JP2001313540A - 弾性表面波装置 - Google Patents
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- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
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- H03H9/0047—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】この発明は、フリップチップ実装による小型化
を図り、しかも、振幅特性及び位相反転特性の劣化の少
ない平衡入力あるいは平衡出力を可能とし得る弾性表面
波装置を提供することを目的としている。 【解決手段】圧電性基板上に弾性表面波の伝搬路となる
奇数個のくし形電極１１〜１５を一列に並べて形成した
弾性表面波装置において、奇数個のくし形電極１１〜１
５のうち中央のくし形電極１３を挟んで対称の位置にあ
る一対のくし形電極１２，１４は、相互に電極指極性を
反転させるように形成されており、その一端部がそれぞ
れ出力端子２０，２１に接続され、他端部が接地電位に
設定され、他のくし形電極１１，１３，１５は、その一
端部が接地電位に設定され、他端部が入力側となるよう
に設定されている。
を図り、しかも、振幅特性及び位相反転特性の劣化の少
ない平衡入力あるいは平衡出力を可能とし得る弾性表面
波装置を提供することを目的としている。 【解決手段】圧電性基板上に弾性表面波の伝搬路となる
奇数個のくし形電極１１〜１５を一列に並べて形成した
弾性表面波装置において、奇数個のくし形電極１１〜１
５のうち中央のくし形電極１３を挟んで対称の位置にあ
る一対のくし形電極１２，１４は、相互に電極指極性を
反転させるように形成されており、その一端部がそれぞ
れ出力端子２０，２１に接続され、他端部が接地電位に
設定され、他のくし形電極１１，１３，１５は、その一
端部が接地電位に設定され、他端部が入力側となるよう
に設定されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば移動無線
通信システムにおける移動端末等のフィルタとして使用
される弾性表面波装置の改良に関する。
通信システムにおける移動端末等のフィルタとして使用
される弾性表面波装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、移動無線通信システムの
分野においては、その移動端末のフィルタとして弾性表
面波装置が多く利用されている。この理由は、弾性表面
波装置が、元々、小型で面実装に対応可能な構造であ
り、現在利用されている様々な移動無線通信システムに
適用可能であるからである。
分野においては、その移動端末のフィルタとして弾性表
面波装置が多く利用されている。この理由は、弾性表面
波装置が、元々、小型で面実装に対応可能な構造であ
り、現在利用されている様々な移動無線通信システムに
適用可能であるからである。
【０００３】この種の従来の弾性表面波装置は、圧電性
基板上に、複数のくし形電極と、この複数のくし形電極
に接続されたボンディングパッドとを形成してなる弾性
表面波フィルタのチップを、一部の開口されたセラミッ
ク製のパッケージ内に接着している。
基板上に、複数のくし形電極と、この複数のくし形電極
に接続されたボンディングパッドとを形成してなる弾性
表面波フィルタのチップを、一部の開口されたセラミッ
ク製のパッケージ内に接着している。
【０００４】そして、このパッケージ内に設けられた信
号端子と、上記ボンディングパッドとを、例えば金また
はアルミニウム製のボンディングワイヤで電気的に接続
した後、パッケージの開口に金属性の蓋を被せ、パッケ
ージと蓋とを溶接することによって構成されている。
号端子と、上記ボンディングパッドとを、例えば金また
はアルミニウム製のボンディングワイヤで電気的に接続
した後、パッケージの開口に金属性の蓋を被せ、パッケ
ージと蓋とを溶接することによって構成されている。
【０００５】この場合、パッケージ内に設置された信号
端子は、例えばビアホールまたはキャスタレイション等
によって、パッケージの外側に露出されたリード端子と
導通されている。
端子は、例えばビアホールまたはキャスタレイション等
によって、パッケージの外側に露出されたリード端子と
導通されている。
【０００６】そして、このように構成された弾性表面波
装置は、携帯電話等の移動端末への実装する際に、その
リード端子を印刷配線基板の電極パターンに接続するこ
とにより高密度な表面実装を行なうことができ、機器の
小型化を促進するのに適したものとなっている。
装置は、携帯電話等の移動端末への実装する際に、その
リード端子を印刷配線基板の電極パターンに接続するこ
とにより高密度な表面実装を行なうことができ、機器の
小型化を促進するのに適したものとなっている。
【０００７】ここで、携帯電話等で使用されているＲＦ
（Radio Frequency）フィルタは、その出力信号や入力
信号を信号処理用のＬＳＩ（Large Scale Integrated c
ircuit）と接続する構成となっているが、ＬＳＩ内に形
成される増幅回路としては、平衡駆動のものが多く使用
されている。このため、非平衡型の弾性表面波装置をフ
ィルタとして使用する場合には、平衡非平衡変換回路等
を用いる必要が生じる。
（Radio Frequency）フィルタは、その出力信号や入力
信号を信号処理用のＬＳＩ（Large Scale Integrated c
ircuit）と接続する構成となっているが、ＬＳＩ内に形
成される増幅回路としては、平衡駆動のものが多く使用
されている。このため、非平衡型の弾性表面波装置をフ
ィルタとして使用する場合には、平衡非平衡変換回路等
を用いる必要が生じる。
