JP2001308268A - Method for manufacturing small module - Google Patents

Method for manufacturing small module

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JP2001308268A JP2000117471A JP2000117471A JP2001308268A JP 2001308268 A JP2001308268 A JP 2001308268A JP 2000117471 A JP2000117471 A JP 2000117471A JP 2000117471 A JP2000117471 A JP 2000117471A JP 2001308268 A JP2001308268 A JP 2001308268A
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Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable the rationalization of production with a single heat process. SOLUTION: The method for manufacturing a small module wherein a chip part 22 and a bearing chip 23 coexist on the same plane of a printed board 21 comprises a flux printing process 111 for printing a flux by means of a metal mask 25 on a land 24 for the bearing chip, a cream solder printing process 112 for printing a cream solder 31 using the metal mask 29 on a land 28 for the chip part, mounting processes 113, 114 for mounting the chip part 22 and the bearing chip 23, and the heat process 115 for heating with a reflow furnace. In the metal screen 29, a recess 32 is formed at a portion corresponding to the land 24 for the bearing chip. As a result, one reflow is enough and the rationalization of production is made possible.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話等に使用
される小型モジュールの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a small module used for a portable telephone or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の小型モジュールの製造方法は、図
12に示すように一次実装工程と、この一次実装工程の
後に図13に示す二次実装工程とで製造されていた。即
ち、一次実装工程は図12に示すように、先ずチップ部
品用ランド1とベアチップ用ランド2が同一平面上に設
けられたプリント基板3上に、前記ランド2に対応する
位置に孔4が設けられたメタルマスク5を載置し、スキ
ージ6でフラックス7を前記孔4に充填した後、このフ
ラックス7をランド2に転写(以後、印刷という)する
フラックス印刷工程101と、この工程101の後に、
前記ランド2上にベアチップ8の半田バンプ9が接触す
るように載置するベアチップ実装工程102と、この工
程102の後に、リフロー炉により加熱して、半田バン
プ9を溶解させてベアチップ8の電極とランド2とを電
気的・機械的に接着させる加熱工程103とで製造され
ていた。
2. Description of the Related Art A conventional method of manufacturing a small module has been manufactured by a primary mounting process as shown in FIG. 12 and a secondary mounting process shown in FIG. 13 after the primary mounting process. That is, in the primary mounting step, as shown in FIG. 12, first, a hole 4 is provided at a position corresponding to the land 2 on a printed board 3 on which a land 1 for chip parts and a land 2 for bare chip are provided on the same plane. After the metal mask 5 is placed and the flux 7 is filled in the hole 4 with a squeegee 6, the flux 7 is transferred to the land 2 (hereinafter referred to as printing). ,
A bare chip mounting step 102 in which the solder bumps 9 of the bare chip 8 are placed on the lands 2 so as to be in contact therewith. After this step 102, the solder bumps 9 are heated by a reflow furnace to melt the electrodes of the bare chip 8. And a heating step 103 for electrically and mechanically bonding the lands 2 to each other.

【0003】次に、二次実装工程は図13に示すよう
に、先にリフロー工程103でプリント基板3上にベア
チップ8がリフロー半田固着され、このプリント基板3
上にチップ部品14用のランド1に対応する位置に孔1
0が設けられたメタルマスク11を載置し、スキージ1
2でクリーム半田13を前記孔10に充填し、この充填
されたクリーム半田13aをランド1に印刷するチップ
部品印刷工程104と、この工程104の後に、チップ
部品14の電極14aをクリーム半田13a上に載置す
るチップ部品実装工程105と、この工程105の後
に、リフロー半田13aを加熱して電極14aとランド
1とを半田付けする加熱工程106とで製造されてい
た。
[0003] Next, in a secondary mounting step, as shown in FIG. 13, a bare chip 8 is first fixed on the printed circuit board 3 by reflow soldering in a reflow step 103.
The hole 1 is located at a position corresponding to the land 1 for the chip component 14 above.
0 on which the metal mask 11 provided with the squeegee 1 is placed.
2, a chip component printing step 104 of filling the cream solder 13 into the hole 10 and printing the filled cream solder 13a on the land 1. After this step 104, the electrode 14a of the chip component 14 is placed on the cream solder 13a. And a heating step 106 of heating the reflow solder 13a to solder the electrode 14a and the land 1 after the step 105.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の製造方法では、一次実装工程の加熱工程103
でリフロー半田付けをして、その後再び二次実装工程の
加熱工程106でもリフロー半田付けをしなければ成ら
ず加熱工程が二度も必要であった。
However, in such a conventional manufacturing method, the heating step 103 in the primary mounting step is performed.
In the heating step 106 of the secondary mounting step, reflow soldering must be performed again, and the heating step is required twice.

