JP2001311736A - Ｉｃｐ分析装置用のオートサンプラー及びサンプリング方法 - Google Patents
Ｉｃｐ分析装置用のオートサンプラー及びサンプリング方法Info
- Publication number
- JP2001311736A JP2001311736A JP2000130827A JP2000130827A JP2001311736A JP 2001311736 A JP2001311736 A JP 2001311736A JP 2000130827 A JP2000130827 A JP 2000130827A JP 2000130827 A JP2000130827 A JP 2000130827A JP 2001311736 A JP2001311736 A JP 2001311736A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary tube
- sample
- nebulizer
- icp
- analyzed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＩＣＰ分析装置の処理能力を維持してエネル
ギーやアルゴンガスの浪費をなくし、かつ安定な分析を
可能にする。 【解決手段】 ＩＣＰ分析装置用のオートサンプラーに
おいて、ＩＣＰ分析装置内のネブライザーに接続するキ
ャピラリーチューブを下に向けて固定して動かないよう
に支持し、分析する試料溶液を入れた試料容器を、水平
方向および垂直方向に移動する構造にした。
ギーやアルゴンガスの浪費をなくし、かつ安定な分析を
可能にする。 【解決手段】 ＩＣＰ分析装置用のオートサンプラーに
おいて、ＩＣＰ分析装置内のネブライザーに接続するキ
ャピラリーチューブを下に向けて固定して動かないよう
に支持し、分析する試料溶液を入れた試料容器を、水平
方向および垂直方向に移動する構造にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料溶液中の微量
不純物元素の同定・定量を行うＩＣＰ発光分光分析装置
やＩＣＰ質量分析装置に対して、試料をサンプリングし
て送るオートサンプラーに関するものである。
不純物元素の同定・定量を行うＩＣＰ発光分光分析装置
やＩＣＰ質量分析装置に対して、試料をサンプリングし
て送るオートサンプラーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のオートサンプラーを図２ａおよび
図２ｂを用いて説明する。図２ａはオートサンプラーを
上から示した図で、図２ｂは横から示した図である。図
２ａおよび図２ｂにおいて、１はネブライザー、２はキ
ャピラリーチューブ、３は試料容器、４は試料溶液であ
る。試料溶液４はＩＣＰ分析装置で分析するもので試料
容器３内に入っている。試料溶液３および試料容器４は
複数あって並んでいる。
図２ｂを用いて説明する。図２ａはオートサンプラーを
上から示した図で、図２ｂは横から示した図である。図
２ａおよび図２ｂにおいて、１はネブライザー、２はキ
ャピラリーチューブ、３は試料容器、４は試料溶液であ
る。試料溶液４はＩＣＰ分析装置で分析するもので試料
容器３内に入っている。試料溶液３および試料容器４は
複数あって並んでいる。
【０００３】ネブライザー１はＩＣＰ分析装置の構成部
品で、試料溶液を霧状に噴霧する働きをしている。キャ
ピラリーチューブ２は試料溶液を輸送する管である。ネ
ブライザー１には同軸型やクロスフロー型、バビントン
型等がある。同軸型やクロスフロー型はネブライザー自
身が試料溶液を吸引する機能を持っている。またバビン
トン型のようにネブライザー自身が試料溶液を吸引する
機能を持っていないものは、キャピラリーチューブ２の
途中に試料溶液４を送るポンプを備えている。５はＸ駆
動体、６はＹ駆動体、７は垂直駆動体、８は支持体であ
る。Ｘ駆動体５は水平のＸ方向に、Ｙ駆動体６は水平の
Ｙ方向に、Ｚ駆動体は垂直方向に動く。キャピラリーチ
ューブ２は支持体８に固定され、支持体８は垂直駆動体
７により上下に移動できるように取り付けられている。
品で、試料溶液を霧状に噴霧する働きをしている。キャ
ピラリーチューブ２は試料溶液を輸送する管である。ネ
ブライザー１には同軸型やクロスフロー型、バビントン
型等がある。同軸型やクロスフロー型はネブライザー自
身が試料溶液を吸引する機能を持っている。またバビン
トン型のようにネブライザー自身が試料溶液を吸引する
機能を持っていないものは、キャピラリーチューブ２の
途中に試料溶液４を送るポンプを備えている。５はＸ駆
動体、６はＹ駆動体、７は垂直駆動体、８は支持体であ
る。Ｘ駆動体５は水平のＸ方向に、Ｙ駆動体６は水平の
Ｙ方向に、Ｚ駆動体は垂直方向に動く。キャピラリーチ
ューブ２は支持体８に固定され、支持体８は垂直駆動体
７により上下に移動できるように取り付けられている。
【０００４】次にオートサンプラーの動きを説明する。
