JP2001319552A - 保護素子およびその製造方法 - Google Patents

保護素子およびその製造方法

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JP2001319552A
JP2001319552A JP2000137897A JP2000137897A JP2001319552A JP 2001319552 A JP2001319552 A JP 2001319552A JP 2000137897 A JP2000137897 A JP 2000137897A JP 2000137897 A JP2000137897 A JP 2000137897A JP 2001319552 A JP2001319552 A JP 2001319552A
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Noriyuki Maeda
憲之 前田
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NEC Schott Components Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 導電ペーストを塗布焼成して形成した電極を
有する保護素子において、電極の薄型化および低抵抗値
化を図る。 【解決手段】 セラミック製の絶縁基板1にAgPt粒
子が90〜99重量%、ガラスが0.1〜0.5重量
%、金属酸化物が0.5〜5重量%からなる導電ペース
トを塗布焼成して、シート抵抗値が1.3μm/□以下
で、かつ厚さが17〜35μmの電極2、3を形成し、
この電極2、3にリード4、5を接続するとともに、電
極2、3間にまたがって低融点合金6を接続し、低融点
合金6をフラックス7で被覆し、絶縁キャップ8を被せ
て封止樹脂9で固着封止した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は保護素子に関し、
特にセラミック製の絶縁基板に導電ペーストを塗布焼成
して形成した電極を有する温度ヒューズや抵抗付きヒュ
ーズ等の保護素子に関する。
【0002】
【従来の技術】電気機器および電子機器(以下、電子機
器という)の過熱焼損を防止するために、保護素子が用
いられている。この種の保護素子には、周囲温度の感知
によって溶断する低融点合金を用いた温度ヒューズと称
されるものと、電子機器の異常を検出して抵抗体に通電
することによって、抵抗体の発熱で低融点合金を加熱し
て溶断させる,いわゆる抵抗付きヒューズと称されるも
のとがある。
【0003】図9は、従来の薄型温度ヒューズと称され
る保護素子Cの一部を切り開いた平面図で、図10はそ
の長手方向の中心線に沿う断面図である。図9および図
10において、61はアルミナセラミック製の矩形状の
絶縁基板で、その長手方向の両端部にAgペースト等の
導電ペーストを塗布焼成して形成した電極62、63を
有する。これらの電極62、63の外方端部には、銅製
またはニッケル製のリード64、65がはんだ付け等に
より接続されている。前記電極62、63の内方端間に
またがって低融点合金66が溶接等により接続されてい
る。前記低融点合金66の全面はフラックス67によっ
て被覆されている。そして、フラックス67の上方から
セラミックまたは絶縁樹脂等の成形体よりなる絶縁キャ
ップ68が被せられ、エポキシ樹脂等の封止樹脂69に
より固着封止されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近の電子
機器の小型化および薄型化に伴って、それに用いられる
保護素子も小型化および薄型化が要求されている。しか
しながら、単純に保護素子の小型化および薄型化を行う
と、必然的に電極の小面積化および薄型化になり、その
結果、電極62、63が低融点合金66に食われて消失
してしまい、低融点合金66が剥離するといったことが
起こったり、あるいは電極62、63の消失は免れて
も、電極62、63の抵抗値が増大して、その通電によ
る自己発熱量が増大して、低融点合金66が誤溶断して
