JP2001318305A - オートフォーカス方法 - Google Patents
オートフォーカス方法Info
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- JP2001318305A JP2001318305A JP2000137682A JP2000137682A JP2001318305A JP 2001318305 A JP2001318305 A JP 2001318305A JP 2000137682 A JP2000137682 A JP 2000137682A JP 2000137682 A JP2000137682 A JP 2000137682A JP 2001318305 A JP2001318305 A JP 2001318305A
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- imaging system
- focusing
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Abstract
(57)【要約】
【課題】短時間で合焦点を探すことができるオートフォ
ーカス方法を提供する。 【解決手段】 ワークの複数の分割された領域のそれぞ
れに撮像系の焦点を合わせるためのオートフォーカス方
法であって、撮像系とワークの内の少なくとも一方を、
撮像系の光軸に沿う方向に所定範囲移動させて、複数の
分割された領域の内のある１つの領域の表面に撮像系の
焦点が合う合焦点を探索する探索工程（Ｓ８０２）と、
探索工程で探索された合焦点を記憶する記憶工程（Ｓ８
０４）と、撮像系とワークの内の少なくとも一方を、撮
像系の光軸に沿う方向に、合焦点を中心として所定範囲
よりも小さい範囲内で移動させて、ある１つの領域の近
傍の領域の表面に焦点を合わせる焦点合わせ工程（Ｓ８
０６）とを具備する。
ーカス方法を提供する。 【解決手段】 ワークの複数の分割された領域のそれぞ
れに撮像系の焦点を合わせるためのオートフォーカス方
法であって、撮像系とワークの内の少なくとも一方を、
撮像系の光軸に沿う方向に所定範囲移動させて、複数の
分割された領域の内のある１つの領域の表面に撮像系の
焦点が合う合焦点を探索する探索工程（Ｓ８０２）と、
探索工程で探索された合焦点を記憶する記憶工程（Ｓ８
０４）と、撮像系とワークの内の少なくとも一方を、撮
像系の光軸に沿う方向に、合焦点を中心として所定範囲
よりも小さい範囲内で移動させて、ある１つの領域の近
傍の領域の表面に焦点を合わせる焦点合わせ工程（Ｓ８
０６）とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オートフォーカス
方法に関するものである。
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のオートフォーカス方法としては、
例えば特開平８−９７２７１号公報に開示されているよ
うに、規格厚さ誤差の範囲をスキャンして合焦させる方
法、特開平６−１７８１８８号公報に開示されているよ
うに、ロット内の分散を推定して、スキャン範囲を設定
して合焦させる方法などが知られている。
例えば特開平８−９７２７１号公報に開示されているよ
うに、規格厚さ誤差の範囲をスキャンして合焦させる方
法、特開平６−１７８１８８号公報に開示されているよ
うに、ロット内の分散を推定して、スキャン範囲を設定
して合焦させる方法などが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以下、従来例について
より詳しく説明する。
より詳しく説明する。
【０００４】図２は、ウェハーとチップを示した図で、
ウェハー２０１は、半導体ウェハーで、チップ２０２
は、ウェハーを切断したチップである。チップに付した
番号（１，２，３，…）は、チップＮｏ．である。
ウェハー２０１は、半導体ウェハーで、チップ２０２
は、ウェハーを切断したチップである。チップに付した
番号（１，２，３，…）は、チップＮｏ．である。
【０００５】図５は、チップの厚さを示す図で、５０
１，５０２，５０３は、別々のウェハーでのチップ厚さ
を表す曲線である。横軸は、ウェハー内の位置をチップ
Ｎｏ．で表わしており、縦軸は、ウェハーの厚さであ
る。ウェハーの規格厚さ誤差を±Ｌ３、単一ウェハー内
の厚さ誤差を±Ｌ２、隣接チップ間の厚さの差を±Ｌ１
とするとＬ３＞Ｌ２＞Ｌ１の関係にある。
