JP2001291587A - Manufacturing method of organic light emission device and organic light emission device manufactured by the method - Google Patents

Manufacturing method of organic light emission device and organic light emission device manufactured by the method

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JP2001291587A
JP2001291587A JP2001025139A JP2001025139A JP2001291587A JP 2001291587 A JP2001291587 A JP 2001291587A JP 2001025139 A JP2001025139 A JP 2001025139A JP 2001025139 A JP2001025139 A JP 2001025139A JP 2001291587 A JP2001291587 A JP 2001291587A
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organic
organic light
light emitting
manufacturing
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Nobuyuki Ishikawa
信行 石川
Akihiro Senoo
章弘 妹尾
Kazunori Ueno
和則 上野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic light emission device of inexpensive and highly functional full color organic EL display body or the like and its manufacturing method, by homogeneously patterning low molecular (monomer) organic luminous layer for each pigment with a high accuracy by means of a wet patterning method. SOLUTION: In a manufacturing method of an organic light emission device in which a layer which consists of at least an organic material between a pair of electrodes is arranged and in which a voltage is applied between the electrodes and light emission is obtained, the organic material layer is formed by the wet patterning method in which an ink containing the organic material in an hydrophobic organic solvent that has not more than 5 wt.% of solubility in water at the room temperature.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェットパターニ
ング法を用いて有機発光デバイスを製造する方法、及び
該方法により製造された有機発光デバイスに関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a method for manufacturing an organic light emitting device using a wet patterning method, and an organic light emitting device manufactured by the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】有機発光素子(有機EL素子)は、蛍光
性有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成
を有し、前記薄膜に電子および正孔(ホール)を注入し
て再結合させることにより励起子(エキシトン)を生成
させ、このエキシトンが失活する際の光の放出(蛍光・
燐光)を利用して発光させる素子である。
2. Description of the Related Art An organic light-emitting device (organic EL device) has a structure in which a thin film containing a fluorescent organic compound is sandwiched between a cathode and an anode, and electrons and holes are injected into the thin film. The recombination produces excitons (excitons), which emit light when the excitons are deactivated (fluorescence,
This is an element that emits light using phosphorescence.

【0003】この有機EL素子の特徴は、10V以下の
低電圧で100〜100000cd/m2程度の高輝度
の面発光が可能であり、また蛍光物質の種類を選択する
ことにより青色から赤色までの発光が可能なことであ
る。
[0003] The features of this organic EL device are that it can emit a high-luminance surface light of about 100 to 100,000 cd / m 2 at a low voltage of 10 V or less, and can change the color from blue to red by selecting the type of fluorescent substance. Light emission is possible.

【0004】有機EL素子は、安価な大面積フルカラー
表示素子を実現するものとして注目を集めている(電子
情報通信学会技術報告、第89巻、NO.106、49
ページ、1989年)。報告によると、強い蛍光を発す
る有機色素を発光層に使用し、青、緑、赤色の明るい発
光を得ている。これは、薄膜状で強い蛍光を発し、ピン
ホール欠陥の少ない有機色素を用いたことで、高輝度な
フルカラー表示を実現できたと考えられている。
[0004] Organic EL elements have attracted attention as realizing inexpensive large-area full-color display elements (IEICE Technical Report, Vol. 89, Nos. 106, 49).
1989). According to reports, organic dyes that emit strong fluorescence are used in the light-emitting layer, and bright blue, green, and red light is emitted. It is thought that a high-luminance full-color display could be realized by using an organic dye which emits strong fluorescence in a thin film state and has few pinhole defects.

【0005】さらに、特開平5−78655号公報に
は、有機発光層の成分が有機電荷材料と有機発光材料の
混合物からなる薄膜層を設け、濃度消光を防止して発光
材料の選択幅を広げ、高輝度なフルカラー素子とする旨
が提案されている。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-78655 discloses a thin film layer in which the components of the organic light emitting layer are made of a mixture of an organic charge material and an organic light emitting material, thereby preventing concentration quenching and expanding the range of light emitting material selection. It has been proposed to use a high-luminance full-color element.

【0006】また、高分子(ポリマー)有機EL材料に
おいては、実際の製造方法や特にフルカラー表示パネル
の構成及び製造方法については特開平3−269995
号公報において、印刷による製造方法の開示がされてい
るが詳細な開示がない。さらに、特開平10−1237
7号公報において、インクジェットによる製造方法の開
示がされている。
For a polymer organic EL material, an actual manufacturing method, and in particular, a structure and a manufacturing method of a full-color display panel are disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 3-269999.
In this publication, a manufacturing method by printing is disclosed, but there is no detailed disclosure. Further, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 10-1237
In Japanese Patent Application Publication No. 7 (Kokai) No. 7 (Kokai), a manufacturing method using an ink jet is disclosed.

【0007】一方、低分子(モノマー)有機EL材料に
おいて、フルカラー表示パネルの製造方法は米国特許第
5294869号、特開平5−258859号、特開平
5−258860号、特開平5−275172号等の公
報に開示されているように、真空蒸着においてシャドウ
マスクを用いてパターニングする方法が一般的である。
この方法ではマスクの位置精度、開口幅等に限界が有
り、高精細なフルカラー表示パネルを作成することは困
難である。
On the other hand, for a low molecular (monomer) organic EL material, a method for producing a full-color display panel is disclosed in US Pat. No. 5,294,869, JP-A-5-258869, JP-A-5-258860 and JP-A-5-275172. As disclosed in the gazette, a method of patterning using a shadow mask in vacuum deposition is general.
With this method, there are limitations on the positional accuracy of the mask, the opening width, and the like, and it is difficult to produce a high-definition full-color display panel.

【0008】更に、これらを解決する方法として特開平
9−167684号公報に開示されているようなドナー
シートを用いたパターニング方法が提案されているが、
この方法でも発光層は真空蒸着する必要があり、非常に
複雑な製造プロセスとなる。
As a method for solving these problems, a patterning method using a donor sheet as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-167684 has been proposed.
Even in this method, the light emitting layer needs to be vacuum-deposited, which is a very complicated manufacturing process.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】前述のモノマー有機色
素を用いた有機薄膜EL素子により、青、緑、赤の発光
を得ることができる。しかし、よく知られているよう
に、フルカラー表示体を実現するためには、3原色を発
光する有機発光層を画素毎に配置する必要がある。
The organic thin-film EL device using the above-mentioned monomer organic dye can emit blue, green and red light. However, as is well known, in order to realize a full-color display, it is necessary to arrange an organic light-emitting layer for emitting three primary colors for each pixel.

【0010】従来、有機発光層をパターニングする技術
は非常に困難とされていた。原因は、第一に反射電極材
の金属表面が不安定であり、蒸着のパターニング精度が
出ないという点である。第二に正孔注入層および有機発
光層を形成するポリマーや前駆体がフォトリソグラフィ
ー等のパターニング工程に対して耐性が無いという点で
ある。第三に従来の印刷やインクジェット方によるパタ
ーニングにおいて用いられている有機発光層は親水系溶
媒により溶解されており、これらの溶媒では溶媒含水分
による材料劣化が発生し、発光輝度が弱く、発光寿命が
短いという点である。
Heretofore, a technique for patterning an organic light emitting layer has been extremely difficult. The first cause is that the metal surface of the reflective electrode material is unstable and the patterning accuracy of vapor deposition is not high. Second, polymers and precursors forming the hole injection layer and the organic light emitting layer are not resistant to a patterning step such as photolithography. Third, the organic light-emitting layer used in conventional printing and patterning by the ink-jet method is dissolved by a hydrophilic solvent. In these solvents, material deterioration due to solvent-containing moisture occurs, the light emission luminance is weak, and the light emission lifetime is low. Is short.

【0011】本発明は、上述したような課題を解決する
ものであり、その目的は、低分子(モノマー)有機発光
層をウェットパターニング方法により、色素毎に高精細
に均一にパターニングすることにより、安価な高機能フ
ルカラー有機EL表示体等の有機発光デバイス及びその
製造方法を提供することにある。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to pattern a low-molecular (monomer) organic light-emitting layer with high precision and uniformity for each dye by a wet patterning method. It is an object of the present invention to provide an inexpensive organic light emitting device such as a high-performance full-color organic EL display and a method for manufacturing the same.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】即ち、本発明の有機発光
デバイスの製造方法は、一対の電極間に少なくとも有機
材料で構成された層を配し、前記電極間に電圧を印加し
て発光を得る有機発光デバイスの製造方法において、常
温で水分溶解度が5wt%以下の疎水系有機溶媒中に有
機材料を含有するインクを用いたウェットパターニング
法により前記有機材料層を形成することを特徴とする。
That is, according to a method of manufacturing an organic light emitting device of the present invention, a layer made of at least an organic material is arranged between a pair of electrodes, and a voltage is applied between the electrodes to emit light. In the method for manufacturing an organic light emitting device to be obtained, the organic material layer is formed by a wet patterning method using an ink containing an organic material in a hydrophobic organic solvent having a water solubility of 5 wt% or less at room temperature.

【0013】本発明の有機発光デバイスの製造方法にお
いて、前記ウェットパターニング法が、凹版からブラン
ケットに前記インクを受理させた後、当該インクを基板
に転移させるオフセット印刷方法であることが好まし
く、この際、前記インクの粘度が5000CP以下であ
ること、前記インクの表面エネルギーが、20〜60d
yne/cmの範囲にあることがより好ましい。
In the method for manufacturing an organic light-emitting device according to the present invention, it is preferable that the wet patterning method is an offset printing method in which the ink is transferred from an intaglio to a blanket and then transferred to a substrate. The viscosity of the ink is 5,000 CP or less, and the surface energy of the ink is 20 to 60 d.
More preferably, it is in the range of yne / cm.

