JP2001289729A

JP2001289729A - ガス漏洩検知装置

Info

Publication number: JP2001289729A
Application number: JP2000108283A
Authority: JP
Inventors: Mutsumi Nakamura; 睦実中村
Original assignee: Yazaki Corp
Current assignee: Yazaki Corp
Priority date: 2000-04-10
Filing date: 2000-04-10
Publication date: 2001-10-19

Abstract

(57)【要約】【課題】ガスが特別な状態で供給されなくても常に自
己診断を行うことができ、しかも安価に構成できるガス
漏洩検知装置を提供する。【解決手段】ガスの流量が大きい時に該ガスを流入す
る親圧力調整器と、ガスの流量が小さい時に該ガスを流
入する子圧力調整器と、該子圧力調整器に流入するガス
の流量を検出する検出手段４１及び４５と、該検出手段
で検出されたガスの流量と予め設定された設定流量とを
比較することにより子圧力調整器の調整圧力と圧力親調
整器の調整圧力との差圧が所定値以上であるか否かを判
定する判定手段４５と、該判定手段により差圧が所定値
以上でないことが判定された場合に警報を発生する警報
手段４４とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばガス供給設
備に適用されるガス漏洩検知装置に関し、特に、このガ
ス漏洩検知装置の障害の有無を自己診断する技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、自己診断機能を備えたガス漏洩検
知装置として、例えば特開平１１−３１６１７０号公報
に「ガス漏洩検知装置」が開示されている。このガス漏
洩検知装置及びこれが適用されたガス供給設備の構成を
図７に示す。

【０００３】このガス供給設備において、ガス供給管１
０には一次圧力調整器２０が設けられており、この一次
圧力調整器２０を経由したガス供給管１１には親圧力調
整器２１が設けられている。また、ガス供給管１１に
は、親圧力調整器２１の入口側と出口側とを接続するバ
イパスガス流路１２が設けられており、このバイパスガ
ス流路１２には入口側から順次、子圧力調整器２２及び
ガス漏洩検知装置３０が設けられている。

【０００４】親圧力調整器２１及び子圧力調整器２２の
各々は、導入された高圧ガスを減圧して出力する。子圧
力調整器２２の調整圧力は、親圧力調整器２１の調整圧
力よりも高くなるように設定されている。なお、親圧力
調整器２１と子圧力調整器２２とから成る圧力調整器を
親子式差圧調整器と呼ぶ。

【０００５】ガス漏洩検知装置３０は、ガスの微少漏洩
を検知する漏洩検知機能及び自己診断機能を備えてい
る。このガス漏洩検知装置３０は、子圧力調整器２２の
出口側から順次配設された流量センサ３１、遮断弁３２
及び圧力センサ３３と、このガス漏洩検知装置３０の全
体を制御する制御部３４とから構成されている。流量セ
ンサ３１はバイパスガス流路１２を流れるガスの流量を
検知し、この検知結果を制御部３４に送る。遮断弁３２
は、制御部３４からの制御信号に応答して、バイパスガ
ス流路１２を流れるガスの導通及び遮断を制御する。圧
力センサ３３は、遮断弁３２の出口側におけるガスの圧
力を検知し、この検知結果を制御部３４に送る。

【０００６】このガス漏洩検知装置３０のガス漏洩検知
機能は、以下のとおりである。即ち、夜間や深夜のガス
消費が殆どなくなるときには、ガス供給管１１の圧力が
高くなって親圧力調整器２１が閉となる。この状態で、
子圧力調整器２２及びガス漏洩検知装置３０に流れる微
少なガス流量が流量センサ３１で検知される。そして、
例えば３０日間連続して３リットル／時間以上の流量が
検知された場合にガスの漏洩が発生していると判断さ
れ、その旨がランプの点灯により表示される。

