JP2001336935A - 圧電振動ジャイロ - Google Patents

圧電振動ジャイロ

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JP2001336935A
JP2001336935A JP2000157705A JP2000157705A JP2001336935A JP 2001336935 A JP2001336935 A JP 2001336935A JP 2000157705 A JP2000157705 A JP 2000157705A JP 2000157705 A JP2000157705 A JP 2000157705A JP 2001336935 A JP2001336935 A JP 2001336935A
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piezoelectric vibrating
vibrating gyroscope
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JP2000157705A
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English (en)
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Koichi Shuda
浩一 習田
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NEC Tokin Hyogo Ltd
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Tokin Ceramics Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 外部から振動や衝撃が加わって圧電振動子の
複数の固有振動数における各々差成分により歳差運動を
起こしても低ノイズで高精度な特性を保持できる圧電振
動ジャイロを提供すること。 【解決手段】 この圧電振動ジャイロの支持構造では、
一軸方向(X軸方向)に延びた角柱棒状の圧電振動子1
における屈曲振動ノード近傍の総計8箇所に対し、8個
の弾性材質から成る支持部材3a,3bの一端側を固定
すると共に、各支持部材3a,3bの他端側を絶縁性部
材2に固定して構成されている。ここでは、各支持部材
3a,3bが弾性の異なるものを含むように異なる形状
となっているため、外部から振動や衝撃が加わって圧電
振動子1の複数の固有振動数における各々差成分により
歳差運動を起こしても、その周波数が高くなってローパ
スフィルタによってノイズレべルを低減させることが可
能になる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として自動車の
ナビゲーションシステムやカメラ一体型VTRの手振れ
防止装置等に用いられるジャイロスコープに属されると
共に、棒状屈曲振動を利用した圧電振動ジャイロに関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の圧電振動ジャイロは、振
動している物体に回転角速度が与えられると、その振動
方向と垂直な方向にコリオリ力が生じるという力学現象
を利用したジャイロスコープとして知られている。
【0003】一般に、圧電振動ジャイロでは、互いに直
交する2つの異なる方向の励振とその検出とが可能であ
るように構成した複合振動系において、一方の振動を励
振した状態で振動体(圧電振動子)自体を2つの振動面
が交わる線と平行な軸を中心軸として回転させると、上
述したコリオリ力の作用によりこの振動と直角な方向に
力が作用し、その方向に新たに他方の振動が振動され
る。この新たな振動の大きさは、入力側の振動の大きさ
及び振動体に加えられた回転角速度に比例するため、入
力電圧を一定にした場合、出力電圧の大きさから回転角
速度の大きさを求めることができる。因みに、振動体に
電極パターンが形成された状態では、入力側の振動の大
きさは振動体の駆動電極に印加される入力電圧としての
駆動電圧により発生する駆動振動の振幅を示し、出力電
圧は検出電極から得られる検出電圧となる。
