JP2001302387A - 単結晶引上げ装置の湯漏れ検出器および単結晶引上げ装置ならびに湯漏れ検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 ＣＺ法単結晶引上げ装置において、不慮の事
故によってシリコン融液がルツボ外へ流出しても、ルツ
ボから漏れてくる融液をいち早く的確に検出し、警報、
運転停止等の動作を素早く行うことができる湯漏れ検出
器を提供する。 【解決手段】 ＣＺ法による単結晶引上げ装置のチャン
バ３１の底部に配設した湯漏れ受皿１５においてルツボ
３２から漏れてくる融液を検出する湯漏れ検出器２０で
あって、湯漏れ受皿の底面に設けられ、底面の温度を検
出する温度検出手段１６および該温度検出手段の検出値
の変化により湯漏れを検出する湯漏れ検出手段を具備す
る単結晶引上げ装置の湯漏れ検出器。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、チョクラルスキー
法（ＣＺ法）により、単結晶棒を成長させるＣＺ法単結
晶引上げ装置の湯漏れ検出に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体シリコン単結晶棒製造に用
いられる従来のＣＺ法単結晶引上げ装置の一例を図４に
より説明する。図４に示すように、この単結晶引上げ装
置３０は、チャンバ（引上げ室）３１と、チャンバ３１
中に設けられたルツボ３２と、ルツボ３２の周囲に配置
されたヒータ３４と、ルツボ３２を回転させるルツボ保
持軸３３及びその回転機構（図示せず）と、シリコンの
種結晶５を保持するシードチャック６と、シードチャッ
ク６を引上げるワイヤ７と、ワイヤ７を回転又は巻き取
る巻取機構（図示せず）を備えて構成されている。ルツ
ボ３２は、その内側の原料シリコン融液（湯）２を収容
する側には石英ルツボが設けられ、その外側には黒鉛ル
ツボが設けられている。また、ヒータ３４の外側周囲に
はヒータ断熱材３５が配置されている。

【０００３】次に、上記の単結晶引上げ装置３０による
単結晶育成方法について説明する。まず、ルツボ３２内
でシリコンの高純度多結晶原料を融点（約１４２０°
Ｃ）以上に加熱して融解する。そして、ワイヤ７を巻き
出すことにより融液２の表面３の略中心部に種結晶５の
先端を接触又は浸漬させる。その後、ルツボ保持軸３３
を適宜の方向に回転させるとともに、ワイヤ７を回転さ
せながら巻き取り、種結晶５を引上げることにより、単
結晶育成が開始される。以後、引上げ速度と温度を適切
に調節することにより略円柱形状の単結晶棒１を得るこ
とができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した単結晶引上げ
装置における石英ルツボおよび黒鉛ルツボは、共に高い
耐熱性を有しているが、やや脆く、耐衝撃性に乏しいと
いう欠点がある。そこで、単結晶引上げに際し、多結晶
原料をルツボに投入すると、その衝撃によってルツボに
亀裂が入ることがあり、そこから溶融液が漏れる恐れが
ある。また、多結晶原料投入時にルツボ内の湯がルツボ
の周囲に飛散することもある。さらに使用により徐々に
ルツボが劣化したり、引上げ中の単結晶が落下した場合
には、ルツボが破壊されて湯のほぼ全量が流出してしま
うこともある。

【０００５】このように、高温の湯がルツボ外へ流出、
飛散すると、ルツボの周りからチャンバの底部に至り、
チャンバ底部やヒータ用端子部あるいはルツボ保持軸等
の金属部やルツボ駆動装置、下部冷却水配管等を侵食す
ることになる。特に高温のシリコンは反応性が高く金属
に対する侵食作用が強いため、冷却水配管が侵されて水
が漏れ出せば、水蒸気爆発を起こすという危険性もあ
る。また、装置外に溢れ出すと作業員や機器に危害を及
ぼすことになる。

