JP2001345491A - 圧電バイモルフ - Google Patents
圧電バイモルフInfo
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- JP2001345491A JP2001345491A JP2000165357A JP2000165357A JP2001345491A JP 2001345491 A JP2001345491 A JP 2001345491A JP 2000165357 A JP2000165357 A JP 2000165357A JP 2000165357 A JP2000165357 A JP 2000165357A JP 2001345491 A JP2001345491 A JP 2001345491A
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- reinforcing plate
- piezoelectric bimorph
- piezoelectric
- conductive
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電極の取り出しと負荷物の取り付けとを簡便
にして適確に行い得る絶縁性補強板を用いた安価な構造
の圧電バイモルフを提供すること。 【解決手段】 この圧電バイモルフは、両面に予め対向
するように銅箔等による導電性膜９が部分的に成膜さ
れ、且つ導電性膜９の間が半田メッキ処理等で導電処理
されたスルーホール１０により電気的に接続されて成る
一方向（長手方向）に延びたガラスエポキシ等の絶縁性
材質による絶縁性補強板８の両面に対し、対向する導電
性膜９上にそれぞれ重ね合わされるように圧電セラミク
ス板２４を接合して本体部を成し、この本体部における
絶縁性補強板８は、両面の一端側部分を導電性膜９を設
けずに露呈させることで負荷物（図示せず）を取り付け
可能にしており、且つ両面の他端側部分を圧電セラミク
ス板２４の他端側から導電性膜９の一部を露呈させるこ
とでリード線を接続するための接続部分としている。
にして適確に行い得る絶縁性補強板を用いた安価な構造
の圧電バイモルフを提供すること。 【解決手段】 この圧電バイモルフは、両面に予め対向
するように銅箔等による導電性膜９が部分的に成膜さ
れ、且つ導電性膜９の間が半田メッキ処理等で導電処理
されたスルーホール１０により電気的に接続されて成る
一方向（長手方向）に延びたガラスエポキシ等の絶縁性
材質による絶縁性補強板８の両面に対し、対向する導電
性膜９上にそれぞれ重ね合わされるように圧電セラミク
ス板２４を接合して本体部を成し、この本体部における
絶縁性補強板８は、両面の一端側部分を導電性膜９を設
けずに露呈させることで負荷物（図示せず）を取り付け
可能にしており、且つ両面の他端側部分を圧電セラミク
ス板２４の他端側から導電性膜９の一部を露呈させるこ
とでリード線を接続するための接続部分としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として両面に導
電性膜が対向して電気的に接続されるように設られた絶
縁性補強板の両面の導電性膜上に圧電セラミクス板を接
合して成る圧電バイモルフに関する。
電性膜が対向して電気的に接続されるように設られた絶
縁性補強板の両面の導電性膜上に圧電セラミクス板を接
合して成る圧電バイモルフに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の圧電バイモルフとして
は、例えば図５に示される構成のものが挙げられる。但
し、図５（ａ）は圧電バイモルフの一方向における側面
図に関するもの，同図（ｂ）は一方向と垂直な方向での
平面図に関するものである。
は、例えば図５に示される構成のものが挙げられる。但
し、図５（ａ）は圧電バイモルフの一方向における側面
図に関するもの，同図（ｂ）は一方向と垂直な方向での
平面図に関するものである。
【０００３】この圧電バイモルフは、一方向（長手方
向）に延びた金属材質による金属補強板１の一方向にお
ける両端側を除く両面に予め分極された圧電セラミクス
板４を蒸着，めっき等を用いて接着，溶接等により電気
的な接触が保たれるように接合して本体部を成し、この
本体部における金属補強板１の一端側に取り付けネジ５
により絶縁物としてのアルミナブロック２に取り付け固
定された負荷物３をアルミナブロック２の部分で接着剤
により接着して取り付けて成っている。