【0004】図6は、従来の圧電振動ジャイロの要部を
成す圧電振動子1の支持構造を示した斜視図である。こ
こでの支持構造は、一軸方向(X軸方向)に延びた屈曲
振動子である角柱棒状の圧電振動子1における屈曲振動
ノード近傍として、圧電振動子1の一軸方向と垂直な他
軸方向(Y軸方向)で対向する一つの両側面において一
軸方向に沿って第1の間隔を隔てた箇所であって、且つ
一軸方向(X軸方向)及び他軸方向(Y軸方向)と垂直
な厚さ方向を示す別軸方向(Z軸方向)に沿って第2の
間隔を隔てた総計8箇所に対し、それぞれ同じ形状で同
一な弾性材質(同じばね定数を有することを示す)の8
個の支持部材3aの一端側を固定すると共に、各支持部
材3aの他端側を絶縁性部材2に固定して構成されてい
る。
【0005】即ち、ここでの圧電振動子1の支持構造
は、一般に圧電振動子1における厚さ方向である別軸方
向(Z軸方向)の駆動振動、並びに一軸方向(X軸方
向)及び別軸方向(Z軸方向)と垂直な他軸方向(Y軸
方向)の検出振動の阻害を極力防止するため、圧電振動
子1を屈曲振動ノード近傍の総計8箇所において弾性材
質の支持部材3aの一端側で支え、且つ各支持部材3a
の他端側を絶縁性部材2に固定した構成となっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した圧電振動ジャ
イロにおける圧電振動子の支持構造の場合、外部から振
動や衝撃が加わって圧電振動子が慣性力により変位する
と、これに伴って弾性を有する各支持部材が変形し、こ
のときに各支持部材が復元力を持つために周期的な運動
を起こすが、こうした運動は圧電振動子の屈曲振動に乱
れを生じさせ、ノイズとなって出力されるため、特性的
に好ましくないという問題がある。
【0007】ここで生じる運動は、加えられた振動や衝
撃の波形の種類によって、圧電振動子の質量と支持部材
の弾性とから決定される固有振動数(周波数)の振動と
なったり、或いは過渡振動となる場合がある。因みに、
支持部材の弾性はその形状から応力の加わる方向によっ
て異なり、上述した固有周波数も複数存在することにな
る。
【0008】そこで、こうした不要な運動を防止するた
めの対策として、従来では固有振動数が検出しようとす
る角速度の周波数範囲よりも十分高くなるように、圧電
振動子を軽くするか、或いは支持部材を硬くした上、ロ
ーパスフィルタを用いてノイズレべルを低減させてい
る。
【0009】ところが、こうした対策による場合、複数
の固有振動数における各々差成分により生じる運動、即
ち、歳差運動によって発生するノイズについては考慮さ
れておらず、この歳差運動よりも発生するノイズレべル
が大きくなってしまうため、特性的に好ましくないとい
う問題点を抱えている。
【0010】図6を参照して具体的に言えば、特に別軸
方向(Z軸方向)を含む駆動振動面と他軸方向(Y軸方
向)を含む検出振動面とが交わる一軸方向(X軸方向)
に対して平行な軸を中心に回転する歳差運動は、ジャイ
ロとして検出しなければならない角速度の軸と一致する
上、支持部材の形状が同一であるが故にその弾性の差が
製造ばらつきの僅かな差しかないことによって振動数も
低くなるため、結果としてそれ以外の軸方向(Y軸方
向,Z軸方向)を中心として起こる歳差運動の影響より
も発生するノイズレべルが大きくなり、特性的に好まし
くないものとなっている。
【0011】要するに、従来の圧電振動ジャイロにおけ
る圧電振動子の支持構造の場合、外部から振動や衝撃が
加わって圧電振動子の複数の固有振動数における各々差
成分により歳差運動を起こすと、これによって発生する
ノイズが低い振動数(周波数)であるためにローパスフ
ィルタで低減させることができずに特性劣化を引き起こ
しているという問題がある。
【0012】本発明は、このような問題点を解決すべく
なされたもので、その技術的課題は、外部から振動や衝
撃が加わって圧電振動子の複数の固有振動数における各
々差成分により歳差運動を起こしても低ノイズで高精度
な特性を保持できる圧電振動ジャイロを提供することに
ある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、屈曲振
動子として働く圧電振動ジャイロ用の圧電振動子におけ
る屈曲振動ノード近傍の表面に該圧電振動子を支持する
