JP2001311692A - 外観検査装置及び外観検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】簡単な構成であるにも拘わらず外観検査を高速
に実行できる外観検査装置及び外観検査方法を提供す
る。 【解決手段】検査対象物の外観の画像データを格納する
メモリ１４と、このメモリ１４に格納された画像データ
を独立に処理してメモリ１４に格納する手順が記述され
たスレッドを生成するスレッド生成手段と、このスレッ
ド生成手段で生成された複数のスレッドの少なくとも一
部を並列して実行する複数のＣＰＵ１０〜１３、とを備
えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大量の画像データ
を処理することにより外観検査を行う外観検査装置及び
外観検査方法に関し、特に画像データを並列に処理する
技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、集積回路（ＩＣ）を撮像すること
により得られた画像データを用いて該ＩＣの外観を検査
する外観検査装置が知られている。このような外観検査
装置として、例えば、特開平１１−２５９４３４号公報
は、「並列データ処理装置とそれを用いた外観検査装
置」（以下、「第１先行技術」という）を開示してい
る。この外観検査装置では、駆動信号バスからの同期パ
ルスによって駆動されるデータ入力部は、画像データを
入力してデータバスを介して転送する。処理分配部とプ
ロセッサエレメントは、駆動信号バスの状態を監視し、
同期パルスのパルス期間に、これらの間で通信バスを介
して通信を行う。

【０００３】処理分配部は、プロセッサエレメントの状
態を監視しており、同期パルスのパルス期間に、その次
にデータ入力部から転送される単位画像データを処理す
るプロセッサエレメントを決定する。この決定を受けた
プロセッサエレメントはデータバスから単位画像データ
を取り込んで処理し、また、このパルス期間に、処理分
配部に処理中であることを通知する。処理が終わると、
次の同期パルス期間に、待機中であることを処理分配部
に通知する。上記の構成により、各プロセッサエレメン
トの稼働率を高めることができるので、特に画像データ
等の大量に連続入力されるデータの高速処理が可能にな
る。

【０００４】また、特開平１１−１３５０５４号公報
は、「並列画像処理プロセッサを備えた荷電子ビーム装
置」（以下、「第２先行技術」という）を開示してい
る。この装置では、画像処理部に、データ転送を制御す
る１つのマスタＣＰＵとデータの演算処理を行う複数の
スレーブＣＰＵとから構成される並列画像処理プロセッ
サが付加されている。画像処理のための演算プログラム
は、制御用計算機よりマスタＣＰＵ及びスレーブＣＰＵ
へダウンロードされる。並列画像処理プロセッサの数を
可変にし、処理の内容に応じて事前に最適な並列ＣＰＵ
の数を求める。また、処理する画像データの分割方法を
画像処理の種類や処理内容に応じて可変にする。この装
置によれば、基本的な画像処理のみならず高度な演算を
必要とする画像処理をも高速に実行することができる。

【０００５】更に、特開平１０−３０４１８４号公報
は、「画像処理装置および画像処理方法」（以下、「第
３先行技術」という）を開示している。この第３先行技
術では、画像データの分割領域データが複数の分割入力
手段に入力され、入力された分割領域データ各々に対し
て、分割領域毎に独立に処理可能な画像処理がパイプラ
イン処理により実行され、このパイプライン処理の結果
が統合される。

【０００６】このような処理は第１統合処理部の制御に
より行われる。即ち、第１統合処理部は、パイプライン
に指示を与えて処理を開始させる。また、パイプライン
から出力された処理済みの部分画像データを受け取り、
位置合わせを行って全体の画像データを作成し、画像記
憶部へ記憶する。

【０００７】また、例えば画像の回転といった広い領域
を参照する必要がある画像処理のために、複数の画像処
理部とこれらを制御する第２統合処理部を備えている。
この第２統合処理部は、複数の画像処理部で処理された
結果を統合し、画像記憶部へ記憶する。これら分割領域
毎に独立に行う画像処理と広い領域を参照する画像処理
とを任意の順序で実行することにより高速な画像処理が
達成される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述した第１先行技術
では、画像データが入力される都度、分配処理部がエレ
メントプロセッサを割り当てるので割り当てのためのオ
ーバーヘッドが大きく処理の高速化に限界がある。ま
た、詳細は開示されていないが、各エレメントプロセッ
サで処理された結果を統合するための処理が必要なこと
が予想される。

【０００９】また、上述した第２先行技術も上記第１先
行技術と同様に、マスタＣＰＵの制御の下にスレーブＣ
ＰＵが順次割り当てられ、各スレーブＣＰＵによって画
像データが並列処理される。従って、この第２先行技術
も上述した第１先行技術と同様の問題を含んでいる。

【００１０】更に、上述した第３先行技術では、第１及
び第２統合処理部によって画像処理の開始や処理済みの
画像データの統合等が行われるのでオーバーヘッドが大
きく画像処理の高速化に限界がある。また、分割領域毎
の画像処理を行う部分と広い領域を参照する画像処理を
行う部分といった２種類が必要があるので、画像処理装
置の構成が複雑且つ大規模になる。

【００１１】そこで、本発明の目的は、簡単な構成であ
るにも拘わらず外観検査を高速に実行できる外観検査装
置及び外観検査方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様に係
る外観検査装置は、上記目的を達成するために、検査対
象物の外観の画像データを格納するメモリと、前記メモ
リに格納された画像データを独立に処理して前記メモリ
に格納する手順が記述されたスレッドを生成するスレッ
ド生成手段と、前記スレッド生成手段で生成された複数
のスレッドの少なくとも一部を並列して実行する複数の
ＣＰＵ、とを備えている。

【００１３】この第１の態様に係る外観検査装置では、
メモリに格納された画像データを独立に処理するための
複数のスレッドが複数のＣＰＵでそれぞれ実行される。
ここで、独立に処理するとは、各スレッドが自己完結的
に処理すること、換言すれば、自己が保有している情報
に従って処理し、その処理結果を自己が保有している情
報に従った位置に書き込んで処理を完結することをい
う。従って、従来の画像処理装置のように、外部から与
えられる情報に応答して処理し、その処理結果を外部で
更に統合する必要はない。その結果、外観検査装置の構
成が簡単になり、しかも処理の高速化を図れる。

【００１４】また、この第１の態様に係る外観検査装置
の前記スレッド生成手段は、前記メモリに記憶された画
像データ上に設定された１つの検査領域が分割されるこ
とにより得られるｎ個（ｎは２以上の整数）の領域の画
像データをそれぞれ処理する手順が記述されたｎの整数
倍個のスレッドを生成し、前記複数のＣＰＵは、前記ス
レッド生成手段で生成された少なくとも前記ｎ個のスレ
ッドを並列して実行する、ように構成できる。

【００１５】また、この第１の態様に係る外観検査装置
の前記スレッド生成手段は、前記メモリに記憶された画
像データ上に設定された１つの検査領域が分割されるこ
とにより得られるｎ個（ｎは２以上の整数）の領域の画
像データをそれぞれ処理する手順が記述されたｎの整数
倍個のスレッドと、前記ｎ個の領域の画像データを一括
して処理する手順が記述されたｍ個（ｍは正の整数）の
スレッドとを生成し、前記複数のＣＰＵは、前記スレッ
ド生成手段で生成された少なくとも前記ｎ個のスレッド
を並列して実行し、前記複数のＣＰＵの何れかは前記ス
レッド生成手段で生成された前記ｍ個のスレッドを単独
で実行する、ように構成できる。

