JP2001242839A - Semiconductor display device and electronics - Google Patents

Semiconductor display device and electronics

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JP2001242839A
JP2001242839A JP2000387395A JP2000387395A JP2001242839A JP 2001242839 A JP2001242839 A JP 2001242839A JP 2000387395 A JP2000387395 A JP 2000387395A JP 2000387395 A JP2000387395 A JP 2000387395A JP 2001242839 A JP2001242839 A JP 2001242839A
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Kyoichi Kobi
恭一 向尾
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device permitting to display a picture of high definition, high resolution, and multi-gradations. SOLUTION: A semiconductor device is characterized by that the sequence of m-pieces of split video signals is changed before they are imputed to a buffer circuit, and is changed back into the original sequence after they are outputted from the buffer circuit.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体表示装置の
駆動回路に関する。特に、半導体表示装置のソース信号
線駆動回路に入力するアナログまたはデジタルの信号を
生成する回路に関する。特に、シリアル−パラレル変換
を行う分割回路(Serial−to−Paralle
l Conversion Circuit:SPC)
から出力されたパラレルなアナログまたはデジタルの分
割信号を、ソース信号線駆動回路に入力する前に処理す
る回路に関する。また本発明は、ソース信号線駆動回路
に入力するアナログまたはデジタルの信号を生成する回
路を有する半導体表示装置に関する。
The present invention relates to a driving circuit for a semiconductor display device. In particular, the present invention relates to a circuit for generating an analog or digital signal input to a source signal line driver circuit of a semiconductor display device. In particular, a serial-to-parallel conversion circuit (Serial-to-Parallel)
l Conversion Circuit: SPC)
The present invention relates to a circuit for processing a parallel analog or digital divided signal output from a source signal line driving circuit before inputting it to a source signal line driving circuit. Further, the present invention relates to a semiconductor display device having a circuit for generating an analog or digital signal input to a source signal line driver circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、絶縁性基板上に半導体薄膜を用い
て形成された半導体素子、例えば薄膜トランジスタ(T
FT)を作製する技術が急速に発達している。その理由
は、半導体素子を用いた半導体表示装置(代表的には、
アクティブマトリクス型半導体表示装置)の需要が高ま
ってきたことによる。なお本明細書において、表面に半
導体素子が形成された絶縁性基板をアクティブマトリク
ス基板と呼ぶ。
2. Description of the Related Art In recent years, a semiconductor element formed by using a semiconductor thin film on an insulating substrate, for example, a thin film transistor (T
The technology for making FT) is developing rapidly. The reason is that a semiconductor display device using a semiconductor element (typically,
(Active matrix type semiconductor display devices). Note that in this specification, an insulating substrate having a semiconductor element formed on a surface is referred to as an active matrix substrate.

【0003】アクティブマトリクス型半導体表示装置
は、マトリクス状に配置された数十〜数百万個もの画素
電極の電荷を、画素が有するTFTにより制御して画像
を表示するものである。
An active matrix type semiconductor display device displays an image by controlling tens to millions of pixel electrode charges arranged in a matrix by using TFTs of the pixels.

【0004】アクティブマトリクス型半導体表示装置の
駆動回路は高速動作が要求される。特に駆動回路の中で
もソース信号線駆動回路は、ゲート信号線に信号が入力
されている期間内に、前記ゲート信号線に接続されてい
る画素TFT全てに順に信号を入力する必要がある。そ
のためソース信号線駆動回路は、ゲート信号線駆動回路
よりも高速で動作することが必要である。例えばVGA
のアクティブマトリクス型半導体表示装置の場合、ソー
ス信号線駆動回路の駆動周波数は一般的に約20MHz
である。
[0004] A drive circuit of an active matrix type semiconductor display device is required to operate at high speed. In particular, among the driver circuits, the source signal line driver circuit needs to sequentially input signals to all the pixel TFTs connected to the gate signal line during a period in which the signal is input to the gate signal line. Therefore, the source signal line driver circuit needs to operate at higher speed than the gate signal line driver circuit. For example, VGA
In the case of the active matrix type semiconductor display device, the driving frequency of the source signal line driving circuit is generally about 20 MHz.
It is.

【0005】アクティブマトリクス型半導体表示装置は
高精細、高解像度、多階調な画像を表示することが望ま
れている。そのためアクティブマトリクス型半導体表示
装置の水平方向の画素数(水平画素数:Hn)が増える
傾向にある。
It is desired that an active matrix type semiconductor display device displays a high-definition, high-resolution, multi-gradation image. Therefore, the number of horizontal pixels (the number of horizontal pixels: Hn) of the active matrix semiconductor display device tends to increase.

【0006】水平画素数Hnが増加すると、ソース信号
線駆動回路をより高速で動作させることが要求される。
ソース信号線駆動回路の動作速度が低下すると、画像表
示スピードが遅くなり、表示画像のチラツキやフリッカ
などの諸問題が発生する。
As the number of horizontal pixels Hn increases, it is required to operate the source signal line driving circuit at higher speed.
When the operation speed of the source signal line drive circuit is reduced, the image display speed is reduced, and various problems such as flickering and flicker of a displayed image occur.

【0007】上記諸問題を回避しつつ、アクティブマト
リクス型半導体表示装置の水平方向の画素数を増やすた
めには、ソース信号線駆動回路の駆動周波数をより高く
しなくてはならない。しかしソース信号線駆動回路の駆
動周波数を高くしていくと、ソース信号線駆動回路が有
するTFTの応答速度がソース信号線駆動回路の駆動周
波数に対応しきれなくなり、動作が不可能か、または信
頼性の上で難が出てくる可能性があった。
In order to increase the number of pixels in the active matrix semiconductor display device in the horizontal direction while avoiding the above problems, the drive frequency of the source signal line drive circuit must be increased. However, as the driving frequency of the source signal line driver circuit is increased, the response speed of the TFT included in the source signal line driver circuit cannot correspond to the driving frequency of the source signal line driver circuit, and the operation becomes impossible or the operation becomes impossible There could be difficulties in terms of gender.

【0008】そこで、画像表示スピードを遅くすること
なくソース信号線駆動回路の駆動周波数を抑えるため
に、分割駆動する方法が従来から用いられている。分割
駆動とは、水平方向に並んでいる画素をm個のグループ
に分割し、1ライン期間中に、同時に各グループの画素
に画像情報を有する信号を入力する駆動方法である。
Therefore, in order to suppress the driving frequency of the source signal line driving circuit without lowering the image display speed, a split driving method has been conventionally used. The division driving is a driving method in which pixels arranged in the horizontal direction are divided into m groups, and a signal having image information is simultaneously input to the pixels in each group during one line period.

【0009】なお本明細書において1ライン期間とは、
水平方向に並んでいる1ラインの画素のうち、最初の画
素に画像情報を有する信号が入力されてから、次の1ラ
インの最初の画素に画像情報を有する信号が入力される
直前までの期間を意味する。
In this specification, one line period is defined as
A period from when a signal having image information is input to the first pixel among pixels of one line arranged in the horizontal direction to immediately before a signal having image information is input to the first pixel of the next one line. Means

【0010】m分割での分割駆動の場合(mは1より大
きい正数であり、一般的には自然数)、分割しない場合
と1ライン期間の長さが同じだとすると、分割しない場
合に比べて1画素あたりの画像情報を有する信号(画像
信号)を入力する期間がm倍になる。そのためソース信
号線駆動回路の駆動周波数は1/mとなり、ソース信号
線駆動回路が完全に動作可能な程度になるまで、ソース
信号線駆動回路の駆動周波数を低くすることが可能にな
る。
In the case of division driving in m divisions (m is a positive number larger than 1 and generally a natural number), if the length of one line period is the same as that in the case of no division, it is one more than in the case of no division. The period during which a signal (image signal) having image information per pixel is input becomes m times. Therefore, the driving frequency of the source signal line driving circuit is 1 / m, and the driving frequency of the source signal line driving circuit can be reduced until the source signal line driving circuit can operate completely.

【0011】m分割の分割駆動の場合、m個の画素に対
応する画像情報を有するビデオ信号(分割ビデオ信号)
がソース信号線駆動回路においてサンプリングされ、m
個の画像信号としてm個の画素のそれぞれに同時に入力
される。
In the case of m-divided driving, a video signal (divided video signal) having image information corresponding to m pixels
Are sampled in the source signal line driving circuit, and m
The image signals are simultaneously input to each of the m pixels.

【0012】ソース信号線駆動回路に入力される分割ビ
デオ信号は、一般的には、アクティブマトリクス基板に
FPC(フレキシブル・プリント・サーキット)を介し
て接続されているICチップ(単結晶シリコン上に形成
されたMOSFETで構成される半導体回路)上に設け
られた回路群において生成される。図17は、アナログ
駆動のアクティブマトリクス型半導体表示装置におい
て、ソース信号線駆動回路に入力される分割ビデオ信号
を生成する回路群を示している。
The divided video signal input to the source signal line driving circuit is generally formed on an IC chip (single-crystal silicon) connected to an active matrix substrate via a flexible printed circuit (FPC). Is generated in a circuit group provided on a semiconductor circuit configured by the MOSFETs. FIG. 17 shows a circuit group for generating a divided video signal input to a source signal line driver circuit in an analog drive active matrix semiconductor display device.

【0013】901は制御回路、902はA/D変換回
路、903はγ補正回路、904はD/A変換回路、9
05は分割回路、906はバッファ回路群を示してい
る。
Reference numeral 901 denotes a control circuit; 902, an A / D conversion circuit; 903, a gamma correction circuit; 904, a D / A conversion circuit;
05 denotes a dividing circuit, and 906 denotes a buffer circuit group.

【0014】Hsync信号とVsync信号とが制御
回路901に入力される。そして制御回路901からソ
ース信号線駆動回路を駆動するクロック信号(CK)、
スタートパルス信号(SP)等がソース信号線駆動回路
に入力される。またさらに制御回路901から、A/D
変換回路902、γ補正回路903、D/A変換回路9
04及び分割回路905に、それぞれ各回路を駆動する
信号が入力されている。
The Hsync signal and the Vsync signal are input to the control circuit 901. Then, a clock signal (CK) for driving the source signal line driving circuit from the control circuit 901;
A start pulse signal (SP) or the like is input to the source signal line driving circuit. Further, from the control circuit 901, the A / D
Conversion circuit 902, γ correction circuit 903, D / A conversion circuit 9
Signals for driving the respective circuits are input to the circuit 04 and the division circuit 905.

【0015】そして画像情報を有するアナログのビデオ
信号がA/D変換回路902に入力される。A/D変換
回路902に入力されたアナログのビデオ信号は、デジ
タルのビデオ信号に変換され、γ補正回路903に入力
される。γ補正回路903に入力されたデジタルのビデ
オ信号は、γ補正されてD/A変換回路904に入力さ
れる。D/A変換回路904に入力されたデジタルのビ
デオ信号は、再びアナログのビデオ信号に変換され、分
割回路905に入力される。
An analog video signal having image information is input to the A / D conversion circuit 902. The analog video signal input to the A / D conversion circuit 902 is converted to a digital video signal and input to the γ correction circuit 903. The digital video signal input to the γ correction circuit 903 is γ corrected and input to the D / A conversion circuit 904. The digital video signal input to the D / A conversion circuit 904 is converted into an analog video signal again and input to the division circuit 905.

【0016】分割回路905に入力されたアナログのビ
デオ信号は、シリアル−パラレル変換され、分割駆動の
分割数と同じ数の分割ビデオ信号に変換される。m分割
の分割駆動の場合、アナログのビデオ信号はm個の分割
ビデオ信号に変換されることになる。
The analog video signal input to the division circuit 905 is subjected to serial-parallel conversion, and is converted into the same number of divided video signals as the number of divisions for the division driving. In the case of m-divided driving, an analog video signal is converted into m divided video signals.

【0017】m個の分割ビデオ信号は、バッファ回路群
906に入力される。バッファ回路群906はバッファ
回路906_1〜906_mを有しており、m個の分割
ビデオ信号はそれぞれ対応するバッファ回路906_1
〜906_mに入力される。
The m divided video signals are input to a buffer circuit group 906. The buffer circuit group 906 includes buffer circuits 906_1 to 906_m, and the m divided video signals respectively correspond to the corresponding buffer circuits 906_1.
To 906 — m.

【0018】ところで、ある回路から出力された信号を
別の回路に入力する際に、信号の立ち上がりまたは立ち
下がりに鈍りが生じて信号の波形が矩形にならなかった
り、信号の電位及び振幅が変化したりすることがある。
これは、信号が入力される側の回路に負荷容量(寄生容
量)が存在するためである。そしてこれは、信号が入力
される側の回路が有する回路素子の数が多くなって回路
の構成が複雑になればなるほど、顕著に現れる現象であ
る。バッファ回路とは、ある回路から出力された信号を
別の回路に入力する際に、信号の波形、電位及び振幅が
変化しないように緩衝増幅する回路である。
When a signal output from one circuit is input to another circuit, the rise or fall of the signal becomes dull and the signal waveform does not become rectangular, or the potential and amplitude of the signal change. Or you may.
This is because load capacitance (parasitic capacitance) exists in a circuit to which a signal is input. This is a phenomenon that appears more conspicuously as the number of circuit elements included in the circuit to which a signal is input increases and the circuit configuration becomes more complicated. A buffer circuit is a circuit that buffers and amplifies a signal output from a certain circuit so that the waveform, potential and amplitude of the signal do not change when the signal is input to another circuit.

【0019】m個の分割ビデオ信号は、バッファ回路9
06_1〜906_mにおいて緩衝増幅され、ソース信
号線駆動回路に入力される。そしてアナログ駆動のアク
ティブマトリクス型半導体表示装置の場合、m個の分割
ビデオ信号はソース信号線駆動回路においてサンプリン
グされ、m個の画像信号として対応する画素にソース信
号線を介して入力される。
The m divided video signals are supplied to a buffer circuit 9
The signals are buffer-amplified at 06_1 to 906_m and input to the source signal line driver circuit. In the case of an active matrix type semiconductor display device driven by analog driving, m divided video signals are sampled in a source signal line driving circuit and input to corresponding pixels as m image signals via a source signal line.

【0020】[0020]

【発明が解決しようとする課題】バッファ回路群906
が有するバッファ回路906_1〜906_mは、理論
的には全て構成が同じである。しかし実際には個々のバ
ッファ回路の特性は全く同じではない。バッファ回路に
よって、入力された信号と出力される信号の、振幅の増
幅の度合い(増幅度)が異なっていたり、出力された信
号がオフセット電位を有していたりする。バッファ回路
の特性は、そのバッファ回路が有する回路素子の製造誤
差や、バッファ回路の周辺温度に左右される。
SUMMARY OF THE INVENTION Buffer circuit group 906
Have the same configuration in theory. However, actually, the characteristics of the individual buffer circuits are not exactly the same. Depending on the buffer circuit, the degree of amplitude amplification (amplification degree) between the input signal and the output signal is different, or the output signal has an offset potential. The characteristics of the buffer circuit depend on manufacturing errors of circuit elements included in the buffer circuit and the ambient temperature of the buffer circuit.

【0021】そのため、バッファ回路から出力される分
割ビデオ信号の電位及び振幅は、常にそのバッファ回路
の特性の影響を受ける。よって、特性が異なっているバ
ッファ回路から出力される分割ビデオ信号は、他の分割
ビデオ信号と振幅が異なっていたり、オフセット電位を
有していたりし、他の分割ビデオ信号と電位差を有して
しまう。
Therefore, the potential and amplitude of the divided video signal output from the buffer circuit are always affected by the characteristics of the buffer circuit. Therefore, the divided video signals output from the buffer circuits having different characteristics have different amplitudes from other divided video signals, have an offset potential, and have a potential difference from other divided video signals. I will.

【0022】そして、電位差を有する分割ビデオ信号が
ソース信号線駆動回路においてサンプリングされると、
サンプリングによって画素に入力される画像信号も電位
差を有する。そして、その画像信号が有する電位差が画
面中に明暗として表示され、観察者に明暗による縞(分
割縞)が視認されてしまう。
When the divided video signal having the potential difference is sampled in the source signal line driving circuit,
An image signal input to a pixel by sampling also has a potential difference. Then, the potential difference of the image signal is displayed as bright and dark on the screen, and the observer visually recognizes the bright and dark fringes (divided fringes).

【0023】上述したことに鑑み、本発明は分割駆動を
行う際に、観察者に分割縞が視認されにくい、高精細、
高解像度、多階調の画像の表示が可能な、アクティブマ
トリクス型半導体表示装置を提供することを課題とす
る。
In view of the above, according to the present invention, when performing the division driving, the division stripes are hard to be visually recognized by an observer,
It is an object to provide an active matrix semiconductor display device capable of displaying a high-resolution and multi-gradation image.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】本発明人は、分割縞が観
察者に視認されるのは、画像信号の電位差によって画面
上に表示される明るい部分または暗い部分が、特定のソ
ース信号線に接続されている画素において、常に現れる
ためだと考えた。そしてそれは、分割回路から出力され
る複数の分割ビデオ信号が、それぞれの分割ビデオ信号
に対応した特定のバッファ回路に常に入力されているた
めだと考えた。
The inventor of the present invention believes that the divisional fringes are visually recognized by an observer when a bright portion or a dark portion displayed on a screen by a potential difference of an image signal is connected to a specific source signal line. We thought that this was because it always appeared in the connected pixels. This is because the plurality of divided video signals output from the divided circuits are always input to the specific buffer circuits corresponding to the respective divided video signals.

【0025】そこで本発明では、分割回路から出力され
る複数の分割ビデオ信号を、それぞれ常に特定のバッフ
ァ回路に入力するのではなく、ある期間ごとに異なるバ
ッファ回路に入力するようにした。つまり、入力する複
数の分割ビデオ信号と入力される複数のバッファ回路と
が一対一で対応しており、複数の分割ビデオ信号の各々
に対する複数のバッファ回路をある期間ごとに互いに入
れ替える、言い換えると、分割ビデオ信号とバッファ回
路の組み合わせをある期間ごとに組み替えるようにし
た。
Therefore, in the present invention, a plurality of divided video signals output from the dividing circuit are not always inputted to a specific buffer circuit, but are inputted to different buffer circuits every certain period. That is, a plurality of input divided video signals and a plurality of input buffer circuits correspond one-to-one, and a plurality of buffer circuits for each of the plurality of divided video signals are replaced with each other every certain period of time, in other words, The combination of the divided video signal and the buffer circuit is changed every certain period.

【0026】上記構成によって、特性が異なるバッファ
回路から出力された分割ビデオ信号が、他の分割ビデオ
信号との間に電位差を有していることによって画面中に
分割縞が表示されても、ある期間ごとにその分割縞の表
示される位置が移動するので、観察者に分割縞が視認さ
れにくい。
According to the above configuration, even if a divided video signal output from a buffer circuit having different characteristics has a potential difference between the divided video signal and another divided video signal, a divided stripe may be displayed on a screen. Since the position at which the divisional stripe is displayed moves every period, the divisional stripes are difficult to be visually recognized by an observer.

【0027】なお本発明では、分割ビデオ信号とバッフ
ァ回路の組み合わせのパターンの数と、その組み合わせ
が変わるまでの期間とを、分割縞が観察者に視認されに
くい程度に設定することが重要である。分割ビデオ信号
とバッファ回路の組み合わせの種類の数は多ければ多い
ほど好ましく、より分割縞が観察者に視認されにくくな
る。また組み合わせが変わるまでの期間は短い方が好ま
しく、1/20sec以下であることが望ましい。
In the present invention, it is important to set the number of patterns of the combination of the divided video signal and the buffer circuit, and the period until the combination is changed, to such an extent that the divided stripes are hardly recognized by the observer. . It is preferable that the number of types of combinations of the divided video signal and the buffer circuit is as large as possible, and the divided stripes are more difficult to be visually recognized by an observer. It is preferable that the period until the combination is changed be shorter, and it is desirable that the period be 1/20 sec or less.

【0028】よって、本発明は分割駆動を行う際に、観
察者に分割縞が視認されにくい。そしてなおかつ、分割
駆動することによって、高精細、高解像度、多階調の画
像の表示が可能になる。
Therefore, according to the present invention, when performing the division driving, the division stripes are hardly visually recognized by an observer. Further, by performing the division driving, it is possible to display a high-definition, high-resolution, multi-tone image.

【0029】以下に本発明の構成を示す。The configuration of the present invention will be described below.

【0030】本発明によって、m個のバッファ回路とソ
ース信号線駆動回路とを有する半導体表示装置であっ
て、前記m個のバッファ回路のそれぞれは、パラレルデ
ータであるm個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応して
おり、前記m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応する
m個のバッファ回路は、ある一定の期間ごとに互いに入
れ替わり、前記m個のバッファ回路に入力された前記m
個の分割ビデオ信号は、前記m個のバッファ回路から出
力されて前記ソース信号線駆動回路に入力され、前記ソ
ース信号線駆動回路に入力された前記m個の分割ビデオ
信号は、サンプリングされ、前記m個の各分割ビデオ信
号に対応する既定のm本のソース信号線にそれぞれ入力
されることを特徴とする半導体表示装置が提供される。
According to the present invention, there is provided a semiconductor display device having m buffer circuits and a source signal line driving circuit, wherein each of the m buffer circuits is provided for each of m divided video signals as parallel data. The m buffer circuits corresponding to each of the m divided video signals are replaced with each other at certain intervals, and the m buffer circuits inputted to the m buffer circuits are replaced with each other.
The divided video signals are output from the m buffer circuits and input to the source signal line driving circuit, and the m divided video signals input to the source signal line driving circuit are sampled, A semiconductor display device is provided which is input to predetermined m source signal lines corresponding to each of m divided video signals.

【0031】本発明によって、分割回路と、第1入れ替
え回路と、第2入れ替え回路と、m個のバッファ回路
と、ソース信号線駆動回路とを有する半導体表示装置で
あって、ビデオ信号がシリアル−パラレル変換されて形
成されたm個の分割ビデオ信号が前記分割回路から出力
され、前記分割回路から出力されたm個の分割ビデオ信
号は、前記第1入れ替え回路に入力され、前記第1入れ
替え回路に入力されたm個の分割ビデオ信号は、それぞ
れ対応する前記m個のバッファ回路に入力され、前記m
個のバッファ回路に入力されたm個の分割ビデオ信号
は、前記m個のバッファ回路から出力されて前記第2入
れ替え回路に入力され、前記第2入れ替え回路に入力さ
れたm個の分割ビデオ信号は、前記m個の各分割ビデオ
信号に対応する既定のm本の分割ビデオ信号線にそれぞ
れ入力され、前記m本の分割ビデオ信号線に入力された
m個の分割ビデオ信号は、前記ソース信号線駆動回路に
入力されてサンプリングされ、前記m個の各分割ビデオ
信号に対応する既定のm本のソース信号線にそれぞれ入
力され、前記m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応す
るm個のバッファ回路は、ある一定の期間ごとに互いに
入れ替わることを特徴とする半導体表示装置が提供され
る。
According to the present invention, there is provided a semiconductor display device including a division circuit, a first replacement circuit, a second replacement circuit, m buffer circuits, and a source signal line driving circuit, wherein a video signal is serially transmitted. The m divided video signals formed by the parallel conversion are output from the dividing circuit, and the m divided video signals output from the dividing circuit are input to the first switching circuit, and the first switching circuit Are input to the corresponding m buffer circuits, respectively, and the m divided video signals are input to the corresponding m buffer circuits.
The m divided video signals input to the buffer circuits are output from the m buffer circuits, input to the second switching circuit, and the m divided video signals input to the second switching circuit. Are respectively input to predetermined m divided video signal lines corresponding to the m divided video signals, and the m divided video signals input to the m divided video signal lines are the source signals. M buffer signals corresponding to each of the m divided video signals which are input to and sampled by the line driving circuit, respectively input to predetermined m source signal lines corresponding to the m divided video signals, and A semiconductor display device is provided in which the circuits are replaced with each other every certain period.

【0032】本発明によって、分割回路と、第1入れ替
え回路と、m個のバッファ回路と、ソース信号線駆動回
路とを有する半導体表示装置であって、前記ソース信号
線駆動回路は第2入れ替え回路を有しており、ビデオ信
号がシリアル−パラレル変換されて形成されたm個の分
割ビデオ信号が前記分割回路から出力され、前記分割回
路から出力されたm個の分割ビデオ信号は、前記第1入
れ替え回路に入力され、前記第1入れ替え回路に入力さ
れたm個の分割ビデオ信号は、それぞれ対応する前記m
個のバッファ回路に入力され、前記m個のバッファ回路
に入力されたm個の分割ビデオ信号は、前記m個のバッ
ファ回路から出力されて前記第2入れ替え回路に入力さ
れ、前記第2入れ替え回路に入力されたm個の分割ビデ
オ信号は、サンプリングされ、前記m個の各分割ビデオ
信号に対応する既定のm本のソース信号線にそれぞれ入
力され、前記m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応す
るm個のバッファ回路は、ある一定の期間ごとに互いに
入れ替わることを特徴とする半導体表示装置が提供され
る。
According to the present invention, there is provided a semiconductor display device including a division circuit, a first switching circuit, m buffer circuits, and a source signal line driving circuit, wherein the source signal line driving circuit is a second switching circuit. M divided video signals formed by serial-parallel conversion of a video signal are output from the division circuit, and the m divided video signals output from the division circuit are the first divided video signals. The m divided video signals input to the replacement circuit and input to the first replacement circuit are respectively associated with the corresponding m
M divided video signals input to the m buffer circuits and input to the m buffer circuits are output from the m buffer circuits and input to the second switching circuit, and the second switching circuit The m divided video signals input to are input to predetermined m source signal lines corresponding to the m divided video signals, respectively, and correspond to each of the m divided video signals. The semiconductor display device is characterized in that the m buffer circuits are replaced with each other every certain period.

【0033】前記m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対
応するm個のバッファ回路の入れ替えは、入れ替えデー
タ回路において制御されることを特徴としていても良
い。
The replacement of the m buffer circuits corresponding to each of the m divided video signals may be controlled by a replacement data circuit.

【0034】前記m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対
応するm個のバッファ回路が互いにどの様に入れ替わる
かが、入れ替えデータ回路において決められていること
を特徴としていても良い。
The replacement data circuit may determine how the m buffer circuits corresponding to the m divided video signals are replaced with each other.

【0035】前記入れ替えデータ回路はメモリ回路とカ
ウンタ回路とを有しており、前記メモリ回路には、前記
m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応するm個のバッ
ファ回路の組み合わせについての情報を有する入れ替え
データが複数記憶されており、前記カウンタ回路によっ
て前記入れ替えデータの1つが選択されることを特徴と
していても良い。
The replacement data circuit has a memory circuit and a counter circuit, and the memory circuit has information on a combination of m buffer circuits corresponding to each of the m divided video signals. A plurality of replacement data may be stored, and one of the replacement data may be selected by the counter circuit.

【0036】本発明によって、マルチプレクサ回路とl
個のD/A変換回路とl個の分割回路とを有する半導体
表示装置であって、前記l個のD/A変換回路のそれぞ
れは、前記マルチプレクサ回路から出力されたl個のデ
ジタルの分配信号のそれぞれに対応しており、前記l個
のデジタルの分配信号のそれぞれに対応するl個のD/
A変換回路は、ある一定の期間ごとに互いに入れ替わ
り、前記l個のD/A変換回路に入力された前記l個の
デジタルの分配信号は、l個のアナログの分配信号に変
換されて、それぞれ対応する既定の前記l個の分割回路
に入力されることを特徴とする半導体表示装置が提供さ
れる。
According to the present invention, a multiplexer circuit and l
1. A semiconductor display device having D / A conversion circuits and l division circuits, wherein each of the l D / A conversion circuits includes l digital distribution signals output from the multiplexer circuit. And one of the D / D signals corresponding to each of the l digital distribution signals.
The A conversion circuits are switched with each other every certain period, and the l digital distribution signals input to the l D / A conversion circuits are converted into l analog distribution signals, and A semiconductor display device is provided, which is input to the corresponding predetermined l divided circuits.

【0037】前記半導体表示装置は液晶を用いているこ
とを特徴としても良い。
[0037] The semiconductor display device may use liquid crystal.

【0038】前記半導体表示装置は発光素子を用いてい
ることを特徴としても良い。
The semiconductor display device may use a light emitting element.

【0039】本発明は、前記半導体表示装置を用いたコ
ンピュータであっても良い。
The present invention may be a computer using the semiconductor display device.

【0040】本発明は、前記半導体表示装置を用いたビ
デオカメラであっても良い。
The present invention may be a video camera using the semiconductor display device.

【0041】本発明は、前記半導体表示装置を用いたD
VDプレーヤーであっても良い。
According to the present invention, the D
It may be a VD player.

【0042】[0042]

【発明の実施の形態】本発明の分割ビデオ信号を生成す
る回路群について、図1を用いて説明する。なおここで
は、アナログ駆動のアクティブマトリクス型半導体表示
装置を、m分割で分割駆動する場合について説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A circuit group for generating a divided video signal according to the present invention will be described with reference to FIG. Note that here, a case will be described in which an active matrix type semiconductor display device driven by analog driving is divided into m units.

【0043】101は制御回路、102はA/D変換回
路、103はγ補正回路、104はD/A変換回路、1
05は分割回路、106は入れ替えデータ回路を示して
いる。
Reference numeral 101 denotes a control circuit, 102 denotes an A / D conversion circuit, 103 denotes a gamma correction circuit, 104 denotes a D / A conversion circuit,
05 denotes a dividing circuit, and 106 denotes a replacement data circuit.

【0044】Hsync信号とVsync信号とが制御
回路101に入力される。そして制御回路101からソ
ース信号線駆動回路を駆動するクロック信号(CK)、
スタートパルス信号(SP)等がソース信号線駆動回路
に入力される。またさらに制御回路101から、A/D
変換回路102、γ補正回路103、D/A変換回路1
04、分割回路105、入れ替えデータ回路106に、
各回路を駆動する信号がそれぞれ入力されている。
The Hsync signal and the Vsync signal are input to the control circuit 101. Then, a clock signal (CK) for driving the source signal line driving circuit from the control circuit 101,
A start pulse signal (SP) or the like is input to the source signal line driving circuit. Further, from the control circuit 101, the A / D
Conversion circuit 102, gamma correction circuit 103, D / A conversion circuit 1
04, the dividing circuit 105, the replacement data circuit 106,
Signals for driving the respective circuits are input.

【0045】画像情報を有するアナログのビデオ信号
が、A/D変換回路102に入力される。A/D変換回
路102に入力されたアナログのビデオ信号は、A/D
変換回路102においてデジタルのビデオ信号に変換さ
れ、γ補正回路103に入力される。γ補正回路103
に入力されたデジタルのビデオ信号は、γ補正され、D
/A変換回路104に入力される。D/A変換回路10
4に入力されたγ補正後のデジタルのビデオ信号は、再
びアナログのビデオ信号に変換され、分割回路105に
入力される。
An analog video signal having image information is input to the A / D conversion circuit 102. The analog video signal input to the A / D conversion circuit 102 is
The converted video signal is converted into a digital video signal by the conversion circuit 102 and input to the gamma correction circuit 103. γ correction circuit 103
Γ-corrected digital video signal input to
/ A conversion circuit 104. D / A conversion circuit 10
The digital video signal after the γ correction input to 4 is converted into an analog video signal again and input to the dividing circuit 105.

