JP2001277068A - 直動スライダの保護カバー装置 - Google Patents
直動スライダの保護カバー装置Info
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- JP2001277068A JP2001277068A JP2000101480A JP2000101480A JP2001277068A JP 2001277068 A JP2001277068 A JP 2001277068A JP 2000101480 A JP2000101480 A JP 2000101480A JP 2000101480 A JP2000101480 A JP 2000101480A JP 2001277068 A JP2001277068 A JP 2001277068A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】単純な構成で直動スライダの動作にも悪影響を
与えにくい直動スライダの保護カバー装置を提供する。 【解決手段】除振台１上に載置された直動スライダを保
護するための直動スライダの保護カバー装置であって、
直動スライダを、直動スライダの可動部７と非接触又は
弱い弾性体による結合状態で覆う保護カバー８，９と、
保護カバー８，９を直動スライダの可動部７の動きと同
期させて移動駆動するための駆動装置と、保護カバー及
び駆動装置を支持する支持部材１２であって、その基端
部を除振台１の外側に固定された支持部材とを具備す
る。
与えにくい直動スライダの保護カバー装置を提供する。 【解決手段】除振台１上に載置された直動スライダを保
護するための直動スライダの保護カバー装置であって、
直動スライダを、直動スライダの可動部７と非接触又は
弱い弾性体による結合状態で覆う保護カバー８，９と、
保護カバー８，９を直動スライダの可動部７の動きと同
期させて移動駆動するための駆動装置と、保護カバー及
び駆動装置を支持する支持部材１２であって、その基端
部を除振台１の外側に固定された支持部材とを具備す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、切り粉やオイルミ
ストから直動スライダを保護することが必要な工作機
械、特に非常に高い移動精度が求められる超精密切削機
の直動スライダの保護カバー装置に関するものである。
ストから直動スライダを保護することが必要な工作機
械、特に非常に高い移動精度が求められる超精密切削機
の直動スライダの保護カバー装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、高精度な工作機械のスライダは、
静圧軸受けにより非接触に支持され、リニアモータでダ
イレクトに駆動され、レーザー測長器で位置計測され、
フルクローズでサーボ系が組まれることが多い。このよ
うな工作機械では、ナノメータオーダの分解能と、サブ
ミクロンの形状精度が期待できる。実際の加工では、案
内面、駆動系、計測系を切り粉やオイルミストから保護
するため、蛇腹或いは伸縮式のスライド等がスライダに
取り付けられるが、スライダはこうした保護カバーをも
同時に移動させる必要があるため、蛇腹や伸縮式のスラ
イドが移動時に接触する部分には摩擦抵抗が少なくなる
ような材料が選択され、また、大型のカバーでは、カバ
ー専用のガイドが使用され、カバー自体のスムーズな移
動を実現しようとしている。しかし、上記のような保護
カバーは一般的に低い共振周波数を多く持ち、また非線
型な摩擦要素を持つため、スライダの送りサーボ系の高
周波数側の安定性を低下させるため、ゲインを高くとる
ことができない。このため、位置指令に対する追従性、
応答性が劣化してしまう。
静圧軸受けにより非接触に支持され、リニアモータでダ
イレクトに駆動され、レーザー測長器で位置計測され、
フルクローズでサーボ系が組まれることが多い。このよ
うな工作機械では、ナノメータオーダの分解能と、サブ
ミクロンの形状精度が期待できる。実際の加工では、案
内面、駆動系、計測系を切り粉やオイルミストから保護
するため、蛇腹或いは伸縮式のスライド等がスライダに
取り付けられるが、スライダはこうした保護カバーをも
同時に移動させる必要があるため、蛇腹や伸縮式のスラ
イドが移動時に接触する部分には摩擦抵抗が少なくなる
ような材料が選択され、また、大型のカバーでは、カバ
ー専用のガイドが使用され、カバー自体のスムーズな移