向）に延びた金属材質による金属補強板１の一方向にお
ける両端側を除く両面に予め分極された圧電セラミクス
板４を蒸着，めっき等を用いて接着，溶接等により電気
的な接触が保たれるように接合して本体部を成し、この
本体部における金属補強板１の一端側に取り付けネジ５
により絶縁物としてのアルミナブロック２に取り付け固
定された負荷物３をアルミナブロック２の部分で接着剤
により接着して取り付けて成っている。
【０００４】このような圧電バイモルフでは、本体部に
おける圧電セラミクス板４の外方側の面に設けられた外
部電極を接地すると共に、金属補強板１並びに接地に対
して正負の駆動電圧を交互に印加すると、圧電セラミク
ス板４の長手方向（横方向）のピエゾ効果により一方の
圧電セラミック板４が収縮し、且つ他方の圧電セラミッ
ク板４が膨張することによって本体部が左右に湾曲す
る。これに伴い、金属補強板１の一端側に取り付けられ
た負荷物３を所定の方向に所定の長さで動かすことがで
きる。
おける圧電セラミクス板４の外方側の面に設けられた外
部電極を接地すると共に、金属補強板１並びに接地に対
して正負の駆動電圧を交互に印加すると、圧電セラミク
ス板４の長手方向（横方向）のピエゾ効果により一方の
圧電セラミック板４が収縮し、且つ他方の圧電セラミッ
ク板４が膨張することによって本体部が左右に湾曲す
る。これに伴い、金属補強板１の一端側に取り付けられ
た負荷物３を所定の方向に所定の長さで動かすことがで
きる。
【０００５】ところで、この圧電バイモルフにおいて、
圧電セラミクス板４に異なる極性の外部電極を接着して
外部電極の一方の面のものを接地し、且つ他方の面のも
のに駆動電圧を印加すると共に、金属補強板１に印加す
る駆動電圧を接地と他方の面のものに印加する駆動電圧
との間で切り替えれば、圧電セラミック板４が交互に収
縮するため、本体部を左右に湾曲させることもできる。
この場合も、本体部の湾曲に伴い、金属補強板１の一端
側に取り付けられた負荷物３を所定の方向に所定の長さ
で動かすことができる。
圧電セラミクス板４に異なる極性の外部電極を接着して
外部電極の一方の面のものを接地し、且つ他方の面のも
のに駆動電圧を印加すると共に、金属補強板１に印加す
る駆動電圧を接地と他方の面のものに印加する駆動電圧
との間で切り替えれば、圧電セラミック板４が交互に収
縮するため、本体部を左右に湾曲させることもできる。
この場合も、本体部の湾曲に伴い、金属補強板１の一端
側に取り付けられた負荷物３を所定の方向に所定の長さ
で動かすことができる。
【０００６】一般に、このような圧電バイモルフは、バ
イモルフ型圧電アクチュエータとして知られる基本構造
を成すが、何れにしても金属補強板１から駆動電圧を印
加するための電極を取り出す（電線のリード線を接続す
る）ため、金属補強板１には導電性材料を使用する必要
があり、しかも少なくとも金属補強板１の一端側部分を
負荷物３を固定した絶縁物としてのアルミナブロック２
を取り付けるために絶縁処理する必要がある。この絶縁
処理は、本体部に印加する駆動電圧が数十〜数百Ｖの高
電圧であり、このような高電圧が金属補強板１に直接印
加されるたときに負荷物３に対して高電圧が印加される
ことを回避するために施される。
イモルフ型圧電アクチュエータとして知られる基本構造
を成すが、何れにしても金属補強板１から駆動電圧を印
加するための電極を取り出す（電線のリード線を接続す
る）ため、金属補強板１には導電性材料を使用する必要
があり、しかも少なくとも金属補強板１の一端側部分を
負荷物３を固定した絶縁物としてのアルミナブロック２
を取り付けるために絶縁処理する必要がある。この絶縁
処理は、本体部に印加する駆動電圧が数十〜数百Ｖの高
電圧であり、このような高電圧が金属補強板１に直接印
加されるたときに負荷物３に対して高電圧が印加される
ことを回避するために施される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した圧電バイモル
フの場合、本体部の金属補強板における一端側部分を絶
縁処理した上で負荷物を固定した絶縁物としてのアルミ
ナブロックを取り付ける構成となっているが、このアル
ミナブロックの取り付けに際して接着強度や位置精度を
確実にする必要があるため、その取り付け作業に慎重さ
と適確さと要求され、これが結果として製品の作製にお
ける歩留まりを悪化させる要因となっているという問題
がある。
フの場合、本体部の金属補強板における一端側部分を絶
縁処理した上で負荷物を固定した絶縁物としてのアルミ
ナブロックを取り付ける構成となっているが、このアル
