JP2001312896A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP2001312896A JP2000127261A JP2000127261A JP2001312896A JP 2001312896 A JP2001312896 A JP 2001312896A JP 2000127261 A JP2000127261 A JP 2000127261A JP 2000127261 A JP2000127261 A JP 2000127261A JP 2001312896 A JP2001312896 A JP 2001312896A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、メモリセルまたはその周辺回路の
不良を救済するための冗長回路を有する半導体集積回路
に関し、アクセス時間を短縮することを目的とする。 【解決手段】 アドレス入力回路は、外部からのアドレ
ス信号を内部アドレス信号として出力する。ラッチ回路
は、内部アドレス信号を取り込み、取り込んだ信号を内
部回路の動作タイミングに合わせて内部回路に供給す
る。冗長判定回路は、ラッチされる前の内部アドレス信
号が不良アドレスかどうかを判定し、判定結果を冗長判
定信号として出力する。このため、冗長判定を早いタイ
ミングで行うことができ、メモリセルまたは冗長メモリ
セルに対する読み出し動作時間および書き込み動作時間
を短縮できる。また、不良の救済時に、通常のメモリセ
ルへのアクセスの禁止を早くできるため、メモリセルの
動作に関係する内部回路の不要な動作を防止でき、消費
電力が低減される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、メモリセルを有す
る半導体集積回路に関する。特に、本発明は、メモリセ
ルの不良またはその周辺回路の不良を救済するための冗
長回路を有する半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、DRAM等の半導体集積回路は、基
板中の格子欠陥および製造工程で発生する異物に起因し
て発生する不良を救済し、歩留を向上するために、冗長
回路を有している。図9は、この種の冗長回路を有する
DRAMの主要部を示している。図において、太線で示した
信号線は、複数本で構成されている。
【0003】DRAMは、入力回路2、コマンドデコーダ
4、クロック信号CLKを受ける入力バッファ6、アドレ
ス信号ADDを受けるアドレス入力回路8、ラッチ回路1
0、プリデコーダ12、コラムデコーダ14、ヒューズ
回路16、冗長判定回路18、冗長プリデコーダ20、
および冗長コラムデコーダ22を有している。プリデコ
ーダ12、コラムデコーダ14、ヒューズ回路16、冗
長判定回路18、冗長プリデコーダ20、および冗長コ
ラムデコーダ22は、コラムアドレスの供給を受けて動
作する回路である。すなわち、このDRAMは、コラムアド
レスに対応する不良を救済するための冗長回路を有して
いる。
【0004】入力回路2は、コマンド信号/CS、/RAS、/
CAS、/WE(以下、これらの信号をまとめてコマンド信号
CMDとも称する)を受ける入力バッファ2aと、入力バ
ッファ6から出力される内部クロック信号CLKINZに同期
して受けた信号を取り込むラッチ2bとを有している。
コマンドデコーダ4は、取り込んだコマンド信号を解読
し、解読結果に応じてコマンド信号ACTV、READ、WRIT
E、およびRASアドレスラッチ信号ERALPZ、CASアドレス
ラッチ信号EXTPZを出力している。
【0005】アドレス入力回路8は、アドレス信号ADD
を受ける入力バッファ8aと、受けた信号を内部クロッ
ク信号CLKINZに同期して取り込むラッチ8bとを有して
いる。ラッチ8bは、取り込んだ信号を内部アドレス信
号ADDINとして出力している。なお、この例のDRAMは、
アドレスマルチプレクス方式を採用しており、ロウアド
レスまたはコラムアドレスが、アドレス信号ADDとしてD
RAMに供給される。
【0006】ラッチ回路10は、ロウラッチ10aと、
コラムラッチ10bとを有している。ロウラッチ10a
は、RASアドレスラッチ信号ERALPZに同期してロウアド
レスを取り込み、取り込んだ信号をロウアドレス信号RA
DDとして出力している。ロウアドレス信号RADDは、図示
しないロウアドレスに対応する回路に供給される。コラ
ムラッチ10bは、CASアドレスラッチ信号EXTPZに同期
してコラムアドレスを取り込み、取り込んだ信号をコラ
ムアドレス信号CADDとして出力している。
【0007】プリデコーダ12は、冗長判定信号RDNの
非活性化時(低レベル)に、図示しない制御回路で生成
されたコラムイネーブルパルスCEPに同期してコラムア
ドレス信号CADDを取り込み、取り込んだ信号をデコード
し、所定のプリデコード信号PDECを出力している。コラ
ムデコーダ14は、プリデコード信号PDECをデコード
し、所定のコラム線選択信号CLを活性化する。
【0008】フューズ回路16は、ポリシリコン等で形
成された複数のフューズと、その制御回路とを有してい
る。ヒューズは、ウエハ状態でのプローブ試験で判明す
る不良アドレス(コラムアドレス)に応じて溶断され
る。ヒューズ回路16は、ヒューズの溶断により設定さ
れた不良アドレスを冗長コラムアドレス信号RCADDとし
て出力している。冗長判定回路18は、コラムアドレス