【0046】分割回路105に入力されたアナログのビ
デオ信号は、シリアル−パラレル変換され、分割駆動の
分割数分だけ分割された分割ビデオ信号になる。m分割
の分割駆動の場合、アナログのビデオ信号はm個の分割
ビデオ信号に変換されることになる。
The analog video signal input to the division circuit 105 is subjected to serial-parallel conversion, and becomes a divided video signal divided by the number of divisions for division driving. In the case of m-divided driving, an analog video signal is converted into m divided video signals.

【0047】m個の分割ビデオ信号は、第1入れ替え回
路108に同時に入力される。図2に点線で囲った部分
107の詳しいブロック図を示す。108は第1入れ替
え回路、109はバッファ回路群、110は第2入れ替
え回路、111は入れ替えデータ処理回路である。バッ
ファ回路群109は少なくともm個のバッファ回路(1
09_1〜109_m)を有している。
The m divided video signals are simultaneously input to the first switching circuit 108. FIG. 2 is a detailed block diagram of a portion 107 surrounded by a dotted line. 108 is a first replacement circuit, 109 is a buffer circuit group, 110 is a second replacement circuit, and 111 is a replacement data processing circuit. The buffer circuit group 109 includes at least m buffer circuits (1
09_1 to 109_m).

【0048】第1入れ替え回路108は、入力された分
割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)を、入れ替えデータ処
理回路111から入力される第1入れ替え信号によっ
て、バッファ回路(109_1〜109_m)にそれぞ
れ入力する。その際、入力するm個の分割ビデオ信号
(Vs1〜Vsm)と、m個のバッファ回路(109_
1〜109_m)とは一対一で対応している。そしてm
個の分割ビデオ信号のうちのどの分割ビデオ信号が、m
個のバッファ回路のうちのどのバッファ回路に入力され
るかが、入れ替えデータ処理回路111から入力される
第1入れ替え信号によって決められる。
The first replacement circuit 108 inputs the input divided video signals (Vs1 to Vsm) to the buffer circuits (109_1 to 109_m) according to the first replacement signal input from the replacement data processing circuit 111. At this time, the input m divided video signals (Vs1 to Vsm) and the m buffer circuits (109_109) are input.
1 to 109 — m) correspond one-to-one. And m
Which of the divided video signals is m
Which of the buffer circuits is to be input is determined by the first exchange signal input from the exchange data processing circuit 111.

【0049】バッファ回路(109_1〜109_m)
に入力されたm個の分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)
は、各バッファ回路において緩衝増幅され、第2入れ替
え回路110に入力される。
Buffer circuit (109_1 to 109_m)
M divided video signals (Vs1 to Vsm) input to
Are buffer-amplified in each buffer circuit and input to the second replacement circuit 110.

【0050】第2入れ替え回路110は、入れ替えデー
タ処理回路111から入力される第2入れ替え信号によ
って、バッファ回路(109_1〜109_m)から出
力されたm個の分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)をそ
れぞれ特定の分割ビデオ信号線(Vl1〜Vlm)に入
力する。つまり第1入れ替え信号によってm個の分割ビ
デオ信号(Vs1〜Vsm)のそれぞれが、どのバッフ
ァ回路(109_1〜109_m)に入力されるかに拘
わらず、m個のバッファ回路(109_1〜109_
m)から出力されたm個の分割ビデオ信号(Vs1〜V
sm)を、予め定められている分割ビデオ信号線(Vl
1〜Vlm)にそれぞれ入力する。
The second replacement circuit 110 specifies m divided video signals (Vs1 to Vsm) output from the buffer circuits (109_1 to 109_m) by the second replacement signal input from the replacement data processing circuit 111, respectively. To the divided video signal lines (V11 to Vlm). That is, regardless of which buffer circuit (109_1 to 109_m) each of the m divided video signals (Vs1 to Vsm) is input by the first replacement signal, the m buffer circuits (109_1 to 109_m) are input.
m) output from m divided video signals (Vs1 to Vs
sm) is connected to a predetermined divided video signal line (Vl
1 to Vlm).

【0051】分割ビデオ信号線(Vl1〜Vlm)に入
力されたm個の分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)はソ
ース信号線駆動回路に入力される。そしてアナログ駆動
のアクティブマトリクス型半導体表示装置の場合、ソー
ス信号線駆動回路においてm個の分割ビデオ信号がサン
プリングされ、m個の画素にそれぞれ対応したm個の画
像情報を有する信号(画像信号)として、対応する画素
に接続されたm本のソース信号線にそれぞれ入力され
る。
The m divided video signals (Vs1 to Vsm) input to the divided video signal lines (V11 to Vlm) are input to a source signal line driving circuit. In the case of an active matrix type semiconductor display device driven by analog driving, m divided video signals are sampled in a source signal line driving circuit, and the signals (image signals) having m pieces of image information respectively corresponding to m pixels are obtained. , And m source signal lines connected to the corresponding pixel.

【0052】次に入れ替えデータ回路106について説
明する。入れ替えデータ回路106において生成される
入れ替えデータ信号が、入れ替えデータ処理回路111
に入力されることによって、第1入れ替え信号と第2入
れ替え信号とが生成される。
Next, the replacement data circuit 106 will be described. The replacement data signal generated in the replacement data circuit 106 is replaced with a replacement data processing circuit 111.
, A first replacement signal and a second replacement signal are generated.

【0053】図3に入れ替えデータ回路106のブロッ
ク図を示す。112はカウンタ回路、113はメモリ回
路である。メモリ回路113には、どの分割ビデオ信号
がどのバッファ回路に入力されるかのデータ、言い換え
ると、分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)とバッファ回
路(109_1〜109_m)との組み合わせのデータ
(入れ替えデータ)がq通り(qは2以上の自然数)記
憶されている。
FIG. 3 shows a block diagram of the replacement data circuit 106. 112 is a counter circuit, and 113 is a memory circuit. The memory circuit 113 stores data on which divided video signal is input to which buffer circuit, in other words, data (replacement data) of a combination of the divided video signals (Vs1 to Vsm) and the buffer circuits (109_1 to 109_m). (Q is a natural number of 2 or more) are stored.

【0054】この分割ビデオ信号とバッファ回路とのq
通りの組み合わせは、それぞれメモリ回路113のメモ
リアドレスの0番地から(q−1)番地に入れ替えデー
タとして記憶されている。
The q between the divided video signal and the buffer circuit
The different combinations are stored as replacement data from address 0 to address (q-1) of the memory address of the memory circuit 113, respectively.

【0055】カウンタ回路112は制御回路101から
入力された信号によって駆動し、メモリ回路113のメ
モリアドレスの番地を指定するカウンタ値を決定する。
例えばカウンタ値が0だとメモリ回路113のメモリア
ドレスは0番地が指定され、カウンタ値が1だと1番地
が、カウンタ値が2だと2番地が、カウンタ値がq−1
だと(q−1)番地がそれぞれ指定される。カウンタ値
の情報はカウンタ信号としてカウンタ回路112からメ
モリ回路113に入力される。
The counter circuit 112 is driven by a signal input from the control circuit 101 and determines a counter value for specifying a memory address of the memory circuit 113.
For example, if the counter value is 0, the memory address of the memory circuit 113 is specified as address 0, if the counter value is 1, the address is 1, if the counter value is 2, the address is 2, and the counter value is q-1.
Then, the address (q-1) is specified. Information on the counter value is input from the counter circuit 112 to the memory circuit 113 as a counter signal.

【0056】メモリ回路113に入力されたカウンタ信
号によって、メモリアドレスの番地が指定される。そし
て指定された番地に記憶されている分割ビデオ信号とバ
ッファ回路との組み合わせの情報である入れ替えデータ
が、入れ替えデータ信号として入れ替えデータ処理回路
106に入力される。
The address of the memory address is specified by the counter signal input to the memory circuit 113. Then, replacement data, which is information on the combination of the divided video signal and the buffer circuit stored at the designated address, is input to the replacement data processing circuit 106 as a replacement data signal.

【0057】なお、カウンタ値はある一定の期間ごとに
その値が変わってゆく。カウンタ値の値が変わるごと
に、カウンタ信号としてメモリ回路113にカウンタ値
の情報が伝えられる。そしてこのカウンタ値が変わるま
での期間が、分割ビデオ信号とバッファ回路の組み合わ
せが変わるまでの期間に相当する。
Note that the counter value changes every certain period. Each time the value of the counter value changes, information on the counter value is transmitted to the memory circuit 113 as a counter signal. The period until the counter value changes corresponds to the period until the combination of the divided video signal and the buffer circuit changes.

【0058】カウンタ値が0からq−1までの値を一通
りとったら、再び0からq−1までの値をとっていく。
つまりメモリ回路113のメモリアドレスの番地が0番
地から(q−1)番地まで一通り指定されたら、再び0
番地から(q−1)番地までの指定が開始される。カウ
ンタ値がとる値に特に順番はなく、0からq−1までの
値を順にとっても良いし、ランダムにとっても良い。
After the counter value takes one value from 0 to q-1, the value from 0 to q-1 is taken again.
In other words, if the address of the memory address of the memory circuit 113 is designated from address 0 to address (q-1) once, 0
The designation from the address to the address (q-1) is started. There is no particular order in the values taken by the counter values, and values from 0 to q-1 may be taken in order, or may be random.

【0059】分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)とバッ
ファ回路(109_1〜109_m)との組み合わせの
データである入れ替えデータの数qは大きいほど良い。
しかし、分割ビデオ信号とバッファ回路の組み合わせを
組み替えない図17で示した従来例に比べて、分割縞を
観察者に視認されにくくすることができるぐらいの大き
さの数であれば良い
The larger the number q of replacement data, which is data of a combination of the divided video signals (Vs1 to Vsm) and the buffer circuits (109_1 to 109_m), the better.
However, compared to the conventional example shown in FIG. 17 in which the combination of the divided video signal and the buffer circuit is not rearranged, it is sufficient that the number of the divided stripes is small enough to make it difficult for the observer to visually recognize the divided stripes.

【0060】またメモリ回路113に記憶される分割ビ
デオ信号とバッファ回路の組み合わせは、分割ビデオ信
号とバッファ回路の組み合わせを組み替えない図17で
示した従来例に比べて、分割縞を観察者に視認されにく
くすることができる組み合わせであれば何でも良い。乱
数や他の関数を利用し、分割ビデオ信号とバッファ回路
の組み合わせを設定しても良い。
In the combination of the divided video signal and the buffer circuit stored in the memory circuit 113, the divided stripes are visually recognized by the observer as compared with the conventional example shown in FIG. 17 in which the combination of the divided video signal and the buffer circuit is not rearranged. Any combination can be used as long as the combination can be made difficult. A combination of the divided video signal and the buffer circuit may be set using a random number or another function.

【0061】この分割ビデオ信号とバッファ回路の組み
合わせはランダムであっても良いが、必ずしもそうであ
る必要はなく、ある一定の規則性を有していても良い。
例えば、ある期間において分割ビデオ信号Vsp(pは
1〜mの任意の数)がバッファ回路109_pに入力さ
れていたとする。そして次の期間において分割ビデオ信
号Vspがバッファ回路109_(p+1)(p=mの場
合はバッファ回路109_1)に入力される。そしてそ
の次の期間において、分割ビデオ信号Vspがバッファ
回路109_(p+2)(p=mの場合はバッファ回路1
09_2、p=m+1の場合はバッファ回路109_
1)に入力される。この様に、ある分割ビデオ信号に対
して、対応するバッファ回路がある一定の規則性を持っ
て入れ替えられていても良い。
The combination of the divided video signal and the buffer circuit may be random, but need not be so, and may have a certain regularity.
For example, assume that a divided video signal Vsp (p is an arbitrary number from 1 to m) is input to the buffer circuit 109_p in a certain period. Then, in the next period, the divided video signal Vsp is input to the buffer circuit 109_ (p + 1) (if p = m, the buffer circuit 109_1). In the next period, the divided video signal Vsp is supplied to the buffer circuit 109_ (p + 2) (when p = m, the buffer circuit 1
09_2, p = m + 1, the buffer circuit 109_
Input to 1). As described above, a buffer circuit corresponding to a certain divided video signal may be replaced with a certain regularity.

【0062】なお本発明では分割ビデオ信号とバッファ
回路の組み合わせが変わってから、次にまたその組み合
わせが変わるまでの期間を分割縞が観察者に視認されに
くい程度の長さに設定することが重要である。バッファ
回路の組み合わせが変わってから、次にまたその組み合
わせが変わるまでの期間は、言い換えるとカウンタ値が
変化してから、次にまたカウンタ値が変わるまでの期間
である。そしてその期間は、第1入れ替え信号及び第2
切り替え信号の有する情報が変化してから、次にまた第
1入れ替え信号及び第2切り替え信号の有する情報が変
わるまでの期間にも相当する。
In the present invention, it is important to set the period from the time when the combination of the divided video signal and the buffer circuit is changed to the time when the combination is changed again to such a length that the divided stripes are hardly recognized by the observer. It is. The period from the change of the combination of the buffer circuits to the next change of the combination is, in other words, the period from the change of the counter value to the change of the counter value again. During that period, the first replacement signal and the second
This corresponds to a period from when the information of the switching signal changes to when the information of the first switching signal and the information of the second switching signal change next.

【0063】分割ビデオ信号とバッファ回路の組み合わ
せが変わるまでの期間は短い方が好ましく、短いと、よ
り分割縞が観察者に視認されにくくなる。分割ビデオ信
号とバッファ回路の組み合わせが変わるまでの期間は1
/20sec以下であることが望ましい。本実施の形態
においては、1フレーム期間ごとに、分割ビデオ信号と
バッファ回路の組み合わせが変わるように設定する。
It is preferable that the period until the combination of the divided video signal and the buffer circuit is changed is shorter. If the period is shorter, the divided stripes are more difficult to be visually recognized by an observer. The period until the combination of the divided video signal and the buffer circuit changes is 1
/ 20 sec or less is desirable. In this embodiment, the setting is made so that the combination of the divided video signal and the buffer circuit changes every frame period.

【0064】なお本実施の形態では、分割ビデオ信号を
形成するための図1で示した回路群を外付けの回路とし
てICチップ(単結晶シリコン上に形成されたMOSF
ETで構成される半導体回路)上に設けている。そして
前記回路群は、FPC(フレキシブル・プリント・サー
キット)を介してアクティブマトリクス基板上に設けら
れたソース信号線駆動回路と接続している。ただし、本
発明は上記構成に限られず、上記回路群と一緒にソース
信号線駆動回路もICチップ上に設ける構成としても良
い。または上記回路群の一部である107の一部、また
は全てをアクティブマトリクス基板上に設けても良い。
In this embodiment, a circuit group shown in FIG. 1 for forming a divided video signal is used as an external circuit as an IC chip (a MOSF formed on single crystal silicon).
(A semiconductor circuit composed of ET). The circuit group is connected to a source signal line drive circuit provided on an active matrix substrate via an FPC (Flexible Print Circuit). Note that the present invention is not limited to the above structure, and a structure in which a source signal line driver circuit is provided on an IC chip together with the circuit group may be employed. Alternatively, part or all of the circuit group 107 may be provided over an active matrix substrate.

【0065】本発明は上記構成によって、特性が異なる
バッファ回路から出力された分割ビデオ信号が、他の分
割ビデオ信号との間に電位差を有していることによって
画面中に明暗による縞(分割縞)が表示されても、ある
期間ごとにその分割縞の表示される位置が移動する。そ
のため画面中に分割縞が表示されても、観察者に視認さ
れにくい。
According to the present invention, the divided video signal output from the buffer circuit having the different characteristic has a potential difference between the divided video signal and the other divided video signals. ) Is displayed, the position at which the divisional stripe is displayed moves every certain period. Therefore, even if the divisional stripes are displayed on the screen, it is difficult for the observer to visually recognize the divisional stripes.

【0066】よって、本発明は分割駆動を行う際に、観
察者に分割縞が視認されにくい。そしてなおかつ分割駆
動することによって、アクティブマトリクス型半導体表
示装置の水平方向の画素数を増やしても、ソース信号線
駆動回路の駆動周波数を抑えつつ表示画像のチラツキや
フリッカを防ぐことができ、高精細、高解像度、多階調
の画像の表示が可能になる。
Therefore, according to the present invention, when performing the division driving, the division stripes are hardly visually recognized by an observer. Even by increasing the number of pixels in the horizontal direction of the active matrix type semiconductor display device, it is possible to suppress flickering and flickering of the displayed image while suppressing the driving frequency of the source signal line driving circuit, by performing the division driving. It is possible to display a high-resolution, multi-tone image.

【0067】なお本発明は図1に示した構成に限定され
ない。ある一定の期間ごとに、複数の分割ビデオ信号
と、該複数の分割ビデオ信号を入力する複数のバッファ
回路の組み合わせを変え、該複数のバッファ回路から出
力された複数の分割ビデオ信号がサンプリングされて、
それぞれ予め定められた特定のソース信号線に入力され
る構成を有していれば良い。
The present invention is not limited to the configuration shown in FIG. For each certain period, the combination of the plurality of divided video signals and the plurality of buffer circuits for inputting the plurality of divided video signals is changed, and the plurality of divided video signals output from the plurality of buffer circuits are sampled. ,
What is necessary is just to have a configuration in which each is input to a predetermined specific source signal line.

【0068】[0068]

【実施例】以下に、本発明の実施例を示す。Examples of the present invention will be described below.

【0069】(実施例1)本発明の分割ビデオ信号を生
成する回路群を有する、液晶を用いたアクティブマトリ
クス型半導体表示装置(アクティブマトリクス型液晶表
示装置)の構成のについて説明する。図4に、本発明の
分割ビデオ信号を生成する回路群を有するアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の一例をブロック図で示すが、
本発明はこの構成に限定されない。
(Embodiment 1) The structure of an active matrix type semiconductor display device using liquid crystal (active matrix type liquid crystal display device) having a circuit group for generating a divided video signal of the present invention will be described. FIG. 4 is a block diagram showing an example of an active matrix liquid crystal display device having a circuit group for generating a divided video signal according to the present invention.
The present invention is not limited to this configuration.

【0070】なお本実施例では、図1に示した構成を有
する分割ビデオ信号を生成する回路群を用いているが、
本実施例において用いられる、分割ビデオ信号を生成す
る回路群は、図1に示した構成に限定されない。ある一
定の期間ごとに、複数のバッファ回路と、前記複数のバ
ッファ回路にそれぞれ入力する複数の分割ビデオ信号の
組み合わせが変えられており、そして複数のバッファ回
路から出力された複数の分割ビデオ信号が、それぞれ予
め定められた特定の分割ビデオ信号線に入力される構成
を有していれば良い。
In this embodiment, a circuit group for generating a divided video signal having the configuration shown in FIG. 1 is used.
The circuit group for generating the divided video signal used in the present embodiment is not limited to the configuration shown in FIG. For each certain period, the combination of the plurality of buffer circuits and the plurality of divided video signals input to the plurality of buffer circuits is changed, and the plurality of divided video signals output from the plurality of buffer circuits are changed. , Respectively, as long as they are configured to be input to predetermined specific divided video signal lines.

【0071】115はソース信号線駆動回路、116は
ゲート信号線駆動回路、120は画素部、110は分割
ビデオ信号を生成する回路群の中の、第2入れ替え回路
を示している。本実施例ではソース信号線駆動回路とゲ
ート信号線駆動回路とを1つづつ設けたが、本発明はこ
の構成に限定されない。ソース信号線駆動回路を2つ設
けても良いし、ゲート信号線駆動回路を2つ設けても良
い。
Reference numeral 115 denotes a source signal line driving circuit, 116 denotes a gate signal line driving circuit, 120 denotes a pixel portion, and 110 denotes a second replacement circuit in a circuit group for generating a divided video signal. In this embodiment, one source signal line driving circuit and one gate signal line driving circuit are provided, but the present invention is not limited to this configuration. Two source signal line driver circuits may be provided, or two gate signal line driver circuits may be provided.

【0072】ソース信号線駆動回路115は、シフトレ
ジスタ回路115_1、レベルシフト回路115_2、
サンプリング回路115_3を有している。なおレベル
シフト回路は必要に応じて用いればよく、必ずしも用い
なくとも良い。また本実施例においてレベルシフト回路
115_2はシフトレジスタ回路115_1とサンプリ
ング回路115_3との間に設ける構成としたが、本発
明はこの構成に限定されない。シフトレジスタ回路11
5_1の中にレベルシフト回路115_2が組み込まれ
ている構成にしても良い。
The source signal line driving circuit 115 includes a shift register circuit 115_1, a level shift circuit 115_2,
It has a sampling circuit 115_3. Note that the level shift circuit may be used as needed, and may not necessarily be used. Although the level shift circuit 115_2 is provided between the shift register circuit 115_1 and the sampling circuit 115_3 in this embodiment, the present invention is not limited to this structure. Shift register circuit 11
5_1 may have a structure in which the level shift circuit 115_2 is incorporated.

【0073】クロック信号(CLK)、スタートパルス
信号(SP)は、図1で示した制御回路101からシフ
トレジスタ回路115_1に入力される。本実施例にお
いて分割ビデオ信号を生成する回路群はICチップ上に
設けられており、FPCを介してアクティブマトリクス
基板上のソース信号線駆動回路115と接続されてい
る。
The clock signal (CLK) and the start pulse signal (SP) are input from the control circuit 101 shown in FIG. 1 to the shift register circuit 115_1. In this embodiment, a circuit group for generating a divided video signal is provided on an IC chip, and is connected to a source signal line driving circuit 115 on an active matrix substrate via an FPC.

【0074】シフトレジスタ回路115_1から分割ビ
デオ信号をサンプリングするためのサンプリング信号が
出力される。出力されたサンプリング信号はレベルシフ
ト回路115_2に入力され、その電位の振幅を大きく
されて出力される。
A sampling signal for sampling the divided video signal is output from shift register circuit 115_1. The output sampling signal is input to the level shift circuit 115_2, where the amplitude of the potential is increased and output.

【0075】レベルシフト回路115_2から出力され
たサンプリング信号は、サンプリング回路115_3に
入力される。そして同時に、第2入れ替え回路110か
ら分割ビデオ信号線を介して分割ビデオ信号(Vs1〜
Vsm)が、サンプリング回路115_3に入力され
る。第2入れ替え回路110は図1に示した分割ビデオ
信号を生成する回路群に含まれている。
The sampling signal output from the level shift circuit 115_2 is input to the sampling circuit 115_3. At the same time, the divided video signals (Vs1 to Vs1) are output from the second replacement circuit 110 via the divided video signal lines.
Vsm) is input to the sampling circuit 115_3. The second replacement circuit 110 is included in the circuit group for generating the divided video signal shown in FIG.

【0076】サンプリング回路115_3において、入
力された分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)がサンプリ
ング信号によってそれぞれサンプリングされ、m個の画
像信号としてソース信号線117を介して所定の画素に
入力される。
In the sampling circuit 115_3, the input divided video signals (Vs1 to Vsm) are respectively sampled by the sampling signals, and input to predetermined pixels as m image signals via the source signal line 117.

【0077】画素部120では、ソース信号線駆動回路
115に接続されたソース信号線117と、ゲート信号
線駆動回路116に接続されたゲート信号線118とが
交差している。そのソース信号線117とゲート信号線
118とに囲まれた領域に、画素119の薄膜トランジ
スタ(画素TFT)121と、対向電極と画素電極の間
に液晶を挟んだ液晶セル122と、保持容量123とが
設けられている。
In the pixel portion 120, a source signal line 117 connected to the source signal line driving circuit 115 and a gate signal line 118 connected to the gate signal line driving circuit 116 intersect. In a region surrounded by the source signal line 117 and the gate signal line 118, a thin film transistor (pixel TFT) 121 of a pixel 119, a liquid crystal cell 122 having liquid crystal interposed between a counter electrode and a pixel electrode, a storage capacitor 123, Is provided.

【0078】画素TFT121は、ゲート信号線駆動回
路116からゲート信号線118を介して入力される選
択信号により動作する。ソース信号線117のうち対応
するm本のソース信号線にそれぞれ入力されたm個の画
像信号は、画素TFT121により選択され、同時に所
定の画素電極に書き込まれる。
The pixel TFT 121 operates according to a selection signal input from the gate signal line driving circuit 116 via the gate signal line 118. The m image signals input to the corresponding m source signal lines out of the source signal lines 117 are selected by the pixel TFT 121 and simultaneously written to a predetermined pixel electrode.

【0079】以下に図5を用いて、ソース信号線をm分
割で分割駆動したアクティブマトリクス型液晶表示装置
の動作の例について説明する。
An example of the operation of the active matrix type liquid crystal display device in which the source signal lines are divided and driven in m divisions will be described below with reference to FIG.

【0080】図5に示すように、1フレーム期間は複数
のライン期間で構成されている。なお本明細書において
1フレーム期間(F)とは、画素部にある一画面(フレ
ーム)を表示するためのデータが入力され始めてから、
次の一画面を表示するためのデータが入力され始めるま
での期間を意味する。そして1ライン期間(L)とは、
あるゲート信号線に選択信号が入力されはじめてから、
次のゲート信号線に選択信号が入力されるまでの期間を
意味する。
As shown in FIG. 5, one frame period is composed of a plurality of line periods. Note that in this specification, one frame period (F) refers to a period after data for displaying one screen (frame) in a pixel portion starts to be input.
This means a period until data for displaying the next screen starts to be input. And one line period (L) is
After the selection signal starts to be input to a certain gate signal line,
This means a period until a selection signal is input to the next gate signal line.

【0081】本実施例においてソース信号線は1番目か
らn番目まで存在しており、ゲート信号線は1番目から
r番目まで存在している。よって1フレーム期間中にL
1〜Lrのライン期間が存在することになる。なおn、
rは共に任意の正の整数である。
In this embodiment, the source signal lines exist from the first to the n-th, and the gate signal lines exist from the first to the r-th. Therefore, during one frame period, L
There will be 1 to Lr line periods. Note that n,
r is any positive integer.

【0082】ライン期間L1において、ゲート信号線駆
動回路116から1番目のゲート信号線に選択信号が入
力される。その結果1番目のゲート信号線に接続されて
いる画素の画素TFTが全てオンの状態になる。つまり
1番目のゲート信号線に接続されている全ての画素
(1,1)、(1,2)、…、(1,m)、…、(1,
n)が有する画素TFTが、オンの状態になる。
In the line period L1, a selection signal is input from the gate signal line drive circuit 116 to the first gate signal line. As a result, the pixel TFTs of the pixels connected to the first gate signal line are all turned on. That is, all the pixels (1, 1), (1, 2),..., (1, m),.
The pixel TFT included in n) is turned on.

【0083】そしてソース信号線駆動回路115から、
1番目からm番目までのm本のソース信号線のそれぞれ
に、m個の画像信号が同時に入力される。つまり、1番
目のゲート信号線に接続され、なおかつ1番目からm番
目までのm本のソース信号線のいずれかに接続されてい
る画素(1,1)、(1,2)、…、(1,m)のそれ
ぞれに、m個の画像信号が同時に入力される。その結
果、この入力されたm個の画像信号の電位により液晶が
駆動し、透過光量が制御されて、画素(1,1)、
(1,2)、…、(1,m)に画像(画面)の一部(画
素(1,1)、(1,2)、…、(1,m)に相当する
画像)が表示される。
Then, from the source signal line driving circuit 115,
M image signals are simultaneously input to each of the first to m-th source signal lines. That is, the pixels (1, 1), (1, 2),..., (1) connected to the first gate signal line and connected to any of the first to m-th m source signal lines. 1, m), m image signals are simultaneously input. As a result, the liquid crystal is driven by the potential of the inputted m image signals, the transmitted light amount is controlled, and the pixels (1, 1),
(1, m), a part of an image (screen) is displayed (image corresponding to pixels (1, 1), (1, 2), ..., (1, m)). You.

【0084】次に、画素(1,1)、(1,2)、…、
(1,m)に画像が表示された状態を保持容量等で保持
したまま、ソース信号線駆動回路115から、m+1番
目から2m番目までのm本のソース信号線のそれぞれ
に、m個の画像信号が同時に入力される。つまり、1番
目のゲート信号線に接続され、なおかつm+1番目から
2m番目までのm本のソース信号線のいずれかに接続さ
れている画素(1,m+1)、(1,m+2)、…、
(1,2m)のそれぞれに、m個の画像信号が同時に入
力される。その結果、この入力された、m個の画像信号
の電位により液晶が駆動し、透過光量が制御されて、画
素(1,m+1)、(1,m+2)、…、(1,2m)
に画像の一部(画素(1,m+1)、(1,m+2)、
…、(1,2m)に相当する画像)が表示される。
Next, the pixels (1, 1), (1, 2),.
While holding the state in which the image is displayed at (1, m) by a storage capacitor or the like, the source signal line driving circuit 115 sends m images to each of the (m + 1) th to 2mth m source signal lines. Signals are input simultaneously. That is, pixels (1, m + 1), (1, m + 2),... Connected to the first gate signal line and connected to any of the m source signal lines from the (m + 1) th to the 2mth source signal lines.
M image signals are simultaneously input to each of (1, 2m). As a result, the liquid crystal is driven by the input potentials of the m image signals, and the amount of transmitted light is controlled, and the pixels (1, m + 1), (1, m + 2),.
Part of the image (pixels (1, m + 1), (1, m + 2),
, (An image corresponding to (1, 2m)) is displayed.

【0085】このような表示動作を順次行い、1番目の
ゲート信号線に接続されている画素(1,1)、(1,
2)、…、(1,m)、…、(1,n)の全てに画像の
一部を次々と表示させる。この第1のライン期間L1中
において、1番目のゲート信号線には選択信号が入力さ
れ続けている。そして一度画像の一部が表示された画素
は、再び画像信号が該画素に入力されるまで、表示され
た状態を保持容量等で保持し続ける。
By performing such display operations sequentially, the pixels (1, 1), (1, 1) connected to the first gate signal line are displayed.
2) A part of the image is sequentially displayed on all of (1, m),..., (1, n). During the first line period L1, the selection signal is continuously input to the first gate signal line. Then, the pixel in which a part of the image has been displayed once keeps the displayed state by a storage capacitor or the like until the image signal is input to the pixel again.

【0086】1番目のゲート信号線に接続されている画
素の全てに画像情報を有する信号が入力されると、1番
目のライン期間L1が終了し、1番目のゲート信号線に
は選択信号が入力されなくなる。引き続いて2番目のラ
イン期間L2となり、2番目のゲート信号線にのみ選択
信号が入力される。そしてライン期間L1の場合と同様
に、2番目のゲート信号線に接続されている全ての画素
に画像信号が入力される。その結果、2番目のゲート信
号線に接続されている画素の全てに画像の一部が次々と
表示される。この間、2番目のゲート信号線には選択信
号が入力され続けている。
When a signal having image information is input to all the pixels connected to the first gate signal line, the first line period L1 ends, and the selection signal is applied to the first gate signal line. No more input. Subsequently, the second line period L2 starts, and the selection signal is input only to the second gate signal line. Then, as in the case of the line period L1, the image signal is input to all the pixels connected to the second gate signal line. As a result, a part of the image is successively displayed on all the pixels connected to the second gate signal line. During this time, the selection signal continues to be input to the second gate signal line.