ミナブロックの取り付けに際して接着強度や位置精度を
確実にする必要があるため、その取り付け作業に慎重さ
と適確さと要求され、これが結果として製品の作製にお
ける歩留まりを悪化させる要因となっているという問題
がある。
【０００８】そこで、こうした問題を解決するため、図
６に示されるような他のタイプの圧電バイモルフも開発
されている。この圧電バイモルフは、一方向（長手方
向）に延びた非導電性のグラスファイバプリプレグによ
るグラスファイバ補強板６を用い、このグラスファイバ
補強板６の一方向における両端側を除く両面に予め分極
された圧電セラミクス板１４を接合する際、グラスファ
イバ補強板６の他端側近傍の両面に部分的に電極の取り
出し用の導電性金属箔７を設けた上で圧電セラミクス板
１４を接合することで本体部を成し、この本体部におけ
る補強板１の一端側に絶縁物として一体型の負荷物１３
を取り付けて成っている。
６に示されるような他のタイプの圧電バイモルフも開発
されている。この圧電バイモルフは、一方向（長手方
向）に延びた非導電性のグラスファイバプリプレグによ
るグラスファイバ補強板６を用い、このグラスファイバ
補強板６の一方向における両端側を除く両面に予め分極
された圧電セラミクス板１４を接合する際、グラスファ
イバ補強板６の他端側近傍の両面に部分的に電極の取り
出し用の導電性金属箔７を設けた上で圧電セラミクス板
１４を接合することで本体部を成し、この本体部におけ
る補強板１の一端側に絶縁物として一体型の負荷物１３
を取り付けて成っている。
【０００９】ところが、この圧電バイモルフの場合、導
電性金属箔７の金属材料が高価であることにより、グラ
スファイバ補強板６の他端側近傍の両面において部分的
に導電性金属箔７を設けた上、この導電性金属箔７が圧
電セラミクス板１４の他端側から露呈した部分に対して
駆動電圧を印加するためのリード線（ケーブル）を接続
する構成であるため、導電性金属箔７をグラスファイバ
補強板６の所定箇所に対して設ける際に高い位置精度が
要求されて電極の取り出し構造が簡易化されないという
問題がある他、グラスファイバ補強板６の一端側に負荷
物１３を取り付けるときに接着樹脂としてグラスファイ
バプリプレグに含有されるエポキシ樹脂を用いて接着す
るため、位置決めが非常に困難であると共に、エポキシ
樹脂の量もコントロールできず、これによって負荷物１
３の取り付けを適確に行い難いという問題がある。
電性金属箔７の金属材料が高価であることにより、グラ
スファイバ補強板６の他端側近傍の両面において部分的
に導電性金属箔７を設けた上、この導電性金属箔７が圧
電セラミクス板１４の他端側から露呈した部分に対して
駆動電圧を印加するためのリード線（ケーブル）を接続
する構成であるため、導電性金属箔７をグラスファイバ
補強板６の所定箇所に対して設ける際に高い位置精度が
要求されて電極の取り出し構造が簡易化されないという
問題がある他、グラスファイバ補強板６の一端側に負荷
物１３を取り付けるときに接着樹脂としてグラスファイ
バプリプレグに含有されるエポキシ樹脂を用いて接着す
るため、位置決めが非常に困難であると共に、エポキシ
樹脂の量もコントロールできず、これによって負荷物１
３の取り付けを適確に行い難いという問題がある。
【００１０】本発明は、このような問題点を解決すべく
なされたもので、その技術的課題は、電極の取り出しと
負荷物の取り付けとを簡便にして適確に行い得る絶縁性
補強板を用いた安価な構造の圧電バイモルフを提供する
ことにある。
なされたもので、その技術的課題は、電極の取り出しと
負荷物の取り付けとを簡便にして適確に行い得る絶縁性
補強板を用いた安価な構造の圧電バイモルフを提供する
ことにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、両面に
予め対向するように導電性膜が成膜され、且つ該対向す
る導電性膜の間が導電処理されたスルーホールにより電
気的に接続されて成る絶縁性補強板の両面に対し、該対
向する導電性膜上にそれぞれ重ね合わされるように圧電
セラミクス板を接合して成る圧電バイモルフが得られ
る。
予め対向するように導電性膜が成膜され、且つ該対向す
る導電性膜の間が導電処理されたスルーホールにより電
気的に接続されて成る絶縁性補強板の両面に対し、該対
向する導電性膜上にそれぞれ重ね合わされるように圧電
セラミクス板を接合して成る圧電バイモルフが得られ
る。
【００１２】一方、本発明によれば、両面に予め対向す
るように導電性膜が成膜され、且つ該対向する導電性膜
