JP2001279303A - Ｔｉ−Ａｌ金属間化合物部材の製造方法 - Google Patents
Ｔｉ−Ａｌ金属間化合物部材の製造方法Info
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- JP2001279303A JP2001279303A JP2000094584A JP2000094584A JP2001279303A JP 2001279303 A JP2001279303 A JP 2001279303A JP 2000094584 A JP2000094584 A JP 2000094584A JP 2000094584 A JP2000094584 A JP 2000094584A JP 2001279303 A JP2001279303 A JP 2001279303A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｔi−Ａl金属間化合物から複雑形状部材を鍛
造する。 【解決手段】 下鍛造プレート８及び上鍛造プレート９
の温度は焼結後のブランク材の温度と等しくなるようコ
ントロールされている。具体的には900〜1100℃の範囲
となっている。この範囲はＴi−Ａl金属間化合物の超塑
性領域、即ち、異常に大きな延びを示す現象が起こる領
域であり、この温度領域内で恒温鍛造、即ち、金型温度
を加工する材料の超塑性温度と同一の温度にして行う鍛
造で複雑な形状の部材を得ることができる。
造する。 【解決手段】 下鍛造プレート８及び上鍛造プレート９
の温度は焼結後のブランク材の温度と等しくなるようコ
ントロールされている。具体的には900〜1100℃の範囲
となっている。この範囲はＴi−Ａl金属間化合物の超塑
性領域、即ち、異常に大きな延びを示す現象が起こる領
域であり、この温度領域内で恒温鍛造、即ち、金型温度
を加工する材料の超塑性温度と同一の温度にして行う鍛
造で複雑な形状の部材を得ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＴi−Ａl金属間化合
物からなる部材の製造方法に関する。
物からなる部材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｔi−Ａl金属間化合物は高温（８００℃
付近）での強度及び耐食性に優れ、比較的軽量であるた
め、航空機、ロケットまたは自動車のエンジン部品等の
材料として、インコネルに代表されるＮi系耐熱合金に
代るものとして注目されている。
付近）での強度及び耐食性に優れ、比較的軽量であるた
め、航空機、ロケットまたは自動車のエンジン部品等の
材料として、インコネルに代表されるＮi系耐熱合金に
代るものとして注目されている。
【０００３】Ｔi−Ａl金属間化合物の製造方法として
は、特開平５−２７１８２３号公報、特開平５−１１７
７１６号公報及び特開平１１−１７２３５１号公報等が
提案されている。
は、特開平５−２７１８２３号公報、特開平５−１１７
７１６号公報及び特開平１１−１７２３５１号公報等が
提案されている。
【０００４】特開平５−２７１８２３号公報に開示され
る内容は、Ｔi粉末とＡl粉末とを混合して加圧すること
で成形体を形成し、この成形体をＴiまたはＴi合金製の
容器（カプセル）に封入し、容器ごと熱間静水圧処理
（ＨＩＰ）するようにしたもので、容器にＴiまたはＴi
合金を用いることで、これらを酸素及び窒素のゲッター
として作用せしめ、品質安定化を図っている。
る内容は、Ｔi粉末とＡl粉末とを混合して加圧すること
で成形体を形成し、この成形体をＴiまたはＴi合金製の
容器（カプセル）に封入し、容器ごと熱間静水圧処理
（ＨＩＰ）するようにしたもので、容器にＴiまたはＴi
合金を用いることで、これらを酸素及び窒素のゲッター
として作用せしめ、品質安定化を図っている。
【０００５】特開平５−１１７７１６号公報には、メカ
ニカルアロイング法やメカニカルグライディング法によ
って２種以上の金属微粉末混合体を製造し、この金属微
粉末混合体をプラズマ焼結法により焼結することが開示
され、特に金属粉末として、Ｔi及びＡlが挙げられてい
