JP2001328049A - 刃物検知装置 - Google Patents

刃物検知装置

Info

Publication number
JP2001328049A
JP2001328049A JP2000151206A JP2000151206A JP2001328049A JP 2001328049 A JP2001328049 A JP 2001328049A JP 2000151206 A JP2000151206 A JP 2000151206A JP 2000151206 A JP2000151206 A JP 2000151206A JP 2001328049 A JP2001328049 A JP 2001328049A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light receiving
light emitting
laser
blade
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000151206A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuzuru Tanaka
譲 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daishowa Seiki Co Ltd
Original Assignee
Daishowa Seiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daishowa Seiki Co Ltd filed Critical Daishowa Seiki Co Ltd
Priority to JP2000151206A priority Critical patent/JP2001328049A/ja
Publication of JP2001328049A publication Critical patent/JP2001328049A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/248Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods
    • B23Q17/2485Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods using interruptions of light beams

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 自動加工機に取り付けたの刃物の折損の有
無、磨耗度、刃先位置等をレーザー光を利用して検知す
る装置として、発光部及び受光部の内部への切削油や切
り粉等の侵入を阻止でき、内部の保護ガラス表面が汚れ
ず、常に安定した受光感度に基づく高い検知精度が得ら
れるものを提供する。 【解決手段】 レーザー光を出射する発光部11と、受
光部12とが対設され、自動加工機に取り付けた刃物が
レーザー光軸LA上を通過する際の受光量の変化に基づ
いて電気信号を出力する刃物検知装置10において、発
光部11内の焦点レンズ2の光出射側と受光部12内の
受光素子5の光入射側とに保護ガラス6が設置され、発
光部11の発光口3の内側と受光部11の受光口4の内
側とに、光通過孔7aを備えたシャッター7が配置し、
シャッター7を開放位置と遮蔽位置とに転換させるシャ
ッター駆動手段8,9を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マシニングセンタ
等の自動加工機に取り付けた刃物の折損の有無、磨耗
度、刃先位置等をレーザー光を利用して無接触式で検知
するための刃物検知装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、自動加工機に取り付けた刃物の折
損の有無を調べる手段として、タッチセンサーの如き接
触式の検知装置が汎用されていたが、近年においてレー
ザー光を利用した無接触式のものが普及しつつある。こ
のレーザー式刃物検知装置は、レーザーダイオードの如
きレーザー発光素子からのレーザー光をコリメートレン
ズの如き焦点レンズで絞って発光口を通して出射する発
光部と、そのレーザー光を受光口を通して内部のフォト
ダイオードの如き受光素子で受けて電気信号に変換する
受光部とが対設されており、自動加工機の加工ベッドに
取り付けて移動させ、刃物が発光部と受光部の間のレー
ザー光軸上を通過する際の受光量の変化に基づいて所要
の電気信号を出力するものであり、刃物の折損の有無の
みならず、移動速度と受光量との相関から刃先の磨耗度
や刃先の精密な位置等も併せて検知することができる。
【0003】しかして、従来のレーザー式刃物検知装置
では、加工中に飛散する切削油や切り粉等の侵入による
検知不良ないし検知精度の低下を防止するために、発光
口及び受光口に保護ガラスとその外側を覆う光通過孔付
きの保護カバーとを取り付けると共に、この保護ガラス
と保護カバーとの間に常時エアブローを行うようにして
いる。その構造を発光部側で代表して図5に示す。この