の間が導電性を示すように外周端面に設けられた導電性
材質の端面連絡導電部により電気的に接続されて成る絶
縁性補強板の両面に対し、該対向する導電性膜上にそれ
ぞれ重ね合わされるように圧電セラミクス板を接合して
成る圧電バイモルフが得られる。
るように導電性膜が成膜され、且つ該対向する導電性膜
の間が導電性を示すように外周端面に設けられた導電性
材質の端面連絡導電部により電気的に接続されて成る絶
縁性補強板の両面に対し、該対向する導電性膜上にそれ
ぞれ重ね合わされるように圧電セラミクス板を接合して
成る圧電バイモルフが得られる。
【００１３】又、本発明によれば、上記何れかの圧電バ
イモルフにおいて、絶縁性補強板の両面は圧電セラミク
ス板の両面よりも面積が大きく、対向する導電性膜は絶
縁性補強板の両面に部分的に設けられた圧電バイモルフ
が得られる。
イモルフにおいて、絶縁性補強板の両面は圧電セラミク
ス板の両面よりも面積が大きく、対向する導電性膜は絶
縁性補強板の両面に部分的に設けられた圧電バイモルフ
が得られる。
【００１４】更に、本発明によれば、上記圧電バイモル
フにおいて、絶縁性補強板は、両面の一端側部分を導電
性膜を設けずに露呈させることで負荷物を取り付けるた
めの取り付け部分としている圧電バイモルフが得られ
る。
フにおいて、絶縁性補強板は、両面の一端側部分を導電
性膜を設けずに露呈させることで負荷物を取り付けるた
めの取り付け部分としている圧電バイモルフが得られ
る。
【００１５】加えて、本発明によれば、上記圧電バイモ
ルフにおいて、取り付け部分の略中央には、負荷物を取
り付けて支持固定するための取り付け穴が設けられた圧
電バイモルフが得られる。
ルフにおいて、取り付け部分の略中央には、負荷物を取
り付けて支持固定するための取り付け穴が設けられた圧
電バイモルフが得られる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下に実施例を挙げ、本発明の圧
電バイモルフについて、図面を参照して詳細に説明す
る。
電バイモルフについて、図面を参照して詳細に説明す
る。
【００１７】図１は、本発明の一実施例に係る圧電バイ
モルフの基本構成を一部透視して示した外観図であり、
同図（ａ）は一方向における側面図に関するもの，同図
（ｂ）は一方向と垂直な方向での平面図に関するもので
ある。又、図２は、この圧電バイモルフに用いられる絶
縁性補強板８の細部構成を一部透視して示した斜視図で
ある。
モルフの基本構成を一部透視して示した外観図であり、
同図（ａ）は一方向における側面図に関するもの，同図
（ｂ）は一方向と垂直な方向での平面図に関するもので
ある。又、図２は、この圧電バイモルフに用いられる絶
縁性補強板８の細部構成を一部透視して示した斜視図で
ある。
【００１８】この圧電バイモルフは、両面に予め対向す
るように銅箔等による導電性膜９が部分的に成膜され、
且つ対向する導電性膜９の間が半田メッキ処理等で導電
処理されたスルーホール１０により電気的に接続されて
成る一方向（長手方向）に延びたガラスエポキシ等の絶
縁性材質による絶縁性補強板（ガラスエポキシ基板とみ
なして良い）８の両面に対し、対向する導電性膜９上に
それぞれ重ね合わされるように圧電セラミクス板２４を
接合して本体部を成し、この本体部における絶縁性補強
板８の一端側に設けられた取り付け穴１１を用いて図示
されない絶縁物としての負荷物を取り付けて支持固定す
るように構成されている。
るように銅箔等による導電性膜９が部分的に成膜され、
且つ対向する導電性膜９の間が半田メッキ処理等で導電
処理されたスルーホール１０により電気的に接続されて
成る一方向（長手方向）に延びたガラスエポキシ等の絶
縁性材質による絶縁性補強板（ガラスエポキシ基板とみ
なして良い）８の両面に対し、対向する導電性膜９上に
それぞれ重ね合わされるように圧電セラミクス板２４を
接合して本体部を成し、この本体部における絶縁性補強
板８の一端側に設けられた取り付け穴１１を用いて図示
されない絶縁物としての負荷物を取り付けて支持固定す
るように構成されている。
【００１９】ここで、絶縁性補強板８の両面は、圧電セ
ラミクス板２４の両面よりも面積が大きくなっている。
又、絶縁性補強板８には、所定の位置にスルーホール１
０が設けられており、スルーホール１０を含むように両
面に対して対向する導電性膜９を部分的に設けた上でス
ルーホール１０を導電処理している。更に、絶縁性補強
板８は、両面の一端側部分を導電性膜９を設けずに露呈
