JP2001264266A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2001264266A5 JP2001264266A5 JP2000070852A JP2000070852A JP2001264266A5 JP 2001264266 A5 JP2001264266 A5 JP 2001264266A5 JP 2000070852 A JP2000070852 A JP 2000070852A JP 2000070852 A JP2000070852 A JP 2000070852A JP 2001264266 A5 JP2001264266 A5 JP 2001264266A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000070852A JP4664463B2 (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000070852A JP4664463B2 (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | 基板検査装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001264266A JP2001264266A (ja) | 2001-09-26 |
| JP2001264266A5 true JP2001264266A5 (is) | 2007-05-10 |
| JP4664463B2 JP4664463B2 (ja) | 2011-04-06 |
Family
ID=18589521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000070852A Expired - Fee Related JP4664463B2 (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4664463B2 (is) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011150062A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Hitachi High-Technologies Corp | Ｆｐｄモジュール実装装置 |
| JP5544894B2 (ja) * | 2010-01-21 | 2014-07-09 | カシオ計算機株式会社 | ウエハ検査装置及びウエハ検査方法 |
| JP5024842B1 (ja) * | 2011-07-22 | 2012-09-12 | レーザーテック株式会社 | 検査装置、及び検査方法 |
| CN108897153B (zh) * | 2018-08-10 | 2024-08-23 | 宁波舜宇仪器有限公司 | 液晶面板导电粒子自动视觉检测装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63134937A (ja) * | 1986-11-27 | 1988-06-07 | Canon Inc | パタ−ン検査装置 |
| JP2878763B2 (ja) * | 1990-03-12 | 1999-04-05 | 富士通株式会社 | 外観検査装置 |
| JP3074195B2 (ja) * | 1991-04-16 | 2000-08-07 | 富士通株式会社 | 外観検査装置 |
| JPH0784229A (ja) * | 1993-09-14 | 1995-03-31 | Advantest Corp | 液晶パネル検査装置 |
| JPH07318880A (ja) * | 1994-05-24 | 1995-12-08 | Nobuyoshi Kawai | 液晶表示装置の検査装置 |
| JP3380636B2 (ja) * | 1994-12-07 | 2003-02-24 | 株式会社竹内製作所 | プリント基板穴位置穴径検査機 |
| JP3316837B2 (ja) * | 1995-03-03 | 2002-08-19 | 株式会社高岳製作所 | 三次元撮像装置 |
| JP2630302B2 (ja) * | 1995-03-13 | 1997-07-16 | 株式会社ニコン | 投影光学系における基板の位置決定方法及び投影露光方法 |
| JPH095046A (ja) * | 1995-06-21 | 1997-01-10 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 立体形状測定装置 |
| JPH09230250A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-09-05 | Hitachi Denshi Ltd | 光学顕微鏡自動合焦点装置 |
| JP3606410B2 (ja) * | 1996-07-08 | 2005-01-05 | 日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社 | 落射照明光学系における垂直照明設定装置 |
| JPH10282007A (ja) * | 1997-04-04 | 1998-10-23 | Hitachi Ltd | 異物等の欠陥検査方法およびその装置 |
| JPH10293834A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Rohm Co Ltd | 画像取得装置および合焦位置設定方法 |
| JPH11132750A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 点欠陥検出装置及び方法 |
-
2000
- 2000-03-14 JP JP2000070852A patent/JP4664463B2/ja not_active Expired - Fee Related