【0087】2番目のライン期間L2が終了すると3番
目のライン期間L3になり、順にr番目のライン期間L
rまで同じ動作を繰り返す。r番目のライン期間Lrが
終了すると、画素部120に1つの画像(フレーム)が
表示される。そして図5では図示していないが、r番目
のライン期間Lrと次のフレーム期間の最初のライン期
間L1との間に帰線期間を設けても良い。帰線期間を設
ける場合、ライン期間L1〜Lrと帰線期間とを含めて
1フレーム期間とする。
When the second line period L2 is completed, a third line period L3 is formed, and the r-th line period L
The same operation is repeated until r. When the r-th line period Lr ends, one image (frame) is displayed on the pixel unit 120. Although not shown in FIG. 5, a retrace period may be provided between the r-th line period Lr and the first line period L1 of the next frame period. When the retrace period is provided, one frame period includes the line periods L1 to Lr and the retrace period.

【0088】これらの表示動作を順次繰り返すことによ
り、画素部120に画像を表示する。
An image is displayed on the pixel section 120 by sequentially repeating these display operations.

【0089】なお本実施例では、L1においては1番目
からm番目のソース信号線に、L2においてはm+1番
目から2m番目のソース信号線に、L3においては2m
+1番目から3m番目のソース信号線にと、m本のソー
ス信号線毎に、順に画像信号を入力していた。しかし本
発明はこの構成に限定されない。各ライン期間におい
て、画像信号を入力するm本のソース信号線はどのよう
な順序で選択しても良い。
In this embodiment, L1 is the first to m-th source signal line, L2 is the (m + 1) th to 2m-th source signal line, and L3 is 2m.
Image signals were sequentially input to the + 1st to 3mth source signal lines and m source signal lines. However, the present invention is not limited to this configuration. In each line period, the m source signal lines for inputting image signals may be selected in any order.

【0090】本発明は上述したように分割駆動を行う。
そして本発明は、分割ビデオ信号を形成するための図1
で示した回路群によって、特性が異なるバッファ回路か
ら出力された分割ビデオ信号が、他の分割ビデオ信号と
の間に電位差を有していることによって画面中に明暗に
よる縞(分割縞)が表示されても、ある期間ごとにその
分割縞の表示される位置が移動する。そのため画面中に
分割縞が表示されても、観察者に視認されにくい。
In the present invention, the division driving is performed as described above.
FIG. 1 is a block diagram of the present invention for forming a divided video signal.
The divided video signals output from the buffer circuits having different characteristics have potential differences between the divided video signals and the other divided video signals, so that bright and dark stripes (divided stripes) are displayed on the screen. Even so, the position where the divided stripe is displayed moves every certain period. Therefore, even if the divisional stripes are displayed on the screen, it is difficult for the observer to visually recognize the divisional stripes.

【0091】よって、本発明は上述した分割駆動を行う
際に、観察者に分割縞が視認されにくい。そしてなおか
つ、分割駆動することによって、高精細、高解像度、多
階調の画像の表示が可能になる。
Therefore, in the present invention, when performing the above-described division driving, the division stripes are not easily recognized by the observer. Further, by performing the division driving, it is possible to display a high-definition, high-resolution, multi-tone image.

【0092】(実施例2)本実施例では、実施例1で示
したソース信号線駆動回路の詳しい回路構成について説
明する。なお実施例1で示したソース信号線駆動回路
は、本実施例で示す構成に限定されない。本実施例では
4分割の場合の分割駆動について説明する。
(Embodiment 2) In this embodiment, a detailed circuit configuration of the source signal line driving circuit shown in Embodiment 1 will be described. Note that the source signal line driver circuit described in Embodiment 1 is not limited to the configuration described in Embodiment 3. In this embodiment, division driving in the case of four divisions will be described.

【0093】図6に本実施例のソース信号線駆動回路の
回路図を示す。115_1はシフトレジスタ回路、11
5_2はレベルシフト回路、115_3はサンプリング
回路を示している。
FIG. 6 is a circuit diagram of the source signal line driving circuit of this embodiment. 115_1 is a shift register circuit, 11
5_2 indicates a level shift circuit, and 115_3 indicates a sampling circuit.

【0094】クロック信号CLK、スタートパルス信号
SP、駆動方向切り替え信号SL/Rは、それぞれ図に
示した配線からシフトレジスタ回路115_1に入力さ
れる。分割ビデオ信号は分割ビデオ信号線124を介し
てサンプリング回路115_3に入力される。4分割の
分割駆動なので、分割ビデオ信号線124は4本存在す
る。
The clock signal CLK, the start pulse signal SP, and the driving direction switching signal SL / R are input to the shift register circuit 115_1 from the wirings shown in FIG. The divided video signal is input to the sampling circuit 115_3 through the divided video signal line 124. Since the driving is divided into four parts, there are four divided video signal lines 124.

【0095】各分割ビデオ信号線124に入力された分
割ビデオ信号は、サンプリング回路115_3におい
て、レベルシフト回路115_2から入力されるサンプ
リング信号によってサンプリングされる。具体的には、
分割ビデオ信号はサンプリング回路115_3が有する
アナログスイッチ125においてサンプリングされ、4
個の画像信号として、それぞれ対応するソース信号線1
17_1〜117_4に同時に入力される。
The divided video signal input to each divided video signal line 124 is sampled in the sampling circuit 115_3 by the sampling signal input from the level shift circuit 115_2. In particular,
The divided video signal is sampled by the analog switch 125 of the sampling circuit 115_3,
Source signal lines 1 corresponding to the respective image signals
17_1 to 117_4.

【0096】上記動作を繰り返すことによって、全ての
ソース信号線に画像信号が入力される。
By repeating the above operation, image signals are input to all the source signal lines.

【0097】図7(A)にアナログスイッチ125の等
価回路図を示す。アナログスイッチ125はnチャネル
型TFTとpチャネル型TFTとを有している。分割ビ
デオ信号が図に示す配線からVinとして入力される。
そしてレベルシフト回路115_2から出力されたサン
プリング信号と該サンプリング信号とは逆の極性を有す
る信号が、それぞれINまたはINbから入力される。
このサンプリング信号によって分割ビデオ信号がサンプ
リングされ、画像信号がアナログスイッチからVout
として出力される。
FIG. 7A is an equivalent circuit diagram of the analog switch 125. The analog switch 125 has an n-channel TFT and a p-channel TFT. The divided video signal is input as Vin from the wiring shown in the figure.
Then, a sampling signal output from the level shift circuit 115_2 and a signal having a polarity opposite to that of the sampling signal are input from IN or INb, respectively.
The divided video signal is sampled by the sampling signal, and the image signal is transmitted from the analog switch to Vout.
Is output as

【0098】図7(B)にレベルシフト回路115_2
の等価回路図を示す。シフトレジスタ回路115_1か
ら出力されたサンプリング信号と該サンプリング信号と
は逆の極性を有する信号が、それぞれVinまたはVi
nbから入力される。また、Vddhはプラスの電圧、
Vssはマイナスの電圧の印加を示している。レベルシ
フト回路115_2は、Vinに入力された信号を高電
圧化し反転させた信号が、Voutbから出力されるよ
うに設計されている。つまり、VinにHiが入力され
るとVoutbからVss相当の信号が、Loが入力さ
れるとVoutからVddh相当の信号が出力される。
FIG. 7B shows a level shift circuit 115_2.
The equivalent circuit diagram of FIG. The sampling signal output from the shift register circuit 115_1 and a signal having a polarity opposite to the sampling signal are Vin and Vi, respectively.
nb. Vddh is a plus voltage,
Vss indicates the application of a negative voltage. The level shift circuit 115_2 is designed such that a signal obtained by increasing the voltage of a signal input to Vin and inverting the signal is output from Voutb. That is, when Hi is input to Vin, a signal corresponding to Vss is output from Voutb, and when Lo is input, a signal corresponding to Vddh is output from Vout.

【0099】なお本実施例の構成は、実施例1と自由に
組み合わせて実施することが可能である。
The structure of the present embodiment can be implemented by freely combining with Embodiment 1.

【0100】(実施例3)本実施例では、実施の形態、
実施例1、実施例2で示したものとは別の形態を有す
る、本発明のアナログ駆動のアクティブマトリクス型半
導体表示装置について説明する。
(Embodiment 3) In this embodiment, the embodiment,
An analog-driven active matrix semiconductor display device according to the present invention, which has a different form from those shown in the first and second embodiments, will be described.

【0101】本実施例における分割ビデオ信号を生成す
る回路群について、図8を用いて説明する。なおここで
は、アナログ駆動のアクティブマトリクス型半導体表示
装置をm分割で分割駆動する場合について説明する。
A circuit group for generating a divided video signal according to the present embodiment will be described with reference to FIG. Here, a case will be described in which an active matrix type semiconductor display device driven by analog driving is divided into m units.

【0102】601は制御回路、602はA/D変換回
路、603はγ補正回路、604はD/A変換回路、6
05は分割回路、606は入れ替えデータ回路を示して
いる。
601 is a control circuit, 602 is an A / D conversion circuit, 603 is a gamma correction circuit, 604 is a D / A conversion circuit,
05 denotes a division circuit, and 606 denotes a replacement data circuit.

【0103】Hsync信号とVsync信号とが制御
回路601に入力される。そして制御回路601からソ
ース信号線駆動回路を駆動するクロック信号(CK)、
スタートパルス信号(SP)等がソース信号線駆動回路
に入力されている。またさらに制御回路601から、A
/D変換回路602、γ補正回路603、D/A変換回
路604、分割回路605、入れ替えデータ回路606
に、それぞれ各回路を駆動する信号が入力されている。
The Hsync signal and the Vsync signal are input to the control circuit 601. A clock signal (CK) for driving the source signal line driving circuit from the control circuit 601;
A start pulse signal (SP) and the like are input to the source signal line driving circuit. Further, from the control circuit 601, A
/ D conversion circuit 602, γ correction circuit 603, D / A conversion circuit 604, division circuit 605, exchange data circuit 606
, Signals for driving the respective circuits are input.

【0104】画像情報を有するアナログのビデオ信号
が、A/D変換回路602に入力される。A/D変換回
路602に入力されたアナログのビデオ信号は、デジタ
ルのビデオ信号に変換され、γ補正回路603に入力さ
れる。γ補正回路603に入力されたデジタルのビデオ
信号は、γ補正されてD/A変換回路604に入力され
る。D/A変換回路604に入力されたγ補正後のデジ
タルのビデオ信号は、再びアナログのビデオ信号に変換
され、分割回路605に入力される。
An analog video signal having image information is input to the A / D conversion circuit 602. The analog video signal input to the A / D conversion circuit 602 is converted to a digital video signal and input to the γ correction circuit 603. The digital video signal input to the γ correction circuit 603 is γ corrected and input to the D / A conversion circuit 604. The digital video signal after the γ correction input to the D / A conversion circuit 604 is converted into an analog video signal again and input to the division circuit 605.

【0105】分割回路605に入力されたアナログのビ
デオ信号は、シリアル−パラレル変換され、分割駆動の
分割数分だけ分割された分割ビデオ信号になる。m分割
の分割駆動の場合、アナログのビデオ信号はm個の分割
ビデオ信号に変換されることになる。
The analog video signal input to the division circuit 605 is subjected to serial-parallel conversion, and becomes a divided video signal divided by the number of divisions for division driving. In the case of m-divided driving, an analog video signal is converted into m divided video signals.

【0106】m個の分割ビデオ信号は、第1入れ替え回
路608に同時に入力される。図9に点線で囲った部分
607の詳しいブロック図を示す。608は第1入れ替
え回路、609はバッファ回路群、611aは第1入れ
替えデータ処理回路である。バッファ回路群609は少
なくともm個のバッファ回路(609_1〜609_
m)を有している。
The m divided video signals are simultaneously input to the first replacement circuit 608. FIG. 9 shows a detailed block diagram of a portion 607 surrounded by a dotted line. 608 is a first replacement circuit, 609 is a buffer circuit group, and 611a is a first replacement data processing circuit. The buffer circuit group 609 includes at least m buffer circuits (609_1 to 609_
m).

【0107】第1入れ替え回路608は、入力された分
割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)を、第1入れ替えデー
タ処理回路611aから入力される第1入れ替え信号に
よって、バッファ回路(609_1〜609_m)にそ
れぞれ入力する。その際、入力するm個の分割ビデオ信
号(Vs1〜Vsm)と、m個のバッファ回路(609
_1〜609_m)とは一対一で対応している。そして
m個の分割ビデオ信号のうちのどの分割ビデオ信号が、
m個のバッファ回路のうちのどのバッファ回路に入力さ
れるかが、第1入れ替えデータ処理回路611aから入
力される第1入れ替え信号によって決められる。
The first replacement circuit 608 inputs the input divided video signals (Vs1 to Vsm) to the buffer circuits (609_1 to 609_m) according to the first replacement signal input from the first replacement data processing circuit 611a. I do. At this time, the m divided video signals (Vs1 to Vsm) to be input and the m buffer circuits (609) are input.
— 1 to 609 — m) in one-to-one correspondence. And which of the m divided video signals is
Which buffer circuit of the m buffer circuits is input is determined by the first replacement signal input from the first replacement data processing circuit 611a.

【0108】バッファ回路(609_1〜609_m)
に入力されたm個の分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)
は、各バッファ回路において緩衝増幅され、第2入れ替
え回路615_3に入力される。また同時に第1入れ替
えデータ処理回路611aから第2入れ替え回路615
_3に第1入れ替え情報信号が入力される。第1入れ替
え情報信号とは、第1入れ替え回路608において分割
ビデオ信号(Vs1〜Vsm)とバッファ回路(609
_1〜609_m)の組み合わせが、第1入れ替え信号
によってどのように変えられたかという情報を含んでい
る信号である。なお本実施例において第2入れ替え回路
615_3はソース信号線駆動回路内に組み込まれてい
る。
Buffer circuits (609_1 to 609_m)
M divided video signals (Vs1 to Vsm) input to
Is buffer-amplified in each buffer circuit and input to the second replacement circuit 615_3. At the same time, the first replacement data processing circuit 611a to the second replacement circuit 615
_3 receives the first replacement information signal. The first replacement information signal is obtained by dividing the divided video signals (Vs1 to Vsm) and the buffer circuit (609) in the first replacement circuit 608.
— 1 — 609 — m) is a signal containing information on how the combination was changed by the first replacement signal. In this embodiment, the second replacement circuit 615_3 is incorporated in the source signal line driving circuit.

【0109】次に図11を用いて、第2入れ替え回路6
15_3及び第2入れ替えデータ処理回路611bの動
作について説明する。なお図11に示す構成は本発明の
分割ビデオ信号を生成する回路群を有するのアクティブ
マトリクス型液晶表示装置の一例であり、本発明はこの
構成に限定されない。
Next, referring to FIG. 11, the second replacement circuit 6 will be described.
The operation of 15_3 and the second replacement data processing circuit 611b will be described. Note that the configuration shown in FIG. 11 is an example of an active matrix liquid crystal display device having a circuit group for generating a divided video signal of the present invention, and the present invention is not limited to this configuration.

【0110】図11に示したアクティブマトリクス型液
晶表示装置は、分割ビデオ信号を生成する回路群の一部
である第2信号入れ替え回路615_3及び第2入れ替
えデータ処理回路611bがアクティブマトリクス基板
上のソース信号線駆動回路615内に設けられている。
なお第2入れ替えデータ処理回路611bはソース信号
線駆動回路615内に設けない構成にしても良い。
In the active matrix type liquid crystal display device shown in FIG. 11, the second signal exchange circuit 615_3 and the second exchange data processing circuit 611b, which are part of a circuit group for generating a divided video signal, are connected to the source on the active matrix substrate. It is provided in the signal line driver circuit 615.
Note that the second replacement data processing circuit 611b may not be provided in the source signal line driving circuit 615.

【0111】クロック信号(CLK)、スタートパルス
信号(SP)等が、制御回路601からソース信号線駆
動回路615内のシフトレジスタ回路615_1に入力
される。
[0111] A clock signal (CLK), a start pulse signal (SP), and the like are input from the control circuit 601 to the shift register circuit 615_1 in the source signal line driving circuit 615.

【0112】シフトレジスタ回路615_1から分割ビ
デオ信号をサンプリングするためのサンプリング信号が
出力される。出力されたサンプリング信号は同じくソー
ス信号線駆動回路615内のレベルシフト回路615_
2に入力され、その振幅を大きくされて出力される。
A sampling signal for sampling the divided video signal is output from the shift register circuit 615_1. The output sampling signal is also supplied to the level shift circuit 615_ in the source signal line drive circuit 615.
2 and output with its amplitude increased.

【0113】なおレベルシフト回路は必要に応じて用い
ればよく、必ずしも用いなくても良い。また本実施例に
おいてレベルシフト回路615_2はシフトレジスタ回
路615_1と第2入れ替え回路615_3との間に設
ける構成としたが、本発明はこの構成に限定されない。
シフトレジスタ回路615_1の中にレベルシフト回路
615_2が組み込まれている構成にしても良い。
Note that the level shift circuit may be used as needed, and may not necessarily be used. In this embodiment, the level shift circuit 615_2 is provided between the shift register circuit 615_1 and the second replacement circuit 615_3; however, the present invention is not limited to this structure.
A structure in which the level shift circuit 615_2 is incorporated in the shift register circuit 615_1 may be employed.

【0114】レベルシフト回路615_2から出力され
たサンプリング信号は、ソース信号線駆動回路615内
の第2入れ替え回路615_3に入力される。
The sampling signal output from the level shift circuit 615_2 is input to a second replacement circuit 615_3 in the source signal line driving circuit 615.

【0115】一方、第1入れ替えデータ処理回路611
aから出力された第1入れ替え情報信号が、第2入れ替
えデータ処理回路611bに入力される。そして第1入
れ替え情報信号によって、第2入れ替えデータ処理回路
611bから出力された第2入れ替え信号が、第2入れ
替え回路615_3に入力される。
On the other hand, the first replacement data processing circuit 611
The first exchange information signal output from a is input to the second exchange data processing circuit 611b. Then, according to the first exchange information signal, the second exchange signal output from the second exchange data processing circuit 611b is input to the second exchange circuit 615_3.

【0116】また同時に、バッファ回路群609から出
力された分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)が、分割ビ
デオ信号線を介して第2入れ替え回路615_3に入力
される。
At the same time, the divided video signals (Vs1 to Vsm) output from the buffer circuit group 609 are input to the second replacement circuit 615_3 via the divided video signal lines.

【0117】第2入れ替え信号によって、第2入れ替え
回路615_3は、m本のソース信号線のそれぞれに入
力するべき分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)が入力さ
れている分割ビデオ信号線(Vl1〜Vlm)を1つづ
つ選択する。そしてサンプリング信号によってm個の分
割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)をサンプリングし、m
個の画像信号として、予め定められたm本のソース信号
線にそれぞれ入力する。つまり第1入れ替え信号によっ
てm個の分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)のそれぞれ
が、どのバッファ回路(609_1〜609_m)に入
力されるかに拘わらず、m個のバッファ回路(609_
1〜609_m)から出力されたm個の分割ビデオ信号
(Vs1〜Vsm)をサンプリングして生成したm個の
画像信号を、予め定められているm本のソース信号線に
それぞれ入力する。
In response to the second replacement signal, the second replacement circuit 615_3 causes the divided video signal lines (V11 to Vlm) to which the divided video signals (Vs1 to Vsm) to be input to the m source signal lines are input. Select one by one. Then, m divided video signals (Vs1 to Vsm) are sampled by the sampling signal, and m
The image signals are input to predetermined m source signal lines, respectively. That is, regardless of which buffer circuit (609_1 to 609_m) each of the m divided video signals (Vs1 to Vsm) is input by the first replacement signal, the m buffer circuits (609_609_m) are input.
M-divided video signals (Vs1 to Vsm) output from m.1 to 609_m) are input to m predetermined source signal lines, respectively.

【0118】ソース信号線に入力されたm個の画像信号
は所定の画素に入力される。
The m image signals input to the source signal line are input to predetermined pixels.

【0119】画素部617では、第2入れ替え回路61
1bに接続されたソース信号線と、ゲート信号線駆動回
路616に接続されたゲート信号線とが交差している。
そのソース信号線とゲート信号線とに囲まれた領域に、
画素の薄膜トランジスタ(画素TFT)と、対向電極と
画素電極の間に液晶を挟んだ液晶セルと、保持容量とが
設けられている。
In the pixel section 617, the second replacement circuit 61
The source signal line connected to the gate signal line 1b and the gate signal line connected to the gate signal line driving circuit 616 cross each other.
In the area surrounded by the source signal line and the gate signal line,
A thin film transistor (pixel TFT) of a pixel, a liquid crystal cell in which liquid crystal is interposed between a counter electrode and a pixel electrode, and a storage capacitor are provided.

【0120】画素TFTは、ゲート信号線駆動回路から
ゲート信号線を介して入力される選択信号により動作す
る。ソース信号線のうち対応するm本のソース信号線に
それぞれ入力されたm個の画像信号は、画素TFTによ
り選択され、同時に所定の画素電極に書き込まれる。
The pixel TFT operates according to a selection signal input from a gate signal line driving circuit via a gate signal line. The m image signals respectively input to the corresponding m source signal lines among the source signal lines are selected by the pixel TFT, and are simultaneously written to a predetermined pixel electrode.

【0121】次に、入れ替えデータ回路606について
説明する。入れ替えデータ回路606において生成され
る入れ替えデータ信号が、第1入れ替えデータ処理回路
611aに入力されることによって、第1入れ替え信号
と第1入れ替え情報信号とが生成される。
Next, the replacement data circuit 606 will be described. The first exchange data signal generated by the exchange data circuit 606 is input to the first exchange data processing circuit 611a, so that the first exchange signal and the first exchange information signal are generated.

【0122】図10に入れ替えデータ回路606のブロ
ック図を示す。612はカウンタ回路、613はメモリ
回路である。メモリ回路613には、どの分割ビデオ信
号がどのバッファ回路に入力されるかのデータ、言い換
えると、分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)とバッファ
回路(609_1〜609_m)との組み合わせのデー
タ(入れ替えデータ)がq通り記憶されている。
FIG. 10 is a block diagram of the replacement data circuit 606. 612 is a counter circuit, and 613 is a memory circuit. The memory circuit 613 stores data indicating which divided video signal is input to which buffer circuit, in other words, data (replacement data) of a combination of the divided video signals (Vs1 to Vsm) and the buffer circuits (609_1 to 609_m). Are stored q times.

【0123】この分割ビデオ信号とバッファ回路とのq
通りの組み合わせは、それぞれメモリ回路のメモリアド
レスの0番地から(q−1)番地に入れ替えデータとし
て記憶されている。
The q between the divided video signal and the buffer circuit
Each combination is stored as replacement data from address 0 to address (q-1) of the memory address of the memory circuit.

【0124】カウンタ回路612は制御回路601から
入力された信号によって駆動し、メモリ回路613のメ
モリアドレスの番地を指定するカウンタ値を決定する。
例えばカウンタ値が0だとメモリ回路113のメモリア
ドレスは0番地が指定され、カウンタ値が1だと1番地
が、カウンタ値が2だと2番地が、カウンタ値が(q−
1)だと(q−1)番地がそれぞれ指定される。カウン
タ値の情報はカウンタ信号としてカウンタ回路612か
らメモリ回路613に入力される。
The counter circuit 612 is driven by a signal input from the control circuit 601 to determine a counter value for specifying a memory address of the memory circuit 613.
For example, if the counter value is 0, the memory address of the memory circuit 113 is designated as address 0, if the counter value is 1, the address is 1, if the counter value is 2, the address is 2, and the counter value is (q-
In the case of 1), the address (q-1) is specified. Information on the counter value is input from the counter circuit 612 to the memory circuit 613 as a counter signal.

【0125】メモリ回路613に入力されたカウンタ信
号によって、メモリアドレスの番地が指定される。そし
て指定された番地に記憶されている分割ビデオ信号とバ
ッファ回路との組み合わせの情報である入れ替えデータ
が、入れ替えデータ信号として第1入れ替えデータ処理
回路611aに入力される。
The address of the memory address is designated by the counter signal input to the memory circuit 613. Then, replacement data, which is information on the combination of the divided video signal and the buffer circuit stored at the designated address, is input to the first replacement data processing circuit 611a as a replacement data signal.

【0126】なお、カウンタ値はある一定の期間ごとに
その値が変わってゆく。カウンタ値の値が変わるごと
に、カウンタ信号としてメモリ回路613にカウンタ値
の情報が伝えられる。そしてこのカウンタ値が変わるま
での期間が、分割ビデオ信号とバッファ回路の組み合わ
せが変わるまでの期間に相当する。
The counter value changes every certain period. Each time the value of the counter value changes, information on the counter value is transmitted to the memory circuit 613 as a counter signal. The period until the counter value changes corresponds to the period until the combination of the divided video signal and the buffer circuit changes.

【0127】カウンタ値が0から(q−1)までの値を
一通りとったら、再び0から(q−1)までの値をとっ
ていく。つまりメモリ回路613のメモリアドレスの番
地が0番地から(q−1)番地まで一通り指定された
ら、再び0番地から(q−1)番地までの指定が開始さ
れる。カウンタ値がとる値に特に順番はなく、0から
(q−1)までの値を順にとっても良いし、ランダムに
とっても良い。
When the counter value takes one value from 0 to (q-1), the value from 0 to (q-1) is taken again. In other words, when the address of the memory address of the memory circuit 613 is completely specified from address 0 to address (q-1), the specification from address 0 to address (q-1) is started again. There is no particular order in the values taken by the counter values, and values from 0 to (q-1) may be taken in order, or may be random.

【0128】また分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)と
バッファ回路(609_1〜609_m)との組み合わ
せのデータである入れ替えデータの数qは大きいほど良
い。しかし、分割ビデオ信号とバッファ回路の組み合わ
せを組み替えない図17で示した従来例に比べて、分割
縞を観察者に視認されにくくすることができるぐらいの
大きさの数であれば良い
The larger the number q of replacement data, which is data of a combination of the divided video signals (Vs1 to Vsm) and the buffer circuits (609_1 to 609_m), the better. However, compared to the conventional example shown in FIG. 17 in which the combination of the divided video signal and the buffer circuit is not rearranged, it is sufficient that the number of the divided stripes is small enough to make it difficult for the observer to visually recognize the divided stripes.

【0129】またメモリ回路613に記憶される分割ビ
デオ信号とバッファ回路の組み合わせは、分割ビデオ信
号とバッファ回路の組み合わせを組み替えない図17で
示した従来例に比べて、分割縞を観察者に視認されにく
くすることができる組み合わせであれば何でも良い。乱
数や他の関数を利用し、分割ビデオ信号とバッファ回路
の組み合わせを設定しても良い。
In the combination of the divided video signal and the buffer circuit stored in the memory circuit 613, the divided stripes are visually recognized by the observer as compared with the conventional example shown in FIG. Any combination can be used as long as the combination can be made difficult. A combination of the divided video signal and the buffer circuit may be set using a random number or another function.

【0130】この分割ビデオ信号とバッファ回路の組み
合わせはランダムであっても良いが、必ずしもそうであ
る必要はない。分割ビデオ信号とバッファ回路の組み合
わせがある一定の規則性を有していても良いことは、実
施の形態において説明したとおりである。本発明におい
て重要なのは、分割ビデオ信号とバッファ回路の組み合
わせをある期間ごとに変えることによって、分割縞を観
察者に視認されにくくすることである。
The combination of the divided video signal and the buffer circuit may be random, but need not be so. As described in the embodiment, the combination of the divided video signal and the buffer circuit may have a certain regularity. What is important in the present invention is that the combination of the divided video signal and the buffer circuit is changed every certain period so that the divided stripes are hardly seen by an observer.

【0131】本実施例ではソース信号線駆動回路とゲー
ト信号線駆動回路とを1つづつ設けたが、本発明はこの
構成に限定されない。ソース信号線駆動回路を2つ設け
ても良いし、ゲート信号線駆動回路を2つ設けても良
い。
In this embodiment, one source signal line driving circuit and one gate signal line driving circuit are provided, but the present invention is not limited to this configuration. Two source signal line driver circuits may be provided, or two gate signal line driver circuits may be provided.

【0132】なお本発明では分割ビデオ信号とバッファ
回路の組み合わせが変わってから、次にまたその組み合
わせが変わるまでの期間を分割縞が観察者に視認されに
くい程度の長さに設定することが重要である。バッファ
回路の組み合わせが変わってから、次にまたその組み合
わせが変わるまでの期間は、言い換えるとカウンタ値が
変化してから、次にまたカウンタ値が変わるまでの期間
である。そしてその期間は、第1入れ替え信号及び第2
切り替え信号の有する情報が変化してから、次にまた第
1入れ替え信号及び第2切り替え信号の有する情報が変
わるまでの期間にも相当する。
In the present invention, it is important to set the period from the time when the combination of the divided video signal and the buffer circuit is changed to the time when the combination is changed again to such a length that the divided stripes are hardly recognized by the observer. It is. The period from the change of the combination of the buffer circuits to the next change of the combination is, in other words, the period from the change of the counter value to the change of the counter value again. During that period, the first replacement signal and the second
This corresponds to a period from when the information of the switching signal changes to when the information of the first switching signal and the information of the second switching signal change next.

【0133】分割ビデオ信号とバッファ回路の組み合わ
せが変わるまでの期間は短い方が好ましく、より分割縞
が観察者に視認されにくくなる。分割ビデオ信号とバッ
ファ回路の組み合わせが変わるまでの期間は1/20s
ec以下であることが望ましい。本実施の形態において
は、1フレーム期間ごとに、分割ビデオ信号とバッファ
回路の組み合わせが変わるように設定する。
It is preferable that the period until the combination of the divided video signal and the buffer circuit changes is shorter, and the divided stripes are more difficult to be visually recognized by the observer. The period until the combination of the divided video signal and the buffer circuit changes is 1 / 20s
ec or less. In this embodiment, the setting is made so that the combination of the divided video signal and the buffer circuit changes every frame period.

【0134】本実施例では、実施例1において分割ビデ
オ信号を形成するための回路群の一部である第2入れ替
え回路をソース信号線駆動回路内に形成し、同時にサン
プリング回路としての機能を持たせた。しかし本発明は
この構成に限定されない。第2入れ替え回路にサンプリ
ング回路としての機能を持たせず、サンプリング回路を
別途ソース信号線駆動回路内に設けても良い。またアク
ティブマトリクス基板上に第2入れ替え回路をソース信
号線駆動回路とは別に形成しても良い。この場合、第2
入れ替え回路は外付けの回路としてICチップ上に設け
られた分割ビデオ信号を形成するための回路群とアクテ
ィブマトリクス基板上に設けられたソース信号線駆動回
路との間に設け、ICチップ上に設けられた分割ビデオ
信号を形成するための回路群と第2入れ替え回路とがF
PCを介して接続されている構成を有していても良い。
In this embodiment, the second replacement circuit, which is a part of the circuit group for forming the divided video signal in the first embodiment, is formed in the source signal line driving circuit, and at the same time, has a function as a sampling circuit. I let you. However, the present invention is not limited to this configuration. The second replacement circuit may not have a function as a sampling circuit, and a sampling circuit may be separately provided in the source signal line driving circuit. Further, the second replacement circuit may be formed on the active matrix substrate separately from the source signal line driving circuit. In this case, the second
The replacement circuit is provided between the circuit group for forming a divided video signal provided on the IC chip as an external circuit and the source signal line drive circuit provided on the active matrix substrate, and is provided on the IC chip. A circuit group for forming the divided video signal thus divided and the second replacement circuit
You may have the structure connected via PC.

