JP2001284437A - 移動案内装置と移動案内方法及びそれを用いた露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高さを低くし、姿勢精度を高精度に保ち、温
度変化が発生しても軸受けの隙間を変化させず、制御特
性の変化と運搬等による破損を無くす。 【解決手段】 第１の移動体としてのＹ方向駆動体４２
及び第２の移動体としてのＸ方向駆動体の上下方向の案
内を行う定盤１と、該定盤１上に固定されＸ方向駆動体
４１及びＹ方向駆動体４２の横方向の案内を行うそれぞ
れ１本の固定ガイド２１，２２とを備え、Ｘ方向駆動体
４１及びＹ方向駆動体４２の駆動は定盤１上に配置され
たアクチュエータであるリニアモータ５１１，５１２及
び５２１，５２２で駆動し、第３の移動体であるＸＹ移
動体３の上下方向の案内を定盤面１ａで行い、ＸＹ移動
体３はＸ方向駆動体４１及びＹ方向駆動体４２の側面を
横方向のガイドにして直交する２方向に移動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体露光装置、
精密測定器、精密加工機等に用いられる高速移動、精密
位置決めを繰り返すかあるいは高精度にスキャン移動す
る移動体を案内対象とする移動案内装置と移動案内方法
及びそれを用いた露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来は移動体の基準となる固定の定盤が
あり、その定盤上に移動体としてのステージ（ここでは
Ｙステージとする）が存在し、さらにそのステージ上に
ＸＹ平面内で直交方向に移動するステージ（ここではＸ
ステージとする）が搭載されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では 定盤の上にＹステージ、その上にＸステージと積み重
ねているため上下方向に高くなる。 Ｘステージが移動すると、Ｙステージに偏荷重が発生
しＹステージが変形する。従って、Ｘステージの静的な
姿勢精度（ピッチング）が劣化する。 Ｘステージが移動することにより系の平面内の重心位
置が変化するため、ステージ駆動することにより、ピッ
チング、ヨーイング等の振動を励起し、動的な姿勢精度
も劣化する。等の欠点があった。

【０００４】また、上記従来例の欠点をカバーするた
め、特開昭６１−３０３４６号公報等に開示のステージ
構成が提案されている。しかし、上記従来のステージ構
成では 第１，第２の移動体の横方向の案内が定盤の両端面で
行われるため、温度変化に対して精度が敏感である。軸
受け隙間が変化し、制御特性が変化する。 運搬等温度変化が大きい場合には、軸受けの隙間がな
くなり静圧軸受けを破損するおそれがある。等の欠点が
ある。

【０００５】本発明は上記欠点をカバーするためになさ
れたものであり、その目的は、高さを低くすることがで
き、静的及び動的な姿勢精度を高精度に保つことがで
き、温度変化が発生しても軸受けの隙間は変化せず、制
御特性の変化がなく、また、運搬等で破損のおそれがな
い移動案内装置と方法及びそれを用いた露光装置を提供
することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段及び作用】本発明に係わる
移動案内装置は、定盤上に固定され、第１の移動体の一
端のみ及び第２の移動体の一端のみの横方向の案内を行
うガイドと、前記定盤上に配置され前記第１及び第２の
移動体を駆動する少なくともそれぞれ１本のアクチュエ
ータとを有し、前記定盤には第３の移動体の上下方向の
案内を行う定盤面を備え、該第３の移動体は前記第１及
び第２の移動体の側面を横方向のガイドとして直交する
２方向に移動することを特徴とする。