【0005】本発明はこのような問題点を解決するもの
で、加熱工程を一度にして生産の合理化を図った小型モ
ジュールの製造方法を提供することを目的としたもので
ある。
An object of the present invention is to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a small module in which the heating step is performed once and the production is rationalized.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の小型モジュールの製造方法は、プリント基板
の同一平面上にチップ部品と半田バンプ電極を有するベ
アチップとが混在した小型モジュールの製造方法であっ
て、プリント基板のベアチップ用のランドに第1のメタ
ルマスクを用いてフラックスを印刷する第1の工程と、
この第1の工程の後に、前記プリント基板のチップ部品
用のランドに第2のメタルマスクを用いてクリーム半田
を印刷する第2の工程と、この第2の工程の後に、前記
プリント基板の前記チップ部品用のランドにチップ部品
を実装するとともに、前記プリント基板の前記ベアチッ
プ用のランドにベアチップを実装する第3の工程と、こ
の第3の工程の後に、前記チップ部品と前記ベアチップ
が実装された前記プリント基板をリフロー炉で加熱する
第4の工程とを有し、前記第2のメタルスクリーンの前
記プリント基板面側には、前記ベアチップ用ランドに対
応する部分に凹部が形成されたものである。
In order to achieve this object, a method of manufacturing a small module according to the present invention is to manufacture a small module in which chip components and bare chips having solder bump electrodes are mixed on the same plane of a printed circuit board. A method, comprising: a first step of printing flux using a first metal mask on lands for bare chips on a printed circuit board;
After the first step, a second step of printing cream solder on a land for chip components of the printed circuit board using a second metal mask, and after the second step, A third step of mounting the chip component on the land for the chip component and mounting the bare chip on the land for the bare chip of the printed circuit board; and after the third step, the chip component and the bare chip are mounted. And a fourth step of heating the printed circuit board in a reflow furnace, wherein a concave portion is formed in a portion corresponding to the land for the bare chip on the printed circuit board surface side of the second metal screen. is there.

【0007】これにより、一度のリフロー加熱工程を用
いるのみで、小型モジュールを製造することができ、生
産の合理化を図ることができる。
[0007] Thus, a small module can be manufactured by using only one reflow heating step, and the production can be rationalized.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、プリント基板の同一平面上にチップ部品と半田バン
プ電極を有するベアチップとが混在した小型モジュール
の製造方法であって、プリント基板のベアチップ用のラ
ンドに第1のメタルマスクを用いてフラックスを印刷す
る第1の工程と、この第1の工程の後に、前記プリント
基板のチップ部品用のランドに第2のメタルマスクを用
いてクリーム半田を印刷する第2の工程と、この第2の
工程の後に、前記プリント基板の前記チップ部品用のラ
ンドにチップ部品を実装するとともに、前記プリント基
板の前記ベアチップ用のランドにベアチップを実装する
第3の工程と、この第3の工程の後に、前記チップ部品
と前記ベアチップが実装された前記プリント基板をリフ
ロー炉で加熱する第4の工程とを有し、前記第2のメタ
ルスクリーンの前記プリント基板面側には、前記ベアチ
ップ用ランドに対応する部分に凹部が形成された小型モ
ジュールの製造方法であり、第3の工程でチップ部品と
ベアチップとを同一工程で装着できるので、第4の工程
でチップ部品とベアチップとを同時に半田付けすること
ができ、生産の合理化を図ることができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The invention according to claim 1 of the present invention is a method of manufacturing a small module in which chip components and bare chips having solder bump electrodes are mixed on the same plane of a printed circuit board. A first step of printing a flux on a land for bare chips using a first metal mask, and after the first step, using a second metal mask on a land for chip components of the printed circuit board. A second step of printing cream solder, and after this second step, mounting the chip component on the land for the chip component on the printed circuit board and mounting the bare chip on the land for the bare chip on the printed circuit board A third step of heating the printed circuit board, on which the chip components and the bare chip are mounted, in a reflow furnace after the third step. And a method of manufacturing a small module in which a concave portion is formed in a portion corresponding to the land for a bare chip on the printed circuit board surface side of the second metal screen. Since the component and the bare chip can be mounted in the same step, the chip component and the bare chip can be soldered simultaneously in the fourth step, and the production can be rationalized.

【0009】また、第2の工程におけるクリーム半田印
刷時にはベアチップは実装されていないので、チップ部
品とベアチップとの距離を短くすることができる。
Further, at the time of cream solder printing in the second step, since the bare chip is not mounted, the distance between the chip component and the bare chip can be shortened.

【0010】請求項2に記載の発明は、ベアチップ用の
ランドとチップ部品用のランドとの間隔が1mm以下の
プリント基板にベアチップとチップ部品を装着する請求
項1に記載の小型モジュールの製造方法であり、実装密
度を高めているので、小型のモジュールを製造すること
ができる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a small module according to the first aspect, wherein the bare chip and the chip component are mounted on a printed circuit board having a distance of 1 mm or less between the land for the bare chip and the land for the chip component. Since the mounting density is increased, a small module can be manufactured.

【0011】請求項3に記載の発明の第1のメタルマス
クは、ベアチップ用のランドに対応した部分を網目状に
した請求項1に記載の小型モジュールの製造方法であ
り、網を用いているので、メタルマスクの製造におい
て、ベアチップ用のランド位置に正確に合わせる必要が
ない。また低粘度のフラックス印刷が可能である。
The first metal mask according to the third aspect of the present invention is the method of manufacturing a small module according to the first aspect, wherein a portion corresponding to a land for a bare chip is meshed, and a net is used. Therefore, it is not necessary to exactly match the land position for the bare chip in the production of the metal mask. Also, flux printing with low viscosity is possible.