【０００７】一方、ガス漏洩検知装置３０の自己診断機
能は、親圧力調整器２１及び子圧力調整器２２の障害の
有無を調べるものであり、以下の手順で実現されてい
る。先ず、制御部３４によって遮断弁３２が開にされ
る。この状態で、流量センサ３１によって、バイパスガ
ス流路１２を流れるガス流量が「所定の低流量」である
かどうかが調べられる。ここで、「所定の低流量」と
は、親圧力調整器２１が閉じ、子圧力調整器２２が開い
た状態になるようなガスの圧力に対応する流量であり、
一定の幅を有する。そして、所定の低流量である場合
に、圧力センサ３３によって、遮断弁３２の出口側にお
けるガスの圧力が検知され、検知されたガスの圧力が子
圧力調整器２２の調整圧力Ｐｋとされる。

【０００８】次に、制御部３４によって遮断弁３２が閉
にされる。この状態で、圧力センサ３３によって、遮断
弁３２の出口側におけるガスの圧力が検知され、検知さ
れたガスの圧力が親圧力調整器２１の調整圧力Ｐｓとさ
れる。そして、これら調整圧力Ｐｋと調整圧力Ｐｓとの
差圧ΔＰが予め定められた規定値以上である場合に親圧
力調整器２１及び子圧力調整器２２は何れも正常である
と判断される。

【０００９】一方、上記差圧ΔＰが予め定められた規定
値より小さい場合は、親圧力調整器２１及び子圧力調整
器２２の少なくとも一方に障害が存在すると判断され、
その旨が自己診断結果としてランプの点灯により表示さ
れる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のガス漏洩検知装置が適用されたガス供給設備に
おいて、上記「所定の低流量」の状態が起こる頻度は、
ガス供給設備によっては極めて小さいか、全く発生しな
い可能性がある。このようなガス供給設備では、自己診
断を実行するタイミングがなかなか訪れず、甚だしい場
合は自己診断を全く実行できないことも考えられる。

【００１１】また、上述した従来のガス漏洩検知装置で
は、自己診断を行うための遮断弁が必要であり、ガス漏
洩検知装置のコストアップ要素になっている。

【００１２】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであり、その目的は、ガスが特別な状態
で供給されなくても常に自己診断を行うことができ、し
かも安価に構成できるガス漏洩検知装置を提供すること
にある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、ガスの流量が大きい時に
該ガスを流入する親圧力調整器と、ガスの流量が小さい
時に該ガスを流入する子圧力調整器と、該子圧力調整器
に流入するガスの流量を検出する検出手段と、該検出手
段で検出されたガスの流量と予め設定された設定流量と
を比較することにより前記子圧力調整器の調整圧力と前
記圧力親調整器の調整圧力との差圧が所定値以上である
か否かを判定する判定手段と、該判定手段により前記差
圧が前記所定値以上でないことが判定された場合に警報
を発生する警報手段、とを備えている。

【００１４】この請求項１に記載の発明によれば、子圧
力調整器に流入するガスの流量を検出し、この検出され
たガスの流量と予め設定された設定流量とを比較するこ
とにより子圧力調整器の調整圧力と親圧力調整器の調整
圧力との差圧が所定値以上であるか否かを判定し、その
差圧が所定値以上でないことが判定された場合に、子圧
力調整器及び親圧力調整器警報の一方又は双方に障害が
発生していると判断され、警報が発せられる。

【００１５】従って、ガスが特別な状態で供給されなく
ても常に自己診断を行うことができる。また、ガスの流
量に基づいて子圧力調整器の調整圧力と親圧力調整器の
調整圧力との差圧が所定値以上であるか否かを判定する
ので、従来のように遮断弁を必要としない。その結果、
ガス漏洩検知装置を安価に構成できる。