しまうといった不都合が生じる。あるいは、通電電流に
よる自己発熱で低融点合金66が誤溶融しないようにす
るためには、定格電流値を低く設定して自己発熱量が小
さくなるようにすることが必要になり、最近の小型でし
かも大電流容量の要求に応えられない。
【0005】そこで、実開昭63−99640号公報に
は、導電ペースト中の導電体粒子の割合が15〜30重
量%のAgペースト等の導電ペーストを塗布焼成して、
電極の厚さを5μm以上に形成することが開示されてい
る。しかしながら、このように導電体粒子の割合が低い
導電ペーストを用いた場合は、電極が低融点合金に食わ
れることを防止するという所期の目的は達成できるもの
の、電極の抵抗値が大きいため、自己発熱を小さくする
という課題は解決されない。
【0006】また、特開平11−195362号公報に
は、大電流下での自己発熱量を抑制するために、導電ペ
ーストを塗布焼成して形成した電極のシート抵抗値に着
眼して、電極のシート抵抗値を1.3mΩ/□以下にす
ることが開示されている。しかしながら、この発明は、
単に電極のシート抵抗にのみ着眼したもので、Agペー
ストを用いてこのようなシート抵抗値を実現するために
は、電極の厚さを40〜100μmにしなければならな
いことが開示されている。このように電極の厚さが厚く
なると、それのみで保護素子の薄型化が阻害されるのみ
ならず、必然的にこの電極上に重ねて接続されている低
融点合金の高さが高くなり、保護素子の低背化を阻害す
ることが明らかである。そこで、本発明は、低シート抵
抗値で、かつ薄型の電極を有する保護素子を提供するこ
とを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、セラミック製の絶縁基板の離隔した位置
に導電ペーストを塗布焼成して形成した電極を有し、こ
れら電極間に低融点合金を接続してなる保護素子におい
て、前記電極のシート抵抗値が1.3mΩ/□以下で、
かつ厚さが17〜35μmの範囲にあることを特徴とす
る保護素子である。本発明はまた、セラミック製の絶縁
基板の離隔した位置に導電ペーストを塗布焼成して電極
を形成し、これら電極間に低融点合金を接続する保護素
子の製造方法において、前記電極を形成する導電ペース
トが、導電体粒子をバインダ中に分散したものであり、
導電体粒子の含有量が90重量%以上であることを特徴
とする保護素子の製造方法である。
【0008】以下、本発明の各種態様について、作用効
果とともに説明する。本発明の請求項1記載の発明は、
セラミック製の絶縁基板の離隔した位置に導電ペースト
を塗布焼成して形成した電極を有し、これら電極間に低
融点合金を接続してなる保護素子において、前記電極の
シート抵抗値が1.3mΩ/□以下で、かつ厚さが17
〜35μmの範囲にあることを特徴とする保護素子であ
る。このような構成によると、低シート抵抗値で、かつ
薄型の電極により、低背化された保護素子が得られる。
【0009】本発明の請求項2載の発明は、前記電極を
形成する導電体粒子が、AgPtまたはAgPdよりな
ることを特徴とする請求項1記載の保護素子である。こ
のような構成によると、AgPtまたはAgPdよりな
る良導電性の導電体粒子により、低抵抗でかつ薄型の電
極を有する保護素子が得られる。
【0010】本発明の請求項3記載の発明は、前記保護
素子が、温度ヒューズまたは抵抗付きヒューズであるこ
とを特徴とする請求項1または2記載の保護素子であ
る。このような構成によると、低抵抗でかつ薄型の電極
を有する温度ヒューズまたは抵抗付きヒューズと称され
る保護素子が得られる。
【0011】本発明の請求項4記載の発明は、セラミッ
ク製の絶縁基板の離隔した位置に導電ペーストを塗布焼
成して電極を形成し、これら電極間に低融点合金を接続
する保護素子の製造方法において、前記電極を形成する
導電ペーストが、導電体粒子をバインダ中に分散したも
のであり、導電体粒子の含有量が90重量%以上である
ことを特徴とする保護素子の製造方法である。このよう
な製造方法によると、導電ペースト中の導電体粒子の含
有量が多く、低抵抗で薄型の電極を有する保護素子が得
られる。
【0012】本発明の請求項5記載の発明は、前記電極