【００１６】この場合、前記ｎ及びｍは、画像処理の種
類又は前記検査領域のサイズに基づいて決定するように
構成できる。また、前記ｎ及びｍは、該ｎ及びｍの任意
の組合せの下で前記複数のＣＰＵに処理させた時間を実
測した結果に基づいて決定するように構成できる。ま
た、前記ｎ個のスレッドの各々には、所定種類の画像処
理と他の種類の画像処理とを続けて実行する手順が記述
するように構成できる。

【００１７】更に、この第１の態様に係る外観検査装置
の前記スレッド生成手段は、前記メモリに記憶された画
像データ上に設定されたｎ個（ｎは２以上の整数）の検
査領域の画像データをそれぞれ処理する手順が記述され
た少なくともｎ個のスレッドを生成し、前記複数のＣＰ
Ｕは、前記スレッド生成手段で生成された前記ｎ個のス
レッドを並列して実行する、ように構成できる。

【００１８】また、本発明の第２の態様に係る外観検査
方法は、上記と同様の目的で、検査対象物の外観の画像
データをメモリに格納し、該メモリに格納された画像デ
ータを独立に処理して前記メモリに格納する手順が記述
されたスレッドを生成し、該生成された複数のスレッド
の少なくとも一部を並列して実行する、ように構成ささ
れている。

【００１９】この第２の態様に係る外観検査方法におけ
る前記スレッドを生成するステップでは、前記メモリに
記憶された画像データ上に設定された１つの検査領域が
分割されることにより得られるｎ個（ｎは２以上の整
数）の領域の画像データをそれぞれ処理する手順が記述
されたｎの整数倍個のスレッドを生成し、前記実行する
ステップでは、前記生成された少なくとも前記ｎ個のス
レッドを並列して実行する、ように構成できる。

【００２０】また、この第２の態様に係る外観検査方法
における前記スレッドを生成するステップでは、前記メ
モリに記憶された画像データ上に設定された１つの検査
領域が分割されることにより得られるｎ個（ｎは２以上
の整数）の領域の画像データをそれぞれ処理する手順が
記述されたｎの整数倍個のスレッドと、前記ｎ個の領域
の画像データを一括して処理する手順が記述されたｍ個
（ｍは正の整数）のスレッドとを生成し、前記実行する
ステップでは、前記生成された少なくとも前記ｎ個のス
レッドは並列して実行され、前記生成された前記ｍ個の
スレッドを単独で実行される、ように構成できる。

【００２１】この場合、前記ｎ及びｍは、画像処理の種
類又は前記検査領域のサイズに基づいて決定できる。ま
た、前記ｎ及びｍは、該ｎ及びｍの任意の組合せの下で
行われた処理の時間を実測した結果に基づいて決定でき
る。更に、前記ｎ個のスレッドの各々には、所定種類の
画像処理と他の種類の画像処理とを続けて実行する手順
を記述するように構成できる。

【００２２】更に、この第２の態様に係る外観検査方法
における前記スレッドを生成するステップでは、前記メ
モリに記憶された画像データ上に設定されたｎ個（ｎは
２以上の整数）の検査領域の画像データをそれぞれ処理
する手順が記述された少なくともｎ個のスレッドを生成
し、前記実行するステップでは、前記生成された前記ｎ
個のスレッドを並列して実行する、ように構成できる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら説明する。

【００２４】図１は本発明の実施の形態１〜３に係る外
観検査装置の概略構成を示すブロック図である。この外
観検査装置は、複数のＣＰＵを有するパーソナルコンピ
ュータ、ワークステーション、サーバといった汎用のコ
ンピュータを利用して構成できる。この場合、コンピュ
ータを動作させるソフトウェアとして、例えばＷｉｎｄ
ｏｗｓＮＴ（Ｒ）、Ｗｉｎｄｏｗｓ２０００（Ｒ）、Ｕ
ＮＩＸ（登録商標）といったマルチスレッド対応のオペ
レーティングシステム（ＯＳ）を使用できる。

【００２５】この外観検査装置は、第１ＣＰＵ１０、第
２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１２、第４ＣＰＵ１３、メモ
リ１４、ハードディスク装置１５、表示部１６及びデー
タ入力部１８といった構成要素がシステムバス２０に接
続されることにより構成されている。システムバス２０
は、上記各構成要素間のデータ転送を行うために使用さ
れる。また、上記表示部１６にはディスプレイ装置１７
が接続されており、データ入力部１８にはカメラ１９が
接続されている。

【００２６】第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１１、第３Ｃ
ＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３の各々は、ＯＳの制御の下
で、独立して同時動作する。これら第１ＣＰＵ１０、第
２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３は、
ＯＳから渡される、スレッドと呼ばれる小さなプログラ
ムモジュールに従って動作する。なお、このＯＳは、単
にスレッドをＣＰＵに渡す制御を行うだけであり、従来
技術の欄で説明した分配処理部、マスタＣＰＵ、統合処
理部のように、各ＣＰＵに処理内容を指示したり、各Ｃ
ＰＵによる処理結果を統合して全体の画像データを作成
する作業は行わない。

【００２７】第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１１、第３Ｃ
ＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３は、それぞれメモリ１０
ａ、１１ａ、１２ａ及び１３ａを備えている。これらの
メモリ１０ａ、１１ａ、１２ａ及び１３ａの各々は、上
述したスレッドを格納する。

【００２８】各スレッドには、画像処理を行うための手
順、つまりプログラムが記述されている。第１ＣＰＵ１
０、第２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１
３は、メモリ１０ａ、１１ａ、１２ａ及び１３ａに格納
されたスレッドに従って画像処理をそれぞれ実行する。
例えば、第１ＣＰＵ１０〜第４ＣＰＵ１３の各々は、メ
モリ１４から画像データを読み出し、読み出した画像デ
ータに所定の処理を施し、処理結果をメモリ１４に格納
するという動作を並行して実行する。

【００２９】メモリ１４は、カメラ１９からデータ入力
部１８を介して入力される画像データ、この画像データ
を処理した結果等を記憶する。このメモリ１４の具体的
な使用方法は後述する。

【００３０】ハードディスク（ＨＤ）装置１５は、この
外観検査装置の全体を制御するためのプログラム、外観
検査に使用される検査データを記憶する。このハードデ
ィスク装置１５から読み出されたプログラムが実行され
ることによりスレッドが生成され、第１ＣＰＵ１０、第
２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３のメ
モリ１０ａ、１１ａ、１２ａ及び１３ａにそれぞれ転送
される。

【００３１】表示部１６はディスプレイ装置１７を制御
する。このディスプレイ装置１７は、例えばカメラ１９
から得られた画像データに基づくＩＣの外観の画像や処
理結果を表すメッセージ等を表示する。

【００３２】カメラ１９は、ＩＣの外観を撮像するため
に使用される。このカメラ１９は、例えばＣＣＤカメラ
で構成することができる。このカメラ１９でＩＣの外観
を撮像することにより得られたアナログ画像データは、
データ入力部１８に供給される。