図において、30は発光ブロックであり、その内部に装
填したレーザーダイオード31からのレーザー光をコリ
メートレンズ32を介して絞って発光口33から外部へ
出射するが、この発光口33には透明な保護ガラス34
が嵌め込まれると共に、発光口32の外側に庇状の保護
カバー35が取り付けられており、レーザー光Lが保護
ガラス34を透過して保護カバー35の光通過孔35a
を通るように設定され、また保護カバー35の内側基部
近傍にエアー放出口36aが設けてあり、ブロック30
内部のエアー通路36より供給されるエアーが該放出口
36aより保護ガラス34と保護カバー35の狭間に常
時放出されるようになっている。37はブロック30内
の後部空間に納めた電気回路基板である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザー式刃物
検知装置では、上記のように保護ガラスを設けることに
より、内部への切削油や切り粉等の侵入は完全に防止さ
れ、またエアブローによって保護ガラス34の表面への
切削油や切り粉等の付着もある程度は抑えられる。しか
るに、特に切削油は種類が多く性状も様々であるため、
エアブローを行っていても保護ガラス34の表面への付
着を完全には防止しきれず、該表面に薄い膜状となって
付着することが多々ある上、保護ガラス34の表面に曇
りを生じることも多く、これらによってレーザー光の直
進性が乱されたり、光の強弱変化を起こし、受光感度に
影響して検知精度が低下するという問題があった。
【0005】本発明は、上述の情況に鑑み、レーザー式
の刃物検知装置として、発光部及び受光部の内部への切
削油や切り粉等の侵入を確実に阻止でき、発光部及び受
光部の内部の保護ガラス表面に切削油等が付着する恐れ
がなく、もって常に安定した受光感度に基づく高い検知
精度が得られるものを提供することを第一の目的とし、
これに加えて保護ガラスの表面を曇りのない清澄な状態
に保持し、もって長期にわたって高い検知精度を維持で
きるものを提供することを第二の目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記第一の目的を達成す
るために、請求項1の発明は、図面の参照符号を付して
示せば、レーザー発光素子1からのレーザー光Lを焦点
レンズ2で絞って発光口3を通して出射する発光部11
と、そのレーザー光Lを受光口4を通して内部の受光素
子5で受けて電気信号に変換する受光部12とが対設さ
れ、自動加工機Mに取り付けた刃物Tが発光部11と受
光部12の間のレーザー光軸LA上を通過する際の受光
量の変化に基づいて所要の電気信号を出力する刃物検知
装置10において、発光部11内の焦点レンズ2の光出
射側と受光部12内の受光素子5の光入射側とに、それ
ぞれ保護ガラス6が設置され、発光部11の発光口3の
内側と受光部11の受光口4の内側とに、それぞれ光通
過孔7aを備えたシャッター7が配置すると共に、これ
らシャッター7,7をレーザー光が光通過孔7aを通る
開放位置と発光口3及び受光口4を塞ぐ遮蔽位置とに転
換させるシャッター駆動手段8,9を備えることを特徴
としている。
【0007】上記構成の刃物検知装置10では、刃物検
知を行う時のみシャッター7,7を開放位置に設定し、
それ以外はシャッター7,7を遮蔽位置とすることによ
り、発光口3及び受光口4から内部への切削油や切り粉
等の侵入が機械的に確実に遮断される。しかして、保護
ガラス6は焦点レンズ2及び受光素子5に近い内奥に位
置するから、シャッター7を開放位置とした刃物検知中
においても、空気中を浮遊する塵埃や切削油霧滴等が保
護ガラス6の表面に達することは殆どない。
【0008】請求項2の発明は、上記請求項1の刃物検
知装置において、発光部11及び受光部12における前
記保護ガラス6と前記シャッター7との間の空間13を
与圧するエアー供給手段14を具備してなるものとして
いる。この場合、エアー供給手段14によって空間13
を常時与圧しておけば、シャッター7が開放状態と遮蔽
状態のいずれであっても内外の圧力差によって発光部1
1及び受光部12の内部への外気の侵入が阻止され、も
って外気に付随した塵埃や切削油霧滴等が内部へ入り込
むのを確実に防止できる。
【0009】請求項3の発明は、前記第二の目的を達成
するために、上記請求項2の刃物検知装置において、発
光部11及び受光部12における前記保護ガラス6と前
記シャッター7との間の空間13が、レーザー光通過部
で連通する複数の空気室13a〜13cに区画されてな
るものとしている。この場合、空間13が複数の空気室
13a〜13cに区画されていることにより、この空間
13内での空気の流動が生じにくくなるから、該空気中
に僅かに水分等が含まれていても保護ガラス6の表面に
付着蓄積しにくく、もってガラス面は曇りのない清澄な
状態に保持されることになる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る刃物検知装置
の一実施例について、図面を参照して具体的に説明す
る。図1は刃物検知装置10の全体斜視図、図2は該刃
物検知装置10の不使用時における要部の縦断正面図、
図3は同使用時おける要部の縦断正面図、図4は該刃物
検知装置10を取り付けた自動加工機Mの斜視図であ
