JP2001266775A

JP2001266775A - 電子線励起ディスプレイ用スペーサ及びその製造方法

Info

Publication number: JP2001266775A
Application number: JP2000080394A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Morishita; 昌洋森下; Katsuya Kamitsukuri; 克也神作; Toshiaki Mizuno; 俊明水野
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 2000-03-22
Filing date: 2000-03-22
Publication date: 2001-09-28

Abstract

(57)【要約】【課題】鋭角若しくは直角、又は深い溝の凹凸がその
表面に寸法精度よく、且つ確実に形成されてなる電子線
励起ディスプレイ用スペーサ及びその製造方法を提供す
る。【解決手段】電子線励起ディスプレイは、支持枠３を
介して前面板１と背面板２とが気密的に接合された気密
の耐大気圧構造を有しており、前面板１と背面板２との
間には大気圧支持部材として複数のガラススペーサ４が
挿入されている。このようなガラススペーサ４の製造
は、所定の断面形状を有するガラス部材を複数積層して
形成した、例えば、所定のアスペクト比（高さ／最大厚
さ比）の断面形状とほぼ相似形の断面形状を有する母材
ガラスを準備し、次いで、ガラス部材が積層された母材
ガラスを加熱しつつ延伸し、得られた延伸ガラスを所望
の長さに切断することにより行うので、ガラススペーサ
４の表面上に、鋭角若しくは直角、又は深い溝の凹凸が
寸法精度よく、且つ確実に形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子線励起ディス
プレイ用スペーサ及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】大きくて重いブラウン管に代わるディス
プレイとして、薄型で軽いいわゆるフラット型ディスプ
レイがある。このフラット型ディスプレイとしては、電
子線源より放出される電子ビームを蛍光体に照射して蛍
光を発生させることにより画像を形成する自発光式のフ
ラット型電子線励起ディスプレイがある（例えば、特開
平７−２３０７７６号公報）。

【０００３】図６は、フラット型電子線励起ディスプレ
イの分解斜視図である。図６のフラット型電子線励起デ
ィスプレイは、ガラス板１５及びこのガラス板１５の内
面に形成された画像形成部材５からなる前面板１と、後
述する電子放出素子群を搭載した背面板２とを備える。
画像形成部材５は、該電子放出素子から電子ビームが照
射されて発光する蛍光体を有する。前面板１と背面板２
とは、図６のＡ−Ａ断面図である図７に示すように支持
枠３を介して気密的に接合され、支持枠３と共に気密の
耐大気圧構造をなす真空容器を形成する。

【０００４】背面板２は、ガラス基板２１と、ガラス基
板２１上にマトリックス状に配列された厚さ１０００オ
ングストロームのＮｉからなる複数個の素子部２３と、
これらの素子部２３に給電すべくガラス基板２１上に形
成された厚さ２μｍのＡｇからなる複数の配線部２４と
を備える。素子部２３の各々には、電子放出素子２５が
形成されている。配線部２４の配線パターンは平行線の
パターンであり、隣り合う一対の配線部２４を通して、
これらの配線部２４に沿う複数の電子放出素子２５に同
時に給電される。更に、図示はされていないが、ＳｉＯ
₂絶縁層を介し、ガラス基板２１の１０μｍ上方に５０
μｍ径の電子通過孔を有する変調電極が配置されてい
る。

【０００５】このようなフラット型電子線励起ディスプ
レイにあっては、電子ビームを蛍光体にあてて画像を形
成するため、電子線源、蛍光体、その他の構成部品が作
り込まれる真空容器内は、約１０^-5ｔｏｒｒ以下の真空
雰囲気に保持されるので、ディスプレイの表示画面が大
きくなるに従って、真空容器内部と外部の気圧差により
前面板１と背面板２が変形又は接触する場合があり、こ
の変形又は接触を防止して前面板１と背面板２との間隔
を一定に保つために、前面板１と背面板２との間には大
気圧支持部材として複数のガラススペーサ４が挿入され
る。