【００３３】データ入力部１８は、カメラ１９からのア
ナログ画像データを、例えば２５６階調の画素の集まり
から成るデジタル画像データ（以下、単に「画像デー
タ」という）に変換する。このデータ入力部１８で得ら
れたデジタル画像データは、例えば図示しないＤＭＡユ
ニットの制御の下に、システムバス２０を介してメモリ
１４に転送される。

【００３４】以上のように構成される外観検査装置は、
ＩＣパッケージを形成するモールドにボイドが存在する
かどうかを検査するボイド検査、リードに異物が付着し
ていないことを検査するリード間異物検査、リードが異
形であるかどうかを検査するリード検査、モールドの異
形が存在するかどうかを検査するモールド検査、捺印が
正常であるかどうかを検査する捺印検査といった種々の
検査に使用される。

【００３５】次に、以上のように構成される外観検査装
置の動作を説明する。

【００３６】（実施の形態１）この実施の形態１に係る
外観検査装置では、画像データ上に設定された１つの検
査領域が４つに分割され、各領域の画像データを４個の
ＣＰＵで並行して処理する。以下では、ボイド検査を行
う場合を例に挙げて説明する。

【００３７】このボイド検査では、カメラ１９からデー
タ入力部１８及びシステムバス２０を経由してメモリ１
４に格納された画像データを２値化する「２値化処
理」、２値化された画像データを反転する「反転処
理」、反転された画像データの面積を計測する「面積計
測処理」、及び計測された面積を合計してボイドの有無
を判定する「検査判定処理」が順次行われる。

【００３８】このボイド検査を実行する時に、先ず、ス
レッドが生成される。図２は、メモリ１４に格納される
ＩＣの画像データのイメージを示す。ボイド検査では、
この画像データのパッケージ部分にボイド検査領域が設
定される。そして、設定されたボイド検査領域は、第１
領域、第２領域、第３領域及び第４領域といった４つの
領域に分割される。そして、各領域の画像データを処理
するためのスレッドが生成される。

【００３９】図３は、ボイド検査用に生成されるスレッ
ドの一例を示す。各スレッドは、コマンド及びアドレス
を含む。コマンドは、実行すべき画像処理の内容を指示
する。アドレスは、画像データのメモリ１４上の位置を
指定する。このスレッドに保有するアドレスとしては、
処理すべき画像データが格納されているメモリ１４の位
置を示す読み出しアドレスのみ、読み出しアドレスと処
理済みの画像データを格納すべきメモリ１４の位置を示
す書き込みアドレスの両方、書き込みアドレスのみ、の
何れであってもよい。

【００４０】なお、読み出しアドレスのみをスレッドに
保有する場合は、この読み出しアドレスとコマンドとに
基づいて書き込みアドレスが算出される。同様に、書き
込みアドレスのみをスレッドに保有する場合は、この書
き込みアドレスとコマンドとに基づいて読み出しアドレ
スが算出される。

【００４１】スレッド１〜４には、第１〜４領域の画像
データを２値化するための手順がそれぞれ記述されてい
る。スレッド５〜８には、第１〜４領域の２値化された
画像データを反転させるための手順がそれぞれ記述され
ている。スレッド９〜１２には、第１〜４領域の反転さ
れた画像データの面積を計測するための手順が記述され
ている。スレッド１３には、第１〜４領域の計測された
面積を合計してボイドの有無を判定するための手順が記
述されている。

【００４２】以上のようにして生成されたスレッドは、
ＯＳによって第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１１、第３Ｃ
ＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３の何れかに順次割り当てら
れる。即ち、ＯＳは空いているＣＰＵのメモリにスレッ
ドを転送する。これにより、ボイド検査が開始される。

【００４３】図４は、ボイド検査の動作を説明するため
の図である。以下では、各スレッドは、アドレスとし
て、読み出しアドレス及び書き込みアドレスを保有して
いるものとする。また、カメラ１９から取り込まれた画
像データは、メモリ１４の原画記憶領域に記憶されてい
るものとする。

【００４４】初期状態では、第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰ
Ｕ１１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３は何れも空
き状態である。従って、ＯＳは、スレッド１を第１ＣＰ
Ｕ１０のメモリ１０ａに、スレッド２を第２ＣＰＵ１１
のメモリ１１ａに、スレッド３を第３ＣＰＵ１２のメモ
リ１２ａに、スレッド４を第４ＣＰＵ１３のメモリ１３
ａに、それぞれ転送する。

【００４５】スレッド１を受け取った第１ＣＰＵ１０
は、該スレッド１に記述された手順で処理を実行する。
即ち、メモリ１４の原画記憶領域の読み出しアドレスで
指定された位置（第１領域の先頭に対応する位置）から
画像データＡ１を順次読み出して２値化する。即ち、読
み出した画像データを構成する各画素を、該画像データ
に好適なスレッショルドレベルでスライスし、以て
「０」又は「１」のデータに変換する。この２値化され
た画像データＡ２は、メモリ１４の反転画像記憶領域の
書き込みアドレスで指定される位置（第１領域の先頭に
対応する位置）に順次格納される。

【００４６】同様に、第２ＣＰＵ１１は、メモリ１４の
原画記憶領域の読み出しアドレスで指定された位置（第
２領域の先頭に対応する位置）から画像データＢ１を読
み出して２値化し、２値化された画像データＢ２を、メ
モリ１４の反転画像記憶領域の書き込みアドレスで指定
される位置（第２領域の先頭に対応する位置）に格納す
る。第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３についても同様
である。以上の第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１１、第３
ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３による２値化処理は並行
して実行される。各ＣＰＵが２値化処理を完了した時点
では、メモリ１４の反転画像記憶領域に２値化された画
像データが格納されている。

【００４７】次いで、ＯＳは、２値化処理を完了したＣ
ＰＵから順次スレッド５、６、７及び８をそのＣＰＵの
メモリに転送する。これにより、各ＣＰＵは反転処理を
開始する。今、第１ＣＰＵ１０→第２ＣＰＵ１１→第３
ＣＰＵ１２→第４ＣＰＵの順番で２値化処理が完了した
ものとすると、第１ＣＰＵ１０は、メモリ１４の反転記
憶領域の読み出しアドレスで指定された位置（第１領域
の先頭に対応する位置）から画像データＡ２を順次読み
出して反転する。この反転された画像データＡ３は、メ
モリ１４の領域別面積計測値記憶領域の書き込みアドレ
スで指定される位置（第１領域の先頭に対応する位置）
に順次格納される。

【００４８】同様に、第２ＣＰＵ１１は、メモリ１４の
反転記憶領域の読み出しアドレスで指定された位置（第
２領域の先頭に対応する位置）から画像データＢ２を順
次読み出して反転し、反転された画像データＢ３を、メ
モリ１４の領域別面積計測値記憶領域の書き込みアドレ
スで指定される位置（第２領域の先頭に対応する位置）
に格納する。第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３につい
ても同様である。以上の第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１
１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３による反転処理
は並行して実行される。各ＣＰＵが反転処理を完了した
時点では、メモリ１４の領域別面積計測値記憶領域には
反転された画像データが格納されている。