【０００７】本発明に係わる移動案内方法は、第１の移
動体の一端のみ及び第２の移動体の一端のみの横方向の
案内は定盤上に固定されたガイドにより行い、前記第１
及び第２の移動体の駆動は前記定盤に設けた定盤面に固
定された少なくともそれぞれ１本のアクチュエータで行
い、第３の移動体の上下方向の案内を前記定盤面で行
い、該第３の移動体は前記第１及び第２の移動体の側面
を横方向のガイドとして直交する２方向に移動すること
を特徴とする。これにより、 Ｘステージ、Ｙステージを積み重ねていないので高さ
を低くすることができる。またＸ、Ｙステージをオーバ
ーハングさせることにより専有面積は従来とほぼ同一に
できる。 Ｘ、Ｙステージとも定盤上の２本のアクチュエータで
駆動することにより、ステージの位置により偏荷重が発
生してもアクチュエータのトルクを配分することにより
振動を減少させることができ、動的な姿勢精度も向上す
る。 第３の移動体のアクチュエータを必要としない。 第１及び第２の移動体の横方向の案内は定盤上の１本
の固定ガイドの側面であるので、温度変化が発生しても
軸受けの隙間は変化せず、運搬等で破損するおそれがな
い。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態として、第１
の移動体及び第２の移動体の案内は静圧軸受けで行い予
圧を磁石あるいは真空で行い、駆動をリニアモータで行
うことが望ましい。このことにより、すべて非接触構成
であり、 固体同士の摩擦が存在しないので、ヒス等がなく高精
度な位置決めが可能である。 接触部からの発熱がないので熱変形等が発生せず、こ
の面からも高精度な位置決めが可能である。 また、発塵もなくゴミ回収等の機構が不要で構成が容
易、かつコストダウンになる。 グリスアップ等のメンテナンスが不要になる。 等の効果がある。

【０００９】また、本発明では、第３の移動体の上下方
向の案内は第１及び第２の移動体の上下面により行って
もよい。このことにより上記効果に加え、 定盤面の精度は、第１及び第２の移動体の通過面のみ
保証すればよいので、加工面積が少なくなリコストダウ
ンとなる。 定盤面と第３の移動体の間の予圧機構が不要となり、
この面からもコストダウンになる。 等の効果が得られる。

【００１０】本発明の実施の形態として、第１の移動体
の一端側の案内は定盤上に固定された１本の全拘束タイ
プのガイドで行い、他端側の上下方向の案内は定盤で行
ってもよい。また、第２の移動体の一端側の案内は定盤
上に固定された１本の全拘束タイプのガイドで行い、他
端側の上下方向の案内は定盤で行うこととしてもよい。
本構成により次の効果が加わる。 予圧機構（磁石、真空等）を少なくでき、コストダウ
ンにつながる。 移動体から予圧機構を省略でき、移動体の軽量化とな
る。

【００１１】本発明において、第１の移動体の一端側の
案内は定盤上に固定された１本の全拘束タイプのガイド
で行い、他端側の案内は定盤及び定盤上に固定された１
本の固定ガイドで上下方向のみをガイドしてもよい。ま
た、第２の移動体についても、一端側の案内は定盤上に
固定された１本の全拘束タイプのガイドで行い、他端側
の案内は定盤及び定盤上に固定された１本の固定ガイド
で上下方向のみをガイドしてもよい。本構成により、以
下の効果が加わる。 磁石、真空を含め予圧機構が存在が不要なので、真空
中（減圧中含め）のステージ構成に最適である。 また、磁石予圧を使用していないので、ＥＢ（電子
線）描画装置のように、真空中で使用され、かつ非磁性
を要求するステージ構成にも好適である。

【００１２】

【実施例】（第１の実施例）図１〜図４は本発明の第１
の実施例に係る移動案内装置の概略を示す図である。図
１は斜視図、図２は図１のＣ矢視図（裏面図）、図３は
図１のＡ−Ａ断面図、図４は図１のＢ−Ｂ断面図であ
る。

【００１３】図１において、１は定盤であって上端に平
坦な定盤面１ａが形成されており、２１は定盤１上にＸ
方向に沿って固定され断面が四角形の第２のガイドとし
てのＸ方向固定ガイド、２２は定盤１上にＹ方向に沿っ
て固定され断面が四角形の第１のガイドとしてのＹ方向
固定ガイド、３はＸＹ方向に移動する第３の移動体とし
てのＸＹ移動体、４１は第２の移動体としてのＸ方向駆
動体、４２は第１の移動体としてのＹ方向駆動体、５０
０台の数字符号はリニアモータを示しており、５１１，
５１２はＸ方向駆動用リニアモータ、５２１，５２２は
Ｙ方向駆動用リニアモータである。