１，５０２，５０３は、別々のウェハーでのチップ厚さ
を表す曲線である。横軸は、ウェハー内の位置をチップ
Ｎｏ．で表わしており、縦軸は、ウェハーの厚さであ
る。ウェハーの規格厚さ誤差を±Ｌ３、単一ウェハー内
の厚さ誤差を±Ｌ２、隣接チップ間の厚さの差を±Ｌ１
とするとＬ３＞Ｌ２＞Ｌ１の関係にある。
【０００６】特開平８−９７２７１号公報は、規格厚さ
誤差すなわちＬ３にしたがってスキャン範囲を設定する
ものであり、隣接チップ間の厚さの差Ｌ１に従うスキャ
ン範囲設定に比べスキャン範囲を広くする必要があり、
オートフォーカス時間は長くかかる。なお、スキャン範
囲とは、合焦点を探すために、チップの厚さ方向（撮像
系の光軸に沿う方向）に撮像系の焦点位置を移動させる
範囲を指す。
誤差すなわちＬ３にしたがってスキャン範囲を設定する
ものであり、隣接チップ間の厚さの差Ｌ１に従うスキャ
ン範囲設定に比べスキャン範囲を広くする必要があり、
オートフォーカス時間は長くかかる。なお、スキャン範
囲とは、合焦点を探すために、チップの厚さ方向（撮像
系の光軸に沿う方向）に撮像系の焦点位置を移動させる
範囲を指す。
【０００７】図６は、チップの厚さ誤差を示す図で、単
一ウェハー内のチップ厚の差をチップＮｏ．１のチップ
を基準にあらわしている。横軸は、チップＮｏ．で、縦
軸は、チップ厚の差である。
一ウェハー内のチップ厚の差をチップＮｏ．１のチップ
を基準にあらわしている。横軸は、チップＮｏ．で、縦
軸は、チップ厚の差である。
【０００８】図７は、チップ厚のばらつきを示す表で、
チップＮｏ．１からチップＮｏ．２０までのデータであ
る。隣接チップ間の厚さの差の最大は、５μｍ（チップ
ＮＯ．１２−チップＮＯ．１３、チップＮＯ．１９−チ
ップＮＯ．２０）でありＬ１に相当する。
チップＮｏ．１からチップＮｏ．２０までのデータであ
る。隣接チップ間の厚さの差の最大は、５μｍ（チップ
ＮＯ．１２−チップＮＯ．１３、チップＮＯ．１９−チ
ップＮＯ．２０）でありＬ１に相当する。
【０００９】一方、スキャン範囲設定を特開平６−１７
８１８８号公報でのＸｓ＝ｘ−３σ、Ｘｅ＝ｘ＋３σに
従って設定すると、スキャン範囲は、５０μｍ程度必要
であり±Ｌ１（＝５＋５＝１０μｍ）に比べて広くな
る。
８１８８号公報でのＸｓ＝ｘ−３σ、Ｘｅ＝ｘ＋３σに
従って設定すると、スキャン範囲は、５０μｍ程度必要
であり±Ｌ１（＝５＋５＝１０μｍ）に比べて広くな
る。
【００１０】即ち、特開平８−９７２７１号公報に開示
されている方法、特開平６−１７８１８８号公報に開示
されている方法のいずれにおいても、オートフォーカス
時間が長くかかるという問題点があった。
されている方法、特開平６−１７８１８８号公報に開示
されている方法のいずれにおいても、オートフォーカス
時間が長くかかるという問題点があった。
【００１１】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、短時間で合焦点を探す
ことができるオートフォーカス方法を提供することであ
る。
されたものであり、その目的は、短時間で合焦点を探す
ことができるオートフォーカス方法を提供することであ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるオートフォーカ
ス方法は、ワークの複数の分割された領域のそれぞれに
撮像系の焦点を合わせるためのオートフォーカス方法で
あって、前記撮像系と前記ワークの内の少なくとも一方
を、前記撮像系の光軸に沿う方向に所定範囲移動させ
て、前記複数の分割された領域の内のある１つの領域の
表面に前記撮像系の焦点が合う合焦点を探索する探索工
程と、前記探索工程で探索された合焦点を記憶する記憶
工程と、前記撮像系と前記ワークの内の少なくとも一方
を、前記撮像系の光軸に沿う方向に、前記合焦点を中心
として前記所定範囲よりも小さい範囲内で移動させて、
前記ある１つの領域の近傍の領域の表面に焦点を合わせ
る焦点合わせ工程とを具備することを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わるオートフォーカ
ス方法は、ワークの複数の分割された領域のそれぞれに
撮像系の焦点を合わせるためのオートフォーカス方法で
あって、前記撮像系と前記ワークの内の少なくとも一方
を、前記撮像系の光軸に沿う方向に所定範囲移動させ
て、前記複数の分割された領域の内のある１つの領域の
表面に前記撮像系の焦点が合う合焦点を探索する探索工
程と、前記探索工程で探索された合焦点を記憶する記憶