【００４９】次いで、ＯＳは、反転処理を完了したＣＰ
Ｕから順次スレッド９、１０、１１及び１２をそのＣＰ
Ｕのメモリに転送する。これにより、各ＣＰＵは面積計
測処理を開始する。今、第１ＣＰＵ１０→第２ＣＰＵ１
１→第３ＣＰＵ１２→第４ＣＰＵの順番で反転処理が完
了したものとすると、第１ＣＰＵ１０は、メモリ１４の
領域別面積計測値記憶領域の読み出しアドレスで指定さ
れた位置（第１領域の先頭に対応する位置）から画像デ
ータＡ３を順次読み出して面積を計算する。この計算結
果は、メモリ１４の面積合計領域の書き込みアドレスで
指定される位置に格納される。

【００５０】同様に、第２ＣＰＵ１１は、メモリ１４の
領域別面積計測値記憶領域の読み出しアドレスで指定さ
れた位置（第２領域の先頭に対応する位置）から画像デ
ータＢ３を読み出して面積を計算する。この計算結果
は、メモリ１４の面積合計領域の書き込みアドレスで指
定される位置に格納される。第３ＣＰＵ１２及び第４Ｃ
ＰＵ１３についても同様である。以上の第１ＣＰＵ１
０、第２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１
３による面積計測処理は並行して実行される。各ＣＰＵ
が面積計測処理を完了した時点では、メモリ１４の面積
合計領域にはボイド検査領域の第１領域、第２領域、第
３領域及び第４領域の面積が格納されている。

【００５１】全てのＣＰＵが面積計測処理を完了する
と、次いで、ＯＳは、第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１
１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３の何れかを選択
し、選択されたＣＰＵのメモリに、スレッド１３を転送
する。これにより、選択されたＣＰＵは、メモリ１４の
面積合計領域の読み出しアドレスで指定された位置から
領域別面積計測値を読み出して合計し、予め設定されて
いる判定値と比較する。この比較の結果、面積の合計値
が判定値より大きければボイド不良であることを判断
し、その旨のメッセージをディスプレイ装置１７に表示
する。以上により、ボイド検査を終了する。

【００５２】この実施の形態１において、第１ＣＰＵ１
０、第２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１
３の性能が同等であり、且つ第１領域、第２領域、第３
領域及び第４領域のサイズが同じであれば、各ＣＰＵが
２値化処理、反転処理及び面積計測処理に要する時間は
同じである。従って、２値化処理、反転処理及び面積計
測処理に要する時間は、１台のＣＰＵでこれらの処理を
行う場合の略１／４で済み画像処理の高速化が実現でき
る。

【００５３】また、各スレッドの書き込みアドレスは、
原画記憶領域の画像データ、反転画像記憶領域の画像デ
ータ及び領域別面積計測値記憶領域の画像データがそれ
ぞれ対応するように決定されるので、従来の画像処理装
置のように、各ＣＰＵで処理された画像データの位置合
わせといった統合処理を行う必要がない。その結果、処
理が簡単になると共に処理の高速化を図ることができ
る。

【００５４】更に、この実施の形態１に係る外観検査装
置は、汎用のコンピュータを利用し、このコンピュータ
を動作させるソフトウェアも市販のＯＳを使用できるの
で、装置を安価に構成できるという利点がある。

【００５５】なお、上述した実施の形態１では、ボイド
検査領域を４分割し、各領域毎に２値化処理、反転処理
及び面積計測処理をそれぞれ実行するスレッドを作成し
たが、これらの各処理では１つの画素に基づいて他の１
つの画素が作成されるので、２値化処理、反転処理及び
面積計測処理を連続して実行するようなスレッドを領域
毎に作成し、これを複数のＣＰＵで並列して処理させる
ように構成することもできる。

【００５６】また、上述した実施の形態１では、ボイド
検査領域を４つの領域に分割し、各領域に１台のＣＰＵ
を対応させて合計４台のＣＰＵで画像処理を行う構成と
したが、上記ボイド検査領域の分割数及びＣＰＵの数は
「４」に限定されず任意に決定できる。

【００５７】この場合、ボイド検査時に実行されるスレ
ッド生成時に、当該外観検査装置に搭載されているＣＰ
Ｕの数を取得し、処理毎にＣＰＵの数の分のスレッドを
生成するように構成できる。この構成によれば、搭載さ
れているＣＰＵの数が異なるコンピュータを外観検査装
置として利用した場合であっても、１つのソフトウェア
でスレッドを生成することが可能になるので、ＣＰＵの
数毎にソフトウェアを作成しなくてもよいという利点が
ある。

【００５８】更に、上述した実施の形態１では、ボイド
検査を行う場合を例に挙げて説明したが、ボイド検査に
限らず、その他の種々の外観検査にも適用できることは
勿論である。

【００５９】（実施の形態２）次に、実施の形態２に係
る外観検査装置を説明する。上述した実施の形態１に係
る外観検査装置では、２値化処理、反転処理及び面積計
測処理といった全ての処理を複数のスレッドで並列して
実行するように構成したが、この実施の形態２に係る外
観検査装置では、上記複数の処理の中の特定の処理を単
一のスレッドで実行するように構成されている。

【００６０】ボイド検査時に実行されるスレッド生成処
理では、先ず、ボイド検査領域のサイズが算出される。
そして、この算出されたサイズが予め決められた設定値
αより大きいかどうかが調べられる。そして、設定値α
より大きいことが判断されると、実施の形態１で説明し
たと同様に、ボイド検査領域を４つに分割し、図３に示
すように、２値化処理、反転処理及び面積計測処理は各
領域の画像データ毎に実行し、検査判定処理は単一のス
レッドで実行するように１３個のスレッドが生成され
る。

【００６１】一方、算出されたサイズが予め決められた
設定値α以下であることが判断されると、図５（Ａ）に
示すように、２値化処理及び反転処理は各領域の画像デ
ータ毎に実行し、面積計測処理及び検査判定処理は単一
のスレッドで実行するように９個のスレッドが生成され
る。そして、このようにして生成された９個のスレッド
は、実施の形態１で説明したと同様の手順で実行され
る。

【００６２】この実施の形態２に係る外観検査装置によ
れば、ボイド検査領域のサイズが決められた設定値α以
下であれば、面積計測処理を４つのスレッドで実行し、
その後検査判定処理を１つのスレッドで実行するより
も、面積計測処理及び検査判定処理を１つのスレッドで
実行するほうが処理時間が短くて済むので、全体として
外観検査時間を短縮できる。

【００６３】また、上述した外観検査装置では、上記複
数の処理の中の特定の処理を単一のスレッドで実行する
ように構成されているが、全ての処理を単一のスレッド
で実行するように変形することができる。

【００６４】この変形例に係る外観検査装置において
は、ボイド検査時に実行されるスレッド生成処理では、
先ず、ボイド検査領域のサイズが算出される。そして、
この算出されたサイズが予め決められた設定値βより大
きいかどうかが調べられる。そして、設定値βより大き
いことが判断されると、実施の形態１で説明したと同様
に、ボイド検査領域を４つに分割し、図３に示すよう
に、２値化処理、反転処理及び面積計測処理は各領域の
画像データ毎に実行し、検査判定処理は単一のスレッド
で実行するように１３個のスレッドが生成される。