【００１４】ＸＹ移動体３は、図３及び図４に示すよう
に、底板部３ａと天板３ｂとの間に中間板部３ｃを有
し、該中間板部３ｃと天板部３ｂと両上側板部３ｄとに
よって断面が四角形の上部通り穴が形成され、底板部３
ａと中間板部３ｃと両下側板部３ｅとによって断面が四
角形の下部通り穴が形成されており、上部通り穴をＸ方
向駆動体４１の後述する駆動部４１ａが通り、下部通り
穴をＹ方向駆動体４２の後述する駆動部４２ａが通って
いる。

【００１５】Ｘ方向駆動体４１は、ＸＹ移動体３のＸ方
向に沿った側面を摺動自在に貫通する駆動部４１ａと、
該駆動部４１ａの両端に設けられた案内受部４１ｂ，４
１ｃとを有しており、リニアモータ５１１，５１２で駆
動されＸ方向固定ガイド２１によって案内されてＸ方向
に移動するとともに、駆動部４１ａによってＸＹ移動体
３をＸ方向に駆動する。Ｙ方向駆動体４２は、ＸＹ移動
体３のＹ方向に沿った側面を摺動自在に貫通する駆動部
４２ａと、該駆動部４２ａの両端に設けられた案内受部
４２ｂ，４２ｃとを有し、リニアモータ５２１，５２２
で駆動されＹ方向固定ガイド２２によってガイドされて
Ｙ方向に移動するとともに、駆動部４２ａによってＸＹ
移動体３をＹ方向に駆動する。Ｘ方向駆動体４１及びＹ
方向駆動体４２の駆動部４１ａ，４２ａ及び案内受部４
１ｂ，４２ｂはいずれも断面が四角形である。

【００１６】図２〜図４において、符号中６００台の数
字符号はいずれも空気静圧軸受けを示している。６１１
はＸ方向駆動体４１の各案内受部４１ｂ，４１ｃの下面
２箇所に設けられて垂直方向の支持をする空気静圧軸受
け、６１２はＸ方向駆動体４１の各案内受部４１ｂの側
面２箇所に設けられてＸ方向固定ガイド２１から横方向
の案内を受けＹ方向の支持をする空気静圧軸受けであ
る。６２１はＹ方向駆動体４２の各案内受部４２ｂ，４
２ｃの下面２箇所に設けられて定盤面１ａから案内を受
け垂直方向の支持をする空気静圧軸受け、６２２はＹ方
向駆動体４２の各案内受部４２ｂの側面２箇所に設けら
れてＹ方向固定ガイド２２から横方向の案内を受けＸ方
向の支持をする空気静圧軸受けである。

【００１７】また、６３１はＸＹ移動体３の底板部３ａ
下面の４箇所に設けられて該ＸＹ移動体３と定盤１間の
垂直方向の支持をする空気静圧軸受け、６４１はＸＹ移
動体３の上部通り穴内で中間板部３ｃ上面と天板部３ｂ
下面の各２箇所に設けられ該ＸＹ移動体３とＸ方向駆動
体４１の駆動部４１ａ間の横方向の案内を受け上下方向
の支持をする空気静圧軸受け、６５１はＸＹ移動体３の
下部通り穴内で底板部３ａ上面と中間板部３ｃ下面の各
２箇所に設けられて該ＸＹ移動体３とＹ方向駆動体４２
間の横方向の案内を受け上下方向の支持をする空気静圧
軸受けである。図２において、符号中７００台の数字符
号は予圧機構（永久磁石、電磁石、真空等）を示してい
る。７１１はＸ方向駆動体４１の各案内受部４１ｂ，４
１ｃの下面ほぼ中央に設けられて垂直方向の予圧付与
を、７１２はＸ方向駆動体４１の案内受部４１ｂの側面
ほぼ中央に設けられて横方向の予圧付与を、７２１はＹ
方向駆動体４２の各案内受部４２ｂ，４２ｃの下面ほぼ
中央に設けられて垂直方向の予圧付与を、７２２はＹ方
向駆動体４２の各案内受部４２ｂ，４２ｃの側面ほぼ中
央に設けられて横方向の予圧付与をそれぞれ行ってい
る。

