JP2001252866A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JP2001252866A JP2001252866A JP2000062521A JP2000062521A JP2001252866A JP 2001252866 A JP2001252866 A JP 2001252866A JP 2000062521 A JP2000062521 A JP 2000062521A JP 2000062521 A JP2000062521 A JP 2000062521A JP 2001252866 A JP2001252866 A JP 2001252866A
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- carousel
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- rotatably
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 研磨中のトルクを、装置剛性に影響を与え
ず、応答性が高くかつ高精度で検出できる研磨装置を提
供する。 【解決手段】 回転可能に支持されたカルーセル３の下
面に単数または複数の研磨ヘッド５が回転可能に設けら
れると共に、このカルーセル３に対向してテーブル２が
回転可能または固定支持され、前記各研磨ヘッド５とテ
ーブル２との間にウエハー１を挟持してウエハー１を研
磨する研磨装置において、前記カルーセル３の回転軸４
に磁歪式トルクセンサ８を設けたことを特徴とする。
ず、応答性が高くかつ高精度で検出できる研磨装置を提
供する。 【解決手段】 回転可能に支持されたカルーセル３の下
面に単数または複数の研磨ヘッド５が回転可能に設けら
れると共に、このカルーセル３に対向してテーブル２が
回転可能または固定支持され、前記各研磨ヘッド５とテ
ーブル２との間にウエハー１を挟持してウエハー１を研
磨する研磨装置において、前記カルーセル３の回転軸４
に磁歪式トルクセンサ８を設けたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、ＣＭＰ
装置やラップ装置等の研磨装置に係り、特に、磁歪式ト
ルクセンサを備えた研磨装置に関するものである。
装置やラップ装置等の研磨装置に係り、特に、磁歪式ト
ルクセンサを備えた研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば、ウエハー等のワーク
を研磨する場合に、テーブルとカルーセルとを備えた研
磨装置が用いられる場合がある。カルーセルは上下方向
を軸として回転可能に支持されたもので、このカルーセ
ルの下面には単数または複数の研磨ヘッドが同じく上下
方向を軸として回転可能に支持されている。一方、カル
ーセルに対向してテーブルが上下方向を軸として回転可
能または固定支持され、テーブルと研磨ヘッドとの間に
ウエハーを挟持して、カルーセル、研磨ヘッドを各々回
転させると共に、テーブルも回転させあるいは固定させ
た状態でワークであるウエハーを研磨している。このよ
うに精密な研磨を行なう場合には、テーブルや研磨ヘッ
ドにかかる力を監視し、例えば、ウエハーの研磨が所定
の膜厚まで完了したか否かの検出（終点検出）を行なう
ために、これらテーブルまたは研磨ヘッドに作用する力
を、歪みゲージや圧電素子を用いて検出したり、駆動モ
ータが消費する電力を検出している。
を研磨する場合に、テーブルとカルーセルとを備えた研
磨装置が用いられる場合がある。カルーセルは上下方向
を軸として回転可能に支持されたもので、このカルーセ
ルの下面には単数または複数の研磨ヘッドが同じく上下
方向を軸として回転可能に支持されている。一方、カル
ーセルに対向してテーブルが上下方向を軸として回転可
能または固定支持され、テーブルと研磨ヘッドとの間に
ウエハーを挟持して、カルーセル、研磨ヘッドを各々回
転させると共に、テーブルも回転させあるいは固定させ
た状態でワークであるウエハーを研磨している。このよ
うに精密な研磨を行なう場合には、テーブルや研磨ヘッ
ドにかかる力を監視し、例えば、ウエハーの研磨が所定
の膜厚まで完了したか否かの検出（終点検出）を行なう
ために、これらテーブルまたは研磨ヘッドに作用する力
を、歪みゲージや圧電素子を用いて検出したり、駆動モ
ータが消費する電力を検出している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、テーブ
ルまたは研磨ヘッドに作用する力を、歪みゲージを用い