【0012】請求項4に記載の発明は、プリント基板の
同一平面上にチップ部品と半田付けが可能な金属バンプ
電極を有するベアチップとが混在した小型モジュールの
製造方法であって、プリント基板のベアチップ用のラン
ドとチップ部品用のランドにメタルマスクを用いてクリ
ーム半田を印刷する第1の工程と、この第1の工程の後
に、前記プリント基板の前記チップ部品用のランドにチ
ップ部品を実装するとともに、前記プリント基板の前記
ベアチップ用のランドにベアチップを実装する第2の工
程と、この第2の工程の後に、前記チップ部品と前記ベ
アチップが実装された前記プリント基板をリフロー炉で
加熱する第3の工程とを有し、前記メタルスクリーンの
スキージが可動する面側には、前記ベアチップ用ランド
に対応する部分に凹部が形成されるとともにこの凹部の
底面の前記ベアチップ用ランドに対応する部分に孔を設
けた小型モジュールの製造方法であり、第2の工程でチ
ップ部品とベアチップとを同一工程で装着できるので、
第3の工程でチップ部品とベアチップとを同時に半田付
けすることができる。従って、加熱工程が一つとなり、
生産の合理化を図ることができる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a small module in which chip components and bare chips having solderable metal bump electrodes are mixed on the same plane of the printed circuit board. A first step of printing cream solder on a land for the chip and a land for the chip component using a metal mask, and after this first step, mounting the chip component on the land for the chip component of the printed circuit board And a second step of mounting a bare chip on the land for the bare chip of the printed board, and after the second step, heating the printed board on which the chip components and the bare chip are mounted in a reflow furnace. And a step corresponding to the land for bare chips on the side of the metal screen where the squeegee is movable. Parts are provided methods for producing the compact module having a hole at a portion corresponding to the bare land on the bottom of the recess while being formed, since the second step can be mounted to the chip component and the bare chip in the same process,
In the third step, the chip component and the bare chip can be soldered simultaneously. Therefore, the heating process becomes one,
Production can be streamlined.

【0013】また、第1の工程におけるクリーム半田印
刷時には、ベアチップは実装されていないので、チップ
部品とベアチップとの距離を短くすることができる。
Further, at the time of cream solder printing in the first step, since the bare chip is not mounted, the distance between the chip component and the bare chip can be shortened.

【0014】請求項5に記載の発明は、ベアチップ用の
ランドとチップ部品用のランドとの間隔が1mm以下の
プリント基板にベアチップとチップ部品を装着する請求
項4に記載の小型モジュールの製造方法であり、実装密
度が高くなるので、小型のモジュールを製造することが
できる。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a small module according to the fourth aspect, wherein the bare chip and the chip part are mounted on a printed circuit board having a distance of 1 mm or less between the land for the bare chip and the land for the chip part. Since the mounting density is high, a small module can be manufactured.

【0015】(実施の形態1)以下、本発明の実施の形
態1における小型モジュールの製造方法を説明する。図
1において、プリント基板21の同一平面上にチップ部
品22と半田バンプ電極を有するベアチップ23とが混
在した小型モジュールの製造方法であって、プリント基
板21のベアチップ23用のランド24にメタルマスク
25を載置して、スキージ26を用いてフラックス27
を印刷するフラックス印刷工程111と、この工程11
1の後に、プリント基板21のチップ部品22用のラン
ド28にメタルマスク29を載置して、スキージ30を
用いてクリーム半田31を印刷するクリーム半田印刷工
程112と、この工程112の後に、プリント基板21
のチップ部品22用のランド28に印刷されたクリーム
半田31aにチップ部品22を実装するチップ部品実装
工程113と、この工程113の後に、プリント基板2
1のベアチップ23用のランド24にベアチップ23を
実装するベアチップ実装工程114と、この工程114
の後に、チップ部品22とベアチップ23が実装された
プリント基板21をリフロー炉で加熱する加熱工程11
5とを有したものである。
(Embodiment 1) A method for manufacturing a small module according to Embodiment 1 of the present invention will be described below. FIG. 1 shows a method for manufacturing a small module in which a chip component 22 and a bare chip 23 having solder bump electrodes are mixed on the same plane of a printed board 21, wherein a land 24 for the bare chip 23 on the printed board 21 is provided with a metal mask 25. Is placed, and the flux 27 is
Flux printing step 111 for printing
After 1, a metal mask 29 is placed on the land 28 for the chip component 22 of the printed circuit board 21, and the cream solder 31 is printed using the squeegee 30. Substrate 21
A chip component mounting step 113 for mounting the chip component 22 on the cream solder 31a printed on the land 28 for the chip component 22 of the first embodiment;
A bare chip mounting step 114 of mounting the bare chip 23 on the land 24 for one bare chip 23;
Is followed by a heating step 11 of heating the printed circuit board 21 on which the chip component 22 and the bare chip 23 are mounted in a reflow furnace.
5 is provided.

【0016】ここで、メタルマスク29は、ベアチップ
23用のランド24に対応する部分に凹部32が形成さ
れたものを用いている。
Here, the metal mask 29 has a concave portion 32 formed at a portion corresponding to the land 24 for the bare chip 23.

【0017】ここで、チップ部品22の実装工程113
とベアチップ23の実装工程114はどちらを先に行っ
ても良く、同一の工程で行っても良い。何れにしても、
従来のように、別々に加熱する必要がなく、チップ部品
22とベアチップ23が装着されるので、チップ部品2
2とベアチップ23とを同時に加熱する加熱工程115
を実施して、半田付けすることができる。よって生産の
合理化を図ることができる。
Here, the mounting step 113 of the chip component 22
Either of the steps 114 and 114 for mounting the chip and the bare chip 23 may be performed first, or the same step may be performed. Whatever it is,
Unlike the conventional case, there is no need to heat separately, and the chip component 22 and the bare chip 23 are mounted.
Heating step 115 for simultaneously heating 2 and bare chip 23
And soldering can be performed. Therefore, production can be rationalized.