させることで負荷物３を取り付けるための取り付け部分
としており、且つ両面の他端側部分を圧電セラミクス板
２４の他端側から導電性膜９の一部を露呈させることで
リード線を接続するための接続部分としている。尚、上
述した負荷物３を取り付けて支持固定するための取り付
け穴１１は、取り付け部分の略中央に設けられている。
ラミクス板２４の両面よりも面積が大きくなっている。
又、絶縁性補強板８には、所定の位置にスルーホール１
０が設けられており、スルーホール１０を含むように両
面に対して対向する導電性膜９を部分的に設けた上でス
ルーホール１０を導電処理している。更に、絶縁性補強
板８は、両面の一端側部分を導電性膜９を設けずに露呈
させることで負荷物３を取り付けるための取り付け部分
としており、且つ両面の他端側部分を圧電セラミクス板
２４の他端側から導電性膜９の一部を露呈させることで
リード線を接続するための接続部分としている。尚、上
述した負荷物３を取り付けて支持固定するための取り付
け穴１１は、取り付け部分の略中央に設けられている。
【００２０】図３は、ここでの圧電バイモルフの細部構
成（電極構造）を要部を拡大し、且つ一部を透視して分
解して示した側面図である。
成（電極構造）を要部を拡大し、且つ一部を透視して分
解して示した側面図である。
【００２１】図３を参照すれば、この圧電バイモルフに
おいて、ガラスエポキシによる絶縁性補強板８は、表裏
両面に対して銅箔による対向する導電性膜９を部分的に
設けることで電極形成しており、対向する導電性膜９の
間（電極間）が半田メッキ処理されたスルーホール１０
により電気的に接触が保たれている。
おいて、ガラスエポキシによる絶縁性補強板８は、表裏
両面に対して銅箔による対向する導電性膜９を部分的に
設けることで電極形成しており、対向する導電性膜９の
間（電極間）が半田メッキ処理されたスルーホール１０
により電気的に接触が保たれている。
【００２２】この絶縁性補強板８に接合される圧電セラ
ミクス板２４は、接合面として対向する導電性膜９側に
位置される内方表面に内部電極１２ａが設けられ、接合
面と反対の外方表面に外部電極１２ｂが設けられてい
る。
ミクス板２４は、接合面として対向する導電性膜９側に
位置される内方表面に内部電極１２ａが設けられ、接合
面と反対の外方表面に外部電極１２ｂが設けられてい
る。
【００２３】絶縁性補強板８に対して圧電セラミクス板
２４を接合する際、絶縁性補強板８の対向する導電性膜
９上にそれぞれ圧電セラミクス板２４の内部電極１２ａ
が重ね合わされるように接着剤としてエポキシ樹脂によ
る接着層１５を介在させて接着し、各部を積層して本体
部を構成する。但し、接着層１５は、予め圧電セラミク
ス板２４の内方表面に設けられた内部電極１２ａとスル
ーホール１０との電気的な接触を保ち得るように厚さが
非常に薄くなっている。更に、本体部における圧電セラ
ミクス板２４の他端側部分から露呈された導電性膜９の
露呈部分に対して半田付けによりリード線を取り付け
る。
２４を接合する際、絶縁性補強板８の対向する導電性膜
９上にそれぞれ圧電セラミクス板２４の内部電極１２ａ
が重ね合わされるように接着剤としてエポキシ樹脂によ
る接着層１５を介在させて接着し、各部を積層して本体
部を構成する。但し、接着層１５は、予め圧電セラミク
ス板２４の内方表面に設けられた内部電極１２ａとスル
ーホール１０との電気的な接触を保ち得るように厚さが
非常に薄くなっている。更に、本体部における圧電セラ
ミクス板２４の他端側部分から露呈された導電性膜９の
露呈部分に対して半田付けによりリード線を取り付け
る。
【００２４】このような構成の圧電バイモルフの場合、
両面に予め対向するように導電性膜９が部分的に成膜さ
れ、且つ対向する導電性膜９の間がスルーホール１０に
より電気的に接続されて成る絶縁性補強板８の両面に対
し、絶縁性補強板８の両面よりも両面の面積が小さくて
内方表面に内部電極１２ａ，外方表面に外部電極１２ｂ
が設けられた圧電セラミクス板２４を対向する導電性膜
９上に内部電極１２ａがそれぞれ重ね合わされるように
接合して本体部を構成し、本体部における圧電セラミク
ス板２４の他端側から露呈した導電性膜９局部の接続部
分に対して半田付けによりリード線を取り付けると共
に、絶縁性補強板８の一端側の導電性膜９が成膜されて
いない取り付け部分に設けられた取り付け穴１１を用い
て負荷物を取り付けて支持固定することができるので、
電極の取り出しと負荷物の取り付けとを簡便にして適確
に行うことができる。
両面に予め対向するように導電性膜９が部分的に成膜さ