て検出する方法では、歪みゲージで計測できるように歪
み易くした検出部を設ける必要があるため、装置の剛性
低下が避けられないという問題があると共に歪みゲージ
による計測では応答性が低いという問題がある。一方、
圧電素子を用いて検出する方法では、力が作用する部位
に圧電素子を組み込むため、上記歪みゲージを用いる場
合と同様に装置の剛性が低下してしまうという問題があ
る。
ルまたは研磨ヘッドに作用する力を、歪みゲージを用い
て検出する方法では、歪みゲージで計測できるように歪
み易くした検出部を設ける必要があるため、装置の剛性
低下が避けられないという問題があると共に歪みゲージ
による計測では応答性が低いという問題がある。一方、
圧電素子を用いて検出する方法では、力が作用する部位
に圧電素子を組み込むため、上記歪みゲージを用いる場
合と同様に装置の剛性が低下してしまうという問題があ
る。
【０００４】さらに、これら歪みゲージや圧電素子を用
いて検出する方法では回転側で検出した信号を固定側に
伝えるスリップリングなどの機構を必要とするため、構
造が複雑になるという問題がある。また、回転側で検出
した信号をスリップリングなどで固定側に伝えるために
は、回転側において検出信号を増幅するためのアンプな
どが必要となると共にアンプなどを動作させるために必
要な電力を回転側に供給するための装置も必要となる。
いて検出する方法では回転側で検出した信号を固定側に
伝えるスリップリングなどの機構を必要とするため、構
造が複雑になるという問題がある。また、回転側で検出
した信号をスリップリングなどで固定側に伝えるために
は、回転側において検出信号を増幅するためのアンプな
どが必要となると共にアンプなどを動作させるために必
要な電力を回転側に供給するための装置も必要となる。
【０００５】そして、テーブル及び研磨ヘッドの駆動力
をモータ電力で検出する方法では、空転時のモータ電力
が大きく、負荷時との変化の割合が小さくなることから
検出の分解能（感度）が低いという問題がある。また、
モータ電力を検出する方法は、テーブルが大きい関係で
イナーシャの影響を受けることから、応答性が低くなる
という問題もある。そこで、この発明は研磨中のトルク
変動を、装置剛性に影響を与えず、応答性が高く、かつ
高精度で検出できる研磨装置を提供するものである。
をモータ電力で検出する方法では、空転時のモータ電力
が大きく、負荷時との変化の割合が小さくなることから
検出の分解能（感度）が低いという問題がある。また、
モータ電力を検出する方法は、テーブルが大きい関係で
イナーシャの影響を受けることから、応答性が低くなる
という問題もある。そこで、この発明は研磨中のトルク
変動を、装置剛性に影響を与えず、応答性が高く、かつ
高精度で検出できる研磨装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載した発明は、回転可能に支持された
カルーセル（例えば、実施形態におけるカルーセル３）
の下面に単数または複数の研磨ヘッド（例えば、実施形
態における研磨ヘッド５）が回転可能に設けられると共
に、このカルーセルに対向してテーブル（例えば、実施
形態におけるテーブル２）が回転可能または固定支持さ
れ、前記各研磨ヘッドとテーブルとの間にワーク（例え
ば、実施形態におけるウエハー１）を挟持してワークを
研磨する研磨装置において、前記カルーセルの回転軸
（例えば、実施形態における回転軸４）に磁歪式トルク
センサ（例えば、実施形態における磁歪式トルクセンサ
８）を設けたことを特徴とする。このように構成するこ
とで、カルーセルの回転軸のトルク変動を非接触で、か
つ装置剛性を低下させずに検出することが可能となる。
に、請求項１に記載した発明は、回転可能に支持された
カルーセル（例えば、実施形態におけるカルーセル３）
の下面に単数または複数の研磨ヘッド（例えば、実施形
態における研磨ヘッド５）が回転可能に設けられると共
に、このカルーセルに対向してテーブル（例えば、実施
形態におけるテーブル２）が回転可能または固定支持さ
れ、前記各研磨ヘッドとテーブルとの間にワーク（例え
ば、実施形態におけるウエハー１）を挟持してワークを
研磨する研磨装置において、前記カルーセルの回転軸
（例えば、実施形態における回転軸４）に磁歪式トルク
センサ（例えば、実施形態における磁歪式トルクセンサ
８）を設けたことを特徴とする。このように構成するこ
とで、カルーセルの回転軸のトルク変動を非接触で、か
つ装置剛性を低下させずに検出することが可能となる。
【０００７】請求項２に記載した発明は、回転可能に支
持されたカルーセルの下面に単数または複数の研磨ヘッ
ドが回転可能に設けられると共に、このカルーセルに対