【０００６】そこで、例えば特開平９−２２１３８５号
公報に開示された単結晶引上げ装置では、全溶融原料を
収容することができる内容積を有する湯漏れ受皿をルツ
ボの下部に配設してこのような危険性を回避しようとし
ている。

【０００７】しかしながら、このように湯漏れ受皿を設
置しただけでは、湯漏れの発生を検出することができ
ず、電源を切断する等の即応が出来ないので、有効適切
な回避手段をとることができない恐れがある。

【０００８】また、湯漏れ検出器を備えた単結晶引上げ
装置の例としては、本出願人の出願に係る公開の特開平
１１−１８０７９４号の技術があり、光学式視覚センサ
により引上げ中の単結晶とシリコン融液の接触部を撮像
して、湯漏れによる急激な湯面位置変化を検出する方法
やルツボ支持軸と種結晶を保持するワイヤの間に電圧を
印加して、導電状態の変化を比較器で検出して湯漏れを
検知する手段が開示されている。これらの方法は、単結
晶引上げ中に生じた湯漏れの検出には極めて有効である
が、最も湯漏れの危険性の高い原料多結晶塊の溶解時に
検出できないという欠点がある。さらに原料多結晶の追
加投入やルツボ位置の変更等で湯面位置を変化させる場
合は、その都度センサの作動を解除する必要があるとい
う不都合がある。

【０００９】また、ルツボの下部にロードセルを組み込
み、常時ルツボの重量を測定し、湯漏れによる急激な重
量変化を検出する方式も考えられる。この方式のメリッ
トは、ロードセルの感度、ノイズの大きさ等にもよる
が、湯漏れ受皿に溜らない程少量の湯漏れも検出できる
可能性がある。しかしながら、ルツボは、回転、上下動
の機構を具備しており、これらの精度を維持しながら、
重量測定のロードセルを組み込む構造とするためには、
高精度な開発設計ならびに高額な投資を必要とする。さ
らにルツボの振動やルツボに何かが接触しても重量変化
として表れ、湯漏れとの相違判断が極めて困難である。

【００１０】そこで、本発明はこのような従来の問題点
に鑑みてなされたもので、ＣＺ法単結晶引上げ装置にお
いて、不慮の事故によってシリコン融液がルツボ外へ流
出しても、これを溜めて金属部品や冷却配管から成る下
部機構に到達するのを防止する湯漏れ受皿を利用して、
ルツボから漏れてくる融液をいち早く的確に検出し、警
報吹鳴、運転停止等の動作を素早く行うことができるよ
うにすることを主たる目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る単結晶引上げ装置の湯漏れ検出器は、
チョクラルスキー法による単結晶引上げ装置のチャンバ
の底部に配設した湯漏れ受皿においてルツボから漏れて
くる融液を検出する湯漏れ検出器であって、湯漏れ受皿
の底板に設けられ、底板の温度を検出する温度検出手段
および該温度検出手段の検出値の変化により湯漏れを検
出する湯漏れ検出手段を具備することを特徴としている
（請求項１）。

【００１２】このように湯漏れ検出器を構成すると、単
結晶引上げ装置のチャンバの底部で、ルツボの下部に配
設された湯漏れ受皿の底板に設置した温度検出手段の上
にルツボから漏れてきたシリコン融液がかかると湯漏れ
受皿底板の温度が一気に上昇することになる。この底板
の温度を温度検出手段で検出し、その検出値の変化を湯
漏れ検出手段で検出し、湯漏れと判断した場合には、警
報、運転停止等の動作を湯漏れの程度に応じて即時にと
ることができ、重大な事故災害を回避することが可能と
なる。特に従来の光学式視覚センサによる湯漏れ検出方
法では検出できなかった最も漏れの危険性の高い原料多
結晶溶解時にも確実に検出することが可能となる。従っ
て、全ての単結晶引上げ工程において湯漏れ検出が可能
である。