を形成する導電ペーストの組成が、AgPtが90〜9
9重量%、ガラスが0.1〜0.5重量%、金属酸化物
が0.5〜5重量%であることを特徴とする請求項4記
載の保護素子の製造方法である。このような製造方法に
よると、導電体粒子の含有量が多く、低抵抗で薄型の電
極を有する保護素子が得られる。
【0013】本発明の請求項6記載の発明は、前記請求
項5記載の導電ペーストを、800〜900℃で5〜1
5分間焼成して電極を形成することを特徴とする保護素
子の製造方法である。このような製造方法によると、ガ
ラス等のバインダ成分が十分溶融して、導電体粒子を強
固に固着した電極を有する保護素子が得られる。
【0014】本発明の請求項7記載の発明は、前記保護
素子が、温度ヒューズまたは抵抗付きヒューズであるこ
とを特徴とする請求項4ないし6記載の保護素子の製造
方法である。このような製造方法によると、低抵抗で薄
型の電極を有する温度ヒューズまたは抵抗付きヒューズ
が得られる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の保護素子の実施形
態について、図面を参照して説明する。
【実施形態1】図1は本発明の第1実施形態の温度ヒュ
ーズと称される保護素子Aの一部を切り開いた平面図
で、図2はその長手方向の中心線に沿う断面図である。
図1および図2において、1はアルミナセラミック製の
矩形状の絶縁基板で、その長手方向の両端部にAgP
t,AgPd等の導電ペーストを塗布焼成して電極2、
3が形成されている。この電極2、3は、それぞれシー
ト抵抗値が1.3mΩ/□以下であり、かつ厚さが17
〜35μmのものである。これらの電極2、3の外方端
部には、それぞれはんだ付け等により銅製またはニッケ
ル製のリード4、5が接続されている。また、各電極
2、3の内方端部間にまたがって低融点合金6が溶接等
により接続されている。この低融点合金6は全面がフラ
ックス7により被覆されている。このフラックス7の上
方からはセラミックまたは絶縁樹脂製の成形体よりなる
絶縁キャップ8が被せられて、エポキシ樹脂等の封止樹
脂9により固着封止されている。
【0016】前記電極2、3は、例えばAgPtの導電
体粒子の割合が98.1重量%、ガラスが0.2重量
%、金属酸化物が1.7重量%からなるAgPt導電ペ
ーストを、200〜325メッシュのステンレス製スク
リーンを用いてスクリーン印刷により厚さ80〜150
μmに塗布形成し、室温で5〜10分間放置して印刷膜
のレベリングを行い、その後乾燥オーブン中において1
50℃で10分間乾燥させた後、焼成炉で〜100℃/
分の昇温速度で850℃まで昇温し、850℃のピーク
温度で10分間焼成し、その後〜100℃/分の降温速
度で常温まで降温して形成した。このようにして得られ
た電極2、3は、その厚さが17〜35μmで、シート
抵抗値が1.3mΩ/□以下であった。このような電極
2、3を有する保護素子Aは、内部抵抗が小さく、かつ
低背化ができる。なお、上記導電ペーストの焼成後の電
極2、3の厚さ(μm)とシート抵抗(mΩ/□)との
関係は、図3のようになっている。
【0017】また、導電ペーストの組成は、上記のもの
が市販品から入手が容易であるが、例えば、AgPt、
AgPdの導電体粒子の割合が90〜99重量%、ガラ
スが0.1〜1重量%、金属酸化物が0.5〜5重量%
からなるAgPtまたはAgPd導電ペーストを用いて
もよい。ここで、AgPt、AgPdの導電体粒子の割
合が90重量%未満では、得られる電極2、3のシート
抵抗値が1.3mΩ/□を超えるし、99重量%を超え
ると、絶縁基板1に対する電極2、3の固着強度が不足
する。したがって、AgPt、AgPdの導電体粒子の
割合は90〜99重量%が望ましい。また、ガラスが
0.1重量%未満では、電極2、3の絶縁基板1に対す
る固着強度が不足するし、1重量%を超えると、電極
2、3のシート抵抗値が1.3mΩ/□を超える。した
がって、ガラスの割合は0.1〜1重量%が望ましい。
さらに、金属酸化物が0.5重量%未満では、電極2、
3の絶縁基板1に対する固着強度が不足し、5重量%を
超えると、電極2、3のシート抵抗値が1.3mΩ/□