向してテーブルが回転可能に支持され、前記各研磨ヘッ
ドとテーブルとの間にワークを挟持してワークを研磨す
る研磨装置において、前記テーブルの回転軸に磁歪式ト
ルクセンサを設けたことを特徴とする。このように構成
することで、テーブルの回転軸のトルク変動を非接触
で、かつ装置剛性を低下させずに検出することが可能と
なる。
持されたカルーセルの下面に単数または複数の研磨ヘッ
ドが回転可能に設けられると共に、このカルーセルに対
向してテーブルが回転可能に支持され、前記各研磨ヘッ
ドとテーブルとの間にワークを挟持してワークを研磨す
る研磨装置において、前記テーブルの回転軸に磁歪式ト
ルクセンサを設けたことを特徴とする。このように構成
することで、テーブルの回転軸のトルク変動を非接触
で、かつ装置剛性を低下させずに検出することが可能と
なる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を図面
と共に説明する。図１は、この発明の第１実施形態（第
２実施形態を含む）を示す全体概略図である。図１に示
す研磨装置はワークとしてのウエハー１を研磨加工する
ＣＭＰ装置であって、下側に設けられたテーブル２と、
上側に設けられたカルーセル３とを備えている。カルー
セル３は上下方向に配置された回転軸４により回転可能
に支持された円盤状のもので、このカルーセル３の下面
には単数または複数の研磨ヘッド５が同じく上下方向に
配置された軸６により回転可能に支持されている。
と共に説明する。図１は、この発明の第１実施形態（第
２実施形態を含む）を示す全体概略図である。図１に示
す研磨装置はワークとしてのウエハー１を研磨加工する
ＣＭＰ装置であって、下側に設けられたテーブル２と、
上側に設けられたカルーセル３とを備えている。カルー
セル３は上下方向に配置された回転軸４により回転可能
に支持された円盤状のもので、このカルーセル３の下面
には単数または複数の研磨ヘッド５が同じく上下方向に
配置された軸６により回転可能に支持されている。
【０００９】一方、カルーセル３の下面に対向して円盤
状のテーブル２が上下方向に配置された回転軸７により
回転可能または固定支持されている。そして、図２に示
すように、カルーセル３とテーブル２とはオフセット量
Ｃで、つまり芯ずれした状態で配置されている。そし
て、このようにオフセットした状態で、カルーセル３の
回転軸４に対して所定間隔Ｌ離れた位置に配置された単
数または複数の研磨ヘッド５の軸６が回転することで、
研磨ヘッド５とテーブル２との間に挟持されたウエハー
１が研磨されるのである。尚、このとき図１に示すよう
にカルーセル３の中央部からテーブル２に向かって研磨
剤を落下させ、ウエハー１とテーブル２との間に供給し
ている。そして、上記カルーセル３の回転軸４には磁歪
式のトルクセンサ８が設けられている。
状のテーブル２が上下方向に配置された回転軸７により
回転可能または固定支持されている。そして、図２に示
すように、カルーセル３とテーブル２とはオフセット量
Ｃで、つまり芯ずれした状態で配置されている。そし
て、このようにオフセットした状態で、カルーセル３の
回転軸４に対して所定間隔Ｌ離れた位置に配置された単
数または複数の研磨ヘッド５の軸６が回転することで、
研磨ヘッド５とテーブル２との間に挟持されたウエハー
１が研磨されるのである。尚、このとき図１に示すよう
にカルーセル３の中央部からテーブル２に向かって研磨
剤を落下させ、ウエハー１とテーブル２との間に供給し
ている。そして、上記カルーセル３の回転軸４には磁歪
式のトルクセンサ８が設けられている。
【００１０】この磁歪式のトルクセンサ８について説明
する。トルクセンサ８は、図３に示すように、カルーセ
ル３の回転軸４の表面に軸方向に対して±４５度方向に
複数設けられた帯状の磁歪膜９により形状異方性が付与
されたものである。磁歪膜９の外周に非接触で配置され
た２つの検出コイル１０が設けられている。尚、１１は
励磁電源、Ｒは抵抗を示し、差動増幅器１２を介して出
力が得られるようになっている。
する。トルクセンサ８は、図３に示すように、カルーセ
ル３の回転軸４の表面に軸方向に対して±４５度方向に
複数設けられた帯状の磁歪膜９により形状異方性が付与
されたものである。磁歪膜９の外周に非接触で配置され
た２つの検出コイル１０が設けられている。尚、１１は
励磁電源、Ｒは抵抗を示し、差動増幅器１２を介して出
力が得られるようになっている。
【００１１】したがって、研磨している研磨ヘッド５か
らのトルク変動がカルーセル３の回転軸４に作用する
と、磁歪膜９には＋４５度の方向の引張応力＋σ、−４
５度方向に圧縮応力−σが発生し、両磁歪膜９の透磁率