【０００６】しかしながら、ガラススペーサ４の近傍に
ある電子放出素子から放出された電子は、その一部がガ
ラススペーサ４に衝突することにより又は放出された電
子そのものの作用によりガラススペーサ４に帯電を引き
起こす可能性があり、このガラススペーサ４の帯電によ
り、電子放出素子から放出された電子はその軌道が曲げ
られる。

【０００７】また、電子放出素子から放出された電子を
加速するために電子放出素子と前面板１との間には数百
ボルト以上の高電圧（１ｋＶ／ｍｍ以上）を印加するた
め、ガラススペーサ４表面での沿面放電（２次電子の放
出）が発生する可能性があり、ガラススペーサ４が帯電
している場合は特に該放電が発生する可能性が高い。こ
の放電も電子放出素子から放出された電子の軌道を曲げ
る原因となる。

【０００８】上記のように電子放出素子から放出された
電子の軌道が曲がると、電子は蛍光体上の正規な位置と
は異なる場所に到達し、ガラススペーサ４近傍の画像が
歪んで表示される。この問題点を解消する対策として、
ガラススペーサ表面に帯電防止用の高抵抗膜を成膜する
方法（例えば、特開平１１−７９１０号公報）、及びガ
ラススペーサ４の表面に凹凸が形成された電子線励起デ
ィスプレイ用スペーサが提案されている。従来、ガラス
スペーサ４の表面への凹凸の形成は、エッチング処理、
ブラスト処理、及び機械加工処理（切削、研削、研磨
等）などにより行われる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エッチ
ング処理は、酸（ＨＦ）などの化学薬品を用い、被覆
（マスキング）されていない部分をその溶液で溶かして
除去するために、ガラススペーサ４の表面に寸法精度よ
く凹凸を形成することが困難であり、また深い溝を形成
することも困難である。更に、その処理に時間がかかる
と共にマスキングに高いコストを必要とする。

【００１０】ブラスト処理は、微粉砥粒を微小ノズルよ
り超高圧で吐出してガラススペーサ４を削るのでガラス
表面が均一に削れてしまい、該表面に鋭角な凹凸を形成
するのは困難である。また、機械加工処理は、エッチン
グ処理に較べて寸法精度よく凹凸を形成することができ
るが、加工時に使用される刃の形状で寸法精度が左右さ
れるために刃の摩耗でチッピング、欠けが発生したり、
角が丸みを帯びたり、深さが一定しないなど鋭角及び直
角な形状の凹凸を形成するのは困難である。

【００１１】本発明の目的は、鋭角若しくは直角、又は
深い溝の凹凸がその表面に寸法精度よく、且つ確実に形
成されてなる電子線励起ディスプレイ用スペーサ及びそ
の製造方法を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載のスペーサは、所定の断面形状を有す
る部材を複数積層したことを特徴とする。

【００１３】請求項１記載のスペーサによれば、所定の
断面形状を有する部材を複数積層したので、鋭角若しく
は直角、又は深い溝の凹凸がその表面に寸法精度よく、
且つ確実に形成することができる。

【００１４】請求項２記載のスペーサは、請求項１記載
のスペーサにおいて、前記所定の断面形状は、多角形及
び半円形の少なくとも１つの形状を含むことを特徴とす
る。

【００１５】請求項２記載のスペーサによれば、所定の
断面形状は、多角形及び半円形の少なくとも１つの形状
を含むので、該スペーサの表面に所望の凹凸を形成する
ことができる。

【００１６】請求項３記載のスペーサは、請求項２記載
のスペーサにおいて、前記多角形は、長方形、台形、六
角形、平行四辺形、十字形、及びハット形の少なくとも
１つの形状を含むことを特徴とする。

【００１７】請求項３記載のスペーサによれば、所定の
断面形状は、多角形及び半円形の少なくとも１つの形状
を含むので、請求項２記載のスペーサの効果を確実に奏
することができる。