動を実現しようとしている。しかし、上記のような保護
カバーは一般的に低い共振周波数を多く持ち、また非線
型な摩擦要素を持つため、スライダの送りサーボ系の高
周波数側の安定性を低下させるため、ゲインを高くとる
ことができない。このため、位置指令に対する追従性、
応答性が劣化してしまう。
【０００３】このため、保護カバーと直動スライダを非
接触にし、保護カバーに個別の駆動機構を用いることが
考えられる。
接触にし、保護カバーに個別の駆動機構を用いることが
考えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、保護カ
バーの移動時の摩擦抵抗による保護カバーの振動や保護
カバーのモータなどの駆動機構の動作振動が外乱となり
直動スライダの追従性、応答性を劣化させる心配があ
る。また、この様な問題点を考慮した保護カバーの設計
を行うと機構が複雑になって装置上のスペースを必要と
し、装置のメンテナンス及び保護カバーの交換の複雑さ
の問題、及び非常に高価な保護カバーになってしまうと
いった問題も発生する。
バーの移動時の摩擦抵抗による保護カバーの振動や保護
カバーのモータなどの駆動機構の動作振動が外乱となり
直動スライダの追従性、応答性を劣化させる心配があ
る。また、この様な問題点を考慮した保護カバーの設計
を行うと機構が複雑になって装置上のスペースを必要と
し、装置のメンテナンス及び保護カバーの交換の複雑さ
の問題、及び非常に高価な保護カバーになってしまうと
いった問題も発生する。
【０００５】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、単純な構成で直動スラ
イダの動作にも悪影響を与えにくい直動スライダの保護
カバー装置を提供することである。
されたものであり、その目的は、単純な構成で直動スラ
イダの動作にも悪影響を与えにくい直動スライダの保護
カバー装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる直動スライダの
保護カバー装置は、除振台上に載置された直動スライダ
を保護するための直動スライダの保護カバー装置であっ
て、前記直動スライダを、該直動スライダの可動部と非
接触又は弱い弾性体による結合状態で覆う保護カバー
と、該保護カバーを前記直動スライダの可動部の動きと
同期させて移動駆動するための駆動手段と、前記保護カ
バー及び前記駆動手段を支持する支持部材であって、そ
の基端部を前記除振台の外側に固定された支持部材とを
具備することを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わる直動スライダの
保護カバー装置は、除振台上に載置された直動スライダ
を保護するための直動スライダの保護カバー装置であっ
て、前記直動スライダを、該直動スライダの可動部と非
接触又は弱い弾性体による結合状態で覆う保護カバー
と、該保護カバーを前記直動スライダの可動部の動きと
同期させて移動駆動するための駆動手段と、前記保護カ
バー及び前記駆動手段を支持する支持部材であって、そ
の基端部を前記除振台の外側に固定された支持部材とを
具備することを特徴としている。
【０００７】また、この発明に係わる直動スライダの保
護カバー装置において、前記保護カバーの端部と前記直
動スライダの可動部とのクリアランスを測定するための
測定手段を更に具備することを特徴としている。
護カバー装置において、前記保護カバーの端部と前記直
動スライダの可動部とのクリアランスを測定するための
測定手段を更に具備することを特徴としている。
【０００８】また、この発明に係わる直動スライダの保
護カバー装置において、前記測定手段による測定結果
を、前記保護カバーの移動駆動制御にフィードバックす
ることを特徴としている。
護カバー装置において、前記測定手段による測定結果
を、前記保護カバーの移動駆動制御にフィードバックす
ることを特徴としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】図１は、本発明の一実施形態に係わる工作
機械の平面図であり、図２は、図１の側面図である。
機械の平面図であり、図２は、図１の側面図である。
【００１１】図１において、１は外部振動を遮断するた
めの除振台、２は装置のベースとなる定盤、３は上下動
作するＺスライダ、４はＺスライダを取り付けるコラ
ム、５はＺスライダに搭載された主軸、６はバイトを取