【００６５】一方、算出されたサイズが予め決められた
設定値β以下であることが判断されると、図５（Ｂ）に
示すように、２値化処理、反転処理、面積計測処理及び
検査判定処理の全てを単一のスレッドで実行するように
１個のスレッドが生成される。そして、このようにして
生成された１個のスレッドは、実施の形態１で説明した
と同様の手順で実行される。

【００６６】この変形例に係る外観検査装置によれば、
ボイド検査領域のサイズが決められた設定値β以下であ
れば、全ての処理を１つのスレッドで実行するほうが最
も処理時間が短くて済むので、外観検査時間を高速に行
うできる。この変形例に係る外観検査装置は、小さなサ
イズのボイド検査領域が複数存在する場合に有効であ
る。

【００６７】なお、この外観検査装置においては、ボイ
ド検査領域のサイズが設定値αより大きい場合は、実施
の形態１で説明したと同様に、ボイド検査領域を４つに
分割し、２値化処理、反転処理及び面積計測処理は各領
域の画像データ毎に実行し、検査判定処理は単一のスレ
ッドで実行するように１３個のスレッドを生成し、ボイ
ド検査領域のサイズが設定値α以下で設定値βより大き
い（α＞β）場合は、２値化処理及び反転処理は各領域
の画像データ毎に実行し、面積計測処理及び検査判定処
理は単一のスレッドで実行するように９個のスレッドを
生成し、ボイド検査領域のサイズが設定値β以下である
場合は、２値化処理、反転処理、面積計測処理及び検査
判定処理の全てを単一のスレッドで実行するように１個
のスレッドを生成するように構成できる。

【００６８】以上説明した外観検査装置では、ボイド検
査時に、ボイド検査領域のサイズが予め決められた設定
値より大きいかどうかを調べることにより、生成すべき
スレッドを決定しているが、最も短時間で外観検査を行
うことができるスレッドの組合せを予め実測し、検査デ
ータとしてハードディスク装置１５に格納しておくよう
に構成することもできる。

【００６９】例えば、先ず、所定の処理を４台のＣＰＵ
及び４つのスレッドを用いて実行し、その実行時間が計
測される。次いで、その所定の処理を１台のＣＰＵ及び
１つのスレッドを用いて実行し、その実行時間が計測さ
れる。そして、これらを比較し、当該所定の処理を行う
場合のＣＰＵ及びスレッド数が決定されて、検査データ
としてハードディスク装置１５に格納される。この検査
データは、上記所定の処理が実行される際にハードディ
スク装置１５から読み出され、スレッド生成時に参照さ
れる。

【００７０】この構成によれば、ボイド検査時のスレッ
ド生成処理では、実測により最も短時間で外観検査を行
うことができることが実証されているスレッドが生成さ
れるので、外観検査を最も短時間で行うことができる。

【００７１】なお、上記所定の処理は、２値化処理、反
転処理、面積計測処理及び検査判定処理の各々であって
もよいし、これらの処理の幾つかを組み合わせた処理で
あってもよいし、これらの全ての処理であってもよい。
要は、これらの中から外観検査を最も短時間で行うこと
ができるケースを見出し、検査データを作成すればよ
い。

【００７２】（実施の形態３）この実施の形態３に係る
外観検査装置は、例えばヒストグラム処理、投影処理と
いった並列処理が困難な処理を行う場合に、検査領域が
複数存在すれば各領域を１つのスレッドで処理するよう
に構成されている。

【００７３】図６は、この実施の形態３で使用されるＩ
Ｃの画像データのイメージを示す。ボイド検査では、実
施の形態１及び２で説明したように、ＩＣのパッケージ
部分にボイド検査領域が設定される。

【００７４】リード間異物検査では、ＩＣのリード部分
に、各辺毎に第１〜第４リード間異物検査領域が設定さ
れる。そして、第１〜第４リード間異物検査領域に対応
する４つのスレッドが生成される。各スレッドには、リ
ード間異物検査を行うための手順がそれぞれ記述されて
いる。

【００７５】このようにして生成された４つのスレッド
は、ＯＳによって第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１１、第
３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３にそれぞれ割り当てら
れる。即ち、ＯＳは空いているＣＰＵのメモリにスレッ
ドを転送する。これにより、リード間異物検査が開始さ
れる。このリード間異物検査の詳細は、例えば特開平７
−１２８２４９号公報（特許第２５００６４９号）に説
明されている。

【００７６】このリード間異物検査で実行される処理内
容は、リード間異物検査領域を複数に分割して複数のＣ
ＰＵで並列処理することが難しい内容である。そこで、
上述したように、ＩＣの４つの辺のそれぞれにリード間
異物検査領域を設定し、４台のＣＰＵでリード間異物検
査を行うことにより、ＣＰＵの使用効率を高めることが
できると共に、処理の高速化を実現できる。

【００７７】また、リード検査では、図６に示すよう
に、各リードの先端部に、第１〜第１００リード検査領
域が設定される。そして、第１〜第１００リード検査領
域毎に１００個のスレッドが生成される。各スレッドに
は、リード検査を行うための手順がそれぞれ記述されて
いる。

【００７８】このようにして生成された１００個のスレ
ッドは、ＯＳによって第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１
１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３に順次割り当て
られる。即ち、ＯＳは空いているＣＰＵのメモリにスレ
ッドを順次転送する。これにより、リード検査が開始さ
れる。このリード検査は、例えば、リード先端部の画像
をテンプレート画像として、各リード先端部に設けられ
たリード検査領域をサーチし、以てリード座標を検出す
る方法により行われる。

【００７９】このリード検査で使用されるリード検査領
域のサイズは非常に小さい。従って、リード検査領域を
複数に分割して複数のＣＰＵで並列処理すると処理時間
が却って増加することがある。そこで、各リードの先端
部にリード検査領域を設定し、４台のＣＰＵで合計１０
０のリード検査を順次行うことにより、ＣＰＵの使用効
率を高めることができると共に、処理の高速化を実現で
きる。

【００８０】（実施の形態４）検査領域を複数に分割し
て複数のＣＰＵで処理することが難しい処理として、例
えば、画像の全体又は一部を回転させる回転処理があ
る。この回転処理では、画像データの全体を参照する必
要があるが、読み出しアドレスと書き込みアドレスとを
指定する方法、読み出しアドレスのみを指定する方法、
書き込みアドレスのみを指定する方法の何れかを用いる
ことで、複数のＣＰＵによる並列処理を実現することが
できる。

【００８１】この実施の形態４で行われる回転処理を、
右９０度回転する場合を例に挙げて図７を参照しながら
説明する。なお、図７では、説明を簡単にするために４
行×４列の１６画素の画像データを右９０度回転させる
例を示しているが、本実施の形態で取り扱うことのでき
る画素数は上記に限定されず任意である。

【００８２】この回転処理のためのスレッド生成処理で
は、原画記憶領域又は回転画像記憶領域の行又は列毎に
スレッドが生成される。以下、アドレスの指定方法毎に
回転処理の動作を説明する。

【００８３】先ず、アドレスとして読み出しアドレス及
び書込アドレスの双方がスレッドに保有される場合の動
作を、図７（Ａ）を参照しながら説明する。この場合、
原画記憶領域のＹ４行処理用のスレッド１、Ｙ３行処理
用のスレッド２、Ｙ２行処理用のスレッド３及びＹ１行
処理用のスレッド４といった４個のスレッドが生成され
る。