信号CADDと冗長コラムアドレス信号RCADDとを比較し、
両信号が一致する場合に冗長判定信号RDNを活性化(高
レベル)する。
【0009】冗長プリデコーダ20は、コラムイネーブ
ルパルスCEPに同期して冗長判定信号RDNを取り込み、取
り込んだ信号を冗長プリデコード信号RPDECとして出力
している。冗長コラムデコーダ22は、冗長プリデコー
ド信号RPDECを受け、冗長コラム線選択信号RCLを活性化
する。冗長判定回路18でのアドレス信号CADD、RDNADD
の比較が一致したとき、冗長コラム線選択信号RCLが活
性化される。そして、冗長回路が動作し、図示しない冗
長メモリセルに対する読み出し動作または書き込み動作
が実行される。
【0010】図10は、図9に示したDRAMの読み出し動
作の例を示している。まず、クロック信号CLKに同期し
てコマンド信号CMD(アクティブコマンドACTV)および
アドレス信号ADD(ロウアドレスR1)がDRAMに供給され
る。図9に示したラッチ2bは、内部クロック信号CLKI
NZに同期してコマンド信号CMDを取り込む(図10
(a))。ラッチ8bは、内部クロック信号CLKINZに同
期してロウアドレスR1を取り込み、取り込んだアドレス
を内部アドレス信号ADDINとして出力する(図10
(b))。この後、ロウアドレスR1に対応するワード線
(図示せず)が選択される。
【0011】次のクロック信号CLKに同期してコマンド
信号CMD(読み出しコマンドREAD)およびアドレス信号A
DD(コラムアドレスC1)がDRAMに供給される。ここで、
コラムアドレスC1は、不良個所に対応するアドレスであ
り、その情報は、フューズ回路16に書き込まれてい
る。ラッチ8bは、内部クロック信号CLKINZに同期して
コラムアドレスC1を取り込み、取り込んだアドレスを内
部アドレス信号ADDINとして出力する(図10
(c))。
【0012】コマンドデコーダ4は、読み出しコマンド
READを受けた後、所定時間後にCASアドレスラッチ信号E
XTPZを高レベルに変化させる。コラムラッチ10bは、
CASアドレスラッチ信号EXTPZの立ち上がりエッジに同期
してコラムアドレスC1を取り込み、取り込んだアドレス
を内部コラムアドレス信号CADDとして出力する(図10
(d))。内部コラムアドレス信号CADDは、プリデコー
ダ12および冗長判定回路18に供給される。内部コラ
ムアドレス信号CADD(コラムアドレスC1)は、フューズ
回路16からの冗長コラムアドレス信号RCADDと同一で
ある。このため、冗長判定回路18は、冗長判定信号RD
Nを高レベルに変化させる(図10(e))。ここで、
内部コラムアドレス信号CADDの変化から冗長判定信号RD
Nが活性化されるまでの時間T1は、冗長判定回路18が
冗長判定を実行するために必要な期間である。
【0013】冗長判定信号RDNの活性化により、プリデ
コーダ12は、非活性化される。プリデコーダ12の非
活性化により、コラムアドレスC1に対応する通常のメモ
リセルに対する動作が禁止される。冗長プリデコーダ2
0は、コラムイネーブルパルスCEPの立ち上がりエッジ
に同期して冗長判定信号RDNを取り込み、冗長プリデコ
ード信号RPDECを出力する(図10(f))。冗長コラ
ムデコーダ22は、冗長プリデコード信号RPDECを受
け、冗長コラム線選択信号RCLを活性化(高レベル)す
る(図10(g))。冗長コラム線選択信号RCLの活性
化により、冗長回路として形成されているコラムスイッ
チが導通し、冗長メモリセル(図示せず)から読み出さ
れたデータが出力される。
【0014】次のクロック信号CLKに同期してコマンド
信号CMD(読み出しコマンドREAD)およびアドレス信号A
DD(コラムアドレスC2)がDRAMに供給される。ここで、
コラムアドレスC2は、不良個所に対応するアドレスでは
ない。このため、冗長判定回路18は、冗長判定信号RD
Nを低レベルに変化させる(図10(h))。
【0015】プリデコーダ12は、冗長判定信号RDNの
非活性化により活性化される。冗長コラムデコーダ22
は、冗長判定信号RDNの非活性化により、非活性化され
る。冗長コラムデコーダ22の非活性化により、冗長メ
モリセルに対する動作が禁止される。プリデコーダ12
は、コラムイネーブルパルスCEPの立ち上がりエッジに
同期して内部コラムアドレス信号CADDを取り込み、取り
込んだ信号をデコードし、所定のプリデコード信号PDEC
を出力する(図10(i))。
【0016】コラムデコーダ14は、プリデコード信号
PDECをデコードし、所定のコラム線選択信号CLを活性化
(高レベル)する(図10(j))。コラム線選択信号
CLの活性化により、所定のコラムスイッチが導通し、メ
モリセル(図示せず)から読み出されたデータが出力さ
れる。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のDRAMで
は、アドレスの入力処理、ラッチ処理、冗長判定の処
理、およびデコード処理は、それぞれ、前の処理を受け
て順次に実行される。例えば、冗長判定回路18は、ア
ドレス入力回路8およびラッチ回路10を介して、生成
された内部コラムアドレス信号CADDを受けている。換言
すれば、冗長判定回路18でのアドレス比較は、内部コ
ラムアドレス信号CADDが生成された後に行われる。この
ため、内部回路の動作タイミングが、上記時間T1だけ遅
れ、読み出しデータの出力が遅れるという問題があっ
た。すなわち、アクセス時間を短縮できない。この問題