り付けるバイトホルダー、７は静圧軸受けを用いたＸＹ
スライダ上のワークチャック、８、９は折りジャバラカ
バーであり、折りジャバラカバー８はＸ方向に伸縮し、
折りジャバラカバー９はＹ方向に伸縮する。１０は折り
ジャバラカバーとＸＹスライダの可動部のクリアランス
であり、厚さ１００μｍ以下のテフロン（登録商標）シ
ートで覆われている。１１はＸＹ平面カバー（折りジャ
バラカバー８、９などにより構成されている）を構成す
るためのメインフレーム、１２はメインフレーム１１を
保持するための支持フレーム、１３は装置重量を拡散す
るための床と装置の間に設置される重量拡散板であり、
支持フレーム１２が固定されている。１４は、可動カバ
ー部以外の固定カバーであり、厚さ１００μｍ以下のテ
フロンシートで構成されている。
めの除振台、２は装置のベースとなる定盤、３は上下動
作するＺスライダ、４はＺスライダを取り付けるコラ
ム、５はＺスライダに搭載された主軸、６はバイトを取
り付けるバイトホルダー、７は静圧軸受けを用いたＸＹ
スライダ上のワークチャック、８、９は折りジャバラカ
バーであり、折りジャバラカバー８はＸ方向に伸縮し、
折りジャバラカバー９はＹ方向に伸縮する。１０は折り
ジャバラカバーとＸＹスライダの可動部のクリアランス
であり、厚さ１００μｍ以下のテフロン（登録商標）シ
ートで覆われている。１１はＸＹ平面カバー（折りジャ
バラカバー８、９などにより構成されている）を構成す
るためのメインフレーム、１２はメインフレーム１１を
保持するための支持フレーム、１３は装置重量を拡散す
るための床と装置の間に設置される重量拡散板であり、
支持フレーム１２が固定されている。１４は、可動カバ
ー部以外の固定カバーであり、厚さ１００μｍ以下のテ
フロンシートで構成されている。
【００１２】図３は、本実施形態で用いられるＸＹスラ
イダの詳細図である。
イダの詳細図である。
【００１３】図３において、２０は、Ｙ方向に移動する
Ｙスライダであり、この上にワークチャック７が配置さ
れている。このＹスライダ２０は静圧パッドにより平面
ベース２１に対して浮上しており、非接触で高精度な運
動が可能である。Ｙスライダ２０はＹガイド２２に沿っ
て移動可能で、Ｙガイド２２はＸ軸スライダ２３ととも
にＨ型のＸスライダを構成する。従って、Ｙスライダ２
０は平面ベース２１上をＸＹ方向に移動可能で、一般的
なＸスライダ上にＹスライダを重ねる方式に比べ上下剛
性が高い。２４はＸガイドである。Ｘスライダ２３は、
Ｘスライダ用リニアモータコイル２５ａとマグネット２
５ｂでＸ方向に駆動される。Ｙスライダ２０は、Ｙスラ
イダ用リニアモータコイル２６ａとマグネット２６ｂに
よって、Ｙ方向に駆動される。２７は、Ｙスライダ位置
検出用レーザー干渉計で、２８はＸスライダ位置検出用
レーザー干渉計である。
Ｙスライダであり、この上にワークチャック７が配置さ
れている。このＹスライダ２０は静圧パッドにより平面
ベース２１に対して浮上しており、非接触で高精度な運
動が可能である。Ｙスライダ２０はＹガイド２２に沿っ
て移動可能で、Ｙガイド２２はＸ軸スライダ２３ととも
にＨ型のＸスライダを構成する。従って、Ｙスライダ２
０は平面ベース２１上をＸＹ方向に移動可能で、一般的
なＸスライダ上にＹスライダを重ねる方式に比べ上下剛
性が高い。２４はＸガイドである。Ｘスライダ２３は、
Ｘスライダ用リニアモータコイル２５ａとマグネット２
５ｂでＸ方向に駆動される。Ｙスライダ２０は、Ｙスラ
イダ用リニアモータコイル２６ａとマグネット２６ｂに
よって、Ｙ方向に駆動される。２７は、Ｙスライダ位置
検出用レーザー干渉計で、２８はＸスライダ位置検出用
レーザー干渉計である。
【００１４】この様な構成の工作機械においては、バイ
トをバイトホルダー６につけ主軸５に固定する。また、
ワーク（加工ワーク）をワークチャック７に固定する。
バイトとワークの位置出しを行い、バイトの付いた主軸
５を回転させ、回転したバイトでワークを切削加工す
る。その際、表面粗さ向上のため、ミスト状のオイルを
加工点近傍に吹き付け、また加工除去された切り粉が発
生するが、これらが図３で説明したスライダの案内面、
駆動系、計測系にかからないようにする必要がある。こ
のため、図１及び図２で示した様なＸＹ平面カバーが必
要となる。
トをバイトホルダー６につけ主軸５に固定する。また、
ワーク（加工ワーク）をワークチャック７に固定する。
バイトとワークの位置出しを行い、バイトの付いた主軸