【0135】また本実施例において第2入れ替えデータ
処理回路をソース信号線駆動回路内に設けたが、言うま
でもなく第2入れ替えデータ処理回路をソース信号線駆
動回路とは別に、アクティブマトリクス基板上に形成し
ても良い。また第1入れ替えデータ処理回路と第2入れ
替えデータ処理回路とを一つにまとめてICチップ上に
設け、FPCを介してアクティブマトリクス基板上の第
2入れ替え回路に第2入れ替え信号を入力する構成にし
ても良い。
Although the second replacement data processing circuit is provided in the source signal line driving circuit in this embodiment, it is needless to say that the second replacement data processing circuit is formed on the active matrix substrate separately from the source signal line driving circuit. You may. In addition, the first replacement data processing circuit and the second replacement data processing circuit are integrally provided on an IC chip, and the second replacement signal is input to the second replacement circuit on the active matrix substrate via the FPC. May be.

【0136】また本実施例においては入れ替えデータ信
号を第1入れ替えデータ処理回路にのみ入力し、第1入
れ替えデータ処理回路から第2入れ替えデータ処理回路
に第1入れ替え情報信号が入力される構成になってい
る。しかし本発明はこの構成に限定されず、入れ替えデ
ータ信号を第1入れ替えデータ処理回路と第2入れ替え
データ処理回路の両方に入力し、第2入れ替えデータ処
理回路において、第1入れ替え情報信号からではなく、
入れ替えデータ信号から第2入れ替え信号を生成する構
成にしても良い。
In this embodiment, the exchange data signal is input only to the first exchange data processing circuit, and the first exchange information signal is input from the first exchange data processing circuit to the second exchange data processing circuit. ing. However, the present invention is not limited to this configuration, and inputs the replacement data signal to both the first replacement data processing circuit and the second replacement data processing circuit, and in the second replacement data processing circuit, not from the first replacement information signal. ,
The configuration may be such that the second exchange signal is generated from the exchange data signal.

【0137】本発明は上記構成によって、特性が異なる
バッファ回路から出力された分割ビデオ信号が、他の分
割ビデオ信号との間に電位差を有していることによって
画面中に明暗による縞(分割縞)が表示されても、ある
期間ごとにその分割縞の表示される位置が移動する。そ
のため画面中に分割縞が表示されても、観察者に視認さ
れにくい。
According to the present invention, the divided video signal output from the buffer circuit having different characteristics has a potential difference between the divided video signal and the other divided video signals. ) Is displayed, the position at which the divisional stripe is displayed moves every certain period. Therefore, even if the divisional stripes are displayed on the screen, it is difficult for the observer to visually recognize the divisional stripes.

【0138】よって、本発明は分割駆動を行う際に、観
察者に分割縞が視認されにくい。そしてなおかつ分割駆
動することによって、アクティブマトリクス型半導体表
示装置の水平方向の画素数を増やしても、ソース信号線
駆動回路の駆動周波数を抑えつつ表示画像のチラツキや
フリッカを防ぐことができ、高精細、高解像度、多階調
の画像の表示が可能になる。
Therefore, according to the present invention, when performing the division driving, the division stripes are hard to be visually recognized by the observer. Even by increasing the number of pixels in the horizontal direction of the active matrix type semiconductor display device, it is possible to suppress flickering and flickering of the displayed image while suppressing the driving frequency of the source signal line driving circuit, by performing the division driving. It is possible to display a high-resolution, multi-tone image.

【0139】なお本実施例は図8〜図11に示した構成
に限定されない。ある一定の期間ごとに、複数のバッフ
ァ回路と、前記複数のバッファ回路にそれぞれ入力する
複数の分割ビデオ信号の組み合わせを変え、そして複数
の分割ビデオ信号がサンプリングされて、それぞれ予め
定められた特定のソース信号線に入力される構成を有し
ていれば良い。
This embodiment is not limited to the configuration shown in FIGS. For each certain period, a plurality of buffer circuits, a combination of a plurality of divided video signals respectively input to the plurality of buffer circuits is changed, and a plurality of divided video signals are sampled, and each of the plurality of divided video signals is sampled in a predetermined specific manner. What is necessary is just to have a configuration to be input to the source signal line.

【0140】(実施例4)(Example 4)

【0141】本実施例では、実施例3で示したソース信
号線駆動回路の詳しい回路構成について説明する。なお
実施例3で示したソース信号線駆動回路は、本実施例で
示す構成に限定されない。本実施例では説明を容易にす
るために、4分割の場合の分割駆動を例にとって説明す
る。
In this embodiment, a detailed circuit configuration of the source signal line driving circuit shown in Embodiment 3 will be described. Note that the source signal line driver circuit described in Embodiment 3 is not limited to the configuration described in Embodiment 3. In this embodiment, for ease of explanation, a division drive in the case of four divisions will be described as an example.

【0142】図12に本実施例のソース信号線駆動回路
の回路図を示す。615_1はシフトレジスタ回路、6
15_2はレベルシフト回路、615_3は第2入れ替
え回路、611bは第2入れ替えデータ処理回路を示し
ている。
FIG. 12 is a circuit diagram of the source signal line driving circuit of this embodiment. 615_1 is a shift register circuit;
Reference numeral 15_2 denotes a level shift circuit, 615_3 denotes a second replacement circuit, and 611b denotes a second replacement data processing circuit.

【0143】クロック信号CLK、スタートパルス信号
SP、駆動方向切り替え信号SL/Rは、それぞれ図に
示した配線からシフトレジスタ回路615_1に入力さ
れる。
A clock signal CLK, a start pulse signal SP, and a driving direction switching signal SL / R are input to the shift register circuit 615_1 from the wirings shown in the figure.

【0144】分割ビデオ信号は分割ビデオ信号線616
を介して第2入れ替え回路615_3に入力される。4
分割の分割駆動なので、分割ビデオ信号線616は4本
存在する。
The divided video signal is supplied to the divided video signal line 616.
Is input to the second replacement circuit 615_3 via the. 4
Because of the divisional drive, there are four divided video signal lines 616.

【0145】また第1入れ替え情報信号が第2入れ替え
データ処理回路611bに入力され、第2入れ替え信号
が出力される。出力された第2入れ替え信号は、第2入
れ替え回路615_3が有するNAND回路619に入
力される。そして同時にレベルシフト回路615_2か
ら出力されたサンプリング信号がNAND回路619に
入力される。
The first exchange information signal is input to the second exchange data processing circuit 611b, and the second exchange signal is output. The output second replacement signal is input to the NAND circuit 619 included in the second replacement circuit 615_3. At the same time, the sampling signal output from the level shift circuit 615_2 is input to the NAND circuit 619.

【0146】NAND回路619に入力された第2入れ
替え信号及びサンプリング信号によって、分割ビデオ信
号線の1つが選択され、前記分割ビデオ信号線に入力さ
れている分割ビデオ信号がサンプリングされる。そして
サンプリングされた分割ビデオ信号は、画像信号として
ソース信号線に入力される。具体的には、分割ビデオ信
号は第2入れ替え回路615_3が有するアナログスイ
ッチ617によってサンプリングされ、画像信号として
対応するソース信号線618_1〜618_4に同時に
それぞれ入力される。
One of the divided video signal lines is selected by the second replacement signal and the sampling signal input to the NAND circuit 619, and the divided video signal input to the divided video signal line is sampled. Then, the sampled divided video signal is input to the source signal line as an image signal. Specifically, the divided video signal is sampled by the analog switch 617 included in the second switching circuit 615_3, and is simultaneously input as image signals to the corresponding source signal lines 618_1 to 618_4.

【0147】上記動作を繰り返すことによって、全ての
ソース信号線に画像信号が入力される。
By repeating the above operation, image signals are input to all the source signal lines.

【0148】なお、本実施例において用いられるアナロ
グスイッチ617及びレベルシフト回路615_2は、
図7に示した構成を有している。しかし本実施例はこの
構成に限定されないのは言うまでもない。
Note that the analog switch 617 and the level shift circuit 615_2 used in this embodiment are
It has the configuration shown in FIG. However, it goes without saying that the present embodiment is not limited to this configuration.

【0149】(実施例5)本実施例では本発明の構成
を、デジタル駆動のアクティブマトリクス型液晶表示装
置に用いた例について説明する。なおここでは、m分割
で分割駆動する場合について説明する。
Embodiment 5 In this embodiment, an example in which the structure of the present invention is applied to a digitally driven active matrix liquid crystal display device will be described. Note that, here, a case where division driving is performed by m divisions will be described.

【0150】図13に本実施例の分割ビデオ信号を生成
する回路群のブロック図を示す。701は制御回路、7
02はA/D変換回路、703はγ補正回路、705は
分割回路、706は入れ替えデータ回路を示している。
FIG. 13 is a block diagram of a circuit group for generating a divided video signal according to the present embodiment. 701 is a control circuit, 7
02 denotes an A / D conversion circuit, 703 denotes a gamma correction circuit, 705 denotes a division circuit, and 706 denotes a replacement data circuit.

【0151】Hsync信号とVsync信号とが制御
回路701に入力される。そして制御回路701からソ
ース信号線駆動回路を駆動するクロック信号(CK)、
スタートパルス信号(SP)等がソース信号線駆動回路
に入力される。またさらに制御回路701から、A/D
変換回路702、γ補正回路703、分割回路705、
入れ替えデータ回路706に、それぞれ各回路を駆動す
る信号が入力されている。
The Hsync signal and the Vsync signal are input to the control circuit 701. Then, a clock signal (CK) for driving the source signal line driving circuit from the control circuit 701,
A start pulse signal (SP) or the like is input to the source signal line driving circuit. Further, from the control circuit 701, the A / D
A conversion circuit 702, a gamma correction circuit 703, a division circuit 705,
A signal for driving each circuit is input to the replacement data circuit 706.

【0152】画像情報を有するアナログのビデオ信号
が、A/D変換回路702に入力される。入力されたア
ナログのビデオ信号は、デジタルのビデオ信号に変換さ
れ、γ補正回路703に入力される。γ補正回路703
に入力されたデジタルのビデオ信号は、γ補正されて分
割回路705に入力される。
An analog video signal having image information is input to the A / D conversion circuit 702. The input analog video signal is converted into a digital video signal and input to the gamma correction circuit 703. γ correction circuit 703
Are input to the division circuit 705 after γ correction.

【0153】入力されたデジタルのビデオ信号は、分割
回路705においてシリアル−パラレル変換され、分割
駆動の分割数分に分割された分割ビデオ信号に変換され
る。m分割の分割駆動の場合、デジタルのビデオ信号は
m個の分割ビデオ信号に変換されることになる。sビッ
ト(sは正の整数)のデジタル駆動の場合、このm個の
分割ビデオ信号の一つ一つは、D0からDSのs個のデジ
タル分割ビデオ信号からなっている。
The input digital video signal is subjected to serial-parallel conversion in a division circuit 705, and is converted into a divided video signal divided by the number of divisions of division driving. In the case of m-divided driving, a digital video signal is converted into m divided video signals. In the case of s-bit (s is a positive integer) digital drive, each of the m divided video signals is composed of s digital divided video signals D 0 to D S.

【0154】m個の分割ビデオ信号は、第1入れ替え回
路708に入力される。図14に点線で囲った部分70
7の詳しいブロック図を示す。708は第1入れ替え回
路、709はバッファ回路群、711は入れ替えデータ
処理回路である。バッファ回路群709は少なくともm
個のバッファ回路(709_1〜709_m)を有して
いる。
The m divided video signals are input to the first replacement circuit 708. The part 70 surrounded by the dotted line in FIG.
7 shows a detailed block diagram. 708 is a first replacement circuit, 709 is a buffer circuit group, and 711 is a replacement data processing circuit. The buffer circuit group 709 has at least m
Buffer circuits (709_1 to 709_m).

【0155】第1入れ替え回路708は、入力された分
割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)を、入れ替えデータ処
理回路711から入力される第1入れ替え信号によっ
て、バッファ回路(709_1〜709_m)にそれぞ
れ入力する。その際、入力するm個の分割ビデオ信号
(Vs1〜Vsm)と、m個のバッファ回路(709_
1〜709_m)とは一対一で対応している。そしてm
個の分割ビデオ信号のうちのどの分割ビデオ信号が、m
個のバッファ回路のうちのどのバッファ回路に入力され
るかが、入れ替えデータ処理回路711から入力される
第1入れ替え信号によって決められる。
The first replacement circuit 708 inputs the input divided video signals (Vs1 to Vsm) to the buffer circuits (709_1 to 709_m) according to the first replacement signal input from the replacement data processing circuit 711. At this time, the input m divided video signals (Vs1 to Vsm) and the m buffer circuits (709_
1 to 709 — m) in one-to-one correspondence. And m
Which of the divided video signals is m
Which of the buffer circuits is input is determined by the first exchange signal input from the exchange data processing circuit 711.

【0156】バッファ回路(709_1〜709_m)
に入力されたm個の分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)
は、各バッファ回路において緩衝増幅され、ソース信号
線駆動回路が有するラッチ回路1 801−2に入力さ
れる。
Buffer circuits (709_1 to 709_m)
M divided video signals (Vs1 to Vsm) input to
Is buffer-amplified in each buffer circuit and input to the latch circuit 1801-2 included in the source signal line driving circuit.

【0157】図15は、本実施例のアクティブマトリク
ス型液晶表示装置の概略ブロック図である。801はソ
ース信号線駆動回路であり、802はゲート信号線駆動
回路である。803は画素部である。
FIG. 15 is a schematic block diagram of the active matrix type liquid crystal display device of this embodiment. Reference numeral 801 denotes a source signal line driving circuit, and 802 denotes a gate signal line driving circuit. 803 is a pixel portion.

【0158】ソース信号線駆動回路801は、シフトレ
ジスタ回路801−1、ラッチ回路1(801−2)、
ラッチ回路2(801−3)、セレクタ回路1(801
−4)、D/A変換回路801−5、セレクタ回路2
(801−6)を有している。その他、バッファ回路や
レベルシフト回路(いずれも図示せず)を有していても
良い。また、DAC801−5にレベルシフト回路が含
まれていても良い。
The source signal line driving circuit 801 includes a shift register circuit 801-1, a latch circuit 1 (801-2),
Latch circuit 2 (801-3), selector circuit 1 (801
-4), D / A conversion circuit 801-5, selector circuit 2
(801-6). In addition, a buffer circuit and a level shift circuit (both not shown) may be provided. Further, the DAC 801-5 may include a level shift circuit.

【0159】本実施例ではソース信号線駆動回路とゲー
ト信号線駆動回路とを1つづつ設けたが、本発明はこの
構成に限定されない。ソース信号線駆動回路を2つ設け
ても良いし、ゲート信号線駆動回路を2つ設けても良
い。
In this embodiment, one source signal line driving circuit and one gate signal line driving circuit are provided, but the present invention is not limited to this configuration. Two source signal line driver circuits may be provided, or two gate signal line driver circuits may be provided.

【0160】またゲート信号線駆動回路802は、シフ
トレジスタ回路、バッファ回路(いずれも図示せず)を
有している。また、レベルシフト回路を有していても良
い。
The gate signal line driving circuit 802 has a shift register circuit and a buffer circuit (both not shown). Further, a level shift circuit may be provided.

【0161】画素部803は、複数の画素を有してい
る。各画素には画素TFTが配置されており、各画素T
FTのソース領域にはソース信号線が、ゲート電極には
ゲート信号線が電気的に接続されている。また、各画素
TFTのドレイン領域には画素電極が電気的に接続され
ている。各画素TFTは、各画素TFTに電気的に接続
された画素電極への映像信号(アナログ信号)の供給を
制御している。各画素電極に映像信号(アナログ信号)
が供給され、各画素電極と対向電極との間に挟まれた液
晶に電圧が印加され液晶が駆動される。
The pixel section 803 has a plurality of pixels. Each pixel is provided with a pixel TFT, and each pixel T
A source signal line is electrically connected to the source region of the FT, and a gate signal line is electrically connected to the gate electrode. A pixel electrode is electrically connected to a drain region of each pixel TFT. Each pixel TFT controls supply of a video signal (analog signal) to a pixel electrode electrically connected to each pixel TFT. Video signal (analog signal) for each pixel electrode
Is supplied, and a voltage is applied to the liquid crystal sandwiched between each pixel electrode and the counter electrode to drive the liquid crystal.

【0162】ソース信号線側駆動回路801の動作につ
いて説明する。シフトレジスタ回路801−1にクロッ
ク信号(CK)、スタートパルス(SP)が入力され
る。シフトレジスタ回路801−1は、これらのクロッ
ク信号(CK)およびスタートパルス(SP)に基づき
タイミング信号を順に発生させ、ラッチ回路1(801
−2)へタイミング信号を順次供給する。
The operation of the source signal line side driving circuit 801 will be described. A clock signal (CK) and a start pulse (SP) are input to the shift register circuit 801-1. The shift register circuit 801-1 sequentially generates a timing signal based on these clock signal (CK) and start pulse (SP), and latch circuit 1 (801)
-2) to sequentially supply timing signals.

【0163】ラッチ回路1(801−2)は、それぞれ
sビットのデジタル分割ビデオ信号からなるm個の分割
ビデオ信号を処理するラッチ回路を有している。ラッチ
回路1(801−2)は、前記タイミング信号が入力さ
れると、図13に示したバッファ回路709から供給さ
れる分割ビデオ信号を、m個づつ順次取り込み、保持す
る。
The latch circuit 1 (801-2) has a latch circuit for processing m divided video signals each consisting of an s-bit digital divided video signal. When the timing signal is input, the latch circuit 1 (801-2) sequentially captures and holds m divided video signals supplied from the buffer circuit 709 shown in FIG.

【0164】ラッチ回路1(801−2)の全てのステ
ージのラッチ回路に分割ビデオ信号の書き込みが一通り
終了するまでの時間は、ライン期間と呼ばれる。すなわ
ち、ラッチ回路1(801−2)の中で一番左側のステ
ージのラッチ回路に分割ビデオ信号の書き込みが開始さ
れる時点から、一番右側のステージのラッチ回路に分割
ビデオ信号の書き込みが終了する時点までの時間間隔が
ライン期間である。実際には、上記ライン期間に水平帰
線期間が加えられた期間をライン期間と呼ぶこともあ
る。
The time until the writing of the divided video signal to the latch circuits of all the stages of the latch circuit 1 (801-2) is completed is called a line period. That is, from the time when the writing of the divided video signal to the latch circuit of the leftmost stage in the latch circuit 1 (801-2) starts, the writing of the divided video signal to the latch circuit of the rightmost stage ends. The time interval up to the point in time is the line period. Actually, a period in which the horizontal retrace period is added to the line period may be referred to as a line period.

【0165】1ライン期間の終了後、ラッチ回路2(8
01−3)にラッチシグナル(Latch Signal)が供給さ
れる。この瞬間、ラッチ回路1(801−2)に書き込
まれ保持されている分割ビデオ信号は、ラッチ回路2
(801−3)に一斉に送出され、ラッチ回路2(80
1−3)の全ステージのラッチ回路に書き込まれ、保持
される。
After the end of one line period, the latch circuit 2 (8
01-3), a latch signal is supplied. At this moment, the divided video signal written and held in the latch circuit 1 (801-2) is
(801-3) and sent to the latch circuit 2 (80
The data is written and held in the latch circuits of all the stages in 1-3).

【0166】分割ビデオ信号をラッチ回路2(801−
3)に送出し終えたラッチ回路1(801−2)には、
シフトレジスタ回路801−1からのタイミング信号に
基づき、再びバッファ回路709から分割ビデオ信号線
を介して供給される分割ビデオ信号の書き込みが、m個
づつ順次行われる。
The divided video signal is supplied to the latch circuit 2 (801-
The latch circuit 1 (801-2) that has finished sending to 3) has:
Based on the timing signal from the shift register circuit 801-1, writing of divided video signals supplied again from the buffer circuit 709 via the divided video signal lines is performed sequentially m by m.

【0167】この2順目の1ライン期間中には、ラッチ
回路2(801−3)に書き込まれ、保持されている分
割ビデオ信号が、セレクタ回路1(801−4)によっ
て順次選択され、D/A変換回路(DAC)801−5
に供給される。
During the second one line period, the divided video signals written and held in the latch circuit 2 (801-3) are sequentially selected by the selector circuit 1 (801-4). / A conversion circuit (DAC) 801-5
Supplied to

【0168】セレクタ回路801−4で選択された分割
ビデオ信号がDAC801−5に供給される。
The divided video signal selected by the selector circuit 801-4 is supplied to the DAC 801-5.

【0169】DAC801−5は、デジタルの分割ビデ
オ信号をm個のアナログの分割ビデオ信号に変換し、セ
レクタ回路2(801−6)によって選択されるソース
信号線に順次供給する。
The DAC 801-5 converts the digital divided video signal into m analog divided video signals, and sequentially supplies the m divided video signals to the source signal lines selected by the selector circuit 2 (801-6).

【0170】本実施例では、セレクタ回路2(801−
6)には、入れ替えデータ処理回路711から第2入れ
替え信号が入力されている。セレクタ回路1(801−
4)は、入れ替えデータ処理回路711から入力される
第2入れ替え信号によって、DAC801−5から出力
されたm個のアナログの分割ビデオ信号をそれぞれ特定
のソース信号線に入力する。つまり第1入れ替え信号に
よってm個の分割ビデオ信号(Vs1〜Vsm)のそれ
ぞれが、どのバッファ回路(709_1〜709_m)
に入力されるかに拘わらず、DAC801−5から出力
されたm個のアナログの分割ビデオ信号(Vs1〜Vs
m)を、予め定められているm本のソース信号線にそれ
ぞれ入力する。
In this embodiment, the selector circuit 2 (801-801)
6), the second exchange signal is input from the exchange data processing circuit 711. Selector circuit 1 (801-
4), according to the second replacement signal input from the replacement data processing circuit 711, m analog divided video signals output from the DAC 801-5 are respectively input to specific source signal lines. That is, each of the m divided video signals (Vs1 to Vsm) is converted into one of the buffer circuits (709_1 to 709_m) by the first replacement signal.
, The m analog divided video signals (Vs1-Vs) output from the DAC 801-5.
m) is input to each of m predetermined source signal lines.

【0171】第1入れ替え信号と第2入れ替え信号は、
入れ替えデータ処理回路711に入れ替えデータ信号が
入力されることによって生成される。入れ替えデータ信
号は入れ替えデータ回路706において生成される。な
お本実施例における入れ替えデータ回路706の動作に
ついては、実施の形態において上述したアナログ駆動の
場合の入れ替えデータ回路の動作と同じである。
The first replacement signal and the second replacement signal are:
It is generated by inputting a replacement data signal to the replacement data processing circuit 711. The exchange data signal is generated in an exchange data circuit 706. Note that the operation of the replacement data circuit 706 in this embodiment is the same as the operation of the replacement data circuit in the case of analog driving described in the embodiment.

【0172】ソース信号線に供給されるアナログの分割
ビデオ信号は、ソース信号線に接続されている画素部の
画素TFTのソース領域に供給される。
The analog divided video signal supplied to the source signal line is supplied to the source region of the pixel TFT of the pixel connected to the source signal line.

【0173】ゲート信号線駆動回路802においては、
シフトレジスタ(図示せず)からのタイミング信号がバ
ッファ回路(図示せず)に供給され、対応するゲート信
号線(走査線)に供給される。ゲート信号線には、1ラ
イン分の画素TFTのゲート電極が接続されており、1
ライン分全ての画素TFTを同時にONにしなくてはな
らないので、バッファ回路には電流容量の大きなものが
用いられる。
In the gate signal line driving circuit 802,
A timing signal from a shift register (not shown) is supplied to a buffer circuit (not shown) and supplied to a corresponding gate signal line (scanning line). The gate signal line is connected to the gate electrode of the pixel TFT for one line.
Since all pixel TFTs for a line must be turned on at the same time, a buffer circuit having a large current capacity is used.

【0174】このように、ゲート信号線駆動回路802
からの選択信号によって対応する画素TFTのスイッチ
ングが行われ、ソース信号線駆動回路からのアナログの
分割ビデオ信号が画素TFTに供給され、液晶分子が駆
動される。
As described above, the gate signal line driving circuit 802
The switching of the corresponding pixel TFT is performed by the selection signal from, the analog divided video signal from the source signal line driving circuit is supplied to the pixel TFT, and the liquid crystal molecules are driven.

【0175】本発明は上記構成によって、特性が異なる
バッファ回路、及びソース信号線駆動回路が有するD/
A変換回路から出力された分割ビデオ信号が、他の分割
ビデオ信号との間に電位差を有していることによって画
面中に明暗による縞(分割縞)が表示されても、ある期
間ごとにその分割縞の表示される位置が移動する。その
ため画面中に分割縞が表示されても、観察者に視認され
にくい。
According to the present invention, a buffer circuit having different characteristics due to the above-described configuration and a D / D circuit included in a source signal line driving circuit are provided.
Even if a divided video signal output from the A-conversion circuit has a potential difference between the divided video signal and another divided video signal, a bright and dark fringe (divided fringe) is displayed on the screen, and the divided fringe is displayed every certain period. The position where the divisional stripe is displayed moves. Therefore, even if the divisional stripes are displayed on the screen, it is difficult for the observer to visually recognize the divisional stripes.

【0176】なお本発明では分割ビデオ信号とバッファ
回路の組み合わせが変わってから、次にまたその組み合
わせが変わるまでの期間を分割縞が観察者に視認されに
くい程度の長さに設定することが重要である。バッファ
回路の組み合わせが変わってから、次にまたその組み合
わせが変わるまでの期間は、言い換えるとカウンタ値が
変化してから、次にまたカウンタ値が変わるまでの期間
である。そしてその期間は、第1入れ替え信号及び第2
切り替え信号の有する情報が変化してから、次にまた第
1入れ替え信号及び第2切り替え信号の有する情報が変
わるまでの期間にも相当する。
In the present invention, it is important to set the period from the time when the combination of the divided video signal and the buffer circuit is changed to the time when the combination is changed again to such a length that the divided stripes are difficult to be visually recognized by an observer. It is. The period from the change of the combination of the buffer circuits to the next change of the combination is, in other words, the period from the change of the counter value to the change of the counter value again. During that period, the first replacement signal and the second
This corresponds to a period from when the information of the switching signal changes to when the information of the first switching signal and the information of the second switching signal change next.

【0177】分割ビデオ信号とバッファ回路の組み合わ
せが変わるまでの期間は短い方が好ましく、より分割縞
が観察者に視認されにくくなる。分割ビデオ信号とバッ
ファ回路の組み合わせが変わるまでの期間は1/20s
ec以下であることが望ましい。本実施の形態において
は、1フレーム期間ごとに、分割ビデオ信号とバッファ
回路の組み合わせが変わるように設定する。
[0177] It is preferable that the period until the combination of the divided video signal and the buffer circuit is changed is shorter, and the divided stripes are more difficult to be visually recognized by the observer. The period until the combination of the divided video signal and the buffer circuit changes is 1 / 20s
ec or less. In this embodiment, the setting is made so that the combination of the divided video signal and the buffer circuit changes every frame period.

【0178】よって、本発明は分割駆動を行う際に、観
察者に分割縞が視認されにくい。そしてなおかつ分割駆
動することによって、アクティブマトリクス型半導体表
示装置の水平方向の画素数を増やしても、ソース信号線
駆動回路の駆動周波数を抑えつつ表示画像のチラツキや
フリッカを防ぐことができ、高精細、高解像度、多階調
の画像の表示が可能になる。
Therefore, according to the present invention, when performing the division driving, it is difficult for the observer to visually recognize the divisional stripes. Even by increasing the number of pixels in the horizontal direction of the active matrix type semiconductor display device, it is possible to suppress flickering and flickering of the displayed image while suppressing the driving frequency of the source signal line driving circuit, by performing the division driving. It is possible to display a high-resolution, multi-tone image.

【0179】なお本発明は図13〜図15に示した構成
に限定されない。ある一定の期間ごとに、複数のバッフ
ァ回路と、前記複数のバッファ回路にそれぞれ入力する
複数の分割ビデオ信号の組み合わせを、任意に組み替
え、そして複数の分割ビデオ信号がサンプリングされて
それぞれ対応するソース信号線に入力される構成を有し
ていれば良い。
The present invention is not limited to the configurations shown in FIGS. For each predetermined period, a plurality of buffer circuits and a combination of a plurality of divided video signals input to the plurality of buffer circuits are arbitrarily rearranged, and the plurality of divided video signals are sampled and the corresponding source signals are respectively obtained. What is necessary is just to have the structure input to a line.

【0180】(実施例6)実施例1〜5に示した構造を
有するアクティブマトリクス基板を用い、アクティブマ
トリクス型液晶表示装置を形成した例を図16に示す。
図16はアクティブマトリクス型液晶表示装置のディス
プレイに相当する部位であり、液晶パネルとも呼ばれ
る。なお本実施例では液晶パネルのFPCとの貼り合わ
せの部分について説明するため、便宜上シール材やセル
構成部は図示しなかった。
Embodiment 6 FIG. 16 shows an example in which an active matrix type liquid crystal display device is formed using the active matrix substrates having the structures shown in Embodiments 1 to 5.
FIG. 16 shows a portion corresponding to a display of an active matrix liquid crystal display device, which is also called a liquid crystal panel. In this embodiment, since a portion of the liquid crystal panel to be bonded to the FPC is described, a sealing material and a cell component are not shown for convenience.

【0181】図16において、8001はアクティブマ
トリクス基板であり、アクティブマトリクス基板800
1上に複数のTFTが形成されている。これらのTFT
は基板上に画素部8002、ゲート信号線駆動回路80
03、ソース信号線駆動回路8004を構成する。その
様なアクティブマトリクス基板に対して対向基板800
6が貼り合わされる。アクティブマトリクス基板と対向
基板8006との間には液晶(図示せず)が挟持され
る。
In FIG. 16, reference numeral 8001 denotes an active matrix substrate;
A plurality of TFTs are formed on one. These TFTs
Denotes a pixel portion 8002 and a gate signal line driving circuit 80 on a substrate.
03, constituting the source signal line driving circuit 8004. A counter substrate 800 for such an active matrix substrate
6 are pasted together. Liquid crystal (not shown) is interposed between the active matrix substrate and the counter substrate 8006.

【0182】また、図16に示す構成では、アクティブ
マトリクス基板8001の側面と対向基板8006の側
面とをある1辺を除いて全てそろえることが望ましい。
こうすることで大版基板からの多面取り数を効率良く増
やすことができる。また、前述の一辺では、対向基板8
006の一部を除去してアクティブマトリクス基板80
01の一部を露出させ、そこにFPC(フレキシブル・
プリント・サーキット)8007を取り付ける。FPC
8007を介してICチップ上に設けられた本発明の分
割ビデオ信号を生成する回路群とアクティブマトリクス
基板8001のゲート信号線駆動回路8003、ソース
信号線駆動回路8004とを接続する。
In the structure shown in FIG. 16, it is desirable that the side surface of active matrix substrate 8001 and the side surface of counter substrate 8006 are all aligned except for one side.
This makes it possible to efficiently increase the number of multi-face removal from the large-size substrate. Further, in the above-mentioned one side, the opposite substrate 8
006 to remove the active matrix substrate 80
01 and expose FPC (flexible
(Print Circuit) 8007 is attached. FPC
A circuit group for generating a divided video signal of the present invention, which is provided on an IC chip, is connected to a gate signal line driving circuit 8003 and a source signal line driving circuit 8004 of the active matrix substrate 8001 provided on an IC chip via 8007.