【００１８】請求項４記載のスペーサは、請求項１乃至
３のいずれか１項に記載のスペーサにおいて、前記部材
の積層数は、１０〜２００であることを特徴とする。

【００１９】請求項５記載のスペーサは、請求項１乃至
４のいずれか１項に記載のスペーサにおいて、前記部材
は、ガラス製であることを特徴とする。

【００２０】請求項５記載のスペーサによれば、部材は
ガラス製であるので、該スペーサを容易に作製すること
ができる。

【００２１】上記目的を達成するために、請求項６記載
の製造方法は、所定の断面形状を有する部材を複数積層
した母材を準備し、該母材を加熱しつつ延伸することを
特徴とする。

【００２２】請求項６記載の製造方法によれば、所定の
断面形状を有する部材を複数積層した母材を準備し、該
母材を加熱しつつ延伸するので、鋭角若しくは直角、又
は深い溝の凹凸がその表面に寸法精度よく、且つ確実に
形成することができる。

【００２３】請求項７記載の製造方法は、請求項６記載
の製造方法において、前記所定の断面形状は、多角形及
び半円形の少なくとも１つの形状を含むことを特徴とす
る。

【００２４】請求項７記載の製造方法によれば、所定の
断面形状は、多角形及び半円形の少なくとも１つの形状
を含むので、該スペーサの表面に所望の凹凸を形成する
ことができる。

【００２５】請求項８記載の製造方法は、請求項７記載
の製造方法において、前記多角形は、長方形、台形、六
角形、平行四辺形、十字形、及びハット形の少なくとも
１つの形状を含むことを特徴とする。

【００２６】請求項８記載の製造方法によれば、多角形
は、長方形、台形、六角形、平行四辺形、十字形、及び
ハット形の少なくとも１つの形状を含むので、請求項７
記載の製造方法の効果を確実に奏することができる。

【００２７】請求項９記載の製造方法は、請求項６乃至
８のいずれか１項に記載の製造方法において、前記部材
の積層数は、１０〜２００であることを特徴とする。

【００２８】請求項１０記載の製造方法は、請求項６乃
至９のいずれか１項に記載の製造方法において、前記部
材は、ガラス製であることを特徴とする。

【００２９】請求項１０記載の製造方法によれば、部材
は、ガラス製であるので、該スペーサを容易に作製する
ことができる。

【００３０】請求項１１記載の製造方法は、請求項１０
記載の製造方法において、前記母材をその粘度が１０⁵
〜１０⁹ポアズになるように加熱しつつ延伸することを
特徴とする。

【００３１】請求項１２記載の製造方法は、請求項１０
又は１１記載の製造方法において、前記母材をその粘度
が１０⁸〜１０⁹ポアズになるように加熱しつつ延伸する
ことを特徴とする。

【００３２】請求項１３記載の製造方法は、請求項１０
乃至１２のいずれか１項に記載の製造方法において、前
記母材を所定の供給速度で供給しつつ前記ガラスを所定
の延伸速度で延伸し、前記供給速度に対する前記延伸速
度の比が２０〜４０００であることを特徴とする。

【００３３】請求項１４記載の製造方法は、請求項６乃
至１３のいずれか１項に記載の製造方法において、前記
部材の厚さが０．２〜５０ｍｍであることを特徴とす
る。

【００３４】請求項１５記載の製造方法は、請求項６乃
至１４のいずれか１項に記載の製造方法において、前記
部材の高さが０．２〜５０ｍｍであることを特徴とす
る。

【００３５】請求項１６記載の製造方法は、請求項６乃
至１５のいずれか１項に記載の製造方法において、前記
部材の長さが３００〜１０００ｍｍであることを特徴と
する。

【００３６】本明細書において、「断面形状」とは母材
ガラスの延伸方向に垂直な断面の形状を意味する。

【００３７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
電子線励起ディスプレイ用スペーサの製造方法を図面を
参照して説明する。