【0014】また、前記ウェットパターニング法が、前
記インクの微小液滴を飛ばして定着させるインクジェッ
ト印刷方法であることが好ましく、この際、前記インク
は、粘度が100CP以下であること、前記インクは、
表面エネルギーが、20〜60dyne/cmの範囲に
あることがより好ましい。
Further, it is preferable that the wet patterning method is an ink jet printing method in which fine droplets of the ink are ejected and fixed, wherein the ink has a viscosity of 100 CP or less.
More preferably, the surface energy is in the range of 20 to 60 dyne / cm.

【0015】また、前記ウェットパターニング法により
赤、緑、青の各画素に対応する発光色を有する発光層を
形成することが好ましく、この際、赤、緑、青の各画素
を分離する隔壁を形成する工程を有することがより好ま
しい。
Further, it is preferable to form a light emitting layer having a light emitting color corresponding to each of the red, green and blue pixels by the wet patterning method. At this time, a partition for separating each of the red, green and blue pixels is formed. It is more preferable to have a step of forming.

【0016】また、前記有機材料の分子量が5000以
下であることが好ましい。
The molecular weight of the organic material is preferably 5,000 or less.

【0017】また、前記ウェットパターニング法により
形成された前記有機材料層がアモルファス層であること
が好ましい。また、前記有機材料の融点mpとガラス転
移点Tgとの差が50℃以上あることが好ましい。
Preferably, the organic material layer formed by the wet patterning method is an amorphous layer. Further, the difference between the melting point mp of the organic material and the glass transition point Tg is preferably 50 ° C. or more.

【0018】また、前記有機材料が、発光材料、正孔注
入材料、電子注入材料、正孔輸送材料、電子輸送材料よ
り選ばれる少なくとも1種として機能することが好まし
い。
It is preferable that the organic material functions as at least one selected from a luminescent material, a hole injection material, an electron injection material, a hole transport material, and an electron transport material.

【0019】また、前記有機材料が、正孔注入材料又は
正孔輸送材料に発光材料をドーピングしてなること、電
子注入材料又は電子輸送材料に発光材料をドーピングし
てなること、または正孔および電子両方を輸送可能な材
料に発光材料をドーピングしてなることが好ましい。
The organic material may be formed by doping a hole-injecting material or a hole-transporting material with a light-emitting material, by doping an electron-injecting material or an electron-transporting material with a light-emitting material, It is preferable that a material capable of transporting both electrons is doped with a light emitting material.

【0020】また、前記一対の電極間に前記有機材料層
を複数配することが好ましい。
It is preferable that a plurality of the organic material layers are arranged between the pair of electrodes.

【0021】また、基板上に前記一方の電極を形成した
後、該電極上に前記有機材料層を含む複数層を形成する
工程、及び該複数層上に前記他方の電極を形成する工程
を有することが好ましく、この際、前記工程を用いてパ
ッシブマトリクス配線構造を形成することがより好まし
い。
The method may further include, after forming the one electrode on the substrate, forming a plurality of layers including the organic material layer on the electrode, and forming the other electrode on the plurality of layers. Preferably, at this time, it is more preferable to form a passive matrix wiring structure using the above steps.

【0022】また、基板上に複数の薄膜トランジスタ、
及び該トランジスタに接続された前記一方の電極を形成
する工程、該電極上に前記有機材料層を含む複数層を形
成する工程、及び該複数層上に前記他方の電極を形成す
る工程を有することが好ましく、この際、前記工程を用
いてアクティブマトリクス配線構造を形成することがよ
り好ましい。
Also, a plurality of thin film transistors on a substrate,
And forming the one electrode connected to the transistor, forming a plurality of layers including the organic material layer on the electrode, and forming the other electrode on the plurality of layers. In this case, it is more preferable to form an active matrix wiring structure using the above-described steps.

【0023】また、前記有機材料層の層厚を0.005
〜0.3μmの範囲とすることが好ましい。
Further, the thickness of the organic material layer is 0.005.
It is preferable to set it in the range of 0.3 μm.

【0024】また、前記疎水系有機溶媒は、クロロホル
ム、トルエン、四塩化炭素、ジクロロエタン、テトラク
ロロエタン、キシレン、シメン、シクロヘキサノン、オ
クチルベンゼン、ドデシルベンゼン、デカリン、キノリ
ン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、トリクロロベ
ンゼン、チモール、ニトロベンズアルデヒド、ニトロベ
ンゼン、二硫化炭素、2−ヘプタノン、ベンゼン、ター
ピネオール、ブチルカルビトールアセテート、セルソル
ブ類から選択されることが好ましい。
The hydrophobic organic solvents include chloroform, toluene, carbon tetrachloride, dichloroethane, tetrachloroethane, xylene, cymene, cyclohexanone, octylbenzene, dodecylbenzene, decalin, quinoline, chlorobenzene, dichlorobenzene, trichlorobenzene, thymol. Nitrobenzaldehyde, nitrobenzene, carbon disulfide, 2-heptanone, benzene, terpineol, butyl carbitol acetate, and cellosolves.

【0025】更に、本発明の有機発光デバイスは、上記
方法により製造されたことを特徴とする。
Further, an organic light emitting device according to the present invention is characterized by being manufactured by the above method.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0027】図3は、本発明により得られるアクティブ
マトリクス型有機ELフルカラー表示体の一例を示す部
分上面図である。
FIG. 3 is a partial top view showing an example of an active matrix type organic EL full-color display obtained by the present invention.

【0028】図3に示すようなアクティブマトリクス型
有機ELフルカラー表示体は、基板上に形成された信号
線301、ゲート線302、画素電極303および薄膜
トランジスタ304上に、赤、緑、青色の有機発光層3
05,306,307を配して構成されれる。ここで、
信号線301は、薄膜トランジスタ304のソースに、
ゲート線302は、薄膜トランジスタ304のゲート
に、画素電極303は、薄膜トランジスタ304のドレ
インにそれぞれ接続されている。有機発光層305、3
06、307は、発光性の有機材料を、疎水系有機溶媒
に溶解させたものをウェットパターニング方法、つまり
印刷法によりパターニングすることで形成されている。
An active matrix type organic EL full-color display as shown in FIG. 3 has red, green and blue organic light-emitting elements on a signal line 301, a gate line 302, a pixel electrode 303 and a thin film transistor 304 formed on a substrate. Layer 3
05, 306, and 307. here,
The signal line 301 is connected to the source of the thin film transistor 304,
The gate line 302 is connected to the gate of the thin film transistor 304, and the pixel electrode 303 is connected to the drain of the thin film transistor 304. Organic light emitting layers 305, 3
Reference numerals 06 and 307 are formed by dissolving a luminescent organic material in a hydrophobic organic solvent and patterning it by a wet patterning method, that is, a printing method.

【0029】有機材料としては、低分子(モノマー)有
機材料が好ましく、このうちでも、純度が上げられ、特
性の安定化が得られるため、分子量5000以下のもの
が好ましく、発光材料、正孔注入材料、電子注入材料、
正孔輸送材料、電子輸送材料より選ばれる少なくとも1
種を用いることができる。そして、正孔注入材料又は正
孔輸送材料に発光材料をドーピングして構成することも
できるし、電子注入材料又は電子輸送材料に発光材料を
ドーピングすることにより各色の選択の幅を広げること
ができる。更に、一対の電極間に複数の有機材料層を配
して発光デバイスを構成することもできる。
As the organic material, a low molecular (monomer) organic material is preferable. Among them, those having a molecular weight of 5,000 or less are preferable because the purity is increased and the characteristics are stabilized. Materials, electron injection materials,
At least one selected from a hole transport material and an electron transport material
Seeds can be used. Then, a light-emitting material can be doped into the hole-injection material or the hole-transport material, or the light-emitting material can be doped into the electron-injection material or the electron-transport material, so that a wider range of colors can be selected. . Further, a light-emitting device can be formed by disposing a plurality of organic material layers between a pair of electrodes.

【0030】有機材料層、特に有機発光層を発光効率の
よいものとするには、有機材料層をアモルファス層とし
て構成することが考えられるが、このためには、融点m
pとガラス転移点Tgとの差が50℃以上である材料を
採用するのが好ましい。
In order to improve the luminous efficiency of the organic material layer, especially the organic light emitting layer, it is conceivable to configure the organic material layer as an amorphous layer.
It is preferable to use a material having a difference between p and the glass transition point Tg of 50 ° C. or more.

【0031】各色の有機発光材料は、トリアリールアミ
ン誘導体、スチルベン誘導体、ポリアリーレン、芳香族
縮合多環化合物、芳香族複素環化合物、芳香族複素縮合
環化合物、金属錯体化合物等及びこれらの単独オリゴ体
あるいは複合オリゴ体等から採用できるが、これに限ら
れる物ではない。
Organic light-emitting materials of each color include triarylamine derivatives, stilbene derivatives, polyarylenes, aromatic condensed polycyclic compounds, aromatic heterocyclic compounds, aromatic heterocondensed ring compounds, metal complex compounds and the like, and single oligos thereof. It can be adopted from a complex or a complex oligo, but is not limited thereto.

【0032】また、正孔注入及び輸送材料としては、可
溶性のフタロシアニン化合物、トリアリールアミン化合
物、導電性高分子、ペリレン系化合物、Eu錯体等が使
用できるが、これに限られるものではない。
As the hole injecting / transporting material, a soluble phthalocyanine compound, a triarylamine compound, a conductive polymer, a perylene-based compound, an Eu complex, or the like can be used, but is not limited thereto.

【0033】また、電子注入及び輸送材料としては、ア
ルミに8−ヒドロキシキノリンの3量体が配位したAl
3、アゾメチン亜鉛錯体、ジスチリルビフェニル誘導
体系等が使用できるが、これに限られるものではない。
As an electron injecting / transporting material, aluminum having a trimer of 8-hydroxyquinoline coordinated with aluminum is used.
q 3 , azomethine zinc complex, distyrylbiphenyl derivative and the like can be used, but are not limited thereto.