が変化する。これに比例して、それぞれの磁歪膜９の外
周に設置した二つの筒状コイル１０のインダクタンスが
変化する。トルクは二つのコイルのインダクタンスの差
から、スラスト力とラジアル力の影響を受けずに求めら
れるのである。尚、回転軸４が強磁性体ならば磁歪膜９
に替えて溝（凹凸の）を形成するだけでも良い。
らのトルク変動がカルーセル３の回転軸４に作用する
と、磁歪膜９には＋４５度の方向の引張応力＋σ、−４
５度方向に圧縮応力−σが発生し、両磁歪膜９の透磁率
が変化する。これに比例して、それぞれの磁歪膜９の外
周に設置した二つの筒状コイル１０のインダクタンスが
変化する。トルクは二つのコイルのインダクタンスの差
から、スラスト力とラジアル力の影響を受けずに求めら
れるのである。尚、回転軸４が強磁性体ならば磁歪膜９
に替えて溝（凹凸の）を形成するだけでも良い。
【００１２】上記実施形態によれば、カルーセル３の回
転軸４の一部表面に磁歪膜９を形成するだけでよいた
め、装置の剛性を低下させることなく、センサを組み込
むことができる。また、カルーセル３の回転軸４に形成
された磁歪膜９の透磁率変化を、固定側に設置した２つ
の検出コイル１０を用いて検出することによりトルクを
求めるセンサを用いているため、検出したトルク信号を
容易に取り出すことができる。
転軸４の一部表面に磁歪膜９を形成するだけでよいた
め、装置の剛性を低下させることなく、センサを組み込
むことができる。また、カルーセル３の回転軸４に形成
された磁歪膜９の透磁率変化を、固定側に設置した２つ
の検出コイル１０を用いて検出することによりトルクを
求めるセンサを用いているため、検出したトルク信号を
容易に取り出すことができる。
【００１３】そして、磁歪式トルクセンサ８により非接
触、高感度、高応答性でトルク検出ができるため信頼性
の高い終点検出とウエハー１に割れやウエハー１の表面
に形成された膜の剥離が生じた場合等、研磨中の異常検
知が可能となる。具体的には、応答性に関してはひずみ
ゲージを用いた場合には最高でも２ｋＨｚ程度の応答性
しか得られないが、磁歪式トルクセンサ８では１０ｋＨ
ｚ以上の応答性が得られた。更に、スリップリングなど
が必要ないため、構造が簡単となるメリットもある。し
たがって、高精度、高応答性でトルクの検出が可能なた
め信頼性の高い終点検出を行なうことができる。また、
上記研磨装置によりウエハー１を研磨する場合のトルク
変動について説明したが、カルーセル３、テーブル２、
研磨ヘッド５のセッティングや、各研磨ヘッド５のバラ
ンス検出にも使用できる。
触、高感度、高応答性でトルク検出ができるため信頼性
の高い終点検出とウエハー１に割れやウエハー１の表面
に形成された膜の剥離が生じた場合等、研磨中の異常検
知が可能となる。具体的には、応答性に関してはひずみ
ゲージを用いた場合には最高でも２ｋＨｚ程度の応答性
しか得られないが、磁歪式トルクセンサ８では１０ｋＨ
ｚ以上の応答性が得られた。更に、スリップリングなど
が必要ないため、構造が簡単となるメリットもある。し
たがって、高精度、高応答性でトルクの検出が可能なた
め信頼性の高い終点検出を行なうことができる。また、
上記研磨装置によりウエハー１を研磨する場合のトルク
変動について説明したが、カルーセル３、テーブル２、
研磨ヘッド５のセッティングや、各研磨ヘッド５のバラ
ンス検出にも使用できる。
【００１４】尚、この発明は上記実施形態に限られるも
のではなく、例えば前述実施形態においては、カルーセ
ル３の回転軸４に磁歪式トルクセンサ８を配置した場合
について説明したが、図１に鎖線で示すようにテーブル
２の回転軸７に磁歪式トルクセンサ８を配置するように
してもよい（第２実施形態）。このように構成した場合
にも、前述した実施形態と同様に、高精度、高応答性で
トルクの検出が可能なため信頼性の高い終点検出を行な
うことができる。
のではなく、例えば前述実施形態においては、カルーセ
ル３の回転軸４に磁歪式トルクセンサ８を配置した場合
について説明したが、図１に鎖線で示すようにテーブル
２の回転軸７に磁歪式トルクセンサ８を配置するように
してもよい（第２実施形態）。このように構成した場合
にも、前述した実施形態と同様に、高精度、高応答性で
トルクの検出が可能なため信頼性の高い終点検出を行な
うことができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明してきたように、請求項１に記
載した発明によれば、カルーセルの回転軸のトルク変動
を非接触でかつ装置剛性を低下させずに、応答性が高く
かつ高精度で検出できるため、正確な終点検出を行なう
ことができるという効果がある。また、研磨中の異常検