【0018】また、従来においては図13に示すよう
に、メタルマスク11は、ベアチップ8が実装された状
態でクリーム半田13を印刷するため、このベアチップ
8に対応する位置に凸部15を設けていた。この凸部1
5が設けられたため、クリーム半田13を孔10に確実
に充填するには、チップ部品22用のランド1とベアチ
ップ8用のランド2との間には、どうしても1mm以上
の間隔16が必要であった。
Conventionally, as shown in FIG. 13, the metal mask 11 is provided with a convex portion 15 at a position corresponding to the bare chip 8 in order to print the cream solder 13 in a state where the bare chip 8 is mounted. Was. This convex part 1
5, in order to reliably fill the hole 10 with the cream solder 13, an interval 16 of 1 mm or more is absolutely required between the land 1 for the chip component 22 and the land 2 for the bare chip 8. Was.

【0019】しかし本発明では、クリーム半田印刷工程
112ではベアチップ23が実装されていないので、チ
ップ部品22とベアチップ23との距離を0.5mmか
ら0.7mm程度に短くすることができ、実装密度を高
めることができる。
However, in the present invention, since the bare chip 23 is not mounted in the cream solder printing step 112, the distance between the chip component 22 and the bare chip 23 can be reduced from 0.5 mm to about 0.7 mm, and the mounting density can be reduced. Can be increased.

【0020】図2は、プリント基板21の1個の平面図
である。図2において、22はチップ部品であり、23
はベアチップである。本実施の形態においては、チップ
部品22とベアチップ23との距離42を先に述べたよ
うに短くすることができ、全体として小型化を図ること
ができ、大きな特徴となっている。33はプリント基板
21の側面に形成されたグランド電極であり、34は他
の側面に形成された信号電極である。このプリント基板
21が縦方向と横方向に5個ずつ連結されて親基板を形
成している。この親基板のイメージは図3に示すメタル
マスクに似ている。
FIG. 2 is a plan view of one printed circuit board 21. In FIG. 2, reference numeral 22 denotes a chip component;
Is a bare chip. In the present embodiment, the distance 42 between the chip component 22 and the bare chip 23 can be reduced as described above, and the overall size can be reduced, which is a great feature. 33 is a ground electrode formed on the side surface of the printed circuit board 21, and 34 is a signal electrode formed on the other side surface. The five printed circuit boards 21 are connected vertically and horizontally to form a parent board. The image of the parent substrate is similar to the metal mask shown in FIG.

【0021】図3は親基板の上に載置される親メタルマ
スク35の平面図である。この親メタルマスク35には
メタルマスク29が縦方向と横方向にそれぞれ5個ずつ
連結されている。なお、連結される個数は5個に限る必
要はない。この親メタルマスク35の大きさは縦90m
m、横95mmであり、材質はステンレスである。ま
た、その厚さは120ミクロンである。
FIG. 3 is a plan view of the parent metal mask 35 mounted on the parent substrate. Five metal masks 29 are connected to the parent metal mask 35 in each of the vertical direction and the horizontal direction. It is not necessary to limit the number to be connected to five. The size of the parent metal mask 35 is 90 m in length.
m, 95 mm in width, and the material is stainless steel. Also, its thickness is 120 microns.

【0022】図4は、親メタルマスク35の中の一つの
メタルマスク29の部分を拡大した平面図である。図4
において、36はチップ部品22用のランド28にクリ
ーム半田31を充填する孔であり、ランド28に対応し
た位置に設けられている。37は、ベアチップ23用の
ランド24に対応して設けられた凹部である。なお、こ
の凹部37は本実施の形態では略ベアチップ23の形状
と同じにしている。
FIG. 4 is an enlarged plan view of one metal mask 29 in the parent metal mask 35. FIG.
In the figure, reference numeral 36 denotes a hole for filling the cream solder 31 in the land 28 for the chip component 22, and is provided at a position corresponding to the land 28. Reference numeral 37 denotes a concave portion provided corresponding to the land 24 for the bare chip 23. In this embodiment, the shape of the recess 37 is substantially the same as the shape of the bare chip 23.

【0023】図5はその断面図である。図5において、
メタルマスク29の材質はステンレスであり、その厚さ
38は0.12mmである。また、凹部37の深さ39
は0.07mmであり、天面の厚さ40は0.05mm
にしている。また、クリーム半田31を充填する孔36
の直径41は0.5mmの丸孔としている。この凹部3
7により、ベアチップ23用のランド24に印刷された
フラックス27aがメタルマスク29に付着することは
ない。従って、フラックス27aの量が不安定になるこ
とはない。また、このように凹部37を設けることによ
り、ベアチップ23用のランド24にチップ部品22用
のランド28を従来に比べて、極限まで近づけることが
できる。従って、部品実装密度を上げることができ、モ
ジュールの小型化を図ることができる。本実施の形態で
は、ランド24に最も近いランド28までの距離42を
0.5〜0.7mmまで近づけている。
FIG. 5 is a sectional view thereof. In FIG.
The material of the metal mask 29 is stainless steel, and its thickness 38 is 0.12 mm. Also, the depth 39 of the recess 37
Is 0.07 mm, and the thickness 40 of the top surface is 0.05 mm
I have to. Also, a hole 36 for filling the cream solder 31 is provided.
Has a diameter of 0.5 mm. This recess 3
7, the flux 27a printed on the land 24 for the bare chip 23 does not adhere to the metal mask 29. Therefore, the amount of the flux 27a does not become unstable. Further, by providing the concave portion 37 in this manner, the land 28 for the chip component 22 can be brought closer to the limit as compared with the land 28 for the bare chip 23 as compared with the related art. Therefore, the component mounting density can be increased, and the size of the module can be reduced. In the present embodiment, the distance 42 to the land 28 closest to the land 24 is reduced to 0.5 to 0.7 mm.