は、書き込み動作でも同様に発生する。すなわち、書き
込みアドレスと不良アドレスとの比較に要する時間T1だ
け、書き込みデータのメモリセルへの書き込みタイミン
グが遅れてしまう。読み出し動作時間、書き込み動作時
間の増大は、クロック信号の周波数を高くすることを阻
害する。
【0018】本発明の目的は、メモリセルおよび不良を
救済する冗長回路を有する半導体集積回路において、ア
クセス時間を短縮することにある。本発明の別の目的
は、冗長回路での冗長判定を早いタイミングで行うこと
で内部回路の不要な動作を防止し、消費電力を低減する
ことにある。本発明のさらなる別の目的は、内部回路の
動作タイミングを、正常なアドレス、冗長アドレスにか
かわりなく同一にし、内部回路の制御を容易にすること
にある。
【0019】本発明の別の目的は、メモリセルを有する
クロック同期式の半導体集積回路において、メモリセル
または冗長メモリセルに対する読み出し動作および書き
込み動作の制御を高速にし、クロック信号の周波数を高
くすることにある。本発明の別の目的は、メモリセルを
有し、行アドレス信号と列アドレス信号とが順次供給さ
れる半導体集積回路において、行アドレス信号または列
アドレス信号の冗長判定を高速に行うことにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】請求項1の半導体集積回
路は、メモリセルおよび不良を救済するための冗長メモ
リセルと、アドレス入力回路と、ラッチ回路と、冗長判
定回路と、冗長ラッチ回路とを備えている。アドレス入
力回路は、外部から供給されるアドレス信号を受け、受
けた信号を内部アドレス信号として出力する。ラッチ回
路は、アドレス入力回路からの内部アドレス信号を取り
込み、取り込んだ信号を内部回路の動作タイミングに合
わせて内部回路に供給する。冗長判定回路は、アドレス
入力回路から内部アドレス信号を受け、受けた内部アド
レス信号が不良アドレスかどうかを判定し、判定結果を
冗長判定信号として出力する。すなわち、内部アドレス
信号が不良アドレスのときに、冗長判定信号は活性化さ
れる。冗長ラッチ回路は、冗長判定信号を取り込み、取
り込んだ信号を内部回路の動作タイミングに合わせて内
部回路に供給する。このように、ラッチされる前のアド
レス信号を使用して冗長判定することで、冗長判定を早
いタイミングで行うことができる。冗長判定信号(冗長
アドレスの情報)は、冗長判定後にラッチすればよい。
したがって、メモリセルまたは冗長メモリセルに対する
読み出し動作時間および書き込み動作時間を短縮でき
る。また、冗長判定が動作サイクルの早い時期に行われ
るため、不良の救済時(冗長判定信号の活性化時)に、
通常のメモリセルへのアクセスの禁止を早くできる。こ
の結果、メモリセルの動作に関係する内部回路の不要な
動作を防止でき、消費電力が低減される。
【0021】請求項2および請求項3の半導体集積回路
では、アドレス入力回路は、受けたアドレス信号を、ま
ず第1内部アドレス信号として出力し、この後第1内部
アドレス信号よりタイミングの遅い第2内部アドレス信
号として出力する。例えば、第2内部アドレス信号の第
1内部アドレス信号に対する遅れ時間は、冗長判定回路
における不良アドレスの判定時間に合わせて設定されて
いる。冗長判定回路は、第1内部アドレス信号を内部ア
ドレス信号として受ける。ラッチ回路は、第2内部アド
レス信号を内部アドレス信号として取り込む。このた
め、ラッチ回路のラッチタイミングと冗長ラッチ回路の
ラッチタイミングとを同一にすることが可能になる。し
たがって、内部回路の動作タイミングを、正常なアドレ
ス、冗長アドレスにかかわりなく同一にできる。この結
果、内部回路の制御が容易になる。
【0022】請求項4および請求項5の半導体集積回路
では、アドレス入力回路は、外部から供給されるクロッ
ク信号に同期して第1内部アドレス信号および第2内部
アドレス信号を出力する。あるいは、アドレス入力回路
は、外部から供給されるクロック信号に非同期で第1内
部アドレス信号を出力し、クロック信号に同期して第2
内部アドレス信号を出力する。このため、クロック同期
式の半導体集積回路においても、メモリセルまたは冗長
メモリセルに対する読み出し動作および書き込み動作を
高速に制御できる。この結果、クロック信号の周波数を
高くすることが可能になる。
【0023】請求項6の半導体集積回路では、2回に分
けて順次に供給されるアドレス信号に基づいて、読み出
し動作または書き込み動作等が実行される。このとき、
冗長判定回路は、最初に受けたアドレス信号が不良アド
レスかどうかを判定する。このため、例えば、行アドレ
ス信号と列アドレス信号とが順次供給される半導体集積
回路において、行アドレス信号の冗長判定を高速に行う
ことができる。
【0024】請求項7の半導体集積回路では、2回に分
けて順次に供給されるアドレス信号に基づいて、読み出
し動作または書き込み動作等が実行される。このとき、
冗長判定回路は、2番目に受けたアドレス信号が不良ア
ドレスかどうかを判定する。このため、例えば、行アド
レス信号と列アドレス信号とが順次供給される半導体集
積回路において、列アドレス信号の冗長判定を高速に行
うことができる。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
用いて説明する。図1は、本発明の半導体集積回路の第
1の実施形態を示している。この実施形態は、請求項1
ないし請求項4、請求項7に対応している。従来技術で