知を行なうことができる効果がある。
載した発明によれば、カルーセルの回転軸のトルク変動
を非接触でかつ装置剛性を低下させずに、応答性が高く
かつ高精度で検出できるため、正確な終点検出を行なう
ことができるという効果がある。また、研磨中の異常検
知を行なうことができる効果がある。
【００１６】請求項２に記載した発明によれば、テーブ
ルの回転軸のトルク変動を非接触でかつ装置剛性を低下
させずに、応答性が高くかつ高精度で検出できるため、
正確な終点検出を行なうことができるという効果があ
る。また、研磨中の異常検知を行なうことができる効果
がある。
ルの回転軸のトルク変動を非接触でかつ装置剛性を低下
させずに、応答性が高くかつ高精度で検出できるため、
正確な終点検出を行なうことができるという効果があ
る。また、研磨中の異常検知を行なうことができる効果
がある。
【図１】 この発明の第１実施形態及び第２実施形態の
全体構成図である。
全体構成図である。
【図２】 この発明の第１実施形態及び第２実施形態の
装置各部の動きを示す斜視図である。
装置各部の動きを示す斜視図である。
【図３】 磁歪式トルクセンサの構成図である。
１ ウエハー（ワーク） ２ テーブル ３ カルーセル ４ 回転軸 ５ 研磨ヘッド ８ 磁歪式トルクセンサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 増根 昭洋 埼玉県大宮市北袋町１−297 三菱マテリ アル株式会社知能機器・システム開発セン ター内 Ｆターム(参考） 3C058 AA07 AB01 AB06 AC01 BA01 BA06 BB02 BC01 BC02 CB01 CB03 DA12 DA17
Claims (2)
- 【請求項１】 回転可能に支持されたカルーセルの下面
に単数または複数の研磨ヘッドが回転可能に設けられる
と共に、このカルーセルに対向してテーブルが回転可能
または固定支持され、前記各研磨ヘッドとテーブルとの
間にワークを挟持してワークを研磨する研磨装置におい
て、前記カルーセルの回転軸に磁歪式トルクセンサを設
けたことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項２】 回転可能に支持されたカルーセルの下面
に単数または複数の研磨ヘッドが回転可能に設けられる
と共に、このカルーセルに対向してテーブルが回転可能
に支持され、前記各研磨ヘッドとテーブルとの間にワー
クを挟持してワークを研磨する研磨装置において、前記
テーブルの回転軸に磁歪式トルクセンサを設けたことを
特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000062521A JP2001252866A (ja) | 2000-03-07 | 2000-03-07 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000062521A JP2001252866A (ja) | 2000-03-07 | 2000-03-07 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001252866A true JP2001252866A (ja) | 2001-09-18 |
Family
ID=18582526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000062521A Pending JP2001252866A (ja) | 2000-03-07 | 2000-03-07 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001252866A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180036545A (ko) | 2016-09-30 | 2018-04-09 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치 및 연마 방법 |
| KR20190066590A (ko) | 2017-12-05 | 2019-06-13 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치, 및 연마 방법 |
| CN110405545A (zh) * | 2019-09-03 | 2019-11-05 | 兰州理工大学 | 一种基于磁性混合流体非球面模具钢高精密抛光的装置 |