【0034】ウエットパターニング法により有機材料層
を形成するに際しては、有機材料を常温で水分溶解度が
5wt%以下の疎水系有機溶媒に溶解させて用いる。こ
の際、疎水性有機溶媒に加えて少量の親水性溶媒を用い
てもよいが、その場合も混合溶媒として常温で水分溶解
度が5wt%以下となるように混合する。
In forming the organic material layer by the wet patterning method, the organic material is used by dissolving it in a hydrophobic organic solvent having a water solubility of 5 wt% or less at room temperature. At this time, a small amount of a hydrophilic solvent may be used in addition to the hydrophobic organic solvent. In this case, however, the mixture is mixed so that the water solubility at room temperature is 5 wt% or less at room temperature.

【0035】疎水性有機溶媒としては、クロロホルム、
トルエン、四塩化炭素、ジクロロエタン、テトラクロロ
エタン、キシレン、シメン、シクロヘキサノン、オクチ
ルベンゼン、ドデシルベンゼン、デカリン、キノリン、
クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、トリクロロベンゼ
ン、チモール、ニトロベンズアルデヒド、ニトロベンゼ
ン、二硫化炭素、2−ヘプタノン、ベンゼン、ターピネ
オール、ブチルカルビトールアセテート、セルソルブ類
等の単一もしくは混合溶媒が好適に使用できるが、これ
に限られるものではない。
As the hydrophobic organic solvent, chloroform,
Toluene, carbon tetrachloride, dichloroethane, tetrachloroethane, xylene, cymene, cyclohexanone, octylbenzene, dodecylbenzene, decalin, quinoline,
Single or mixed solvents such as chlorobenzene, dichlorobenzene, trichlorobenzene, thymol, nitrobenzaldehyde, nitrobenzene, carbon disulfide, 2-heptanone, benzene, terpineol, butyl carbitol acetate and cellosolves can be suitably used. It is not limited.

【0036】また、有機発光層、電子注入及び輸送層、
正孔注入及び輸送層いずれの層においても適当な結着樹
脂中に各機能物質を分散して使用することも可能であ
る。
An organic light emitting layer, an electron injection and transport layer,
In any of the hole injecting and transporting layers, it is also possible to disperse and use each functional substance in an appropriate binder resin.

【0037】有機発光層は、正孔輸送等の各単機能を持
つ層であってもよいし、複合機能を持つ層であってもよ
い。更に、有機発光層とは別に、正孔輸送等の機能を持
つ層を別に形成してもよく、この際、この別に設ける層
もウエットパターニング法で形成し、有機材料層を積層
構造とすることにより、発光効率を向上し、製造プロセ
スを簡略化できる。
The organic light-emitting layer may be a layer having a single function such as hole transport or a layer having a composite function. Further, separately from the organic light-emitting layer, a layer having a function of transporting holes and the like may be formed separately. In this case, the layer provided separately is also formed by a wet patterning method, and the organic material layer has a laminated structure. Thereby, the luminous efficiency can be improved and the manufacturing process can be simplified.

【0038】有機発光層の膜厚は0.005〜0.3μ
m程度必要であり、好ましくは0.005〜0.15μ
mとするのがよい。また、有機材料層を積層構造とする
場合には、各々の層が前記範囲の膜厚であることが好ま
しい。
The thickness of the organic light emitting layer is 0.005 to 0.3 μm.
m, preferably 0.005 to 0.15 μm
m. In the case where the organic material layers have a laminated structure, each layer preferably has a thickness in the above range.

【0039】本発明で採用されるウェットパターニング
方法としては、例えば、高精度高精細のパターニングが
低コストで安定的に形成できるオフセット印刷方法、低
粘度インクのパターニングに適しているインクジェット
印刷方法等が挙げられるが、必ずしもこれらに限定され
るものではない。
Examples of the wet patterning method employed in the present invention include an offset printing method capable of stably forming high-precision, high-definition patterning at low cost and an inkjet printing method suitable for patterning low-viscosity ink. Although it is mentioned, it is not necessarily limited to these.

【0040】オフセット印刷機は、枚葉の校正印刷機を
基本とするが、紙に印刷する一般的な水無し平版印刷機
や凹版印刷機よりも印刷位置精度や印刷条件の設定が精
度良くできるように改良したものが良い。
The offset printing press is basically a sheet-fed proof printing press, but the printing position accuracy and the printing conditions can be set with higher accuracy than a general waterless lithographic printing press or intaglio printing press for printing on paper. It is better to improve it.

【0041】オフセット印刷機を用いた有機材料層の形
成方法を図4を参照しながら説明する。図4は、オフセ
ット印刷方法の工程を示した模式図である。図4におい
て、401は印刷ステージ、402は凹版、403はイ
ンク(有機材料)吐出器、404はインク溜り、405
はドクターブレード、406はブラン胴、407はシリ
コンよりなるブランケット、408は受理インク、40
9はブラン胴回転方向、410は印刷ステージ移動方
向、411は被印刷基板、412は転移インクである。
A method for forming an organic material layer using an offset printing machine will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a schematic view showing the steps of the offset printing method. 4, reference numeral 401 denotes a printing stage; 402, an intaglio; 403, an ink (organic material) ejector; 404, an ink reservoir;
Is a doctor blade, 406 is a blanket cylinder, 407 is a blanket made of silicon, 408 is a receiving ink, 40
Reference numeral 9 denotes a blanket cylinder rotation direction, 410 denotes a printing stage moving direction, 411 denotes a substrate to be printed, and 412 denotes a transfer ink.

【0042】図4(a)に示すように、まず、凹版40
2にはインク吐出器403より、有機材料を疎水系溶媒
に溶かして構成したインクを滴下する。次いで、ドクタ
ーブレード405でかきとりながら凹版402の凹部に
インクを充填する。ブラン胴406に張付けたブランケ
ット407と凹版402を一定の圧力で接触させ、凹版
402に充填したインクをブランケット407の表面に
受理させる。そして、図4(b)に示すように、このブ
ランケット407と被印刷基板である有機EL表示体の
基板411とを一定の印圧で接触させて、ブランケット
表面より基板表面にインクを転移させる。
As shown in FIG. 4A, first, an intaglio 40
2, ink composed of an organic material dissolved in a hydrophobic solvent is dropped from an ink ejector 403. Next, ink is filled into the concave portions of the intaglio 402 while scraping with the doctor blade 405. The blanket 407 attached to the blanket cylinder 406 is brought into contact with the intaglio 402 at a constant pressure, and the ink filled in the intaglio 402 is received on the surface of the blanket 407. Then, as shown in FIG. 4B, the blanket 407 is brought into contact with the substrate 411 of the organic EL display, which is the substrate to be printed, at a constant printing pressure to transfer ink from the blanket surface to the substrate surface.

【0043】オフセット印刷に用いるインクは5000
CP以下の粘度であることが好ましい。膜厚やパターン
形状、さらにはブランケットの表面物性や凹版の表面物
性によりインク粘度は一概に決めることは出来ないが、
一般に高粘度であると凹版への充填性が損なわれ、気泡
を巻き込み易い。特に、膜厚(WET)が薄い場合はさ
らに低粘度であることが好ましく、100CP以下が好
ましい。
The ink used for offset printing is 5000
The viscosity is preferably equal to or less than CP. The ink viscosity cannot be determined unequivocally depending on the film thickness and pattern shape, as well as the surface properties of the blanket and the intaglio.
In general, when the viscosity is high, the filling property of the intaglio plate is impaired, and air bubbles are easily entrained. In particular, when the film thickness (WET) is thin, the viscosity is more preferably lower, and preferably 100 CP or less.

【0044】また、印刷のインクの受渡は凹版、ブラン
ケット、被印刷体(基板)の表面エネルギーのバランス
で決まる。順に表面エネルギーが大きいほうが良く、基
板表面を紫外線やプラズマを用いて発生させたオゾンを
用いて表面を活性化させて表面エネルギーを大きくして
いくこともある。したがって、インクの表面エネルギー
もこれらの表面において一定の濡れ性を持つ範囲の値と
する必要があり、一般的には20〜60dyne/cm
の範囲、好ましくは28〜50dyne/cmの範囲と
するのがよい。
The delivery of printing ink is determined by the balance of the surface energy of the intaglio, blanket, and printing medium (substrate). The higher the surface energy is, the better, and the surface energy may be increased by activating the surface using ozone generated on the substrate surface using ultraviolet light or plasma. Therefore, the surface energy of the ink also needs to be a value within a range having a certain wettability on these surfaces, and generally 20 to 60 dyne / cm.
, Preferably in the range of 28 to 50 dyne / cm.

【0045】次に、インクジェット印刷機による有機材
料層の形成方法を図6を参照しながら説明する。図6
は、インクジェット描画装置の模式図である。図6にお
いて、601はインクジェットヘッド、602はXYス
テージ、603は吐出インク(有機材料)、604はガ
ラス等の基板、605は隔壁、606はX軸駆動系、6
07はY軸駆動系である。
Next, a method of forming an organic material layer using an ink jet printer will be described with reference to FIG. FIG.
1 is a schematic diagram of an inkjet drawing apparatus. 6, reference numeral 601 denotes an inkjet head; 602, an XY stage; 603, a discharge ink (organic material); 604, a substrate such as glass; 605, a partition; 606, an X-axis drive system;
Reference numeral 07 denotes a Y-axis drive system.