【0183】(実施例7)本実施例においては、本発明
の半導体表示装置の1つであるアクティブマトリクス型
液晶表示装置の作製方法例を図18〜図22を用いて説
明する。ここでは画素部の画素TFTと、画素部の周辺
に設けられる駆動回路(ソース信号線駆動回路、ゲート
信号線駆動回路、D/A変換回路等)のTFTを同一基
板上に作製する方法について工程に従って詳細に説明す
る。但し、説明を簡単にするために、駆動回路ではシフ
トレジスタ回路、バッファ回路、D/A変換回路などの
基本回路であるCMOS回路と、nチャネル型TFTと
を図示することにする。
(Embodiment 7) In this embodiment, an example of a method for manufacturing an active matrix liquid crystal display device which is one of the semiconductor display devices of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, a method is described in which a pixel TFT in a pixel portion and a TFT of a driver circuit (a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, a D / A conversion circuit, and the like) provided around the pixel portion are formed over the same substrate. Will be described in detail. However, for the sake of simplicity, a CMOS circuit, which is a basic circuit such as a shift register circuit, a buffer circuit, and a D / A conversion circuit, and an n-channel TFT are illustrated in the driving circuit.

【0184】図18(A)において、基板(アクティブ
マトリクス基板)6001には低アルカリガラス基板や
石英基板を用いることができる。本実施例では低アルカ
リガラス基板を用いた。この場合、ガラス歪み点よりも
10〜20℃程度低い温度であらかじめ熱処理しておい
ても良い。この基板6001のTFTを形成する表面に
は、基板6001からの不純物拡散を防ぐために、酸化
シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜
などの下地膜6002を形成する。例えば、プラズマC
VD法でSiH4、NH3、N2Oから作製される酸化窒
化シリコン膜を100nm、同様にSiH4、N2Oから
作製される酸化窒化シリコン膜を200nmの厚さに積
層形成する。
In FIG. 18A, a low alkali glass substrate or a quartz substrate can be used as a substrate (active matrix substrate) 6001. In this embodiment, a low alkali glass substrate was used. In this case, heat treatment may be performed in advance at a temperature lower by about 10 to 20 ° C. than the glass strain point. A base film 6002 such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film is formed on a surface of the substrate 6001 where a TFT is to be formed, in order to prevent impurity diffusion from the substrate 6001. For example, plasma C
A silicon oxynitride film formed from SiH 4 , NH 3 , and N 2 O is formed to a thickness of 100 nm by the VD method, and a silicon oxynitride film formed from SiH 4 and N 2 O is similarly formed to a thickness of 200 nm.

【0185】次に、20〜150nm(好ましくは30
〜80nm)の厚さで非晶質構造を有する半導体膜60
03aを、プラズマCVD法やスパッタ法などの公知の
方法で形成する。本実施例では、プラズマCVD法で非
晶質シリコン膜を55nmの厚さに形成した。非晶質構
造を有する半導体膜としては、非晶質半導体膜や微結晶
半導体膜があり、非晶質シリコンゲルマニウム膜などの
非晶質構造を有する化合物半導体膜を適用しても良い。
また、下地膜6002と非晶質シリコン膜6003aと
は同じ成膜法で形成することが可能であるので、両者を
連続形成しても良い。下地膜を形成した後、一旦大気雰
囲気に晒さないことでその表面の汚染を防ぐことが可能
となり、作製するTFTの特性バラツキやしきい値電圧
の変動を低減させることができる。(図18(A))
Next, 20 to 150 nm (preferably 30 to 150 nm)
Semiconductor film 60 having an amorphous structure with a thickness of
03a is formed by a known method such as a plasma CVD method or a sputtering method. In this embodiment, an amorphous silicon film is formed to a thickness of 55 nm by a plasma CVD method. As the semiconductor film having an amorphous structure, there are an amorphous semiconductor film and a microcrystalline semiconductor film, and a compound semiconductor film having an amorphous structure such as an amorphous silicon germanium film may be used.
In addition, since the base film 6002 and the amorphous silicon film 6003a can be formed by the same film formation method, both may be formed continuously. After the formation of the base film, it is possible to prevent the surface from being contaminated by not once exposing it to the atmosphere, thereby reducing the variation in the characteristics of the TFT to be manufactured and the fluctuation of the threshold voltage. (FIG. 18A)

【0186】そして、公知の結晶化技術を使用して非晶
質シリコン膜6003aから結晶質シリコン膜6003
bを形成する。例えば、レーザー結晶化法や熱結晶化法
(固相成長法)を適用すれば良い。レーザー結晶化の際
に、連続発光エキシマレーザーを用いても良い。ここで
は、特開平7−130652号公報で開示された技術に
従って、触媒元素を用いる結晶化法で結晶質シリコン膜
6003bを形成した。結晶化の工程に先立って、非晶
質シリコン膜の含有水素量にもよるが、400〜500
℃で1時間程度の熱処理を行い、含有水素量を5atomic
%以下にしてから結晶化させることが望ましい。非晶質
シリコン膜を結晶化させると原子の再配列が起こり緻密
化するので、作製される結晶質シリコン膜の厚さは当初
の非晶質シリコン膜の厚さ(本実施例では55nm)よ
りも1〜15%程度減少した。(図18(B))
Then, the amorphous silicon film 6003a is removed from the crystalline silicon film 6003a using a known crystallization technique.
b is formed. For example, a laser crystallization method or a thermal crystallization method (solid phase growth method) may be applied. At the time of laser crystallization, a continuous emission excimer laser may be used. Here, a crystalline silicon film 6003b was formed by a crystallization method using a catalytic element according to the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-130652. Prior to the crystallization step, depending on the hydrogen content of the amorphous silicon film, 400 to 500
Heat treatment at ℃ for about 1 hour, hydrogen content is 5 atomic
% Or less. When the amorphous silicon film is crystallized, the rearrangement of atoms occurs and the density of the amorphous silicon film is increased. Also decreased by about 1 to 15%. (FIG. 18 (B))

【0187】そして、結晶質シリコン膜6003bを島
状に分割して、島状半導体層6004〜6007を形成
する。その後、プラズマCVD法またはスパッタ法によ
り50〜100nmの厚さの酸化シリコン膜によるマス
ク層6008を形成する。(図18(C))
Then, the crystalline silicon film 6003b is divided into islands to form island-like semiconductor layers 6004 to 6007. After that, a mask layer 6008 made of a silicon oxide film having a thickness of 50 to 100 nm is formed by a plasma CVD method or a sputtering method. (FIG. 18 (C))

【0188】そしてレジストマスク6009を設け、n
チャネル型TFTを形成する島状半導体層6005〜6
007の全面にしきい値電圧を制御する目的で1×10
16〜5×1017atoms/cm3程度の濃度でp型を付与する
不純物元素としてボロン(B)を添加した。ボロン
(B)の添加はイオンドープ法で実施しても良いし、非
晶質シリコン膜を成膜するときに同時に添加しておくこ
ともできる。ここでのボロン(B)添加は必ずしも必要
でないが、ボロン(B)を添加した半導体層6010〜
6012はnチャネル型TFTのしきい値電圧を所定の
範囲内に収めるために形成することが好ましかった。
(図18(D))
Then, a resist mask 6009 is provided, and n
Island-shaped semiconductor layers 6005 to 6 forming a channel type TFT
1 × 10 for the purpose of controlling the threshold voltage over the entire surface of 007
Boron (B) was added as an impurity element imparting p-type at a concentration of about 16 to 5 × 10 17 atoms / cm 3 . Boron (B) may be added by an ion doping method, or may be added simultaneously with the formation of the amorphous silicon film. Although addition of boron (B) is not always necessary here, the semiconductor layer 6010 to which boron (B) is added is added.
6012 was preferably formed to keep the threshold voltage of the n-channel TFT within a predetermined range.
(FIG. 18D)

【0189】駆動回路のnチャネル型TFTのLDD領
域を形成するために、n型を付与する不純物元素を島状
半導体層6010、6011に選択的に添加する。その
ため、あらかじめレジストマスク6013〜6016を
形成した。n型を付与する不純物元素としては、リン
(P)や砒素(As)を用いれば良く、ここではリン
(P)を添加すべく、フォスフィン(PH3)を用いた
イオンドープ法を適用した。形成された不純物領域60
17、6018のリン(P)濃度は2×1016〜5×1
19atoms/cm3の範囲とすれば良い。本明細書中では、
ここで形成された不純物領域6017〜6019に含ま
れるn型を付与する不純物元素の濃度を(n -)と表
す。また、不純物領域6019は、画素部の保持容量を
形成するための半導体層であり、この領域にも同じ濃度
でリン(P)を添加した。(図19(A))
LDD region of n-channel type TFT of drive circuit
In order to form the region, the impurity element imparting n-type
It is selectively added to the semiconductor layers 6010 and 6011. That
Therefore, the resist masks 6013 to 6016 are
Formed. As an impurity element imparting n-type, phosphorus
(P) or arsenic (As) may be used.
Phosphine (PH) to add (P)Three)
An ion doping method was applied. Impurity region 60 formed
The phosphorus (P) concentration of 17, 6018 is 2 × 1016~ 5 × 1
019atoms / cmThreeShould be within the range. In this specification,
Included in impurity regions 6017 to 6019 formed here
(N) -) And table
You. Further, the impurity region 6019 serves as a storage capacitor of the pixel portion.
This is the semiconductor layer to be formed.
Added phosphorus (P). (FIG. 19A)

【0190】次に、マスク層6008をフッ酸などによ
り除去して、図18(D)と図19(A)で添加した不
純物元素を活性化させる工程を行う。活性化は、窒素雰
囲気中で500〜600℃で1〜4時間の熱処理や、レ
ーザー活性化の方法により行うことができる。また、両
者を併用して行っても良い。本実施例では、レーザー活
性化の方法を用い、KrFエキシマレーザー光(波長2
48nm)を用い、線状ビームを形成して、発振周波数
5〜300Hz、エネルギー密度100〜500mJ/
cm2として線状ビームのオーバーラップ割合を50〜
90%として走査して、島状半導体層が形成された基板
全面を処理した。尚、レーザー光の照射条件には何ら限
定される事項はなく、実施者が適宣決定すれば良い。ま
た連続発光エキシマレーザーを用いて活性化を行っても
良い。
Next, a step of removing the mask layer 6008 with hydrofluoric acid or the like to activate the impurity element added in FIGS. 18D and 19A is performed. The activation can be performed by a heat treatment at 500 to 600 ° C. for 1 to 4 hours in a nitrogen atmosphere or a laser activation method. Further, both may be performed in combination. In the present embodiment, a KrF excimer laser beam (wavelength 2
48 nm) to form a linear beam, an oscillation frequency of 5 to 300 Hz, and an energy density of 100 to 500 mJ /
cm 2 and the overlap ratio of the linear beam is 50 to
By scanning at 90%, the entire surface of the substrate on which the island-shaped semiconductor layer was formed was processed. There are no particular restrictions on the laser light irradiation conditions, and the conditions may be determined appropriately by the practitioner. Activation may be performed using a continuous light excimer laser.

【0191】そして、ゲート絶縁膜6020をプラズマ
CVD法またはスパッタ法を用いて10〜150nmの
厚さでシリコンを含む絶縁膜で形成する。例えば、12
0nmの厚さで酸化窒化シリコン膜を形成する。ゲート
絶縁膜には、他のシリコンを含む絶縁膜を単層または積
層構造として用いても良い。(図19(B))
Then, the gate insulating film 6020 is formed of an insulating film containing silicon with a thickness of 10 to 150 nm by a plasma CVD method or a sputtering method. For example, 12
A silicon oxynitride film is formed with a thickness of 0 nm. As the gate insulating film, another insulating film containing silicon may be used as a single layer or a stacked structure. (FIG. 19B)

【0192】次に、ゲート電極を形成するために第1の
導電層を成膜する。この第1の導電層は単層で形成して
も良いが、必要に応じて二層あるいは三層といった積層
構造としても良い。本実施例では、導電性の窒化物金属
膜から成る導電層(A)6021と金属膜から成る導電
層(B)6022とを積層させた。導電層(B)602
2はタンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン
(Mo)、タングステン(W)から選ばれた元素、また
は前記元素を主成分とする合金か、前記元素を組み合わ
せた合金膜(代表的にはMo−W合金膜、Mo−Ta合
金膜)で形成すれば良く、導電層(A)6021は窒化
タンタル(TaN)、窒化タングステン(WN)、窒化
チタン(TiN)膜、窒化モリブデン(MoN)で形成
する。また、導電層(A)6021は代替材料として、
タングステンシリサイド、チタンシリサイド、モリブデ
ンシリサイドを適用しても良い。導電層(B)は低抵抗
化を図るために含有する不純物濃度を低減させると良
く、特に酸素濃度に関しては30ppm以下とすると良
かった。例えば、タングステン(W)は酸素濃度を30
ppm以下とすることで20μΩcm以下の比抵抗値を
実現することができた。
Next, a first conductive layer is formed to form a gate electrode. The first conductive layer may be formed as a single layer, or may be formed as a two-layer or three-layer structure as necessary. In this embodiment, a conductive layer (A) 6021 made of a conductive nitride metal film and a conductive layer (B) 6022 made of a metal film are stacked. Conductive layer (B) 602
2 is an element selected from tantalum (Ta), titanium (Ti), molybdenum (Mo), and tungsten (W), an alloy containing the above elements as a main component, or an alloy film combining the above elements (typically, The conductive layer (A) 6021 may be formed of tantalum nitride (TaN), tungsten nitride (WN), titanium nitride (TiN), or molybdenum nitride (MoN). Form. The conductive layer (A) 6021 is used as an alternative material.
Tungsten silicide, titanium silicide, or molybdenum silicide may be used. The conductive layer (B) may have a low impurity concentration in order to reduce the resistance, and it is particularly preferable that the oxygen concentration be 30 ppm or less. For example, tungsten (W) has an oxygen concentration of 30.
A specific resistance of 20 μΩcm or less could be realized by setting the content to ppm or less.

【0193】導電層(A)6021は10〜50nm
(好ましくは20〜30nm)とし、導電層(B)60
22は200〜400nm(好ましくは250〜350
nm)とすれば良い。本実施例では、導電層(A)60
21に30nmの厚さの窒化タンタル膜を、導電層
(B)6022には350nmのTa膜を用い、いずれ
もスパッタ法で形成した。このスパッタ法による成膜で
は、スパッタ用のガスのArに適量のXeやKrを加え
ておくと、形成する膜の内部応力を緩和して膜の剥離を
防止することができる。尚、図示しないが、導電層
(A)6021の下に2〜20nm程度の厚さでリン
(P)をドープしたシリコン膜を形成しておくことは有
効である。これにより、その上に形成される導電膜の密
着性向上と酸化防止を図ると同時に、導電層(A)また
は導電層(B)が微量に含有するアルカリ金属元素がゲ
ート絶縁膜6020に拡散するのを防ぐことができる。
(図19(C))
The conductive layer (A) 6021 has a thickness of 10 to 50 nm.
(Preferably 20 to 30 nm), and the conductive layer (B) 60
22 is 200 to 400 nm (preferably 250 to 350 nm)
nm). In this embodiment, the conductive layer (A) 60
A 21 nm-thick tantalum nitride film was used for 21, and a 350 nm-thick Ta film was used for the conductive layer (B) 6022, both of which were formed by sputtering. In the film formation by the sputtering method, if an appropriate amount of Xe or Kr is added to Ar of the gas for sputtering, the internal stress of the film to be formed can be relaxed and the film can be prevented from peeling. Although not shown, it is effective to form a silicon film doped with phosphorus (P) with a thickness of about 2 to 20 nm under the conductive layer (A) 6021. Thereby, the adhesion of the conductive film formed thereon is improved and oxidation is prevented, and at the same time, a small amount of the alkali metal element contained in the conductive layer (A) or the conductive layer (B) diffuses into the gate insulating film 6020. Can be prevented.
(FIG. 19C)

【0194】次に、レジストマスク6023〜6027
を形成し、導電層(A)6021と導電層(B)602
2とを一括でエッチングしてゲート電極6028〜60
31と容量配線6032を形成する。ゲート電極602
8〜6031と容量配線6032は、導電層(A)から
成る6028a〜6032aと、導電層(B)から成る
6028b〜6032bとが一体として形成されてい
る。この時、駆動回路に形成するゲート電極6029、
6030は不純物領域6017、6018の一部と、ゲ
ート絶縁膜6020を介して重なるように形成する。
(図19(D))
Next, resist masks 6023 to 6027
Are formed, and a conductive layer (A) 6021 and a conductive layer (B) 602 are formed.
2 and the gate electrodes 6028-60
31 and a capacitor wiring 6032 are formed. Gate electrode 602
8 to 6031 and the capacitor wiring 6032 are formed integrally with 6028a to 6032a made of a conductive layer (A) and 6028b to 6032b made of a conductive layer (B). At this time, a gate electrode 6029 formed in the driver circuit,
6030 is formed so as to overlap with part of the impurity regions 6017 and 6018 with the gate insulating film 6020 interposed therebetween.
(FIG. 19D)

【0195】次いで、駆動回路のpチャネル型TFTの
ソース領域およびドレイン領域を形成するために、p型
を付与する不純物元素を添加する工程を行う。ここで
は、ゲート電極6028をマスクとして、自己整合的に
不純物領域を形成する。このとき、nチャネル型TFT
が形成される領域はレジストマスク6033で被覆して
おく。そして、ジボラン(B26)を用いたイオンドー
プ法で不純物領域6034を形成した。この領域のボロ
ン(B)濃度は3×1020〜3×1021atoms/cm3とな
るようにする。本明細書中では、ここで形成された不純
物領域6034に含まれるp型を付与する不純物元素の
濃度を(p+)と表す。(図20(A))
Next, in order to form a source region and a drain region of the p-channel TFT of the driver circuit, a step of adding an impurity element imparting p-type is performed. Here, the impurity region is formed in a self-aligned manner using the gate electrode 6028 as a mask. At this time, the n-channel TFT
Are formed with a resist mask 6033. Then, an impurity region 6034 was formed by an ion doping method using diborane (B 2 H 6 ). The boron (B) concentration in this region is set to 3 × 10 20 to 3 × 10 21 atoms / cm 3 . In this specification, the concentration of the impurity element imparting p-type contained in the impurity region 6034 formed here is expressed as (p + ). (FIG. 20A)

【0196】次に、nチャネル型TFTにおいて、ソー
ス領域またはドレイン領域として機能する不純物領域の
形成を行った。レジストのマスク6035〜6037を
形成し、n型を付与する不純物元素が添加して不純物領
域6038〜6042を形成した。これは、フォスフィ
ン(PH3)を用いたイオンドープ法で行い、この領域
のリン(P)濃度を1×1020〜1×1021atoms/cm3
とした。本明細書中では、ここで形成された不純物領域
6038〜6042に含まれるn型を付与する不純物元
素の濃度を(n+)と表す。(図20(B))
Next, in the n-channel TFT, an impurity region functioning as a source region or a drain region was formed. Resist masks 6035 to 6037 were formed, and an impurity element imparting n-type was added to form impurity regions 6038 to 6042. This is performed by an ion doping method using phosphine (PH 3 ), and the concentration of phosphorus (P) in this region is set to 1 × 10 20 to 1 × 10 21 atoms / cm 3.
And In this specification, the concentration of the impurity element imparting n-type contained in the impurity regions 6038 to 6042 formed here is expressed as (n + ). (FIG. 20 (B))

【0197】不純物領域6038〜6042には、既に
前工程で添加されたリン(P)またはボロン(B)が含
まれているが、それに比して十分に高い濃度でリン
(P)が添加されるので、前工程で添加されたリン
(P)またはボロン(B)の影響は考えなくても良い。
また、不純物領域6038に添加されたリン(P)濃度
は図20(A)で添加されたボロン(B)濃度の1/2
〜1/3なのでp型の導電性が確保され、TFTの特性
に何ら影響を与えることはなかった。
The impurity regions 6038 to 6042 contain phosphorus (P) or boron (B) already added in the previous step, but phosphorus (P) is added at a sufficiently high concentration. Therefore, it is not necessary to consider the influence of phosphorus (P) or boron (B) added in the previous step.
The concentration of phosphorus (P) added to impurity region 6038 is 1 / of the concentration of boron (B) added in FIG.
Since it was 1 /, p-type conductivity was ensured, and there was no effect on the characteristics of the TFT.

【0198】そして、画素部のnチャネル型TFTのL
DD領域を形成するためのn型を付与する不純物添加の
工程を行った。ここではゲート電極6031をマスクと
して自己整合的にn型を付与する不純物元素をイオンド
ープ法で添加した。添加するリン(P)の濃度は1×1
16〜5×1018atoms/cm3であり、図19(A)およ
び図20(A)と図20(B)で添加する不純物元素の
濃度よりも低濃度で添加することで、実質的には不純物
領域6043、6044のみが形成される。本明細書中
では、この不純物領域6043、6044に含まれるn
型を付与する不純物元素の濃度を(n--)と表す。(図
20(C))
The L of the n-channel TFT in the pixel portion is
An n-type impurity-imparting process for forming a DD region was performed. Here, an impurity element imparting n-type in a self-aligned manner is added by an ion doping method using the gate electrode 6031 as a mask. The concentration of phosphorus (P) to be added is 1 × 1
0 16 to 5 × 10 18 atoms / cm 3, which is substantially lower than that of the impurity element added in FIGS. 19A, 20A, and 20B. Only impurity regions 6043 and 6044 are formed. In this specification, n included in impurity regions 6043 and 6044
The concentration of the impurity element imparting the mold is represented by (n ). (FIG. 20 (C))

【0199】その後、それぞれの濃度で添加されたn型
またはp型を付与する不純物元素を活性化するために熱
処理工程を行う。この工程はファーネスアニール法、レ
ーザーアニール法、またはラピッドサーマルアニール法
(RTA法)で行うことができる。ここではファーネス
アニール法で活性化工程を行った。熱処理は酸素濃度が
1ppm以下、好ましくは0.1ppm以下の窒素雰囲
気中で400〜800℃、代表的には500〜600℃
で行うものであり、本実施例では550℃で4時間の熱
処理を行った。また、基板6001に石英基板のような
耐熱性を有するものを使用した場合には、800℃で1
時間の熱処理としても良く、不純物元素の活性化と、該
不純物元素が添加された不純物領域とチャネル形成領域
との接合を良好に形成することができた。
Thereafter, a heat treatment step is performed to activate the impurity elements imparting n-type or p-type added at the respective concentrations. This step can be performed by a furnace annealing method, a laser annealing method, or a rapid thermal annealing method (RTA method). Here, the activation step was performed by the furnace annealing method. The heat treatment is performed in a nitrogen atmosphere having an oxygen concentration of 1 ppm or less, preferably 0.1 ppm or less, at 400 to 800 ° C, typically 500 to 600 ° C.
In this embodiment, the heat treatment was performed at 550 ° C. for 4 hours. When a substrate having heat resistance such as a quartz substrate is used as the substrate 6001,
The heat treatment may be performed for a long time, and the activation of the impurity element and the junction between the impurity region to which the impurity element is added and the channel formation region can be favorably formed.

【0200】この熱処理において、ゲート電極6028
〜6031と容量配線6032形成する金属膜6028
b〜6032bにおいて、表面から5〜80nmの厚さ
で導電層(C)6028c〜6032cが形成される。
例えば、導電層(B)6028b〜6032bがタング
ステン(W)の場合には窒化タングステン(WN)が形
成され、タンタル(Ta)の場合には窒化タンタル(T
aN)を形成することができる。本発明では、シリコン
(Si)膜とWN膜とW膜とを積層したもの、W膜とS
iを有するW膜とを積層したもの、W膜とSiを有する
W膜とSiとを積層したもの、Moを有するWの膜、ま
たはMoを有するTaの膜を用いてゲート電極としても
良い。また、導電層(C)6028c〜6032cは、
窒素またはアンモニアなどを用いた窒素を含むプラズマ
雰囲気にゲート電極6028〜6031を晒しても同様
に形成することができる。さらに、3〜100%の水素
を含む雰囲気中で、300〜450℃で1〜12時間の
熱処理を行い、島状半導体層を水素化する工程を行っ
た。この工程は熱的に励起された水素により半導体層の
ダングリングボンドを終端する工程である。水素化の他
の手段として、プラズマ水素化(プラズマにより励起さ
れた水素、プラズマ化した水素を用いる)を行っても良
い。
In this heat treatment, the gate electrode 6028
Film 6028 for forming the capacitor wiring 6032 with the capacitor wiring 6032
In b to 6032b, conductive layers (C) 6028c to 6032c are formed with a thickness of 5 to 80 nm from the surface.
For example, when the conductive layers (B) 6028b to 6032b are tungsten (W), tungsten nitride (WN) is formed, and when tantalum (Ta) is used, tantalum nitride (TN) is formed.
aN). In the present invention, a laminate of a silicon (Si) film, a WN film and a W film,
The gate electrode may be formed using a stacked film of a W film having i, a stacked film of a W film and a W film having Si, and Si, a W film having Mo, or a Ta film having Mo. The conductive layers (C) 6028c to 6032c are
The gate electrodes 6028 to 6031 can be similarly formed by exposing the gate electrodes 6028 to 6031 to a plasma atmosphere containing nitrogen using nitrogen or ammonia. Further, heat treatment was performed at 300 to 450 ° C. for 1 to 12 hours in an atmosphere containing 3 to 100% of hydrogen to hydrogenate the island-shaped semiconductor layer. In this step, dangling bonds in the semiconductor layer are terminated by thermally excited hydrogen. As another means of hydrogenation, plasma hydrogenation (using hydrogen excited by plasma or hydrogen converted into plasma) may be performed.

【0201】島状半導体層が、非晶質シリコン膜から触
媒元素を用いる結晶化の方法で作製された場合、島状半
導体層中には微量の触媒元素が残留した。勿論、そのよ
うな状態でもTFTを完成させることが可能であるが、
残留する触媒元素を少なくともチャネル形成領域から除
去する方がより好ましかった。この触媒元素を除去する
手段の一つにリン(P)によるゲッタリング作用を利用
する手段があった。ゲッタリングに必要なリン(P)の
濃度は図20(B)で形成した不純物領域(n +)と同
程度であり、ここで実施される活性化工程の熱処理によ
り、nチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTのチ
ャネル形成領域から触媒元素をゲッタリングをすること
ができた。(図20(D))
The island-like semiconductor layer is formed from an amorphous silicon film.
When produced by the crystallization method using a medium element,
A trace amount of catalytic element remained in the conductor layer. Of course
It is possible to complete the TFT in such a state,
Remove the remaining catalyst element from at least the channel formation region.
I preferred to leave. Remove this catalytic element
Utilizing the gettering action of phosphorus (P) as one of the means
There was a way to do that. Phosphorus (P) required for gettering
The concentration is the impurity region (n +Same as)
Of the activation process performed here.
And n-channel TFT and p-channel TFT.
Gettering the catalytic element from the channel formation region
Was completed. (FIG. 20 (D))

【0202】活性化および水素化の工程が終了したら、
ゲート配線とする第2の導電膜を形成する。この第2の
導電膜は低抵抗材料であるアルミニウム(Al)や銅
(Cu)を主成分とする導電層(D)と、にチタン(T
i)やタンタル(Ta)、タングステン(W)、モリブ
デン(Mo)から成る導電層(E)とで形成すると良
い。本実施例では、チタン(Ti)を0.1〜2重量%
含むアルミニウム(Al)膜を導電層(D)6045と
し、チタン(Ti)膜を導電層(E)6046として形
成した。導電層(D)6045は200〜400nm
(好ましくは250〜350nm)とすれば良く、導電
層(E)6046は50〜200nm(好ましくは10
0〜150nm)で形成すれば良い。(図21(A))
When the activation and hydrogenation steps are completed,
A second conductive film serving as a gate wiring is formed. This second conductive film is formed by adding a conductive layer (D) mainly composed of aluminum (Al) or copper (Cu), which is a low-resistance material, to titanium (T
i) or a conductive layer (E) made of tantalum (Ta), tungsten (W), or molybdenum (Mo). In this embodiment, titanium (Ti) is contained in an amount of 0.1 to 2% by weight.
The aluminum (Al) film containing the conductive film was formed as a conductive layer (D) 6045, and the titanium (Ti) film was formed as a conductive layer (E) 6046. The conductive layer (D) 6045 has a thickness of 200 to 400 nm.
(Preferably 250 to 350 nm), and the conductive layer (E) 6046 has a thickness of 50 to 200 nm (preferably 10 to 200 nm).
(0-150 nm). (FIG. 21A)

【0203】そして、ゲート電極に接続するゲート配線
を形成するために導電層(E)6046と導電層(D)
6045とをエッチング処理して、ゲート配線604
7、6048と容量配線6049を形成した。エッチン
グ処理は最初にSiCl4とCl2とBCl3との混合ガ
スを用いたドライエッチング法で導電層(E)の表面か
ら導電層(D)の途中まで除去し、その後リン酸系のエ
ッチング溶液によるウエットエッチングで導電層(D)
を除去することにより、下地との選択加工性を保ってゲ
ート配線を形成することができた。(図21(B))
Then, a conductive layer (E) 6046 and a conductive layer (D) are formed to form a gate wiring connected to the gate electrode.
6045 and the gate wiring 604
7, 6048 and a capacitor wiring 6049 were formed. In the etching treatment, first, a part of the conductive layer (D) is removed from the surface of the conductive layer (E) by a dry etching method using a mixed gas of SiCl 4 , Cl 2 and BCl 3, and then a phosphoric acid-based etching solution is used. Conductive layer (D) by wet etching
As a result, the gate wiring could be formed while maintaining the selectivity with the base. (FIG. 21 (B))

【0204】第1の層間絶縁膜6050は500〜15
00nmの厚さで酸化シリコン膜または酸化窒化シリコ
ン膜で形成され、その後、それぞれの島状半導体層に形
成されたソース領域またはドレイン領域に達するコンタ
クトホールを形成し、ソース配線6051〜6054
と、ドレイン配線6055〜6058を形成する。図示
していないが、本実施例ではこの電極を、Ti膜を10
0nm、Tiを含むアルミニウム膜300nm、Ti膜
150nmをスパッタ法で連続して形成した3層構造の
積層膜とした。
The first interlayer insulating film 6050 is 500 to 15
A contact hole which is formed of a silicon oxide film or a silicon oxynitride film with a thickness of 00 nm and reaches a source region or a drain region formed in each of the island-shaped semiconductor layers is formed.
Then, drain wirings 6055 to 6058 are formed. Although not shown, in this embodiment, this electrode is
A three-layer laminated film in which 0 nm, an aluminum film containing Ti, 300 nm, and a Ti film, 150 nm, were continuously formed by a sputtering method.