【００８４】そして、スレッド１に保有される読み出し
アドレスは原画記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ４）のアドレ
スであり、書き込みアドレスは回転画像記憶領域の座標
（Ｘ４、Ｙ４）のアドレスである。また、スレッド２に
保有される読み出しアドレスは原画記憶領域の座標（Ｘ
１、Ｙ３）のアドレスであり、書き込みアドレスは回転
画像記憶領域の座標（Ｘ３、Ｙ４）のアドレスである。
スレッド３及び４に保有される読み出しアドレス及び書
込アドレスも上記と同様の規則によって決められる。

【００８５】以上のようにして生成されたスレッド１〜
４は、ＯＳによって第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１１、
第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３の何れかに割り当て
られる。即ち、ＯＳは空いているＣＰＵのメモリにスレ
ッドを転送する。これにより、４台のＣＰＵで同時に回
転処理が開始される。以下では、スレッド１、２、３及
び４が第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１
２及び第４ＣＰＵ１３にそれぞれ割り当てられたと仮定
する。

【００８６】スレッド１を受け取った第１ＣＰＵ１０
は、該スレッド１に記述された手順で処理を実行する。
即ち、メモリ１４の原画記憶領域の読み出しアドレスで
指定された位置、即ち座標（Ｘ１、Ｙ４）から画像デー
タＢ１が読み出され、回転画像記憶領域の書き込みアド
レスで指定された位置、即ち座標（Ｘ４、Ｙ４）に書き
込まれる。以下、原画記憶領域の座標（Ｘ２、Ｙ４）か
ら読み出された画像データＢ２が回転画像記憶領域の座
標（Ｘ４、Ｙ３）に、原画記憶領域の座標（Ｘ３、Ｙ
４）から読み出された画像データＢ３が回転画像記憶領
域の座標（Ｘ４、Ｙ２）に、原画記憶領域の座標（Ｘ
４、Ｙ４）から読み出された画像データＢ４が回転画像
記憶領域の座標（Ｘ４、Ｙ１）に、順次書き込まれる。

【００８７】また、スレッド２を受け取った第２ＣＰＵ
１１は、該スレッド２に記述された手順で処理を実行す
る。即ち、メモリ１４の原画記憶領域の読み出しアドレ
スで指定された位置、即ち座標（Ｘ１、Ｙ３）から画像
データが読み出され、回転画像記憶領域の書き込みアド
レスで指定された位置、即ち座標（Ｘ３、Ｙ４）に書き
込まれる。以下、原画記憶領域の座標（Ｘ２、Ｙ３）か
ら読み出された画像データが回転画像記憶領域の座標
（Ｘ３、Ｙ３）に、原画記憶領域の座標（Ｘ３、Ｙ３）
から読み出された画像データが回転画像記憶領域の座標
（Ｘ３、Ｙ２）に、原画記憶領域の座標（Ｘ４、Ｙ３）
から読み出された画像データが回転画像記憶領域の座標
（Ｘ３、Ｙ１）に、順次書き込まれる。スレッド３を受
け取った第３ＣＰＵ１２及びスレッド４を受け取った第
４ＣＰＵ１３の動作も上記と同様である。

【００８８】次に、アドレスとして読み出しアドレスの
みがスレッドに保有されている場合の動作を図７（Ｂ）
を参照しながら説明する。この場合、原画記憶領域のＹ
４行処理用のスレッド１、Ｙ３行処理用のスレッド２、
Ｙ２行処理用のスレッド３及びＹ１行処理用のスレッド
４といった４個のスレッドが生成される。

【００８９】そして、スレッド１に保有される読み出し
アドレスは原画記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ４）のアドレ
スであり、スレッド２に保有される読み出しアドレスは
原画記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ３）のアドレスであり、
スレッド３に保有される読み出しアドレスは原画記憶領
域の座標（Ｘ１、Ｙ２）のアドレスであり、スレッド４
に保有される読み出しアドレスは原画記憶領域の座標
（Ｘ１、Ｙ１）のアドレスである。

【００９０】今、以上のようにして生成されたスレッド
１〜４が、上記と同様に、ＯＳによって第１ＣＰＵ１
０、第２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１
３の何れかに割り当てられたと仮定する。

【００９１】スレッド１を受け取った第１ＣＰＵ１０
は、該スレッド１に記述された手順で処理を実行する。
ここでは、先ず書き込みアドレスが算出される。即ち、
メモリ１４の原画記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ４）を９０
度右回転させた場合の座標は座標（Ｘ４、Ｙ４）である
ことが算出され、回転画像記憶領域の座標（Ｘ４、Ｙ
４）のアドレスが書き込みアドレスとして算出される。
次いで、メモリ１４の原画記憶領域の読み出しアドレス
で指定された位置、即ち座標（Ｘ１、Ｙ４）から画像デ
ータＢ１が読み出され、回転画像記憶領域の、算出され
た書き込みアドレスで指定された位置、即ち座標（Ｘ
４、Ｙ４）に書き込まれる。以下同様にして、原画記憶
領域の座標（Ｘ２、Ｙ４）から読み出された画像データ
Ｂ２が回転画像記憶領域の座標（Ｘ４、Ｙ３）に、原画
記憶領域の座標（Ｘ３、Ｙ４）から読み出された画像デ
ータＢ３が回転画像記憶領域の座標（Ｘ４、Ｙ２）に、
原画記憶領域の座標（Ｘ４、Ｙ４）から読み出された画
像データＢ４が回転画像記憶領域の座標（Ｘ４、Ｙ１）
に、順次書き込まれる。

【００９２】また、スレッド２を受け取った第２ＣＰＵ
１１は、該スレッド２に記述された手順で処理を実行す
る。ここでは、先ず書き込みアドレスが算出される。即
ち、メモリ１４の原画記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ３）を
９０度右回転させた場合の座標は座標（Ｘ３、Ｙ４）で
あることが算出され、回転画像記憶領域の座標（Ｘ３、
Ｙ４）のアドレスが書き込みアドレスとして算出され
る。次いで、メモリ１４の原画記憶領域の読み出しアド
レスで指定された位置、即ち座標（Ｘ１、Ｙ３）から画
像データが読み出され、回転画像記憶領域の、算出され
た書き込みアドレスで指定された位置、即ち座標（Ｘ
３、Ｙ４）に書き込まれる。以下同様にして、原画記憶
領域の座標（Ｘ２、Ｙ３）から読み出された画像データ
が回転画像記憶領域の座標（Ｘ３、Ｙ３）に、原画記憶
領域の座標（Ｘ３、Ｙ３）から読み出された画像データ
が回転画像記憶領域の座標（Ｘ３、Ｙ２）に、原画記憶
領域の座標（Ｘ４、Ｙ３）から読み出された画像データ
が回転画像記憶領域の座標（Ｘ３、Ｙ１）に、順次書き
込まれる。スレッド３を受け取った第３ＣＰＵ１２及び
スレッド４を受け取った第４ＣＰＵ１３の動作も上記と
同様である。