を超える。したがって、金属酸化物の割合は0.5〜5
重量%が望ましい。
【0018】また、上記実施例の導電ペースト塗布膜の
焼成条件は、上記した850℃で10分間の条件が最も
望ましいが、800〜900℃のピーク温度範囲で、5
〜15分間の範囲内で変更することができる。ここで、
焼成温度と焼成時間とは相反する関係にあり、焼成温度
が低い場合は焼成時間を長くし、焼成温度が高い場合は
焼成時間を短くする。ピーク温度が800℃よりも低い
と、ガラス等のバインダ成分の溶融が不十分になり、電
極2、3の固着強度が不足するし、900℃を超えると
ガラス等のバインダ成分が流れ過ぎて、電極2、3の形
状および厚さの確保が困難になる。したがって、導電ペ
ースト塗布膜の焼成時のピーク温度は800〜900℃
が望ましい。また、ピーク温度下での焼成時間が5分間
未満では、ガラス等のバインダ成分の溶融が不十分にな
って、電極2、3の固着強度が不足するし、15分間を
超えると、ガラス等のバインダ成分が流れ過ぎて、電極
2、3の形状および厚さの確保が困難になる。したがっ
て、焼成時間は5〜15分間が望ましい。
【0019】
【実施形態2】次に、本発明の第2実施形態である抵抗
付きヒューズと称される保護素子について、図面を参照
して説明する。図4は、そのような保護素子Bの一部を
切り開いた平面図で、図5は図4のA−A線に沿う断面
図、図6は一部を切り開いた下面図である。図4〜図6
において、11はアルミナセラミック等よりなる略矩形
状の絶縁基板で、その長手方向の両端近傍の中心線から
偏芯した位置に透孔12、13が形成されている。絶縁
基板11の表面の前記透孔12,13を含まない第1位
置,前記透孔12を含む第2位置,透孔13を含む第3
位置に、それぞれAgPt、AgPdの導電体粒子を含
む導電ペーストを塗布焼成して電極14,15,16が
形成されている。また、絶縁基板11の裏面の前記透孔
12を含む第4位置,透孔13を含む第5位置に、それ
ぞれAgPt、AgPdの導電体粒子の導電ペーストを
塗布焼成して電極17,18が形成されている。これら
の電極14、15、16、17、18は、シート抵抗値
が1.3mΩ/□以下で、かつ厚さが17〜35μmに
形成されている。なお、これらの電極14,15,16
および17,18は、絶縁基板11に直接形成する場合
の他、予めMnMoペースト等を塗布焼成して下地層を
形成しておいて、その上に形成してもよい。このように
すると、絶縁基板11に対する電極14,15,16お
よび17,18の密着強度を大きくできる。ここで、絶
縁基板11の表面の第2位置における電極15と裏面の
第4位置における電極17とは、透孔12内に充填され
た導電物質によって接続されており、絶縁基板11の表
面の第3位置における電極16と裏面の第5位置におけ
る電極18とは、透孔13内に充填された導電物質によ
って接続されている。前記絶縁基板11の裏面の電極1
7,18間にまたがって、例えば酸化ルテニウム等の抵
抗ペーストを塗布焼成して抵抗体19が形成されてお
り、これらの電極17、18および抵抗体19はガラス
または耐熱性樹脂等の絶縁材料よりなる絶縁層20で被
覆されている。これらの電極14、15、16上に第1
実施形態の保護素子Aと同様に、銅製またはニッケル製
のリード21、22、23が、例えばはんだ付け等によ
り接続されている。さらに、前記電極14、15の内方
端間にまたがって、低融点合金24が溶接等により接続
されている。この低融点合金24の全面はフラックス2
5で覆われ、さらにその上方からセラミックまたは樹脂
等の成形体からなる絶縁キャップ26が被せられ、エポ
キシ樹脂等の封止樹脂27で固着封止されている。
【0020】次に、上記実施形態の抵抗付きヒューズよ
りなる保護素子Bの等価回路について説明する。図7は
その等価回路図を示す。図7において、30(21),
31(22),32(23)は第1,第2,第3端子
で、それぞれリード21,22,23に対応している。
また、33(24)はヒューズで、前記低融点合金24
に対応している。このヒューズ33(24)は、前記第
1,第2端子30(21),31(22)間に接続され
ている。さらに、34(19)は抵抗体で、抵抗体19