【0205】次に、パッシベーション膜6059とし
て、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、または窒化酸化
シリコン膜を50〜500nm(代表的には100〜3
00nm)の厚さで形成する。この状態で水素化処理を
行うとTFTの特性向上に対して好ましい結果が得られ
た。例えば、3〜100%の水素を含む雰囲気中で、3
00〜450℃で1〜12時間の熱処理を行うと良く、
あるいはプラズマ水素化法を用いても同様の効果が得ら
れた。なお、ここで後に画素電極とドレイン配線を接続
するためのコンタクトホールを形成する位置において、
パッシベーション膜6059に開口部を形成しておいて
も良い。(図21(C))
Next, as the passivation film 6059, a silicon nitride film, a silicon oxide film, or a silicon nitride oxide film is formed to a thickness of 50 to 500 nm (typically, 100 to 3 nm).
(00 nm). When hydrogenation was performed in this state, favorable results were obtained with respect to the improvement of TFT characteristics. For example, in an atmosphere containing 3 to 100% hydrogen, 3
It is good to perform heat treatment at 00 to 450 ° C. for 1 to 12 hours,
Alternatively, the same effect was obtained by using the plasma hydrogenation method. Here, at a position where a contact hole for connecting the pixel electrode and the drain wiring is formed later,
An opening may be formed in the passivation film 6059. (FIG. 21 (C))

【0206】その後、有機樹脂からなる第2の層間絶縁
膜6060を1.0〜1.5μmの厚さに形成する。有
機樹脂としては、ポリイミド、アクリル、ポリアミド、
ポリイミドアミド、BCB(ベンゾシクロブテン)等を
使用することができる。ここでは、基板に塗布後、熱重
合するタイプのポリイミドを用い、300℃で焼成して
形成した。そして、第2の層間絶縁膜6060及びパッ
シベーション膜6059にドレイン配線6058に達す
るコンタクトホールを形成し、画素電極6061、60
62を形成する。画素電極は、透過型液晶表示装置とす
る場合には透明導電膜を用いれば良く、反射型の液晶表
示装置とする場合には金属膜を用いれば良い。本実施例
では透過型の液晶表示装置とするために、酸化インジウ
ム・スズ(ITO)膜を100nmの厚さにスパッタ法
で形成した。(図22)
Thereafter, a second interlayer insulating film 6060 made of an organic resin is formed to a thickness of 1.0 to 1.5 μm. As the organic resin, polyimide, acrylic, polyamide,
Polyimide amide, BCB (benzocyclobutene) and the like can be used. Here, a polyimide of a type that is thermally polymerized after being applied to the substrate and baked at 300 ° C. is used. Then, a contact hole reaching the drain wiring 6058 is formed in the second interlayer insulating film 6060 and the passivation film 6059, and the pixel electrodes 6061 and 6061 are formed.
62 is formed. As the pixel electrode, a transparent conductive film may be used for a transmission type liquid crystal display device, and a metal film may be used for a reflection type liquid crystal display device. In this embodiment, an indium tin oxide (ITO) film is formed to a thickness of 100 nm by a sputtering method in order to obtain a transmission type liquid crystal display device. (FIG. 22)

【0207】こうして同一基板上に、駆動回路のTFT
と画素部の画素TFTとを有した基板を完成させること
ができた。駆動回路にはpチャネル型TFT6101、
第1のnチャネル型TFT6102、第2のnチャネル
型TFT6103、画素部には画素TFT6104、保
持容量6105が形成された。本明細書では便宜上この
ような基板をアクティブマトリクス基板と呼ぶ。
Thus, the TFT of the driving circuit is formed on the same substrate.
And a substrate having pixel TFTs in the pixel portion. The driving circuit includes a p-channel TFT 6101,
A first n-channel TFT 6102, a second n-channel TFT 6103, a pixel TFT 6104 in the pixel portion, and a storage capacitor 6105 were formed. In this specification, such a substrate is referred to as an active matrix substrate for convenience.

【0208】駆動回路のpチャネル型TFT6101に
は、島状半導体層6004にチャネル形成領域610
6、ソース領域6107a、6107b、ドレイン領域
6108a、6108bを有している。第1のnチャネ
ル型TFT6102には、島状半導体層6005にチャ
ネル形成領域6109、ゲート電極6029と重なるL
DD領域6110(以降、このようなLDD領域をLov
と記す)、ソース領域6111、ドレイン領域6112
を有している。このLov領域のチャネル長方向の長さは
0.5〜3.0μm、好ましくは1.0〜1.5μmと
した。第2のnチャネル型TFT6103には、島状半
導体層6006にチャネル形成領域6113、LDD領
域6114、6115、ソース領域6116、ドレイン
領域6117を有している。このLDD領域はLov領域
とゲート電極6030と重ならないLDD領域(以降、
このようなLDD領域をLoffと記す)とが形成され、
このLoff領域のチャネル長方向の長さは0.3〜2.
0μm、好ましくは0.5〜1.5μmである。画素T
FT6104には、島状半導体層6007にチャネル形
成領域6118、6119、Loff領域6120〜61
23、ソースまたはドレイン領域6124〜6126を
有している。Loff領域のチャネル長方向の長さは0.
5〜3.0μm、好ましくは1.5〜2.5μmであ
る。さらに、容量配線6032、6049と、ゲート絶
縁膜と同じ材料から成る絶縁膜と、画素TFT6104
のドレイン領域6126に接続し、n型を付与する不純
物元素が添加された半導体層6127とから保持容量6
105が形成されている。図22では画素TFT610
4をダブルゲート構造としたが、シングルゲート構造で
も良いし、複数のゲート電極を設けたマルチゲート構造
としても差し支えない。
In the p-channel TFT 6101 of the driver circuit, the channel formation region 610 is formed in the island-shaped semiconductor layer 6004.
6, source regions 6107a and 6107b, and drain regions 6108a and 6108b. In the first n-channel TFT 6102, an L overlapping the channel formation region 6109 and the gate electrode 6029 in the island-shaped semiconductor layer 6005.
DD region 6110 (hereinafter, such an LDD region is referred to as Lov
, Source region 6111 and drain region 6112
have. The length of the Lov region in the channel length direction is 0.5 to 3.0 μm, preferably 1.0 to 1.5 μm. The second n-channel TFT 6103 includes a channel formation region 6113, LDD regions 6114 and 6115, a source region 6116, and a drain region 6117 in the island-shaped semiconductor layer 6006. This LDD region is an LDD region that does not overlap with the Lov region and the gate electrode 6030 (hereinafter referred to as an LDD region).
Such an LDD region is referred to as Loff).
The length of the Loff region in the channel length direction is 0.3 to 2.
0 μm, preferably 0.5 to 1.5 μm. Pixel T
In the FT 6104, channel formation regions 6118 and 6119 and Loff regions 6120 to 61 are formed in the island-shaped semiconductor layer 6007.
23, a source or drain region 6124-6126. The length of the Loff region in the channel length direction is 0.
It is 5-3.0 μm, preferably 1.5-2.5 μm. Further, the capacitor wirings 6032 and 6049, an insulating film made of the same material as the gate insulating film, and a pixel TFT 6104
From the semiconductor layer 6127 to which the impurity element imparting n-type is added.
105 is formed. In FIG. 22, the pixel TFT 610
4 has a double gate structure, but may have a single gate structure or a multi-gate structure provided with a plurality of gate electrodes.

【0209】以上の様に本実施例では、画素TFTおよ
び駆動回路が要求する仕様に応じて各回路を構成するT
FTの構造を最適化し、半導体表示装置の動作性能と信
頼性を向上させることを可能とすることができる。さら
にゲート電極を耐熱性を有する導電性材料で形成するこ
とによりLDD領域やソース領域およびドレイン領域の
活性化を容易とし、ゲート配線低抵抗材料で形成するこ
とにより、配線抵抗を十分低減できる。従って、画素部
(画面サイズ)が4インチクラス以上の表示装置にも適
用することができる。
As described above, in the present embodiment, the TFTs constituting each circuit according to the specifications required by the pixel TFT and the driving circuit.
By optimizing the structure of the FT, it is possible to improve the operation performance and reliability of the semiconductor display device. Further, the gate electrode is formed of a conductive material having heat resistance, thereby facilitating activation of the LDD region, the source region, and the drain region, and the wiring resistance can be sufficiently reduced by forming the gate wiring with a low-resistance material. Therefore, the present invention can be applied to a display device having a pixel portion (screen size) of 4 inch class or more.

【0210】なお、本実施例においては透過型の液晶パ
ネルについて説明した。しかし、本発明はこれに限定さ
れるわけではなく、反射型の液晶パネルにも用いること
ができる。
[0210] In this embodiment, the transmission type liquid crystal panel has been described. However, the present invention is not limited to this, and can be used for a reflective liquid crystal panel.

【0211】(実施例8)本実施例では、本発明を用い
て発光装置を作製した例について説明する。
Embodiment 8 In this embodiment, an example in which a light emitting device is manufactured by using the present invention will be described.

【0212】発光装置は、液晶表示装置と異なり自発光
型である。発光素子は一対の電極(陽極と陰極)の間に
有機化合物を含む層(以下、有機化合物層と記す)が挟
まれた構造となっているが、有機化合物層は通常、積層
構造となっている。代表的には、コダック・イーストマ
ン・カンパニーのTangらが提案した「正孔輸送層/発光
層/電子輸送層」という積層構造が挙げられる。この構
造は非常に発光効率が高く、現在、研究開発が進められ
ている発光装置は殆どこの構造を採用している。
The light emitting device is a self light emitting type, unlike the liquid crystal display device. A light-emitting element has a structure in which a layer containing an organic compound (hereinafter, referred to as an organic compound layer) is sandwiched between a pair of electrodes (anode and cathode), and the organic compound layer usually has a laminated structure. I have. A typical example is a laminated structure of “hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer” proposed by Tang et al. Of Kodak Eastman Company. This structure has a very high luminous efficiency, and most light emitting devices currently under research and development are adopting this structure.

【0213】発光素子は、電場を加えることで発生する
ルミネッセンス(Electro Luminescence)が得られる
と、陽極層と、有機化合物層と、陰極層とを有する。有
機化合物におけるルミネッセンスには、一重項励起状態
から基底状態に戻る際の発光(蛍光)と三重項励起状態
から基底状態に戻る際の発光(リン光)とがあるが、本
発明の発光装置は、どちらの発光を用いていても良い。
[0213] The light emitting element has an anode layer, an organic compound layer, and a cathode layer when luminescence (Electro Luminescence) generated by applying an electric field is obtained. Luminescence of an organic compound includes light emission (fluorescence) when returning from a singlet excited state to a ground state and light emission (phosphorescence) when returning to a ground state from a triplet excited state. Either light emission may be used.

【0214】図23(A)は本発明を用いた発光装置の
上面図である。図23(A)において、4010は基
板、4011は画素部、4012はソース信号線駆動回
路、4013はゲート信号線駆動回路であり、それぞれ
の駆動回路は配線4014〜4016を経てFPC40
17に至り、本発明の分割ビデオ信号を生成する回路群
へと接続される。
FIG. 23A is a top view of a light emitting device using the present invention. In FIG. 23A, reference numeral 4010 denotes a substrate, 4011 denotes a pixel portion, 4012 denotes a source signal line driver circuit, 4013 denotes a gate signal line driver circuit, and each driver circuit is connected to the FPC 40 via wirings 4014 to 4016.
17 and is connected to a circuit group for generating a divided video signal of the present invention.

【0215】このとき、少なくとも画素部、好ましくは
駆動回路及び画素部を囲むようにしてカバー材600
0、シーリング材(ハウジング材ともいう)7000、
密封材(第2のシーリング材)7001が設けられてい
る。
At this time, the cover material 600 is formed so as to surround at least the pixel portion, preferably the driving circuit and the pixel portion.
0, sealing material (also referred to as housing material) 7000,
A sealing material (a second sealing material) 7001 is provided.

【0216】また、図23(B)は本実施例の発光装置
の断面構造であり、基板4010、下地膜4021の上
に駆動回路用TFT(但し、ここではnチャネル型TF
Tとpチャネル型TFTを組み合わせたCMOS回路を
図示している)4022及び画素部用TFT4023
(但し、ここでは発光素子への電流を制御するTFTだ
け図示している。)が形成されている。これらのTFT
は公知の構造(トップゲート構造またはボトムゲート構
造)を用いれば良い。
FIG. 23B shows a cross-sectional structure of the light emitting device of this embodiment, in which a TFT for a driving circuit (here, n-channel type TF) is provided on a substrate 4010 and a base film 4021.
A CMOS circuit combining a T and a p-channel TFT is illustrated) 4022 and a TFT 4023 for a pixel portion.
(However, here, only the TFT for controlling the current to the light emitting element is shown). These TFTs
A known structure (a top gate structure or a bottom gate structure) may be used.

【0217】駆動回路用TFT4022、画素部用TF
T4023が完成したら、樹脂材料でなる層間絶縁膜
(平坦化膜)4026の上に画素部用TFT4023の
ドレインと電気的に接続する透明導電膜でなる画素電極
4027を形成する。透明導電膜としては、酸化インジ
ウムと酸化スズとの化合物(ITOと呼ばれる)または
酸化インジウムと酸化亜鉛との化合物を用いることがで
きる。そして、画素電極4027を形成したら、絶縁膜
4028を形成し、画素電極4027上に開口部を形成
する。
TFT 4022 for drive circuit, TF for pixel portion
When T4023 is completed, a pixel electrode 4027 made of a transparent conductive film electrically connected to the drain of the pixel portion TFT 4023 is formed on an interlayer insulating film (flattening film) 4026 made of a resin material. As the transparent conductive film, a compound of indium oxide and tin oxide (called ITO) or a compound of indium oxide and zinc oxide can be used. After the pixel electrode 4027 is formed, an insulating film 4028 is formed, and an opening is formed over the pixel electrode 4027.

【0218】次に、有機化合物層4029を形成する。
有機化合物層4029は電場を加えることで発生するル
ミネッセンスが得られる公知の有機化合物材料(正孔注
入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層または電子注入
層)を自由に組み合わせて積層構造または単層構造とす
れば良い。どのような構造とするかは公知の技術を用い
れば良い。また、有機化合物材料には低分子系材料と高
分子系(ポリマー系)材料がある。低分子系材料を用い
る場合は蒸着法を用いるが、高分子系材料を用いる場合
には、スピンコート法、印刷法またはインクジェット法
等の簡易な方法を用いることが可能である。
Next, an organic compound layer 4029 is formed.
The organic compound layer 4029 has a stacked structure formed by freely combining known organic compound materials (a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, or an electron injection layer) capable of obtaining luminescence generated by applying an electric field. Alternatively, a single-layer structure may be used. A known technique may be used to determine the structure. Organic compound materials include low molecular weight materials and high molecular weight (polymer) materials. When a low molecular material is used, an evaporation method is used. When a high molecular material is used, a simple method such as a spin coating method, a printing method, or an ink jet method can be used.

【0219】本実施例では、シャドーマスクを用いて蒸
着法により有機化合物層を形成する。シャドーマスクを
用いて画素毎に波長の異なる発光が可能な発光層(赤色
発光層、緑色発光層及び青色発光層)を形成すること
で、カラー表示が可能となる。その他にも、色変換層
(CCM)とカラーフィルターを組み合わせた方式、白
色発光層とカラーフィルターを組み合わせた方式がある
がいずれの方法を用いても良い。勿論、単色発光の発光
装置とすることもできる。
In this embodiment, an organic compound layer is formed by an evaporation method using a shadow mask. By forming a light-emitting layer (a red light-emitting layer, a green light-emitting layer, and a blue light-emitting layer) capable of emitting light having different wavelengths for each pixel using a shadow mask, color display becomes possible. In addition, there are a method in which a color conversion layer (CCM) and a color filter are combined, and a method in which a white light emitting layer and a color filter are combined, and any method may be used. Needless to say, a light emitting device that emits monochromatic light can also be used.

【0220】有機化合物層4029を形成したら、その
上に陰極4030を形成する。陰極4030と有機化合
物層4029の界面に存在する水分や酸素は極力排除し
ておくことが望ましい。従って、真空中で有機化合物層
4029と陰極4030を連続成膜するか、有機化合物
層4029を不活性雰囲気で形成し、大気解放しないで
陰極4030を形成するといった工夫が必要である。本
実施例ではマルチチャンバー方式(クラスターツール方
式)の成膜装置を用いることで上述のような成膜を可能
とする。
After forming the organic compound layer 4029, the cathode 4030 is formed thereon. It is desirable to remove moisture and oxygen existing at the interface between the cathode 4030 and the organic compound layer 4029 as much as possible. Therefore, it is necessary to devise a method of continuously forming the organic compound layer 4029 and the cathode 4030 in a vacuum, or forming the organic compound layer 4029 in an inert atmosphere and forming the cathode 4030 without opening to the atmosphere. In this embodiment, the above-described film formation is made possible by using a multi-chamber type (cluster tool type) film formation apparatus.

【0221】なお、本実施例では陰極4030として、
LiF(フッ化リチウム)膜とAl(アルミニウム)膜
の積層構造を用いる。具体的には有機化合物層4029
上に蒸着法で1nm厚のLiF(フッ化リチウム)膜を
形成し、その上に300nm厚のアルミニウム膜を形成
する。勿論、公知の陰極材料であるMgAg電極を用い
ても良い。そして陰極4030は4031で示される領
域において配線4016に接続される。配線4016は
陰極4030に所定の電圧を与えるための電源供給線で
あり、導電性ペースト材料4032を介してFPC40
17に接続される。
In this embodiment, the cathode 4030 is
A laminated structure of a LiF (lithium fluoride) film and an Al (aluminum) film is used. Specifically, the organic compound layer 4029
A LiF (lithium fluoride) film having a thickness of 1 nm is formed thereon by a vapor deposition method, and an aluminum film having a thickness of 300 nm is formed thereon. Of course, a MgAg electrode which is a known cathode material may be used. The cathode 4030 is connected to the wiring 4016 in a region indicated by 4031. The wiring 4016 is a power supply line for applying a predetermined voltage to the cathode 4030, and the FPC 40 through a conductive paste material 4032.
17 is connected.

【0222】4031に示された領域において陰極40
30と配線4016とを電気的に接続するために、層間
絶縁膜4026及び絶縁膜4028にコンタクトホール
を形成する必要がある。これらは層間絶縁膜4026の
エッチング時(画素電極用コンタクトホールの形成時)
や絶縁膜4028のエッチング時(有機化合物層形成前
の開口部の形成時)に形成しておけば良い。また、絶縁
膜4028をエッチングする際に、層間絶縁膜4026
まで一括でエッチングしても良い。この場合、層間絶縁
膜4026と絶縁膜4028が同じ樹脂材料であれば、
コンタクトホールの形状を良好なものとすることができ
る。
In the region indicated by 4031, the cathode 40
In order to electrically connect the wiring 30 and the wiring 3016, it is necessary to form contact holes in the interlayer insulating film 4026 and the insulating film 4028. These are at the time of etching the interlayer insulating film 4026 (at the time of forming the contact hole for the pixel electrode).
Or at the time of etching the insulating film 4028 (at the time of forming the opening before forming the organic compound layer). Further, when the insulating film 4028 is etched, an interlayer insulating film 4026 is formed.
Etching may be performed all at once. In this case, if the interlayer insulating film 4026 and the insulating film 4028 are the same resin material,
The shape of the contact hole can be made good.

【0223】このようにして形成された発光素子の表面
を覆って、パッシベーション膜6003、充填材600
4、カバー材6000が形成される。
The passivation film 6003 and the filler 600 cover the surface of the light emitting element thus formed.
4. The cover material 6000 is formed.

【0224】さらに、発光素子部を囲むようにして、カ
バー材6000と基板4010の内側にシーリング材7
000が設けられ、さらにシーリング材7000の外側
には密封材(第2のシーリング材)7001が形成され
る。
Further, the sealing material 7000 and the sealing material 7 are provided inside the substrate 4010 so as to surround the light emitting element portion.
000 is provided, and a sealing material (second sealing material) 7001 is formed outside the sealing material 7000.

【0225】このとき、この充填材6004は、カバー
材6000を接着するための接着剤としても機能する。
充填材6004としては、PVC(ポリビニルクロライ
ド)、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビ
ニルブチラル)またはEVA(エチレンビニルアセテー
ト)を用いることができる。この充填材6004の内部
に乾燥剤を設けておくと、吸湿効果を保持できるので好
ましい。
At this time, the filler 6004 also functions as an adhesive for bonding the cover material 6000.
As the filler 6004, PVC (polyvinyl chloride), epoxy resin, silicone resin, PVB (polyvinyl butyral), or EVA (ethylene vinyl acetate) can be used. It is preferable to provide a desiccant inside the filler 6004 because a moisture absorbing effect can be maintained.

【0226】また、充填材6004の中にスペーサーを
含有させてもよい。このとき、スペーサーをBaOなど
からなる粒状物質とし、スペーサー自体に吸湿性をもた
せてもよい。
[0226] The filler 6004 may contain a spacer. At this time, the spacer may be a granular substance made of BaO or the like, and the spacer itself may have hygroscopicity.

【0227】スペーサーを設けた場合、パッシベーショ
ン膜6003はスペーサー圧を緩和することができる。
また、パッシベーション膜とは別に、スペーサー圧を緩
和する樹脂膜などを設けてもよい。
In the case where a spacer is provided, the passivation film 6003 can reduce the spacer pressure.
Further, a resin film or the like for relaxing the spacer pressure may be provided separately from the passivation film.

【0228】また、カバー材6000としては、ガラス
板、アルミニウム板、ステンレス板、FRP(Fibe
rglass−Reinforced Plastic
s)板、PVF(ポリビニルフルオライド)フィルム、
マイラーフィルム、ポリエステルフィルムまたはアクリ
ルフィルムを用いることができる。なお、充填材600
4としてPVBやEVAを用いる場合、数十μmのアル
ミニウムホイルをPVFフィルムやマイラーフィルムで
挟んだ構造のシートを用いることが好ましい。
As the cover member 6000, a glass plate, an aluminum plate, a stainless steel plate, FRP (Five)
rglass-Reinforced Plastic
s) plate, PVF (polyvinyl fluoride) film,
Mylar film, polyester film or acrylic film can be used. The filling material 600
When PVB or EVA is used as 4, it is preferable to use a sheet having a structure in which aluminum foil of several tens of μm is sandwiched between PVF films or Mylar films.

【0229】但し、発光素子からの発光方向(光の放射
方向)によっては、カバー材6000が透光性を有する
必要がある。
However, depending on the direction of light emission (the direction of light emission) from the light emitting element, the cover material 6000 needs to have a light transmitting property.

【0230】また、配線4016はシーリング材700
0および密封材7001と基板4010との隙間を通っ
てFPC4017に電気的に接続される。なお、ここで
は配線4016について説明したが、他の配線401
4、4015も同様にしてシーリング材7000および
密封材7001の下を通ってFPC4017に電気的に
接続される。
Further, the wiring 4016 is made of the sealing material 700.
0 and through the gap between the sealing material 7001 and the substrate 4010, and is electrically connected to the FPC 4017. Although the wiring 4016 has been described here, the other wiring 401
4, 4015 are similarly electrically connected to the FPC 4017 under the sealant 7000 and the sealant 7001.

【0231】なお本実施例では、充填材6004を設け
てからカバー材6000を接着し、充填材6004の側
面(露呈面)を覆うようにシーリング材7000を取り
付けているが、カバー材6000及びシーリング材70
00を取り付けてから、充填材6004を設けても良
い。この場合、基板4010、カバー材6000及びシ
ーリング材7000で形成されている空隙に通じる充填
材の注入口を設ける。そして前記空隙を真空状態(10
-2Torr以下)にし、充填材の入っている水槽に注入
口を浸してから、空隙の外の気圧を空隙の中の気圧より
も高くして、充填材を空隙の中に充填する。
In this embodiment, after the filler 6004 is provided, the cover 6000 is adhered, and the sealing material 7000 is attached so as to cover the side surface (exposed surface) of the filler 6004. Lumber 70
After attaching 00, the filler 6004 may be provided. In this case, an injection port for a filler is provided to communicate with a space formed by the substrate 4010, the cover material 6000, and the sealing material 7000. Then, the gap is vacuumed (10
-2 Torr or less), immerse the injection port in the water tank containing the filler, and then fill the gap with the filler by setting the pressure outside the gap higher than the pressure inside the gap.

【0232】(実施例9)本実施例では、本発明を用い
て実施例8とは異なる形態の発光装置を作製した例につ
いて、図24(A)、24(B)を用いて説明する。図
23(A)、23(B)と同じ番号のものは同じ部分を
指しているので説明は省略する。
(Embodiment 9) In this embodiment, an example in which a light-emitting device having a mode different from that of Embodiment 8 is manufactured by using the present invention will be described with reference to FIGS. 23 (A) and 23 (B) denote the same parts, and a description thereof will not be repeated.

【0233】図24(A)は本実施例の発光装置の上面
図であり、図24(A)をA-A'で切断した断面図を図
24(B)に示す。
FIG. 24A is a top view of the light emitting device of this embodiment, and FIG. 24B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG.

【0234】実施例8に従って、発光素子の表面を覆っ
てパッシベーション膜6003までを形成する。
According to Embodiment 8, a passivation film 6003 is formed to cover the surface of the light emitting element.

【0235】さらに、発光素子を覆うようにして充填材
6004を設ける。この充填材6004は、カバー材6
000を接着するための接着剤としても機能する。充填
材6004としては、PVC(ポリビニルクロライ
ド)、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビ
ニルブチラル)またはEVA(エチレンビニルアセテー
ト)を用いることができる。この充填材6004の内部
に乾燥剤を設けておくと、吸湿効果を保持できるので好
ましい。
[0235] Further, a filler 6004 is provided so as to cover the light-emitting element. This filler 6004 is used as the cover material 6
000 also functions as an adhesive for bonding. As the filler 6004, PVC (polyvinyl chloride), epoxy resin, silicone resin, PVB (polyvinyl butyral), or EVA (ethylene vinyl acetate) can be used. It is preferable to provide a desiccant inside the filler 6004 because a moisture absorbing effect can be maintained.

【0236】また、充填材6004の中にスペーサーを
含有させてもよい。このとき、スペーサーをBaOなど
からなる粒状物質とし、スペーサー自体に吸湿性をもた
せてもよい。
[0236] A spacer may be contained in the filler 6004. At this time, the spacer may be a granular substance made of BaO or the like, and the spacer itself may have hygroscopicity.

【0237】スペーサーを設けた場合、パッシベーショ
ン膜6003はスペーサー圧を緩和することができる。
また、パッシベーション膜とは別に、スペーサー圧を緩
和する樹脂膜などを設けてもよい。
In the case where a spacer is provided, the passivation film 6003 can reduce the spacer pressure.
Further, a resin film or the like for relaxing the spacer pressure may be provided separately from the passivation film.

【0238】また、カバー材6000としては、ガラス
板、アルミニウム板、ステンレス板、FRP(Fibe
rglass−Reinforced Plastic
s)板、PVF(ポリビニルフルオライド)フィルム、
マイラーフィルム、ポリエステルフィルムまたはアクリ
ルフィルムを用いることができる。なお、充填材600
4としてPVBやEVAを用いる場合、数十μmのアル
ミニウムホイルをPVFフィルムやマイラーフィルムで
挟んだ構造のシートを用いることが好ましい。
As the cover material 6000, a glass plate, an aluminum plate, a stainless steel plate, FRP (Fiber)
rglass-Reinforced Plastic
s) plate, PVF (polyvinyl fluoride) film,
Mylar film, polyester film or acrylic film can be used. The filling material 600
When PVB or EVA is used as 4, it is preferable to use a sheet having a structure in which aluminum foil of several tens of μm is sandwiched between PVF films or Mylar films.

【0239】但し、発光素子からの発光方向(光の放射
方向)によっては、カバー材6000が透光性を有する
必要がある。
However, depending on the direction of light emission from the light emitting element (the direction of light emission), the cover material 6000 needs to have a light transmitting property.

【0240】次に、充填材6004を用いてカバー材6
000を接着した後、充填材6004の側面(露呈面)
を覆うようにフレーム材6001を取り付ける。フレー
ム材6001はシーリング材(接着剤として機能する)
6002によって接着される。このとき、シーリング材
6002としては、光硬化性樹脂を用いるのが好ましい
が、有機化合物層の耐熱性が許せば熱硬化性樹脂を用い
ても良い。なお、シーリング材6002はできるだけ水
分や酸素を透過しない材料であることが望ましい。ま
た、シーリング材6002の内部に乾燥剤を添加してあ
っても良い。
Next, the cover material 6
After bonding 000, the side surface of filler 6004 (exposed surface)
Frame material 6001 is attached so as to cover. The frame material 6001 is a sealing material (functions as an adhesive)
Glued by 6002. At this time, a photocurable resin is preferably used as the sealing material 6002, but a thermosetting resin may be used as long as heat resistance of the organic compound layer is allowed. Note that the sealing material 6002 is preferably a material that does not transmit moisture or oxygen as much as possible. Further, a desiccant may be added to the inside of the sealing material 6002.

【0241】また、配線4016はシーリング材600
2と基板4010との隙間を通ってFPC4017に電
気的に接続される。なお、ここでは配線4016につい
て説明したが、他の配線4014、4015も同様にし
てシーリング材6002の下を通ってFPC4017に
電気的に接続される。FPCを介して配線4014、4
015、4016が本発明の分割ビデオ信号を生成する
回路群と接続している。
The wiring 4016 is made of a sealing material 600.
2 is electrically connected to the FPC 4017 through a gap between the substrate 2 and the substrate 4010. Note that although the wiring 4016 has been described here, the other wirings 4014 and 4015 are also electrically connected to the FPC 4017 under the sealing material 6002 in the same manner. Wiring 4014, 4 via FPC
Reference numerals 015 and 4016 are connected to a circuit group for generating a divided video signal according to the present invention.

【0242】なお本実施例では、充填材6004を設け
てからカバー材6000を接着し、充填材6004の側
面(露呈面)を覆うようにフレーム材6001を取り付
けているが、カバー材6000及びフレーム材6001
を取り付けてから、充填材6004を設けても良い。こ
の場合、基板4010、カバー材6000及びフレーム
材6001で形成されている空隙に通じる充填材の注入
口を設ける。そして前記空隙を真空状態(10-2Tor
r以下)にし、充填材の入っている水槽に注入口を浸し
てから、空隙の外の気圧を空隙の中の気圧よりも高くし
て、充填材を空隙の中に充填する。
In this embodiment, after the filling material 6004 is provided, the cover material 6000 is adhered, and the frame material 6001 is attached so as to cover the side surface (exposed surface) of the filling material 6004. Lumber 6001
And then the filler 6004 may be provided. In this case, an inlet for a filler is provided to communicate with a gap formed by the substrate 4010, the cover member 6000, and the frame member 6001. Then, the gap is evacuated (10 -2 Torr).
r), the filler is filled in the gap by immersing the injection port in the water tank containing the filler, and then making the pressure outside the gap higher than the pressure inside the gap.

【0243】(実施例10)ここで表示パネルにおける
画素部のさらに詳細な断面構造を図25に、上面構造を
図26(A)に、回路図を図26(B)に示す。図2
5、図26(A)及び図26(B)では共通の符号を用
いるので互いに参照すれば良い。
(Embodiment 10) FIG. 25 shows a more detailed sectional structure of a pixel portion in a display panel, FIG. 26A shows a top structure thereof, and FIG. 26B shows a circuit diagram thereof. FIG.
5, common reference numerals are used in FIGS. 26 (A) and 26 (B), so that they may be referred to each other.