【０００８】そこで、近年では、部品点数を削減する意
味から、平衡入出力が可能な弾性表面波装置の開発が盛
んに行なわれている。ところで、このような弾性表面波
装置において、その平衡端子に表われる一対の信号は、
振幅特性が同じで位相が１８０°異なっていることが理
想である。
味から、平衡入出力が可能な弾性表面波装置の開発が盛
んに行なわれている。ところで、このような弾性表面波
装置において、その平衡端子に表われる一対の信号は、
振幅特性が同じで位相が１８０°異なっていることが理
想である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな平衡端子に表われる信号の対称性は、弾性表面波フ
ィルタチップ自体の構造上の非対称性、弾性表面波フィ
ルタチップとそれを収容するパッケージとの関係、パッ
ケージ内におけるボンディングワイヤの引き回し等の影
響により、振幅特性及び位相共に損なわれている。
うな平衡端子に表われる信号の対称性は、弾性表面波フ
ィルタチップ自体の構造上の非対称性、弾性表面波フィ
ルタチップとそれを収容するパッケージとの関係、パッ
ケージ内におけるボンディングワイヤの引き回し等の影
響により、振幅特性及び位相共に損なわれている。
【００１０】一方、弾性表面波装置に対してより一層の
小型化を施すために、現在では、上記したボンディング
ワイヤを用いる実装に代わって、フリップチップボンデ
ィング技術による実装が行なわれている。
小型化を施すために、現在では、上記したボンディング
ワイヤを用いる実装に代わって、フリップチップボンデ
ィング技術による実装が行なわれている。
【００１１】このフリップチップ実装では、圧電性基板
上に、複数のくし形電極と、この複数のくし形電極に接
続されたボンディングパッドとを形成してなる弾性表面
波フィルタのチップを、導電性パターンの形成された支
持基板に面対向させ、そのボンディングパッドと導電性
パターンとを、金等のバンプを介して電気的に接続して
いる。
上に、複数のくし形電極と、この複数のくし形電極に接
続されたボンディングパッドとを形成してなる弾性表面
波フィルタのチップを、導電性パターンの形成された支
持基板に面対向させ、そのボンディングパッドと導電性
パターンとを、金等のバンプを介して電気的に接続して
いる。
【００１２】そして、支持基板上に弾性表面波フィルタ
のチップを覆うようにキャップを被せ、支持基板とキャ
ップとを接合してチップを封止するようにしている。こ
の場合、支持基板の導電性パターンは、支持基板のチッ
プと対向していない面に設けられた端子と電気的に接続
されており、該端子を介して外部との電気的接続が行な
えるようになっている。
のチップを覆うようにキャップを被せ、支持基板とキャ
ップとを接合してチップを封止するようにしている。こ
の場合、支持基板の導電性パターンは、支持基板のチッ
プと対向していない面に設けられた端子と電気的に接続
されており、該端子を介して外部との電気的接続が行な
えるようになっている。
【００１３】このように、フリップチップ実装によれ
ば、弾性表面波フィルタチップと支持基板との電気的接
続にボンディングワイヤを用いないため、ボンディング
ワイヤを引き回すための空間や、ワイヤボンディング用
のツールが入るための余地を確保する必要がなく、弾性
表面波装置の小型化を図ることができる。
ば、弾性表面波フィルタチップと支持基板との電気的接
続にボンディングワイヤを用いないため、ボンディング
ワイヤを引き回すための空間や、ワイヤボンディング用
のツールが入るための余地を確保する必要がなく、弾性
表面波装置の小型化を図ることができる。
【００１４】また、このフリップチップ実装では、ボン
ディングワイヤを使用しないため、ボンディングワイヤ
の引き回しにより対称性が損なわれることがないので、
平衡型の弾性表面波装置を構成するのに都合が良いとい
う利点も有している。
ディングワイヤを使用しないため、ボンディングワイヤ
の引き回しにより対称性が損なわれることがないので、
平衡型の弾性表面波装置を構成するのに都合が良いとい
う利点も有している。
【００１５】しかしながら、このフリップチップ実装で
は、逆に、ボンディングワイヤを用いて圧電性基板上に
形成された電極パターンを跨ぐ立体的な配線を行なうこ
とができないことになる。
は、逆に、ボンディングワイヤを用いて圧電性基板上に
形成された電極パターンを跨ぐ立体的な配線を行なうこ
とができないことになる。
【００１６】このため、平衡型の弾性表面波装置を構成
する場合に、圧電性基板上で接地電位に設定されるくし
形電極とホット電位に設定されるくし形電極との位置に
よっては、支持基板上における導電性パターンの引き回
しが困難になり、平衡端子間の対称性が損なわれ易くな
るという問題が生じている。
する場合に、圧電性基板上で接地電位に設定されるくし
形電極とホット電位に設定されるくし形電極との位置に
よっては、支持基板上における導電性パターンの引き回
しが困難になり、平衡端子間の対称性が損なわれ易くな
るという問題が生じている。
【００１７】特に、５ＩＤＴ（Inter Digital Transduc
er）以上の低損失に適した構造の２ポート弾性表面波フ
ィルタを、コンパクトに平衡駆動するのは非常に困難な
ものである。
er）以上の低損失に適した構造の２ポート弾性表面波フ
ィルタを、コンパクトに平衡駆動するのは非常に困難な
ものである。
【００１８】そこで、この発明は上記事情を考慮してな
されたもので、フリップチップ実装による小型化を図
り、しかも、振幅特性及び位相反転特性の劣化の少ない
平衡入力あるいは平衡出力を可能とし得る極めて良好な
弾性表面波装置を提供することを目的とする。
されたもので、フリップチップ実装による小型化を図
り、しかも、振幅特性及び位相反転特性の劣化の少ない
平衡入力あるいは平衡出力を可能とし得る極めて良好な