【0024】図6は、ベアチップ23の要部の近傍の断
面図である。ベアチップ23の電極44には半田バンプ
43が設けられている。一方、プリント基板21上には
ランド24が設けられ、このランド24にはフラックス
27aが印刷されている。そして、このフラックス27
a上に半田バンプ43を載せて加熱することにより、ベ
アチップ23の電極44とランド24とは電気的に接続
される。
FIG. 6 is a cross-sectional view of the vicinity of the main part of the bare chip 23. The electrodes 44 of the bare chip 23 are provided with solder bumps 43. On the other hand, a land 24 is provided on the printed circuit board 21, and a flux 27a is printed on the land 24. And this flux 27
The electrodes 44 of the bare chip 23 and the lands 24 are electrically connected by placing the solder bumps 43 on the a and heating them.

【0025】図7は、ランド24にフラックス27aを
印刷するメタルマスク25とプリント基板21との断面
図である。このメタルマスク25は、フラックス印刷工
程111で用いるものであり、ステンレスで形成されて
いる。また、その厚さ45は0.05mmである。46
はランド24に対応して設けられた孔であり、その直径
は、0.12mmである。そして、この孔46にはラン
ド24に印刷されるフラックス27が充填される。この
ときのフラックス27は高粘度フラックスを用いるのが
良い。
FIG. 7 is a sectional view of the printed circuit board 21 and the metal mask 25 for printing the flux 27a on the land 24. The metal mask 25 is used in the flux printing step 111 and is made of stainless steel. The thickness 45 is 0.05 mm. 46
Is a hole provided corresponding to the land 24, and its diameter is 0.12 mm. The holes 46 are filled with the flux 27 to be printed on the lands 24. The flux 27 at this time is preferably a high-viscosity flux.

【0026】図8は、ランド24にフラックス27aを
印刷するメッシュスクリーン47とプリント基板21と
の断面図である。このメッシュスクリーン47は、フラ
ックス印刷工程111で用いるものであり、本実施の形
態ではステンレスメッシュで形成されている。また、そ
の厚さ45aは0.05mmである。48はランド24
に対応して設けられた網目であり、略ベアチップ23全
体を囲う四角形をしている。そして、この網目48には
ランド24に印刷されるフラックス27が充填される。
このときのフラックス27は低粘度フラックスを用いる
のが良い。
FIG. 8 is a cross-sectional view of the printed circuit board 21 and the mesh screen 47 for printing the flux 27a on the land 24. The mesh screen 47 is used in the flux printing step 111, and is formed of a stainless mesh in the present embodiment. The thickness 45a is 0.05 mm. 48 is land 24
And is a square that substantially surrounds the entire bare chip 23. The mesh 48 is filled with the flux 27 to be printed on the land 24.
The flux 27 at this time is preferably a low-viscosity flux.

【0027】(実施の形態2)以下、本発明の実施の形
態2における小型モジュールの製造方法を説明する。図
9において、プリント基板51の同一平面上にチップ部
品52と半田付けが可能な金属バンプ電極を有するベア
チップ53とが混在した小型モジュールの製造方法であ
って、プリント基板51のベアチップ52用のランド5
4とベアチップ53用のランド55上にメタルマスク5
6を載置して、スキージ57を用いてクリーム半田58
を印刷するクリーム半田印刷工程121と、この工程1
21の後に、プリント基板51のチップ部品52用のラ
ンド54に印刷されたクリーム半田58aにチップ部品
52を実装するチップ部品実装工程122と、この工程
122の後に、プリント基板51のベアチップ53用の
ランド55に印刷されたクリーム半田58b上にベアチ
ップ53を実装するベアチップ実装工程123と、この
工程123の後に、チップ部品52とベアチップ53が
実装されたプリント基板51をリフロー炉で加熱するリ
フロー工程124とを有したものである。
(Embodiment 2) A method of manufacturing a small module according to Embodiment 2 of the present invention will be described below. FIG. 9 shows a method for manufacturing a small module in which a chip component 52 and a bare chip 53 having a solderable metal bump electrode are mixed on the same plane of a printed circuit board 51, and a land for the bare chip 52 on the printed circuit board 51 is provided. 5
4 and metal mask 5 on land 55 for bare chip 53
6 is placed thereon, and a cream solder 58 is
Solder printing step 121 for printing
After 21, a chip component mounting step 122 of mounting the chip component 52 on the cream solder 58 a printed on the land 54 for the chip component 52 of the printed board 51, and after this step 122, the chip component mounting step 122 for the bare chip 53 of the printed board 51. A bare chip mounting step 123 for mounting the bare chip 53 on the cream solder 58b printed on the land 55, and after this step 123, a reflow step 124 for heating the printed circuit board 51 on which the chip components 52 and the bare chip 53 are mounted in a reflow furnace. And

【0028】ここで、メタルマスク56は、ベアチップ
53用のランド55に対応する部分であって、スキージ
57が可動する面に凹部59が形成されたものを用いて
いる。
Here, the metal mask 56 is a portion corresponding to the land 55 for the bare chip 53 and has a recess 59 formed on a surface on which the squeegee 57 can move.