説明した回路・信号と同一の回路・信号については、同
一の符号を付し、これ等については、詳細な説明を省略
する。
【0026】この半導体集積回路は、シリコン基板上に
CMOSプロセス技術を使用してSDRAMインタフェースを備
えたFCRAM(Fast Cycle RAM)として形成されている。
すなわち、このFCRAMは、アドレス信号ADDを、ロウアド
レス信号とコラムアドレス信号とに分けて順次に受け
(アドレスマルチプレクス方式)、ロウアドレス信号に
対応してワード線を選択し、コラムアドレス信号に対応
して読み出し動作または書き込み動作を実行する。
【0027】FCRAMは、入力回路2、コマンドデコーダ
4、クロック信号CLKを受ける入力バッファ6、アドレ
ス信号ADDを受けるアドレス入力回路24、ラッチ回路
26、プリデコーダ12、コラムデコーダ14、ヒュー
ズ回路16、冗長判定回路28、冗長プリデコーダ2
0、および冗長コラムデコーダ22を有している。入力
回路2、コマンドデコーダ4、入力バッファ6、プリデ
コーダ12、コラムデコーダ14、ヒューズ回路16、
冗長プリデコーダ20、および冗長コラムデコーダ22
は、第1の実施形態と同一であり、これ等回路の接続関
係も同一である。
【0028】なお、実際のFCRAMでは、複数の冗長判定
回路28および冗長ラッチ26aが形成され、複数の不
良が救済される。この実施形態では、説明を簡単にする
ため、これ等の回路を省略している。図2は、アドレス
入力回路24、冗長判定回路28、およびラッチ回路2
6の詳細を示している。
【0029】アドレス入力回路24は、カレントミラー
回路で構成された入力バッファ24aと、差動増幅器で
構成されたラッチ24bと、バッファ24cとを、それ
ぞれアドレス信号ADD0-ADDnに対応して有している。な
お、入力バッファ24aは、カレントミラー回路に限定
されることなく、例えば、インバータ等のゲート回路で
構成されてもよい。ラッチ24bは、入力バッファ24
aからの出力信号を内部クロック信号CLKINZに同期して
取り込み、取り込んだ信号を第1内部アドレス信号ADDI
N1として出力している。バッファ24cは、第1内部ア
ドレス信号ADDIN1を受け、受けた信号を所定時間遅延さ
せ、第2内部アドレス信号ADDIN2として出力している。
バッファ24cの遅延時間は、次に述べる冗長判定回路
28の冗長判定に要する時間にほぼ等しくなるように設
定されている。
【0030】冗長判定回路28は、第1内部アドレス信
号ADDIN1とフューズ回路16から出力される冗長コラム
アドレス信号RCADDの各ビットをそれぞれ比較する比較
部28aと、比較部28aの比較結果に応じて冗長判定
信号RDNを活性化する判定部28bとを有している。比
較部28aは、冗長コラムアドレス信号RCADDに応じて
第1内部アドレス信号ADDIN1または第1内部アドレス信
号ADDIN1の反転信号を出力する回路である。比較部28
aは、例えば、ENOR回路で構成することができる。判定
部28bは、例えば、NORゲートで構成されている。冗
長判定信号RDNは、全ての比較部28aが低レベルを出
力するときに活性化(高レベル)される。
【0031】ラッチ回路26は、図1に示したロウラッ
チ10aと、コラムラッチ10bと、冗長ラッチ26a
とを有している。コラムラッチ10bは、CASアドレス
ラッチ信号EXTPZの活性化時に、第2内部アドレス信号A
DDIN2を内部に伝達する複数のCMOS伝達ゲートと、これ
等CMOS伝達ゲートを介して伝達される第2内部アドレス
信号ADDIN2をラッチし、ラッチした信号をコラムアドレ
ス信号CADD0-CADDnとして出力する複数のラッチとで構
成されている。冗長ラッチ26aは、CASアドレスラッ
チ信号EXTPZの活性化時に、冗長判定信号RDNを内部に伝
達するCMOS伝達ゲートと、このCMOS伝達ゲートを介して
伝達される冗長判定信号RDNをラッチし、ラッチした信
号を冗長判定信号RDN2として出力するラッチとで構成さ
れている。
【0032】図3は、図1に示したFCRAMの読み出し動
作の例を示している。従来と同一の動作については、説
明を省略する。まず、従来と同様に、クロック信号CLK
に同期してアクティブコマンドACTVおよびロウアドレス
R1がFCRAMに供給され(図3(a))、ロウアドレスR1
に対応するワード線(図示せず)が選択される。
【0033】次に、クロック信号CLKに同期して読み出
しコマンドREADおよびコラムアドレスC1(不良アドレ
ス)がFCRAMに供給される(図3(b))。図2に示し
たアドレス入力回路24のラッチ24bは、入力バッフ
ァ24aで増幅されたコラムアドレスC1を、内部クロッ
ク信号CLKINZに同期して取り込み、取り込んだアドレス
を第1内部アドレス信号ADDIN1として出力する(図3
(c))。冗長判定回路28は、第1内部アドレス信号
ADDIN1と冗長コラムアドレス信号RCADDとを比較し、両
信号の一致に基づいて冗長判定信号RDNを活性化(高レ
ベル)する(図3(d))。冗長判定信号RDNの活性化
により、プリデコーダ12は、非活性化される。プリデ
コーダ12の非活性化により、コラムアドレスC1に対応
する通常のメモリセルに対する動作が禁止される。アド
レス入力回路24のバッファ24cは、第1内部アドレ
ス信号ADDIN1を時間T1だけ遅らせた第2内部アドレス信
号ADDIN2を出力する(図3(e))。時間T1は、冗長判
定回路28の冗長比較に要する時間と同一である。この