【００１８】また、７３１はＸＹ移動体３の底板部３ａ
下面のほぼ中央に設けられて該ＸＹ移動体３と定盤１間
の予圧付与を行っている。（ＸＹ移動体３については両
上側板部３ｄの内面に設けた静圧軸受け６４２でＸＹ移
動体３とＸ方向駆動体４２間の垂直方向、両下側板部３
ｅの内面に設けた静圧軸受け６５２でＸＹ移動体３とＹ
方向駆動体４２間の垂直方向の案内を行い、予圧機構７
３１を省略することも可能である。また、後述の第３の
実施例以降に示すようにＸ，Ｙ移動体４１，４２をラジ
アルタイプにして垂直方向、横方向のガイドを兼ねるこ
とも可能である。）上記構成において、Ｘ方向移動体４
１は、静圧軸受け６１１に給気することにより定盤１に
対して浮上し、静圧軸受け６１２に給気することにより
Ｘ方向固定ガイド２１から浮上する。Ｙ方向移動体４２
は、静圧軸受け６２１に給気することにより定盤１から
浮上し、静圧軸受け６２２に給気することによりＹ方向
固定ガイド２２に対して浮上する。また、ＸＹ移動体３
は、静圧軸受け６３１に給気することにより定盤１から
浮上し、静圧軸受け６４１に給気することによりＸ方向
駆動体４１に対して、また静圧軸受け６５１に給気する
ことによりＹ方向駆動体４２から浮上する。（または、
静圧軸受け６４１，６４２に給気することによりＸＹ移
動体３はＸ方向駆動体４１より浮上し、静圧軸受け６５
１，６５２に給気することによりＹ方向駆動体４２に対
して浮上する。）リニアモータ５１１，５１２を駆動す
ることにより、Ｘ方向駆動体４１は、Ｘ方向に移動し、
静圧軸受け６４１を介してＸＹ移動体３をＸ方向に移動
させる。また、リニアモータ５２１，５２２を駆動する
ことにより、Ｙ方向駆動体４２は、Ｙ方向に移動し、静
圧軸受け６５１を介してＸＹ移動体３をＹ方向に移動さ
せる。

【００１９】本実施例に係る移動案内装置及び方法は上
記構成により、 ＸＹ移動体３の位置が変化しても定盤１には偏荷重が
発生しないので、静的な姿勢精度を高精度に保つことが
できる。 Ｘ方向駆動体４１及びＹ方向駆動体４２とも定盤面１
ａ上の２本のリニアモータ５１１，５１２及び５２１，
５２２で駆動しているので、ＸＹ移動体３の位置に応じ
て適当に駆動力を調整することによって、ＸＹ移動体３
のヨーイング振動の発生を抑制することができる。 すべて非接触のためゴミ、熱の発生がなく高精度、か
つメンテナンスが容易である。 振動の伝達については、空気静圧軸受けの隙間を介し
て微小量のみしか伝わらないので、動的な姿勢精度を良
好に保つことができる。 Ｘ方向駆動体４１及びＹ方向駆動体４２の横方向の案
内は定盤１上のそれぞれ１本のみの固定ガイド２１，２
２の側面で行われるので、温度変化が発生しても軸受け
の隙間は変化せず、運搬等で破損のおそれがない。等の
利点がある。

【００２０】（第２の実施例）図５及び図６は本発明の
第２の実施例に係る移動案内装置の概略構成を示す図で
ある。図５は斜視図、図６は図５のＣ矢視図である。本
実施例において第１の実施例と同一のまたは対応する部
材は同一符号で示している。