【0029】また、チップ部品52の実装工程122と
ベアチップ53の実装工程123はどちらを先に行って
も良く、同一の工程で行っても良い。何れにしても、従
来のように、別々にリフローする必要がなく、チップ部
品52とベアチップ53とを同一或いは別々の工程で装
着して、チップ部品52とベアチップ53とを同時に加
熱して、半田付けすることができる。
Either the step 122 for mounting the chip component 52 or the step 123 for mounting the bare chip 53 may be performed first, or they may be performed in the same step. In any case, it is not necessary to perform reflow separately as in the related art, and the chip component 52 and the bare chip 53 are mounted in the same or different steps, and the chip component 52 and the bare chip 53 are heated simultaneously, and soldering is performed. Can be attached.

【0030】また、実施の形態1と同様、従来において
は図13に示すように、メタルマスク11は、ベアチッ
プ8が実装された状態でクリーム半田13を印刷するた
め、このベアチップ8に対応する位置に凸部15を設け
ていた。この凸部15が設けられたため、クリーム半田
13を孔10に確実に充填するには、チップ部品22用
のランド1とベアチップ8用のランド2との間には、ど
うしても1mm以上の間隔16が必要であった。
As in the first embodiment, conventionally, as shown in FIG. 13, since the cream solder 13 is printed with the bare chip 8 mounted on the metal mask 11, the position corresponding to the bare chip 8 is set. Was provided with a convex portion 15. Since the protrusions 15 are provided, in order to reliably fill the hole 10 with the cream solder 13, an interval 16 of 1 mm or more must be provided between the land 1 for the chip component 22 and the land 2 for the bare chip 8. Was needed.

【0031】しかし本発明では、チップ部品52とベア
チップ53へのクリーム半田印刷工程121を同一工程
でクリーム半田印刷ができるので、チップ部品52とベ
アチップ53との距離を0.5mmから0.7mm程度
に短くすることができ、小型化されたモジュールが実現
できる。
However, in the present invention, the cream solder printing step 121 for the chip component 52 and the bare chip 53 can be performed by the same process, so that the distance between the chip component 52 and the bare chip 53 is about 0.5 mm to 0.7 mm. In this case, the size of the module can be reduced.

【0032】なお、実施の形態2においても、実施の形
態1と同様であって、モジュール1個について説明する
が、実際には、このモジュールが縦方向と横方向にそれ
ぞれ5個連結したものである。なお、これは別に5個に
限るものではない。また、メタルマスク57についても
同様に連結したものである。
The second embodiment is the same as the first embodiment, and only one module will be described. In practice, however, five modules are connected in the vertical and horizontal directions. is there. Note that this is not limited to five separately. The metal mask 57 is also connected in the same manner.

【0033】図10はメタルマスク56の断面図であ
る。図10において、メタルマスク56の材質はステン
レスであり、その厚さ60は0.10mmである。ま
た、凹部59の深さ61は0.05mmであり、底面の
厚さ62は0.05mmにしている。また、63はプリ
ント基板51のチップ部品52用のランド54に対応し
て形成された孔であり、その直径64は0.5mmの丸
孔としている。また、65は凹部59の底面に形成され
た孔であり、ベアチップ53用のランド55に対応して
いる。この孔65の直径66は0.12mmとしてい
る。そして、これらの孔63,65にはクリーム半田5
8が充填されて、夫々ランド54と55に印刷される。
FIG. 10 is a sectional view of the metal mask 56. In FIG. 10, the material of the metal mask 56 is stainless steel, and its thickness 60 is 0.10 mm. The depth 61 of the recess 59 is 0.05 mm, and the thickness 62 of the bottom surface is 0.05 mm. Reference numeral 63 denotes a hole formed corresponding to the land 54 for the chip component 52 of the printed board 51, and the diameter 64 is a round hole of 0.5 mm. Reference numeral 65 denotes a hole formed on the bottom surface of the concave portion 59, and corresponds to the land 55 for the bare chip 53. The diameter 66 of the hole 65 is 0.12 mm. Then, cream solder 5 is provided in these holes 63 and 65.
8 are filled and printed on lands 54 and 55, respectively.

【0034】このように凹部59を形成することによ
り、ベアチップが実装される部分に対応するメタルマス
クの厚みをうすくすることができ、直径66の0.12
mmという微小孔65においてもクリーム半田が抜ける
ので、チップ部品52用のランド54とベアチップ53
用のランド55に夫々適量のクリーム半田58a,58
bを印刷することができる。
By forming the recess 59 in this manner, the thickness of the metal mask corresponding to the portion where the bare chip is to be mounted can be reduced.
Since the cream solder can be removed even in the minute hole 65 having a diameter of 50 mm, the land 54 for the chip component 52 and the bare chip 53
Suitable amounts of cream solders 58a, 58
b can be printed.