ため、第2内部アドレス信号ADDIN2の出力タイミング
は、冗長判定信号RDNの活性化タイミングと同一にな
る。
【0034】冗長ラッチ回路26aは、CASアドレスラ
ッチ信号EXTPZに同期して冗長判定信号RDNを取り込む。
この後、従来と同様に冗長プリデコーダ20および冗長
コラムデコーダ22が動作し、冗長コラム線選択信号RC
Lが活性化(高レベル)される(図3(f))。そし
て、冗長回路として形成されているコラムスイッチが導
通し、冗長メモリセル(図示せず)から読み出されたデ
ータが出力される。なお、図中、破線で示したタイミン
グは、従来のタイミングである。
【0035】冗長判定回路28での冗長判定(時間T1)
は、ラッチ回路26のCASアドレスラッチ信号EXTPZによ
るラッチタイミングより前に行われる。換言すれば、冗
長判定は、CASアドレスラッチ信号EXTPZと非同期に行わ
れる。冗長判定が、読み出しサイクルの早い時期に行わ
れるため、その後のアドレスデコードは、早く開始され
る。この結果、冗長メモリセルに対するアクセス時間が
短縮される。
【0036】次に、クロック信号CLKに同期して読み出
しコマンドREADおよびコラムアドレスC2がFCRAMに供給
される。このコラムアドレスC2は、不良アドレスではな
い。このため、冗長判定回路28は、冗長判定信号RDN
を低レベルに変化させる(図3(g))。ここで、冗長
判定信号RDNの非活性化タイミングも、従来に比べ早く
なる。プリデコーダ12は、冗長判定信号RDNの非活性
化により活性化される。冗長コラムデコーダ22は、冗
長判定信号RDNの非活性化により、非活性化される。冗
長コラムデコーダ22の非活性化により、冗長メモリセ
ルに対する動作が禁止される。そして、プリデコーダ1
2およびコラムデコーダ14が動作し、コラム線選択信
号CLが活性化(高レベル)される(図3(h))。コラ
ム線選択信号CLの活性化により、所定のコラムスイッチ
が導通し、メモリセル(図示せず)から読み出されたデ
ータが出力される。このように、冗長判定が早く行われ
るため、正常なアドレスに対してもコラムアドレスに対
応する回路の動作が早く開始される。この結果、通常の
メモリセルに対するアクセス時間も短縮される。
【0037】なお、特にタイミング図を示していない
が、書き込み動作についても読み出し動作と同様にアク
セス時間を短縮できる。この場合、冗長判定回路28
は、書き込みアドレスが不良アドレスかどうかを判定す
る。
【0038】以上、本発明の半導体集積回路では、ラッ
チ回路26にラッチされる前の第1内部アドレス信号AD
DIN1を使用して冗長判定した。このため、冗長判定を動
作サイクルの早い時期に行うことができる。したがっ
て、メモリセルまたは冗長メモリセルに対する読み出し
動作時間および書き込み動作時間を短縮できる。冗長判
定が動作サイクルの早い時期に行われるため、不良の救
済時(冗長判定信号RDNの活性化時)に、通常のメモリ
セルへのアクセスの禁止を早くできる。この結果、メモ
リセルの動作に関係する内部回路の不要な動作を防止で
き、消費電力を低減できる。
【0039】アドレス入力回路は、冗長判定に使用され
る第1内部アドレス信号ADDIN1と、この第1内部アドレ
ス信号ADDIN1に対して時間T1だけ遅れ、通常のコラムア
ドレスとして使用される第2内部アドレス信号ADDIN2と
を出力した。時間T1は、冗長判定回路28における不良
アドレスの判定時間である。このため、コラムラッチ1
0bのラッチタイミングと冗長ラッチ26aのラッチタ
イミングとを同一にできる。したがって、内部回路の動
作タイミングを、正常なアドレス、冗長アドレスにかか
わりなく同一にできる。この結果、内部回路の制御が容
易になる。
【0040】アドレス入力回路は、外部から供給される
クロック信号CLKに同期してアドレス信号ADDを取り込
み、取り込んだ信号を、第1内部アドレス信号ADDIN1お
よび第2内部アドレス信号ADDIN2として出力した。この
ため、クロック同期式の半導体メモリにおいても、メモ
リセルまたは冗長メモリセルに対する読み出し動作およ
び書き込み動作を高速に制御できる。この結果、クロッ
ク信号CLKの周波数を高くすることが可能になる。
【0041】冗長判定回路28は、読み出しコマンドRE
ADとともに供給されるコラムアドレスC1を不良アドレス
かどうか判定した。このため、行アドレス信号と列アド
レス信号とが順次供給される半導体メモリにおいて、列
アドレス信号の冗長判定を高速に行うことができる。
【0042】図4は、本発明の半導体集積回路の第2の
実施形態におけるアドレス入力回路を示している。この
実施形態は、請求項1ないし請求項3、請求項5、請求
項7に対応している。従来技術および第1の実施形態で
説明した回路・信号と同一の回路・信号については、同
一の符号を付し、これ等については、詳細な説明を省略
する。
【0043】この実施形態の半導体集積回路は、第1の
実施形態と同様のFCRAMとして形成されている。FCRAM
は、アドレス入力回路30が第1の実施形態のアドレス
入力回路24と相違している。アドレス入力回路30を
除く構成は、第1の実施形態と同一である。アドレス入
力回路30は、アドレス信号ADD0-ADDnにそれぞれ対応
して、カレントミラー回路で構成された入力バッファ3
0aと、ラッチ30bとを有している。入力バッファ3
0aは、アドレス信号ADD0-ADDnを増幅し、増幅した信
号を第1内部アドレス信号ADDIN1として出力している。