【0244】図25において、基板3501上に設けら
れたスイッチング用TFT3502は公知の方法で作製
されたNチャネル型TFTを用いて形成される。本実施
例ではダブルゲート構造としているが、構造及び作製プ
ロセスに大きな違いはないので説明は省略する。但し、
ダブルゲート構造とすることで実質的に二つのTFTが
直列された構造となり、オフ電流値を低減することがで
きるという利点がある。なお、本実施例ではダブルゲー
ト構造としているが、シングルゲート構造でも構わない
し、トリプルゲート構造やそれ以上のゲート本数を持つ
マルチゲート構造でも構わない。また、Pチャネル型T
FTを用いて形成しても構わない。
In FIG. 25, a switching TFT 3502 provided on a substrate 3501 is formed using an N-channel TFT manufactured by a known method. In this embodiment, a double gate structure is used. However, since there is no significant difference in the structure and the manufacturing process, the description is omitted. However,
The double gate structure has a structure in which substantially two TFTs are connected in series, and has an advantage that an off-current value can be reduced. Although the double gate structure is used in this embodiment, a single gate structure, a triple gate structure, or a multi-gate structure having more gates may be used. In addition, P-channel type T
It may be formed using FT.

【0245】また、電流制御用TFT3503は公知の
方法で作製されたNチャネル型TFTを用いて形成され
る。このとき、スイッチング用TFT3502のドレイ
ン配線35は配線36によって電流制御用TFTのゲー
ト電極37に電気的に接続されている。また、38で示
される配線は、スイッチング用TFT3502のゲート
電極39a、39bを電気的に接続するゲート配線であ
る。
The current controlling TFT 3503 is formed using an N-channel TFT manufactured by a known method. At this time, the drain wiring 35 of the switching TFT 3502 is electrically connected to the gate electrode 37 of the current controlling TFT by the wiring 36. The wiring indicated by 38 is a gate wiring for electrically connecting the gate electrodes 39a and 39b of the switching TFT 3502.

【0246】電流制御用TFTは発光素子を流れる電流
量を制御するための素子であるため、多くの電流が流
れ、熱による劣化やホットキャリアによる劣化の危険性
が高い素子でもある。そのため、電流制御用TFTのド
レイン側に、ゲート絶縁膜を介してゲート電極に重なる
ようにLDD領域を設ける本発明の構造は極めて有効で
ある。
[0246] The current control TFT is an element for controlling the amount of current flowing through the light-emitting element, so that a large amount of current flows and the element has a high risk of deterioration due to heat or deterioration due to hot carriers. Therefore, the structure of the present invention in which the LDD region is provided on the drain side of the current controlling TFT so as to overlap the gate electrode via the gate insulating film is extremely effective.

【0247】また、本実施例では電流制御用TFT35
03をシングルゲート構造で図示しているが、複数のT
FTを直列につなげたマルチゲート構造としても良い。
さらに、複数のTFTを並列につなげて実質的にチャネ
ル形成領域を複数に分割し、熱の放射を高い効率で行え
るようにした構造としても良い。このような構造は熱に
よる劣化対策として有効である。
In this embodiment, the current controlling TFT 35 is used.
03 is shown with a single gate structure.
A multi-gate structure in which FTs are connected in series may be used.
Further, a structure in which a plurality of TFTs are connected in parallel to substantially divide the channel formation region into a plurality of regions so that heat can be radiated with high efficiency may be employed. Such a structure is effective as a measure against deterioration due to heat.

【0248】また、図26(A)に示すように、電流制
御用TFT3503のゲート電極37となる配線は35
04で示される領域で、電流制御用TFT3503のド
レイン配線40と絶縁膜を介して重なる。このとき、3
504で示される領域ではコンデンサが形成される。こ
のコンデンサ3504は電流制御用TFT3503のゲ
ートにかかる電圧を保持するためのコンデンサとして機
能する。なお、ドレイン配線40は電流供給線(電源
線)3506に接続され、常に一定の電圧が加えられて
いる。
As shown in FIG. 26A, the wiring which becomes the gate electrode 37 of the current controlling TFT 3503 has 35
In a region indicated by 04, the region overlaps with the drain wiring 40 of the current control TFT 3503 via an insulating film. At this time, 3
In the region indicated by 504, a capacitor is formed. This capacitor 3504 functions as a capacitor for holding a voltage applied to the gate of the current control TFT 3503. The drain wiring 40 is connected to a current supply line (power supply line) 3506, and a constant voltage is constantly applied.

【0249】スイッチング用TFT3502及び電流制
御用TFT3503の上には第1パッシベーション膜4
1が設けられ、その上に樹脂絶縁膜でなる平坦化膜42
が形成される。平坦化膜42を用いてTFTによる段差
を平坦化することは非常に重要である。後に形成される
有機化合物層は非常に薄いため、段差が存在することに
よって発光不良を起こす場合がある。従って、有機化合
物層をできるだけ平坦面に形成しうるように画素電極を
形成する前に平坦化しておくことが望ましい。
The first passivation film 4 is formed on the switching TFT 3502 and the current control TFT 3503.
And a planarizing film 42 made of a resin insulating film thereon.
Is formed. It is very important to flatten the steps due to the TFT using the flattening film 42. Since an organic compound layer to be formed later is very thin, poor light emission may be caused by the presence of a step. Therefore, it is desirable that the organic compound layer be planarized before forming the pixel electrode so that the organic compound layer can be formed as flat as possible.

【0250】また、43は反射性の高い導電膜でなる画
素電極(発光素子の陰極)であり、電流制御用TFT3
503のドレインに電気的に接続される。画素電極43
としてはアルミニウム合金膜、銅合金膜または銀合金膜
など低抵抗な導電膜またはそれらの積層膜を用いること
が好ましい。勿論、他の導電膜との積層構造としても良
い。
Reference numeral 43 denotes a pixel electrode (cathode of a light emitting element) made of a highly reflective conductive film.
503 is electrically connected to the drain. Pixel electrode 43
It is preferable to use a low-resistance conductive film such as an aluminum alloy film, a copper alloy film, or a silver alloy film, or a stacked film thereof. Of course, a stacked structure with another conductive film may be employed.

【0251】また、絶縁膜(好ましくは樹脂)で形成さ
れたバンク44a、44bにより形成された溝(画素に相
当する)の中に発光層45が形成される。なお、ここで
は一画素しか図示していないが、R(赤)、G(緑)、
B(青)の各色に対応した発光層を作り分けても良い。
発光層とする有機化合物材料としてはπ共役ポリマー系
材料を用いる。代表的なポリマー系材料としては、ポリ
パラフェニレンビニレン(PPV)系、ポリビニルカル
バゾール(PVK)系、ポリフルオレン系などが挙げら
れる。
The light emitting layer 45 is formed in a groove (corresponding to a pixel) formed by the banks 44a and 44b formed of an insulating film (preferably resin). Although only one pixel is shown here, R (red), G (green),
Light emitting layers corresponding to each color of B (blue) may be separately formed.
As the organic compound material for the light emitting layer, a π-conjugated polymer material is used. Typical polymer-based materials include polyparaphenylenevinylene (PPV), polyvinylcarbazole (PVK), and polyfluorene.

【0252】なお、PPV系有機化合物材料としては様
々な型のものがあるが、例えば「H.Shenk,H.Becker,O.G
elsen,E.Kluge,W.Kreuder,and H.Spreitzer,“Polymers
for Light Emitting Diodes”,Euro Display,Proceedi
ngs,1999,p.33-37」や特開平10−92576号公報に
記載されたような材料を用いれば良い。
Although there are various types of PPV-based organic compound materials, for example, H. Shenk, H. Becker, OG
elsen, E. Kluge, W. Kreuder, and H. Spreitzer, “Polymers
for Light Emitting Diodes ”, Euro Display, Proceedi
ngs, 1999, p.33-37 "and JP-A-10-92576.

【0253】具体的な発光層としては、赤色に発光する
発光層にはシアノポリフェニレンビニレン、緑色に発光
する発光層にはポリフェニレンビニレン、青色に発光す
る発光層にはポリフェニレンビニレン若しくはポリアル
キルフェニレンを用いれば良い。膜厚は30〜150n
m(好ましくは40〜100nm)とすれば良い。
As specific light-emitting layers, cyanopolyphenylenevinylene is used for a red light-emitting layer, polyphenylenevinylene is used for a green light-emitting layer, and polyphenylenevinylene or polyalkylphenylene is used for a blue light-emitting layer. Good. The film thickness is 30-150n
m (preferably 40 to 100 nm).

【0254】但し、以上の例は発光層として用いること
のできる有機化合物材料の一例であって、これに限定す
る必要はまったくない。発光層、電荷輸送層または電荷
注入層を自由に組み合わせて有機化合物層(発光及びそ
のためのキャリアの移動を行わせるための層)を形成す
れば良い。
However, the above example is an example of an organic compound material that can be used as a light emitting layer, and it is not necessary to limit the invention to this. An organic compound layer (a layer for performing light emission and carrier movement therefor) may be formed by freely combining a light emitting layer, a charge transport layer, or a charge injection layer.

【0255】例えば、本実施例ではポリマー系材料を発
光層として用いる例を示したが、低分子系有機化合物材
料を用いても良い。また、電荷輸送層や電荷注入層とし
て炭化珪素等の無機材料を用いることも可能である。こ
れらの電場を加えることで発生するルミネッセンスが得
られる有機化合物材料や無機材料は公知の材料を用いる
ことができる。
For example, in this embodiment, an example is shown in which a polymer material is used for the light emitting layer, but a low molecular organic compound material may be used. It is also possible to use an inorganic material such as silicon carbide for the charge transport layer and the charge injection layer. Known materials can be used as the organic compound material and the inorganic material from which luminescence generated by applying these electric fields can be obtained.

【0256】本実施例では発光層45の上にPEDOT
(ポリチオフェン)またはPAni(ポリアニリン)で
なる正孔注入層46を設けた積層構造の有機化合物層と
している。そして、正孔注入層46の上には透明導電膜
でなる陽極47が設けられる。本実施例の場合、発光層
45で生成された光は上面側に向かって(TFTの上方
に向かって)放射されるため、陽極は透光性でなければ
ならない。透明導電膜としては酸化インジウムと酸化ス
ズとの化合物や酸化インジウムと酸化亜鉛との化合物を
用いることができるが、耐熱性の低い発光層や正孔注入
層を形成した後で形成するため、可能な限り低温で成膜
できるものが好ましい。
In this embodiment, PEDOT is formed on the light emitting layer 45.
An organic compound layer having a layered structure provided with a hole injection layer 46 made of (polythiophene) or PAni (polyaniline). An anode 47 made of a transparent conductive film is provided on the hole injection layer 46. In the case of this embodiment, since the light generated in the light emitting layer 45 is emitted toward the upper surface side (toward the upper side of the TFT), the anode must be translucent. As the transparent conductive film, a compound of indium oxide and tin oxide or a compound of indium oxide and zinc oxide can be used; however, it is possible to form after forming a light-emitting layer or a hole-injecting layer with low heat resistance. A material that can form a film at a temperature as low as possible is preferable.

【0257】陽極47まで形成された時点で発光素子3
505が完成する。なお、ここでいう発光素子3505
は、画素電極(陰極)43、発光層45、正孔注入層4
6及び陽極47で形成されたコンデンサを指す。図26
(A)に示すように画素電極43は画素の面積にほぼ一
致するため、画素全体が発光素子として機能する。従っ
て、発光の利用効率が非常に高く、明るい画像表示が可
能となる。
When the anode 47 is formed, the light emitting element 3
505 is completed. Note that the light-emitting element 3505 here is used.
Are the pixel electrode (cathode) 43, the light emitting layer 45, the hole injection layer 4
6 and the anode 47. FIG.
As shown in (A), the pixel electrode 43 substantially matches the area of the pixel, so that the entire pixel functions as a light emitting element. Therefore, the efficiency of light emission is extremely high, and a bright image can be displayed.

【0258】ところで、本実施例では、陽極47の上に
さらに第2パッシベーション膜48を設けている。第2
パッシベーション膜48としては窒化珪素膜または窒化
酸化珪素膜が好ましい。この目的は、外部と発光素子と
を遮断することであり、有機化合物材料の酸化による劣
化を防ぐ意味と、有機化合物材料からの脱ガスを抑える
意味との両方を併せ持つ。これにより発光装置の信頼性
が高められる。
In the present embodiment, a second passivation film 48 is further provided on the anode 47. Second
As the passivation film 48, a silicon nitride film or a silicon nitride oxide film is preferable. The purpose of this is to shut off the light emitting element from the outside, and has both the meaning of preventing the organic compound material from being deteriorated by oxidation and the meaning of suppressing outgassing from the organic compound material. Thereby, the reliability of the light emitting device is improved.

【0259】以上のように本発明の表示パネルは図25
のような構造の画素からなる画素部を有し、オフ電流値
の十分に低いスイッチング用TFTと、ホットキャリア
注入に強い電流制御用TFTとを有する。従って、高い
信頼性を有し、且つ、良好な画像表示が可能な表示パネ
ルが得られる。
As described above, the display panel of the present invention has the structure shown in FIG.
And a switching TFT having a sufficiently low off-current value and a current controlling TFT resistant to hot carrier injection. Therefore, a display panel having high reliability and capable of displaying an excellent image can be obtained.

【0260】(実施例11)本実施例では、実施例10
に示した画素部において、発光素子3505の構造を反
転させた構造について説明する。説明には図27を用い
る。なお、図25の構造と異なる点は発光素子の部分と
電流制御用TFTだけであるので、その他の説明は省略
することとする。
(Embodiment 11) In this embodiment, Embodiment 10 will be described.
A structure in which the structure of the light emitting element 3505 is inverted in the pixel portion shown in FIG. FIG. 27 is used for the description. The only difference from the structure shown in FIG. 25 is the light emitting element portion and the current controlling TFT, so that the other description will be omitted.

【0261】図27において、電流制御用TFT350
3は公知の方法で作製されたPチャネル型TFTを用い
て形成される。
In FIG. 27, a current controlling TFT 350
3 is formed using a P-channel TFT manufactured by a known method.

【0262】本実施例では、画素電極(陽極)50とし
て透明導電膜を用いる。具体的には酸化インジウムと酸
化亜鉛との化合物でなる導電膜を用いる。勿論、酸化イ
ンジウムと酸化スズとの化合物でなる導電膜を用いても
良い。
In this embodiment, a transparent conductive film is used as the pixel electrode (anode) 50. Specifically, a conductive film formed using a compound of indium oxide and zinc oxide is used. Needless to say, a conductive film made of a compound of indium oxide and tin oxide may be used.

【0263】そして、絶縁膜でなるバンク51a、51b
が形成された後、溶液塗布によりポリビニルカルバゾー
ルでなる発光層52が形成される。その上にはカリウム
アセチルアセトネート(acacKと表記される)でな
る電子注入層53、アルミニウム合金でなる陰極54が
形成される。この場合、陰極54がパッシベーション膜
としても機能する。こうして発光素子3701が形成さ
れる。
Then, banks 51a and 51b made of an insulating film are used.
Is formed, a light emitting layer 52 made of polyvinyl carbazole is formed by applying a solution. An electron injection layer 53 made of potassium acetylacetonate (denoted as acacK) and a cathode made of an aluminum alloy are formed thereon. In this case, the cathode 54 also functions as a passivation film. Thus, a light-emitting element 3701 is formed.

【0264】本実施例の場合、発光層52で発生した光
は、矢印で示されるようにTFTが形成された基板の方
に向かって放射される。
In the case of this embodiment, the light generated in the light emitting layer 52 is radiated toward the substrate on which the TFT is formed as indicated by the arrow.

【0265】(実施例12)本実施例では、図26
(B)に示した回路図とは異なる構造の画素とした場合
の例について図28(A)〜(C)に示す。なお、本実
施例において、3801はスイッチング用TFT380
2のソース配線、3803はスイッチング用TFT38
02のゲート配線、3804は電流制御用TFT、38
05はコンデンサ、3806、3808は電流供給線、
3807は発光素子とする。
(Embodiment 12) In this embodiment, FIG.
FIGS. 28A to 28C illustrate an example in which the pixel has a structure different from that of the circuit diagram illustrated in FIG. In this embodiment, reference numeral 3801 denotes a switching TFT 380.
2 is a source wiring, and 3803 is a switching TFT 38.
02, a gate wiring 3804, a current controlling TFT 38,
05 is a capacitor, 3806 and 3808 are current supply lines,
Reference numeral 3807 denotes a light-emitting element.

【0266】図28(A)は、二つの画素間で電流供給
線3806を共通とした場合の例である。即ち、二つの
画素が電流供給線3806を中心に線対称となるように
形成されている点に特徴がある。この場合、電源供給線
の本数を減らすことができるため、画素部をさらに高精
細化することができる。
FIG. 28A shows an example in which a current supply line 3806 is shared between two pixels. That is, the feature is that two pixels are formed to be line-symmetric with respect to the current supply line 3806. In this case, the number of power supply lines can be reduced, so that the pixel portion can have higher definition.

【0267】また、図28(B)は、電流供給線380
8をゲート配線3803と平行に設けた場合の例であ
る。なお、図28(B)では電流供給線3808とゲー
ト配線3803とが重ならないように設けた構造となっ
ているが、両者が異なる層に形成される配線であれば、
絶縁膜を介して重なるように設けることもできる。この
場合、電源供給線3808とゲート配線3803とで専
有面積を共有させることができるため、画素部をさらに
高精細化することができる。
FIG. 28 (B) shows the current supply line 380
8 is provided in parallel with the gate wiring 3803. Note that in FIG. 28B, the current supply line 3808 and the gate wiring 3803 are provided so as not to overlap with each other.
They can be provided so as to overlap with each other via an insulating film. In this case, since the power supply line 3808 and the gate wiring 3803 can share an occupied area, the pixel portion can have higher definition.

【0268】また、図28(C)は、図28(B)の構
造と同様に電流供給線3808をゲート配線3803と
平行に設け、さらに、二つの画素を電流供給線3808
を中心に線対称となるように形成する点に特徴がある。
また、電流供給線3808をゲート配線3803のいず
れか一方と重なるように設けることも有効である。この
場合、電源供給線の本数を減らすことができるため、画
素部をさらに高精細化することができる。
In FIG. 28C, a current supply line 3808 is provided in parallel with the gate wiring 3803 in the same manner as in the structure of FIG. 28B, and two pixels are connected to the current supply line 3808.
It is characterized in that it is formed so as to be line-symmetric with respect to.
It is also effective to provide the current supply line 3808 so as to overlap with one of the gate wirings 3803. In this case, the number of power supply lines can be reduced, so that the pixel portion can have higher definition.

【0269】(実施例13)実施例10に示した図26
(A)、26(B)では電流制御用TFT3503のゲ
ートにかかる電圧を保持するためにコンデンサ3504
を設ける構造としているが、コンデンサ3504を省略
することも可能である。実施例10の場合、電流制御用
TFT3503として、ゲート絶縁膜を介してゲート電
極に重なるように設けられたLDD領域を有しているN
チャネル型TFTを用いている。この重なり合った領域
には一般的にゲート容量と呼ばれる寄生容量が形成され
るが、本実施例ではこの寄生容量をコンデンサ3504
の代わりとして積極的に用いる点に特徴がある。
(Embodiment 13) FIG. 26 shown in Embodiment 10
26A and 26B, a capacitor 3504 for holding a voltage applied to the gate of the current controlling TFT 3503 is used.
Is provided, but the capacitor 3504 can be omitted. In the case of the tenth embodiment, as the current controlling TFT 3503, an N-type TFT having an LDD region provided so as to overlap the gate electrode with the gate insulating film interposed therebetween is used.
A channel type TFT is used. In this overlapping region, a parasitic capacitance generally called a gate capacitance is formed. In the present embodiment, this parasitic capacitance is stored in the capacitor 3504.
The feature is that it is actively used instead of.

【0270】この寄生容量のキャパシタンスは、上記ゲ
ート電極とLDD領域とが重なり合った面積によって変
化するため、その重なり合った領域に含まれるLDD領
域の長さによって決まる。
Since the capacitance of the parasitic capacitance changes depending on the area where the gate electrode and the LDD region overlap, it is determined by the length of the LDD region included in the overlapping region.

【0271】また、実施例12に示した図28(A)、
(B)、(C)の構造においても同様に、コンデンサ3
805を省略することは可能である。
FIG. 28 (A) shown in Embodiment 12
Similarly, in the structures (B) and (C), the capacitor 3
It is possible to omit 805.

【0272】(実施例14)本実施例では、図1に示し
た分割ビデオ信号を生成する回路群において、マルチプ
レクサ回路を設ける。そしてマルチプレクサ回路から出
力される複数の信号(分配信号)をそれぞれの信号に対
応する複数のD/A変換回路に入力する際に、複数の分
配信号と複数のD/A変換回路の組み合わせを、ある期
間ごとに変える構成を有する。
(Embodiment 14) In this embodiment, a multiplexer circuit is provided in the circuit group for generating the divided video signal shown in FIG. When a plurality of signals (distribution signals) output from the multiplexer circuit are input to a plurality of D / A conversion circuits corresponding to the respective signals, a combination of the plurality of distribution signals and the plurality of D / A conversion circuits is used. It has a configuration that changes every certain period.

【0273】複数のD/A変換回路の構成は、理論的に
は全て同じである。しかし実際には個々のD/A変換回
路の特性は全く同じではない。同じデジタルの信号を入
力しても、D/A変換回路によって出力されるアナログ
の信号の電位が異なることがある。D/A変換回路の特
性は、そのD/A変換回路が有する回路素子の製造誤差
や、D/A変換回路の周辺温度に左右される。
The configurations of the plurality of D / A conversion circuits are theoretically all the same. However, actually, the characteristics of the individual D / A conversion circuits are not exactly the same. Even when the same digital signal is input, the potential of the analog signal output by the D / A conversion circuit may be different. The characteristics of the D / A conversion circuit depend on manufacturing errors of circuit elements included in the D / A conversion circuit and the ambient temperature of the D / A conversion circuit.

【0274】そのため、D/A変換回路から出力される
アナログ信号の電位は、常にそのD/A変換回路の特性
の影響を受ける。よって、特性が異なっているD/A変
換回路から出力されるアナログのビデオ信号は、他のD
/A変換回路から出力されたアナログのビデオ信号と電
位差を有してしまう。
Therefore, the potential of the analog signal output from the D / A conversion circuit is always affected by the characteristics of the D / A conversion circuit. Therefore, an analog video signal output from a D / A conversion circuit having a different characteristic is different from another D / A conversion circuit.
It has a potential difference from the analog video signal output from the / A conversion circuit.

【0275】そして、電位差を有するアナログのビデオ
信号が、分割駆動するために分割ビデオ信号に変換さ
れ、ソース信号線駆動回路においてサンプリングされる
と、サンプリングによって画素に入力される画像信号も
電位差を有する。そして、その画像信号が有する電位差
が画面中に明暗として表示され、観察者に明暗による縞
(分割縞)が視認されてしまう。
When the analog video signal having a potential difference is converted into a divided video signal for divided driving and sampled in the source signal line driving circuit, the image signal input to the pixel by sampling also has a potential difference. . Then, the potential difference of the image signal is displayed as bright and dark on the screen, and the observer visually recognizes the bright and dark fringes (divided fringes).

【0276】本実施例の分割ビデオ信号を生成する回路
群について、図32を用いて説明する。なおここでは、
アナログ駆動のアクティブマトリクス型半導体表示装置
を、m分割で分割駆動する場合について説明する。
A circuit group for generating a divided video signal according to the present embodiment will be described with reference to FIG. Here,
A case will be described in which an active-matrix semiconductor display device driven by analog driving is divided into m units.

【0277】401は制御回路、402はA/D変換回
路、403はγ補正回路、404はマルチプレクサ回
路、406は分割回路群、407は入れ替えデータ回路
を示している。また点線で囲った408で示す部分は、
図2に示した構成と同じであるので、本実施例では説明
を省略する。分割回路群406は図示してはいないがl
個の分割回路を有している。
Reference numeral 401 denotes a control circuit, 402 denotes an A / D conversion circuit, 403 denotes a gamma correction circuit, 404 denotes a multiplexer circuit, 406 denotes a divided circuit group, and 407 denotes a replacement data circuit. The portion indicated by 408 surrounded by a dotted line is
Since the configuration is the same as that shown in FIG. 2, the description is omitted in this embodiment. Although not shown, the divided circuit group 406
It has a number of divided circuits.

【0278】Hsync信号とVsync信号とが制御
回路401に入力される。そして制御回路401からソ
ース信号線駆動回路を駆動するクロック信号(CK)、
スタートパルス信号(SP)等がソース信号線駆動回路
に入力されている。またさらに制御回路401から、A
/D変換回路402、γ補正回路403、分割回路40
6、入れ替えデータ回路407に、各回路を駆動する信
号がそれぞれ入力されている。
The Hsync signal and the Vsync signal are input to the control circuit 401. Then, a clock signal (CK) for driving the source signal line driving circuit from the control circuit 401,
A start pulse signal (SP) and the like are input to the source signal line driving circuit. Further, from the control circuit 401, A
/ D conversion circuit 402, γ correction circuit 403, division circuit 40
6. A signal for driving each circuit is input to the replacement data circuit 407.

【0279】画像情報を有するアナログのビデオ信号
が、A/D変換回路402に入力される。A/D変換回
路402に入力されたアナログのビデオ信号は、A/D
変換回路402においてデジタルのビデオ信号に変換さ
れ、γ補正回路403に入力される。γ補正回路403
に入力されたデジタルのビデオ信号は、γ補正され、マ
ルチプレクサ回路404に入力される。
[0279] An analog video signal having image information is input to the A / D conversion circuit 402. The analog video signal input to the A / D conversion circuit 402
The signal is converted into a digital video signal by the conversion circuit 402 and input to the gamma correction circuit 403. γ correction circuit 403
Is input to the multiplexer circuit 404 after the γ correction.

【0280】マルチプレクサ回路404に入力されたγ
補正後のデジタルのビデオ信号は、多数の出力端子に切
り替えて分配される。そしてマルチプレクサ回路から、
例えばl個に分配された信号(分配信号)が出力され
る。なおγ補正回路から出力されたデジタルのビデオ信
号のビット数がnビットだったとき、l個の分配信号
は、それぞれnビットのデジタルの信号である。
Γ input to multiplexer circuit 404
The digital video signal after the correction is switched to a number of output terminals and distributed. And from the multiplexer circuit,
For example, a signal (distributed signal) distributed to l pieces is output. When the number of bits of the digital video signal output from the γ correction circuit is n bits, each of the l distributed signals is an n-bit digital signal.

【0281】l個の分配信号は、D/A第1入れ替え回
路409に同時に入力される。図33に点線で囲った部
分405の詳しいブロック図を示す。409はD/A第
1入れ替え回路、410はD/A変換回路群、411は
D/A第2入れ替え回路、412はD/A入れ替えデー
タ処理回路である。D/A変換回路群410は少なくと
もl個のD/A変換回路(410_1〜410_m)を
有している。
[0281] The l distributed signals are simultaneously input to the D / A first switching circuit 409. FIG. 33 shows a detailed block diagram of a portion 405 surrounded by a dotted line. 409, a D / A first switching circuit; 410, a D / A conversion circuit group; 411, a D / A second switching circuit; and 412, a D / A switching data processing circuit. The D / A conversion circuit group 410 has at least one D / A conversion circuit (410_1 to 410_m).

【0282】D/A第1入れ替え回路409は、入力さ
れたデジタルの分配信号(Dv1〜Dvm)を、D/A
入れ替えデータ処理回路412から入力されるD/A第
1入れ替え信号によって、D/A変換回路(410_1
〜410_m)にそれぞれ入力する。その際、入力する
l個のデジタルの分配信号(Dv1〜Dvm)と、l個
のD/A変換回路(410_1〜410_m)とは一対
一で対応している。そしてl個のデジタルの分配信号の
うちのどのデジタルの分配信号が、l個のD/A変換回
路のうちのどのD/A変換回路に入力されるかが、D/
A入れ替えデータ処理回路412から入力されるD/A
第1入れ替え信号によって決められる。
The D / A first switching circuit 409 converts the input digital distribution signals (Dv1 to Dvm) into D / A
The D / A conversion circuit (410_1) receives a D / A first replacement signal input from the replacement data processing circuit 412.
To 410 — m). At this time, one digital distribution signal (Dv1 to Dvm) to be input and one D / A conversion circuit (410_1 to 410_m) correspond one-to-one. Which D / A conversion circuit among the l D / A conversion circuits is input to which D / A conversion circuit among the l digital distribution signals is D / A.
D / A input from A replacement data processing circuit 412
It is determined by the first replacement signal.

【0283】D/A変換回路(410_1〜410_
m)に入力されたl個のデジタルの分配信号(Dv1〜
Dvm)は、各D/A変換回路においてl個のアナログ
の分配信号(Av1〜Avm)に変換され、D/A第2
入れ替え回路411に入力される。
The D / A conversion circuits (410_1 to 410_
m) and l digital distribution signals (Dv1-Dv1)
Dvm) is converted into 1 analog distribution signal (Av1 to Avm) in each D / A conversion circuit, and the D / A second
It is input to the replacement circuit 411.

【0284】D/A第2入れ替え回路411は、D/A
入れ替えデータ処理回路412から入力されるD/A第
2入れ替え信号によって、D/A変換回路(410_1
〜410_m)から出力されたl個のアナログの分配信
号(Av1〜Avm)をそれぞれ予め定められているl
個の分割回路に入力する。つまりD/A第1入れ替え信
号によってl個のデジタルの分配信号(Dv1〜Dv
m)のそれぞれが、どのD/A変換回路(410_1〜
410_m)に入力されるかに拘わらず、l個のD/A
変換回路(410_1〜410_m)から出力されたl
個のアナログの分配信号(Av1〜Avm)を、予め定
められているl個の分割回路に入力する。
The D / A second exchange circuit 411 is provided with a D / A
The D / A conversion circuit (410_1) receives the D / A second replacement signal input from the replacement data processing circuit 412.
To 410 — m), and outputs the l analog distribution signals (Av1 to Avm) respectively
Input to the divided circuits. That is, one digital distribution signal (Dv1 to Dv1) is generated by the D / A first exchange signal.
m) is any of the D / A conversion circuits (410_1 to 410_1).
410_m), l D / A
L output from the conversion circuits (410_1 to 410_m)
The analog distribution signals (Av1 to Avm) are input to l predetermined dividing circuits.

【0285】l個の分割回路に入力されたl個のアナロ
グの分配信号(Av1〜Avm)は、m個の分割ビデオ
信号に変換され出力される。以下は、実施の形態におい
て上述した通りであるので説明は省略する。
[0285] The l analog distribution signals (Av1 to Avm) input to the l division circuits are converted into m divided video signals and output. The following is the same as described in the embodiment, and the description is omitted.

【0286】本発明は上記構成によって、特性が異なる
D/A変換回路から出力されたアナログの分配信号が、
他のD/A変換回路から出力されたアナログの分配信号
との間に電位差を有していることによって、画面中に明
暗による縞(分割縞)が表示されても、ある期間ごとに
その分割縞の表示される位置が移動する。そのため画面
中に分割縞が表示されても、観察者に視認されにくい。
According to the present invention, an analog distribution signal output from a D / A conversion circuit having different characteristics can be obtained by the above configuration.
Since there is a potential difference between analog distribution signals output from other D / A conversion circuits, even if light and dark fringes (divided fringes) are displayed on the screen, they are divided every certain period. The position where the stripe is displayed moves. Therefore, even if the divisional stripes are displayed on the screen, it is difficult for the observer to visually recognize the divisional stripes.