【００２１】同図において、本実施例に係るＸ方向駆動
体４１の駆動部４１ａ及びＹ方向駆動体４２の駆動部４
２ａは、ＸＹ移動体３の外側を通り、側面がＸＹ移動体
３の対応する側面に対向している。ＸＹ移動体３はそれ
ぞれの側面に空気静圧軸受け６３２，６３３及び予圧機
構７３２，７３３が設けられている。そして、ＸＹ移動
体３の一方の横方向の案内はＸ移動体４１の側面１面と
の間で空気静圧軸受け６３２と予圧機構７３２とを組み
合わせたもので行われ、他方の横方向の案内は移動体４
２の側面１面との間で空気静圧軸受け６３３と予圧機構
７３３とを組み合わせたものを介して行われる。

【００２２】本実施例に係る移動案内装置及び方法は上
記構成により、第１の実施例の場合の効果に加え、 ＸＹ移動体３の横方向の案内はＸ方向駆動体４１の
面、Ｙ方向駆動体４２の面のみであり、より熱的な安定
性が得られる。 組み立て時の軸受け隙間調整等が不要であり、組み立
て調整が容易である。等の利点がある。

【００２３】（第３の実施例）図７〜図９は本発明の第
３の実施例に係る移動案内装置の概略を示した図であ
る。図７は斜視図、図８は図７のＡ−Ａ断面図、図９は
図７のＢ−Ｂ断面図である。本実施例において第１の実
施例と同一のまたは対応する部材は同一符号で示してい
る。

【００２４】同図において、ＸＹ移動体３は円形通り穴
が開けられており、固定ガイド２１１及び固定ガイド２
２１は断面が円形ラジアルタイプである。また、Ｘ方向
駆動体４１及びＹ方向駆動体４２は、駆動部４１ａ，４
２ａが円形断面の棒体、案内受部４１ｂ，４２ｂが円筒
形であって対応する固定ガイドの外周に嵌合し軸線方向
に沿って移動自在である。そして、Ｘ方向駆動体４１は
一端側の案内受部４１ｂが上下面全拘束の固定ラジアル
ガイド２１１により案内され、他端側の案内受部４１ｃ
が上下面のみ定盤面１ａで行い予圧機構７１１と組み合
わせて案内される。また、Ｙ方向駆動体４２についても
一端側の案内受部４２ｂは上下面全拘束の固定ラジアル
ガイド２２１により案内され、他端側の案内受部４２ｃ
は上下面のみ定盤面１ａで行い予圧機構７２１と組み合
わせて案内される。（本発明においては、固定ガイド２
１１，２２１はラジアルタイプで説明しているが角型の
ガイドで構成しても同様である。） Ｘ方向駆動体４１及びＹ方向駆動体４２の駆動は第１の
実施例と同様にリニアモータで行い、５１１，５１２は
Ｘ方向駆動用、５２１，５２２はＹ方向駆動用リニアモ
ータである（不図示）。

【００２５】また、ＸＹ移動体３については、上部通り
穴及び下部通り穴の内周面に静圧軸受け６４２，６５２
を設け、静圧軸受け５４２でＸＹ移動体３とＸ方向駆動
体４１間の垂直方向、静圧軸受け６５２でＸＹ移動体３
とＹ方向駆動体４２間の垂直方向の案内を行い、第１の
実施例と同様に予圧機構７３１を省略することも可能で
ある。

【００２６】本実施例に係る移動案内装置及び方法は上
記構成により、 予圧機構（磁石、真空等）を少なくでき、コストダウ
ンにつながる。 第１及び第２の移動体から予圧機構を省略でき、移動
体の軽量化となる。 等の利点がある。

【００２７】（第４の実施例）図１０〜図１２は本発明
の第４の実施例に係る移動案内装置の概略図である。図
１０は斜視図、図１１は図１０のＡ−Ａ断面図、図１２
は図１０のＢ−Ｂ断面図である。本実施例において第１
〜第３の実施例と同一の部材または対応する部材は同一
番号で示している。