【0035】また、このようにベアチップ53を実装し
ない状態でクリーム半田58の印刷ができるので、ベア
チップ53用のランド55にチップ部品52用のランド
54を従来に比べて、極限まで近づけることができ、部
品実装密度を上げることができる。従って、モジュール
の小型化を図ることができる。本実施の形態では、ラン
ド54に最も近いランド55までの距離67を0.5〜
0.7mmまで近づけている。
In addition, since the cream solder 58 can be printed without the bare chip 53 being mounted, the land 55 for the chip component 52 can be brought closer to the land 55 for the bare chip 53 as much as possible. Thus, the component mounting density can be increased. Therefore, the size of the module can be reduced. In the present embodiment, the distance 67 to the land 55 closest to the land 54 is set to 0.5 to
Close to 0.7mm.

【0036】図11は、ベアチップ53の要部近傍の断
面図である。ベアチップ53の電極71には半田付けが
可能な金属として金バンプ72が設けられている。一
方、プリント基板51上にはランド55が設けられ、こ
のランド55にはクリーム半田58bが印刷されてい
る。そして、このクリーム半田58b上に金バンプ72
を載せて加熱することにより、ベアチップ53の電極7
1とランド55とは電気的に接続される。なお、実施の
形態2においてはクリーム半田58の代りに導電性接着
材を用いることもできる。
FIG. 11 is a cross-sectional view of the vicinity of a main part of the bare chip 53. The electrodes 71 of the bare chip 53 are provided with gold bumps 72 as a solderable metal. On the other hand, a land 55 is provided on the printed board 51, and the cream solder 58b is printed on the land 55. Then, the gold bump 72 is formed on the cream solder 58b.
Is placed and heated, the electrode 7 of the bare chip 53 is heated.
1 and land 55 are electrically connected. In the second embodiment, a conductive adhesive can be used instead of the cream solder 58.

【0037】この後、実施の形態1、実施の形態2共に
リフロー半田の品質、部品の装着等の検査を行う。次
に、洗浄を行いフラックスを取除いてアンダーフィルの
接着力を強化する。次に、ベアチップに封止材を塗布し
て、ベアチップとプリント基板との機械的強度の強化を
図る。次に乾燥した後、X線検査をし、良品のみ保管す
る。
Thereafter, both the first and second embodiments are inspected for the quality of reflow soldering, the mounting of components, and the like. Next, the flux is removed by washing to enhance the adhesion of the underfill. Next, a sealing material is applied to the bare chip to enhance the mechanical strength between the bare chip and the printed board. Next, after drying, an X-ray inspection is performed, and only non-defective products are stored.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、第3の工
程でチップ部品とベアチップとを同一工程で装着できる
ので、第4の工程でチップ部品とベアチップとを同時に
半田付けすることができ、生産の合理化ができる。
As described above, according to the present invention, the chip component and the bare chip can be mounted in the same step in the third step, so that the chip part and the bare chip can be soldered simultaneously in the fourth step. It can streamline production.

【0039】また、第2の工程におけるクリーム半田の
印刷時には、ベアチップは実装されていないので、チッ
プ部品とベアチップとの距離を短くすることができる。
Further, at the time of printing the cream solder in the second step, since the bare chip is not mounted, the distance between the chip component and the bare chip can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(111)〜(115)はそれぞれ本発明の実
施の形態1における小型モジュールの製造方法の工程図
FIGS. 1 (1) to 1 (115) are process diagrams of a method for manufacturing a small module according to a first embodiment of the present invention; FIGS.

【図2】同、小型モジュールの平面図FIG. 2 is a plan view of the small module.

【図3】同、メタルマスクの平面図FIG. 3 is a plan view of the same metal mask.

【図4】同、小型モジュール1個分のメタルマスクの平
面図
FIG. 4 is a plan view of a metal mask for one small module.

【図5】同、断面図FIG. 5 is a sectional view of the same.

【図6】同、ベアチップ要部近傍の断面図FIG. 6 is a cross-sectional view of the vicinity of a main part of the bare chip.

【図7】同、メタルマスクとプリント基板の断面図FIG. 7 is a sectional view of a metal mask and a printed circuit board.

【図8】同、他の例によるメタルマスクとプリント基板
の断面図
FIG. 8 is a cross-sectional view of a metal mask and a printed circuit board according to another example.

【図9】(121)〜(124)はそれぞれ本発明の実
施の形態2における小型モジュールの製造方法の工程図
FIGS. 9A and 9B are process diagrams of a method for manufacturing a small module according to the second embodiment of the present invention;

【図10】同、小型モジュール1個分のメタルマスクと
プリント基板の断面図
FIG. 10 is a cross-sectional view of a metal mask and a printed circuit board for one small module.

【図11】同、ベアチップ要部近傍の断面図FIG. 11 is a cross-sectional view of the vicinity of a main part of the bare chip.

【図12】(101)〜(103)はそれぞれ従来の小
型モジュールの一次実装の工程図
12 (101) to (103) are process diagrams of primary mounting of a conventional small module, respectively.