工程と、前記撮像系と前記ワークの内の少なくとも一方
を、前記撮像系の光軸に沿う方向に、前記合焦点を中心
として前記所定範囲よりも小さい範囲内で移動させて、
前記ある１つの領域の近傍の領域の表面に焦点を合わせ
る焦点合わせ工程とを具備することを特徴としている。
【００１３】また、この発明に係わるオートフォーカス
方法において、前記撮像系は、テレビカメラを用いて前
記ワークを撮影することを特徴としている。
方法において、前記撮像系は、テレビカメラを用いて前
記ワークを撮影することを特徴としている。
【００１４】また、この発明に係わるオートフォーカス
方法において、前記探索工程では、前記テレビカメラに
より撮影された画像のコントラストが最大となる点を探
索することを特徴としている。
方法において、前記探索工程では、前記テレビカメラに
より撮影された画像のコントラストが最大となる点を探
索することを特徴としている。
【００１５】また、この発明に係わるオートフォーカス
方法において、前記ワークは、インクジェットプリンタ
のヒーターボードであることを特徴としている。
方法において、前記ワークは、インクジェットプリンタ
のヒーターボードであることを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について説明する。
について説明する。
【００１７】なお、本実施形態は、ウェハーを切断して
作られるチップ等の連続したワークのオートフォーカス
において、近傍ワークの合焦位置および近傍ワーク間の
厚み差にもとづいてスキャン範囲を設定することでスキ
ャン範囲を狭く設定し、短時間でのオートフォーカスを
可能にするものである。
作られるチップ等の連続したワークのオートフォーカス
において、近傍ワークの合焦位置および近傍ワーク間の
厚み差にもとづいてスキャン範囲を設定することでスキ
ャン範囲を狭く設定し、短時間でのオートフォーカスを
可能にするものである。
【００１８】以下、図面を参照して説明する。
【００１９】図１は、オートフォーカス機能を持つ画像
認識装置を示す図である。
認識装置を示す図である。
【００２０】図１において、ワーク１０１は、インクジ
ェットプリンタのヒーターボードで、ウェハー２０１か
ら切り出されたチップ２０２である。顕微鏡１０２は、
ワーク１０１の表面を拡大する光学系で、ＣＣＤカメラ
１０３は、顕微鏡１０２で拡大されたワーク１０１の表
面を撮影する。パルスモーター１０４は、顕微鏡１０
２、ＣＣＤカメラ１０３から成る撮像系をワーク１０１
の表面のフォーカス方向に移動させる駆動源である。画
像処理装置１０５は、ＣＣＤカメラ１０３、パルスモー
ター１０４に接続されており、ＣＣＤカメラ１０３から
の画像データの処理、およびパルスモータ１０４の位置
決め動作等の制御を行う。接続ケーブル１０６は、ＣＣ
Ｄカメラ１０３と画像処理装置１０５とを接続するケー
ブルである。接続ケーブル１０７は、パルスモーター１
０４と画像処理装置１０５とを接続するケーブルであ
る。
ェットプリンタのヒーターボードで、ウェハー２０１か
ら切り出されたチップ２０２である。顕微鏡１０２は、
ワーク１０１の表面を拡大する光学系で、ＣＣＤカメラ
１０３は、顕微鏡１０２で拡大されたワーク１０１の表
面を撮影する。パルスモーター１０４は、顕微鏡１０
２、ＣＣＤカメラ１０３から成る撮像系をワーク１０１
の表面のフォーカス方向に移動させる駆動源である。画
像処理装置１０５は、ＣＣＤカメラ１０３、パルスモー
ター１０４に接続されており、ＣＣＤカメラ１０３から
の画像データの処理、およびパルスモータ１０４の位置
決め動作等の制御を行う。接続ケーブル１０６は、ＣＣ
Ｄカメラ１０３と画像処理装置１０５とを接続するケー
ブルである。接続ケーブル１０７は、パルスモーター１
０４と画像処理装置１０５とを接続するケーブルであ
る。
【００２１】図３は、画像処理装置１０５のブロック図
である。
である。
【００２２】図３において、ＣＰＵ３０１は、画像処理
装置１０５を制御するＣＰＵで、バス３０６に接続され
ている。ＲＯＭ３０２は、制御プログラム、データを記
憶するＲＯＭでバス３０６に接続されている。ＲＡＭ３
０３は、画像データ等を記憶するＲＡＭでバス３０６に
接続されている。ＣＣＤカメラＩ／Ｆ３０４は、ＣＣＤ
カメラ１０３からの画像データを入力するためのインタ
フェースで、バス３０６に接続されている。パルスモー
タＩ／Ｆ３０５は、パルスモータ１０４を位置決め駆動
するためのインタフェースで、バス３０６に接続されて