【００１３】この場合、温度検出手段を熱電対温度計と
することができるし（請求項２）、この熱電対温度計を
複数具備することができる（請求項３）。このように温
度検出手段を熱電対温度計とすると、瞬時に高感度、高
精度の温度測定が可能であり、湯漏れ検出手段により湯
漏れの有無の判定を容易に行うことができる。また一箇
所の湯漏れ検出器に熱電対温度計を少なくとも２本備
え、１本は予備として誤作動を防止する。例えば、一方
のみ高温度検出の場合は、アラームを発して警戒態勢に
入り、両方で高温度を検出した場合は直ちに運転の電源
を落とすこととし、湯漏れが原因で引き起こされる事故
の危険性を回避するようにする。さらに温度検出手段を
湯漏れ受皿の底板の複数箇所に設置すれば、湯漏れの検
出精度が向上すると共に湯漏れ位置の把握、湯漏れ量を
推定することも可能となり、防災体制をより確実なもの
とすることができる。また、１本が断線等のため温度検
出ができなくなっても、予備があれば検出の継続をする
ことも可能である。

【００１４】本発明に係る単結晶引上げ装置の湯漏れ検
出器の他の形態は、チョクラルスキー法による単結晶引
上げ装置のチャンバの底部に配設した湯漏れ受皿におい
てルツボから漏れてくる融液を検出する湯漏れ検出器で
あって、湯漏れ受皿の上部から挿入される露出電線を底
板に設け、これに電圧を印加し、漏れた湯による電線の
断線から湯漏れを検出するものであることを特徴として
いる（請求項４）。

【００１５】このように、単結晶引上げ装置のチャンバ
の底部で、ルツボの下部に配設された湯漏れ受皿の底板
に、湯漏れ受皿の上部から挿入される露出電線を設けて
おいて、これに電圧を印加しておけば、ルツボから漏れ
てきたシリコン融液がこれにかかると、露出電線は一気
に溶解し、電気絶縁状態になる。この状態を電流や抵抗
値等の変化として検出し、湯漏れと判断した場合には、
警報、運転停止等の動作を湯漏れの程度に応じて即時に
とることができ、重大な事故災害を回避することが可能
となる。

【００１６】また本発明の単結晶引上げ装置は、前記し
た湯漏れ検出器を具備することを特徴としている（請求
項５）。このように、単結晶引上げ装置に湯漏れ受皿を
具備するとともに、本発明の湯漏れ検出器を備えておけ
ば、例えルツボから湯漏れが発生したとしても、直ちに
湯漏れを検出し、警報吹鳴、運転停止等の動作を湯漏れ
の程度に応じて即時に取ることができ、湯漏れが原因で
発生する事故を未然に防ぐことができる。

【００１７】さらに本発明の湯漏れ検出方法は、前記し
た湯漏れ検出器を使用してルツボから湯漏れ受皿に漏れ
てくるシリコン融液を検出することを特徴としている
（請求項６）。このように、本発明の湯漏れ検出器を備
えておけば、結晶製造工程の全ての段階で直ちに湯漏れ
を検出し、警報吹鳴、運転停止等の動作を素早く取るこ
とがでる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるも
のではない。また融液についてはシリコンを例にして説
明する。図１（ａ）は、湯漏れ受皿と本発明に係る湯漏
れ検出器として熱電対温度検出手段を備えた単結晶引上
げ装置要部の縦断面図であり、（ｂ）は湯漏れ受皿の底
部の平面図であり、（ｃ）は熱電対温度検出手段を湯漏
れ受皿底板に設置した状態を示す拡大断面図である。ま
た、図２は、露出電線による湯漏れ検出器を配置した湯
漏れ受皿を示す縦断面図である。図３は、湯漏れ検出手
段の（ａ）は動作フロー図であり、（ｂ）はブロック図
の一例である。