ための弾性材質から成る複数の支持部材が配備された圧
電振動ジャイロにおいて、複数の支持部材は、弾性の異
なるものを含む圧電振動ジャイロが得られる。この圧電
振動ジャイロにおいて、複数の支持部材は、少なくとも
異なる形状であること及び異なる弾性材質であることの
何れか一方の条件を満たすものであることは好ましい。
【0014】又、本発明によれば、上記圧電振動ジャイ
ロにおいて、圧電振動子は、一軸方向に延びた角柱棒状
の形状であり、複数の支持部材は、圧電振動子の一軸方
向と垂直な他軸方向で対向する一つの両側面において該
一軸方向に沿って第1の間隔を隔てた箇所であって、且
つ該一軸方向及び該他軸方向と垂直な別軸方向に沿って
第2の間隔を隔てた総計8箇所に対し、該第2の間隔に
あっての一方側の組を成す4箇所のものと他方側の組を
成す4箇所のものとが同組同士でそれぞれ同じ形状で同
じ弾性材質とされると共に、該一方側の組を成す4箇所
のもの及び該他方側の組を成す4箇所のものが異組同士
で異なる形状で異なる弾性材質か、或いは同じ弾性材質
とされるように8個のものが用いられた圧電振動ジャイ
ロが得られる。
【0015】更に、本発明によれば、上記圧電振動ジャ
イロにおいて、圧電振動子は、一軸方向に延びた円柱棒
状の形状であり、複数の支持部材は、圧電振動子の一軸
方向と垂直な他軸方向で対向する側面の局部において該
一軸方向に沿って第1の間隔を隔てた箇所であって、且
つ該一軸方向及び該他軸方向と垂直な別軸方向に沿って
第2の間隔を隔てた総計8箇所に対し、該第2の間隔に
あっての一方側の組を成す4箇所のものと他方側の組を
成す4箇所のものとが同組同士でそれぞれ同じ形状で同
じ弾性材質とされると共に、該一方側の組を成す4箇所
のもの及び該他方側の組を成す4箇所のものが異組同士
で異なる形状で異なる弾性材質か、或いは同じ弾性材質
とされるように8個のものが用いられた圧電振動ジャイ
ロが得られる。
【0016】加えて、本発明によれば、上記圧電振動ジ
ャイロにおいて、圧電振動子は、一軸方向に延びた円柱
棒状の形状であり、複数の支持部材は、圧電振動子の一
軸方向に沿った側面の局部、並びに該一軸方向と垂直な
他軸方向で対向する側面の局部において該一軸方向に沿
って第1の間隔を隔てた箇所であって、且つ該一軸方向
及び該他軸方向と垂直な別軸方向に沿って第2の間隔を
隔てた総計6箇所に対し、該第2の間隔にあっての一方
側の組を成す4箇所のものと他方側の組を成す2箇所の
ものとが同組同士でそれぞれ同じ形状で同じ弾性材質と
されると共に、該一方側の組を成す4箇所のもの及び該
他方側の組を成す2箇所のものが異組同士で異なる形状
とされるように6個のものが用いられた圧電振動ジャイ
ロが得られる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下に幾つかの実施例を挙げ、本
発明の圧電振動ジャイロについて、図面を参照して詳細
に説明する。
【0018】図1は、本発明の実施例1に係る圧電振動
ジャイロの要部を成す圧電振動子1の支持構造を示した
斜視図である。ここでの支持構造は、一軸方向(X軸方
向)に延びた屈曲振動子である角柱棒状の圧電振動子1
における屈曲振動ノード近傍として、圧電振動子1の一
軸方向(X軸方向)と垂直な他軸方向(Y軸方向)で対
向する一つの両側面において一軸方向(X軸方向)に沿
って第1の間隔d1を隔てた箇所であって、且つ一軸方
向(X軸方向)及び他軸方向(Y軸方向)と垂直な別軸
方向(Z軸方向)に沿って第2の間隔d2(ここでは第
1の間隔d1よりも小さくなっている)を隔てた総計8
箇所に対し、8個の弾性材質から成る支持部材3a,3
bの一端側を固定すると共に、各支持部材3a,3bの
他端側を絶縁性部材2に固定して構成されている。
【0019】但し、ここでの各支持部材3a,3bは、
弾性の異なるものを含むように、第2の間隔d2にあっ
ての一方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3a)と
他方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3b)とが同
組同士でそれぞれ同じ形状で同じ弾性材質とされると共
に、一方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3a)及