或る試料の測定を終了すると、垂直駆動体７は上に移動
して、Ｘ駆動体５やＹ駆動体６が動いてもキャピラリー
チューブ８が試料容器３や図示されていないオートサン
プラーの他の構造物に接触しないようにする。次にＸ駆
動体５およびＹ駆動体６が動作して、キャピラリーチュ
ーブ２の先端を所定の試料容器の真上位置に移動させ
る。そして垂直駆動体７が下に移動してキャピラリーチ
ューブ２の先端を試料溶液の中に浸す。ＩＣＰ分析装置
はその後、試料溶液がキャピラリーチューブ２の中を伝
わってネブライザー１に達して測定できる状態になるま
での時間（これを待ち時間と呼ぶ）を待ってから、測定
を開始する。
或る試料の測定を終了すると、垂直駆動体７は上に移動
して、Ｘ駆動体５やＹ駆動体６が動いてもキャピラリー
チューブ８が試料容器３や図示されていないオートサン
プラーの他の構造物に接触しないようにする。次にＸ駆
動体５およびＹ駆動体６が動作して、キャピラリーチュ
ーブ２の先端を所定の試料容器の真上位置に移動させ
る。そして垂直駆動体７が下に移動してキャピラリーチ
ューブ２の先端を試料溶液の中に浸す。ＩＣＰ分析装置
はその後、試料溶液がキャピラリーチューブ２の中を伝
わってネブライザー１に達して測定できる状態になるま
での時間（これを待ち時間と呼ぶ）を待ってから、測定
を開始する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術では、複数
の試料容器の各試料容器内にキャピラリチューブを配置
させる為。Ｘ駆動体５やＹ駆動体６或いは垂直駆動体７
の動きにともなってキャピラリーチューブ２の端部位置
２１を動かしていた。そのためキャピラリーチューブ２
は水平かつ垂直方向に動く範囲以上の長さが必要であっ
た。ところで近年ではネブライザー１への送液は０．１
ミリリットル毎分以下のものが使用されるようになって
きたが、この場合待ち時間が大きくなってしまう問題が
発生している。例えばキャピラリーチューブ２の長さが
１ｍ、内径が０．１ｍｍ、ネブライザー１への送液を
０．１ミリリットル毎分のときには、待ち時間は７５秒
以上必要となる。１試料の測定時間は測定元素数にも依
存するが、おおむね１分程度である。すなわち測定時間
より待ち時間の方が長くなってしまう。これはＩＣＰ分
析装置の処理能力を損ない、試料をプラズマ化させる時
の電気等のエネルギーや試料ガスのガス流量をコントロ
ールするアルゴンガス（２０リットル毎分程度）の浪費
の原因となっていた。また自身が試料溶液を吸引するネ
ブライザーでは、キャピラリーチューブが流れの抵抗と
なって、測定自体を不安定にすることもあった。
の試料容器の各試料容器内にキャピラリチューブを配置
させる為。Ｘ駆動体５やＹ駆動体６或いは垂直駆動体７
の動きにともなってキャピラリーチューブ２の端部位置
２１を動かしていた。そのためキャピラリーチューブ２
は水平かつ垂直方向に動く範囲以上の長さが必要であっ
た。ところで近年ではネブライザー１への送液は０．１
ミリリットル毎分以下のものが使用されるようになって
きたが、この場合待ち時間が大きくなってしまう問題が
発生している。例えばキャピラリーチューブ２の長さが
１ｍ、内径が０．１ｍｍ、ネブライザー１への送液を
０．１ミリリットル毎分のときには、待ち時間は７５秒
以上必要となる。１試料の測定時間は測定元素数にも依
存するが、おおむね１分程度である。すなわち測定時間
より待ち時間の方が長くなってしまう。これはＩＣＰ分
析装置の処理能力を損ない、試料をプラズマ化させる時
の電気等のエネルギーや試料ガスのガス流量をコントロ
ールするアルゴンガス（２０リットル毎分程度）の浪費
の原因となっていた。また自身が試料溶液を吸引するネ
ブライザーでは、キャピラリーチューブが流れの抵抗と
なって、測定自体を不安定にすることもあった。
【０００６】本発明は従来技術の問題点を解決し、ＩＣ
Ｐ分析装置の処理能力を維持してエネルギーやアルゴン
ガスの浪費をなくし、かつ安定な分析を可能にするもの
である。
Ｐ分析装置の処理能力を維持してエネルギーやアルゴン
ガスの浪費をなくし、かつ安定な分析を可能にするもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本願発明のＩＣＰ分析装置で分析する試料を自動的
にサンプリングするオートサンプラーにおいては、ＩＣ
Ｐ分析装置内のネブライザーに接続され、かつ、分析す
る試料溶液をネブライザーに輸送するキャピラリーチュ
ーブと、このキャピラリーチューブのネブライザーに接
続される側と反対側端部を下に向けて固定するキャピラ
リーチューブ支持体と、前記キャピラリーチューブの反
対側端部下方に配置される前記分析する試料溶液を入れ
た複数の試料容器と、この試料容器を置く試料容器支持
台と、前記試料容器支持台を水平方向に移動し、前記複
数の試料容器のいずれかを前記キャピラリーチューブの
反対側端部下に配置する水平駆動体と、前記キャピラリ
ーチューブの反対側端部下に配置された前記試料容器を