る。
【0011】図1に示すように、この刃物検知装置10
は、左右両端に二股状の取付用突片5a,15aを有す
る横長の台座ブロック15上に、共にやや縦長で同形の
発光ブロック11と受光ブロック12が距離を置いて対
設されており、発光ブロック11の発光口3から出射さ
れたレーザー光Lが受光ブロック12の受光口4(図
2,3参照)に入射するように構成されている。16
a,16bは台座ブロック15に設けられた一対のエア
ー導入口、17は該台座ブロック15から導出する電気
ケーブルである。
【0012】図2に示すように、発光ブロック11の内
部には、レーザー発光ユニット18とそのレーザー出射
側に臨む保護ガラス6を嵌装した環状保持板6aとが装
填されており、この保護ガラス6と発光口3との間にレ
ーザー光通過部で連通する3つの空気室13a〜13c
に区画された空間13を有すると共に、発光口3側の空
間13aの下方にピストン8を上下方向移動自在に装填
したシリンダ室20を備え、また該シリンダ室20の上
端側に連通するエアー通路9と、中間の空気室13bに
連通するエアー通路14とを有している。
【0013】一方、受光ブロック12の内部には、受光
ユニット23とそのレーザー入射側に臨む保護ガラス6
を嵌装した環状保持板6aとが装填され、発光ブロック
11側と全く同様に、保護ガラス6と受光口4との間に
3つの空気室13a〜13cに区画された空間13、受
光口4側の空間13aの下方にピストン8を装填したシ
リンダ室20、該シリンダ室20の上端側に連通するエ
アー通路9、中間の空気室13bに連通するエアー通路
14を有している。なお、発光ブロック11及び受光ブ
ロック12のエアー通路9,14は、それぞれ台座ブロ
ック15内の通気路21,22を通して当該台座ブロッ
ク15のエアー導入口16a,16bに連通している。
【0014】また、発光ブロック11及び受光ブロック
12の空間13a内には、縦長箱枠形のシャッター7が
上下移動可能に装填されている。このシャッター7は、
上部寄りに光通過孔7aを有しており、その下端部にお
いてOリング24を介して空間13a内に突入している
ピストンロッド8aの先端に連結され、もってピストン
8と一体に昇降動作する。このピストン8は、シリンダ
室20の下部に装填したコイルスプリング25の弾発力
によって常時は上限位置にあるように付勢されている
が、エアー通路9を介してシリンダ室20の上部側にエ
アーを導入した際、該コイルスプリング25の付勢に抗
して下降し、下端に突設されたストッパーピン8bがシ
リンダ室20の底端に当接する下限位置に保持される。
しかして、シャッター7は、ピストン8の上限位置では
図2の如く該光通過孔7aが発光口3及び受光口4から
上方へ外れた遮蔽位置となり、同下限位置では図3の如
く該光通過孔7aが発光口3及び受光口4に臨んで且つ
レーザー光軸LSを通す開放位置に来るように設定され
ている。
【0015】レーザー発光ユニット18は、円筒状の保
持枠18a内に、レーザー発光素子であるレーザーダイ
オード1を嵌装したリング1aと、焦点レンズであるコ
リメートレンズ2を嵌装した短筒体2aとが各々セット
ねじ26を介して定位置に保持されされると共に、保持
枠18aの外側にレーザーダイオード1の基板1bに接
続した電気回路基板27を備えており、コリメートレン
ズ2側を保護ガラス6に臨ませて発光ブロック11内に
装填されている。一方、受光ユニット23は、受光素子
であるフォトダイオード5を嵌装したリング23aと、
該フォトダイオード5の基板5aに接続した電気回路基
板28を備えており、リング23aをセットボルト29
で固定することにより、フォトダイオード5が保護ガラ
ス6に臨む状態で受光ブロック12内に装填されてい
る。なお、レーザー発光ユニット18のコリメートレン
ズ2の位置は、レーザーダイオード1から発したレーザ
ー光をフォトダイオード5に焦点合わせするように、保
持枠18aに対する短筒体2aの螺合位置の移動によっ
て予め調整される。
【0016】上記構成の刃物検知装置10は、例えば図
4に示すように、自動加工機Mの加工ベッドBの端部
に、台座ブロック15の両端の取付用突片5a,15a
をボルト・ナットSで固定して取り付け、刃物Tの検知
を行う。しかして、発光ブロック11及び受光ブロック
12の空間13はエアー通路14からのエアー導入によ
って常時与圧しておくが、両ブロック11,12のシャ
ッター7,7は刃物検知を行う時以外は遮蔽位置とす
る。
【0017】刃物検知に際しては、発光ブロック11及
び受光ブロック12のシャッター7,7を共に開放位置
として、レーザーダイオード1を発光させる。このレー
ザーダイオード1から発せられたレーザー光は、コリメ
ートレンズ2によって絞られてシャッター7の光通過孔
7aを通って出射され、受光ブロック12側のシャッタ
ー7の光通過孔7aを通ってフォトダイオード5に受光
される。従って、両ブロック11,12間のレーザー光
軸LSが刃物Tの刃先を横切るように加工ベッドBを移
動させれば、刃先位置を通過する際のフォトダイオード
5の受光量の変化によって刃物Tの状態が検知され、各
々に対応した所要の電気信号が出力される。すなわち、
刃物Tの折損の有無は、レーザー光が遮ぎられて受光量