び他方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3b)が異
組同士で異なる形状(支持部材3aが略階段状であるの
に対して支持部材3bはその角部を緩やかに屈曲させた
形状となっている)で同じ弾性材質(或いは上記した要
件を満たす限りでは異なる弾性材質としても良い)とさ
れるように配備されている。
【0020】このような圧電振動子1の支持構造を有す
る圧電振動ジャイロの場合、圧電振動子1を支持するた
めの各支持部材3a,3bが弾性の異なるものを含むよ
うに異なる形状となっているため、外部から振動や衝撃
が加わって圧電振動子1の複数の固有振動数における各
々差成分により歳差運動[特に別軸方向(Z軸方向)を
含む駆動振動面と他軸方向(Y軸方向)を含む検出振動
面とが交わる一軸方向(X軸方向)に対して平行な軸を
中心に回転する歳差運動]を起こしても、その周波数が
高くなってローパスフィルタによってノイズレべルを低
減させることが可能になり、低ノイズで優れた特性を保
持するものとなる。
【0021】図2は、本発明の実施例2に係る圧電振動
ジャイロの要部を成す圧電振動子の支持構造を示した斜
視図である。ここでの支持構造の場合、図1の実施例1
のものと比べて同様に一軸方向(X軸方向)に延びた屈
曲振動子である角柱棒状の圧電振動子1における屈曲振
動ノード近傍として、総計8箇所に各支持部材3a,3
cを配備しているが、ここでの各支持部材3a,3c
は、弾性の異なるものを含むように、第2の間隔d2に
あっての一方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3
a)と他方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3c)
とが同組同士でそれぞれ同じ形状で同じ弾性材質とされ
ると共に、一方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3
a)及び他方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3
c)が異組同士で異なる形状で(支持部材3aが他軸方
向での長さ寸法がやや大き目な略階段状であるのに対し
て支持部材3cは同様な他軸方向での長さ寸法がやや小
さ目な略階段状となっている)同じ弾性材質(或いは上
記した要件を満たす限りでは異なる弾性材質としても良
い)とされるように配備され、これによって各支持部材
3a,3cの他端側にはそれぞれ別個な絶縁性部材2′
が固定されている。
【0022】このような圧電振動子1の支持構造を有す
る実施例2に係る圧電振動ジャイロの場合も、圧電振動
子1を支持するための各支持部材3a,3cが弾性の異
なるものを含むように異なる形状となっているため、実
施例1の場合と同等に歳差運動を抑止し、且つ低ノイズ
で高精度な特性を保持する。
【0023】図3は、本発明の実施例3に係る圧電振動
ジャイロの要部を成す圧電振動子の支持構造を示した斜
視図である。ここでの支持構造の場合、図1の実施例1
のものと比べて同様に一軸方向(X軸方向)に延びた屈
曲振動子である角柱棒状の圧電振動子1における屈曲振
動ノード近傍として、総計8箇所に各支持部材3a,3
dを配備しているが、ここでの各支持部材3a,3d
は、弾性の異なるものを含むように、第2の間隔d2に
あっての一方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3
a)と他方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3d)
とが同組同士でそれぞれ同じ形状で同じ弾性材質とされ
ると共に、一方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3
a)及び他方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3
d)が異組同士で異なる形状で(支持部材3aが略階段
状であるのに対して支持部材3dは中央部分がやや膨ら
んだ略階段状となっている)同じ弾性材質(或いは上記
した要件を満たす限りでは異なる弾性材質としても良