【００３８】一般に、フラット型電子線励起ディスプレ
イは、図６及び図７を参照して述べたように、ガラス板
１５及びガラス板１５の内面に形成された画像形成部材
５からなる前面板１と、電子放出素子群を搭載した背面
板２とを備える。画像形成部材５は、電子放出素子から
の電子ビームが照射されて発光する蛍光体を有する。前
記前面板１と背面板２とは支持枠３を介して気密的に接
合され、支持枠３と共に気密の耐大気圧構造を形成す
る。更に、前面板１と背面板２の間には大気圧支持部材
として複数のガラススペーサ４が挿入される。

【００３９】ガラススペーサ４の各々は、下端が接着部
材８を介して背面板２に固定されるが、これに代えて、
上端が接着部材８を介して前面板１に固定されるか、又
は上下端が接着部材８を介して前面板１及び背面板２の
夫々に固定されてもよい。ガラススペーサ４の断面形状
のアスペクト比（高さ／最大厚さ比）は通常は４〜５０
である。

【００４０】ガラススペーサ４は、最大厚さが０．０３
〜０．２５ｍｍであるのがよい。ガラススペーサ４が前
面板１又は背面板２と接触する部分はディスプレイが発
光表示できないので、厚さは薄いほうが好ましいが、
０．０３ｍｍ未満では薄すぎて、ガラススペーサ４の絶
対強度が不足し取り扱いが困難となるからであり、ま
た、ディスプレイの開口率を上げるためにガラススペー
サ４を配線部２４に配置することになるが、その配線部
２４の幅は一般的に最大０．２５ｍｍであるのでガラス
スペーサ４の厚さが配線部２４の幅を超えるのは得策で
はないからである。

【００４１】ガラススペーサ４は、高さが一般的に０．
７〜５．０ｍｍであり、好ましくは１〜５ｍｍであるの
がよい。フラット型電子線励起ディスプレイでは、蛍光
体の利用効率を高めるために、一般的に５０００〜６０
００ボルトの高加速電圧を用いるので、前面板１と背面
板２との間隔が１ｍｍ未満では双方の絶縁性を確保する
のが難しく、５ｍｍを超えると電子線源から放出された
電子ビームが広がりすぎて隣接する画素まで発光してし
まうので好ましくないからである。

【００４２】ガラススペーサ４の長さは、ディスプレイ
の大きさやその製造方法に依存して決定され、一般的に
１０〜１０００ｍｍである。

【００４３】ガラススペーサ４の製造は、所定の断面形
状を有するガラス部材を複数積層して形成した、例え
ば、所定のアスペクト比（高さ／最大厚さ比）の断面形
状とほぼ相似形の断面形状を有する母材ガラス４１を準
備し、次いで、その母材ガラス４１を加熱しつつ延伸
し、得られた延伸ガラスを所望の長さに切断することに
より行う。

【００４４】図１は、本発明の実施の形態に係る電子線
励起ディスプレイ用スペーサを実施するための製造装置
の構造を示す概略図である。

【００４５】図１において、３０はフラット型電子線励
起ディスプレイ用ガラススペーサの製造装置であり、こ
の製造装置３０は上段３１及び中段３２を含む台３３を
有する。また、上段３１の一端側の延長部には後述する
筒状の加熱炉３４が設けられている。

【００４６】この加熱炉３４に対向する位置において、
上段３１にはＴ字型の支柱３５が立設されると共に、支
柱３５に隣接してモータ３６が載置されている。ワイヤ
３７が、モータ３６の駆動軸上のプーリ３８、上段３１
上のプーリ３９、支柱３５の上端上のプーリ４０，４０
に掛け廻され、該ワイヤ３７の一端は母材ガラス４１の
上端に固定されている。母材ガラス４１の下端部は、加
熱炉３４に導入されている。モータ３６の駆動軸の回転
速度は図示しない制御装置によって制御され、これによ
り、母材ガラス４１の加熱炉３４への供給速度が制御さ
れる。