【００２８】同図において、Ｘ方向駆動体４１は一端側
の案内受部４１ｂは上下面全拘束の固定ラジアルガイド
２１１により案内され、他端側は内向き溝Ｇｒを有する
固定ガイド２１２の該溝Ｇｒに駆動部４１ａの一部分が
嵌入されることにより、上下面のみ拘束され案内され
る。

【００２９】またＹ方向駆動体４２についても、一端側
の案内受部４２ｂは上下面全拘束の固定ラジアルガイド
２２１により案内され、他端側は固定ガイド２２２の溝
Ｇｒに駆動部４２ａの一部分が嵌入されることにより、
上下面のみ拘束され案内される。（本発明においても、
第３の実施例と同様に固定ガイド２１１，２２１はラジ
アルタイプで説明しているが角型のガイドで構成しても
同様である。また、上下面のみ固定ガイドにより拘束し
ているが、上下面の一方は定盤面１ａで案内してもかま
わない。） 駆動は第１の発明と同様にリニアモータであり、５１
１，５１２はＸ方向駆動用、５２１，５２２はＹ方向駆
動用リニアモータである（不図示）。

【００３０】また、本発明については、ＸＹ移動体３に
ついては静圧軸受け６４２でＸＹ移動体３とＸ方向駆動
体４１間の垂直方向、静圧軸受け６５２でＸＹ移動体３
とＹ方向駆動体４２間の垂直方向の案内を行い、予圧機
構を使用しない。

【００３１】本実施例に係る移動案内装置及び方法は上
記構成により、 磁石、真空を含め予圧機構が存在しないので、真空中
（減圧中を含め）のステージ構成に最適である。 また、磁石予圧を使用していないので、ＥＢ（電子
線）描画装置のように、真空中で使用されかつ、非磁性
を要求するステージ構成にも好適である。等の利点があ
る。

【００３２】なお、本発明は上記実施例によって限定さ
れるものではなく、種々の変形変更が可能である。例え
ば、ガイド２１と２２とは相互交差位置で一体に結合さ
れた一体物であってもよく、ガイド２１１と２２１、及
びガイド２１２と２２２についても同様である。

【００３３】

【デバイス生産方法の実施例】次に上記説明した移動案
内装置または方法による露光装置または露光方法を利用
したデバイスの生産方法の実施例を説明する。図１３は
微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パ
ネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の
製造のフローを示す。ステップ１（回路設計）ではデバ
イスのパターン設計を行う。ステップ２（マスク製作）
では設計したパターンを形成したマスクを製作する。一
方、ステップ３（ウエハ製造）ではシリコンやガラス等
の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハ
プロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウ
エハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実
際の回路を形成する。次のステップ５（組み立て）は後
工程と呼ばれ、ステップ４によって作製されたウエハを
用いて半導体チップ化する工程であって、アッセンブリ
工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工
程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）
ではステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認
テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を
経て半導体デバイスが完成し、これが出荷（ステップ
７）される。

【００３４】図１４は上記ウエハプロセスの詳細なフロ
ーを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸
化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶
縁膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ
上に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオ
ン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１
５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ス
テップ１６（露光）では上記説明した移動案内装置また
は方法を用いた露光装置によってマスクの回路パターン
をウエハに焼付露光する。ステップ１７（現像）では露
光したウエハを現像する。ステップ１８（エッチング）
では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステッ
プ１９（レジスト剥離）ではエッチングが済んで不要と
なったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返
し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが
形成される。

【００３５】本実施例の生産方法を用いれば、従来は製
造が難しかった高集積度のデバイスを低コストに製造す
ることができる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、第１の
移動体の一端のみ及び第２の移動体の一端のみの横方向
の案内は定盤上に固定されたガイドにより行い、第１の
移動体の駆動は定盤面に固定された少なくとも１本のア
クチュエータで、第２の移動体の駆動について定盤面に
固定された少なくとも１本のアクチュエータで駆動す
る。また、第３の移動体の上下方向の案内を定盤面で行
い、横方向の案内をそれぞれ第１及び第２の移動体の側
面で行う。また、第３の移動体の駆動は、第１及び第２
の移動体の横方向の案内を介して伝達する。