【００１９】図１（ａ）に示すように、ＣＺ法単結晶引
上げ装置１０のチャンバ３１は、密閉タンク型であっ
て、下部周壁の冷却水配管あるいはジャケット（不図
示) には冷却水が流されている。チャンバ３１内にはル
ツボ３２が設けられ、ルツボ３２の周囲に配置されたヒ
ータ３４と、ルツボ３２を回転させるルツボ保持軸３３
及びその回転機構（図示せず）を備えて構成されてい
る。さらにチャンバ３１の下部には雰囲気ガス排出管１
３が設けられている。この排出管はチャンバ側面に設け
られているが、底部に設けられる場合もある。

【００２０】ルツボ３２は、その内側の原料シリコン融
液（湯）２を収容する側には石英ルツボ３２ａが設けら
れ、その外側にはこれを保護する黒鉛ルツボ３２ｂが設
けられている。また、ルツボ３２の外周にはヒータ３４
が、ヒータ３４の外側周囲にはヒータ断熱材３５が配置
されている。ヒータ３４の下部には金属製のヒータ通電
用電極１４が取り付けられて装置外部電源に通じてい
る。この電極１４は、上部をカーボン製とし、金属部が
高温の炉内に露出しないようにすることもある。

【００２１】そして、チャンバ３１の底部３１ａの内壁
面３１ｂに接して湯漏れ受皿１５が配設されている。こ
の湯漏れ受皿１５は図２に示したように底板１５ａと筒
部１５ｂから成り、その接合は立て込みボルトまたは螺
合で接合されている。また、底板と筒部を一体成形した
ものもある。そして、この湯漏れ受皿１５をチャンバ底
部３１ａに嵌め込むことによって受皿底板１５ａはチャ
ンバ底部内壁面３１ｂのほぼ全面に密着する。

【００２２】湯漏れ受皿１５において、ルツボ保持軸３
３やヒータ通電用電極１４等のチャンバ底部３１ａおよ
び湯漏れ受皿底板１５ａを貫通する部材を通す軸スリー
ブ１５ｃは底板１５ａにネジ込みで組立てている（図２
参照）。また、その高さは各箇所において受皿筒部１５
ｂと同レベルとするのが好ましく、底板１５ａと筒部１
５ｂとから得られる湯漏れ受皿１５の内容積は全溶融原
料２の容積以上となるように設定されている。さらに湯
漏れの一部が固化した場合には、体積が膨張する（シリ
コン融液の比重は約２．５４、固体は２．３３）ので湯
漏れ受皿の内容積は、全溶融原料が凝固した時の体積以
上とする方が好ましい。湯漏れ受皿１５の材質は、耐熱
性、耐食性、加工性の点から黒鉛材が適しており、中で
も等方性黒鉛が好ましく使用される。

【００２３】このように構成された単結晶引き上げ装置
１０においては、ルツボ３２内に投入されたシリコン多
結晶原料がヒータ３４により溶融されて溶融原料２が形
成される。この溶融原料２に上方からワイヤで吊下げた
シードホルダに装着した種結晶を浸漬し、ワイヤ及びル
ツボ３２を回転させながら所定の速度で引上げることに
より所定の単結晶棒を成長させることができる。

【００２４】上記単結晶引き上げ装置１０において、例
えばルツボ３２に多結晶原料を投入した時に原料投入の
衝撃に起因してルツボ３２に亀裂が生じると、この亀裂
から融液２がルツボ３２の外部へ流出し、流出した融液
２はルツボの外周壁に沿って下方へ流れ、チャンバ３１
の底部３１ａに向けて落下することになる。

【００２５】ここで、湯漏れ受皿１５を備えた単結晶引
上げ装置１０によれば、チャンバ底部内壁面３１ｂに接
して湯漏れ受皿１５が配設されているため、湯漏れ受皿
１５によって、流出した融液２を収容することができ
る。従って、融液２がルツボ３２の下部機構に達するこ
とを確実に防止し、冷却水の蒸発による水蒸気爆発や、
流出した融液が装置外に溢れ出して作業員に危険を及ぼ
すこと等を確実に防止することができる。