【００４７】図１のＢ−Ｂ断面図である図２に示すよう
に、筒状の加熱炉３４の内側には、母材ガラス４１の下
端部を加熱すべく、当該下端部の長辺側に対向して一対
の電気ヒータ４３と、短辺側に対向した一対の電気ヒー
タ４４が設けられている。これらの電気ヒータ４３，４
４は前記制御装置に接続されており、電気ヒータ４３と
電気ヒータ４４の作動は夫々独立して該制御装置によっ
て制御される。

【００４８】更に、台３３の中段３２上には、モータ４
５が設けられており、その駆動軸には、前記母材ガラス
４１から下垂した延伸ガラスを挟持して延伸する一対の
延伸ロール４６が連結されている。モータ４５の駆動軸
の回転速度は前記制御装置によって制御され、これによ
り、延伸ロール４６の回転速度、すなわち母材ガラス４
１の延伸速度が制御される。

【００４９】上記構成により、母材ガラス４１が所定の
供給速度で加熱炉３４に供給され、該母材ガラス４１が
所定の延伸速度で延伸される。

【００５０】以下、ガラススペーサ４は、上記製造装置
３０を使用して以下のように製造する。

【００５１】第１工程：まず、ガラス材料に通常の切
断、切削、研磨等の機械加工を施すか、溶接、熱間プレ
ス・熱間押し出し等の延伸を施すことにより得られる所
定の断面形状を有するガラス部材を準備する（図３
（ａ），（ｂ））。ガラス部材の組成には特に制限はな
いが、電子放出素子を用いたディスプレイに使用するこ
とから、低、無アルカリガラスが好ましい。また、ガラ
ス部材の大きさには特に制限はないが、厚さ０．２〜５
０ｍｍ、高さ０．２〜５０ｍｍ、及び長さ３００〜１０
００ｍｍが好ましい。ガラス部材の断面形状としては、
長方形、台形、平行四辺形、十字形、及びハット形等の
多角形、並びに半円形がある。

【００５２】次いで、これらのガラス部材を複数積層す
る（図３（ｃ））。ガラス部材を高さ方向に積層するこ
とによって圧縮強度が低下しないものを形成することが
できる。ガラス部材の積層は、接着剤を用いる方法及び
加熱して溶着する方法の少なくとも一方を用い、該接着
剤としては、好ましくは有機系接着剤、アクリル系接着
剤、ＵＶ硬化接着剤、熱硬化接着剤、二液硬化接着剤で
あるのがよい。

【００５３】当該積層後の母材ガラス４１の断面積は、
得られるべきガラススペーサ４の断面積の１００〜５０
００倍であるのがよい。

【００５４】母材ガラス４１の実施例としては、断面形
状が正方形（長方形でもよい）のガラス部材と長方形の
ガラス部材とを交互に積層したもの（図４（ａ））の他
に、断面形状が台形のガラス部材を積層したもの（図４
（ｂ））、断面形状が六角形のガラス部材を積層したも
の（図４（ｃ））、断面形状が平行四辺形のガラス部材
を積層したもの（図４（ｄ））、断面形状が十字形のガ
ラス部材を積層したもの（図４（ｅ））、断面形状がハ
ット形のガラス部材を積層したもの（図４（ｆ））、断
面形状が正方形（長方形でもよい）のガラス部材と台形
のガラス部材とを交互に積層したもの（図４（ｇ））、
更に、断面形状が半円形のガラス部材を積層したもの
（図４（ｈ））が挙げられる。

【００５５】また、前述した実施例に限らず、平行四辺
形と長方形との組み合わせ、六角形と長方形との組み合
わせ、平行四辺形と台形との組み合わせ、及び平行四辺
形と六角形との組み合わせ等あらゆる組み合わせが考え
られる。

【００５６】第２工程：前記準備された母材ガラス４１
を製造装置３０のワイヤ３７の一端に懸吊して装着す
る。次いで、モータ３６の駆動軸を回転させて母材ガラ
ス４１の下端部を加熱炉３４内に導入する。次いで、電
気ヒータ４３，４４に通電して加熱炉３４によって該母
材ガラス４１の下端部を加熱する。この加熱により母材
ガラス４１から下垂した延伸ガラスを延伸ロール４６に
通し、該延伸ロール４６をモータ４５により回転させて
下方に引っ張る。