の変化を生じるか否かによって検知される。しかして、
欠損が検知された場合、その検知信号によって機械を停
止したり、あるいは自動的に刃物交換を行うように設定
しておけばよい。また、刃物検知装置10の移動速度と
受光量との相関から、刃先の磨耗度や刃先の精密な位置
等も併せて検知することができる。
【0018】上記構成の刃物検知装置10にあっては、
刃物検知を行う時以外は、発光ブロック11及び受光ブ
ロック12のシャッター7,7を共に遮蔽位置にして発
光口3及び受光口4を封鎖されているため、切削加工中
に飛散する切削油や切り粉等が発光口3及び受光口4か
ら内部へ侵入するのを確実に防止できる。しかも両ブロ
ック11,12共にシャッター7の内側の空間13が常
時与圧されていることから、シャッター7と発光口3及
び受光口4の周縁との間や他の部位に僅かな隙間があっ
ても、内外の圧力差によって内部への外気の侵入が阻止
され、もって外気に付随した塵埃や切削油霧滴等が内部
へ入り込むのを確実に防止できる。
【0019】一方、シャッター7が刃物検知時の開放位
置にある場合は、保護ガラス6は空間13の内奥に位置
する上、空間13の与圧によって図3に示すように光通
過孔7aから外側へエアーブローを生じ、光通過孔7a
から内部への外気の侵入が阻止されるから、外気中に浮
遊する塵埃や切削油霧滴等が保護ガラス6に付着する懸
念はなく、もって該保護ガラス6の汚れによる検知精度
の低下を確実に防止できる。
【0020】更に、上記実施例の刃物検知装置10にお
いては、発光ブロック11及び受光ブロック12の空間
13が複数の空気室13a〜13cに区画されて空気の
流動を生じにくいことから、該空気中に僅かに水分等が
含まれていても保護ガラス6の表面に付着蓄積しにく
く、もってガラス面を曇りのない清澄な状態に保持でき
るから、長期にわたって高い検知精度を維持できる。
【0021】なお、シャッター7は、前記実施例ではコ
イルスプリング25の付勢による遮蔽位置からシリンダ
室20へのエアーの導入によって開放位置に変位する構
成としているが、逆にエアー圧の作用中は閉鎖位置にあ
ってエアー圧の停止によってばね力で開放位置に変位す
る構成としてもよい。また、シャッター7の駆動手段と
しては、前記のエアー圧で作動するピストン8に代え
て、モーターやソレノイドを使用することも可能であ
る。更に、本発明においては、レーザー発光素子及び受
光素子の種類、シャッター7の形状と光通過孔7aの位
置、エアー通路9,14の配置、空間13の区画形状と
区画数、各構成部材の取付構造等、細部構成については
実施例以外に種々設計変更可能である。
【0022】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、マシニングセ
ンタ等の自動加工機に取り付けた刃物の折損の有無、磨
耗度、刃先位置等をレーザー光を利用して無接触式で検
知するための刃物検知装置として、レーザー光を出射す
る発光部の発光口の内側と受光部の受光口の内側とにシ
ャッターを備え、該シャッターを刃物検知時のみ開放位
置とし、それ以外は遮蔽位置として発光口及び受光口を
封鎖できることから、発光部及び受光部の内部への切削
油や切り粉等の侵入を確実に阻止でき、発光部内の焦点
レンズの光出射側と受光部内の受光素子の光入射側とに
設けた保護ガラスの表面に切削油等が付着する恐れがな
く、もって常に安定した受光感度に基づく高い検知精度
が得られるものが提供される。
【0023】請求項2の発明によれば、上記の刃物検知
装置において、発光部及び受光部のシャッターと保護ガ
ラスとの間の空間を常時与圧することから、シャッター
が開放状態と遮蔽状態のいずれであっても内外の圧力差
によって発光部及び受光部の内部への外気の侵入が阻止
され、もって外気に付随した塵埃や切削油霧滴等が内部
へ入り込むのを確実に防止でき、保護ガラスの汚れによ
る検知精度の低下をより確実に防止できるという点があ
る。
【0024】請求項3の発明によれば、上記の刃物検知
装置において、前記の発光部及び受光部のシャッターと
保護ガラスとの間の空間が複数の空気室に区画されて空
気の流動を生じにくいことから、保護ガラスの表面が曇
りのない清澄な状態に保持され、長期にわたって高い検
知精度を維持できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係る刃物検知装置の斜視
図である。
【図2】 同刃物検知装置の不使用時における要部の縦
断正面図である。
【図3】 同刃物検知装置の使用時おける要部の縦断正
面図である。
【図4】 同刃物検知装置を取り付けた自動加工機の斜
視図である。
【図5】 従来技術の要部の縦断正面図である。
【符号の説明】 1 レーザーダイオード(レーザー発光素
子) 2 コリメートレンズ(焦点レンズ) 3 発光口 4 受光口 5 フォトダイオード(受光素子) 6 保護ガラス 7 シャッター 7a 光透過孔 8 ピストン(シャッター駆動手段) 9 エアー通路(シャッター駆動手段) 10 刃物検知装置 11 発光ブロック(発光部) 12 受光ブロック(受光部) 13 空間 13a〜13c 空気室 14 エアー通路 L レーザー光 LS レーザー光軸 M 自動加工機 T 刃物