弾性表面波装置を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】この発明に係る弾性表面
波装置は、圧電性基板上に弾性表面波の伝搬路となる奇
数個のくし形電極を一列に並べて形成したものを対象と
している。
波装置は、圧電性基板上に弾性表面波の伝搬路となる奇
数個のくし形電極を一列に並べて形成したものを対象と
している。
【００２０】そして、奇数個のくし形電極のうち中央の
くし形電極を挟んで対称の位置にある一対もしくは複数
対のくし形電極は、相互に電極指極性を反転させるよう
に形成されており、その一端部がそれぞれ出力端子に接
続され、他端部が基準電位に設定され、他のくし形電極
は、その一端部が基準電位に設定され、他端部が入力側
となるように設定したものである。
くし形電極を挟んで対称の位置にある一対もしくは複数
対のくし形電極は、相互に電極指極性を反転させるよう
に形成されており、その一端部がそれぞれ出力端子に接
続され、他端部が基準電位に設定され、他のくし形電極
は、その一端部が基準電位に設定され、他端部が入力側
となるように設定したものである。
【００２１】また、この発明に係る弾性表面波装置は、
上記の対象において、奇数個のくし形電極のうち中央の
くし形電極を挟んで対称の位置にあるくし形電極は、互
いに電極指極性を反転させるように形成され、一方のく
し形電極とその両側のくし形電極との距離が、他方のく
し形電極とその両側のくし形電極との距離に比してその
弾性表面波フィルタの通過中心周波数に対応した弾性表
面波波長の１／２だけ変えられ、その一端部がそれぞれ
出力端子に接続され、他端部が基準電位に設定され、他
のくし形電極は、その一端部が基準電位に設定され、他
端部が入力側となるように設定したものである。
上記の対象において、奇数個のくし形電極のうち中央の
くし形電極を挟んで対称の位置にあるくし形電極は、互
いに電極指極性を反転させるように形成され、一方のく
し形電極とその両側のくし形電極との距離が、他方のく
し形電極とその両側のくし形電極との距離に比してその
弾性表面波フィルタの通過中心周波数に対応した弾性表
面波波長の１／２だけ変えられ、その一端部がそれぞれ
出力端子に接続され、他端部が基準電位に設定され、他
のくし形電極は、その一端部が基準電位に設定され、他
端部が入力側となるように設定したものである。
【００２２】さらに、この発明に係る弾性表面波装置
は、弾性表面波の伝搬路となる奇数個のくし形電極を一
列に並べた第１の弾性表面波共振子フィルタと、この第
１の弾性表面波共振子フィルタと同じ弾性表面波の伝搬
路を形成するように奇数個のくし形電極を一列に並べた
第２の弾性表面波共振子フィルタとを、圧電性基板上に
形成したものを対象としている。
は、弾性表面波の伝搬路となる奇数個のくし形電極を一
列に並べた第１の弾性表面波共振子フィルタと、この第
１の弾性表面波共振子フィルタと同じ弾性表面波の伝搬
路を形成するように奇数個のくし形電極を一列に並べた
第２の弾性表面波共振子フィルタとを、圧電性基板上に
形成したものを対象としている。
【００２３】そして、第１の弾性表面波共振子フィルタ
を構成する奇数個のくし形電極のうち、中央のくし形電
極を挟んで対称の位置にある一対のくし形電極は、その
一端部が同一の出力端子に接続され、他端部が基準電位
に設定され、他のくし形電極は、その一端部が基準電位
に設定され、他端部が入力側となるように設定され、第
２の弾性表面波共振子フィルタを構成する奇数個のくし
形電極のうち、中央のくし形電極を挟んで対称の位置に
ある一対のくし形電極は、第１の弾性表面波共振子フィ
ルタの一対のくし形電極に対して電極指極性を反転させ
るように形成されており、その一端部が同一の出力端子
に接続され、他端部が基準電位に設定され、他のくし形
電極は、その一端部が基準電位に設定され、他端部が入
力側となるように設定したものである。
を構成する奇数個のくし形電極のうち、中央のくし形電
極を挟んで対称の位置にある一対のくし形電極は、その
一端部が同一の出力端子に接続され、他端部が基準電位
に設定され、他のくし形電極は、その一端部が基準電位
に設定され、他端部が入力側となるように設定され、第
２の弾性表面波共振子フィルタを構成する奇数個のくし
形電極のうち、中央のくし形電極を挟んで対称の位置に
ある一対のくし形電極は、第１の弾性表面波共振子フィ
ルタの一対のくし形電極に対して電極指極性を反転させ
るように形成されており、その一端部が同一の出力端子
に接続され、他端部が基準電位に設定され、他のくし形
電極は、その一端部が基準電位に設定され、他端部が入
力側となるように設定したものである。
【００２４】上記のような構成によれば、各出力端子か
ら１８０°位相の異なる信号を得ることができるととも
に、各出力端子をチップの片側にまとめて形成すること
ができるので、フリップチップ実装による小型化を図り
ながら、しかも、振幅特性及び位相反転特性の劣化の少
ない平衡入力あるいは平衡出力を可能とすることができ
る。
ら１８０°位相の異なる信号を得ることができるととも
に、各出力端子をチップの片側にまとめて形成すること
ができるので、フリップチップ実装による小型化を図り
ながら、しかも、振幅特性及び位相反転特性の劣化の少
ない平衡入力あるいは平衡出力を可能とすることができ
る。
【００２５】また、上記フィルタにおいて、入力端子を
出力端子、出力端子を入力端子として用いれば、平衡出
力を持つＬＳＩ等を入力側に用いることもできる。
出力端子、出力端子を入力端子として用いれば、平衡出
力を持つＬＳＩ等を入力側に用いることもできる。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の第１の実施の形
態について図面を参照して詳細に説明する。図１におい
て、一列に並べられた５つのくし形電極１１〜１５及び