る。
ニカルアロイング法やメカニカルグライディング法によ
って２種以上の金属微粉末混合体を製造し、この金属微
粉末混合体をプラズマ焼結法により焼結することが開示
され、特に金属粉末として、Ｔi及びＡlが挙げられてい
る。
【０００６】また、特開平１１−１７２３５１号公報に
は、ＴiとＡlとをモル比で１：１に配合し、これをボー
ルミルを用いて混合粉末とし、この混合粉末を上下の電
極（パンチ）間で圧縮しながらパルス通電して焼結せし
める方法が提案されている。
は、ＴiとＡlとをモル比で１：１に配合し、これをボー
ルミルを用いて混合粉末とし、この混合粉末を上下の電
極（パンチ）間で圧縮しながらパルス通電して焼結せし
める方法が提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した何れの方法も
Ｔi粉末及びＡl粉末からＴi−Ａl金属間化合物を製作す
るまでの提案であり、いずれもＴi−Ａl金属間化合物の
形状は丸棒状であり、この丸棒素材から複雑形状の部材
をどのように製造するかについては解決されていない。
Ｔi粉末及びＡl粉末からＴi−Ａl金属間化合物を製作す
るまでの提案であり、いずれもＴi−Ａl金属間化合物の
形状は丸棒状であり、この丸棒素材から複雑形状の部材
をどのように製造するかについては解決されていない。
【０００８】特に、Ｔi−Ａl金属間化合物は高温での強
度及び耐食性に優れる反面、常温では極めて脆く、塑性
加工や機械加工での形状付与が困難であるため、実用化
の障害になっている。そこで、溶解鋳造法も考えられて
いるが、この鋳造法には真空プラズマスカル溶解装置な
どの極めて高価な装置が必要で、鋳型は潮解性のあるカ
ルシア（ＣaＯ）を用いるため、取り扱いが面倒で、更
に鋳造欠陥を生じやすいため、鋳造後にＨＩＰ処理が必
要となり、このＨＩＰ処理中に変形する不利もある。し
たがって、溶解鋳造法も実際には使用することができな
い。
度及び耐食性に優れる反面、常温では極めて脆く、塑性
加工や機械加工での形状付与が困難であるため、実用化
の障害になっている。そこで、溶解鋳造法も考えられて
いるが、この鋳造法には真空プラズマスカル溶解装置な
どの極めて高価な装置が必要で、鋳型は潮解性のあるカ
ルシア（ＣaＯ）を用いるため、取り扱いが面倒で、更
に鋳造欠陥を生じやすいため、鋳造後にＨＩＰ処理が必
要となり、このＨＩＰ処理中に変形する不利もある。し
たがって、溶解鋳造法も実際には使用することができな
い。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係るＴi−Ａl金属間化合物部材の製造方法は、Ｔ
i粉末とＡl粉末またはＡl合金粉末を混合し、この混合
粉末を型内に充填した後、パンチ間で圧粉しつつ混合粉
末に通電し、その際に発生する熱により焼結せしめてＴ
i−Ａl金属間化合物を作製し、次いで焼結の際の熱を利
用し連続してＴi−Ａl金属間化合物に恒温鍛造を施すよ
うにした。
発明に係るＴi−Ａl金属間化合物部材の製造方法は、Ｔ
i粉末とＡl粉末またはＡl合金粉末を混合し、この混合
粉末を型内に充填した後、パンチ間で圧粉しつつ混合粉
末に通電し、その際に発生する熱により焼結せしめてＴ
i−Ａl金属間化合物を作製し、次いで焼結の際の熱を利
用し連続してＴi−Ａl金属間化合物に恒温鍛造を施すよ
うにした。
【００１０】常温ではＴi−Ａl金属間化合物は極めて脆
く、形状の付与が困難であるが、通電焼結の際に発生す
る熱をそのまま利用し、成形型の温度をＴi−Ａl金属間
化合物の温度と略等しくした恒温鍛造（９００℃〜１１
００℃）にてＴi−Ａl金属間化合物を成形することで、
Ｔi−Ａl金属間化合物は超塑性を示し、タービンブレー
ドなどの複雑形状部材を簡単に製造することができる。
尚、一旦冷えてからＴi−Ａl金属間化合物を再加熱して
鍛造すると、結晶粒が粗大化し強度低下を招き、成形時
に割れも生じやすくなる。
く、形状の付与が困難であるが、通電焼結の際に発生す
る熱をそのまま利用し、成形型の温度をＴi−Ａl金属間
化合物の温度と略等しくした恒温鍛造（９００℃〜１１
００℃）にてＴi−Ａl金属間化合物を成形することで、