【0046】ここで示したインクジェット描画装置は、
半導体製造装置であるステッパーを基本にして構成して
あり、X軸駆動系606、及びY軸駆動系607を駆動
させることで、精密に基板604を移動させることがで
き、所望の位置に有機材料を含有するインク603を吐
出させることができる。インクジェットヘッド601
は、熱エネルギーを利用した吐出方式である所謂バブル
ジェット(登録商標)方式、あるいは、圧電素子を用い
たピエゾジェット方式のいずれをも採用できる。。
The ink jet drawing apparatus shown here is:
It is configured on the basis of a stepper which is a semiconductor manufacturing apparatus. By driving the X-axis drive system 606 and the Y-axis drive system 607, the substrate 604 can be precisely moved, and the organic material can be moved to a desired position. Can be ejected. Inkjet head 601
As a method, a so-called bubble jet (registered trademark) method, which is a discharge method using thermal energy, or a piezo jet method using a piezoelectric element can be adopted. .

【0047】インクジェット印刷に用いるインクは、吐
出、定着を安定的に行うためには、100CP以下の粘
度であることが好ましい。吐出方式により、使用できる
粘度範囲に差異があるが、一般に吐出エネルギーの小さ
なインクジェット方式では高粘度インクの吐出は出来な
い。特に、吐出量が少量の膜厚(WET)が薄い場合は
さらに低粘度であることが好ましく、20CP以下が好
ましい。また、画素部の印刷部と隔壁等の非印刷部との
表面エネルギー差を用いて印刷形状精度を得る方式が一
般的である為、印刷部と非印刷部との表面エネルギー差
を大きくしてもよい。インクの表面エネルギーを考慮す
ると、表面エネルギーは、一般的には20〜60dyn
e/cmの範囲、好ましくは28〜50dyne/cm
の範囲とするのがよい。
The ink used for ink-jet printing preferably has a viscosity of 100 CP or less in order to stably perform ejection and fixing. Although there is a difference in the usable viscosity range depending on the ejection method, in general, a high-viscosity ink cannot be ejected by an inkjet method having a small ejection energy. In particular, when the film thickness (WET) with a small discharge amount is small, the viscosity is more preferably lower, and preferably 20 CP or less. In addition, since a method of obtaining printing shape accuracy using a surface energy difference between a printed portion of a pixel portion and a non-printed portion such as a partition wall is generally used, the surface energy difference between the printed portion and the non-printed portion is increased. Is also good. In consideration of the surface energy of the ink, the surface energy is generally 20 to 60 dyn.
e / cm, preferably 28 to 50 dyne / cm
It is good to be in the range of.

【0048】また、インクジェット印刷法においては、
高精度高精細化の観点から、基板604上に、赤、緑、
青の各画素を分離する隔壁605を、オフセット印刷ま
たはフォトリソ法等により形成することが好ましい。隔
壁605用のインクは、有機材料又はこれに添加された
溶媒等に対して耐久性があり、熱又は光により重合する
樹脂が良い。例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等が
挙げられる。色は特に制限されないが例えば黒等を使用
するとブラックマトリクスの代わりもしくは補完をする
ことが出来る。
In the ink jet printing method,
From the viewpoint of high precision and high definition, red, green,
It is preferable to form the partition 605 for separating each blue pixel by offset printing, photolithography, or the like. The ink for the partition 605 is preferably a resin that is durable to an organic material or a solvent added thereto, and is polymerized by heat or light. For example, an epoxy resin, an acrylic resin, or the like can be used. Although the color is not particularly limited, for example, when black is used, it can be used instead of or complement the black matrix.

【0049】[0049]

【実施例】以下、具体的な実施例を示し、本発明を説明
するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to specific examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0050】(実施例1)本実施例は、図3に示したよ
うなアクティブマトリクス型有機ELフルカラー表示体
を作製した例である。
Example 1 This example is an example in which an active matrix type organic EL full-color display as shown in FIG. 3 was manufactured.

【0051】図1に示すように、ガラス基板101上に
信号線109,ゲート線110,薄膜トランジスタ10
2を形成してから、ITO透明画素電極103を形成し
た。ここで、薄膜トランジスタのソースは、信号線10
9に接続され、ゲートは、ゲート線110に、ドレイン
は、画素電極103にそれぞれ接続されている。
As shown in FIG. 1, a signal line 109, a gate line 110, and a thin film transistor 10 are formed on a glass substrate 101.
After forming No. 2, an ITO transparent pixel electrode 103 was formed. Here, the source of the thin film transistor is connected to the signal line 10.
9, the gate is connected to the gate line 110, and the drain is connected to the pixel electrode 103.

【0052】次に、正孔注入材料としてトリフェニルア
ミン6量体(TPA−6:分子量1461、融点277
℃、Tg156℃)をトルエンに溶解し0.5%溶液を
調整した。こうして得られた溶液をスピンコート法によ
り基板101上にコーティングした。加熱乾燥(80
℃、10分)することによって、厚さ0.05μmの正
孔注入層104が形成された。
Next, triphenylamine hexamer (TPA-6: molecular weight 1461, melting point 277) was used as a hole injection material.
(Tg, 156 ° C) in toluene to prepare a 0.5% solution. The solution thus obtained was coated on the substrate 101 by spin coating. Heat drying (80
C. for 10 minutes) to form a hole injection layer 104 having a thickness of 0.05 μm.

【0053】次に、図4に示すオフセット印刷装置を用
いて、赤、緑、青色を発色する発光材料を深さ15μm
の凹版402にドクターブレード405で充填した後、
シリコンブランケット407を押し込み量50μmの印
圧、速度20mm/sの速度で凹版402より受理さ
せ、同様の速度と印圧で基板411に転移させることに
より、パターンを印刷し、厚さ0.05μmの有機発光
層105、106、107を形成した(乾燥条件:80
℃、10分)。
Next, using an offset printing apparatus shown in FIG. 4, a luminescent material for emitting red, green, and blue light was deposited at a depth of 15 μm.
After filling the intaglio 402 with the doctor blade 405,
A pattern was printed by receiving a silicon blanket 407 from the intaglio 402 at a printing pressure of 50 μm in indentation at a speed of 20 mm / s at a speed of 20 mm / s and transferring the pattern to the substrate 411 at the same speed and printing pressure to print a pattern having a thickness of 0.05 μm. Organic light emitting layers 105, 106 and 107 were formed (drying conditions: 80)
° C, 10 minutes).

【0054】青色発光材料には9,9−ジオクチルフル
オレンの5量体(DOFL−5:分子量1945、融点
210℃、Tg123℃)、緑色発光材料には1.0w
t%のクマリン(coumarin)をDOFL−5に
ドープしたもの、赤色発光材料には1.0wt%の4−
(ジシアノメチレン)−2−メチル−6−(4−ジメチ
ルアミノスチリル)−4−H−ピラン(DCM)をDO
FL−5にドープしたものを使用した。各色発光材料は
トルエンを溶媒として、1.0wt%の濃度で溶解させ
て後、ターピネオールで等倍希釈し、0.5wt%溶液
とした。
A pentamer of 9,9-dioctylfluorene (DOFL-5: molecular weight 1945, melting point 210 ° C., Tg 123 ° C.) is used for a blue light emitting material, and 1.0 watts for a green light emitting material.
DOFL-5 doped with t% coumarin, 1.0% by weight of 4-wt.
(Dicyanomethylene) -2-methyl-6- (4-dimethylaminostyryl) -4-H-pyran (DCM)
What was doped into FL-5 was used. Each color light emitting material was dissolved in toluene at a concentration of 1.0 wt% using a solvent, and then diluted with terpineol at the same magnification to obtain a 0.5 wt% solution.

【0055】最後に、厚さ0.1〜0.2μmのMgA
g反射電極(Mg:Ag=10:1)108を蒸着法
(レート:10Å/s、真空度:10-5〜10-6Tor
r)により形成した。これにより、アクティブフルカラ
ー有機EL表示体(全体寸法:40mm×40mm、全
体寸法:0.4mm×0.4mm)が完成した。得られ
た有機EL表示体を定電流駆動(1/80duty、低
電圧:6V)させたところ、長時間に渡って安定した発
光が得られた。
Finally, a 0.1-0.2 μm thick MgA
g reflective electrode (Mg: Ag = 10: 1) 108 is vapor-deposited (rate: 10 ° / s, degree of vacuum: 10 -5 to 10 -6 Torr)
r). Thus, an active full-color organic EL display (overall dimensions: 40 mm × 40 mm, overall dimensions: 0.4 mm × 0.4 mm) was completed. When the obtained organic EL display was driven at a constant current (1/80 duty, low voltage: 6 V), stable light emission was obtained over a long period of time.

【0056】(実施例2)本実施例は、図3に示したよ
うなアクティブマトリクス型有機ELフルカラー表示体
を作製した例である。
(Embodiment 2) In this embodiment, an active matrix type organic EL full-color display as shown in FIG. 3 is manufactured.

【0057】図2に示すように、ガラス基板201上に
信号線209,ゲート線210,薄膜トランジスタ20
2を形成してから、AlLi反射画素電極(Li1wt
%)203をマスク蒸着(レート:10Å/s、真空
度:10-5〜10-6Torr)により形成した。トラン
ジスタと配線の接続は、実施例1と同様である。
As shown in FIG. 2, a signal line 209, a gate line 210, and a thin film transistor 20 are formed on a glass substrate 201.
2 and then forming an AlLi reflective pixel electrode (Li1wt
%) 203 was formed by mask evaporation (rate: 10 ° / s, degree of vacuum: 10 -5 to 10 -6 Torr). The connection between the transistor and the wiring is the same as in the first embodiment.

【0058】次に、図4に示すオフセット印刷機を用い
て、実施例1で用いた赤、緑、青色を発色する発光材料
を、トルエンを溶媒として1.0wt%溶解させた後、
ターピネオールで等倍希釈した0.5wt%溶液を調整
した。こうして得られた溶液を実施例1と同様にしてパ
ターン印刷し、厚さ0.05μmの有機発光層205、
206、207を形成した。
Next, using the offset printing machine shown in FIG. 4, the light-emitting material emitting red, green, and blue colors used in Example 1 was dissolved in toluene at a concentration of 1.0 wt% using toluene as a solvent.
A 0.5 wt% solution diluted 1: 1 with terpineol was prepared. The solution thus obtained was pattern-printed in the same manner as in Example 1, and the organic light-emitting layer 205 having a thickness of 0.05 μm was printed.
206 and 207 were formed.