に対応しており、前記第2,第3端子31(22),3
2(23)間に接続されている。
【0021】次に、図4〜図6に示す抵抗付きヒューズ
よりなる保護素子Bを、リチウムイオン二次電池の過充
電防止用保護装置として適用する場合について、図8に
より説明する。図8において、41,42は正負直流入
力端子で、43,44は正負直流出力端子であり、負直
流入力端子42と負直流出力端子44とは接続されてい
る。また、抵抗付きヒューズよりなる保護装置Bの第1
端子30(21)は正直流入力端子41に接続され、第
2端子31(22)は正直流出力端子43に接続されて
いる。また、45は負荷の端子電圧を検知する電圧検知
手段で、図示例はツェナダイオード46と電流制限抵抗
47の直列接続で構成されており、前記ツェナダイオー
ド46のカソードは前記正直流出力端子43に接続され
ている。第3端子32(23)には、前記電圧検知手段
45による電圧検知によって導通状態となるスイッチン
グ手段、例えばトランジスタ48のコレクタが接続さ
れ、そのエミッタは負直流入力端子42および負直流出
力端子44に接続されている。ここで、リード21,2
2が一直線状に導出されており、かつ幅広状であり、リ
ード23のみが異なる位置から導出され、かつ幅狭状で
あるので、これらリード21,22,23、すなわち,
第1,第2,第3端子30(21),31(22),3
2(23)の判別が容易で、誤接続することがない。
【0022】上記の構成において、正負直流入力端子4
1,42に電源,例えば充電器49を接続し、正負直流
出力端子43,44に負荷としてリチウムイオン二次電
池50を接続する。すると、リチウムイオン二次電池5
0の端子電圧が低いためツェナダイオード46が非導通
であるので、トランジスタ48は非導通状態であり、充
電器49−正直流入力端子41−第1端子30(21)
−ヒューズ33(24)−第2端子31(22)−正直
流出力端子43−リチウムイオン二次電池50−負直流
出力端子44−負直流入力端子42−充電器49の経路
で電流が流れて、リチウムイオン二次電池50が充電さ
れ、その端子電圧が徐々に上昇する。リチウムイオン二
次電池50の端子電圧がツェナダイオード46のツェナ
電圧を超えると、ツェナダイオード46が導通状態にな
り、トランジスタ48にバイアス電流が供給され、トラ
ンジスタ48が導通状態になる。それによって、充電器
49−正直流入力端子41−第1端子30(21)−ヒ
ューズ33(24)−第2端子31(22)−抵抗体3
4(19)−第3端子32(23)−トランジスタ48
−負直流入力端子42−充電器49の経路で電流が流れ
て、抵抗体34(19)が発熱して、その発熱による加
熱でヒューズ33(24)が溶断して、リチウムイオン
二次電池50の充電を阻止する。したがって、リチウム
イオン二次電池50の過充電が防止されて、危険が未然
に防止できる。
【0023】上記本発明の実施形態は、特定の構成につ
いて説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定され
るものではなく、各種の変形が可能である。
【0024】例えば、実施形態1、2において、絶縁キ
ャップ8、26を用いる場合について説明したが、この
ようにすれば、外観形状が見栄えよくなるとともに、絶
縁キャップに品名、定格、製造者標等を予め印刷形成で
きる利点がある。しかしながら、絶縁樹脂を塗布または
ポッテングして封止するようにしてもよい。
【0025】また、上記実施形態1、2では、絶縁基板
1、11に直接導電ペーストを塗布焼成して電極2、3
および14、15、16、17、18を形成する場合に
ついて説明したが、絶縁基板1、11にMoMn等より
なるメタライズ層を形成して、その上に電極2、3およ
び14、15、16、17、18を形成するようにして
もよい。そのようにすると、電極2、3および14、1
5、16、17、18の絶縁基板1、11に対する固着
強度を増大することができる。
【0026】さらに、上記実施形態2において、本発明
の請求項でいう電極とは、低融点合金24を接続する電
極14,15をいう。したがって、シート抵抗値を1.