【００３７】かかる構成により、本発明は、 第１の移動体、第２の移動体及び第３の移動体を積み
重ねていないので高さを低くすることができる。また、
第１の移動体と第２の移動体をオーバーハングさせるこ
とにより専有面積は従来とほぼ同一にできる。 第３の移動体が移動しても偏荷重が発生せず静的な姿
勢精度を高精度に保つことができる。 振動については、静圧軸受けの隙間を介してのみしか
伝わらないので、伝わる量は微小であり動的にも姿勢精
度を高精度に保つことができる。 第１及び第２の移動体は定盤上の２本のリニアモータ
で駆動しているのでヨーイング振動を制振でき、動的な
姿勢精度も高精度に保つことができる。 摩擦が存在しないのでヒス等がなく高精度な位置決め
が可能である。 接触部からの発熱がないので熱変形等が発生せず、こ
の面からも高精度な位置決めが可能である。 また、発塵もなくゴミ回収等の機構が不要で構成が容
易、かつコストダウンになる。 グリスアップ等のメンテナンスが不要となる。 第１及び第２の移動体の横方向の案内は定盤上の１本
の固定ガイドの側面であるので、温度変化が発生しても
軸受けの隙間は変化せず、制御特性の変化がない。ま
た、運搬等で破損のおそれがない。等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施例に係る移動案内装置の
概略を示す斜視図である。

【図２】 図１のＣ矢視図（裏面図）である。

【図３】 図１のＡ−Ａ断面図である。

【図４】 図１のＢ−Ｂ断面図である。

【図５】 本発明の第２の実施例に係る移動案内装置の
概略を示す斜視図である。

【図６】 図５の裏面図である。

【図７】 本発明の第３の実施例に係る移動案内装置の
概略を示す斜視図である。

【図８】 図７のＡ−Ａ断面図である。

【図９】 図７のＢ−Ｂ断面図である。

【図１０】 本発明の第４の実施例に係る移動案内装置
の概略を示す斜視図である。

【図１１】 図１０のＡ−Ａ断面図である。

【図１２】 図１０のＢ−Ｂ断面図である。

【図１３】 微小デバイスの製造の流れを示す図であ
る。

【図１４】 図１３におけるウエハプロセスの詳細な流
れを示す図である。

【符号の説明】

１：定盤、１ａ：定盤面、２：固定ガイド、２１、２１
１：ｘ方向固定ガイド、２２、２１２：Ｙ方向固定ガイ
ド、３：ＸＹ移動体、４１：Ｘ方向駆動体、４１ａ：駆
動部、４１ｂ，４１ｃ：案内受部、４２：Ｙ方向駆動
体、４２ａ：駆動部、４２ｂ，４２ｃ：案内受部、５：
リニアモータ、５１１，５１２：Ｘ方向駆動、５２１，
５２２：Ｙ方向駆動、６１１：Ｘ方向駆動体の垂直方向
空気静圧軸受け、６１２：Ｘ方向駆動体の横方向空気静
圧軸受け、６２１：Ｙ方向駆動体の垂直方向空気静圧軸
受け、６２２：Ｙ方向駆動体の横方向空気静圧軸受け、
６３１：ＸＹ移動体と定盤間の垂直方向空気静圧軸受
け、６３２：ＸＹ移動体とＸ移動体の横方向空気静圧軸
受け、６３３：ＸＹ移動体とＹ移動体の横方向空気静圧
軸受け、６４１：ＸＹ移動体とＸ方向駆動体間の横方向
空気静圧軸受け、６４２：ＸＹ移動体とＸ方向駆動体間
の垂直方向空気静圧軸受け、６５１：ＸＹ移動体とＹ方
向駆動体間の横方向空気静圧軸受け、６４２：ＸＹ移動
体とＸ方向駆動体間の垂直方向空気静圧軸受け、６５
２：ＸＹ移動体とＹ方向駆動体間の垂直方向空気静圧軸
受け、７１１：Ｘ方向駆動体の垂直方向予圧機構、７１
２：Ｘ方向駆動体の横方向予圧機構、７２１：Ｙ方向駆
動体の垂直方向予圧機構、７２２：Ｙ方向駆動体の横方
向予圧機構、７３１：ＸＹ移動体の垂直方向予圧機構、
７３２：ＸＹ移動体とＸ移動体の横方向予圧機構、７３
３：ＸＹ移動体とＹ移動体の横方向予圧機構。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｂ２３Ｑ 1/18 Ａ (72)発明者 井上 充 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 Ｆターム(参考） 2F078 CA02 CA08 CB09 CB12 CB13 CB16 CC11 CC14 3C048 AA01 BC02 DD06 5F031 CA02 HA53 KA06 LA02 LA04 LA08 MA26 MA27 MA28 PA06 PA30 5F046 CC03 CC18 CC20