【0059】次に、正孔注入材料として実施例1と同様
にトルエンに溶解させた、0.5%溶液のTPA−6を
イクストリュージョン法によりコーティングした。加熱
乾燥することによって、厚さ0.05μmの正孔注入層
204が形成された。
Next, as a hole injection material, a 0.5% solution of TPA-6 dissolved in toluene as in Example 1 was coated by an extrusion method. By heating and drying, a hole injection layer 204 having a thickness of 0.05 μm was formed.

【0060】最後に、ITO透明電極208をDCスパ
ッタ法により形成した。これにより、実施例1と同サイ
ズのアクティブフルカラー有機EL表示体が完成した。
得られた有機EL表示体を実施例1と同じ条件で定電流
駆動させたところ、長時間に渡って安定した発光が得ら
れた。
Finally, an ITO transparent electrode 208 was formed by DC sputtering. Thus, an active full-color organic EL display having the same size as that of Example 1 was completed.
When the obtained organic EL display was driven at a constant current under the same conditions as in Example 1, stable light emission was obtained over a long period of time.

【0061】(実施例3)本実施例は、図3に示したよ
うなアクティブマトリクス型有機ELフルカラー表示体
を作製した例である。
Embodiment 3 In this embodiment, an active matrix type organic EL full-color display as shown in FIG. 3 is manufactured.

【0062】図8に示すように、ガラス基板801上に
信号線809,ゲート線810,薄膜トランジスタ80
2を形成してから、ITO透明画素電極803を形成し
た。
As shown in FIG. 8, a signal line 809, a gate line 810, and a thin film transistor 80 are formed on a glass substrate 801.
After forming No. 2, an ITO transparent pixel electrode 803 was formed.

【0063】次に、図4に示すオフセット印刷装置によ
り隔壁パターンを印刷し、60℃30分の加熱により、
高さ0.1μmの隔壁811を形成した。隔壁材料には
熱硬化性アクリル樹脂(JSR社製オプトマーSSの高
粘度タイプ(4000CPS))を用いた。
Next, a partition pattern is printed by the offset printing apparatus shown in FIG.
A partition 811 having a height of 0.1 μm was formed. A thermosetting acrylic resin (Optmer SS high viscosity type (4000 CPS) manufactured by JSR) was used as a partition wall material.

【0064】有機発光層を構成する有機発光材料として
テトラフェニルブタジエン(TPB:分子量516、融
点175.6℃、Tg63℃)を用い、トルエンを溶媒
として0.5wt%溶液を調製した。正孔注入材料とし
てTPA−6のトルエン0.5wt%溶液を調整した。
これらの溶液を用いて、2層を積層することで青色の発
光材料とした。
As the organic light emitting material constituting the organic light emitting layer, tetraphenylbutadiene (TPB: molecular weight: 516, melting point: 175.6 ° C., Tg: 63 ° C.) was used to prepare a 0.5 wt% solution using toluene as a solvent. A 0.5 wt% solution of TPA-6 in toluene was prepared as a hole injection material.
A blue light-emitting material was obtained by stacking two layers using these solutions.

【0065】同様に、有機発光材料として、DPVBi
(分子量952、融点352.8℃、Tg168.8
℃)にlumogen red(5mol%)をドーピ
ングしたトルエン0.5wt%溶液を調製すると共に、
正孔注入材料としてTPA−6のトルエン0.5wt%
溶液を調整した。これらの溶液を用いて、2層を積層す
ることで赤色の発光材料とした。
Similarly, DPVBi is used as an organic light emitting material.
(Molecular weight 952, melting point 352.8 ° C., Tg 168.8)
C), and a 0.5 wt% solution of toluene doped with lumogen red (5 mol%) is prepared.
0.5wt% of TPA-6 toluene as hole injection material
The solution was prepared. Using these solutions, a red light-emitting material was obtained by laminating two layers.

【0066】更に、有機発光材料として、Alq3(分
子量459.44、融点300℃以上、Tg300℃以
上)にキナクリドン誘導体(QD)をドープしたトルエ
ン0.5wt%溶液を調製すると共に、正孔注入材料と
してTPA−6のトルエン0.5wt%溶液を調整し
た。これらの溶液を用いて、2層を積層することで緑色
の発光材料とした。
Further, as an organic light emitting material, a 0.5 wt% toluene solution of Alq 3 (molecular weight 459.44, melting point 300 ° C. or more, Tg 300 ° C. or more) doped with a quinacridone derivative (QD) was prepared, and hole injection was performed. A 0.5 wt% solution of TPA-6 in toluene was prepared as a material. Using these solutions, a green light-emitting material was obtained by laminating two layers.

【0067】次に、図6に示すキヤノン製BJヘッドを
搭載したキヤノン製描画装置を用いて隔壁811に区切
られたセル内に赤、緑、青色を発色する発光材料を含有
する上述の溶液を二層吐出積層し、厚さ0.05μm
(正孔注入層0.03μm、発色層0.02μm)の有
機発光層805、806、807を形成した。
Next, the above-mentioned solution containing a light-emitting material emitting red, green, and blue colors was placed in a cell partitioned by a partition 811 using a Canon drawing apparatus equipped with a Canon BJ head shown in FIG. Two layers are laminated and ejected, thickness 0.05μm
Organic light emitting layers 805, 806 and 807 (hole injection layer 0.03 μm, coloring layer 0.02 μm) were formed.

【0068】その上に、電子注入材及び輸送材としてA
lq3のトルエン0.5wt%溶液をイクストリュージ
ョン法によりコーティングした。加熱処理により、厚さ
0.05μmの電子注入及び輸送層804が形成され
た。
Further, A as an electron injection material and a transport material
A 0.5 wt% solution of lq 3 in toluene was coated by the extrusion method. By the heat treatment, an electron injection and transport layer 804 having a thickness of 0.05 μm was formed.

【0069】最後に、実施例1と同様にして、厚さ0.
1〜0.2μmのMgAg反射電極808を蒸着法によ
り形成した。これにより、実施例1と同サイズのアクテ
ィブフルカラー有機EL表示体が完成した。得られた有
機EL表示体を実施例1と同じ条件で定電流駆動させた
ところ、長時間に渡って安定した発光が得られた。
Finally, in the same manner as in the first embodiment, the thickness
A MgAg reflective electrode 808 having a thickness of 1 to 0.2 μm was formed by an evaporation method. Thus, an active full-color organic EL display having the same size as that of Example 1 was completed. When the obtained organic EL display was driven at a constant current under the same conditions as in Example 1, stable light emission was obtained over a long period of time.

【0070】(実施例4)本実施例は、図3に示したよ
うなアクティブマトリクス型有機ELフルカラー表示体
を作製した例である。
(Embodiment 4) In this embodiment, an active matrix type organic EL full-color display as shown in FIG. 3 is manufactured.

【0071】図7に示すように、ガラス基板701上に
信号線709,ゲート線710,薄膜トランジスタ70
2を形成してから、実施例2と同様にしてAlLi反射
画素電極703を形成した。次に、実施例3と同様にし
て、高さ0.1μmの隔壁711を形成した。
As shown in FIG. 7, a signal line 709, a gate line 710, and a thin film transistor 70 are formed on a glass substrate 701.
2 was formed, and then an AlLi reflective pixel electrode 703 was formed in the same manner as in Example 2. Next, in the same manner as in Example 3, a partition wall 711 having a height of 0.1 μm was formed.

【0072】その上に、実施例3と同様に電子注入材及
び輸送材としてAlq3のトルエン0.5wt%溶液を
イクストリュージョン法によりコーティングした。十分
なレベリングにより、隔壁711によるセル内に材料が
充填した後、加熱処理により、溶媒を飛ばし、厚さ0.
05μmの電子注入及び輸送層704が形成された。
Further, as in Example 3, a 0.5 wt% solution of Alq 3 in toluene was coated as an electron injecting material and a transporting material by an extrusion method. After the material is filled into the cell by the partition wall 711 by sufficient leveling, the solvent is removed by a heat treatment, and the thickness is reduced to 0.
A 05 μm electron injection and transport layer 704 was formed.

【0073】実施例3と同様の青、緑、赤の有機発光材
料を実施例3と同様に、図6に示す描画装置により隔壁
711に区切られたセル内に赤、緑、青色を発色する発
光材料を二層吐出積層し、厚さ0.05μm(正孔注入
層0.03μm、発色層0.02μm)の有機発光層7
05、706、707を形成した。
The blue, green, and red organic light-emitting materials similar to those in the third embodiment emit red, green, and blue in the cells divided by the partition 711 by the drawing apparatus shown in FIG. Two layers of light emitting materials are discharged and laminated, and an organic light emitting layer 7 having a thickness of 0.05 μm (a hole injection layer 0.03 μm, a color forming layer 0.02 μm) is formed.
05, 706 and 707 were formed.

【0074】最後に、ITO透明電極708をDCスパ
ッタ法により形成した。これにより、実施例1と同サイ
ズのアクティブフルカラー有機EL表示体が完成した。
得られた有機EL表示体を実施例1と同じ条件で定電流
駆動させたところ、長時間に渡って安定した発光が得ら
れた。
Finally, an ITO transparent electrode 708 was formed by DC sputtering. Thus, an active full-color organic EL display having the same size as that of Example 1 was completed.
When the obtained organic EL display was driven at a constant current under the same conditions as in Example 1, stable light emission was obtained over a long period of time.

【0075】(実施例5)本実施例は、パッシブマトリ
クス型有機ELフルカラー表示体を作製した例である。
Embodiment 5 This embodiment is an example in which a passive matrix type organic EL full-color display is manufactured.