【0287】なお本発明ではデジタルの分配信号とD/
A変換回路の組み合わせが変わってから、次にまたその
組み合わせが変わるまでの期間を分割縞が観察者に視認
されにくい程度の長さに設定することが重要である。D
/A変換回路の組み合わせが変わってから、次にまたそ
の組み合わせが変わるまでの期間は、言い換えるとD/
A第1入れ替え信号及び第2切り替え信号の有する情報
が変化してから、次にまたD/A第1入れ替え信号及び
第2切り替え信号の有する情報が変わるまでの期間にも
相当する。
In the present invention, digital distribution signals and D /
It is important to set a period from the time when the combination of the A conversion circuits is changed to the time when the combination is changed again to a length that makes it difficult for the observer to visually recognize the divided stripes. D
The period between the change of the combination of the / A conversion circuit and the next change of the combination is, in other words, D /
This corresponds to a period from when the information of the A first switching signal and the second switching signal changes to when the information of the D / A first switching signal and the second switching signal changes next time.

【0288】デジタルの分配信号とD/A変換回路の組
み合わせが変わるまでの期間は短い方が好ましく、より
分割縞が観察者に視認されにくくなる。本実施例におい
ては、1フレーム期間ごとに、デジタルの分配信号とD
/A変換回路の組み合わせが変わるように設定する。
It is preferable that the period until the combination of the digital distribution signal and the D / A conversion circuit changes is shorter, and the divided stripes are more difficult to be visually recognized by the observer. In the present embodiment, a digital distribution signal and D
The setting is made so that the combination of the / A conversion circuits changes.

【0289】よって、本発明は分割駆動を行う際に、観
察者に分割縞が視認されにくい。そしてなおかつ分割駆
動することによって、アクティブマトリクス型半導体表
示装置の水平方向の画素数を増やしても、ソース信号線
駆動回路の駆動周波数を抑えつつ表示画像のチラツキや
フリッカを防ぐことができ、高精細、高解像度、多階調
の画像の表示が可能になる。
Therefore, in the present invention, when performing the division driving, the division stripes are not easily recognized by the observer. Even by increasing the number of pixels in the horizontal direction of the active matrix type semiconductor display device, it is possible to suppress flickering and flickering of the displayed image while suppressing the driving frequency of the source signal line driving circuit, by performing the division driving. It is possible to display a high-resolution, multi-tone image.

【0290】なお図32及び図33に示した構成の他
に、D/A変換回路に入力する前に、D/A変換回路と
信号との組み合わせを入れ替え、バッファ回路から信号
が出力された後に、入れ替えた組み合わせを元に戻すよ
うにしても良い。詳しく説明すると、マルチプレクサ回
路404から出力されたデジタル分配信号を、D/A変
換回路(410_1〜410_m)に入力する前にD/
A第1入れ替え回路409で組み替えて、D/A変換回
路から出力されたアナログ分配信号をD/A第2入れ替
え回路411を経ずにそのまま分割回路406に入力す
る。そして分割回路から出力された分割ビデオ信号を第
1入れ替え回路108を経ずにそのままバッファ回路
(109_1〜109_m)に入力し、バッファ回路か
ら出力された分割ビデオ信号を、第2入れ替え回路11
0において組み合わせを入れ替えることで、組み替えを
元に戻す構成にしても良い。
In addition to the configuration shown in FIGS. 32 and 33, the combination of the D / A conversion circuit and the signal is switched before input to the D / A conversion circuit, and after the signal is output from the buffer circuit. Alternatively, the replaced combination may be restored. More specifically, before the digital distribution signal output from the multiplexer circuit 404 is input to the D / A conversion circuits (410_1 to 410_m), the digital distribution signal
The analog distribution signal output from the D / A conversion circuit is rearranged by the A first replacement circuit 409 and directly input to the division circuit 406 without passing through the D / A second replacement circuit 411. The divided video signal output from the dividing circuit is directly input to the buffer circuits (109_1 to 109_m) without passing through the first switching circuit 108, and the divided video signal output from the buffer circuit is converted to the second switching circuit 11
By changing the combination at 0, the configuration may be changed back to the original.

【0291】そしてさらに、本実施例に示した構成は、
実施の形態1及び実施例3で示した構成に比べ、より観
察者に分割縞を視認されにくくすることができる。
Further, the configuration shown in this embodiment is
Compared with the configurations shown in the first embodiment and the third embodiment, it is possible to make it more difficult for an observer to visually recognize the divisional stripes.

【0292】(実施例15)本発明は様々な半導体表示
装置(アクティブマトリクス型液晶ディスプレイ、アク
ティブマトリクス型発光装置、アクティブマトリクス型
ECディスプレイ)に用いることができる。即ち、それ
ら電気光学装置を表示媒体として組み込んだ半導体表示
装置全てに本発明を実施できる。
(Embodiment 15) The present invention can be used for various semiconductor display devices (active matrix liquid crystal display, active matrix light emitting device, active matrix EC display). That is, the present invention can be applied to all semiconductor display devices incorporating such electro-optical devices as display media.

【0293】その様な半導体表示装置としては、ビデオ
カメラ、デジタルカメラ、プロジェクター(リア型また
はフロント型)、ヘッドマウントディスプレイ(ゴーグ
ル型ディスプレイ)、ゲーム機、カーナビゲーション、
パーソナルコンピュータ、携帯情報端末(モバイルコン
ピュータ、携帯電話または電子書籍等)などが挙げられ
る。それらの一例を図29、図30及び図31に示す。
Examples of such a semiconductor display device include a video camera, a digital camera, a projector (rear or front type), a head mounted display (goggle type display), a game machine, a car navigation system,
Examples include a personal computer and a portable information terminal (a mobile computer, a mobile phone, an electronic book, or the like). Examples of these are shown in FIGS. 29, 30 and 31.

【0294】図29(A)はパーソナルコンピュータで
あり、本体7001、映像入力部7002、表示装置7
003、キーボード7004で構成される。本発明の半
導体表示装置を表示装置7003に適用することができ
る。
FIG. 29A shows a personal computer, which includes a main body 7001, a video input section 7002, and a display device 7.
003 and a keyboard 7004. The semiconductor display device of the present invention can be applied to the display device 7003.

【0295】図29(B)はビデオカメラであり、本体
7101、表示装置7102、音声入力部7103、操
作スイッチ7104、バッテリー7105、受像部71
06で構成される。本発明の半導体表示装置を表示装置
7102に適用することができる。
FIG. 29B shows a video camera, which includes a main body 7101, a display device 7102, an audio input portion 7103, operation switches 7104, a battery 7105, and an image receiving portion 71.
06. The semiconductor display device of the present invention can be applied to the display device 7102.

【0296】図29(C)はモバイルコンピュータ(モ
ービルコンピュータ)であり、本体7201、カメラ部
7202、受像部7203、操作スイッチ7204、表
示装置7205で構成される。本発明の半導体表示装置
は表示装置7205に適用できる。
FIG. 29C shows a mobile computer (mobile computer), which includes a main body 7201, a camera section 7202, an image receiving section 7203, operation switches 7204, and a display device 7205. The semiconductor display device of the present invention can be applied to the display device 7205.

【0297】図29(D)はゴーグル型ディスプレイで
あり、本体7301、表示装置7302、アーム部73
03で構成される。本発明の半導体表示装置は表示装置
7302に適用することができる。
FIG. 29D shows a goggle type display, which comprises a main body 7301, a display device 7302, and an arm portion 73.
03. The semiconductor display device of the present invention can be applied to the display device 7302.

【0298】図29(E)はプログラムを記録した記録
媒体(以下、記録媒体と呼ぶ)を用いるプレーヤーであ
り、本体7401、表示装置7402、スピーカ部74
03、記録媒体7404、操作スイッチ7405で構成
される。なお、この装置は記録媒体としてDVD(Di
gital Versatile Disc)、CD等
を用い、音楽鑑賞や映画鑑賞やゲームやインターネット
を行うことができる。本発明の半導体表示装置は表示装
置7402に適用することができる。
FIG. 29E shows a player using a recording medium on which a program is recorded (hereinafter, referred to as a recording medium), which includes a main body 7401, a display device 7402, and a speaker 74.
03, a recording medium 7404, and operation switches 7405. This device uses a DVD (Di) as a recording medium.
A digital versatile disc), a CD, and the like can be used for music appreciation, movie appreciation, games, and the Internet. The semiconductor display device of the present invention can be applied to the display device 7402.

【0299】図30(A)はフロント型プロジェクター
であり、光源光学系及び表示装置7601、スクリーン
7602で構成される。本発明の半導体表示装置は表示
装置7601に適用することができる。
FIG. 30A shows a front type projector, which comprises a light source optical system, a display device 7601, and a screen 7602. The semiconductor display device of the present invention can be applied to the display device 7601.

【0300】図30(B)はリア型プロジェクターであ
り、本体7701、光源光学系及び表示装置7702、
ミラー7703、ミラー7704、スクリーン7705
で構成される。本発明の半導体表示装置は表示装置77
02に適用することができる。
FIG. 30B shows a rear projector, in which a main body 7701, a light source optical system and a display device 7702,
Mirror 7703, mirror 7704, screen 7705
It consists of. The semiconductor display device of the present invention is a display device 77.
02 can be applied.

【0301】なお、図30(C)は、図30(A)及び
図30(B)中における光源光学系及び表示装置760
1、7702の構造の一例を示した図である。光源光学
系及び表示装置7601、7702は、光源光学系78
01、ミラー7802、7804〜7806、ダイクロ
イックミラー7803、光学系7807、表示装置78
08、位相差板7809、投射光学系7810で構成さ
れる。投射光学系7810は、投射レンズを備えた複数
の光学レンズで構成される。この構成は、表示装置78
08を三つ使用しているため三板式と呼ばれている。ま
た、図30(C)中において矢印で示した光路に実施者
が適宜、光学レンズや、偏光機能を有するフィルムや、
位相差を調節するためのフィルム、IRフィルム等を設
けてもよい。
[0301] FIG. 30C shows the light source optical system and the display device 760 shown in FIGS. 30A and 30B.
1 is a diagram showing an example of the structure of 7702. FIG. The light source optical system and the display devices 7601 and 7702 are
01, mirrors 7802, 7804 to 7806, dichroic mirror 7803, optical system 7807, display device 78
08, a phase difference plate 7809, and a projection optical system 7810. The projection optical system 7810 includes a plurality of optical lenses provided with a projection lens. This configuration corresponds to the display 78
It is called a three-plate type because it uses three 08s. In addition, the practitioner may appropriately place an optical lens, a film having a polarizing function, or the like on the optical path indicated by the arrow in FIG.
A film for adjusting the phase difference, an IR film, or the like may be provided.

【0302】また、図30(D)は、図30(C)中に
おける光源光学系7801の構造の一例を示した図であ
る。本実施例では、光源光学系7801は、リフレクタ
ー7811、光源7812、レンズアレイ7813、7
814、偏光変換素子7815、集光レンズ7816で
構成される。なお、図30(D)に示した光源光学系は
一例であって特に限定されない。例えば、光源光学系に
実施者が適宜、光学レンズや、偏光機能を有するフィル
ムや、位相差を調節するフィルム、IRフィルム等を設
けてもよい。
FIG. 30D is a view showing an example of the structure of the light source optical system 7801 in FIG. 30C. In the present embodiment, the light source optical system 7801 includes a reflector 7811, a light source 7812, and lens arrays 7813 and 7813.
814, a polarization conversion element 7815, and a condenser lens 7816. Note that the light source optical system shown in FIG. 30D is an example and is not particularly limited. For example, a practitioner may appropriately provide an optical lens, a film having a polarizing function, a film for adjusting a phase difference, an IR film, or the like to the light source optical system.

【0303】図30(C)は三板式の例を示したが、図
31(A)は単板式の一例を示した図である。図31
(A)に示した光源光学系及び表示装置は、光源光学系
7901、表示装置7902、投射光学系7903で構
成される。投射光学系7903は、投射レンズを備えた
複数の光学レンズで構成される。図31(A)に示した
光源光学系及び表示装置は図30(A)及び図30
(B)中における表示装置7601、7702に適用で
きる。また、光源光学系7901は図30(D)に示し
た光源光学系を用いればよい。なお、表示装置7902
にはカラーフィルター(図示しない)が設けられてお
り、表示映像をカラー化している。
FIG. 30 (C) shows an example of a three-plate type, while FIG. 31 (A) shows an example of a single-plate type. FIG.
The light source optical system and the display device illustrated in FIG. 1A include a light source optical system 7901, a display device 7902, and a projection optical system 7903. The projection optical system 7903 includes a plurality of optical lenses provided with a projection lens. The light source optical system and the display device shown in FIG.
The present invention can be applied to the display devices 7601 and 7702 in FIG. The light source optical system 7901 may use the light source optical system shown in FIG. Note that the display device 7902
Is provided with a color filter (not shown) to colorize the displayed image.

【0304】また、図31(B)に示した光源光学系及
び表示装置は、図31(A)の応用例であり、カラーフ
ィルターを設ける代わりに、RGBの回転カラーフィル
ター円板7905を用いて表示映像をカラー化してい
る。図31(B)に示した光源光学系及び表示装置は図
30(A)及び図30(B)中における表示装置760
1、7702に適用できる。
The light source optical system and display device shown in FIG. 31B is an application example of FIG. 31A, and uses a rotating color filter disk 7905 of RGB instead of providing a color filter. The display image is colorized. The light source optical system and the display device shown in FIG. 31B are the display device 760 in FIGS. 30A and 30B.
1, 7702.

【0305】また、図31(C)に示した光源光学系及
び表示装置は、カラーフィルターレス単板式と呼ばれて
いる。この方式は、表示装置7916にマイクロレンズ
アレイ7915を設け、ダイクロイックミラー(緑)7
912、ダイクロイックミラー(赤)7913、ダイク
ロイックミラー(青)7914を用いて表示映像をカラ
ー化している。投射光学系7917は、投射レンズを備
えた複数の光学レンズで構成される。図31(C)に示
した光源光学系及び表示装置は図30(A)及び図30
(B)中における光源光学系及び表示装置7601、7
702に適用できる。また、光源光学系7911として
は、光源の他に結合レンズ、コリメータレンズを用いた
光学系を用いればよい。
The light source optical system and the display device shown in FIG. 31C are called a color filterless single plate type. In this method, a microlens array 7915 is provided on a display device 7916, and a dichroic mirror (green) 7 is provided.
912, a dichroic mirror (red) 7913, and a dichroic mirror (blue) 7914 are used to colorize the display image. The projection optical system 7917 includes a plurality of optical lenses provided with a projection lens. The light source optical system and the display device shown in FIG.
(B) Light source optical system and display devices 7601 and 7 in FIG.
702. As the light source optical system 7911, an optical system using a coupling lens and a collimator lens in addition to the light source may be used.

【0306】以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広
く、あらゆる分野の半導体表示装置に適用することが可
能である。
As described above, the applicable range of the present invention is extremely wide, and it can be applied to semiconductor display devices in all fields.

【0307】[0307]

【発明の効果】本発明は上記構成によって、特性が異な
るバッファ回路から出力された分割ビデオ信号が、他の
分割ビデオ信号との間に電位差を有していることによっ
て画面中に明暗による縞(分割縞)が表示されても、あ
る期間ごとにその分割縞の表示される位置が移動する。
そのため画面中に分割縞が表示されても、観察者に視認
されにくい。
According to the present invention, the divided video signal output from the buffer circuit having different characteristics has a potential difference between the divided video signal and the other divided video signals. Even if the divisional stripe is displayed, the position where the divisional stripe is displayed moves every certain period.
Therefore, even if the divisional stripes are displayed on the screen, it is difficult for the observer to visually recognize the divisional stripes.

【0308】よって、本発明は分割駆動を行う際に、観
察者に分割縞が視認されにくい。そしてなおかつ分割駆
動することによって、アクティブマトリクス型半導体表
示装置の水平方向の画素数を増やしても、ソース信号線
駆動回路の駆動周波数を抑えつつ表示画像のチラツキや
フリッカを防ぐことができ、高精細、高解像度、多階調
の画像の表示が可能になる。
Therefore, in the present invention, when performing the division driving, the division stripes are not easily recognized by the observer. Even by increasing the number of pixels in the horizontal direction of the active matrix type semiconductor display device, it is possible to suppress flickering and flickering of the displayed image while suppressing the driving frequency of the source signal line driving circuit, by performing the division driving. It is possible to display a high-resolution, multi-tone image.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の分割ビデオ信号を生成する回路群の
ブロック図。
FIG. 1 is a block diagram of a circuit group for generating a divided video signal according to the present invention.

【図2】 分割ビデオ信号を生成する回路群の一部のブ
ロック図。
FIG. 2 is a block diagram of a part of a circuit group that generates a divided video signal.

【図3】 入れ替えデータ回路のブロック図。FIG. 3 is a block diagram of a replacement data circuit.

【図4】 本発明のアクティブマトリクス型液晶の半導
体表示装置の上面概略図。
FIG. 4 is a schematic top view of an active matrix liquid crystal semiconductor display device of the present invention.

【図5】 本発明のアナログのアクティブマトリクス型
液晶の半導体表示装置の駆動方法を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing a method for driving an analog active matrix liquid crystal semiconductor display device of the present invention.

【図6】 ソース信号線駆動回路の回路図。FIG. 6 is a circuit diagram of a source signal line driver circuit.

【図7】 アナログスイッチ及びレベルシフト回路の等
価回路図。
FIG. 7 is an equivalent circuit diagram of an analog switch and a level shift circuit.

【図8】 本発明の分割ビデオ信号を生成する回路群の
ブロック図。
FIG. 8 is a block diagram of a circuit group for generating a divided video signal according to the present invention.

【図9】 分割ビデオ信号を生成する回路群の一部のブ
ロック図。
FIG. 9 is a block diagram of a part of a circuit group for generating a divided video signal.

【図10】 入れ替えデータ回路のブロック図。FIG. 10 is a block diagram of a replacement data circuit.

【図11】 本発明のアクティブマトリクス型液晶の半
導体表示装置の上面概略図。
FIG. 11 is a schematic top view of an active matrix liquid crystal semiconductor display device of the present invention.

【図12】 ソース信号線駆動回路の回路図。FIG. 12 is a circuit diagram of a source signal line driver circuit.

【図13】 本発明の分割ビデオ信号を生成する回路群
のブロック図。
FIG. 13 is a block diagram of a circuit group for generating a divided video signal according to the present invention.

【図14】 分割ビデオ信号を生成する回路群の一部の
ブロック図。
FIG. 14 is a block diagram of a part of a circuit group that generates a divided video signal.

【図15】 本発明のアクティブマトリクス型液晶表示
装置の上面概略図。
FIG. 15 is a schematic top view of an active matrix liquid crystal display device of the present invention.

【図16】 本発明の半導体表示装置の斜視図。FIG. 16 is a perspective view of a semiconductor display device of the present invention.

【図17】 従来の分割ビデオ信号を生成する回路群の
ブロック図。
FIG. 17 is a block diagram of a conventional circuit group for generating a divided video signal.

【図18】 本発明に用いられるTFTの作製行程を示
す図。
FIG. 18 is a diagram showing a manufacturing process of a TFT used in the present invention.

【図19】 本発明に用いられるTFTの作製行程を示
す図。
FIG. 19 is a diagram showing a manufacturing process of a TFT used in the present invention.

【図20】 本発明に用いられるTFTの作製行程を示
す図。
FIG. 20 is a diagram showing a manufacturing process of a TFT used in the present invention.

【図21】 本発明に用いられるTFTの作製行程を示
す図。
FIG. 21 is a diagram showing a manufacturing process of a TFT used in the present invention.

【図22】 本発明に用いられるTFTの作製行程を示
す図。
FIG. 22 is a diagram showing a manufacturing process of a TFT used in the present invention.

【図23】 本発明を用いた発光装置の上面図及び断面
図。
23A and 23B are a top view and a cross-sectional view of a light-emitting device using the present invention.

【図24】 本発明を用いた発光装置の上面図及び断面
図。
24A and 24B are a top view and a cross-sectional view of a light-emitting device using the present invention.

【図25】 本発明を用いた発光装置の断面図。FIG. 25 is a cross-sectional view of a light emitting device using the present invention.

【図26】 本発明を用いた発光装置の上面図及び回路
図。
26A and 26B are a top view and a circuit diagram of a light-emitting device using the present invention.

【図27】 本発明を用いた発光装置の断面図。FIG. 27 is a cross-sectional view of a light emitting device using the present invention.

【図28】 本発明を用いた発光装置の回路図。FIG. 28 is a circuit diagram of a light emitting device using the present invention.

【図29】 本発明を用いた半導体表示装置の図。FIG. 29 is a diagram of a semiconductor display device using the present invention.

【図30】 本発明を用いた液晶プロジェクターの図。FIG. 30 is a diagram of a liquid crystal projector using the present invention.

【図31】 本発明を用いた単板式液晶プロジェクター
の図。
FIG. 31 is a diagram of a single-panel liquid crystal projector using the present invention.

【図32】 本発明の分割ビデオ信号を生成する回路群
のブロック図。
FIG. 32 is a block diagram of a circuit group for generating a divided video signal according to the present invention.

【図33】 分割ビデオ信号を生成する回路群の一部の
ブロック図。
FIG. 33 is a block diagram of a part of a circuit group for generating a divided video signal.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 制御回路 102 A/D変換回路 103 γ補正回路 104 D/A変換回路 105 分割回路 106 入れ替えデータ回路 108 第1入れ替え回路 109 バッファ回路 110 第2入れ替え回路 111 入れ替えデータ処理回路 112 カウンタ回路 113 メモリ回路 115 ソース信号線駆動回路 116 ゲート信号線駆動回路 117 ソース信号線 118 ゲート信号線 119 画素 120 画素部 121 画素TFT 122 液晶セル 123 保持容量 Reference Signs List 101 control circuit 102 A / D conversion circuit 103 gamma correction circuit 104 D / A conversion circuit 105 division circuit 106 replacement data circuit 108 first replacement circuit 109 buffer circuit 110 second replacement circuit 111 replacement data processing circuit 112 counter circuit 113 memory circuit 115 Source signal line drive circuit 116 Gate signal line drive circuit 117 Source signal line 118 Gate signal line 119 Pixel 120 Pixel section 121 Pixel TFT 122 Liquid crystal cell 123 Storage capacity

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09G 3/20 623 G09G 3/20 623B 631 631Q 642 642A 680 680V 3/32 3/32 A ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G09G 3/20 623 G09G 3/20 623B 631 631 631Q 642 642A 680 680V 3/32 3/32 A

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】m個のバッファ回路とソース信号線駆動回
路とを有する半導体表示装置であって、 前記m個のバッファ回路のそれぞれは、パラレルデータ
であるm個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応してお
り、 前記m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応するm個の
バッファ回路は、ある一定の期間ごとに互いに入れ替わ
り、 前記m個のバッファ回路に入力された前記m個の分割ビ
デオ信号は、前記m個のバッファ回路から出力されて前
記ソース信号線駆動回路に入力され、 前記ソース信号線駆動回路に入力された前記m個の分割
ビデオ信号は、サンプリングされ、前記m個の各分割ビ
デオ信号に対応する既定のm本のソース信号線にそれぞ
れ入力されることを特徴とする半導体表示装置。
1. A semiconductor display device having m buffer circuits and a source signal line drive circuit, wherein each of the m buffer circuits corresponds to each of m divided video signals that are parallel data. The m buffer circuits corresponding to each of the m divided video signals are replaced with each other every predetermined period, and the m divided video signals input to the m buffer circuits are , The m divided video signals output from the m buffer circuits and input to the source signal line driving circuit, and input to the source signal line driving circuit, are sampled, and the m divided video signals are sampled. A semiconductor display device, which is input to predetermined m source signal lines corresponding to signals.
【請求項2】分割回路と、第1入れ替え回路と、第2入
れ替え回路と、m個のバッファ回路と、ソース信号線駆
動回路とを有する半導体表示装置であって、 ビデオ信号がシリアル−パラレル変換されて形成された
m個の分割ビデオ信号が前記分割回路から出力され、 前記分割回路から出力されたm個の分割ビデオ信号は、
前記第1入れ替え回路に入力され、 前記第1入れ替え回路に入力されたm個の分割ビデオ信
号は、それぞれ対応する前記m個のバッファ回路に入力
され、 前記m個のバッファ回路に入力されたm個の分割ビデオ
信号は、前記m個のバッファ回路から出力されて前記第
2入れ替え回路に入力され、 前記第2入れ替え回路に入力されたm個の分割ビデオ信
号は、前記m個の各分割ビデオ信号に対応する既定のm
本の分割ビデオ信号線にそれぞれ入力され、 前記m本の分割ビデオ信号線に入力されたm個の分割ビ
デオ信号は、前記ソース信号線駆動回路に入力されてサ
ンプリングされ、前記m個の各分割ビデオ信号に対応す
る既定のm本のソース信号線にそれぞれ入力され、 前記m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応するm個の
バッファ回路は、ある一定の期間ごとに互いに入れ替わ
ることを特徴とする半導体表示装置。
2. A semiconductor display device comprising a division circuit, a first replacement circuit, a second replacement circuit, m buffer circuits, and a source signal line driving circuit, wherein a video signal is converted from a serial-parallel signal. M divided video signals formed by the division are output from the division circuit. The m division video signals output from the division circuit are:
The m divided video signals input to the first replacement circuit and input to the first replacement circuit are input to the corresponding m buffer circuits, respectively, and the m input video signals are input to the m buffer circuits. The divided video signals are output from the m buffer circuits and input to the second permutation circuit. The m divided video signals input to the second permutation circuit are divided into the m divided video signals. Default m corresponding to the signal
The m divided video signals input to the m divided video signal lines, respectively, are input to the source signal line driving circuit and sampled, and the m divided video signals are input to the m divided video signal lines. The m buffer circuits respectively input to the predetermined m source signal lines corresponding to the video signals and corresponding to the m divided video signals are replaced with each other at certain intervals. Semiconductor display device.
【請求項3】分割回路と、第1入れ替え回路と、m個の
バッファ回路と、ソース信号線駆動回路とを有する半導
体表示装置であって、 前記ソース信号線駆動回路は第2入れ替え回路を有して
おり、 ビデオ信号がシリアル−パラレル変換されて形成された
m個の分割ビデオ信号が前記分割回路から出力され、 前記分割回路から出力されたm個の分割ビデオ信号は、
前記第1入れ替え回路に入力され、 前記第1入れ替え回路に入力されたm個の分割ビデオ信
号は、それぞれ対応する前記m個のバッファ回路に入力
され、 前記m個のバッファ回路に入力されたm個の分割ビデオ
信号は、前記m個のバッファ回路から出力されて前記第
2入れ替え回路に入力され、 前記第2入れ替え回路に入力されたm個の分割ビデオ信
号は、サンプリングされ、前記m個の各分割ビデオ信号
に対応する既定のm本のソース信号線にそれぞれ入力さ
れ、 前記m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応するm個の
バッファ回路は、ある一定の期間ごとに互いに入れ替わ
ることを特徴とする半導体表示装置。
3. A semiconductor display device having a dividing circuit, a first switching circuit, m buffer circuits, and a source signal line driving circuit, wherein the source signal line driving circuit has a second switching circuit. M divided video signals formed by serial-to-parallel conversion of the video signal are output from the dividing circuit, and the m divided video signals output from the dividing circuit are:
The m divided video signals input to the first replacement circuit and input to the first replacement circuit are input to the corresponding m buffer circuits, respectively, and the m input video signals are input to the m buffer circuits. The divided video signals are output from the m buffer circuits and input to the second permutation circuit. The m divided video signals input to the second permutation circuit are sampled, and the m divided video signals are sampled. The m buffer circuits respectively input to the predetermined m source signal lines corresponding to the respective divided video signals, and the m buffer circuits corresponding to the respective m divided video signals are replaced with each other at predetermined intervals. Semiconductor display device.
【請求項4】請求項1乃至請求項3のいずれか1項にお
いて、前記m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応する
m個のバッファ回路の入れ替えは、入れ替えデータ回路
において制御されることを特徴とする半導体表示装置。
4. The replacement data circuit according to claim 1, wherein replacement of the m buffer circuits corresponding to each of the m divided video signals is controlled by a replacement data circuit. Semiconductor display device.
【請求項5】請求項1乃至請求項4のいずれか1項にお
いて、前記m個の分割ビデオ信号のそれぞれに対応する
m個のバッファ回路が互いにどの様に入れ替わるかが、
入れ替えデータ回路において決められていることを特徴
とする半導体表示装置。
5. The method according to claim 1, wherein the m buffer circuits corresponding to the m divided video signals are replaced with each other.
A semiconductor display device characterized by being determined in a replacement data circuit.
【請求項6】請求項5において、前記入れ替えデータ回
路はメモリ回路とカウンタ回路とを有しており、 前記メモリ回路には、前記m個の分割ビデオ信号のそれ
ぞれに対応するm個のバッファ回路の組み合わせについ
ての情報を有する入れ替えデータが複数記憶されてお
り、前記カウンタ回路によって前記入れ替えデータの1
つが選択されることを特徴とする半導体表示装置。
6. The replacement data circuit according to claim 5, further comprising a memory circuit and a counter circuit, wherein the memory circuit includes m buffer circuits corresponding to the m divided video signals, respectively. A plurality of pieces of exchange data having information on combinations of the above are stored, and one of the pieces of exchange data is stored by the counter circuit.
One of which is selected.
【請求項7】マルチプレクサ回路とl個のD/A変換回
路とl個の分割回路とを有する半導体表示装置であっ
て、 前記l個のD/A変換回路のそれぞれは、前記マルチプ
レクサ回路から出力されたl個のデジタルの分配信号の
それぞれに対応しており、 前記l個のデジタルの分配信号のそれぞれに対応するl
個のD/A変換回路は、ある一定の期間ごとに互いに入
れ替わり、 前記l個のD/A変換回路に入力された前記l個のデジ
タルの分配信号は、l個のアナログの分配信号に変換さ
れて、それぞれ対応する既定の前記l個の分割回路に入
力されることを特徴とする半導体表示装置。
7. A semiconductor display device having a multiplexer circuit, one D / A conversion circuit, and one division circuit, wherein each of the one D / A conversion circuits outputs an output from the multiplexer circuit. Corresponding to each of the l digital distribution signals, and l corresponding to each of the l digital distribution signals.
The D / A conversion circuits are replaced with each other at certain intervals, and the l digital distribution signals input to the l D / A conversion circuits are converted into l analog distribution signals. And input to each of the predetermined l divided circuits corresponding thereto.
【請求項8】請求項1乃至請求項7のいずれか1項にお
いて、液晶を用いていることを特徴とする半導体表示装
置。
8. A semiconductor display device according to claim 1, wherein a liquid crystal is used.
【請求項9】請求項1乃至請求項7のいずれか1項にお
いて、発光素子を用いていることを特徴とする半導体表
示装置。
9. A semiconductor display device according to claim 1, wherein a light-emitting element is used.
【請求項10】請求項1乃至請求項9のいずれか1項に
記載の前記半導体表示装置を用いることを特徴とする電
子機器。
10. An electronic apparatus using the semiconductor display device according to any one of claims 1 to 9.
【請求項11】請求項10において、コンピュータであ
ることを特徴とする電子機器。
11. The electronic device according to claim 10, wherein the electronic device is a computer.
【請求項12】請求項10において、ビデオカメラであ
ることを特徴とする電子機器。
12. An electronic apparatus according to claim 10, wherein said electronic apparatus is a video camera.
【請求項13】請求項10において、DVDプレーヤー
であることを特徴とする電子機器。
13. The electronic device according to claim 10, wherein the electronic device is a DVD player.
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