上方に移動させ前記キャピラリーチューブの反対側端部
を前記分析する試料溶液に浸漬させる垂直駆動体とを備
えた。試料容器の試料溶液からキャピラリーチューブを
経てネブライザーに供給され霧化された後プラズマ化さ
れた試料のＩＣＰ測定が終わった後、垂直駆動体は試料
容器を下方に移動し、水平駆動体は次に測定する試料溶
液の入った試料容器をキャピラリーチューブ下に移動し
元の位置にもどし、垂直駆動体はそれを上方に持ち上げ
次の試料溶液をキャピラリーチューブ端部に浸漬させ、
ＩＣＰ測定をする。
に、本願発明のＩＣＰ分析装置で分析する試料を自動的
にサンプリングするオートサンプラーにおいては、ＩＣ
Ｐ分析装置内のネブライザーに接続され、かつ、分析す
る試料溶液をネブライザーに輸送するキャピラリーチュ
ーブと、このキャピラリーチューブのネブライザーに接
続される側と反対側端部を下に向けて固定するキャピラ
リーチューブ支持体と、前記キャピラリーチューブの反
対側端部下方に配置される前記分析する試料溶液を入れ
た複数の試料容器と、この試料容器を置く試料容器支持
台と、前記試料容器支持台を水平方向に移動し、前記複
数の試料容器のいずれかを前記キャピラリーチューブの
反対側端部下に配置する水平駆動体と、前記キャピラリ
ーチューブの反対側端部下に配置された前記試料容器を
上方に移動させ前記キャピラリーチューブの反対側端部
を前記分析する試料溶液に浸漬させる垂直駆動体とを備
えた。試料容器の試料溶液からキャピラリーチューブを
経てネブライザーに供給され霧化された後プラズマ化さ
れた試料のＩＣＰ測定が終わった後、垂直駆動体は試料
容器を下方に移動し、水平駆動体は次に測定する試料溶
液の入った試料容器をキャピラリーチューブ下に移動し
元の位置にもどし、垂直駆動体はそれを上方に持ち上げ
次の試料溶液をキャピラリーチューブ端部に浸漬させ、
ＩＣＰ測定をする。
【０００８】
【作用】キャピラリーチューブを支持体に固定し、試料
容器の方を動かすようにしたため、最小限の長さにする
ことができる。そのため試料溶液がキャピラリーチュー
ブの中を伝わってネブライザーに達して測定できる状態
になるまでの時間（待ち時間）が最小になる。
容器の方を動かすようにしたため、最小限の長さにする
ことができる。そのため試料溶液がキャピラリーチュー
ブの中を伝わってネブライザーに達して測定できる状態
になるまでの時間（待ち時間）が最小になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の実施例を、図１を用いて
説明する。図１において、１はネブライザー、２はキャ
ピラリーチューブ、８はキャピラリーチューブ支持体で
ある。キャピラリーチューブ支持体８はキャピラリーチ
ューブ２の端を下に向けて固定して動かない構造になっ
ている。３は試料容器で、試料溶液４を中にいれてい
る。本オートサンプラーでは試料容器３が複数並んでい
る。９はテーブル、１０は容器支持棒、１１は水平駆動
体、１３は垂直駆動体である。試料容器３は容器支持棒
１０の試料容器台２２の上に置いてある。試料容器台２
２は試料容器が落ちないように凹形状をなしている。テ
ーブル９には容器支持棒ガイド穴１２が開いている。容
器支持棒１０は容器支持棒ガイド穴１２を通して上下に
動ける構造になっている。テーブル９は水平駆動体１１
によって水平方向（従来技術のＸ方向およびＹ方向に相
当）に動く。垂直駆動体１３は、支持体８で支えられた
キャピラリーチューブ２の端２１の真下にある。垂直駆
動体１３は例えばアクチュエーターであり、軸を伸縮で
きる構造をしている。垂直駆動体１３の軸が伸びた状態
では、上にある試料容器を容器支持棒を介して押し上
げ、キャピラリーチューブ２の端２１を試料溶液に浸し
ている。また垂直駆動体１３の軸が縮んだ状態では試料
容器や容器支持棒は他の試料容器や容器支持棒と同じ高
さになる。この状態でテーブル９は、試料容器３や容器
支持棒１０がキャピラリーチューブ２あるいは垂直駆動
体１３と接触することなく、水平方向に自由に動ける状
態になる。
説明する。図１において、１はネブライザー、２はキャ
ピラリーチューブ、８はキャピラリーチューブ支持体で
ある。キャピラリーチューブ支持体８はキャピラリーチ
ューブ２の端を下に向けて固定して動かない構造になっ
ている。３は試料容器で、試料溶液４を中にいれてい
る。本オートサンプラーでは試料容器３が複数並んでい
る。９はテーブル、１０は容器支持棒、１１は水平駆動
体、１３は垂直駆動体である。試料容器３は容器支持棒
１０の試料容器台２２の上に置いてある。試料容器台２
２は試料容器が落ちないように凹形状をなしている。テ
ーブル９には容器支持棒ガイド穴１２が開いている。容
器支持棒１０は容器支持棒ガイド穴１２を通して上下に
動ける構造になっている。テーブル９は水平駆動体１１
によって水平方向（従来技術のＸ方向およびＹ方向に相
当）に動く。垂直駆動体１３は、支持体８で支えられた
キャピラリーチューブ２の端２１の真下にある。垂直駆