【００５７】以後、モータ３６及び４５を夫々制御し
て、母材ガラス４１を加熱炉３４内に後述する所定の供
給速度で導入すると同時に後述する所定の延伸速度で下
方に引っ張る。その際、電気ヒータ４３，４４を母材ガ
ラス４１の加熱温度が所定範囲内になるように制御す
る。すなわち、母材ガラス４１を後述する理由によりそ
の粘度が１０⁵〜１０⁹ポアズ、好ましくは１０⁸〜１０⁹
ポアズになるような所定の温度範囲に加熱する。例え
ば、母材ガラス４１がソーダライムシリカガラスの場合
は前記所定の温度範囲は６６０〜９３０℃、好ましくは
６６０〜７２０℃である。

【００５８】上記母材ガラス４１の供給速度に対する母
材ガラス４１の延伸速度の比は、２０〜４０００である
のが好ましい。当該比が２０未満の場合は、母材ガラス
４１が延伸される延伸率が小さく生産性が悪化し、当該
比が４０００を超える場合は、前記延伸率が大きすぎて
延伸ガラスの延伸方向に垂直な断面形状が不安定にな
る。より好ましくは、当該比が１００〜２０００の範囲
にあるのがよい。

【００５９】第３工程：次いで、前記延伸ガラスを所望
の長さに切断してガラススペーサ４を得る。この切断
は、ダイヤモンドソー、ガラスカッター、ウォータージ
ェット等により行う。ガラススペーサ４の切断面以外の
４つの面は加熱延伸時にほぼ火造り面となるので、元の
ガラスの加工精度はそれほど問題とならない。ここに、
火造り面とは、ガラスの粘性が加熱温度に相関すること
を利用して、溶解ガラスを成形型等に接触させることな
く加熱温度の制御により例えば板状に成形したときのそ
のガラスの面をいう。この火造り面は、成形型の微小な
凹凸が転写されないので微視的に平坦であるという特徴
を有する。

【００６０】以上の３工程によって、母材ガラス４１か
ら、その断面形状とほぼ相似形の所望の断面形状のガラ
ススペーサ４を形成することができる。

【００６１】以下、母材ガラス４１と延伸ガラスとの断
面形状の相似性について述べる。

【００６２】一般に、母材ガラス４１と延伸ガラスとの
断面形状の相似性（アスペクト比の比率Ｒ（％））は、
母材ガラス４１のガラスの粘度（加熱温度）如何によっ
て相違し、母材ガラス４１のガラスの粘度とアスペクト
比の比率Ｒ（％）には、図５に示すような相関関係があ
る。

【００６３】図５から、アスペクト比の比率Ｒ（％）を
約７０％以上の許容範囲内にして、母材ガラス４１と延
伸ガラスとの断面形状の相似性の程度を向上させるに
は、ガラス母材４１の加熱時のガラスの粘度を１０⁵〜
１０⁹ポアズにすることが必要である。詳しくは、母材
ガラス４１の加熱時のガラスの粘度が１０⁵〜１０⁶ポア
ズのときは、アスペクト比の比率Ｒを約７０〜７５％と
することができ、同ガラスの粘度が１０⁶〜１０⁸ポアズ
のときは、アスペクト比の比率Ｒを約７５〜９０％にす
ることができ、更に、同ガラスの粘度が１０⁸〜１０⁹ポ
アズのときは、アスペクト比の比率Ｒを約９０％以上に
して１００％に近づけることができ、母材ガラス４１と
延伸ガラスとの断面形状の相似性の程度をより確実に向
上させることができる。

【００６４】一方、上述したように、母材ガラス４１の
加熱時のガラスの粘度が１０⁵ポアズ未満の場合は、ア
スペクト比の比率Ｒの減少が著しく、所要の断面形状の
相似性を得ることができない一方、１０⁹ポアズを超え
る場合は、ガラスの軟化度が低すぎて母材ガラス４１が
延伸できずに破断してしまう。