いる。バス３０６は、ＣＰＵ３０１、ＲＯＭ３０２、Ｒ
ＡＭ３０３、ＣＣＤカメラＩ／Ｆ３０４およびパルスモ
ータＩ／Ｆ３０５をバス接続するバスである。
装置１０５を制御するＣＰＵで、バス３０６に接続され
ている。ＲＯＭ３０２は、制御プログラム、データを記
憶するＲＯＭでバス３０６に接続されている。ＲＡＭ３
０３は、画像データ等を記憶するＲＡＭでバス３０６に
接続されている。ＣＣＤカメラＩ／Ｆ３０４は、ＣＣＤ
カメラ１０３からの画像データを入力するためのインタ
フェースで、バス３０６に接続されている。パルスモー
タＩ／Ｆ３０５は、パルスモータ１０４を位置決め駆動
するためのインタフェースで、バス３０６に接続されて
いる。バス３０６は、ＣＰＵ３０１、ＲＯＭ３０２、Ｒ
ＡＭ３０３、ＣＣＤカメラＩ／Ｆ３０４およびパルスモ
ータＩ／Ｆ３０５をバス接続するバスである。
【００２３】図４は、撮像系の位置とコントラストの関
係を示す図である。横軸は、顕微鏡１０２、ＣＣＤカメ
ラ１０３とからなる撮像系の位置を表わし、縦軸は、合
焦度合いであるコントラスト値を表わしており、ピーク
が合焦点となる。
係を示す図である。横軸は、顕微鏡１０２、ＣＣＤカメ
ラ１０３とからなる撮像系の位置を表わし、縦軸は、合
焦度合いであるコントラスト値を表わしており、ピーク
が合焦点となる。
【００２４】図８は、オートフォーカスの動作を示すフ
ローチャートであり、１枚のウェハー２０１から切り出
されたチップ２０２についてチップＮｏ．１，２，３，
…の順でオートフォーカスする手順を示す。以下フロー
チャートに従って説明する。
ローチャートであり、１枚のウェハー２０１から切り出
されたチップ２０２についてチップＮｏ．１，２，３，
…の順でオートフォーカスする手順を示す。以下フロー
チャートに従って説明する。
【００２５】ステップＳ８０１は、チップ１０１がウェ
ハー２０１のチップＮｏ．１のチップか判別するステッ
プで、チップＮｏ．１であればステップＳ８０２に進
み、Ｎｏ．２以降であればステップＳ８０６に進む。ス
テップＳ８０２では、スキャン範囲（チップの厚さ方向
に撮像系を動かす範囲）をウェハーの規格厚さ誤差（±
Ｌ３）で設定する。
ハー２０１のチップＮｏ．１のチップか判別するステッ
プで、チップＮｏ．１であればステップＳ８０２に進
み、Ｎｏ．２以降であればステップＳ８０６に進む。ス
テップＳ８０２では、スキャン範囲（チップの厚さ方向
に撮像系を動かす範囲）をウェハーの規格厚さ誤差（±
Ｌ３）で設定する。
【００２６】ステップＳ８０３では、設定されているス
キャン範囲で合焦点を捜す。即ち、画像処理装置１０５
により、図４に示したようなコントラストが最大となる
位置を探す。
キャン範囲で合焦点を捜す。即ち、画像処理装置１０５
により、図４に示したようなコントラストが最大となる
位置を探す。
【００２７】ステップＳ８０４では、ステップＳ８０３
で捜した合焦点位置を記憶する。ステップＳ８０５は、
ウェハーの最終チップか否かを判別するステップで最終
チップであれば終了し、最終チップでなければ、ステッ
プＳ８０１に戻る。
で捜した合焦点位置を記憶する。ステップＳ８０５は、
ウェハーの最終チップか否かを判別するステップで最終
チップであれば終了し、最終チップでなければ、ステッ
プＳ８０１に戻る。
【００２８】ステップＳ８０６は、スキャン範囲をステ
ップＳ８０４で記憶した値を中心にして、±Ｌ１に設定
するステップである。なお、±Ｌ１とは、隣接チップ間
の厚さの差を示す。したがって、このフローチャートに
従えば、スキャン幅をチップＮｏ．１で±Ｌ３、チップ
Ｎｏ．２以降で±Ｌ１としてのオートフォーカスが可能
となる。即ち、通常はＬ３の値の方がＬ１の値よりも小
さいので、Ｎｏ．１のチップに対してはスキャン範囲が
大きいが、Ｎｏ．２以降のチップに対してはスキャン範
囲を小さくすることができ、オートフォーカスの高速化
を図ることができる。
ップＳ８０４で記憶した値を中心にして、±Ｌ１に設定
するステップである。なお、±Ｌ１とは、隣接チップ間
の厚さの差を示す。したがって、このフローチャートに
従えば、スキャン幅をチップＮｏ．１で±Ｌ３、チップ
Ｎｏ．２以降で±Ｌ１としてのオートフォーカスが可能
となる。即ち、通常はＬ３の値の方がＬ１の値よりも小
さいので、Ｎｏ．１のチップに対してはスキャン範囲が
大きいが、Ｎｏ．２以降のチップに対してはスキャン範
囲を小さくすることができ、オートフォーカスの高速化
を図ることができる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