【００９３】次に、アドレスとして書き込みアドレスの
みがスレッドに保有されている場合の動作を図７（Ｃ）
を参照しながら説明する。この場合、回転画像記憶領域
のＹ４行処理用のスレッド１、Ｙ３行処理用のスレッド
２、Ｙ２行処理用のスレッド３及びＹ１行処理用のスレ
ッド４といった４個のスレッドが生成される。

【００９４】そして、スレッド１に保有される書き込み
ドレスは回転画像記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ４）のアド
レスであり、スレッド２に保有される書き込みアドレス
は回転画像記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ３）のアドレスで
あり、スレッド３に保有される書き込みアドレスは回転
画像記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ２）のアドレスであり、
スレッド４に保有される書き込みアドレスは回転画像記
憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ１）のアドレスである。

【００９５】今、以上のようにして生成されたスレッド
１〜４が、上記と同様に、ＯＳによって第１ＣＰＵ１
０、第２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１
３の何れかに割り当てられたと仮定する。

【００９６】スレッド１を受け取った第１ＣＰＵ１０
は、該スレッド１に記述された手順で処理を実行する。
ここでは、先ず読み出しアドレスが算出される。即ち、
メモリ１４の回転画像記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ４）を
９０度左回転させた場合の座標は座標（Ｘ１、Ｙ１）で
あることが算出され、原画記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ
１）のアドレスが読み出しアドレスとして算出される。
次いで、メモリ１４の原画記憶領域の、算出された読み
出しアドレスで指定された位置、即ち座標（Ｘ１、Ｙ
１）から画像データＢ１が読み出され、回転画像記憶領
域の書き込みアドレスで指定された位置、即ち座標（Ｘ
１、Ｙ４）に書き込まれる。以下同様にして、原画記憶
領域の座標（Ｘ１、Ｙ２）から読み出された画像データ
Ｂ２が回転画像記憶領域の座標（Ｘ２、Ｙ４）に、原画
記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ３）から読み出された画像デ
ータＢ３が回転画像記憶領域の座標（Ｘ３、Ｙ４）に、
原画記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ４）から読み出された画
像データＢ４が回転画像記憶領域の座標（Ｘ４、Ｙ４）
に、順次書き込まれる。

【００９７】また、スレッド２を受け取った第２ＣＰＵ
１１は、該スレッド２に記述された手順で処理を実行す
る。ここでは、先ず読み出しアドレスが算出される。即
ち、メモリ１４の回転画像記憶領域の座標（Ｘ１、Ｙ
３）を９０度左回転させた場合の座標は座標（Ｘ２、Ｙ
１）であることが算出され、原画記憶領域の座標（Ｘ
２、Ｙ１）のアドレスが読み出しアドレスとして算出さ
れる。次いで、メモリ１４の原画記憶領域の、算出され
た読み出しアドレスで指定された位置、即ち座標（Ｘ
２、Ｙ１）から画像データが読み出され、回転画像記憶
領域の書き込みアドレスで指定された位置、即ち座標
（Ｘ１、Ｙ３）に書き込まれる。以下同様にして、原画
記憶領域の座標（Ｘ２、Ｙ２）から読み出された画像デ
ータが回転画像記憶領域の座標（Ｘ２、Ｙ３）に、原画
記憶領域の座標（Ｘ２、Ｙ３）から読み出された画像デ
ータが回転画像記憶領域の座標（Ｘ３、Ｙ３）に、原画
記憶領域の座標（Ｘ２、Ｙ４）から読み出された画像デ
ータが回転画像記憶領域の座標（Ｘ４、Ｙ３）に、順次
書き込まれる。スレッド３を受け取った第３ＣＰＵ１２
及びスレッド４を受け取った第４ＣＰＵ１３の動作も上
記と同様である。

【００９８】以上のように、この実施の形態４によれ
ば、画像データの全体を参照する必要がある処理であっ
ても、複数のＣＰＵ（スレッド）で並行して処理を行う
ことができるので、処理の高速化を図ることができる。
また、上述した第３先行技術のような、画像全体を参照
する処理のための統合処理部を別途設ける必要がないの
で外観検査装置の構成を簡単且つ安価に構成できる。

【００９９】本発明に係る外観検査装置では、以上説明
した実施の形態１〜３の処理が連続して実行される。こ
の外観検査装置の全体的な処理の流れを図８に示す。

【０１００】外観検査では、先ず、使用されるＣＰＵの
数が決定される（ステップＳ１０）。このＣＰＵの数
は、予め決められた固定値を用いるように構成してもよ
いし、ユーザが任意の値を入力するように構成してもよ
いし、プログラムによって当該外観検査装置に搭載され
ているＣＰＵの数を自動的に取得するように構成しても
よい。

【０１０１】次いで、ハードディスク装置１５から検査
データが読み込まれる（ステップＳ１１）。次いで、カ
メラ１９から画像データが取り込まれる（ステップＳ１
２）。そして、上記検査データと画像データとに基づい
てボイド検査用のスレッドが生成される（ステップＳ１
３）。即ち、実施の形態１及び２で説明したように、ボ
イド検査を実行するための１３個のスレッドが生成され
る。ここで生成されたスレッドは、ＯＳの制御の下に、
第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１２及び
第４ＣＰＵ１３に送られる。これにより、ボイド検査が
実行される。

【０１０２】次いで、上記検査データと画像データとに
基づいてリード間異物検査用のスレッドが生成される
（ステップＳ１４）。即ち、実施の形態３で説明したよ
うに、リード間異物検査を実行するための４個のスレッ
ドが生成される。ここで生成されたスレッドは、ＯＳの
制御の下に、第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１１、第３Ｃ
ＰＵ１２及び第４ＣＰＵ１３に送られる。これにより、
リード間異物検査が実行される。

【０１０３】次いで、上記検査データと画像データとに
基づいてリード検査用のスレッドが生成される（ステッ
プＳ１５）。即ち、実施の形態３で説明したように、リ
ード検査を実行するための４００個のスレッドが生成さ
れる。ここで生成されたスレッドは、ＯＳの制御の下
に、第１ＣＰＵ１０、第２ＣＰＵ１１、第３ＣＰＵ１２
及び第４ＣＰＵ１３に送られる。これにより、リード検
査が実行される。

【０１０４】以上の処理が終了すると、ボイド検査、リ
ード間異物検査及びリード検査の各結果が出力される
（ステップＳ１６）。その後、シーケンスはステップＳ
１２に戻り、次のＩＣに対する外観検査が実行される。

【０１０５】以上説明したように、実施の形態１〜４に
係る外観検査装置は、画像データを記憶するメモリとし
て唯一のメモリを備えており、全てのＣＰＵがこのメモ
リにアクセスするように構成されている。この構成によ
り、従来のように複数のＣＰＵの各々に対応して設けら
れた複数のメモリに、画像データを分割して格納する必
要がない。その結果、画像データを分割する処理が不要
になるので、処理速度が向上する。また、複数のメモリ
を設ける必要がないので、外観検査装置を簡単且つ安価
に構成できる。

【０１０６】また、この外観検査装置では、各ＣＰＵ
は、ＯＳにより割り当てられたスレッドを処理するだけ
で全体の処理が完了するので、従来の技術の欄で説明し
たような、処理分配部、マスタＣＰＵ、統合管理部とい
ったシステム全体を管理するための構成要素は不要であ
る。その結果、その構成要素が動作するための時間も不
要になるので外観検査装置の高速化が可能であり、ま
た、外観検査装置を簡単且つ安価に構成できる。