【００２６】しかしながら、このように湯漏れ受皿１５
を設置しただけでは、湯漏れが始まった時刻、すなわ
ち、湯漏れの発生を検出することができず、有効適切な
事故回避手段をとることができない恐れがある。そこ
で、本発明の湯漏れ検出器によってルツボ３２から漏れ
て湯漏れ受皿１５に溜り始めた湯を検出し、湯漏れの発
生自体を素早く検出することによって、警報、運転停止
等の動作を即時に起こすことができるようにし、湯漏れ
が原因で発生する事故を未然に防止することができる。

【００２７】ここで本発明に係る単結晶引上げ装置の湯
漏れ検出器は、図１（ａ）、（ｂ）に示したように、チ
ョクラルスキー法による単結晶引上げ装置１０のチャン
バの底部３１ａでルツボ３２の下部に配設した湯漏れ受
皿１５において、ルツボ３２から漏れてくるシリコン融
液２を検出する湯漏れ検出器２０であって、湯漏れ受皿
１５の底面に設けられ、底面の温度を検出する温度検出
手段および該温度検出手段の検出値の変化により湯漏れ
を検出する湯漏れ検出手段を具備することを特徴として
いる。

【００２８】この場合、温度検出手段を熱電対温度計１
６とし、この熱電対温度計１６を複数具備することがで
きる。具体的には例えば図１（ｃ）に示したように、湯
漏れ受皿底板１５ａ内にキャップ１９を埋め込み、該キ
ャップ１９内にチャンバ底部３１ａを貫通して熱電対１
６と予備熱電対１７を挿入し、熱電対先端をできるだけ
受皿底板１５ａの表面近くに配置する。熱電対の他端は
温度検出手段の検出値の変化により湯漏れを検出する湯
漏れ検出手段（不図示）に接続する。そしてこの温度検
出手段と湯漏れ検出手段から構成される湯漏れ検出器２
０を湯漏れ受皿１５の底板１５ａに複数箇所設置するよ
うにしている（図１（ｂ）参照）。

【００２９】このように温度検出手段を熱電対温度計１
６とすると、瞬時に高感度、高精度の温度測定が可能で
あり、その検出値の変化から湯漏れ検出手段により湯漏
れの有無の判定を容易に行うことができる。また上記し
たように一箇所の湯漏れ検出器２０に熱電対温度計１６
を少なくとも２本備え、１本は予備品１７とすれば、温
度検出の誤作動を防止することができる。さらに上記の
ように温度検出手段を湯漏れ受皿の底板の複数箇所に設
置すれば、湯漏れの検出精度が向上すると共に湯漏れ位
置の把握、湯漏れ量を推定することも可能となり、防災
体制をより確実なものとすることができる。

【００３０】この温度検出手段につながる湯漏れ検出手
段の一例を図３に示した。図３（ｂ）のブロック図に示
したように、温度検出手段である一対の熱電対で発生す
る起電力を測温ユニットで温度に変換し、温度制御ユニ
ットで制御信号を出力し、アラームインターロック機構
で、警報を発するか、インターロックをかける回路を構
成している。

【００３１】この回路による動作フローは、例えば図３
（ａ）に示したように、ルツボ内の原料多結晶を融解す
る加熱電力が加熱開始後、所定電力が予め定められた値
に達したら湯漏れ受皿底板にセットした熱電対温度検出
手段による測温を開始し、熱電対が高温度を検出した場
合（ｔ＞Ｔ₁ 、ｔ：熱電対による検出温度、Ｔ₁ ：警戒
温度）は、アラームを発して警戒態勢に入るようにし、
さらに警戒温度を越えた高温度を検出した場合は（Ｔ₂
＝Ｔ₁ ＋ｙ：切電温度）直ちに運転の電源を落とすこと
とし、湯漏れが原因で引き起こされる事故の危険性を回
避するようにしている。