【0076】図5に示すように、ガラス基板501の表
面にITOにより複数の透明下配線502を形成し、こ
れらの間隙にブラックストライプ503を形成した。ブ
ラックストライプ材料には、UV硬化型アクリル樹脂に
カーボンブラックを添加したもの(JSR社製オプトマ
ーCR(ブラック)の高粘度タイプ(4000CP
S))を用いた。
As shown in FIG. 5, a plurality of transparent lower wirings 502 were formed on the surface of a glass substrate 501 by using ITO, and black stripes 503 were formed in the gaps between them. As a black stripe material, a material obtained by adding carbon black to a UV curable acrylic resin (Optmer CR (black) manufactured by JSR Corporation, a high-viscosity type (4000CP)
S)) was used.

【0077】ここで、透明下配線502とMgAg反射
電極(上配線)507は、互いに直交ストライプで、有
機発光層504,505,506はスクエアドットパタ
ーンである。
Here, the transparent lower wiring 502 and the MgAg reflective electrode (upper wiring) 507 are stripes orthogonal to each other, and the organic light emitting layers 504, 505, and 506 are square dot patterns.

【0078】その上に、正孔注入材料としてTPA−6
のトルエン0.5wt%溶液をスピンコート法によりコ
ーティングした。加熱乾燥(80℃、10分)すること
によって、厚さ0.05μmの正孔注入層508が形成
された。
Further, TPA-6 was used as a hole injection material.
Was coated by a spin coating method. By heating and drying (80 ° C., 10 minutes), a hole injection layer 508 having a thickness of 0.05 μm was formed.

【0079】次に、図4に示すオフセット印刷装置を用
いて、実施例1で用いた赤、緑、青色を発色する発光材
料を実施例1と同様にパターンに印刷し、厚さ0.05
μmの有機発光層504,505,506を形成した。
Next, using the offset printing apparatus shown in FIG. 4, the luminescent material for emitting red, green, and blue colors used in Example 1 was printed in a pattern in the same manner as in Example 1, and the thickness was adjusted to 0.05.
Organic light emitting layers 504, 505, and 506 having a thickness of μm were formed.

【0080】最後に、実施例1と同様にして、厚さ0.
1〜0.2μmのMgAg反射電極(上配線)507を
マスク蒸着法により形成した。これにより、実施例1と
同サイズのパッシブフルカラー有機EL表示体が完成し
た。得られた有機EL表示体を実施例1と同じ条件で定
電流駆動させたところ、長時間に渡って安定した発光が
得られた。
Finally, in the same manner as in the first embodiment, the thickness
An MgAg reflective electrode (upper wiring) 507 having a thickness of 1 to 0.2 μm was formed by a mask evaporation method. Thus, a passive full-color organic EL display having the same size as that of Example 1 was completed. When the obtained organic EL display was driven at a constant current under the same conditions as in Example 1, stable light emission was obtained over a long period of time.

【0081】(実施例6)本実施例は、パッシブマトリ
クス型有機ELフルカラー表示体を作製した例である。
(Embodiment 6) This embodiment is an example in which a passive matrix type organic EL full-color display is manufactured.

【0082】図9に示すように、ガラス基板901の表
面にITOにより複数の透明下配線902を形成した。
As shown in FIG. 9, a plurality of transparent lower wirings 902 were formed on the surface of a glass substrate 901 by using ITO.

【0083】ここで、透明下配線902とMgAg反射
電極(上配線)907は、互いに直交ストライプで、有
機発光層904,905,906はスクエアドットパタ
ーンである。
Here, the transparent lower wiring 902 and the MgAg reflection electrode (upper wiring) 907 are orthogonal stripes, and the organic light emitting layers 904, 905 and 906 are square dot patterns.

【0084】次に、図4に示すオフセット印刷装置を用
いて、隔壁パターンを印刷し、60℃30分の加熱によ
り、高さ0.1μmの隔壁(ブラックストライプ)90
9を形成した。隔壁材料にはJSR社製オプトマーCR
(ブラック)の高粘度タイプ(4000CPS)を用い
た。
Next, a partition pattern is printed using an offset printing apparatus shown in FIG. 4, and heated at 60 ° C. for 30 minutes to form a partition (black stripe) 90 having a height of 0.1 μm.
9 was formed. Partition material is made by JSR Optmer CR
A (black) high viscosity type (4000 CPS) was used.

【0085】その上に、正孔注入及び輸送材料としてT
PA−6のトルエン0.5wt%溶液をイクストリュー
ジョン法によりコーティングした。十分なレベリングに
より、隔壁909によるセル内に材料が充填した後、加
熱処理により、厚さ0.05μmの正孔注入層908が
形成された。
Further, T is used as a hole injection and transport material.
A 0.5 wt% solution of PA-6 in toluene was coated by an extrusion method. After the cells were filled with the partition wall 909 by sufficient leveling, a hole injection layer 908 having a thickness of 0.05 μm was formed by heat treatment.

【0086】次に、実施例1で用いた青、緑、赤の有機
発光材料を、実施例3と同様に、図6に示す描画装置に
より隔壁909に区切られたセル内に赤、緑、青色を発
色する発光材料を吐出し、厚さ0.05μmの有機発光
層904,905,906を形成した。
Next, the blue, green, and red organic light-emitting materials used in Example 1 were placed in the cells divided into partitions 909 by the drawing apparatus shown in FIG. A light emitting material that emits blue light was discharged to form organic light emitting layers 904, 905, and 906 having a thickness of 0.05 μm.

【0087】最後に、実施例1と同様にして、厚さ0.
1〜0.2μmのMgAg反射電極907をマスク蒸着
法により形成した。これにより、実施例1と同サイズの
パッシブフルカラー有機EL表示体が完成した。得られ
た有機EL表示体を実施例1と同じ条件で定電流駆動さ
せたところ、長時間に渡って安定した発光が得られた。
Finally, in the same manner as in the first embodiment, the thickness
A MgAg reflective electrode 907 of 1 to 0.2 μm was formed by a mask evaporation method. Thus, a passive full-color organic EL display having the same size as that of Example 1 was completed. When the obtained organic EL display was driven at a constant current under the same conditions as in Example 1, stable light emission was obtained over a long period of time.

【0088】(実施例7)本実施例は、パッシブマトリ
クス型有機ELフルカラー表示体を作製した例である。
Embodiment 7 This embodiment is an example in which a passive matrix type organic EL full-color display is manufactured.

【0089】図9に示すように、ガラス基板901の表
面にITOにより複数の透明下配線902を形成した。
As shown in FIG. 9, a plurality of transparent lower wirings 902 were formed on the surface of a glass substrate 901 by using ITO.

【0090】次に、実施例6と同様にして、高さ0.1
μmの隔壁(ブラックストライプ)909を形成した。
Next, in the same manner as in the sixth embodiment, a height of 0.1
A μm partition (black stripe) 909 was formed.

【0091】その上に、正孔注入及び輸送材料としてT
PA−6のトルエン0.5wt%溶液をイクストリュー
ジョン法によりコーティングした。十分なレベリングに
より、隔壁909によるセル内に材料が充填した後、加
熱し、厚さ0.05μmの正孔注入層908が形成され
た。
Further, T is used as a hole injection and transport material.
A 0.5 wt% solution of PA-6 in toluene was coated by an extrusion method. After the material was filled into the cells by the partition walls 909 by sufficient leveling, the cells were heated to form a hole injection layer 908 having a thickness of 0.05 μm.

【0092】次に、実施例3と同様の青、緑、赤の有機
発光材料を、実施例3と同様にして二層吐出積層し、隔
壁909に区切られたセル内に、厚さ0.05μm(正
孔注入層0.03μm、発色層0.02μm)の有機発
光層904、905、906を形成した。
Next, the same blue, green, and red organic light emitting materials as in Example 3 were discharged and laminated in two layers in the same manner as in Example 3, and the thickness of the organic light emitting material was reduced to 0. Organic light emitting layers 904, 905 and 906 each having a thickness of 05 μm (hole injection layer 0.03 μm, coloring layer 0.02 μm) were formed.

【0093】最後に、実施例1と同様にして、厚さ0.
1〜0.2μmのMgAg反射電極907をマスク蒸着
法により形成した。これにより、実施例1と同サイズの
パッシブフルカラー有機EL表示体が完成した。得られ
た有機EL表示体を実施例1と同じ条件で定電流駆動さ
せたところ、長時間に渡って安定した発光が得られた。
Finally, in the same manner as in the first embodiment, the thickness
A MgAg reflective electrode 907 of 1 to 0.2 μm was formed by a mask evaporation method. Thus, a passive full-color organic EL display having the same size as that of Example 1 was completed. When the obtained organic EL display was driven at a constant current under the same conditions as in Example 1, stable light emission was obtained over a long period of time.

【0094】(比較例1)本例は、概略、実施例1と同
様にして、図3に示したようなアクティブマトリクス型
有機ELフルカラー表示体を作製した例である。
Comparative Example 1 This example is an example in which an active matrix type organic EL full-color display as shown in FIG.

【0095】但し、本例では、正孔輸送材料及び青、
緑、赤の有機発光材料を含有する溶液として、トルエン
を溶媒として1.0wt%の濃度の溶液を調製した後、
イソプロピルアルコールを等倍添加して0.5wt%溶
液としたものを用いた。
However, in this example, the hole transport material and blue,
After preparing a solution having a concentration of 1.0 wt% using toluene as a solvent as a solution containing green and red organic light emitting materials,
Isopropyl alcohol was added at an equal volume to obtain a 0.5 wt% solution.

【0096】得られた実施例1と同サイズの有機EL表
示体を実施例1と同じ条件で定電流駆動させたが、ほと
んど発光しなかった。
The obtained organic EL display having the same size as in Example 1 was driven at a constant current under the same conditions as in Example 1, but hardly emitted light.