第1内部アドレス信号ADDIN1は、クロック信号CLK(CLK
INZ)に非同期で生成されるため、より早いタイミング
で冗長判定が実行される。ラッチ30bは、遅延回路DE
LAYを有している。ラッチ30bは、入力バッファ30
aからの第1内部アドレス信号ADDIN1を内部クロック信
号CLKINZに同期して取り込み、取り込んだ信号を所定の
時間遅延させて、第2内部アドレス信号ADDIN2として出
力している。遅延回路DELAYの遅延時間は、第2内部ア
ドレス信号ADDIN2の第1内部アドレス信号ADDIN1に対す
る遅れが、冗長判定回路28におけるアドレスの判定時
間に等しくなるように設定されている。
【0044】この実施形態においても上述した第1の実
施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、この
実施形態では、アドレス入力回路30は、クロック信号
CLKに非同期で第1内部アドレス信号ADDIN1を出力し、
クロック信号CLKに同期して第2内部アドレス信号ADDIN
2を出力した。このため、FCRAM等のクロック同期式の半
導体メモリにおいても、メモリセルまたは冗長メモリセ
ルに対する読み出し動作および書き込み動作を高速に制
御できる。
【0045】図5は、本発明の半導体集積回路の第3の
実施形態におけるアドレス入力回路を示している。この
実施形態は、請求項1ないし請求項3、請求項7に対応
している。従来技術および第1の実施形態で説明した回
路・信号と同一の回路・信号については、同一の符号を
付し、これ等については、詳細な説明を省略する。この
実施形態の半導体集積回路は、第1の実施形態と同様の
FCRAMとして形成されている。FCRAMは、アドレス入力回
路32が第1の実施形態のアドレス入力回路24と相違
している。アドレス入力回路32を除く構成は、第1の
実施形態と同一である。
【0046】アドレス入力回路32は、アドレス信号AD
D0-ADDnにそれぞれ対応して、カレントミラー回路およ
びインバータを縦続接続した入力バッファ32aと、遅
延回路32bとを有している。入力バッファ32aは、
アドレス信号ADD0-ADDnを増幅し、増幅した信号をイン
バータで受け、この信号を第1内部アドレス信号ADDIN1
として出力している。遅延回路32bは、入力バッファ
32aからの第1内部アドレス信号ADDIN1を所定の時間
遅延させて、第2内部アドレス信号ADDIN2として出力し
ている。遅延回路32bの遅延時間は、第2内部アドレ
ス信号ADDIN2の第1内部アドレス信号ADDIN1に対する遅
れが、冗長判定回路28におけるアドレスの判定時間に
等しくなるように設定されている。このように、アドレ
ス入力回路32は、クロック信号CLKに非同期で動作す
る。第1内部アドレス信号ADDIN1は、クロック信号CLK
(CLKINZ)に非同期で生成されるため、より早いタイミ
ングで冗長判定が実行される。
【0047】この実施形態においても、上述した第1お
よび第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。
さらに、この実施形態では、アドレス入力回路32を、
クロック信号CLKに非同期で動作させた。このため、図
1に示したラッチ回路26以降の回路の動作を早く開始
できる。この結果、メモリセルおよび冗長メモリセルに
対する読み出し動作および書き込み動作をさらに高速に
制御できる。
【0048】図6は、本発明の半導体集積回路の第4の
実施形態を示している。この実施形態は、請求項1ない
し請求項4、請求項6、請求項7に対応している。従来
技術および第1の実施形態で説明した回路・信号と同一
の回路・信号については、同一の符号を付し、これ等に
ついては、詳細な説明を省略する。この実施形態の半導
体集積回路は、FCRAMとして形成されている。このFCRAM
は、チップの外部からロウアドレス信号RADとコラムア
ドレス信号CADとを同時に受け(アドレスノンマルチプ
レクス方式)、読み出し動作または書き込み動作を実行
する機能を有している。
【0049】FCRAMは、入力回路34、コマンドデコー
ダ36、入力バッファ6、アドレス入力回路38、ラッ
チ回路26、プリデコーダ12、コラムデコーダ14、
ヒューズ回路16、冗長判定回路28、冗長プリデコー
ダ20、および冗長コラムデコーダ22を有している。
入力バッファ6、ラッチ回路26、プリデコーダ12、
コラムデコーダ14、ヒューズ回路16、冗長判定回路
28、冗長プリデコーダ20、および冗長コラムデコー
ダ22は、第1の実施形態と同一であり、これ等回路の
接続関係も同一である。
【0050】入力回路34は、コマンド信号/CS、FN1、
FN2(これらをまとめてコマンド信号CMDとも称する)を
受ける入力バッファ34aと、受けた信号を内部クロッ
ク信号CLKINZに同期して取り込むラッチ2bとを有して
いる。コマンドデコーダ36は、取り込んだコマンド信
号を解読し、解読結果に応じてコマンド信号ACT、およ
びRASアドレスラッチ信号ERALPZ、CASアドレスラッチ信
号EXTPZ等を出力している。
【0051】図7は、アドレス入力回路38の詳細を示
している。アドレス入力回路38は、ロウアドレス信号
RADおよびコラムアドレス信号CADをそれぞれ受ける入力
バッファ24aと、受けたアドレス信号を内部クロック
信号CLKINZに同期してそれぞれ取り込むラッチ24b
と、コラムアドレス信号CADに対応してそれぞれ形成さ