【００３２】勿論、動作フローはこれに限られるもので
はなく、警戒温度が所定時間継続することによって切電
したり、２本の熱電対が高温を検出した時に切電するよ
うにしてもよい。また、温度の変化速度、すなわち、温
度が急変した時に、アラーム、切電等をするようにして
もよい。

【００３３】本発明に係る単結晶引上げ装置の湯漏れ検
出器の他の形態は、図２に示したように、単結晶引上げ
装置のチャンバの底部３１ａに配設した湯漏れ受皿１５
においてルツボから漏れてくるシリコン融液を検出する
湯漏れ検出器２２であって、湯漏れ受皿１５の上部から
受皿筒部１５ｂに沿って挿入される露出電線１８を受皿
底面に設け、これに電圧を印加し、漏れた湯による露出
電線１８の断線から湯漏れを検出するようにしている。

【００３４】このように湯漏れ検出器２２を構成して、
これに電圧を印加すれば、露出電線１８には常時微弱な
電流が流れているが、ルツボから漏れてきたシリコン融
液がこれにかかると、露出電線１８は一気に融解し、電
気絶縁状態を形成する。この状態を電流あるいは抵抗値
の変化として検出し、湯漏れと判断した場合には、警
報、運転停止等の動作を湯漏れの程度に応じて即時に行
うことができ、重大な事故災害を回避することが可能と
なる。

【００３５】また一箇所の湯漏れ検出器２２を、少なく
とも露出電線１８を２本備えたものとし、１本を予備品
とすれば、湯漏れ検出の誤作動を防止することができ
る。さらに湯漏れ検出器２２を湯漏れ受皿の底面の複数
箇所に設置すれば、湯漏れの検出精度が向上すると共に
湯漏れ位置の把握、湯漏れ量を推定することも可能とな
り、防災体制をより確実なものとすることができる。

【００３６】この露出電線１８からなる湯漏れ検出器２
２の湯漏れ検出手段は、原理的には前記湯漏れ検出器２
０の温度検出手段および測温ユニットを露出電線１８で
置き換えたものとすれば良い。

【００３７】以上述べたように、単結晶引上げ装置に湯
漏れ受皿と本発明の湯漏れ検出器を備えておけば、例え
ルツボから湯漏れが発生したとしても、直ちに湯漏れを
検出し、警報、運転停止等の対応動作を素早く行うこと
ができ、湯漏れが原因で発生する事故を未然に防ぐこと
ができる。特に従来の光学式視覚センサによる湯漏れ検
出方法では検出できなかった最も漏れの危険性の高い原
料多結晶溶解時にも確実に検出することが可能となっ
た。

【００３８】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明
の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同
一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いか
なるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

【００３９】例えば、上記ではＣＺ法でシリコン単結晶
を育成する場合を例に挙げて本発明を説明したが、本発
明はシリコン単結晶の製造のみに限定されるものではな
く、ＣＺ法による単結晶育成装置であれば、いかなる形
態のものであっても本発明を適用できるものであり、本
発明でいうＣＺ法には、融液に磁場を印加するＭＣＺ法
も含まれる他、ＬＥＣ法を用いた化合物半導体等の単結
晶育成装置にも利用できることはいうまでもない。