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 定盤上に固定され、第１の移動体の一端
   のみ及び第２の移動体の一端のみの横方向の案内を行う
   ガイドと、前記定盤上に配置され前記第１及び第２の移
   動体を駆動する少なくともそれぞれ１本のアクチュエー
   タとを有し、前記定盤には第３の移動体の上下方向の案
   内を行う定盤面を備え、該第３の移動体は前記第１及び
   第２の移動体の側面を横方向のガイドとして直交する２
   方向に移動することを特徴とする移動案内装置。
2. 【請求項２】 前記第１の移動体及び前記第２の移動体
   の上下方向の案内は前記定盤面で行うことを特徴とする
   請求項１に記載の移動案内装置。
3. 【請求項３】 前記第１、第２及び第３の移動体の案内
   は空気静圧軸受けにより行い、予圧は磁石あるいは真空
   により行い、前記第１及び第２の移動体の駆動はリニア
   モータで行うことを特徴とする請求項１または２に記載
   の移動案内装置。
4. 【請求項４】 前記第３の移動体の上下方向の案内を、
   前記第１及び第２の移動体の上下面でも行うことを特徴
   とする請求項１〜３のいずれかに記載の移動案内装置。
5. 【請求項５】 前記第１の移動体の一端の案内及び前記
   第２の移動体の一端の案内は定盤上に固定された全拘束
   タイプのガイドで行い、前記第１の移動体の他端の上下
   方向の案内及び前記第２の移動体の他端の上下方向の案
   内は前記定盤面で行うことを特徴とする請求項１、３ま
   たは４のいずれかに記載の移動案内装置。
6. 【請求項６】 前記第１の移動体の一端の案内及び前記
   第２の移動体の一端の案内は前記定盤上に固定された全
   拘束のガイドで行い、前記第１の移動体の他端の上下方
   向の案内及び前記第２の移動体の他端の上下方向の案内
   は前記定盤面及び前記定盤上に固定された固定ガイドで
   行うことを特徴とする請求項１、３または４のいずれか
   に記載の移動案内装置。
7. 【請求項７】 第１の移動体の一端のみ及び第２の移動
   体の一端のみの横方向の案内は定盤上に固定されたガイ
   ドにより行い、前記第１及び第２の移動体の駆動は前記
   定盤に設けた定盤面に固定された少なくともそれぞれ１
   本のアクチュエータで行い、第３の移動体の上下方向の
   案内を前記定盤面で行い、該第３の移動体は前記第１及
   び第２の移動体の側面を横方向のガイドとして直交する
   ２方向に移動することを特徴とする移動案内方法。
8. 【請求項８】 前記第１の移動体および前記第２の移動
   体の上下方向の案内は前記定盤面で行うことを特徴とす
   る請求項７に記載の移動案内方法。
9. 【請求項９】 請求項１〜６に記載の移動案内装置また
   は請求項７もしくは８に記載の移動案内方法のいずれか
   を用いたことを特徴とする露光装置。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載の露光装置を用いてデ
    バイスを製造するデバイス製造方法。