動体１３は例えばアクチュエーターであり、軸を伸縮で
きる構造をしている。垂直駆動体１３の軸が伸びた状態
では、上にある試料容器を容器支持棒を介して押し上
げ、キャピラリーチューブ２の端２１を試料溶液に浸し
ている。また垂直駆動体１３の軸が縮んだ状態では試料
容器や容器支持棒は他の試料容器や容器支持棒と同じ高
さになる。この状態でテーブル９は、試料容器３や容器
支持棒１０がキャピラリーチューブ２あるいは垂直駆動
体１３と接触することなく、水平方向に自由に動ける状
態になる。
【００１０】次に本オートサンプラーの動きを説明す
る。或る試料の測定を終了すると、垂直駆動体１３の軸
は縮む。次に水平駆動体１１が動作して、次に測定する
試料が入った試料容器がキャピラリーチューブ２の端の
真下に来るようにする。そして垂直駆動体１３の軸が伸
びて、キャピラリーチューブ２の先端を試料溶液に浸
す。ＩＣＰ分析装置はその後、試料溶液がキャピラリー
チューブ２の中を伝わってネブライザー１に達して測定
できる状態になるまでの時間（これを待ち時間と呼ぶ）
を待ってから、測定を開始する。
る。或る試料の測定を終了すると、垂直駆動体１３の軸
は縮む。次に水平駆動体１１が動作して、次に測定する
試料が入った試料容器がキャピラリーチューブ２の端の
真下に来るようにする。そして垂直駆動体１３の軸が伸
びて、キャピラリーチューブ２の先端を試料溶液に浸
す。ＩＣＰ分析装置はその後、試料溶液がキャピラリー
チューブ２の中を伝わってネブライザー１に達して測定
できる状態になるまでの時間（これを待ち時間と呼ぶ）
を待ってから、測定を開始する。
【００１１】最後に試料溶液中の不純物分析について簡
単に説明する。図３はＩＣＰ分析装置の働きを説明する
ための図である。図３において、ネブライザー１および
キャピラリーチューブ２はこれ迄に説明した。１４はガ
スコントローラー、１５はスプレーチャンバー、１６は
プラズマトーチ、１７はワークコイル、１８はプラズ
マ、１９は分析管である。ガスコントローラー１４は、
プラズマ１８を形成するためのガス（通常はアルゴン）
の流量を制御してネブライザー１やプラズマトーチ１６
に供給する。ネブライザー１はキャピラリーチューブ２
を通して供給された試料溶液を、ガスコントローラー１
４からのガスと共にスプレーチャンバー１５内に霧状に
噴霧する。スプレーチャンバー１５は所定の粒径以下の
細かい霧のみをプラズマトーチ１６に送り出している。
粒径の大きな他の霧粒はドレイン（図示せず）に排出さ
れる。プラズマトーチ１６の先端にはワークコイル１７
が巻かれている。ワークコイル１７には高周波電源（図
示せず）に接続されていて、２７．１２ＭＨｚ或いは４
０ＭＨｚの高周波電力が供給される。ガスコントローラ
ー１４からのガスおよびスプレーチャンバー１５から供
給された霧は、ワークコイル１７からエネルギーを供給
されてプラズマ１８となる。ＩＣＰ発光分光分析装置の
分析管１９は分光器や光検出器等で構成されており、プ
ラズマ１８の光を分光分析する。またＩＣＰ質量分析装
置の分析管１９は質量分離装置やイオン検出器で構成さ
れており、プラズマ１８で発生したイオンの質量分析を
行う。ＩＣＰ発光分光分析装置では、検出した光の波長
から試料溶液中の不純物元素の同定を行い、その波長の
光の強度から濃度を求める。またＩＣＰ質量分析装置で
は、検出したイオンの質量数から試料溶液中の不純物元
素の同定を行い、そのイオンの強度から濃度を求める。
単に説明する。図３はＩＣＰ分析装置の働きを説明する
ための図である。図３において、ネブライザー１および
キャピラリーチューブ２はこれ迄に説明した。１４はガ
スコントローラー、１５はスプレーチャンバー、１６は
プラズマトーチ、１７はワークコイル、１８はプラズ
マ、１９は分析管である。ガスコントローラー１４は、
プラズマ１８を形成するためのガス（通常はアルゴン）
の流量を制御してネブライザー１やプラズマトーチ１６
に供給する。ネブライザー１はキャピラリーチューブ２
を通して供給された試料溶液を、ガスコントローラー１
４からのガスと共にスプレーチャンバー１５内に霧状に
噴霧する。スプレーチャンバー１５は所定の粒径以下の
細かい霧のみをプラズマトーチ１６に送り出している。
粒径の大きな他の霧粒はドレイン（図示せず）に排出さ
れる。プラズマトーチ１６の先端にはワークコイル１７
が巻かれている。ワークコイル１７には高周波電源（図
示せず）に接続されていて、２７．１２ＭＨｚ或いは４
０ＭＨｚの高周波電力が供給される。ガスコントローラ
ー１４からのガスおよびスプレーチャンバー１５から供
給された霧は、ワークコイル１７からエネルギーを供給
されてプラズマ１８となる。ＩＣＰ発光分光分析装置の
分析管１９は分光器や光検出器等で構成されており、プ
ラズマ１８の光を分光分析する。またＩＣＰ質量分析装
置の分析管１９は質量分離装置やイオン検出器で構成さ
れており、プラズマ１８で発生したイオンの質量分析を
行う。ＩＣＰ発光分光分析装置では、検出した光の波長