【0097】(比較例2)本例は、比較例1と同様に、
図3に示したようなアクティブマトリクス型有機ELフ
ルカラー表示体を作製した例である。
(Comparative Example 2) In this example, as in Comparative Example 1,
This is an example in which an active matrix type organic EL full-color display as shown in FIG. 3 is manufactured.

【0098】但し、正孔輸送材料及び青、緑、赤の有機
発光材料を含有する溶液として、トルエンを溶媒として
0.75wt%の溶液を調製した後、イソプロピルアル
コールを1/2等量添加して0.5wt%溶液としたも
のを用いた。
However, as a solution containing the hole transport material and the blue, green, and red organic light emitting materials, a 0.75 wt% solution was prepared using toluene as a solvent, and イ ソ プ ロ ピ ル equivalent of isopropyl alcohol was added. A 0.5 wt% solution was used.

【0099】得られた実施例1と同サイズの有機EL表
示体を実施例1と同じ条件で定電流駆動させたが、初期
輝度が1/2程度であり、発光輝度の劣化(半減時間)
が実施例1の1/10と早かった。
The obtained organic EL display having the same size as in Example 1 was driven at a constant current under the same conditions as in Example 1, but the initial luminance was about 1 /, and the emission luminance was deteriorated (half-time).
Was as fast as 1/10 of Example 1.

【0100】[0100]

【発明の効果】以上説明のように、本発明によれば、従
来、形状再現精度が良くまた、膜厚の均一性のあるパタ
ーニングができないとされたモノマー有機EL材料を、
ウェットパターニング方式により形成することにより、
フルカラー表示の有機EL表示体を実現できる。これに
より、安価で高品質高機能高寿命の大画面のフルカラー
表示体が製造可能となった。
As described above, according to the present invention, a monomer organic EL material which is conventionally considered to have good shape reproduction accuracy and not be able to be patterned with uniform film thickness is used.
By forming by wet patterning method,
An organic EL display of full color display can be realized. This makes it possible to manufacture a large-screen full-color display that is inexpensive, high-quality, high-functional, and long-lived.

【0101】また、有機材料層、特に有機発光層がアモ
ルファス状であることにより、発光効率が向上する。
Further, since the organic material layer, especially the organic light emitting layer is amorphous, the luminous efficiency is improved.

【0102】また、有機材料の融点とガラス転移点の差
が50℃以上あるとアモルファス形成効率が良い。
When the difference between the melting point of the organic material and the glass transition point is 50 ° C. or more, the efficiency of forming an amorphous layer is good.

【0103】また、各有機材が機能性を示すことによ
り、発光効率が向上する。
Further, the luminous efficiency is improved by each organic material exhibiting functionality.

【0104】また、正孔輸送材料に発光材料をドーピン
グしたり、電子輸送材料に発光材料をドーピングしたり
することにより、各色の選択の幅が広がる。
By doping the hole transporting material with a light emitting material or doping the electron transporting material with a light emitting material, the range of selection of each color is expanded.

【0105】また、有機材料層を重ねて形成することに
より、発光効率が向上し、製造プロセスが簡略化でき
る。
Further, by forming the organic material layers in an overlapping manner, the luminous efficiency is improved and the manufacturing process can be simplified.

【0106】また、凹版およびブランケットを用いたオ
フセット印刷により、高精度高精細のパターニングが安
定的に形成できる。
In addition, high-precision, high-definition patterning can be stably formed by offset printing using an intaglio plate and a blanket.

【0107】また、インクジェット印刷により、低粘度
インクの使用範囲が広がり、高性能化ができる。この
際、隔壁を用いることによりインクジェット印刷の高精
度高精細化ができる。
Further, the range of use of the low-viscosity ink is expanded by ink jet printing, and the performance can be improved. At this time, the use of the partition walls enables high-precision and high-definition inkjet printing.

【0108】また、アクティブマトリクス構造による大
面積時の消費電力の削減が可能である。また、パッシブ
マトリクス構造により安価な表示体が作れる。
Further, power consumption in a large area can be reduced by the active matrix structure. Further, an inexpensive display body can be manufactured by the passive matrix structure.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例1に係るアクティブマトリックス型有機
EL表示体の断面を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of an active matrix type organic EL display according to Example 1. FIG.

【図2】実施例2に係るアクティブマトリックス型有機
EL表示体の断面を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of an active matrix organic EL display according to Example 2.

【図3】本発明により得られるアクティブマトリクス型
有機ELフルカラー表示体の一例を示す部分上面図であ
る。
FIG. 3 is a partial top view showing an example of an active matrix type organic EL full-color display obtained by the present invention.

【図4】本発明に採用し得るオフセット印刷方法の工程
断面図である。
FIG. 4 is a process sectional view of an offset printing method that can be adopted in the present invention.

【図5】実施例5に係るパッシブマトリクス型有機EL
表示体の断面を示す模式図である。
FIG. 5 is a passive matrix organic EL according to a fifth embodiment.
It is a schematic diagram which shows the cross section of a display body.

【図6】本発明に採用し得るインクジェット描画装置の
概略図である。
FIG. 6 is a schematic diagram of an inkjet drawing apparatus that can be employed in the present invention.

【図7】実施例4に係るアクティブマトリックス型有機
EL表示体の断面を示す模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing a cross section of an active matrix type organic EL display according to Example 4.

【図8】実施例3に係るアクティブマトリックス型有機
EL表示体の断面を示す模式図である。
FIG. 8 is a schematic diagram showing a cross section of an active matrix organic EL display according to Example 3.

【図9】実施例6及び7に係るパッシブマトリクス型有
機EL表示体の断面を示す模式図である。
FIG. 9 is a schematic view showing a cross section of a passive matrix type organic EL display according to Examples 6 and 7.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 ガラス基板 102 薄膜トランジスタ 103 透明画素電極 104 正孔注入層 105 有機発光層(赤) 106 有機発光層(緑) 107 有機発光層(青) 108 反射電極 109 信号線 110 ゲート線 201 ガラス基板 202 薄膜トランジスタ 203 反射画素電極 204 正孔注入層 205 有機発光層(赤) 206 有機発光層(緑) 207 有機発光層(青) 208 透明電極 209 信号線 210 ゲート線 301 信号線 302 ゲート線 303 画素電極 304 薄膜トランジスタ 305 有機発光層(赤) 306 有機発光層(緑) 307 有機発光層(青) 401 印刷ステージ 402 凹版 403 インク吐出器 404 インク溜り 405 ドクターブレード 406 ブラン胴 407 ブランケット 408 受理インク 409 ブラン胴回転方向 410 印刷ステージ移動方向 411 被印刷基板 412 転移インク 501 ガラス基板 502 透明下配線 503 ブラックストライプ 504 有機発光層(赤) 505 有機発光層(緑) 506 有機発光層(青) 507 反射画素電極 508 正孔注入層 601 インクジェットヘッド 602 XYステージ 603 吐出インク(発光材料) 604 基板 605 隔壁 606 X軸駆動系 607 Y軸駆動系 701 ガラス基板 702 薄膜トランジスタ 703 透明画素電極 704 電子注入及び輸送層 705 有機発光層(赤) 706 有機発光層(緑) 707 有機発光層(青) 708 反射電極 709 信号線 710 ゲート線 711 隔壁 801 ガラス基板 802 薄膜トランジスタ 803 反射画素電極 804 電子注入及び輸送層 805 有機発光層(赤) 806 有機発光層(緑) 807 有機発光層(青) 808 透明電極 809 信号線 810 ゲート線 811 隔壁 901 ガラス基板 902 透明下配線 904 有機発光層(赤) 905 有機発光層(緑) 906 有機発光層(青) 907 反射画素電極 908 正孔注入層 909 ブラックストライプ 101 glass substrate 102 thin film transistor 103 transparent pixel electrode 104 hole injection layer 105 organic light emitting layer (red) 106 organic light emitting layer (green) 107 organic light emitting layer (blue) 108 reflective electrode 109 signal line 110 gate line 201 glass substrate 202 thin film transistor 203 Reflective pixel electrode 204 hole injection layer 205 organic light emitting layer (red) 206 organic light emitting layer (green) 207 organic light emitting layer (blue) 208 transparent electrode 209 signal line 210 gate line 301 signal line 302 gate line 303 pixel electrode 304 thin film transistor 305 Organic light emitting layer (red) 306 Organic light emitting layer (green) 307 Organic light emitting layer (blue) 401 Printing stage 402 Intaglio 403 Ink ejector 404 Ink reservoir 405 Doctor blade 406 Blank cylinder 407 Blanket 408 Receiving ink 40 9 Blank rotation direction 410 Printing stage movement direction 411 Substrate to be printed 412 Transfer ink 501 Glass substrate 502 Transparent lower wiring 503 Black stripe 504 Organic light emitting layer (red) 505 Organic light emitting layer (green) 506 Organic light emitting layer (blue) 507 Reflection Pixel electrode 508 Hole injection layer 601 Ink jet head 602 XY stage 603 Discharged ink (light emitting material) 604 Substrate 605 Partition wall 606 X axis drive system 607 Y axis drive system 701 Glass substrate 702 Thin film transistor 703 Transparent pixel electrode 704 Electron injection and transport layer 705 Organic light emitting layer (red) 706 Organic light emitting layer (green) 707 Organic light emitting layer (blue) 708 Reflecting electrode 709 Signal line 710 Gate line 711 Partition 801 Glass substrate 802 Thin film transistor 803 Reflecting pixel electrode 804 Electron injection And transport layer 805 organic light emitting layer (red) 806 organic light emitting layer (green) 807 organic light emitting layer (blue) 808 transparent electrode 809 signal line 810 gate line 811 partition 901 glass substrate 902 transparent lower wiring 904 organic light emitting layer (red) 905 Organic light emitting layer (green) 906 Organic light emitting layer (blue) 907 Reflective pixel electrode 908 Hole injection layer 909 Black stripe