3mΩ/□以下にするのは、これらの電極14,15の
みでよい。しかしながら、実際問題として電極14、1
5のみを他の電極16,17,18と異なる条件で形成
することは、却って製造原価の上昇を招くので、全電極
を同一条件で形成することが望ましい。
【0027】なお、上記実施形態は、いずれもリード
4,5または21,22,23を設ける場合について説
明したが、電極2,3または14,15,16を絶縁基
板1,11の端面を通って裏面に延長形成することによ
って、リードレス構造、すなわち表面実装構造にしても
よい。
【0028】以上のように本発明は、セラミック製の絶
縁基板の離隔した位置に導電ペーストを塗布焼成して形
成した電極を有し、これら電極間に低融点合金を接続し
てなる保護素子において、前記電極のシート抵抗値が
1.3mΩ/□以下で、かつ厚さが17〜35μmの範
囲にあることを特徴とする保護素子であるから、保護素
子の低内部抵抗化および薄型化が実現できる。本発明は
また、セラミック製の絶縁基板の離隔した位置に導電ペ
ーストを塗布焼成して電極を形成し、これら電極間に低
融点合金を接続する保護素子の製造方法において、前記
電極を形成する導電ペーストが、導電体粒子をバインダ
中に分散したものであり、導電体粒子の含有量が90重
量%以上であることを特徴とする保護素子の製造方法で
あるから、17〜35μmという薄い電極で、1.3m
Ω/□以下という低抵抗が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態の温度ヒューズからな
る保護素子Aの一部を切り開いた平面図
【図2】 本発明の第1実施形態の温度ヒューズからな
る保護素子Aの長手方向の中心線に沿う断面図
【図3】 本発明の保護素子における電極の厚さとシー
ト抵抗値との特性図
【図4】 本発明の第2実施形態の抵抗付きヒューズか
らなる保護素子Bの一部を切り開いた平面図
【図5】 本発明の第2実施形態の抵抗付きヒューズか
らなる保護素子BのA−A線に沿う断面図
【図6】 本発明の第2実施形態の抵抗付きヒューズか
らなる保護素子Bの一部を切り開いた下面図
【図7】 本発明の第2実施形態の抵抗付きヒューズか
らなる保護素子Bの等価回路図
【図8】 本発明の第2実施形態の抵抗付きヒューズか
らなる保護素子Bをリチウムイオン二次電池の過充電防
止回路に用いた場合の回路図
【図9】 従来の温度ヒューズからなる保護素子Cの一
部を切り開いた平面図
【図10】 従来の温度ヒューズからなる保護素子Cの
長手方向の中心線に沿う断面図
【符号の説明】
1、11 絶縁基板 2、3、14、15、16、17、18 電極 4、5、21、22、23 リード 6、24 低融点合金 7、25 フラックス 8、26 絶縁キャップ 9、27 封止樹脂 12、13 透孔 19 抵抗体 20 絶縁層 30、31、32 端子 33 ヒューズ 34 抵抗体 41、42 正負直流入力端子 43、44 正負直流出力端子 45 電圧検知手段 46 電圧検知素子(ツェナダイオード) 47 電流制限抵抗 48 スイッチング手段(トランジスタ) 49 充電器 50 リチウムイオン二次電池

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】セラミック製の絶縁基板の離隔した位置に
    導電ペーストを塗布焼成して形成した電極を有し、これ
    ら電極間に低融点合金を接続してなる保護素子におい
    て、前記電極のシート抵抗値が1.3mΩ/□以下で、
    かつ厚さが17〜35μmの範囲にあることを特徴とす
    る保護素子。
  2. 【請求項2】前記電極を形成する導電体成分が、AgP
    tまたはAgPdよりなることを特徴とする請求項1記
    載の保護素子。
  3. 【請求項3】前記保護素子が、温度ヒューズまたは抵抗
    付きヒューズであることを特徴とする請求項1または2
    記載の保護素子。
  4. 【請求項4】セラミック製の絶縁基板の離隔した位置に
    導電ペーストを塗布焼成して電極を形成し、これら電極
    間に低融点合金を接続する保護素子の製造方法におい
    て、前記電極を形成する導電ペーストが、導電体粒子を
    バインダ中に分散したものであり、導電体粒子の含有量
    が90重量%以上であることを特徴とする保護素子の製
    造方法。
  5. 【請求項5】前記電極を形成する導電ペーストの組成
    が、AgPtが90〜99重量%、ガラスが0.1〜
    0.5重量%、金属酸化物が0.5〜5重量%であるこ
    とを特徴とする請求項4記載の保護素子の製造方法。
  6. 【請求項6】前記請求項5記載の導電ペーストを、80
    0〜900℃で5〜15分間焼成して電極を形成するこ
    とを特徴とする保護素子の製造方法。
  7. 【請求項7】前記保護素子が、温度ヒューズまたは抵抗
    付きヒューズであることを特徴とする請求項4ないし6
    記載の保護素子の製造方法。
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