| KR20220092786A (ko) | 2020-12-25 | 2022-07-04 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치 및 연마 방법 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06315850A (ja) * | 1993-05-07 | 1994-11-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 研磨終点検出装置 |
| JPH1133909A (ja) * | 1997-07-25 | 1999-02-09 | Kubota Corp | 回転押圧装置 |
| JPH11183278A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-09 | Aisin Seiki Co Ltd | トルクセンサ用高感度磁歪材料，並びにセンサシャフト及びその製造方法 |
| JPH11326081A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-26 | Shinko Electric Co Ltd | トルクセンサ素子及びその製造方法 |
| JP2000024913A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-25 | Mitsubishi Materials Corp | 研磨装置、研磨方法及び研磨制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
-
2000
- 2000-03-07 JP JP2000062521A patent/JP2001252866A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06315850A (ja) * | 1993-05-07 | 1994-11-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 研磨終点検出装置 |
| JPH1133909A (ja) * | 1997-07-25 | 1999-02-09 | Kubota Corp | 回転押圧装置 |
| JPH11183278A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-09 | Aisin Seiki Co Ltd | トルクセンサ用高感度磁歪材料，並びにセンサシャフト及びその製造方法 |
| JPH11326081A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-26 | Shinko Electric Co Ltd | トルクセンサ素子及びその製造方法 |
| JP2000024913A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-25 | Mitsubishi Materials Corp | 研磨装置、研磨方法及び研磨制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180036545A (ko) | 2016-09-30 | 2018-04-09 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치 및 연마 방법 |
| US10688620B2 (en) | 2016-09-30 | 2020-06-23 | Ebara Corporation | Polishing apparatus |
| KR20220066027A (ko) | 2016-09-30 | 2022-05-23 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치 및 연마 방법 |
| US11583973B2 (en) | 2016-09-30 | 2023-02-21 | Ebara Corporation | Polishing apparatus |
| KR20230117300A (ko) | 2016-09-30 | 2023-08-08 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치를 제어하기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로읽을 수 있는 매체 |
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