れ、且つ対向する導電性膜９の間がスルーホール１０に
より電気的に接続されて成る絶縁性補強板８の両面に対
し、絶縁性補強板８の両面よりも両面の面積が小さくて
内方表面に内部電極１２ａ，外方表面に外部電極１２ｂ
が設けられた圧電セラミクス板２４を対向する導電性膜
９上に内部電極１２ａがそれぞれ重ね合わされるように
接合して本体部を構成し、本体部における圧電セラミク
ス板２４の他端側から露呈した導電性膜９局部の接続部
分に対して半田付けによりリード線を取り付けると共
に、絶縁性補強板８の一端側の導電性膜９が成膜されて
いない取り付け部分に設けられた取り付け穴１１を用い
て負荷物を取り付けて支持固定することができるので、
電極の取り出しと負荷物の取り付けとを簡便にして適確
に行うことができる。
【００２５】即ち、この圧電バイモルフにおいても、圧
電セラミクス板２４の内部電極１２ａに駆動電圧を印加
することができるので、外部電極１２ｂを接地した上、
この外部電極１２ｂと内部電極１２ａの何れか一方のも
の又はスルーホール１０とに正負の駆動電圧を印加する
と、圧電セラミクス板２４のピエゾ効果により本体部が
左右に湾曲し、これに伴って絶縁性補強板８の一端側に
取り付けられた負荷物を所定の方向に所定の長さで動か
すことができる。
電セラミクス板２４の内部電極１２ａに駆動電圧を印加
することができるので、外部電極１２ｂを接地した上、
この外部電極１２ｂと内部電極１２ａの何れか一方のも
の又はスルーホール１０とに正負の駆動電圧を印加する
と、圧電セラミクス板２４のピエゾ効果により本体部が
左右に湾曲し、これに伴って絶縁性補強板８の一端側に
取り付けられた負荷物を所定の方向に所定の長さで動か
すことができる。
【００２６】図４は、本発明の他の実施例に係る圧電バ
イモルフに用いられる絶縁性補強板８′の細部構成を示
した斜視図である。
イモルフに用いられる絶縁性補強板８′の細部構成を示
した斜視図である。
【００２７】この絶縁性補強板８′は、先の一実施例に
係る圧電バイモルフに用いられた絶縁性補強板８と比
べ、ガラスエポキシ等の絶縁性材質による成る点は同じ
であるが、所定の位置にスルーホール１０が設けられて
おらず、しかもその表裏両面に設けられた対向する導電
性膜９′が絶縁性補強板８′の他方側の周縁に及んで設
けられており、これによって対向する導電性膜９′の間
が導電性を示すように外周端面に設けられた導電樹脂等
の導電性材質の端面連絡導電部１６で電気的に接続され
て成る点が相違している。
係る圧電バイモルフに用いられた絶縁性補強板８と比
べ、ガラスエポキシ等の絶縁性材質による成る点は同じ
であるが、所定の位置にスルーホール１０が設けられて
おらず、しかもその表裏両面に設けられた対向する導電
性膜９′が絶縁性補強板８′の他方側の周縁に及んで設
けられており、これによって対向する導電性膜９′の間
が導電性を示すように外周端面に設けられた導電樹脂等
の導電性材質の端面連絡導電部１６で電気的に接続され
て成る点が相違している。
【００２８】即ち、この絶縁性補強板８′を用いた圧電
バイモルフの場合、両面に予め対向するように導電性膜
９′が部分的に成膜され、且つ対向する導電性膜９′の
間が外周端面に設けられた導電性材質による端面連絡導
電部１６により電気的に接続されて成る絶縁性補強板
８′の両面に対し、絶縁性補強板８′の両面よりも両面
の面積が小さくて内方表面に内部電極１２ａ、外方表面
に外部電極１２ｂが設けられた圧電セラミクス板２４を
対向する導電性膜９′上に内部電極１２ａがそれぞれ重
ね合わされるように接合して本体部を構成し、本体部に
おける圧電セラミクス板２４の他端側から露呈した導電
性膜９′の接続部分に対して半田付けによりリード線を
取り付けると共に、絶縁性補強板８′の一端側の導電性
膜９′が成膜されていない取り付け部分に設けられた取
り付け穴１１′（取り付け穴１１よりも幾分口径が大き
い）を用いて負荷物を取り付けて支持固定することがで
きるので、ここでも電極の取り出しと負荷物の取り付け
とを簡便にして適確に行うことができる。
バイモルフの場合、両面に予め対向するように導電性膜
９′が部分的に成膜され、且つ対向する導電性膜９′の
間が外周端面に設けられた導電性材質による端面連絡導
電部１６により電気的に接続されて成る絶縁性補強板
８′の両面に対し、絶縁性補強板８′の両面よりも両面
の面積が小さくて内方表面に内部電極１２ａ、外方表面
に外部電極１２ｂが設けられた圧電セラミクス板２４を
対向する導電性膜９′上に内部電極１２ａがそれぞれ重