５を回転させ、回転したバイトでワークを切削加工す
る。その際、表面粗さ向上のため、ミスト状のオイルを
加工点近傍に吹き付け、また加工除去された切り粉が発
生するが、これらが図３で説明したスライダの案内面、
駆動系、計測系にかからないようにする必要がある。こ
のため、図１及び図２で示した様なＸＹ平面カバーが必
要となる。
【００１５】次に、この本実施形態のＸＹ平面カバーの
構成について、図４、図５を参照して説明する。
構成について、図４、図５を参照して説明する。
【００１６】図４は、ＸＹ平面カバーユニットの詳細図
である。３０はＸ方向の折りジャバラカバー８のＸ方向
カバーガイドでありＸＹ平面カバーのメインフレーム１
１に固定されている。３１はＹ方向の折りジャバラカバ
ー９のＹ方向カバーガイド、３２は２本のＹ方向カバー
ガイドを連結する連結バーであり、Ｙ方向カバーガイド
３１と連結バー３２は口の字を形成しＸ方向に移動可能
なＸ方向可動フレーム５０となる。そのＸ方向可動フレ
ーム５０に各々のＸ方向折りジャバラカバー８の片側が
結合され、もう一つの端部がメインフレーム１１に固定
されている。３３はＸ方向可動フレーム５０の動きをサ
ポートするためのコロでありＸ方向ガイド３０で受けて
いる。同様に、３４はＹ方向可動フレームであり、３５
はＹ方向可動フレーム３４の動きをサポートするための
コロでありＹ方向ガイド３１で受けている。折りジャバ
ラカバー９の両端はＸ方向可動フレーム５０とＹ方向可
動フレーム３４にそれぞれ結合されている。Ｙ方向可動
フレーム３４の中にＸＹスライダの可動部上のワークチ
ャック７が配置されている。
である。３０はＸ方向の折りジャバラカバー８のＸ方向
カバーガイドでありＸＹ平面カバーのメインフレーム１
１に固定されている。３１はＹ方向の折りジャバラカバ
ー９のＹ方向カバーガイド、３２は２本のＹ方向カバー
ガイドを連結する連結バーであり、Ｙ方向カバーガイド
３１と連結バー３２は口の字を形成しＸ方向に移動可能
なＸ方向可動フレーム５０となる。そのＸ方向可動フレ
ーム５０に各々のＸ方向折りジャバラカバー８の片側が
結合され、もう一つの端部がメインフレーム１１に固定
されている。３３はＸ方向可動フレーム５０の動きをサ
ポートするためのコロでありＸ方向ガイド３０で受けて
いる。同様に、３４はＹ方向可動フレームであり、３５
はＹ方向可動フレーム３４の動きをサポートするための
コロでありＹ方向ガイド３１で受けている。折りジャバ
ラカバー９の両端はＸ方向可動フレーム５０とＹ方向可
動フレーム３４にそれぞれ結合されている。Ｙ方向可動
フレーム３４の中にＸＹスライダの可動部上のワークチ
ャック７が配置されている。
【００１７】図５は、ＸＹ平面カバーの駆動機構の概略
図である。
図である。
【００１８】図５において、４０はＸ方向折りジャバラ
カバーを移動させるモータ、４１はモータの力を伝える
ベルト、４２はベルトを支えるプーリであり、プーリ４
２はメインフレーム１１に固定されている。４３はＹ方
向折りジャバラカバーを移動させるモータ、４４はモー
タの力を伝えるベルト、４５はベルトを支えるプーリで
あり、プーリ４５はＸ方向可動フレーム５０（Ｙ方向カ
バーガイド３１と連結バー３２より構成）に固定されて
いる。矢印４６，４７が、ＸＹスライダ可動部中心がＸ
Ｙ方向に移動する範囲であり、範囲外は折りジャバラカ
バーがたたまれるスペースである。このためプーリ４５
は、Ｚ方向で逃げていれば、折りジャバラカバーの移動
を邪魔しない。本実施形態では、プーリ、ベルトをＸＹ
平面カバーの上に配置したが、ＸＹ平面カバーの下に配
置しても良い。
カバーを移動させるモータ、４１はモータの力を伝える
ベルト、４２はベルトを支えるプーリであり、プーリ４
２はメインフレーム１１に固定されている。４３はＹ方
向折りジャバラカバーを移動させるモータ、４４はモー
タの力を伝えるベルト、４５はベルトを支えるプーリで
あり、プーリ４５はＸ方向可動フレーム５０（Ｙ方向カ
バーガイド３１と連結バー３２より構成）に固定されて
いる。矢印４６，４７が、ＸＹスライダ可動部中心がＸ
Ｙ方向に移動する範囲であり、範囲外は折りジャバラカ
バーがたたまれるスペースである。このためプーリ４５
は、Ｚ方向で逃げていれば、折りジャバラカバーの移動
を邪魔しない。本実施形態では、プーリ、ベルトをＸＹ
平面カバーの上に配置したが、ＸＹ平面カバーの下に配
置しても良い。
【００１９】駆動方式は、ＸＹスライダの位置座標を元