【００１６】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の前記検出手段を、ヒータの上流側に配置されて
流入されたガスの温度を検出して第１温度検出信号を出
力する第１温度センサ及び前記ヒータの下流側に配置さ
れて前記流入されたガスの温度を検出して第２温度検出
信号を出力する第２温度センサを有するフローセンサ
と、該フローセンサからの前記第１温度検出信号と前記
第２温度検出信号との差に基づいて前記流入されたガス
の流量を算出する流量算出手段、とで構成したことを特
徴とする。

【００１７】この請求項２に記載の発明によれば、フロ
ーセンサからの第１温度検出信号と第２温度検出信号と
に基づいてガスの流量を検出するようにしたので、正確
なガスの流量を検出することができる。その結果、ガス
漏洩の検知精度が向上し、警報の誤作動等を防止でき
る。

【００１８】更に、請求項３に記載の発明は、請求項１
又は２における前記警報手段を、判定手段で判定された
差圧が所定値以上である時間が一定時間以上である場合
に警報を発生するように構成したことを特徴とする。

【００１９】この請求項３に記載の発明によれば、子圧
力調整器の調整圧力と親圧力調整器の調整圧力との差圧
が所定値以上である時間が一定時間以上である場合に警
報を発生するので、何らかの原因で一時的に差圧が所定
値より小さくなったような場合は警報は発せられず、誤
警報がなくなる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
ガス漏洩検知装置を図面を参照しながら詳細に説明す
る。なお、従来の技術の欄で説明したガス漏洩検知装置
（図７参照）と同一部分には同一符号を付して説明す
る。

【００２１】なお、この実施の形態に係るガス漏洩検知
装置は、以下に説明する自己診断機能の他にガス漏洩検
知機能を有するが、このガス漏洩検知機能は従来と同じ
であるので説明は省略する。

【００２２】先ず、本発明の実施の形態に係るガス漏洩
検知装置が適用されるガス供給設備の一例を、図２を参
照しながら説明する。

【００２３】このガス供給設備において、ガスボンベ１
から供給されるガスはガス供給管１０に導かれる。この
ガス供給管１０には一次圧力調整器２０が設けられてお
り、、この一次圧力調整器２０を経由したガス供給管１
１には親圧力調整器２１が設けられている。

【００２４】また、ガス供給管１１には、親圧力調整器
２１の入口側と出口側とを接続するバイパスガス流路１
２が設けられており、このバイパスガス流路１２には入
口側から順に、子圧力調整器２２及びガス漏洩検知器４
０が設けられている。親圧力調整器２１及び子圧力調整
器２２の各々は、流入された高圧ガスを減圧して出力す
る。以上のように構成されるガス供給設備においては、
子圧力調整器２２の調整圧力は、親圧力調整器２１の調
整圧力よりも高くなるように設定されている。

【００２５】ところで、上述したガス供給設備におい
て、親圧力調整器２１及び子圧力調整器２２が正常であ
れば、図３（Ａ）の流量−圧力特性曲線に示すように、
流量の少ない範囲では、子圧力調整器２２の調整圧力が
親圧力調整器２１の調整圧力より必ず高いため、ガスは
子圧力調整器２２を優先的に通って流れる。そして、流
量が所定値（図３（Ａ）のＰで示す位置）になると、ガ
スは親圧力調整器２１及び子圧力調整器２２の双方を通
って流れる。従来の技術の欄で説明したガス漏洩検知装
置は、この原理を利用している。

【００２６】しかしながら、親圧力調整器２１及び子圧
力調整器２２の一方又は双方が劣化すると、図３（Ｂ）
の流量−圧力特性曲線に示すように、子圧力調整器２２
の調整圧力が親圧力調整器２１の調整圧力より下がると
いう状態が起こる。このような事態が発生すると子圧力
調整器２２からのガスの供給ができなくなり、微小流量
のガスの漏洩を検出する機能が失われてしまう。

【００２７】この実施の形態に係るガス漏洩検知装置
は、子圧力調整器を流れるガスの流量が所定値以上であ
るかどうかを検知することにより親圧力調整器２１の調
整圧力と子圧力調整器２２の調整圧力との差圧が一定値
以上確保されているかどうかを判別し、この判別結果に
応じて親圧力調整器２１及び子圧力調整器２２が正常で
あるかどうかを判断する。