い)とされるように配備されている。
【0024】このような圧電振動子1の支持構造を有す
る実施例3に係る圧電振動ジャイロの場合も、圧電振動
子1を支持するための各支持部材3a,3dが弾性の異
なるものを含むように異なる形状となっているため、実
施例1の場合と同等に歳差運動を抑止し、且つ低ノイズ
で高精度な特性を保持する。
【0025】図4は、本発明の実施例4に係る圧電振動
ジャイロの要部を成す圧電振動子1′の支持構造を示し
た斜視図である。ここでの支持構造の場合、図1の実施
例1のものと比べて角柱棒状の圧電振動子1に代え、一
軸方向(X軸方向)に延びた屈曲振動子である円柱棒状
の圧電振動子1′における屈曲振動ノード近傍に各支持
部材3a,3bを配備した点が相違している。
【0026】即ち、ここでは圧電振動子1′の一軸方向
(X軸方向)と垂直な他軸方向(Y軸方向)で対向する
側面の局部において一軸方向(X軸方向)に沿って第1
の間隔d1を隔てた箇所であって、且つ一軸方向(X軸
方向)及び他軸方向(Y軸方向)と垂直な別軸方向(Z
軸方向)に沿って第2の間隔d2(ここでは第1の間隔
d1よりも小さくなっている)を隔てた総計8箇所に対
し、8個の弾性材質から成る支持部材3a,3bの一端
側を固定すると共に、各支持部材3a,3bの他端側を
絶縁性部材2に固定して構成されている。
【0027】このような圧電振動子1′の支持構造を有
する実施例4に係る圧電振動ジャイロの場合も、圧電振
動子1′を支持するための各支持部材3a,3bが弾性
の異なるものを含むように異なる形状となっているた
め、実施例1の場合と同等に歳差運動を抑止し、且つ低
ノイズで高精度な特性を保持する。
【0028】尚、ここでの各支持部材3a,3bにおい
ても、第2の間隔d2にあっての一方側の組を成す4箇
所のもの(支持部材3a)と他方側の組を成す4箇所の
もの(支持部材3b)とが同組同士でそれぞれ同じ形状
で同じ弾性材質とされると共に、一方側の組を成す4箇
所のもの(支持部材3a)及び他方側の組を成す4箇所
のもの(支持部材3b)が異組同士で異なる形状(支持
部材3aが略階段状であるのに対して支持部材3bはそ
の角部を緩やかに屈曲させた形状となっている)で同じ
弾性材質(或いは上記した要件を満たす限りでは異なる
弾性材質としても良い)とされるように配備されてい
る。
【0029】図5は、本発明の実施例5に係る圧電振動
ジャイロの要部を成す圧電振動子1″の支持構造を示し
た斜視図である。ここでの支持構造の場合、圧電振動子
1″が実施例4の場合の圧電振動子1′よりも直径の小
さい円柱棒状の形状であり、図4の実施例4のものと比
べて一軸方向(X軸方向)に延びた屈曲振動子である角
柱棒状の圧電振動子1″における異なる屈曲振動ノード
近傍として、圧電振動子1″の一軸方向(X軸方向)に
沿った側面の局部、並びに一軸方向と垂直な他軸方向
(Y軸方向)で対向する側面の局部において一軸方向
(X軸方向)に沿って第1の間隔d1を隔てた箇所であ
って、且つ一軸方向(X軸方向)及び他軸方向(Y軸方
向)と垂直な別軸方向(Z軸方向)に沿って第2の間隔
d2(ここでは第1の間隔d1よりも小さくなってい
る)を隔てた総計6箇所に対し、6個の弾性材質から成
る支持部材3a,3eの一端側を固定すると共に、各支
持部材3a,3eの他端側を絶縁性部材2に固定して構
成されている。
【0030】但し、ここでの各支持部材3a,3eは、
弾性の異なるものを含むように、第2の間隔d2にあっ
ての一方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3a)と
他方側の組を成す2箇所のもの(支持部材3e)とが同
組同士でそれぞれ同じ形状で同じ弾性材質とされると共
に、一方側の組を成す4箇所のもの(支持部材3a)及
び他方側の組を成す2箇所のもの(支持部材3e)が異
組同士で同じ弾性材質(或いは上記した要件を満たす限
りでは異なる弾性材質としても良い)で異なる形状(支
持部材3aが略階段状で他軸方向で対向して配備されて
いるのに対して支持部材3eは対向する支持部材3aを
その方向で延長して合体したハンガー形状で他軸方向に
延びて中心部が圧電振動子1″の表面局部に外接した形
態となっている)とされるように配備されている。
【0031】このような圧電振動子1″の支持構造を有