Ｔi−Ａl金属間化合物は超塑性を示し、タービンブレー
ドなどの複雑形状部材を簡単に製造することができる。
尚、一旦冷えてからＴi−Ａl金属間化合物を再加熱して
鍛造すると、結晶粒が粗大化し強度低下を招き、成形時
に割れも生じやすくなる。
【００１１】Ｔi粉末はatm％で５１〜５２％とし、残部
をＡlまたはＡl合金とするのが好ましい。これはＴiを
５０％以下にすると、ＴiＡl相の他に、脆く部材を脆化
させやすいＡl比率の高いＴiＡl2相やＴiＡl3相が生成
されるため、Ｔiを５１〜５２％とする。この組成にす
ることでＴi3Ａl相が微量ながら含まれるが、延性を阻
害することはない。
をＡlまたはＡl合金とするのが好ましい。これはＴiを
５０％以下にすると、ＴiＡl相の他に、脆く部材を脆化
させやすいＡl比率の高いＴiＡl2相やＴiＡl3相が生成
されるため、Ｔiを５１〜５２％とする。この組成にす
ることでＴi3Ａl相が微量ながら含まれるが、延性を阻
害することはない。
【００１２】また、前記Ｔi−Ａl金属間化合物は、0.5a
tm％〜0.8atm％のＭnを含有せしめることが可能であ
る。このＭnをＡl合金の形態で供給する場合には、Ｍn
を1.0atm％〜1.6atm％含有する形で供給すればよい。Ｍ
nを含有せしめることで、Ｔi−Ａl金属間化合物の延性
を向上せしめることができる。ただし、0.5atm％未満で
は添加の効果が少なく、また0.8atm％を超えるとＴiＡl
相中にＭnが固溶しきれず、Ｍnが単体で析出してしま
う。したがって上記範囲が好ましい。
tm％〜0.8atm％のＭnを含有せしめることが可能であ
る。このＭnをＡl合金の形態で供給する場合には、Ｍn
を1.0atm％〜1.6atm％含有する形で供給すればよい。Ｍ
nを含有せしめることで、Ｔi−Ａl金属間化合物の延性
を向上せしめることができる。ただし、0.5atm％未満で
は添加の効果が少なく、また0.8atm％を超えるとＴiＡl
相中にＭnが固溶しきれず、Ｍnが単体で析出してしま
う。したがって上記範囲が好ましい。
【００１３】また、通電焼結する前に、混合粉末をメカ
ニカルアロイング法により合金化しておくことも可能で
ある。このように合金化しておくと、通電焼結によって
５μｍ以下の結晶粒が現れ、組織が緻密化して強度が更
に向上する。
ニカルアロイング法により合金化しておくことも可能で
ある。このように合金化しておくと、通電焼結によって
５μｍ以下の結晶粒が現れ、組織が緻密化して強度が更
に向上する。
【００１４】本発明に係る製造方法が適用される部材と
しては、タービンブレード等が考えられるが、これ以外
の薄肉耐熱用部材に本発明は広く適用される。
しては、タービンブレード等が考えられるが、これ以外
の薄肉耐熱用部材に本発明は広く適用される。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は加圧パターン
を示すグラフ、図２〜図８は焼結から成形までの工程を
説明した図である。
図面に基づいて説明する。ここで、図１は加圧パターン
を示すグラフ、図２〜図８は焼結から成形までの工程を
説明した図である。
【００１６】原材料粉末として、平均粒径１５〜４０μ
ｍのＴi粉末（純度９９．９９％以上）と平均粒径１５
〜４０μｍのＡl粉末（純度９９．９９％以上）を用意
し、Ｔi：Ａl＝５１：４９（atm％）となるようにＡrガ
ス中で混合する。Ａrガス中で行うのは、Ｔi粉末および
Ａl粉末とも非常に反応性に富むためである。
ｍのＴi粉末（純度９９．９９％以上）と平均粒径１５
〜４０μｍのＡl粉末（純度９９．９９％以上）を用意
し、Ｔi：Ａl＝５１：４９（atm％）となるようにＡrガ
ス中で混合する。Ａrガス中で行うのは、Ｔi粉末および
Ａl粉末とも非常に反応性に富むためである。
【００１７】混合後にメカニカルアロイング法によって
合金化せしめた。尚、合金化せずに次工程に進んでもよ
いが、合金化することにより、組織の緻密化が図れるの
で、実施例ではアトライタを用いて合金化した。
合金化せしめた。尚、合金化せずに次工程に進んでもよ
いが、合金化することにより、組織の緻密化が図れるの
で、実施例ではアトライタを用いて合金化した。