【００２８】以下、このガス漏洩検知装置で使用される
ガス漏洩検知器４０の詳細を説明する。このガス漏洩検
知器４０はフローセンサ方式を採用しており、図１に示
すように、フローセンサ４１、圧力センサ４２、タイマ
４３、表示部４４及び中央処理装置（以下、「ＣＰＵ」
という）４５から構成されている。ＣＰＵ４５は、本発
明の流量算出手段及び判定手段に対応し、このガス漏洩
検知器４０の全体を制御する。

【００２９】フローセンサ４１はバイパスガス流路１２
の中途に配置され、このバイパスガス流路１２を流れる
ガスの流量を検知する。このフローセンサ４１は、図４
に示すように、支持基板としてのＳｉ基板５１と、Ｓｉ
Ｏ_２層及びＳｉ_３Ｎ_４層から構成されるダイアフラム５
２と、ダイアフラム５２上に形成されたマイクロヒータ
５３と、マイクロヒータ５３の下流側であって冷接点形
成部分を除きダイアフラム５２上に形成された下流側サ
ーモパイル５４と、電源端子５５Ａ，５５Ｂを有しマイ
クロヒータ５３に駆動電流を供給するための電源配線５
５と、出力端子５６Ａ及び５６Ｂを有し、下流側サーモ
パイル５４から出力される第１温度検出信号を出力する
ための第１出力配線５６と、マイクロヒータ５３の上流
側であって冷接点形成部分を除きダイアフラム５２上に
形成された上流側サーモパイル５７と、出力端子５８Ａ
及び５８Ｂを有し、上流側サーモパイル５７から出力さ
れる第２温度検出信号を出力するための第２出力配線５
８とから構成されている。

【００３０】図５（Ａ）はサーモパイルの拡大上面図、
図５（Ｂ）はその断面図である。なお、上流側サーモパ
イル５７は、下流側サーモパイル５４と同じ構成である
ので、以下では下流側サーモパイル５４についてのみ説
明する。下流側サーモパイル５４を構成する熱電対は、
ｐ^＋＋−Ｓｉ及びＡｌにより構成され、図５（Ｂ）に示
すように、下流側サーモパイル５４の冷接点５４Ａは、
Ｓｉ基板５１（厚さ約４００μｍ）のダイアフラム５２
を形成していない部分に設けられ、下流側サーモパイル
５４の温接点５４ＢはＳｉＯ_２層及びＳｉ_３Ｎ_４層から
構成されるダイアフラム５２上に設けられている。

【００３１】このように構成されるフローセンサ４１の
出力端子５５Ａ及び５５Ｂからの第１温度検出信号及び
出力端子５８Ａ及び５８Ｂからの第２温度検出信号はＣ
ＰＵ４５に送られる。

【００３２】圧力センサ４２は、バイパスガス流路１２
に配置され、このバイパスガス流路１２を流れるガスの
圧力を検知する。この圧力センサ４２による検知結果は
ＣＰＵ４５へ送られる。

【００３３】タイマ４３は、ＣＰＵ４５からのスタート
信号に応答して計時を開始する。このタイマ４３で計時
されら時間は、ＣＰＵ４５によって読み出される。ま
た、このタイマ４３は、ＣＰＵ４５からのリセット信号
に応答して計時を停止すると共にその内容をクリアす
る。表示器４４は本発明の警報手段に対応し、例えば発
光ダイオード（ＬＥＤ）から構成されている。この表示
器４４の点灯及び消灯は、ＣＰＵ４５からの表示制御信
号によって制御される。

【００３４】次に、このように構成された本発明の実施
の形態に係るガス漏洩検知装置の動作を図６に示したフ
ローチャートを参照しながら、親圧力調整器２１及び子
圧力調整器２２の障害の有無を診断する動作を主体に説
明する。なお、このフローチャートに示す動作はＣＰＵ
４５によって行われる。