する実施例5に係る圧電振動ジャイロの場合も、圧電振
動子1を支持するための各支持部材3a,3eが弾性の
異なるものを含むように異なる形状となっているため、
実施例1の場合と同等に歳差運動を抑止し、且つ低ノイ
ズで高精度な特性を保持する。
【0032】即ち、上述した各支持構造を有する各実施
例に係る圧電振動ジャイロの場合、何れの構成において
も圧電振動子1,1′,1″を支持するための各支持部
材3a,3b、各支持部材3a,3c、各支持部材3
a,3d、及び各支持部材3a,3eが弾性の異なるも
のを含む(少なくとも異なる形状であること及び異なる
弾性材質であることの何れか一方の条件を満たす)よう
にしているため、外部から振動や衝撃が加わって圧電振
動子1,1′,1″の複数の固有振動数における各々差
成分により歳差運動[特に別軸方向(Z軸方向)を含む
駆動振動面と他軸方向(Y軸方向)を含む検出振動面と
が交わる一軸方向(X軸方向)に対して平行な軸を中心
に回転する歳差運動]を起こしても、その周波数が高く
なってローパスフィルタによってノイズレべルを低減さ
せることが可能となり、結果として低ノイズで優れた特
性を維持することができるものとなる。
【0033】
【発明の効果】以上に述べた通り、本発明の圧電振動ジ
ャイロによれば、圧電振動ジャイロ用の圧電振動子を支
持するための各支持部材が弾性の異なるものを含む(少
なくとも異なる形状であること及び異なる弾性材質であ
ることの何れか一方の条件を満たす)ようにしているた
め、外部から振動や衝撃が加わって圧電振動子の複数の
固有振動数における各々差成分により歳差運動(特に駆
動振動面と検出振動面とが交わる一軸方向に対して平行
な軸を中心に回転する歳差運動)を起こしても、その周
波数が高くなってローパスフィルタによってノイズレべ
ルを低減させることができるため、低ノイズで高精度な
特性を保持するものとして作製できるようになる。この
結果、外部からの振動や衝撃による負荷を受けて歳差運
動を起こした場合にも、特性が損なわれない従来の圧電
振動ジャイロよりも優れた特性で信頼性の高い圧電振動
ジャイロを提供できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1に係る圧電振動ジャイロの要
部を成す圧電振動子の支持構造を示した斜視図である。
【図2】本発明の実施例2に係る圧電振動ジャイロの要
部を成す圧電振動子の支持構造を示した斜視図である。
【図3】本発明の実施例3に係る圧電振動ジャイロの要
部を成す圧電振動子の支持構造を示した斜視図である。
【図4】本発明の実施例4に係る圧電振動ジャイロの要
部を成す圧電振動子の支持構造を示した斜視図である。
【図5】本発明の実施例5に係る圧電振動ジャイロの要
部を成す圧電振動子の支持構造を示した斜視図である。
【図6】従来の圧電振動ジャイロの要部を成す圧電振動
子の支持構造を示した斜視図である。
【符号の説明】
1,1′,1″ 圧電振動子 2,2′ 支持部材固定台 3a〜3e 支持部材

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 屈曲振動子として働く圧電振動ジャイロ
    用の圧電振動子における屈曲振動ノード近傍の表面に該
    圧電振動子を支持するための弾性材質から成る複数の支
    持部材が配備された圧電振動ジャイロにおいて、前記複
    数の支持部材は、弾性の異なるものを含むことを特徴と
    する圧電振動ジャイロ。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の圧電振動ジャイロにおい
    て、前記複数の支持部材は、少なくとも異なる形状であ
    ること及び異なる弾性材質であることの何れか一方の条
    件を満たすものであることを特徴とする圧電振動ジャイ
    ロ。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の圧電振動ジャイロにおい
    て、前記圧電振動子は、一軸方向に延びた角柱棒状の形
    状であり、前記複数の支持部材は、前記圧電振動子の前
    記一軸方向と垂直な他軸方向で対向する一つの両側面に
    おいて該一軸方向に沿って第1の間隔を隔てた箇所であ