【００６５】本発明の実施の形態によれば、長方形、台
形、六角形、平行四辺形、十字形、並びにハット形の少
なくとも１つを含む多角形、及び半円形の断面形状を有
するガラス部材を複数積層した母材ガラス４１を加熱し
つつ延伸することにより、延伸されたガラス、すなわち
ガラススペーサ４の表面上に、鋭角若しくは直角、又は
深い溝の凹凸を安価に寸法精度よく、且つ確実に形成す
ることができる。さらに、ガラス部材の断面形状を適宜
組み合わせることにより、母材ガラス４１、引いてはガ
ラススペーサ４の断面形状を所望の形状にでき、複雑で
細かい表面凹凸を有するガラススペーサ４を製造するこ
とができる。

【００６６】このようなガラススペーサ４を用いた電子
線励起ディスプレイでは、形成された表面凹凸によりガ
ラススペーサ４の表面上で引き起こされる電子の軌道の
曲がりを防止すると共に、ガラススペーサ４近傍の画像
を安定させることができる。

【００６７】

【発明の効果】以上詳細に述べたように、請求項１記載
のスペーサによれば、所定の断面形状を有する部材を複
数積層したので、鋭角若しくは直角、又は深い溝の凹凸
がその表面に寸法精度よく、且つ確実に形成することが
できる。

【００６８】請求項２記載のスペーサによれば、所定の
断面形状は、多角形及び半円形の少なくとも１つの形状
を含むので、該スペーサの表面に所望の凹凸を形成する
ことができる。

【００６９】請求項３記載のスペーサによれば、所定の
断面形状は、多角形及び半円形の少なくとも１つの形状
を含むので、請求項２記載のスペーサの効果を確実に奏
することができる。

【００７０】請求項５記載のスペーサによれば、部材は
ガラス製であるので、該スペーサを容易に作製すること
ができる。

【００７１】請求項６記載の製造方法によれば、所定の
断面形状を有する部材を複数積層した母材を準備し、該
母材を加熱しつつ延伸するので、鋭角若しくは直角、又
は深い溝の凹凸がその表面に寸法精度よく、且つ確実に
形成することができる。

【００７２】請求項７記載の製造方法によれば、所定の
断面形状は、多角形及び半円形の少なくとも１つの形状
を含むので、該スペーサの表面に所望の凹凸を形成する
ことができる。

【００７３】請求項８記載の製造方法によれば、多角形
は、長方形、台形、六角形、平行四辺形、十字形、及び
ハット形の少なくとも１つの形状を含むので、請求項７
記載の製造方法の効果を確実に奏することができる。

【００７４】請求項１０記載の製造方法によれば、部材
は、ガラス製であるので、該スペーサを容易に作製する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る電子線励起ディスプ
レイ用スペーサを実施するための製造装置の構成を示す
概略図である。

【図２】図１のＢ−Ｂ断面図である。

【図３】母材ガラス４１の製造方法の説明図であり、
（ａ）は断面形状が長方形のガラス部材を示し、（ｂ）
は断面形状が正方形のガラス部材を示し、（ｃ）は
（ａ）のガラス部材と（ｂ）のガラス部材を交互に積層
する様子を示す。

【図４】母材ガラス４１の実施例を示す説明図であり、
（ａ）は、断面形状が正方形のガラス部材と長方形のガ
ラス部材とを交互に積層したものを示し、（ｂ）は断面
形状が台形のガラス部材を積層したものを示し、（ｃ）
は断面形状が六角形のガラス部材を積層したものを示
し、（ｄ）は断面形状が平行四辺形のガラス部材を積層
したものを示し、（ｅ）は断面形状が十字形のガラス部
材を積層したものを示し、（ｆ）は断面形状がハット形
のガラス部材を積層したものを示し、（ｇ）は、断面形
状が正方形のガラス部材と台形のガラス部材とを交互に
積層したものを示し、（ｈ）は断面形状が半円形のガラ
ス部材を積層したものを示す。