れたバッファ24cとを有している。入力バッファ24
a、ラッチ24b、およびバッファ24cは、図2に示
した回路と同一である。ロウコラムアドレス信号RADに
対応するラッチ24bは、取り込んだ信号を内部ロウア
ドレス信号RADDINとして出力している。コラムアドレス
信号CADに対応するラッチ24bは、取り込んだ信号を
第1内部アドレス信号ADDIN1として出力している。バッ
ファ24cは、第1内部アドレス信号ADDIN1を受け、受
けた信号を所定時間T1だけ遅延させ、内部コラムアドレ
ス信号CADDIN(第2内部アドレス信号)として出力して
いる。時間T1は、図6に示した冗長判定回路28が冗長
判定に要する時間である。
【0052】図8は、図6に示したFCRAMの読み出し動
作の例を示している。従来および第1の実施形態と同一
の動作については、説明を省略する。まず、クロック信
号CLKに同期して読み出し動作を示すコマンド信号CMDお
よびロウアドレスR1、コラムアドレスC1がFCRAMに供給
される(図8(a))。ここで、コラムアドレスC1は、
不良アドレスである。
【0053】アドレス入力回路38は、内部クロック信
号CLKINZに同期してロウアドレスR1およびコラムアドレ
スC1を取り込み、取り込んだ信号を内部ロウアドレス信
号RADDINおよび第1内部アドレス信号ADDIN1(コラムア
ドレスC1)として出力する(図8(b)、(c))。ロ
ウラッチ10aは、RASアドレスラッチ信号ERALPZに同
期して内部ロウアドレス信号RADDINを取り込み、取り込
んだ信号をロウアドレス信号RADDとして出力する(図8
(d))。ロウアドレスに対応する内部回路は、ロウア
ドレスRADDを受け、所定のワード線を選択する処理を行
う。
【0054】冗長判定回路28は、第1内部アドレス信
号ADDIN1と冗長コラムアドレス信号RCADDとを比較し、
冗長判定信号RDNを活性化(高レベル)する(図8
(e))。また、アドレス入力回路38は、第1内部ア
ドレス信号ADDIN1を時間T1だけ遅延させ、この信号を内
部コラムアドレス信号CADDINとして出力する(図8
(f))。この後、図3と同様に、冗長コラム線選択信
号RCLが活性化され、冗長メモリセルに保持されている
データの読み出し動作が実行される(図8(g))。
【0055】次に、クロック信号CLKに同期して読み出
し動作を示すコマンド信号CMDおよびロウアドレスR2、
コラムアドレスC2がFCRAMに供給される(図8
(h))。ここで、コラムアドレスC2は、不良アドレス
でない。この後、図3と同様に、コラム線選択信号CLが
活性化され、通常のメモリセルに保持されているデータ
の読み出し動作が実行される(図8(i))。
【0056】このように、本発明を、アドレスノンマル
チプレクス方式のFCRAMに適用した場合も、上述した第
1の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、
上述した実施形態では、本発明をコラムアドレスの冗長
回路に適用した例について述べた。本発明はかかる実施
形態に限定されるものではない。例えば、本発明をロウ
アドレスの冗長回路に適用しても良い(請求項6に対応
する)。さらに、本発明をコラムアドレスの冗長回路お
よびロウアドレスの冗長回路の両方に適用しても良い。
【0057】上述した実施形態では、本発明をFCRAMに
適用した例について述べた。しかしながら、本発明はか
かる実施形態に限定されるものではない。例えば、本発
明をSDRAM等の他のDRAM、またはSRAM等の半導体メモリ
に適用してもよい。あるいは、DRAMのメモリコアを内蔵
したシステムLSIに適用してもよい。また、本発明が適
用される半導体製造プロセスは、CMOSプロセスに限られ
ず、Bi-CMOSプロセスでもよい。
【0058】以上、本発明について詳細に説明してきた
が、上記の実施形態およびその変形例は発明の一例に過
ぎず、本発明はこれに限定されるものではない。本発明
を逸脱しない範囲で変形可能であることは明らかであ
る。
【0059】
【発明の効果】請求項1の半導体集積回路では、冗長判
定を早いタイミングで行うことができ、メモリセルまた
は冗長メモリセルに対する読み出し動作時間および書き
込み動作時間を短縮できる。また、冗長判定がメモリ動
作の早い時期に行われるため、不良の救済時に、通常の
メモリセルへのアクセスを早く禁止できる。この結果、
メモリセルの動作に関係する内部回路の不要な動作を防
止でき、消費電力が低減される。
【0060】請求項2および請求項3の半導体集積回路
では、ラッチ回路のラッチタイミングと冗長ラッチ回路
のラッチタイミングとを同一にすることができる。した
がって、内部回路の動作タイミングを、正常なアドレ
ス、冗長アドレスにかかわりなく同一にできる。この結
果、内部回路の制御が容易になる。請求項4および請求
項5の半導体集積回路では、クロック同期式の半導体集
積回路において、メモリセルまたは冗長メモリセルに対
する読み出し動作および書き込み動作の制御を高速にで
きる。この結果、クロック信号の周波数を高くすること
が可能になる。
【0061】請求項6の半導体集積回路では、例えば、
行アドレス信号と列アドレス信号とが順次供給される半
導体集積回路において、行アドレス信号の冗長判定を高
速に行うことができる。請求項7の半導体集積回路で
は、例えば、行アドレス信号と列アドレス信号とが順次
供給される半導体集積回路において、列アドレス信号の