にパルスモータ駆動でＸＹ平面カバーをセミクローズ制
御すると構成が簡単である。また、図５の４８はギャッ
プセンサであり、ギャップセンサ４８によりＹ方向可動
フレーム３４からＸＹスライダのワークベースをセンシ
ングしてフルクローズ制御を行っても良い。
にパルスモータ駆動でＸＹ平面カバーをセミクローズ制
御すると構成が簡単である。また、図５の４８はギャッ
プセンサであり、ギャップセンサ４８によりＹ方向可動
フレーム３４からＸＹスライダのワークベースをセンシ
ングしてフルクローズ制御を行っても良い。
【００２０】以上の構成より、本実施形態の特徴は、Ｘ
Ｙ平面カバーの保持構成が、図１、図２で説明したよう
にＸＹスライダを始めとする主要構成部分と分離されて
おり、連結の必要最低限の部分（クリアランス）のみ厚
さ１００μｍ以下のテフロンシートで覆われている。そ
して、ＸＹ平面カバーは、ＸＹスライダと分離されてい
るため独自の移動力が必要であるため駆動機構を有して
いる。
Ｙ平面カバーの保持構成が、図１、図２で説明したよう
にＸＹスライダを始めとする主要構成部分と分離されて
おり、連結の必要最低限の部分（クリアランス）のみ厚
さ１００μｍ以下のテフロンシートで覆われている。そ
して、ＸＹ平面カバーは、ＸＹスライダと分離されてい
るため独自の移動力が必要であるため駆動機構を有して
いる。
【００２１】本実施形態では、この駆動系のモータの振
動やカバーとカバーガイドが接触して外乱を発生して
も、図１、図２で示したように、ＸＹ平面カバーとＸＹ
スライダとが接触しないことと、ＸＹ平面カバー及びそ
の駆動装置を支持する支持フレーム１２がＸＹスライダ
が配置されている除振台１の外側にあることにより、Ｘ
Ｙスライダ及びＺスライダにその外乱の影響が働くこと
がなく、本来の装置構成から期待される直動スライダの
追従性能、応答性を得ることができる。
動やカバーとカバーガイドが接触して外乱を発生して
も、図１、図２で示したように、ＸＹ平面カバーとＸＹ
スライダとが接触しないことと、ＸＹ平面カバー及びそ
の駆動装置を支持する支持フレーム１２がＸＹスライダ
が配置されている除振台１の外側にあることにより、Ｘ
Ｙスライダ及びＺスライダにその外乱の影響が働くこと
がなく、本来の装置構成から期待される直動スライダの
追従性能、応答性を得ることができる。
【００２２】本実施形態では、モータとベルト駆動を用
いた構成について説明したが、駆動系にエアーシリンダ
ーやボールネジなどを用いた構成でも良い。
いた構成について説明したが、駆動系にエアーシリンダ
ーやボールネジなどを用いた構成でも良い。
【００２３】以上のように、ＸＹ平面カバー機構をスラ
イダから分離し、ＸＹスライダの動きに同期してＸＹ平
面カバーを移動させることにより、ＸＹ平面カバーの動
作が外乱として、ＸＹスライダ及びＺスライダに働くこ
とが無い。これにより、ＸＹスライダ及びＺスライダが
本来持っている高い追従性・応答性を最大限に生かすこ
とができ、高い形状精度、面精度の加工を行うことがで
きる。
イダから分離し、ＸＹスライダの動きに同期してＸＹ平
面カバーを移動させることにより、ＸＹ平面カバーの動
作が外乱として、ＸＹスライダ及びＺスライダに働くこ
とが無い。これにより、ＸＹスライダ及びＺスライダが
本来持っている高い追従性・応答性を最大限に生かすこ
とができ、高い形状精度、面精度の加工を行うことがで
きる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
単純な構成で直動スライダの動作にも悪影響を与えにく
い直動スライダの保護カバー装置を提供することができ
る。
単純な構成で直動スライダの動作にも悪影響を与えにく
い直動スライダの保護カバー装置を提供することができ
る。
【図１】本発明の一実施形態に係わる工作機械の平面図
である。
である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】一実施形態に使用されるＸＹスライダの概略図
である。
である。
【図４】ＸＹ平面カバーの詳細図である。
【図５】ＸＹ平面カバーの駆動機構の概略図である。
１ 除振台 ２ 定盤 ３ Ｚスライダ ４ コラム ５ 主軸 ６ バイトホルダー ７ ワークベース ８ Ｘ方向折りジャバラ ９ Ｙ方向折りジャバラ １０ クリアランス １１ メインフレーム １２ 支持フレーム １３ 重量拡散板 １４ 固定カバー ２０ Ｙスライダ ２１ 平面ベース ２２ Ｙガイド ２３ Ｘ軸スライダ ２４ Ｘガイド ２５ａ，ｂ Ｘスライダ用リニアモータコイルとマグネ