から試料溶液中の不純物元素の同定を行い、その波長の
光の強度から濃度を求める。またＩＣＰ質量分析装置で
は、検出したイオンの質量数から試料溶液中の不純物元
素の同定を行い、そのイオンの強度から濃度を求める。
【００１２】
【発明の効果】本発明によると、キャピラリチューブを
固定して試料容器の方を動かすようにしたためキャピラ
リーチューブの長さを最短にできることにより、試料溶
液がキャピラリーチューブの中を伝わってネブライザー
に達して測定できる状態になるまでの時間（待ち時間）
が最小になる。そのためＩＣＰ分析装置の処理能力を維
持してエネルギーやアルゴンガスの浪費をなくすことが
できる。またキャピラリーチューブが流れの抵抗となる
ことによる、測定の不安定といった問題もなくなる。
固定して試料容器の方を動かすようにしたためキャピラ
リーチューブの長さを最短にできることにより、試料溶
液がキャピラリーチューブの中を伝わってネブライザー
に達して測定できる状態になるまでの時間（待ち時間）
が最小になる。そのためＩＣＰ分析装置の処理能力を維
持してエネルギーやアルゴンガスの浪費をなくすことが
できる。またキャピラリーチューブが流れの抵抗となる
ことによる、測定の不安定といった問題もなくなる。
【図１】本発明のオートサンプラーを横から示した図で
ある。
ある。
【図２】従来技術を示した図で、（ａ）は上から、
（ｂ）は横から示している
（ｂ）は横から示している
【図３】ＩＣＰ分析装置の働きを説明するための図であ
る。
る。
１ ネブライザー ２ キャピラリーチューブ ３ 試料容器 ４ 試料溶液 ８ キャピラリーチューブ支持体 １１ 水平駆動体 １３ 垂直駆動体 ２２ 試料容器台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｇ０１Ｎ 1/28 Ｇ０１Ｎ 1/28 Ｔ
Claims (3)
- 【請求項１】 ＩＣＰ分析装置で分析する試料溶液を複
数の試料容器から分析順に自動的にサンプリングするオ
ートサンプラーにおいて、前記ＩＣＰ分析装置内のネブ
ライザーに接続され、かつ、分析する試料溶液を前記ネ
ブライザーに輸送するキャピラリーチューブと、前記キ
ャピラリーチューブの前記ネブライザーに接続される側
と反対側端部を下に向けて固定するキャピラリーチュー
ブ支持体と、前記反対側端部下方に配置される前記分析
する試料溶液を入れた複数の試料容器と、前記試料容器
を置く試料容器台と、前記試料容器支持台を水平方向に
移動し、前記複数の試料容器のうち分析対象の試料容器
を前記キャピラリーチューブの反対側端部下に配置する
水平駆動体と、分析時には前記キャピラリーチューブの
反対側端部下に配置された前記試料容器を上方に移動さ
せ前記キャピラリーチューブの反対側端部を前記分析す
る試料溶液に浸漬させ、分析後は該試料容器を下方に移
動する垂直駆動体を備えたことを特徴とするＩＣＰ分析
装置用のオートサンプラー。 - 【請求項２】 ＩＣＰ分析装置内のネブライザーに接続
され、かつ、分析する試料溶液を前記ネブライザーに輸
送するキャピラリーチューブの前記ネブライザーに接続
される側と反対側端部を下に向けて固定し、前記反対側
端部下方に配置される、前記分析する試料溶液を入れた
複数の試料容器のうちいずれかの試料容器を分析順に自
動的に前記キャピラリの反対側端部下に配置し、前記キ
ャピラリーチューブの反対側端部下に配置された前記試
料容器を上方に移動させ前記キャピラリチューブの反対
側端部を前記分析する試料溶液に浸漬させサンプリング
することを特徴とするＩＣＰ分析試料溶液のオートサン
プリング方法。 - 【請求項３】 複数の試料容器から分析順に試料溶液を
キャピラリーチューブにより輸送しネブライザーに導入
した後プラズマ状態にして試料溶液中の微量不純物元素
の同定を行うＩＣＰ分析方法において、前記キャピラリ
ーチューブの試料溶液側端部を固定し、前記複数の試料
容器のうち所望の試料容器を前記キャピラーリチューブ
端部下に自動的に移動した後、前記試料容器を上方に持
ち上げ前記キャピラリーチューブ端部を浸漬させ、前記
ネブライザに輸送することを特徴とするＩＣＰ分析方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000130827A JP2001311736A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | Ｉｃｐ分析装置用のオートサンプラー及びサンプリング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000130827A JP2001311736A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | Ｉｃｐ分析装置用のオートサンプラー及びサンプリング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001311736A true JP2001311736A (ja) | 2001-11-09 |