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B41M 3/00 G09F 9/30 338 G09F 9/30 338 365Z 365 H05B 33/12 B H05B 33/12 33/14 A 33/14 33/22 D 33/22 B Z B41J 3/04 101Z ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) B41M 3/00 G09F 9/30 338 G09F 9/30 338 365Z 365 H05B 33/12 B H05B 33/12 33 / 14 A 33/14 33/22 D 33/22 B Z B41J 3/04 101Z

Claims (24)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一対の電極間に少なくとも有機材料で構
成された層を配し、前記電極間に電圧を印加して発光を
得る有機発光デバイスの製造方法において、常温で水分
溶解度が5wt%以下の疎水系有機溶媒中に有機材料を
含有するインクを用いたウェットパターニング法により
前記有機材料層を形成することを特徴とする有機発光デ
バイスの製造方法。
1. A method for manufacturing an organic light-emitting device in which a layer made of at least an organic material is disposed between a pair of electrodes and a voltage is applied between the electrodes to emit light, the water solubility at room temperature is 5 wt% or less. Forming the organic material layer by a wet patterning method using an ink containing an organic material in a hydrophobic organic solvent.
【請求項2】 前記ウェットパターニング法が、凹版か
らブランケットに前記インクを受理させた後、当該イン
クを基板に転移させるオフセット印刷方法であることを
特徴とする請求項1に記載の有機発光デバイスの製造方
法。
2. The organic light emitting device according to claim 1, wherein the wet patterning method is an offset printing method of transferring the ink to a substrate after receiving the ink from the intaglio to a blanket. Production method.
【請求項3】 前記インクの粘度が5000CP以下で
あることを特徴とする請求項2に記載の有機発光デバイ
スの製造方法。
3. The method according to claim 2, wherein the viscosity of the ink is 5000 CP or less.
【請求項4】 前記インクの表面エネルギーが、20〜
60dyne/cmの範囲にあることを特徴とする請求
項2または3に記載の有機発光デバイスの製造方法。
4. The method according to claim 1, wherein the surface energy of the ink is 20 to 20.
The method for manufacturing an organic light emitting device according to claim 2 or 3, wherein the range is 60 dyne / cm.
【請求項5】 前記ウェットパターニング法が、前記イ
ンクの微小液滴を飛ばして定着させるインクジェット印
刷方法であることを特徴とする請求項1に記載の有機発
光デバイスの製造方法。
5. The method according to claim 1, wherein the wet patterning method is an inkjet printing method in which fine droplets of the ink are ejected and fixed.
【請求項6】 前記インクは、粘度が100CP以下で
あることを特徴とする請求項5に記載の有機発光デバイ
スの製造方法。
6. The method according to claim 5, wherein the ink has a viscosity of 100 CP or less.
【請求項7】 前記インクは、表面エネルギーが、20
〜60dyne/cmの範囲にあることを特徴とする請
求項5または6に記載の有機発光デバイスの製造方法。
7. The ink has a surface energy of 20.
The method for manufacturing an organic light emitting device according to claim 5, wherein the thickness is in the range of 60 dyne / cm to 60 dyne / cm.
【請求項8】 前記ウェットパターニング法により赤、
緑、青の各画素に対応する発光色を有する発光層を形成
することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の
有機発光デバイスの製造方法。
8. The method according to claim 1, wherein the wet patterning method comprises:
The method for manufacturing an organic light-emitting device according to claim 1, wherein a light-emitting layer having a light-emitting color corresponding to each of green and blue pixels is formed.
【請求項9】 赤、緑、青の各画素を分離する隔壁を形
成する工程を有することを特徴とする請求項8に記載の
有機発光デバイスの製造方法。
9. The method for manufacturing an organic light emitting device according to claim 8, further comprising a step of forming a partition for separating each of red, green, and blue pixels.
【請求項10】 前記有機材料の分子量が5000以下
であることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載
の有機発光デバイスの製造方法。
10. The method according to claim 1, wherein the organic material has a molecular weight of 5,000 or less.
【請求項11】 前記ウェットパターニング法により形
成された前記有機材料層がアモルファス層であることを
特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の有機発光
デバイスの製造方法。
11. The method according to claim 1, wherein the organic material layer formed by the wet patterning method is an amorphous layer.
【請求項12】 前記有機材料の融点mpとガラス転移
点Tgとの差が50℃以上あることを特徴とする請求項
1〜11のいずれかに記載の有機発光デバイスの製造方
法。
12. The method according to claim 1, wherein a difference between the melting point mp of the organic material and the glass transition point Tg is 50 ° C. or more.
【請求項13】 前記有機材料が、発光材料、正孔注入
材料、電子注入材料、正孔輸送材料、電子輸送材料より
選ばれる少なくとも1種として機能することを特徴とす
る請求項1〜12のいずれかに記載の有機発光デバイス
の製造方法。
13. The method according to claim 1, wherein the organic material functions as at least one selected from a light emitting material, a hole injection material, an electron injection material, a hole transport material, and an electron transport material. A method for manufacturing an organic light-emitting device according to any one of the above.
【請求項14】 前記有機材料が、正孔注入材料又は正
孔輸送材料に発光材料をドーピングしてなることを特徴
とする請求項1〜13のいずれかに記載の有機発光デバ
イスの製造方法。
14. The method according to claim 1, wherein the organic material is obtained by doping a hole injection material or a hole transport material with a light emitting material.
【請求項15】 前記有機材料が、電子注入材料又は電
子輸送材料に発光材料をドーピングしてなることを特徴
とする請求項1〜13のいずれかに記載の有機発光デバ
イスの製造方法。
15. The method for manufacturing an organic light emitting device according to claim 1, wherein the organic material is obtained by doping an electron injection material or an electron transport material with a light emitting material.
【請求項16】 前記有機材料が、正孔および電子両方
を輸送可能な材料に発光材料をドーピングしてなること
を特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の有機発
光デバイスの製造方法。
16. The method for manufacturing an organic light emitting device according to claim 1, wherein the organic material is obtained by doping a light emitting material into a material capable of transporting both holes and electrons. .
【請求項17】 前記一対の電極間に前記有機材料層を
複数配することを特徴とする請求項1〜16のいずれか
に記載の有機発光デバイスの製造方法。
17. The method for manufacturing an organic light emitting device according to claim 1, wherein a plurality of the organic material layers are arranged between the pair of electrodes.
【請求項18】 基板上に前記一方の電極を形成した
後、該電極上に前記有機材料層を含む複数層を形成する
工程、及び該複数層上に前記他方の電極を形成する工程
を有することを特徴とする請求項1〜17のいずれかに
記載の有機発光デバイスの製造方法。
18. The method according to claim 18, further comprising: after forming the one electrode on the substrate, forming a plurality of layers including the organic material layer on the electrode; and forming the other electrode on the plurality of layers. The method for manufacturing an organic light-emitting device according to claim 1, wherein:
【請求項19】 前記工程を用いてパッシブマトリクス
配線構造を形成することを特徴とする請求項18に記載
の有機発光デバイスの製造方法。
19. The method according to claim 18, wherein a passive matrix wiring structure is formed using the steps.
【請求項20】 基板上に複数の薄膜トランジスタ、及
び該トランジスタに接続された前記一方の電極を形成す
る工程、該電極上に前記有機材料層を含む複数層を形成
する工程、及び該複数層上に前記他方の電極を形成する
工程を有することを特徴とする請求項1〜17のいずれ
かに記載の有機発光デバイスの製造方法。
20. A step of forming a plurality of thin film transistors on a substrate and the one electrode connected to the transistor; a step of forming a plurality of layers including the organic material layer on the electrodes; 18. The method according to claim 1, further comprising the step of forming the other electrode.
【請求項21】 前記工程を用いてアクティブマトリク
ス配線構造を形成することを特徴とする請求項20に記
載の有機発光デバイスの製造方法。
21. The method according to claim 20, wherein an active matrix wiring structure is formed using the steps.
【請求項22】 前記有機材料層の層厚を0.005〜
0.3μmの範囲とすることを特徴とする請求項1〜2
1のいずれかに記載の有機発光デバイスの製造方法。
22. The organic material layer having a thickness of 0.005 to 0.005.
3. The range of 0.3 .mu.m.
2. The method for manufacturing an organic light-emitting device according to any one of 1.
【請求項23】 前記疎水系有機溶媒は、クロロホル
ム、トルエン、四塩化炭素、ジクロロエタン、テトラク
ロロエタン、キシレン、シメン、シクロヘキサノン、オ
クチルベンゼン、ドデシルベンゼン、デカリン、キノリ
ン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、トリクロロベ
ンゼン、チモール、ニトロベンズアルデヒド、ニトロベ
ンゼン、二硫化炭素、2ヘプタノン、ベンゼン、ターピ
ネオール、ブチルカルビトールアセテート、セルソルブ
類から選択されることを特徴とする請求項1〜22のい
ずれかに記載の有機発光デバイスの製造方法。
23. The hydrophobic organic solvent includes chloroform, toluene, carbon tetrachloride, dichloroethane, tetrachloroethane, xylene, cymene, cyclohexanone, octylbenzene, dodecylbenzene, decalin, quinoline, chlorobenzene, dichlorobenzene, trichlorobenzene, thymol. 23. The method for manufacturing an organic light-emitting device according to claim 1, wherein the organic light-emitting device is selected from nitrobenzaldehyde, nitrobenzene, carbon disulfide, 2 heptanone, benzene, terpineol, butyl carbitol acetate, and cellosolves. .
【請求項24】 請求項1〜請求項23のいずれかに記
載の方法により製造されたことを特徴とする有機発光デ
バイス。
24. An organic light-emitting device manufactured by the method according to claim 1. Description:
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