ね合わされるように接合して本体部を構成し、本体部に
おける圧電セラミクス板２４の他端側から露呈した導電
性膜９′の接続部分に対して半田付けによりリード線を
取り付けると共に、絶縁性補強板８′の一端側の導電性
膜９′が成膜されていない取り付け部分に設けられた取
り付け穴１１′（取り付け穴１１よりも幾分口径が大き
い）を用いて負荷物を取り付けて支持固定することがで
きるので、ここでも電極の取り出しと負荷物の取り付け
とを簡便にして適確に行うことができる。
【００２９】又、この圧電バイモルフにおいても、圧電
セラミクス板２４の内部電極１２ａに駆動電圧を印加す
ることができるので、外部電極１２ｂを接地した上、こ
の外部電極１２ｂと内部電極１２ａの何れか一方のもの
又は端面連絡導電部１６とに正負の駆動電圧を印加する
と、圧電セラミクス板２４のピエゾ効果により本体部が
左右に湾曲し、これに伴って絶縁性補強板８′の一端側
に取り付けられた負荷物を所定の方向に所定の長さで動
かすことができる。尚、この端面連絡導電部１６により
導電性膜９′の間を電気的に接触させる構造の場合、例
えば圧電バイブレータ等の用途に用いることが有効であ
る。
セラミクス板２４の内部電極１２ａに駆動電圧を印加す
ることができるので、外部電極１２ｂを接地した上、こ
の外部電極１２ｂと内部電極１２ａの何れか一方のもの
又は端面連絡導電部１６とに正負の駆動電圧を印加する
と、圧電セラミクス板２４のピエゾ効果により本体部が
左右に湾曲し、これに伴って絶縁性補強板８′の一端側
に取り付けられた負荷物を所定の方向に所定の長さで動
かすことができる。尚、この端面連絡導電部１６により
導電性膜９′の間を電気的に接触させる構造の場合、例
えば圧電バイブレータ等の用途に用いることが有効であ
る。
【００３０】
【発明の効果】以上に述べた通り、本発明の圧電バイモ
ルフによれば、両面に予め対向するよう導電性膜が部分
的に成膜され、且つ導電性膜間が導電処理されたスルー
ホール、或いは外周端面に設けられた端面連絡導電部に
より電気的に接続されて成る一方向に延びた絶縁性材質
による絶縁性補強板の両面に対し、導電性膜上にそれぞ
れ重ね合わされるように圧電セラミクス板（その内部電
極）を接合して本体部を成し、本体部における圧電セラ
ミクス板の他端側から露呈した導電性膜の接続部分を半
田付けによりリード線の取り付けに供し、且つ絶縁性補
強板の一端側で導電性膜が成膜されていない取り付け部
分（特にそこに設けられた取り付け穴）を負荷物の取り
付け支持固定用に供する構成としているので、電極の取
り出しを簡便にして適確に行うことができると共に、負
荷物の取り付けを精度良く適確に行うことができる廉価
な構造が得られるようになる。
ルフによれば、両面に予め対向するよう導電性膜が部分
的に成膜され、且つ導電性膜間が導電処理されたスルー
ホール、或いは外周端面に設けられた端面連絡導電部に
より電気的に接続されて成る一方向に延びた絶縁性材質
による絶縁性補強板の両面に対し、導電性膜上にそれぞ
れ重ね合わされるように圧電セラミクス板（その内部電
極）を接合して本体部を成し、本体部における圧電セラ
ミクス板の他端側から露呈した導電性膜の接続部分を半
田付けによりリード線の取り付けに供し、且つ絶縁性補
強板の一端側で導電性膜が成膜されていない取り付け部
分（特にそこに設けられた取り付け穴）を負荷物の取り
付け支持固定用に供する構成としているので、電極の取
り出しを簡便にして適確に行うことができると共に、負
荷物の取り付けを精度良く適確に行うことができる廉価
な構造が得られるようになる。
【図１】本発明の一実施例に係る圧電バイモルフの基本
構成を一部透視して示した外観図であり、（ａ）は一方
向における側面図に関するもの，（ｂ）は一方向と垂直
な方向での平面図に関するものである。
構成を一部透視して示した外観図であり、（ａ）は一方
向における側面図に関するもの，（ｂ）は一方向と垂直
な方向での平面図に関するものである。
【図２】図１に示す圧電バイモルフに用いられる絶縁性
補強板の細部構成を一部透視して示した斜視図である。
補強板の細部構成を一部透視して示した斜視図である。
【図３】図１に示す圧電バイモルフの細部構成（電極構
造）を要部を拡大し、且つ一部を透視して分解して示し
た側面図である。
造）を要部を拡大し、且つ一部を透視して分解して示し
た側面図である。
【図４】本発明の他の実施例に係る圧電バイモルフに用
いられる絶縁性補強板の細部構成を示した斜視図であ
る。
いられる絶縁性補強板の細部構成を示した斜視図であ
る。