ット ２６ａ，ｂ Ｙスライダ用リニアモータコイルとマグネ
ット ２７ Ｙスライダ位置検出用レーザ干渉計 ２８ Ｘスライダ位置検出用レーザ干渉計 ３０ Ｘ方向カバーガイド ３１ Ｙ方向カバーガイド ３２ 連結バー ３３ コロ ３４ Ｙ方向可動フレーム ３５ コロ ４０ Ｘカバー駆動モータ ４１ ベルト ４２ プーリ ４３ Ｙカバー駆動モータ ４４ ベルト ４５ プーリ ４６ Ｘ方向ストローク ４７ Ｙ方向ストローク ４８ ギャップセンサ ５０ Ｘ方向可動フレーム
ット ２６ａ，ｂ Ｙスライダ用リニアモータコイルとマグネ
ット ２７ Ｙスライダ位置検出用レーザ干渉計 ２８ Ｘスライダ位置検出用レーザ干渉計 ３０ Ｘ方向カバーガイド ３１ Ｙ方向カバーガイド ３２ 連結バー ３３ コロ ３４ Ｙ方向可動フレーム ３５ コロ ４０ Ｘカバー駆動モータ ４１ ベルト ４２ プーリ ４３ Ｙカバー駆動モータ ４４ ベルト ４５ プーリ ４６ Ｘ方向ストローク ４７ Ｙ方向ストローク ４８ ギャップセンサ ５０ Ｘ方向可動フレーム
Claims (3)
- 【請求項１】 除振台上に載置された直動スライダを保
護するための直動スライダの保護カバー装置であって、 前記直動スライダを、該直動スライダの可動部と非接触
又は弱い弾性体による結合状態で覆う保護カバーと、 該保護カバーを前記直動スライダの可動部の動きと同期
させて移動駆動するための駆動手段と、 前記保護カバー及び前記駆動手段を支持する支持部材で
あって、その基端部を前記除振台の外側に固定された支
持部材とを具備することを特徴とする直動スライダの保
護カバー装置。 - 【請求項２】 前記保護カバーの端部と前記直動スライ
ダの可動部とのクリアランスを測定するための測定手段
を更に具備することを特徴とする請求項１に記載の直動
スライダの保護カバー装置。 - 【請求項３】 前記測定手段による測定結果を、前記保
護カバーの移動駆動制御にフィードバックすることを特
徴とする請求項２に記載の直動スライダの保護カバー装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000101480A JP2001277068A (ja) | 2000-04-03 | 2000-04-03 | 直動スライダの保護カバー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000101480A JP2001277068A (ja) | 2000-04-03 | 2000-04-03 | 直動スライダの保護カバー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001277068A true JP2001277068A (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=18615522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000101480A Withdrawn JP2001277068A (ja) | 2000-04-03 | 2000-04-03 | 直動スライダの保護カバー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001277068A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111203748A (zh) * | 2020-01-15 | 2020-05-29 | 桑明焱 | 一种在狭窄空间里任意在平面移动的防尘装置 |
| CN117600878A (zh) * | 2024-01-18 | 2024-02-27 | 山东豪迈数控机床有限公司 | 一种机床装置 |
-
2000
- 2000-04-03 JP JP2000101480A patent/JP2001277068A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN117600878A (zh) * | 2024-01-18 | 2024-02-27 | 山东豪迈数控机床有限公司 | 一种机床装置 |
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