【００１８】合金化の際には一旦真空雰囲気とした後
に、再度５〜２０％の窒素ガスを含むＡrガスを導入す
る。窒素ガスを添加することで、焼結後のＴiＡlの収率
を向上せしめることができる。
に、再度５〜２０％の窒素ガスを含むＡrガスを導入す
る。窒素ガスを添加することで、焼結後のＴiＡlの収率
を向上せしめることができる。
【００１９】Ｔi粉末とＡl粉末との混合時間は５０時間
行った。混合時間を３０時間未満とした場合には、合金
化が十分に図れず、一方１００時間を超えて混合すれば
アモルファス化した合金が得られるが、アモルファス化
する必要はないので、混合時間は３０〜１００時間とす
る。
行った。混合時間を３０時間未満とした場合には、合金
化が十分に図れず、一方１００時間を超えて混合すれば
アモルファス化した合金が得られるが、アモルファス化
する必要はないので、混合時間は３０〜１００時間とす
る。
【００２０】次いで上記の合金化した混合粉末を図２に
示す焼結装置を用いて焼結せしめる。焼結装置は２分割
された半円環状のグラファイトダイス１，１をシリンダ
ユニット２，２で進退可能とし、前進位置にあるグラフ
ァイトダイス１，１で形成される空間に下方から下パン
チ３を臨ませ、グラファイトダイス１，１内面と下パン
チ３上面との間で形成される凹部に前記混合粉末を充填
した。
示す焼結装置を用いて焼結せしめる。焼結装置は２分割
された半円環状のグラファイトダイス１，１をシリンダ
ユニット２，２で進退可能とし、前進位置にあるグラフ
ァイトダイス１，１で形成される空間に下方から下パン
チ３を臨ませ、グラファイトダイス１，１内面と下パン
チ３上面との間で形成される凹部に前記混合粉末を充填
した。
【００２１】この後、図３に示すように、上パンチ４と
下パンチ３により混合粉末を圧粉する。加圧パターンは
図１に示した通りである。また、上パンチ４と下パンチ
３とも電極としての機能を有しており、これら上パンチ
４と下パンチ３を介して混合粉末を圧粉しつつ通電する
ことで混合粉末からなる成形体を焼結する。焼結の条件
は50℃/minで950℃まで昇温し、５分間保持すると同時
に、上下のパンチにより49MPa（0.5ton/cm2）で加圧し
焼結した。以上の操作により図３、図４に示すような円
柱状のブランク材が得られる。
下パンチ３により混合粉末を圧粉する。加圧パターンは
図１に示した通りである。また、上パンチ４と下パンチ
３とも電極としての機能を有しており、これら上パンチ
４と下パンチ３を介して混合粉末を圧粉しつつ通電する
ことで混合粉末からなる成形体を焼結する。焼結の条件
は50℃/minで950℃まで昇温し、５分間保持すると同時
に、上下のパンチにより49MPa（0.5ton/cm2）で加圧し
焼結した。以上の操作により図３、図４に示すような円
柱状のブランク材が得られる。
【００２２】焼結条件のうち、昇温速度としては20〜80
℃/minが好ましい。20℃/min未満で行うと、粒径が粗大
化し、逆に80℃/minを超えると、昇温速度に反応が追従
せず、未反応の部分が残留してしまうためである。
℃/minが好ましい。20℃/min未満で行うと、粒径が粗大
化し、逆に80℃/minを超えると、昇温速度に反応が追従
せず、未反応の部分が残留してしまうためである。
【００２３】焼結条件のうち、保持温度は900〜1100℃
が好ましい。900℃未満では焼結を促進する液層が生成
されず、焼結時間が非常に長くなってしまい、逆に1100
℃を超えた温度では、再溶融してしまう。
が好ましい。900℃未満では焼結を促進する液層が生成
されず、焼結時間が非常に長くなってしまい、逆に1100
℃を超えた温度では、再溶融してしまう。
【００２４】焼結条件のうち、加圧は29〜68.6MPa（0.3
〜0.7ton/cm2）で行うことが好ましい。29MPa未満では
成形後に密度の向上が十分に図れず、68.6MPaを超える
とダイスに働く応力が増大してダイスの寿命が低下す
る。
〜0.7ton/cm2）で行うことが好ましい。29MPa未満では
成形後に密度の向上が十分に図れず、68.6MPaを超える
とダイスに働く応力が増大してダイスの寿命が低下す
る。