【００３５】このガス漏洩検知器４０に電源が投入され
ると、フローセンサ４１の電源端子５５Ａ及び５５Ｂに
電源が供給される。これにより、電源配線５５を介して
マイクロヒータ５３に電源が供給され、マイクロヒータ
５３は発熱する。以上の準備が完了するとＣＰＵ４５の
動作の動作が開始され、自己診断が行われる。

【００３６】ＣＰＵ４５の動作が開始されると、まず、
タイマ４３の計時がスタートされる（ステップＳ１
０）。これは、ＣＰＵ４３がタイマ４３にスタート信号
を送ることにより行われる。次に、ガスの流量Ｑ１が測
定される（ステップＳ１１）。この測定は以下のように
して行われる。

【００３７】まず、マイクロヒータ５３が発熱している
状態で、ガスが上流側から下流側（図４の左側から右
側）に向かって流れると、上流側サーモパイル５７はマ
イクロヒータ５３の発熱の影響を受けることがないので
冷却される。これによって、上流側サーモパイル５７か
ら第２出力配線５８を介して出力端子５８Ａ及び５８Ｂ
に、流入されたガスの温度に応じた第２温度検出信号が
出力される。この出力端子５８Ａ及び５８Ｂに出力され
た第２温度検出信号は、ＣＰＵ４５に供給される。

【００３８】一方、下流側サーモパイル５４はマイクロ
ヒータ５３の発熱の影響を受けて暖められる。この場
合、下流側サーモパイル５４の温度上昇はガスの流量に
比例する。これによって、下流側サーモパイル５４から
第１出力配線５６を介して出力端子５６Ａ及び５６Ｂに
ガスの流量に応じた第１温度検出信号が出力される。こ
の出力端子５６Ａ及び５６Ｂに出力された第１温度検出
信号はＣＰＵ４５に供給される。ＣＰＵ４５は、フロー
センサ４１からの第１温度検出信号と第２温度検出信号
との差に基づいて現在のガスの流量Ｑ１を算出する。

【００３９】次に、ＣＰＵ４５は、ステップＳ１１で測
定された流量Ｑ１が設定流量Ｑより大きいかどうかを調
べる（ステップＳ１２）。ここで、設定流量Ｑは、メー
カによって予め設定される値であり、ＣＰＵ４５の内部
の図示しないメモリに記憶されている。この設定流量と
しては、例えば２１リットル／時間という値を用いるこ
とができる。なお、この設定流量Ｑは、このガス漏洩検
知器４０が適用されるガス供給設備の規模や状態に応じ
てユーザが設定するように構成することもできる。

【００４０】ステップＳ１２で、測定された流量Ｑ１が
設定流量Ｑより大きいことが判断されると、タイマがリ
セットされる（ステップＳ１３）。即ち、ＣＰＵ４５は
タイマ４３にリセット信号を供給する。これにより、タ
イマ４３の動作が停止されると共にその内容がゼロにク
リアされる。その後、シーケンスはステップＳ１０に戻
る。以下、ステップＳ１２で、測定された流量Ｑ１が設
定流量Ｑより大きいことが判断されない限り、ステップ
Ｓ１０→Ｓ１１→Ｓ１２→Ｓ１３→Ｓ１０→・・・（以
下、「第１ループ」という）の処理が繰り返し実行され
る。

【００４１】この第１ループの繰り返し実行の状態は、
子圧力調整器２２に設定流量Ｑ以上のガスが流れてお
り、親圧力調整器２１の調整圧力と子圧力調整器２２の
調整圧力との差圧が予め定められた規定値以上であるこ
とを表す。すなわち、親圧力調整器２１及び子圧力調整
器２２の調整圧力が図３（Ａ）に示すような正常状態に
あり、親圧力調整器２１及び子圧力調整器２２に障害が
発生していないことを表す。