反射器１６，１７を有する２ポート弾性表面波共振子フ
ィルタ１８と、この２ポート弾性表面波共振子フィルタ
１８と直列腕に接続された１ポート弾性表面波共振子１
９とが合わさって、弾性表面波フィルタ全体を構成して
いる。
態について図面を参照して詳細に説明する。図１におい
て、一列に並べられた５つのくし形電極１１〜１５及び
反射器１６，１７を有する２ポート弾性表面波共振子フ
ィルタ１８と、この２ポート弾性表面波共振子フィルタ
１８と直列腕に接続された１ポート弾性表面波共振子１
９とが合わさって、弾性表面波フィルタ全体を構成して
いる。
【００２７】ここで、２ポート弾性表面波共振子フィル
タ１８を構成する５つのくし形電極１１〜１５のうち、
中央のくし形電極１３の両側に位置する２つのくし形電
極１２，１４は、それぞれ、一端が出力端子２０，２１
として平衡出力信号Ｈ１，Ｈ２を出力し、他端が接地電
位Ｇに設定されている。
タ１８を構成する５つのくし形電極１１〜１５のうち、
中央のくし形電極１３の両側に位置する２つのくし形電
極１２，１４は、それぞれ、一端が出力端子２０，２１
として平衡出力信号Ｈ１，Ｈ２を出力し、他端が接地電
位Ｇに設定されている。
【００２８】また、上記した２つのくし形電極１２，１
４を除く、残りの３つのくし形電極１１，１３，１５
は、それぞれ、一端が接地電位Ｇに設定され、他端が２
ポート弾性表面波共振子フィルタ１８の入力側として、
１ポート弾性表面波共振子１９に接続されている。
４を除く、残りの３つのくし形電極１１，１３，１５
は、それぞれ、一端が接地電位Ｇに設定され、他端が２
ポート弾性表面波共振子フィルタ１８の入力側として、
１ポート弾性表面波共振子１９に接続されている。
【００２９】そして、この弾性表面波フィルタは、全体
として、１ポート弾性表面波共振子１９側が非平衡入力
となり、２ポート弾性表面波共振子フィルタ１８の出力
端子２０，２１側が平衡出力となっている。
として、１ポート弾性表面波共振子１９側が非平衡入力
となり、２ポート弾性表面波共振子フィルタ１８の出力
端子２０，２１側が平衡出力となっている。
【００３０】ここで、この平衡出力側の２つのくし形電
極１２，１４は、５ＩＤＴと反射器１６，１７とからな
る２ポート弾性表面波共振子フィルタ１８上で、略対称
となる位置に配置され、互いに電極指極性を反転させる
ことにより、１８０°位相反転した信号を出力端子２
０，２１から出力させている。
極１２，１４は、５ＩＤＴと反射器１６，１７とからな
る２ポート弾性表面波共振子フィルタ１８上で、略対称
となる位置に配置され、互いに電極指極性を反転させる
ことにより、１８０°位相反転した信号を出力端子２
０，２１から出力させている。
【００３１】ここでは、中央のくし形電極１３を含むの
３つの入力側くし形電極１１，１３，１５は、中央のく
し形電極の中心を通り、くし形電極配列方向と垂直な線
Ｂに対し線対称である。出力用くし型電極１２，１４
は、他方と同一の構造をくし型電極配列方向Ａに対して
線対称となるように反転させ、中央くし型電極中心を通
りくし型電極配列方向と垂直な線Ｂについて対称な位置
に置くことにより、互いに反転した出力信号を得てい
る。
３つの入力側くし形電極１１，１３，１５は、中央のく
し形電極の中心を通り、くし形電極配列方向と垂直な線
Ｂに対し線対称である。出力用くし型電極１２，１４
は、他方と同一の構造をくし型電極配列方向Ａに対して
線対称となるように反転させ、中央くし型電極中心を通
りくし型電極配列方向と垂直な線Ｂについて対称な位置
に置くことにより、互いに反転した出力信号を得てい
る。
【００３２】また、２ポート弾性表面波共振子フィルタ
１８の中心を通り、くし形電極の配列方向に沿った線Ａ
に対して、その片方の側に平衡出力を得る２つの出力端
子２０，２１を設けることができる。
１８の中心を通り、くし形電極の配列方向に沿った線Ａ
に対して、その片方の側に平衡出力を得る２つの出力端
子２０，２１を設けることができる。
【００３３】このため、図示しない支持基板上に、出力
端子２０，２１や接地端と接続される導電性パターンを
形成する際に、２ポート弾性表面波共振子フィルタ１
８、１ポート弾性表面波共振子１９や引き回し信号電極
１，２，３を横切るような入出力端子への導電性パター
ンを形成しなくても済むようになり、出力端子２０，２
１間の対称性が損なわれることを防止することができ
る。
端子２０，２１や接地端と接続される導電性パターンを
形成する際に、２ポート弾性表面波共振子フィルタ１
８、１ポート弾性表面波共振子１９や引き回し信号電極
１，２，３を横切るような入出力端子への導電性パター
ンを形成しなくても済むようになり、出力端子２０，２
１間の対称性が損なわれることを防止することができ
る。
【００３４】したがって、上記した第１の実施の形態に
よれば、フリップチップ実装による小型化を図ることが
でき、しかも、振幅特性及び位相反転特性の劣化の少な
い平衡出力を得ることが可能となる。
よれば、フリップチップ実装による小型化を図ることが
でき、しかも、振幅特性及び位相反転特性の劣化の少な
い平衡出力を得ることが可能となる。
【００３５】図２は、この発明の第２の実施の形態を示
している。図２において、図１と同一部分には同一符号
を付して説明すると、まず、２ポート弾性表面波共振子
フィルタ１８の平衡出力側となる２つのくし形電極１
２，１４は、共に、他の３つのくし形電極１１，１３，
１５と電極指極性が反転されている。
している。図２において、図１と同一部分には同一符号
を付して説明すると、まず、２ポート弾性表面波共振子
フィルタ１８の平衡出力側となる２つのくし形電極１
２，１４は、共に、他の３つのくし形電極１１，１３，
１５と電極指極性が反転されている。
【００３６】また、平衡出力側となる一方のくし形電極
１２とその両側のくし形電極１１，１３との各距離は、
共に、平衡出力側となる他方のくし形電極１４とその両