【図13】(104)〜(106)はそれぞれ従来の小
型モジュールの二次実装の工程図
13 (104) to (106) are process diagrams of secondary mounting of a conventional small module, respectively.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

111 フラックス印刷工程 112 クリーム半田印刷工程 113 チップ部品実装工程 114 ベアチップ実装工程 115 加熱工程 111 Flux printing process 112 Cream solder printing process 113 Chip component mounting process 114 Bare chip mounting process 115 Heating process

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プリント基板の同一平面上にチップ部品
と半田バンプ電極を有するベアチップとが混在した小型
モジュールの製造方法であって、プリント基板のベアチ
ップ用のランドに第1のメタルマスクを用いてフラック
スを印刷する第1の工程と、この第1の工程の後に、前
記プリント基板のチップ部品用のランドに第2のメタル
マスクを用いてクリーム半田を印刷する第2の工程と、
この第2の工程の後に、前記プリント基板の前記チップ
部品用のランドにチップ部品を実装するとともに、前記
プリント基板の前記ベアチップ用のランドにベアチップ
を実装する第3の工程と、この第3の工程の後に、前記
チップ部分と前記ベアチップが実装された前記プリント
基板をリフロー炉で加熱する第4の工程とを有し、前記
第2のメタルスクリーンの前記プリント基板面側には、
前記ベアチップ用ランドに対応する部分に凹部が形成さ
れた小型モジュールの製造方法。
1. A method for manufacturing a small module in which chip components and bare chips having solder bump electrodes are mixed on the same plane of a printed circuit board, wherein a land for the bare chips on the printed circuit board is formed using a first metal mask. A first step of printing a flux, and after the first step, a second step of printing cream solder on a land for a chip component of the printed circuit board using a second metal mask;
After the second step, a third step of mounting a chip component on the land for the chip component of the printed circuit board and mounting a bare chip on the land for the bare chip of the printed circuit board; After the step, a fourth step of heating the printed circuit board on which the chip portion and the bare chip are mounted in a reflow furnace, on the printed circuit board surface side of the second metal screen,
A method for manufacturing a small module in which a concave portion is formed in a portion corresponding to the bare chip land.
【請求項2】 ベアチップ用のランドとチップ部品用の
ランドとの間隔が1mm以下のプリント基板にベアチッ
プとチップ部品を装着する請求項1に記載の小型モジュ
ールの製造方法。
2. The method for manufacturing a small module according to claim 1, wherein the bare chip and the chip component are mounted on a printed circuit board in which the distance between the land for the bare chip and the land for the chip component is 1 mm or less.
【請求項3】 第1のメタルマスクは、ベアチップ用の
ランドに対応した部分を網目状にした請求項1に記載の
小型モジュールの製造方法。
3. The method for manufacturing a small module according to claim 1, wherein the first metal mask has a mesh portion at a portion corresponding to a land for a bare chip.
【請求項4】 プリント基板の同一平面上にチップ部品
と半田付けが可能な金属バンプ電極を有するベアチップ
とが混在した小型モジュールの製造方法であって、プリ
ント基板のベアチップ用のランドとチップ部品用のラン
ドにメタルマスクを用いてクリーム半田を印刷する第1
の工程と、この第1の工程の後に、前記プリント基板の
前記チップ部品用のランドにチップ部品を実装するとと
もに、前記プリント基板の前記ベアチップ用のランドに
ベアチップを実装する第2の工程と、この第2の工程の
後に、前記チップ部品と前記ベアチップが実装された前
記プリント基板をリフロー炉で加熱する第3の工程とを
有し、前記メタルスクリーンのスキージが可動する面側
には、前記ベアチップ用ランドに対応する部分に凹部が
形成されるとともにこの凹部の底面の前記ベアチップ用
ランドに対応する部分に孔を設けた小型モジュールの製
造方法。
4. A method for manufacturing a small module in which chip components and bare chips having solderable metal bump electrodes are mixed on the same plane of a printed circuit board, the method comprising the steps of: Of cream solder on metal land using metal mask
And after the first step, a second step of mounting a chip component on the land for the chip component of the printed board, and mounting a bare chip on the land for the bare chip of the printed board, After the second step, a third step of heating the printed circuit board on which the chip components and the bare chip are mounted in a reflow furnace, and the squeegee of the metal screen has a movable surface side, A method of manufacturing a small module, wherein a concave portion is formed in a portion corresponding to a land for a bare chip, and a hole is provided in a portion of the bottom surface of the concave portion corresponding to the land for a bare chip.
【請求項5】 ベアチップ用のランドとチップ部品用の
ランドとの間隔が1mm以下のプリント基板にベアチッ
プとチップ部品を装着する請求項4に記載の小型モジュ
ールの製造方法。
5. The method for manufacturing a small module according to claim 4, wherein the bare chip and the chip component are mounted on a printed circuit board having a distance between the land for the bare chip and the land for the chip component of 1 mm or less.
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CN100444706C (en) * 2002-10-29 2008-12-17 新光电气工业株式会社 Method of mounting electronic part on wiring board

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100444706C (en) * 2002-10-29 2008-12-17 新光电气工业株式会社 Method of mounting electronic part on wiring board
KR101005505B1 (en) 2002-10-29 2011-01-04 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 Method of mounting electronic parts on wiring board
WO2006016650A1 (en) 2004-08-12 2006-02-16 Ricoh Company, Ltd. Electrode substrate
US7732935B2 (en) 2004-08-12 2010-06-08 Ricoh Company, Ltd. Wiring board, electronic circuit board, electronic apparatus and manufacturing method of electronic circuit board

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