【００２５】上記の範囲で焼結を行うことで、図６
（ａ）及び（ｂ）に示すような、２０μｍ程度の粒径と
５０μｍ程度の粒径が混ざり合った結晶組織が得られ
る。２０μｍ程度の結晶粒は後述する恒温鍛造による超
塑性加工に有効であり、５０μｍ程度の結晶粒は靱性を
向上する効果がある。
（ａ）及び（ｂ）に示すような、２０μｍ程度の粒径と
５０μｍ程度の粒径が混ざり合った結晶組織が得られ
る。２０μｍ程度の結晶粒は後述する恒温鍛造による超
塑性加工に有効であり、５０μｍ程度の結晶粒は靱性を
向上する効果がある。
【００２６】以上の如くして、合金化した混合粉末を焼
結することでＴi−Ａl金属間化合物からなるブランク材
を得たならば、図５に示すようにグラファイトダイス
１，１が後退するとともに下パンチ３内に軸方向に挿入
されていたノックアウトピン５によってブランク材を下
パンチ３から持ち上げる。
結することでＴi−Ａl金属間化合物からなるブランク材
を得たならば、図５に示すようにグラファイトダイス
１，１が後退するとともに下パンチ３内に軸方向に挿入
されていたノックアウトピン５によってブランク材を下
パンチ３から持ち上げる。
【００２７】次いで、図７に示すように別のダイス６，
６がダイス１，１とは９０°異なる方向から前進し、ブ
ランク材を円環状に囲むとともに下パンチ３の外側面に
沿って下サブパンチ７が下パンチ３の上面と面一になる
まで上昇する。そして、この下サブパンチ７とブランク
材との間に下鍛造プレート８を挿入する。この下鍛造プ
レート８の上面は複雑形状をなす成形面になっている。
また、下鍛造プレート８の挿入方法はブランク材を持ち
上げた状態で下パンチ３と下サブパンチ７の上に下鍛造
プレート８をセットするか、ブランク材をそのままにし
て側方から下鍛造プレート８を滑り込ませる方法のいず
れでもよい。
６がダイス１，１とは９０°異なる方向から前進し、ブ
ランク材を円環状に囲むとともに下パンチ３の外側面に
沿って下サブパンチ７が下パンチ３の上面と面一になる
まで上昇する。そして、この下サブパンチ７とブランク
材との間に下鍛造プレート８を挿入する。この下鍛造プ
レート８の上面は複雑形状をなす成形面になっている。
また、下鍛造プレート８の挿入方法はブランク材を持ち
上げた状態で下パンチ３と下サブパンチ７の上に下鍛造
プレート８をセットするか、ブランク材をそのままにし
て側方から下鍛造プレート８を滑り込ませる方法のいず
れでもよい。
【００２８】次いでブランク材の上に下面が複雑形状を
なす成形面となった上鍛造プレート９をセットし、一
方、上パンチ４の外側面に沿って下降する上サブパンチ
１０を設け、これら上パンチ４及び上サブパンチ１０の
下面を上鍛造プレート９の上面に当接せしめ、上パンチ
４及び上サブパンチ１０を図８に示すように下降せしめ
る。
なす成形面となった上鍛造プレート９をセットし、一
方、上パンチ４の外側面に沿って下降する上サブパンチ
１０を設け、これら上パンチ４及び上サブパンチ１０の
下面を上鍛造プレート９の上面に当接せしめ、上パンチ
４及び上サブパンチ１０を図８に示すように下降せしめ
る。
【００２９】ここで、前記下鍛造プレート８及び上鍛造
プレート９の温度は焼結後のブランク材の温度と等しく
なるようコントロールされている。具体的には900〜110
0℃の範囲となっている。この範囲はＴi−Ａl金属間化
合物の超塑性領域、即ち、異常に大きな延びを示す現象
が起こる領域であり、この温度領域内で恒温鍛造（金型
温度を加工する材料の超塑性温度と同一の温度にして行
う鍛造）することにより、図９に示すタービンブレード
のような複雑な形状の部材を得ることができる。
プレート９の温度は焼結後のブランク材の温度と等しく
なるようコントロールされている。具体的には900〜110
0℃の範囲となっている。この範囲はＴi−Ａl金属間化
合物の超塑性領域、即ち、異常に大きな延びを示す現象
が起こる領域であり、この温度領域内で恒温鍛造（金型
温度を加工する材料の超塑性温度と同一の温度にして行
う鍛造）することにより、図９に示すタービンブレード
のような複雑な形状の部材を得ることができる。
【００３０】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