側のくし形電極１３，１５との各距離に比して、λ（弾
性表面波フィルタの通過中心周波数に対応した弾性表面
波波長）／２だけ広く設定することによって、１８０°
位相反転した信号を出力端子２０，２１から出力させて
いる。
１２とその両側のくし形電極１１，１３との各距離は、
共に、平衡出力側となる他方のくし形電極１４とその両
側のくし形電極１３，１５との各距離に比して、λ（弾
性表面波フィルタの通過中心周波数に対応した弾性表面
波波長）／２だけ広く設定することによって、１８０°
位相反転した信号を出力端子２０，２１から出力させて
いる。
【００３７】そして、この第２の実施の形態によって
も、２ポート弾性表面波共振子フィルタ１８の中心を通
り、くし形電極の配列方向に沿った線Ａに対して、その
片方の側に平衡出力を得る２つの出力端子２０，２１を
設けることができ、第１の実施の形態と同様な効果を得
ることができる。
も、２ポート弾性表面波共振子フィルタ１８の中心を通
り、くし形電極の配列方向に沿った線Ａに対して、その
片方の側に平衡出力を得る２つの出力端子２０，２１を
設けることができ、第１の実施の形態と同様な効果を得
ることができる。
【００３８】図３は、この発明の第３の実施の形態を示
している。図３において、一列に並べられた５つのくし
形電極２２〜２６及び反射器２７，２８を有する２ポー
ト弾性表面波共振子フィルタ２９と、この２ポート弾性
表面波共振子フィルタ２９と直列腕に接続された１ポー
ト弾性表面波共振子３０とが合わさって、第１の弾性表
面波フィルタ３１を構成している。
している。図３において、一列に並べられた５つのくし
形電極２２〜２６及び反射器２７，２８を有する２ポー
ト弾性表面波共振子フィルタ２９と、この２ポート弾性
表面波共振子フィルタ２９と直列腕に接続された１ポー
ト弾性表面波共振子３０とが合わさって、第１の弾性表
面波フィルタ３１を構成している。
【００３９】また、一列に並べられた５つのくし形電極
３２〜３６及び反射器３７，３８を有する２ポート弾性
表面波共振子フィルタ３９と、この２ポート弾性表面波
共振子フィルタ３９と直列腕に接続された１ポート弾性
表面波共振子４０とが合わさって、第２の弾性表面波フ
ィルタ４１を構成している。
３２〜３６及び反射器３７，３８を有する２ポート弾性
表面波共振子フィルタ３９と、この２ポート弾性表面波
共振子フィルタ３９と直列腕に接続された１ポート弾性
表面波共振子４０とが合わさって、第２の弾性表面波フ
ィルタ４１を構成している。
【００４０】そして、この第１の弾性表面波フィルタ３
１及び第２の弾性表面波フィルタ４１が合わさって、弾
性表面波フィルタ全体を構成している。
１及び第２の弾性表面波フィルタ４１が合わさって、弾
性表面波フィルタ全体を構成している。
【００４１】ここで、２ポート弾性表面波共振子フィル
タ２９を構成する５つのくし形電極２２〜２６のうち、
中央のくし形電極２４の両側に位置する２つのくし形電
極２３，２５は、それぞれ、一端が出力端子４２として
平衡出力の一方Ｈ１を出力し、他端が接地電位Ｇに設定
されている。
タ２９を構成する５つのくし形電極２２〜２６のうち、
中央のくし形電極２４の両側に位置する２つのくし形電
極２３，２５は、それぞれ、一端が出力端子４２として
平衡出力の一方Ｈ１を出力し、他端が接地電位Ｇに設定
されている。
【００４２】また、上記した２つのくし形電極２３，２
５を除く、残りの３つのくし形電極２２，２４，２６
は、それぞれ、一端が接地電位Ｇに設定され、他端が２
ポート弾性表面波共振子フィルタ２９の入力側として、
１ポート弾性表面波共振子３０に接続されている。
５を除く、残りの３つのくし形電極２２，２４，２６
は、それぞれ、一端が接地電位Ｇに設定され、他端が２
ポート弾性表面波共振子フィルタ２９の入力側として、
１ポート弾性表面波共振子３０に接続されている。
【００４３】一方、２ポート弾性表面波共振子フィルタ
３９を構成する５つのくし形電極３２〜３６のうち、中
央のくし形電極３４の両側に位置する２つのくし形電極
３３，３５は、それぞれ、一端が出力端子４３として平
衡出力のもう一方Ｈ２を出力し、他端が接地電位Ｇに設
定されている。
３９を構成する５つのくし形電極３２〜３６のうち、中
央のくし形電極３４の両側に位置する２つのくし形電極
３３，３５は、それぞれ、一端が出力端子４３として平
衡出力のもう一方Ｈ２を出力し、他端が接地電位Ｇに設
定されている。
【００４４】また、上記した２つのくし形電極３３，３
５を除く、残りの３つのくし形電極３２，３４，３６
は、それぞれ、一端が接地電位Ｇに設定され、他端が２
ポート弾性表面波共振子フィルタ３９の入力側として、
１ポート弾性表面波共振子４０に接続されている。
５を除く、残りの３つのくし形電極３２，３４，３６
は、それぞれ、一端が接地電位Ｇに設定され、他端が２
ポート弾性表面波共振子フィルタ３９の入力側として、
１ポート弾性表面波共振子４０に接続されている。
【００４５】そして、この弾性表面波フィルタは、全体
として、１ポート弾性表面波共振子３０，４０側が非平
衡入力となり、２ポート弾性表面波共振子フィルタ２
９，３９の出力端子４２，４３側が平衡出力となってい
る。
として、１ポート弾性表面波共振子３０，４０側が非平
衡入力となり、２ポート弾性表面波共振子フィルタ２
９，３９の出力端子４２，４３側が平衡出力となってい
る。
【００４６】ここで、一方の平衡出力側となる２つのく
し形電極２３，２５と、他方の平衡出力側となる２つの
くし形電極３３，３５とは、互いに電極指極性を反転さ
せることにより、１８０°位相反転した信号を出力端子
４２，４３から出力させている。
し形電極２３，２５と、他方の平衡出力側となる２つの
くし形電極３３，３５とは、互いに電極指極性を反転さ
せることにより、１８０°位相反転した信号を出力端子
４２，４３から出力させている。
【００４７】そして、この第３の実施の形態によって