【００４０】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のＣＺ法単
結晶引上げ装置によれば、その湯漏れ受皿において、不
慮の事故によってシリコン融液がルツボ外へ流出して
も、これを完全に検出することができ、湯漏れ量に応じ
た的確な対応策を素早くとることができる。従って融液
が冷却水配管等の金属部に達するのを防いで、チャンバ
の水蒸気爆発等の危険を未然に回避することができると
いう効果が得られる。特に従来の光学式視覚センサによ
る湯漏れ検出方法では検出できなかった最も漏れの危険
性の高い原料多結晶溶解時にも確実に検出することが可
能となった。従って単結晶引上げ工程の全てにおいて湯
漏れ検出が可能である。また本発明の湯漏れ検出器は汎
用部品、材料で構成することが出来るので、安価で高感
度、高精度の湯漏れ検出器を作製することができ、構造
が簡単なので湯漏れ受皿への設置も安価に行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る湯漏れ検出器として熱電対温度検
出手段を備えた単結晶引上げ装置を示す図面である。 （ａ）単結晶引上げ装置要部の縦断面図、（ｂ）受皿底
部の平面図、（ｃ）ニ組の熱電対温度検出手段を湯漏れ
受皿底板に設置した状態を示す拡大断面図。

【図２】露出電線による湯漏れ検出器を配置した湯漏れ
受皿を示す縦断面図である。

【図３】温度検出手段として熱電対温度計を使用した場
合の湯漏れ検出手段の一例を示す説明図である。 （ａ）動作フロー図、（ｂ）ブロック図。

【図４】従来のＣＺ法で使用される単結晶引上げ装置を
示した説明図である。

【符号の説明】

１…単結晶棒、 ２…シリコン融液（湯、溶融原料）、
３…湯面、 ５…種結晶、 ６…シードチャック、 ７
…ワイヤ、１０、３０…ＣＺ法単結晶引上げ装置、 １
３…雰囲気ガス排出管、１４…ヒータ通電用電極、 １
５…湯漏れ受皿、 １５ａ…受皿底板、１５ｂ…受皿筒
部、 １５ｃ…軸スリーブ、 １６…熱電対、１７…予
備熱電対、 １８…露出電線、 １９…キャップ、２
０、２２…湯漏れ検出器、 ３１…チャンバ（引上げ
室）、３１ａ…チャンバ底部、 ３１ｂ…チャンバ底部
内壁面、 ３２…ルツボ、３２ａ…石英ルツボ、 ３２
ｂ…黒鉛ルツボ、 ３３…ルツボ保持軸、３４…ヒー
タ、 ３５…ヒータ断熱材。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 チョクラルスキー法による単結晶引上げ
   装置のチャンバの底部に配設した湯漏れ受皿においてル
   ツボから漏れてくる融液を検出する湯漏れ検出器であっ
   て、湯漏れ受皿の底板に設けられ、底板の温度を検出す
   る温度検出手段および該温度検出手段の検出値の変化に
   より湯漏れを検出する湯漏れ検出手段を具備することを
   特徴とする単結晶引上げ装置の湯漏れ検出器。
2. 【請求項２】 前記温度検出手段が、熱電対温度計であ
   ることを特徴とする請求項１に記載した単結晶引上げ装
   置の湯漏れ検出器。
3. 【請求項３】 前記熱電対温度計を複数具備することを
   特徴とする請求項２に記載した単結晶引上げ装置の湯漏
   れ検出器。
4. 【請求項４】 チョクラルスキー法による単結晶引上げ
   装置のチャンバの底部に配設した湯漏れ受皿においてル
   ツボから漏れてくる融液を検出する湯漏れ検出器であっ
   て、湯漏れ受皿の上部から挿入される露出電線を底板に
   設け、これに電圧を印加し、漏れた湯による電線の断線
   から湯漏れを検出するものであることを特徴とする単結
   晶引上げ装置の湯漏れ検出器。
5. 【請求項５】 前記請求項１ないし請求項４のいずれか
   １項に記載した湯漏れ検出器を具備することを特徴とす
   る単結晶引上げ装置。
6. 【請求項６】 前記請求項１ないし請求項４のいずれか
   １項に記載した湯漏れ検出器を使用してルツボから湯漏
   れ受皿に漏れてくる融液を検出することを特徴とする湯
   漏れ検出方法。