近傍ワークの合焦位置と近傍ワーク間の厚み差にもとづ
いてスキャン範囲を設定することで、短時間のオートフ
ォーカスが可能となる。
近傍ワークの合焦位置と近傍ワーク間の厚み差にもとづ
いてスキャン範囲を設定することで、短時間のオートフ
ォーカスが可能となる。
【図１】オートフォーカス機能を持つ画像認識装置を示
す図である。
す図である。
【図２】ウェハーとチップを示す図である。
【図３】画像処理装置のブロック図である。
【図４】撮像系の位置とコントラストの関係を示す図で
ある。
ある。
【図５】チップの厚さを示す図である。
【図６】チップの厚さ誤差を示す図である。
【図７】チップの厚さばらつきを示す図である。
【図８】オートフォーカスの動作を示すフローチャート
である。
である。
１０１ ワーク（チップ） １０２ 顕微鏡 １０３ ＣＣＤカメラ １０４ パルスモーター １０５ 画像処理装置 １０６，１０７ 接続ケーブル ２０１ ウェハー ２０２ チップ
Claims (4)
- 【請求項１】 ワークの複数の分割された領域のそれぞ
れに撮像系の焦点を合わせるためのオートフォーカス方
法であって、 前記撮像系と前記ワークの内の少なくとも一方を、前記
撮像系の光軸に沿う方向に所定範囲移動させて、前記複
数の分割された領域の内のある１つの領域の表面に前記
撮像系の焦点が合う合焦点を探索する探索工程と、 前記探索工程で探索された合焦点を記憶する記憶工程
と、 前記撮像系と前記ワークの内の少なくとも一方を、前記
撮像系の光軸に沿う方向に、前記合焦点を中心として前
記所定範囲よりも小さい範囲内で移動させて、前記ある
１つの領域の近傍の領域の表面に焦点を合わせる焦点合
わせ工程とを具備することを特徴とするオートフォーカ
ス方法。 - 【請求項２】 前記撮像系は、テレビカメラを用いて前
記ワークを撮影することを特徴とする請求項１に記載の
オートフォーカス方法。 - 【請求項３】 前記探索工程では、前記テレビカメラに
より撮影された画像のコントラストが最大となる点を探
索することを特徴とする請求項２に記載のオートフォー
カス方法。 - 【請求項４】 前記ワークは、インクジェットプリンタ
のヒーターボードであることを特徴とする請求項１に記
載のオートフォーカス方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000137682A JP2001318305A (ja) | 2000-05-10 | 2000-05-10 | オートフォーカス方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000137682A JP2001318305A (ja) | 2000-05-10 | 2000-05-10 | オートフォーカス方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001318305A true JP2001318305A (ja) | 2001-11-16 |
Family
ID=18645418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000137682A Withdrawn JP2001318305A (ja) | 2000-05-10 | 2000-05-10 | オートフォーカス方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001318305A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012008254A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Shicoh Engineering Co Ltd | 撮影装置及びマイクロスコープ |
-
2000
- 2000-05-10 JP JP2000137682A patent/JP2001318305A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012008254A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Shicoh Engineering Co Ltd | 撮影装置及びマイクロスコープ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070807 |