体基板60の内部を透過し
ながら光出射面25方向に進み、そのまま反射面23
R,23Gの間を抜けて外部に出力される。すなわち、
有機EL素子11R,11G,11Bの光は、それぞれ
同じ方向に向かって直方体基板60の外部に出力され
る。
【0041】このようにして、有機EL素子11R,1
1G,11Bが形成された直方体基板60は、図1に示
した有機EL素子アレイ光源10R,10G,10Bに
比べて小型化を図ることができる。これに応じてSLA
も小型化することができるので、この結果、装置全体を
小型化することができる。
【0042】さらに、例えば図13に示すように、赤
色、緑色、青色の光をそれぞれ発する有機EL素子11
R,11G,11Bを積層配置してもよい。これによ
り、有機EL素子11R,11G,11Bが発する3原
色の光は、反射面23で反射して、感光体上の同一スポ
ットを露光する。
【0043】したがって、図1に示す露光装置1は3つ
の有機EL素子アレイ光源10が必要であったが、本実
施の形態では有機EL素子アレイ光源10は1つで十分
である。これにより、露光装置1に比べて有機EL素子
アレイ光源10が少なく済むので、さらに一層、装置を
小型化することができる。
【0044】なお、図14に示すように、図2に示した
有機EL素子アレイ光源10の素子形成面24の対面に
温度制御素子27を設けてもよい。温度制御素子27
は、一般的な基板特性として、耐熱性、寸法安定性、耐
溶剤性、電気絶縁性、加工性、低通気性、低吸湿性等が
要求される。温度制御素子27としては、例えばセラミ
クス製ペルチェ素子、セラミクスヒータ、サーモエレク
トリッククーラ等が該当する。
【0045】このような構成により、基板20の温度を
高精度にかつ効率よく制御することができ、有機EL素
子11の高輝度出力時に基板20の温度を略一定にする
ことができる。したがって、基板20の温度上昇に伴う
有機EL素子11の熱劣化が抑制され、有機EL素子1
1の耐久性を向上させることができる。
【0046】また、図15に示すように、各有機EL素
子アレイ光源10R,10G,10Bに透明基板70を
密着配置し、有機EL素子アレイ光源10Rの有機EL
素子11R上を接着剤71で被膜し、さらに各有機EL
素子アレイ光源10R,10G,10Bの隙間を接着剤
71で密封してもよい。
【0047】各有機EL素子アレイ光源10R,10
G,10Bの基板20R,20G,20Bは、透明基板
70を密着配置しやすいように、矩形状に形成されるの
が好ましい。このとき、基板20R,20G,20Bの
端面、すなわち各光出射面25R,25G,25Bに透
明基板70が密着配置される。有機EL素子11R,1
1G,11Bは、基板20R,20G,20Bの主面、
すなわち素子形成面24R,24G,24Bに形成され
る。なお、接着剤71は、有機層に影響を及ぼす気体を
発生しないことを要する。
【0048】これにより、各有機EL素子11を酸素や
水分から隔離することができるので、その有機EL素子
11の耐久性を向上させることができる。また、有機E
L素子11R,11G,11Bが形成された有機EL素
子アレイ光源10R,10G,10Bを積層して構成し
てもよい。
【0049】なお、赤色を発光する有機EL素子11R
は、緑色や青色を発光する有機EL素子11G,11B
に比べて発光輝度が特に低く、露光時間が長い。そこ
で、赤色を発光する有機EL素子11Rの代わりに、赤
色を発光する発光ダイオード(LED)を設け、短時間
で露光時間を行うようにしてもよい。
【0050】
【発明の効果】本発明は、基板内に素子形成面から入射
される光を基板の端部方向に反射する反射面を形成し、
前記基板の端部から出射される光で感光体を露光するこ
とにより、有機電界発光素子の設置位置の自由度が大き
くなり、この結果、装置全体の小型化を図ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る露光装置の斜
視図である。
【図2】露光装置の有機EL素子アレイ光源の構成を示
す斜視図である。
【図3】有機EL素子アレイ光源に形成されている有機
EL素子の構成を示す断面図である。
【図4】透明基板の他の構成を示す概略的な断面図であ
る。
【図5】透明基板の他の構成を示す概略的な断面図であ
る。
【図6】透明基板の他の構成を示す概略的な断面図であ
る。
【図7】透明基板の他の構成を示す概略的な断面図であ
る。
【図8】透明基板の他の構成を示す概略的な断面図であ
る。
【図9】有機EL素子アレイ光源の他の構成を示す概略
的な断面図である。
【図10】有機EL素子アレイ光源の他の構成を示す概
略的な断面図である。
【図11】有機EL素子アレイ光源の他の構成を示す概
略的な断面図である。
【図12】有機EL素子アレイ光源の他の構成を示す概
略的な断面図である。
【図13】有機EL素子アレイ光源の他の構成を示す概
略的な断面図である。
【図14】有機EL素子アレイ光源の他の構成を示す概
略的な断面図である。
【図15】有機EL素子アレイ光源の他の構成を示す概
略的な断面図である。
【符号の説明】
1 露光装置 10 有機EL素子アレイ光源 11 有機EL素子 20 透明基板 23 接合面 40 感光体
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05B 33/14

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光透過性を有し、素子形成面から入射さ
    れた光を光出射面方向に反射する反射面が形成された基
    板と、 前記基板の素子形成面上に、アレイ状に配列された複数
    の有機電界発光素子と、を備え、 前記基板の光出射面から出射された光で感光体を露光す
    る露光装置。
  2. 【請求項2】 前記基板の反射面は、基板の屈折率より
    小さい媒体との境界面、または光を反射する反射部材が
    形成されている面によって形成されている請求項1記載
    の露光装置。
  3. 【請求項3】 前記基板から出射された光を感光体上に
    集光させるレンズを更に備えた請求項1または2記載の
    露光装置。
  4. 【請求項4】 前記有機電界発光素子は、前記基板の素
    子形成面に、2以上の色相の光を発する有機化合物層を
    積層して形成されている請求項1から3のいずれか1項
    記載の露光装置。
  5. 【請求項5】 厚さ方向に光透過性の矩形状基板が複数
    積層され、各矩形状基板の主面から入射された光を端面
    方向に反射する反射面が形成された光透過部材と、 前記各矩形状基板の主面上にアレイ状に配列された各々
    異なる色相の光を発光する複数の有機電界発光素子と、
    を備え、 前記各矩形状基板の端面から出射された光で感光体を露
    光する露光装置。
  6. 【請求項6】 前記各矩形状基板の光出射面に設けられ
    る透明基板を更に備え、 前記各矩形状基板を固定するための接着層が各矩形状基
    板間に形成された請求項5記載の露光装置。
  7. 【請求項7】 前記複数の有機電界発光素子の電極にそ
    れぞれ接続され、前記各矩形状基板の主面に前記有機電
    界発光素子の配列方向と交差する方向に配列された複数
    の配線を更に備えた請求項5または6記載の露光装置。
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