も、２ポート弾性表面波共振子フィルタ２９，３９の中
心を通り、くし形電極の配設方向に沿った線Ａに対し
て、その片方の側に平衡出力を得る２つの出力端子４
２，４３を設けることができ、第１及び第２の実施の形
態と同様な効果を得ることができる。
も、２ポート弾性表面波共振子フィルタ２９，３９の中
心を通り、くし形電極の配設方向に沿った線Ａに対し
て、その片方の側に平衡出力を得る２つの出力端子４
２，４３を設けることができ、第１及び第２の実施の形
態と同様な効果を得ることができる。
【００４８】図４は、この発明の第４の実施の形態を示
している。図４において、図３と同一部分には同一符号
を付して説明すると、一方の平衡出力側となるくし形電
極２３とその両側のくし形電極２２，２４との各距離
と、くし形電極２５とその両側のくし形電極２４，２６
との各距離とを、共に、他方の平衡出力側となるくし形
電極３３とその両側のくし形電極３２，３４との各距離
と、くし形電極３５とその両側のくし形電極３４，３６
との各距離とに比して、λ／２だけ広く設定することに
よって、１８０°位相反転した信号を出力端子４２，４
３から出力させている。
している。図４において、図３と同一部分には同一符号
を付して説明すると、一方の平衡出力側となるくし形電
極２３とその両側のくし形電極２２，２４との各距離
と、くし形電極２５とその両側のくし形電極２４，２６
との各距離とを、共に、他方の平衡出力側となるくし形
電極３３とその両側のくし形電極３２，３４との各距離
と、くし形電極３５とその両側のくし形電極３４，３６
との各距離とに比して、λ／２だけ広く設定することに
よって、１８０°位相反転した信号を出力端子４２，４
３から出力させている。
【００４９】そして、この第４の実施の形態によって
も、２ポート弾性表面波共振子フィルタ２９，３９の中
心を通り、くし形電極の配設方向に沿った線Ａに対し
て、その片方の側に平衡出力を得る２つの出力端子４
２，４３を設けることができ、第１乃至第３の実施の形
態と同様な効果を得ることができる。
も、２ポート弾性表面波共振子フィルタ２９，３９の中
心を通り、くし形電極の配設方向に沿った線Ａに対し
て、その片方の側に平衡出力を得る２つの出力端子４
２，４３を設けることができ、第１乃至第３の実施の形
態と同様な効果を得ることができる。
【００５０】図５は、この発明の第５の実施の形態を示
している。図５において、一列に並べられた５つのくし
形電極５１〜５５及び反射器５６，５７から２ポート弾
性表面波共振子フィルタ５８が構成されている。
している。図５において、一列に並べられた５つのくし
形電極５１〜５５及び反射器５６，５７から２ポート弾
性表面波共振子フィルタ５８が構成されている。
【００５１】ここで、５つのくし形電極５１〜５５のう
ち中央のくし形電極５３の両側に位置する２つのくし形
電極５２，５４は、それぞれ一端が出力端子６０，６１
として平衡出力信号Ｈ１，Ｈ２を出力し、他端が接地電
位Ｇに設定されている。
ち中央のくし形電極５３の両側に位置する２つのくし形
電極５２，５４は、それぞれ一端が出力端子６０，６１
として平衡出力信号Ｈ１，Ｈ２を出力し、他端が接地電
位Ｇに設定されている。
【００５２】また、上記した２つのくし形電極５２，５
４を除く、残りの３つのくし形電極５１，５３，５５
は、それぞれ一端が接地電位Ｇに設定され、他端が弾性
表面波共振子フィルタ５８の入力側５９とされている。
この弾性表面波フィルタは、全体として５９側が非平衡
入力となり、６０，６１側が平衡出力となっている。
４を除く、残りの３つのくし形電極５１，５３，５５
は、それぞれ一端が接地電位Ｇに設定され、他端が弾性
表面波共振子フィルタ５８の入力側５９とされている。
この弾性表面波フィルタは、全体として５９側が非平衡
入力となり、６０，６１側が平衡出力となっている。
【００５３】ここで、この非平衡入力側の３つのくし形
電極５１，５３，５５は、２ポート弾性表面波共振子フ
ィルタ５８の中心を通り、くし形電極の配列方向に沿っ
た線Ａと、中央のくし形電極中央を通る線Ｂとの交点Ｃ
に対して点対称な配置となっている。
電極５１，５３，５５は、２ポート弾性表面波共振子フ
ィルタ５８の中心を通り、くし形電極の配列方向に沿っ
た線Ａと、中央のくし形電極中央を通る線Ｂとの交点Ｃ
に対して点対称な配置となっている。
【００５４】また、平衡出力側の２つのくし形電極５
２，５４は、中央のくし形電極中央を通る線Ｂについて
略対称となる位置に配置されることにより、１８０°位
相反転した信号を出力端子６０，６１から出力させてい
る。この場合、くし形電極の配設方向に沿った線Ａに対
して、その片側に平衡出力を得る２つの出力端子６０，
６１を設けることができ、第１〜第４の実施の形態と同
様の効果を得ることができる。
２，５４は、中央のくし形電極中央を通る線Ｂについて
略対称となる位置に配置されることにより、１８０°位
相反転した信号を出力端子６０，６１から出力させてい
る。この場合、くし形電極の配設方向に沿った線Ａに対
して、その片側に平衡出力を得る２つの出力端子６０，
６１を設けることができ、第１〜第４の実施の形態と同
様の効果を得ることができる。
【００５５】図６は、この発明の第６の実施の形態を示
している。図６において、一列に並べられた７つのくし
形電極７１〜７７及び反射器７８，７９から２ポート弾
性表面波共振子フィルタ８０が構成されている。
している。図６において、一列に並べられた７つのくし
形電極７１〜７７及び反射器７８，７９から２ポート弾
性表面波共振子フィルタ８０が構成されている。
【００５６】ここで、７つのくし形電極７１〜７７のう
ち、くし形電極７１，７３，７５，７７は、それぞれ一
端が出力端子８１，８２として平衡出力Ｈ１，Ｈ２を出
力し、他端が接地電位Ｇに設定されている。
ち、くし形電極７１，７３，７５，７７は、それぞれ一