Family
ID=18639843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000130827A Pending JP2001311736A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | Ｉｃｐ分析装置用のオートサンプラー及びサンプリング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001311736A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006066312A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Yokogawa Analytical Systems Inc | Ｉｃｐ分析用試料導入装置及び方法 |
| JP2012138560A (ja) * | 2010-12-10 | 2012-07-19 | Toshiba Corp | 試料汚染方法 |
| CN102650644A (zh) * | 2011-02-24 | 2012-08-29 | 株式会社东芝 | 自动分析装置 |
| JP2016153805A (ja) * | 2016-04-21 | 2016-08-25 | ソニー株式会社 | サンプル送液装置、フローサイトメータ及びサンプル送液方法 |
| US10184877B2 (en) | 2012-05-17 | 2019-01-22 | Sony Corporation | Sample feeding apparatus, flow cytometer, and sample feeding method |
| WO2021127481A1 (en) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | Elemental Scientific, Inc. | Temperature-controlled sample introduction system for analysis of viscous samples |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0298667A (ja) * | 1988-10-05 | 1990-04-11 | Kurabo Ind Ltd | テーブル移動装置 |
| JPH044274U (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-16 | ||
| JPH0855601A (ja) * | 1994-08-11 | 1996-02-27 | Seiko Instr Inc | 誘導結合プラズマ分析装置用の試料導入装置 |
-
2000
- 2000-04-28 JP JP2000130827A patent/JP2001311736A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0298667A (ja) * | 1988-10-05 | 1990-04-11 | Kurabo Ind Ltd | テーブル移動装置 |
| JPH044274U (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-16 | ||
| JPH0855601A (ja) * | 1994-08-11 | 1996-02-27 | Seiko Instr Inc | 誘導結合プラズマ分析装置用の試料導入装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006066312A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Yokogawa Analytical Systems Inc | Ｉｃｐ分析用試料導入装置及び方法 |
| JP2012138560A (ja) * | 2010-12-10 | 2012-07-19 | Toshiba Corp | 試料汚染方法 |
| CN102650644A (zh) * | 2011-02-24 | 2012-08-29 | 株式会社东芝 | 自动分析装置 |
| US10184877B2 (en) | 2012-05-17 | 2019-01-22 | Sony Corporation | Sample feeding apparatus, flow cytometer, and sample feeding method |
| JP2016153805A (ja) * | 2016-04-21 | 2016-08-25 | ソニー株式会社 | サンプル送液装置、フローサイトメータ及びサンプル送液方法 |