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザー発光素子からのレーザー光を焦
    点レンズで絞って発光口を通して出射する発光部と、そ
    のレーザー光を受光口を通して内部の受光素子で受けて
    電気信号に変換する受光部とが対設され、自動加工機に
    取り付けた刃物が発光部と受光部の間のレーザー光軸上
    を通過する際の受光量の変化に基づいて所要の電気信号
    を出力する刃物検知装置において、 発光部内の焦点レンズの光出射側と受光部内の受光素子
    の光入射側とに、それぞれ保護ガラスが設置され、 発光部の発光口の内側と受光部の受光口の内側とに、そ
    れぞれ光通過孔を備えたシャッターが配置すると共に、
    これらシャッターをレーザー光が光通過孔を通る開放位
    置と発光口及び受光口を塞ぐ遮蔽位置とに転換させるシ
    ャッター駆動手段を備えることを特徴とする刃物検知装
    置。
  2. 【請求項2】 発光部及び受光部における前記保護ガラ
    スと前記シャッターとの間の空間を与圧するエアー供給
    手段を具備してなる請求項1記載の刃物検知装置。
  3. 【請求項3】 発光部及び受光部における前記保護ガラ
    スと前記シャッターとの間の空間が、レーザー光通過部
    で連通する複数の空気室に区画されてなる請求項2記載
    の刃物検知装置。
JP2000151206A 2000-05-23 2000-05-23 刃物検知装置 Pending JP2001328049A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000151206A JP2001328049A (ja) 2000-05-23 2000-05-23 刃物検知装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000151206A JP2001328049A (ja) 2000-05-23 2000-05-23 刃物検知装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001328049A true JP2001328049A (ja) 2001-11-27