【図５】母材ガラス４１のガラスの粘度と、母材ガラス
４１及び延伸ガラスの断面形状の相似性であるアスペク
ト比の比率Ｒ（％）との相関関係を示すグラフである。

【図６】フラット型電子線励起ディスプレイの分解斜視
図である。

【図７】図６のＡ−Ａ断面図である。

【符号の説明】

１前面板２背面板３支持板４ガラススペーサ２１ガラス板２３素子部２４配線部２５電子放出素子３０製造装置３３台３４加熱炉３６，４５モータ３７ワイヤ４１母材ガラス４３，４４電気ヒータ４６延伸ロール

フロントページの続き (72)発明者水野俊明大阪府大阪市中央区道修町３丁目５番11号日本板硝子株式会社内Ｆターム(参考） 4G015 BA01 BA15 5C012 AA05 BB07 5C032 AA01 CC10 CD06 5C036 EE14 EF01 EF06 EF09 EG01 EH01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の断面形状を有する部材を複数積層
したことを特徴とする電子線励起ディスプレイ用スペー
サ。
【請求項２】前記所定の断面形状は、多角形及び半円
形の少なくとも１つの形状を含むことを特徴とする請求
項１記載の電子線励起ディスプレイ用スペーサ。
【請求項３】前記多角形は、長方形、台形、六角形、
平行四辺形、十字形、及びハット形の少なくとも１つの
形状を含むことを特徴とする請求項２記載の電子線励起
ディスプレイ用スペーサ。
【請求項４】前記部材の積層数は、１０〜２００であ
ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記
載の電子線励起ディスプレイ用スペーサ。
【請求項５】前記部材は、ガラス製であることを特徴
とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電子線励
起ディスプレイ用スペーサ。
【請求項６】所定の断面形状を有する部材を複数積層
した母材を準備し、該母材を加熱しつつ延伸することを
特徴とする電子線励起ディスプレイ用スペーサの製造方
法。
【請求項７】前記所定の断面形状は、多角形及び半円
形の少なくとも１つの形状を含むことを特徴とする請求
項６記載の電子線励起ディスプレイ用スペーサの製造方
法。
【請求項８】前記多角形は、長方形、台形、六角形、
平行四辺形、十字形、及びハット形の少なくとも１つの
形状を含むことを特徴とする請求項７記載の電子線励起
ディスプレイ用スペーサの製造方法。
【請求項９】前記部材の積層数は、１０〜２００であ
ることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記
載の電子線励起ディスプレイ用スペーサの製造方法。
【請求項１０】前記部材は、ガラス製であることを特
徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載の電子線
励起ディスプレイ用スペーサの製造方法。
【請求項１１】前記母材をその粘度が１０⁵〜１０⁹ポ
アズになるように加熱しつつ延伸することを特徴とする
請求項１０記載の電子線励起ディスプレイ用スペーサの
製造方法。
【請求項１２】前記母材をその粘度が１０⁸〜１０⁹ポ
アズになるように加熱しつつ延伸することを特徴とする
請求項１０又は１１記載の電子線励起ディスプレイ用ス
ペーサの製造方法。
【請求項１３】前記母材を所定の供給速度で供給しつ
つ前記母材を所定の延伸速度で延伸し、前記供給速度に
対する前記延伸速度の比が２０〜４０００であることを
特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか１項に記載の
電子線励起ディスプレイ用スペーサの製造方法。
【請求項１４】前記部材の厚さが０．２〜５０ｍｍで
あることを特徴とする請求項６乃至１３のいずれか１項
に記載の電子線励起ディスプレイ用スペーサの製造方
法。
【請求項１５】前記部材の高さが０．２〜５０ｍｍで
あることを特徴とする請求項６乃至１４のいずれか１項
に記載の電子線励起ディスプレイ用スペーサの製造方
法。
【請求項１６】前記部材の長さが３００〜１０００ｍ
ｍであることを特徴とする請求項６乃至１５のいずれか
１項に記載の電子線励起ディスプレイ用スペーサの製造
方法。