端が出力端子８１，８２として平衡出力Ｈ１，Ｈ２を出
力し、他端が接地電位Ｇに設定されている。
【００５７】また、上記４つのくし形電極７１，７３，
７５，７７を除く、残りの３つのくし形電極７２，７
４，７６は、それぞれ一端が接地電位Ｇに設定され、他
端が２ポート弾性表面波共振子フィルタ８０の入力側８
３となされている。この弾性表面波フィルタは、８３側
が非平衡入力となり、８１，８２側が平衡出力となって
いる。
７５，７７を除く、残りの３つのくし形電極７２，７
４，７６は、それぞれ一端が接地電位Ｇに設定され、他
端が２ポート弾性表面波共振子フィルタ８０の入力側８
３となされている。この弾性表面波フィルタは、８３側
が非平衡入力となり、８１，８２側が平衡出力となって
いる。
【００５８】ここで、非平衡入力側の３つのくし形電極
７２，７４，７６は、２ポート弾性表面波共振子フィル
タ８０の中心を通り、くし形電極の配列方向に対して垂
直な線Ｂに対し、線対称な配置となっている。
７２，７４，７６は、２ポート弾性表面波共振子フィル
タ８０の中心を通り、くし形電極の配列方向に対して垂
直な線Ｂに対し、線対称な配置となっている。
【００５９】また、平衡出力側の４つのくし形電極７
１，７３，７５，７７は、上記線Ｂに対し、対称な位置
にある。くし形電極７１と７７、くし形電極７３と７５
は、くし形電極の配列に沿った線Ａに対し反転させるこ
とにより、１８０°位相反転した信号を出力端子８１，
８２から出力させている。
１，７３，７５，７７は、上記線Ｂに対し、対称な位置
にある。くし形電極７１と７７、くし形電極７３と７５
は、くし形電極の配列に沿った線Ａに対し反転させるこ
とにより、１８０°位相反転した信号を出力端子８１，
８２から出力させている。
【００６０】この場合も、くし形電極の配設方向に沿っ
た線Ａに対して、その片側に平衡出力を得る２つの出力
端子８１，８２を設けることができ、第１〜第５の実施
の形態と同様の効果を得ることができる。
た線Ａに対して、その片側に平衡出力を得る２つの出力
端子８１，８２を設けることができ、第１〜第５の実施
の形態と同様の効果を得ることができる。
【００６１】なお、この発明は上記した各実施の形態に
限定されるものではなく、この外その要旨を逸脱しない
範囲で種々変形して実施することができる。
限定されるものではなく、この外その要旨を逸脱しない
範囲で種々変形して実施することができる。
【００６２】
【発明の効果】以上詳述したようにこの発明によれば、
フリップチップ実装による小型化を図り、しかも、振幅
特性及び位相反転特性の劣化の少ない平衡入力あるいは
平衡出力を可能とし得る極めて良好な弾性表面波装置を
提供することができる。
フリップチップ実装による小型化を図り、しかも、振幅
特性及び位相反転特性の劣化の少ない平衡入力あるいは
平衡出力を可能とし得る極めて良好な弾性表面波装置を
提供することができる。
【図１】この発明に係る弾性表面波装置の第１の実施の
形態を説明するために示す平面図。
形態を説明するために示す平面図。
【図２】この発明に係る弾性表面波装置の第２の実施の
形態を説明するために示す平面図。
形態を説明するために示す平面図。
【図３】この発明に係る弾性表面波装置の第３の実施の
形態を説明するために示す平面図。
形態を説明するために示す平面図。
【図４】この発明に係る弾性表面波装置の第４の実施の
形態を説明するために示す平面図。
形態を説明するために示す平面図。
【図５】この発明に係る弾性表面波装置の第５の実施の
形態を説明するために示す平面図。
形態を説明するために示す平面図。
【図６】この発明に係る弾性表面波装置の第６の実施の
形態を説明するために示す平面図。
形態を説明するために示す平面図。
１１〜１５…くし形電極、 １６，１７…反射器、 １８…２ポート弾性表面波共振子フィルタ、 １９…１ポート弾性表面波共振子、 ２０，２１…出力端子、 ２２〜２６…くし形電極、 ２７，２８…反射器、 ２９…２ポート弾性表面波共振子フィルタ、 ３０…１ポート弾性表面波共振子、 ３１…第１の弾性表面波フィルタ、 ３２〜３６…くし形電極、 ３７，３８…反射器、 ３９…２ポート弾性表面波共振子フィルタ、 ４０…１ポート弾性表面波共振子、 ４１…第２の弾性表面波フィルタ、 ４２，４３…出力端子、 ５１〜５５…くし形電極、 ５６，５７…反射器、 ５８…２ポート弾性表面波共振子フィルタ、 ５９…入力側、 ６０，６１…出力端子、 ７１〜７７…くし形電極、 ７８，７９…反射器、 ８０…２ポート弾性表面波共振子フィルタ、 ８１，８２…出力端子、 ８３…入力側。
Claims (11)
- 【請求項１】 圧電性基板上に弾性表面波の伝搬路とな
る奇数個のくし形電極を一列に並べて形成した弾性表面
波装置において、 前記奇数個のくし形電極のうち中央のくし形電極を挟ん
で対称の位置にある一対のくし形電極は、相互に電極指
極性を反転させるように形成されており、その一端部が
それぞれ出力端子に接続され、他端部が基準電位に設定
され、 他のくし形電極は、その一端部が基準電位に設定され、
他端部が入力側となるように設定されることを特徴とす
る弾性表面波装置。 - 【請求項２】 前記奇数個のくし形電極のうち中央のく
し形電極を含み、対称に配設された奇数個の入力用くし
形電極は、奇数本の電極からなる中央のくし形電極の中
心を通り、くし形電極配設方向に対して垂直な線に対し
て線対称の構造をとり、中央くし形電極をはさんで対称
の位置にある出力用くし形電極は、略同一構造のくし形
電極を、くし形電極の中心を通り配列方向を向いた線に
対し、線対称に配設することにより極性を反転させたこ
とを特徴とする請求項１記載の弾性表面波装置。 - 【請求項３】 前記奇数個のくし形電極のうち中央のく
し形電極を含み、対称に配設された奇数個の入力用くし
形電極は、偶数本の電極からなる中央のくし形電極の中
心に対して点対称の構造をとり、中央くし形電極をはさ