Family

ID=18656801

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000151206A Pending JP2001328049A (ja) 2000-05-23 2000-05-23 刃物検知装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001328049A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004034278A (ja) * 2002-07-08 2004-02-05 Makino Milling Mach Co Ltd 工具測定方法、及び工具測定機能を備えた工作機械
JP2010538850A (ja) * 2007-09-13 2010-12-16 マーポス、ソチエタ、ペル、アツィオーニ 光学デバイスを用いて機械構成部品をチェックするための装置および関連する保護デバイス並びに方法
USD783694S1 (en) 2015-04-08 2017-04-11 Daishowa Seiki Kabushiki Kaisha Measuring instruments for machine tools
USD795933S1 (en) 2015-04-08 2017-08-29 Daishowa Seiki Kabushiki Kaisha Measuring instrument for machine tools
JP2018103354A (ja) * 2016-10-24 2018-07-05 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP2018111196A (ja) * 2016-10-24 2018-07-19 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP2018134727A (ja) * 2016-10-24 2018-08-30 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP2022525154A (ja) * 2019-03-13 2022-05-11 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 工作機械用工具測定装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0587526A (ja) * 1991-07-26 1993-04-06 Omron Corp 変位センサ
JPH0531849U (ja) * 1991-10-14 1993-04-27 三菱重工業株式会社 工作機械工具の異常検出装置
JPH0760616A (ja) * 1993-08-26 1995-03-07 Toyoda Mach Works Ltd バイト先端測定装置の保護装置
JPH07297102A (ja) * 1994-04-22 1995-11-10 Nikon Corp ステージ精度評価方法
JPH11188577A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Okuma Corp 刃具の振れ検出方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0587526A (ja) * 1991-07-26 1993-04-06 Omron Corp 変位センサ
JPH0531849U (ja) * 1991-10-14 1993-04-27 三菱重工業株式会社 工作機械工具の異常検出装置
JPH0760616A (ja) * 1993-08-26 1995-03-07 Toyoda Mach Works Ltd バイト先端測定装置の保護装置
JPH07297102A (ja) * 1994-04-22 1995-11-10 Nikon Corp ステージ精度評価方法
JPH11188577A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Okuma Corp 刃具の振れ検出方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004034278A (ja) * 2002-07-08 2004-02-05 Makino Milling Mach Co Ltd 工具測定方法、及び工具測定機能を備えた工作機械
JP2010538850A (ja) * 2007-09-13 2010-12-16 マーポス、ソチエタ、ペル、アツィオーニ 光学デバイスを用いて機械構成部品をチェックするための装置および関連する保護デバイス並びに方法
US8497466B2 (en) 2007-09-13 2013-07-30 Marposs, S.P.A. Apparatus for checking mechanical component parts with optical devices, and relevant protection device and method
KR101476372B1 (ko) * 2007-09-13 2014-12-24 마포스 쏘시에타 페르 아지오니 광학 디바이스들을 갖는 기계 구성요소 부품들을 체킹하기 위한 장치, 및 관련 보호 디바이스 및 방법
USD783694S1 (en) 2015-04-08 2017-04-11 Daishowa Seiki Kabushiki Kaisha Measuring instruments for machine tools
USD795933S1 (en) 2015-04-08 2017-08-29 Daishowa Seiki Kabushiki Kaisha Measuring instrument for machine tools
JP2018103354A (ja) * 2016-10-24 2018-07-05 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP2018111196A (ja) * 2016-10-24 2018-07-19 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP2018134727A (ja) * 2016-10-24 2018-08-30 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP7210134B2 (ja) 2016-10-24 2023-01-23 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP7296694B2 (ja) 2016-10-24 2023-06-23 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP2022525154A (ja) * 2019-03-13 2022-05-11 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 工作機械用工具測定装置
JP7289365B2 (ja) 2019-03-13 2023-06-09 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 工作機械用工具測定装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1673943B (zh) 耐污染光电鼠标及托座
US11946873B2 (en) Detection device for detecting contamination
US9459372B2 (en) Method and device for detecting an object with background suppression
SE508426C2 (sv) Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning
JP5579254B2 (ja) ターゲットの含水量を判定する装置
ATE533188T1 (de) Optische anordnung mit einem optischen element und herstellungsverfahren dafür
JP2001328049A (ja) 刃物検知装置
KR101302854B1 (ko) 미스트 측정 장치
CN101971056A (zh) 光屏障以及用于检测对象的方法
KR20140000152A (ko) 광학식 입자 검출 장치 및 입자 검출 방법
US5675143A (en) Proximity switch
JP7289365B2 (ja) 工作機械用工具測定装置
US11904426B2 (en) Non-contact tool measurement apparatus
US20230060584A1 (en) Optical machine of smoke detector
US20050201716A1 (en) Transmitter for light barriers, light grids and the like
JP7282470B2 (ja) 光電センサの製造
CN113557106B (zh) 测量设备和方法
JP7003946B2 (ja) エアパージユニット
EP0881633A3 (en) Laser beam emitting device and an optical pickup provided with the laser beam emitting device
CN219120532U (zh) 一种具备透镜清洁度检测功能的舞台灯
EP3466597A1 (en) Apparatus for machining a workpiece with a laser beam
US20220311915A1 (en) Optical engine with multiple light sources and package structure thereof
US12010413B2 (en) Optical engine with multiple light sources and package structure thereof
CN219675865U (zh) 一种保护镜散射值监测装置及光纤切割头
JP2002243543A (ja) 光電センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070322

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20071019

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100225

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100624