| WO2021127481A1 (en) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | Elemental Scientific, Inc. | Temperature-controlled sample introduction system for analysis of viscous samples |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6414306B1 (en) | TLC/MALDI carrier plate and method for using same | |
| US8519330B2 (en) | Systems and methods for laser assisted sample transfer to solution for chemical analysis | |
| US9892900B2 (en) | Apparatus and method for improving throughput in spectrometry | |
| JP5740525B2 (ja) | イオン化方法、イオン化装置及び質量分析システム。 | |
| WO2005093394A1 (ja) | プラズマ発生装置 | |
| EP2352022A1 (en) | Ionization method and apparatus with probe, and analytical method and apparatus | |
| JP2008045901A (ja) | 誘導結合プラズマ質量分析装置 | |
| JP3179175B2 (ja) | 分析前処理方法 | |
| US5867262A (en) | Sample introducing device for inductively coupled plasma analyzer | |
| KR100968781B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 오염물질 측정장치의 스캐닝 암과, 이를이용한 스캐닝 유닛 | |
| US6420275B1 (en) | System and method for analyzing a semiconductor surface | |
| JP2001311736A (ja) | Ｉｃｐ分析装置用のオートサンプラー及びサンプリング方法 | |
| US20230207298A1 (en) | AEMS Auto Tuning | |
| JP2005259477A (ja) | エレクトロスプレイイオン化質量分析装置 | |
| KR101756456B1 (ko) | 기판 오염물 분석 장치 및 기판 오염물 분석 방법 | |
| KR101653987B1 (ko) | 기판 오염물 분석 장치 및 기판 오염물 분석 방법 | |
| JPH06343844A (ja) | 微量液体混合装置および溶液濃度分析方法並びに装置 | |
| JPH07209190A (ja) | 溶液試料の測定方法および装置 | |
| JPH0631410Y2 (ja) | 溶融金属直接分析装置用微粒子搬送装置 | |
| KR20200123765A (ko) | 기판 오염물 분석 장치 및 기판 오염물 분석 방법 | |
| JP2000009615A (ja) | 支持棒誘導液相溶解法および支持棒誘導液相溶解装置 | |
| JP2006208315A (ja) | 液体試料導入装置及びこれを用いた液体試料分析装置 | |
| JP2006234672A (ja) | 試料導入方法及び試料導入装置 | |
| JPH04181143A (ja) | 試料回収装置 | |
| JPH07218437A (ja) | 発光分光分析方法および該方法に使用する装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040303 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040526 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061109 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071108 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081120 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081125 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090123 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090224 |