【００４２】一方、前記第１ループの繰り返し実行の過
程において、ステップＳ１２で、測定された流量Ｑ１が
設定流量Ｑ以下であることが判断されると、次に、タイ
マ４３は１ヶ月が経過したことを示しているかどうかが
調べられる（ステップＳ１４）。ここで、タイマ４３が
１ヶ月を経過していないことを示していることが判断さ
れると、シーケンスはステップＳ１１に戻る。以下、ス
テップＳ１１→Ｓ１２→Ｓ１３→Ｓ１１→・・・（以
下、「第２ループ」という）の処理が繰り返し実行され
る。

【００４３】この第２ループの繰り返し実行の状態は、
子圧力調整器２２に設定流量Ｑ以上のガスが流れておら
ず、親圧力調整器２１の調整圧力と子圧力調整器２２の
調整圧力との差圧が予め定められた規定値より小さい
が、この状態になってから未だ１ヶ月を経過していない
ことを表す。すなわち、親圧力調整器２１及び子圧力調
整器２２の調整圧力が図３（Ｂ）に示す状態に近くなっ
たが、親圧力調整器２１及び子圧力調整器２２に障害が
発生したと判定するまでに至っていないことを表す。

【００４４】次に、前記第２ループの繰り返し実行の過
程で、ステップＳ１４において、タイマ４３が１ヶ月を
経過したことが判断されると、親圧力調整器２１及び子
圧力調整器２２に障害が発生したと判定され、差圧異常
の警報が発せられる（ステップＳ１５）。この警報は、
表示器４４の点灯により行われる。表示器４４の点灯
は、ＣＰＵ４５が点灯を指示する表示制御信号を表示器
４４に送ることによって行われる。

【００４５】次に、このガス漏洩検知器４０の全体がリ
セットされる（ステップＳ１６）。その後、シーケンス
はステップＳ１０に分岐する。これにより、ガス漏洩検
知器４０が初期状態に設定され、その後自己診断が再開
される。

【００４６】なお、ステップＳ１５で発せられた警報、
つまり表示器４４の点灯は、親圧力調整器２１及び子圧
力調整器２２の何れか一方又は双方が修理されるまで消
灯されない。従って、一旦警報が発せられると、ユーザ
は、その後いつでもガス漏洩検知装置が正常でないこと
を知ることができる。

【００４７】このように、実施の形態によれば、ガスの
流量を測定した結果に基づいて親圧力調整器２１及び子
圧力調整器２２に障害が存在するかどうかを判定するよ
うにしたので、上述した従来のガス漏洩検知器が適用さ
れたガス供給設備のように、「所定の低流量」の状態が
起こらなくても自己診断を実行することができる。その
結果、自己診断を実行するタイミングがなかなか訪れ
ず、自己診断を全く実行できないという問題は解消され
る。

【００４８】また、上述した従来のガス漏洩検知装置の
ような遮断弁も不要となり、ガス漏洩検知装置を安価に
構成することができる。

【００４９】なお、上述した実施の形態では、フローセ
ンサ４１で測定された流量Ｑ１が設定流量Ｑより大きい
かどうかを調べることにより親圧力調整器２１及び子圧
力調整器２２に障害が存在するかどうかを判定するよう
に構成したが、測定された流量Ｑ１が設定範囲、例えば
２１〜１００リットル／時間の範囲にあるかどうかによ
り、親圧力調整器２１及び子圧力調整器２２に障害が存
在するかどうかを判定するように構成してもよい。

【００５０】また、上述した実施の形態では、フローセ
ンサ４１により測定された流量Ｑ１が設定流量Ｑ以下で
ある状態が１ヶ月が継続したかどうかによって警報を発
するかどうかを判断するように構成したが、前記期間は
１ヶ月に限らず任意に決定することができる。