【０１０７】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
高速に画像を処理できる外観検査装置及び外観検査方法
を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１〜４に係る外観検査装置
の概略構成を示すブロック図である。

【図２】本発明の実施の形態１及び２に係る外観検査装
置において、メモリに格納されるＩＣの画像データのイ
メージを示す図である。

【図３】本発明の実施の形態１に係る外観検査装置にお
いて、ボイド検査用に生成されるスレッドの一例を示す
図である。

【図４】本発明の実施の形態１に係る外観検査装置にお
けるボイド検査の動作を説明するための図である。

【図５】本発明の実施の形態２に係る外観検査装置にお
いて、ボイド検査用に生成されるスレッドの一例を示す
図である。

【図６】本発明の実施の形態３に係る外観検査装置にお
いて、メモリに格納されるＩＣの画像データのイメージ
を示す図である。

【図７】本発明の実施の形態４に係る外観検査装置にお
いて、回転処理の動作を説明するための図である。

【図８】本発明の実施の形態１〜３に係る外観検査装置
にける全体的な処理の流れを示すフローチャートであ
る。

【符号の説明】

１０ 第１ＣＰＵ １０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ メモリ １１ 第２ＣＰＵ １２ 第３ＣＰＵ １３ 第４ＣＰＵ １４ メモリ １５ ハードディスク装置 １６ 表示部 １７ ディスプレイ装置 １８ データ入力部 １９ カメラ ２０ システムバス

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA61 AA62 AB01 AB20 CA03 CA04 EA11 EA12 EA14 EA19 EA20 EB01 EB02 EC02 ED07 ED12 FA10 5B045 AA01 GG11 5B057 AA03 CA02 CA08 CA12 CA16 CB02 CB06 CB12 CB16 CC02 CE12 CE20 CH04 CH11 DB02 DB08 DC04 DC36

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象物の外観の画像データを格納す
   るメモリと、 前記メモリに格納された画像データを独立に処理して前
   記メモリに格納する手順が記述されたスレッドを生成す
   るスレッド生成手段と、 前記スレッド生成手段で生成された複数のスレッドの少
   なくとも一部を並列して実行する複数のＣＰＵ、とを備
   えた外観検査装置。
2. 【請求項２】 前記スレッド生成手段は、前記メモリに
   記憶された画像データ上に設定された１つの検査領域が
   分割されることにより得られるｎ個（ｎは２以上の整
   数）の領域の画像データをそれぞれ処理する手順が記述
   されたｎの整数倍個のスレッドを生成し、 前記複数のＣＰＵは、前記スレッド生成手段で生成され
   た少なくとも前記ｎ個のスレッドを並列して実行する、
   請求項１に記載の外観検査装置。
3. 【請求項３】 前記スレッド生成手段は、前記メモリに
   記憶された画像データ上に設定された１つの検査領域が
   分割されることにより得られるｎ個（ｎは２以上の整
   数）の領域の画像データをそれぞれ処理する手順が記述
   されたｎの整数倍個のスレッドと、前記ｎ個の領域の画
   像データを一括して処理する手順が記述されたｍ個（ｍ
   は正の整数）のスレッドとを生成し、 前記複数のＣＰＵは、前記スレッド生成手段で生成され
   た少なくとも前記ｎ個のスレッドを並列して実行し、前
   記複数のＣＰＵの何れかは前記スレッド生成手段で生成
   された前記ｍ個のスレッドを単独で実行する、請求項１
   に記載の外観検査装置。
4. 【請求項４】 前記ｎ及びｍは、画像処理の種類又は前
   記検査領域のサイズに基づいて決定される請求項３に記
   載の外観検査装置。
5. 【請求項５】 前記ｎ及びｍは、該ｎ及びｍの任意の組
   合せの下で前記複数のＣＰＵに処理させた時間を実測し
   た結果に基づいて決定される請求項３に記載の外観検査
   装置。
6. 【請求項６】 前記ｎ個のスレッドの各々には、所定種
   類の画像処理と他の種類の画像処理とを続けて実行する
   手順が記述されている、請求項２又は３に記載の外観検
   査装置。
7. 【請求項７】 前記スレッド生成手段は、前記メモリに
   記憶された画像データ上に設定されたｎ個（ｎは２以上
   の整数）の検査領域の画像データをそれぞれ処理する手
   順が記述された少なくともｎ個のスレッドを生成し、 前記複数のＣＰＵは、前記スレッド生成手段で生成され
   た前記ｎ個のスレッドを並列して実行する、請求項１に
   記載の外観検査装置。
8. 【請求項８】 検査対象物の外観の画像データをメモリ
   に格納し、 該メモリに格納された画像データを独立に処理して前記
   メモリに格納する手順が記述されたスレッドを生成し、 該生成された複数のスレッドの少なくとも一部を並列し
   て実行する、外観検査方法。
9. 【請求項９】 前記スレッドを生成するステップでは、
   前記メモリに記憶された画像データ上に設定された１つ
   の検査領域が分割されることにより得られるｎ個（ｎは
   ２以上の整数）の領域の画像データをそれぞれ処理する
   手順が記述されたｎの整数倍個のスレッドを生成し、 前記実行するステップでは、前記生成された少なくとも
   前記ｎ個のスレッドを並列して実行する、請求項８に記
   載の外観検査方法。
10. 【請求項１０】 前記スレッドを生成するステップで
    は、前記メモリに記憶された画像データ上に設定された
    １つの検査領域が分割されることにより得られるｎ個
    （ｎは２以上の整数）の領域の画像データをそれぞれ処
    理する手順が記述されたｎの整数倍個のスレッドと、前
    記ｎ個の領域の画像データを一括して処理する手順が記
    述されたｍ個（ｍは正の整数）のスレッドとを生成し、 前記実行するステップでは、前記生成された少なくとも
    前記ｎ個のスレッドは並列して実行され、前記生成され
    た前記ｍ個のスレッドを単独で実行される、請求項８に
    記載の外観検査方法。
11. 【請求項１１】 前記ｎ及びｍは、画像処理の種類又は
    前記検査領域のサイズに基づいて決定される請求項１０
    に記載の外観検査方法。
12. 【請求項１２】 前記ｎ及びｍは、該ｎ及びｍの任意の
    組合せの下で行われた処理の時間を実測した結果に基づ
    いて決定される請求項１０に記載の外観検査方法。
13. 【請求項１３】 前記ｎ個のスレッドの各々には、所定
    種類の画像処理と他の種類の画像処理とを続けて実行す
    る手順が記述されている、請求項９又は１０に記載の外
    観検査方法。
14. 【請求項１４】 前記スレッドを生成するステップで
    は、前記メモリに記憶された画像データ上に設定された
    ｎ個（ｎは２以上の整数）の検査領域の画像データをそ
    れぞれ処理する手順が記述された少なくともｎ個のスレ
    ッドを生成し、 前記実行するステップでは、前記生成された前記ｎ個の
    スレッドを並列して実行する、請求項８に記載の外観検
    査方法。