んで対称の位置にある出力用くし形電極は、略同一構造
のくし形電極と配設することにより極性を反転させたこ
とを特徴とする請求項１記載の弾性表面波装置。 - 【請求項４】 圧電性基板上に弾性表面波の伝搬路とな
る奇数個のくし形電極を一列に並べて形成した弾性表面
波装置において、 前記奇数個のくし形電極のうち中央のくし形電極を挟ん
で対称の位置にある一対のくし形電極は、他のくし形電
極に対して電極指極性を反転させるように形成され、一
方のくし形電極とその両側のくし形電極との距離が、他
方のくし形電極とその両側のくし形電極との距離に比し
て該弾性表面波装置の通過中心周波数に対応した弾性表
面波波長の１／２だけ変えられ、その一端部がそれぞれ
出力端子に接続され、他端部が基準電位に設定され、 他のくし形電極は、その一端部が基準電位に設定され、
他端部が入力側となるように設定されることを特徴とす
る弾性表面波装置。 - 【請求項５】 前記一対のくし形電極の一端部に接続さ
れる各出力端子は、前記奇数個のくし形電極の中心を通
り、弾性表面波の伝搬方向に沿った線の片側に設けられ
ることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の弾
性表面波装置。 - 【請求項６】 前記一対のくし形電極以外の他のくし形
電極の他端部には、前記圧電性基板上に形成された弾性
表面波共振子が接続されることを特徴とする請求項１乃
至５いずれかに記載の弾性表面波装置。 - 【請求項７】 弾性表面波の伝搬路となる奇数個のくし
形電極を一列に並べた第１の弾性表面波共振子フィルタ
と、この第１の弾性表面波共振子フィルタと同じ弾性表
面波の伝搬路を形成するように奇数個のくし形電極を一
列に並べた第２の弾性表面波共振子フィルタとを、圧電
性基板上に形成した弾性表面波装置において、 前記第１の弾性表面波共振子フィルタを構成する奇数個
のくし形電極のうち、中央のくし形電極を挟んで対称の
位置にある一対のくし形電極は、その一端部が同一の出
力端子に接続され、他端部が基準電位に設定され、他の
くし形電極は、その一端部が基準電位に設定され、他端
部が入力側となるように設定され、 前記第２の弾性表面波共振子フィルタを構成する奇数個
のくし形電極のうち、中央のくし形電極を挟んで対称の
位置にある一対のくし形電極は、前記第１の弾性表面波
共振子フィルタの一対のくし形電極に対してくし形電極
の中心を通り、配列方向を向いた線に対し線対称に配設
することにより電極指極性を反転させるように形成され
ており、その一端部が同一の出力端子に接続され、他端
部が基準電位に設定され、他のくし形電極は、その一端
部が基準電位に設定され、他端部が入力側となるように
設定されることを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項８】 前記第１の弾性表面波共振子フィルタの
一対のくし形電極は、それぞれ、その両側のくし形電極
との距離が、前記第２の弾性表面波共振子フィルタの一
対のくし形電極とその両側のくし形電極との距離に比し
て、該弾性表面波装置の通過中心周波数に対応した弾性
表面波波長の１／２だけ変えられることを特徴とする請
求項７記載の弾性表面波装置。 - 【請求項９】 前記第１の弾性表面波共振子フィルタの
一対のくし形電極の一端部と、前記第２の弾性表面波共
振子フィルタの一対のくし形電極の一端部とに接続され
た各出力端子は、前記第１及び第２の弾性表面波共振子
フィルタの中心を通り、弾性表面波の伝搬方向に沿った
線の片側に設けられることを特徴とする請求項７または
８記載の弾性表面波装置。 - 【請求項１０】 前記第１の弾性表面波共振子フィルタ
の一対のくし形電極以外の他のくし形電極の他端部と、
前記第２の弾性表面波共振子フィルタの一対のくし形電
極以外の他のくし形電極の他端部とには、それぞれ、前
記圧電性基板上に形成された弾性表面波共振子が接続さ
れることを特徴とする請求項７または８記載の弾性表面
波装置。 - 【請求項１１】 請求項１から８の弾性表面波装置にお
いて、出力端子を入力端子として、入力端子を出力端子
として用いたことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000131386A JP2001313540A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000131386A JP2001313540A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001313540A true JP2001313540A (ja) | 2001-11-09 |
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ID=18640293
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000131386A Abandoned JP2001313540A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 弾性表面波装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001313540A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6768397B2 (en) * | 2000-11-29 | 2004-07-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter with balanced and unbalanced terminals |
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