微細で緻密な組織を持ち高温での強度及び耐食性に優れ
るＴi−Ａl金属間化合物に、複雑形状を付与できるの
で、高効率、低騒音、高出力という相反する特性が同時
に要求される航空機のジェットエンジンや発電用ガスタ
ービンエンジンのブレード等の製造方法として極めて有
用である。
微細で緻密な組織を持ち高温での強度及び耐食性に優れ
るＴi−Ａl金属間化合物に、複雑形状を付与できるの
で、高効率、低騒音、高出力という相反する特性が同時
に要求される航空機のジェットエンジンや発電用ガスタ
ービンエンジンのブレード等の製造方法として極めて有
用である。
【図１】加圧パターンを示すグラフ
【図２】焼結型に混合粉末を充填した状態を示す図
【図３】図２に示す状態から混合粉末を圧縮した状態を
示す図
示す図
【図４】図３の状態の平断面図
【図５】焼結型のダイスが後退した状態を示す図
【図６】（ａ）はＴi−Ａl金属間化合物の金属組織の模
式図、（ｂ）は（ａ）の一部の拡大図
式図、（ｂ）は（ａ）の一部の拡大図
【図７】焼結が終了したＴi−Ａl金属間化合物を鍛造装
置にセットした状態を示す図
置にセットした状態を示す図
【図８】Ｔi−Ａl金属間化合物の成形が完了した状態を
示す図
示す図
【図９】Ｔi−Ａl金属間化合物部材の一例としてのター
ビンブレードを示す図
ビンブレードを示す図
１…グラファイトダイス、２…シリンダユニット、３…
下パンチ、４…上パンチ、５…ノックアウトピン、６…
ダイス、７…下サブパンチ、８…下鍛造プレート、９…
上鍛造プレート、１０…上サブパンチ。
下パンチ、４…上パンチ、５…ノックアウトピン、６…
ダイス、７…下サブパンチ、８…下鍛造プレート、９…
上鍛造プレート、１０…上サブパンチ。
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｔi粉末とＡl粉末またはＡl合金粉末を
混合し、この混合粉末を型内に充填した後、パンチ間で
圧粉しつつ混合粉末に通電し、その際に発生する熱によ
り焼結せしめてＴi−Ａl金属間化合物を作製し、次いで
焼結の際の熱を利用し連続してＴi−Ａl金属間化合物に
恒温鍛造を施すことを特徴とするＴi−Ａl金属間化合物
部材の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載のＴi−Ａl金属間化合物
部材の製造方法において、前記Ｔi−Ａl金属間化合物
は、0.5atm％〜0.8atm％のＭnを含有することを特徴と
するＴi−Ａl金属間化合物部材の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１に記載のＴi−Ａl金属間化合物
部材の製造方法において、前記混合粉末をメカニカルア
ロイング法により合金化し、この合金をパンチ間で圧粉
しつつ通電してＴi−Ａl金属間化合物を作製することを
特徴とするＴi−Ａl金属間化合物部材の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１乃至請求項４の何れかに記載の
Ｔi−Ａl金属間化合物部材の製造方法において、前記Ｔ
i−Ａl金属間化合物部材は薄肉耐熱用部材であることを
特徴とするＴi−Ａl金属間化合物部材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000094584A JP4326110B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | Ｔｉ−Ａｌ金属間化合物部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000094584A JP4326110B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | Ｔｉ−Ａｌ金属間化合物部材の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
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