    って、且つ該一軸方向及び該他軸方向と垂直な別軸方向
    に沿って第2の間隔を隔てた総計8箇所に対し、該第2
    の間隔にあっての一方側の組を成す4箇所のものと他方
    側の組を成す4箇所のものとが同組同士でそれぞれ同じ
    形状で同じ弾性材質とされると共に、該一方側の組を成
    す4箇所のもの及び該他方側の組を成す4箇所のものが
    異組同士で異なる形状で異なる弾性材質とされるように
    8個のものが用いられたことを特徴とする圧電振動ジャ
    イロ。
  4. 【請求項4】 請求項2記載の圧電振動ジャイロにおい
    て、前記圧電振動子は、一軸方向に延びた角柱棒状の形
    状であり、前記複数の支持部材は、前記圧電振動子の前
    記一軸方向と垂直な他軸方向で対向する一つの両側面に
    おいて該一軸方向に沿って第1の間隔を隔てた箇所であ
    って、且つ該一軸方向及び該他軸方向と垂直な別軸方向
    に沿って第2の間隔を隔てた総計8箇所に対し、該第2
    の間隔にあっての一方側の組を成す4箇所のものと他方
    側の組を成す4箇所のものとが同組同士でそれぞれ同じ
    形状で同じ弾性材質とされると共に、該一方側の組を成
    す4箇所のもの及び該他方側の組を成す4箇所のものが
    異組同士で異なる形状で同じ弾性材質とされるように8
    個のものが用いられたことを特徴とする圧電振動ジャイ
    ロ。
  5. 【請求項5】 請求項2記載の圧電振動ジャイロにおい
    て、前記圧電振動子は、一軸方向に延びた円柱棒状の形
    状であり、前記複数の支持部材は、前記圧電振動子の前
    記一軸方向と垂直な他軸方向で対向する側面の局部にお
    いて該一軸方向に沿って第1の間隔を隔てた箇所であっ
    て、且つ該一軸方向及び該他軸方向と垂直な別軸方向に
    沿って第2の間隔を隔てた総計8箇所に対し、該第2の
    間隔にあっての一方側の組を成す4箇所のものと他方側
    の組を成す4箇所のものとが同組同士でそれぞれ同じ形
    状で同じ弾性材質とされると共に、該一方側の組を成す
    4箇所のもの及び該他方側の組を成す4箇所のものが異
    組同士で異なる形状で異なる弾性材質とされるように8
    個のものが用いられたことを特徴とする圧電振動ジャイ
    ロ。
  6. 【請求項6】 請求項2記載の圧電振動ジャイロにおい
    て、前記圧電振動子は、一軸方向に延びた円柱棒状の形
    状であり、前記複数の支持部材は、前記圧電振動子の前
    記一軸方向と垂直な他軸方向で対向する側面の局部にお
    いて該一軸方向に沿って第1の間隔を隔てた箇所であっ
    て、且つ該一軸方向及び該他軸方向と垂直な別軸方向に
    沿って第2の間隔を隔てた総計8箇所に対し、該第2の
    間隔にあっての一方側の組を成す4箇所のものと他方側
    の組を成す4箇所のものとが同組同士でそれぞれ同じ形
    状で同じ弾性材質とされると共に、該一方側の組を成す
    4箇所のもの及び該他方側の組を成す4箇所のものが異
    組同士で異なる形状で同じ弾性材質とされるように8個
    のものが用いられたことを特徴とする圧電振動ジャイ
    ロ。
  7. 【請求項7】 請求項2記載の圧電振動ジャイロにおい
    て、前記圧電振動子は、一軸方向に延びた円柱棒状の形
    状であり、前記複数の支持部材は、前記圧電振動子の前
    記一軸方向に沿った側面の局部、並びに該一軸方向と垂
    直な他軸方向で対向する側面の局部において該一軸方向
    に沿って第1の間隔を隔てた箇所であって、且つ該一軸
    方向及び該他軸方向と垂直な別軸方向に沿って第2の間
    隔を隔てた総計6箇所に対し、該第2の間隔にあっての
    一方側の組を成す4箇所のものと他方側の組を成す2箇
    所のものとが同組同士でそれぞれ同じ形状で同じ弾性材
    質とされると共に、該一方側の組を成す4箇所のもの及
    び該他方側の組を成す2箇所のものが異組同士で異なる
    形状とされるように6個のものが用いられたことを特徴
    とする圧電振動ジャイロ。
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