【００５１】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、子圧力
調整器に流入するガスの流量を検出し、この検出された
ガスの流量に基づいて子圧力調整器及び親圧力調整器警
報の一方又は双方に障害が発生しているかどうかが判断
されて警報が発せられるので、ガスが特別な状態で供給
されなくても常に自己診断を行うことができる。また、
ガスの流量に基づいて子圧力調整器の調整圧力と親圧力
調整器の調整圧力との差圧が所定値以上であるか否かを
判定するので、従来のように遮断弁を必要とせず、ガス
漏洩検知装置を安価に構成できる。

【００５２】また、請求項２に記載の発明によれば、フ
ローセンサからの第１温度検出信号と第２温度検出信号
とに基づいてガスの流量を検出するようにしたので、正
確なガスの流量を検出することができる。その結果、ガ
ス漏洩の検知精度が向上し、警報の誤作動等を防止でき
る。

【００５３】更に、請求項３に記載の発明によれば、子
圧力調整器の調整圧力と親圧力調整器の調整圧力との差
圧が所定値以上である時間が一定時間以上である場合に
警報を発生するので、何らかの原因で一時的に差圧が所
定値より小さくなったような場合は警報は発せられず、
誤警報がなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るガス漏洩検知装置の
構成を示すブロック図である。

【図２】本発明の実施の形態に係るガス漏洩検知装置が
適用されるガス供給設備の一例を示す図である。

【図３】図２に示したガス供給設備におけるガスの流量
−圧力特性を示す図であり、同図（Ａ）は正常な状態、
同図（Ｂ）は異常な状態を示す。

【図４】本発明の実施の形態に係るガス漏洩検知装置で
使用されるフローセンサの構造を示す図である。

【図５】図４に示したフローセンサで使用されるサーモ
パイルの拡大図であり、同図（Ａ）は上面図、同図
（Ｂ）は断面図である。

【図６】本発明の実施の形態に係るガス漏洩検知装置の
動作を示すフローチャートである。

【図７】従来のガス漏洩検知装置を説明するための図で
ある。

【符号の説明】

１ガスボンベ１０、１１ガス供給管１２バイパスガス流路２０一次圧力調整器２１親圧力調整器２２子圧力調整器４０ガス漏洩検知器４１フローセンサ４２圧力センサ４３タイマ４４表示器５１Ｓｉ基板５２ダイアフラム５３マイクロヒータ５４下流側サーモパイル５７上流側サーモパイル

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０８Ｂ 21/16 Ｇ０８Ｂ 21/16

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガスの流量が大きい時に該ガスを流入す
る親圧力調整器と、ガスの流量が小さい時に該ガスを流入する子圧力調整器
と、該子圧力調整器に流入するガスの流量を検出する検出手
段と、該検出手段で検出されたガスの流量と予め設定された設
定流量とを比較することにより前記子圧力調整器の調整
圧力と前記親圧力調整器の調整圧力との差圧が所定値以
上であるか否かを判定する判定手段と、該判定手段により前記差圧が前記所定値以上でないこと
が判定された場合に警報を発生する警報手段と、を備え
たことを特徴とするガス漏洩検知装置。
【請求項２】前記検出手段は、ヒータの上流側に配置されて流入されたガスの温度を検
出して第１温度検出信号を出力する第１温度センサ及び
前記ヒータの下流側に配置されて前記流入されたガスの
温度を検出して第２温度検出信号を出力する第２温度セ
ンサを有するフローセンサと、該フローセンサからの前記第１温度検出信号と前記第２
温度検出信号との差に基づいて前記流入されたガスの流
量を算出する流量算出手段と、を備えることを特徴とす
る請求項１に記載のガス漏洩検知装置。
【請求項３】前記警報手段は、前記判定手段で判定さ
れた前記差圧が前記所定値以上である時間が一定時間以
上である場合に警報を発生することを特徴とする請求項
１又は２に記載のガス漏洩検知装置。