【図５】従来の圧電バイモルフの基本構成を一部透視し
て示した外観図であり、（ａ）は一方向における側面図
に関するもの，（ｂ）は一方向と垂直な方向での平面図
に関するものである。
て示した外観図であり、（ａ）は一方向における側面図
に関するもの，（ｂ）は一方向と垂直な方向での平面図
に関するものである。
【図６】従来の他の圧電バイモルフの基本構成を一部透
視して示した斜視図である。
視して示した斜視図である。
１ 金属補強板 ２ アルミナブロック ３，１３ 負荷物 ４，１４，２４ 圧電セラミクス ５ 取り付けネジ ６ グラスファイバ補強板 ７ 導電金属箔 ８，８′ 絶縁性補強板 ９，９′ 導電性膜 １０ スルーホール １１，１１′ 取り付け穴 １２ａ 内部電極 １２ｂ 外部電極 １５ 接着層 １６ 端面連絡電極
Claims (5)
- 【請求項１】 両面に予め対向するように導電性膜が成
膜され、且つ該対向する導電性膜の間が導電処理された
スルーホールにより電気的に接続されて成る絶縁性補強
板の両面に対し、該対向する導電性膜上にそれぞれ重ね
合わされるように圧電セラミクス板を接合して成ること
を特徴とする圧電バイモルフ。 - 【請求項２】 両面に予め対向するように導電性膜が成
膜され、且つ該対向する導電性膜の間が外周端面に設け
られた導電性材質の端面連絡導電部により電気的に接続
されて成る絶縁性補強板の両面に対し、該対向する導電
性膜上にそれぞれ重ね合わされるように圧電セラミクス
板を接合して成ることを特徴とする圧電バイモルフ。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の圧電バイモルフに
おいて、前記絶縁性補強板の両面は前記圧電セラミクス
板の両面よりも面積が大きく、前記対向する導電性膜は
前記絶縁性補強板の両面に部分的に設けられたことを特
徴とする圧電バイモルフ。 - 【請求項４】 請求項３記載の圧電バイモルフにおい
て、前記絶縁性補強板は、両面の一端側部分を前記導電
性膜を設けずに露呈させることで負荷物を取り付けるた
めの取り付け部分としていることを特徴とする圧電バイ
モルフ。 - 【請求項５】 請求項４記載の圧電バイモルフにおい
て、前記取り付け部分の略中央には、負荷物を取り付け
て支持固定するための取り付け穴が設けられたことを特
徴とする圧電バイモルフ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165357A JP2001345491A (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | 圧電バイモルフ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165357A JP2001345491A (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | 圧電バイモルフ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001345491A true JP2001345491A (ja) | 2001-12-14 |
Family
ID=18668834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000165357A Withdrawn JP2001345491A (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | 圧電バイモルフ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001345491A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116171097A (zh) * | 2023-04-25 | 2023-05-26 | 常州威图流体科技有限公司 | 一种压电双晶片结构 |
-
2000
- 2000-06-02 JP JP2000165357A patent/JP2001345491A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116171097A (zh) * | 2023-04-25 | 2023-05-26 | 常州威图流体科技有限公司 | 一种压电双晶片结构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070807 |