冗長判定を高速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体集積回路の第1の実施形態を示
すブロック図である。
【図2】図1の要部を示す回路図である。
【図3】図1の半導体集積回路の読み出し動作を示すタ
イミング図である。
【図4】本発明の半導体集積回路の第2の実施形態にお
ける要部を示すブロック図である。
【図5】本発明の半導体集積回路の第3の実施形態にお
ける要部を示すブロック図である。
【図6】本発明の半導体集積回路の第4の実施形態を示
すブロック図である。
【図7】図6のアドレス入力回路の詳細を示す回路図で
ある。
【図8】図6の半導体集積回路の読み出し動作を示すタ
イミング図である。
【図9】従来の半導体集積回路を示すブロック図であ
る。
【図10】従来の半導体集積回路の読み出し動作を示す
タイミング図である。
【符号の説明】
2 入力回路 4 コマンドデコーダ 6 入力バッファ 10a ロウラッチ 10b コラムラッチ 12 プリデコーダ 14 コラムデコーダ 16 ヒューズ回路 18a 比較部 18b 判定部 20 冗長プリデコーダ 22 冗長コラムデコーダ 24 アドレス入力回路 24a 入力バッファ 24b ラッチ 24c バッファ 26 ラッチ回路 26a 冗長ラッチ 28 冗長判定回路 30 アドレス入力回路 30a 入力バッファ 30b ラッチ 32 アドレス入力回路 32a 入力バッファ 32b 遅延回路 34 入力回路 36 コマンドデコーダ 38 アドレス入力回路 ACT コマンド信号 ADD(ADD0-ADDn) アドレス信号 ADDIN1 第1内部アドレス信号 ADDIN2 第2内部アドレス信号 CAD コラムアドレス信号 CADD0-CADDn コラムアドレス信号 CADDIN 内部コラムアドレス信号 CLK クロック信号 CLKINZ 内部クロック信号 CMD コマンド信号 DELAY 遅延回路 EXTPZ CASアドレスラッチ信号 FN1、FN2 コマンド信号 RAD ロウアドレス信号 RADDIN 内部ロウアドレス信号 RDN 冗長判定信号 RDNADD 冗長アドレス信号

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリセル、および不良を救済するため
    の冗長メモリセルと、 外部から供給されるアドレス信号を受け、受けた信号を
    内部アドレス信号として出力するアドレス入力回路と、 前記内部アドレス信号を取り込み、取り込んだ信号を内
    部回路の動作タイミングに合わせて該内部回路に供給す
    るラッチ回路と、 前記内部アドレス信号を受け、該内部アドレス信号が不
    良アドレスかどうかを判定し、判定結果を冗長判定信号
    として出力する冗長判定回路と、 前記冗長判定信号を取り込み、取り込んだ信号を前記内
    部回路の動作タイミングに合わせて該内部回路に供給す
    る冗長ラッチ回路とを備えていることを特徴とする半導
    体集積回路。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記アドレス入力回路が出力する前記内部アドレス信号
    は、第1内部アドレス信号と、該第1内部アドレス信号
    より遅いタイミングで出力される第2内部アドレス信号
    とで構成され、 前記冗長判定回路は、第1内部アドレス信号を前記内部
    アドレス信号として受け、 前記ラッチ回路は、第2内部アドレス信号を前記内部ア
    ドレス信号として取り込むことを特徴とする半導体集積
    回路。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の半導体集積回路におい
    て、 前記第2内部アドレス信号の前記第1内部アドレス信号
    に対する遅れ時間は、前記冗長判定回路における不良ア
    ドレスの判定時間に合わせて設定されていることを特徴
    とする半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の半導体集積回路におい
    て、 前記アドレス入力回路は、外部から供給されるクロック
    信号に同期して前記第1内部アドレス信号および前記第
    2内部アドレス信号を出力することを特徴とする半導体
    集積回路。
  5. 【請求項5】 請求項3記載の半導体集積回路におい
    て、 前記アドレス入力回路は、外部から供給されるクロック
    信号に非同期で前記第1内部アドレス信号を出力し、前
    記クロック信号に同期して前記第2内部アドレス信号を
    出力することを特徴とする半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記アドレス入力回路は、前記アドレス信号を2回に分
    けて受け、 前記冗長判定回路は、最初に受けた前記アドレス信号が
    不良アドレスかどうかを判定することを特徴とする半導
    体集積回路。
  7. 【請求項7】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記アドレス入力回路は、前記アドレス信号を2回に分
    けて受け、 前記冗長判定回路は、2番目に受けた前記アドレス信号
    が不良アドレスかどうかを判定することを特徴とする半
    導体集積回路。
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