JP2001242387A - 顕微鏡装置 - Google Patents

顕微鏡装置

Info

Publication number
JP2001242387A
JP2001242387A JP2000054467A JP2000054467A JP2001242387A JP 2001242387 A JP2001242387 A JP 2001242387A JP 2000054467 A JP2000054467 A JP 2000054467A JP 2000054467 A JP2000054467 A JP 2000054467A JP 2001242387 A JP2001242387 A JP 2001242387A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
handle
gear
moving
reduction ratio
fine movement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000054467A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuyuki Miyake
信行 三宅
Hitoshi Sakano
均 坂野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2000054467A priority Critical patent/JP2001242387A/ja
Publication of JP2001242387A publication Critical patent/JP2001242387A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 より細かなピント合わせができ、しかも観察
時における観察者の疲労を最小限に抑えることができる
操作性に優れた顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 焦点合わせのためのスライダ270を上
下動させる粗動ハンドル240と、粗動ハンドル240
よりも大きな減速比でスライダ270を上下動させる微
動ハンドル250とを備えた顕微鏡装置において、顕微
鏡装置本体210を貫く微動軸220及びピニオンケー
ス230の一端に微動ハンドル250及び粗動ハンドル
240を隣接配置し、微動ハンドル250よりも大きな
減速比でスライダ270、すなわちステージを上下動さ
せる超微動ハンドル60を微動軸220及びピニオンケ
ース230の他端に着脱可能に配置した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は顕微鏡装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】今日、顕微鏡装置には、粗動ハンドルと
微動ハンドルとを同軸上に配置した一軸粗微動型のもの
が多い。微動ハンドルを回転したとき、ステージは粗動
ハンドルを回転したときより細かな送り量で上下動す
る。
【0003】図3(a)は従来の一軸粗微動型の顕微鏡
装置を説明する横断面図、図3(b)は図3(a)のb
−b矢視断面図である。
【0004】この顕微鏡装置は、顕微鏡装置本体210
と、微動軸220と、ピニオンケース230と、粗動ハ
ンドル240と、微動ハンドル250と、スライダ27
0とを備える。
【0005】微動軸220は顕微鏡装置本体210を貫
通し、微動軸220の両端が顕微鏡装置本体210の両
側面から突出している。
【0006】ピニオンケース230は、円板部231
と、この円板部231に一体に形成された筒状の粗動軸
232とを備える。筒状の粗動軸232内には微動軸2
20が同軸上に収容されている。
【0007】微動軸220の一端には微動ハンドル25
0と太陽歯車221とが固定されている。
【0008】この太陽歯車221は遊星歯車222と噛
み合い、この遊星歯車222は内歯歯車223と噛み合
っている。遊星歯車222の軸224はピニオンケース
230の円板部232に固定されている。
【0009】内歯歯車223は保持部材211を介して
顕微鏡装置本体210に固定されている。内歯歯車22
3の中心は太陽歯車221と同軸上にある。
【0010】ピニオンケース230の一端の円板部23
1に粗動ハンドル240が固定されている。粗動ハンド
ル240は微動ハンドル250より大径であり、この粗
動ハンドル240の外側に小径の微動ハンドル250が
隣接配置されている。
【0011】ピニオンケース230の粗動軸232の中
間部外周にはピニオンギア233が設けられ、このピニ
オンギア233にはラック271が噛み合っている。
【0012】ラック271はステージ(図示せず)を取
り付けたスライダ270に固定されている。このスライ
ダ270はボールレース272を介して顕微鏡本体21
0に上下方向(紙面と直交する方向)へ移動可能に取り
付けられている。
【0013】なお、顕微鏡装置本体210の微動軸22
0の他端には微動ハンドル250が、ピニオンケース2
30の他端には粗動ハンドル240が軸受245を介し
てそれぞれ取り付けられている。
【0014】微動ハンドル250を回転させると、微動
軸220に固定された太陽歯車221が回転し、この太
陽歯車221と噛み合う遊星歯車222が太陽歯車22
1の周りを公転しながら軸224を中心として自転す
る。
【0015】遊星歯車222の公転に伴ってピニオンケ
ース230は微動軸220の周りを回転し、ピニオンギ
ア233に噛み合ったラック271が上下動する。
【0016】このとき、内歯歯車223は静止している
ため、微動軸220に対するピニオンギア233の減速
比γは γ=1/((内歯歯車の歯数/太陽歯車の歯数)+1) となる。
【0017】すなわち、ピニオンギア233は微動ハン
ドル250より減速比γだけ減速されて回転する。
【0018】そのため、微動ハンドル250は細かな送
り量でステージを上下動させて正確なピント合わせを行
うことができる。
【0019】一方、粗動ハンドル240を回転させる
と、ピニオンギア233は粗動ハンドル240と同じ回
転数だけ回転し、ラック271が上下動する。
【0020】そのため、粗動ハンドル240の回転数に
応じてステージを上下動させて迅速なピント合わせを行
うことができる。
【0021】図4は従来の顕微鏡装置の操作を説明する
図である。
【0022】観察者Mは、観察を行うとき、例えば右手
で粗動ハンドル240を左手で微動ハンドル250をそ
れぞれ回転させて被検物を載置したステージ275を上
下動させ、ピント合わせを行なう。
【0023】このとき、粗動ハンドル240及び微動ハ
ンドル250は、観察者Mから左右等距離にあるので、
観察者Mは顕微鏡装置に対して身体をひねることなく、
左右同じ位置で同じ操作を行なうことができる。そのた
め、観察者Mは自然な姿勢で観察することができ、疲労
を最小限に抑えることができる。
【0024】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、半導
体等の工業製品の微細化構造の観察や細胞組織の詳細観
察が行なわれるようになり、従来の顕微鏡装置より細か
なピント合わせができる顕微鏡装置が要求されるように
なってきている。
【0025】これに対して以下の方法によって対処する
ことができる。
【0026】粗動ハンドル240及び微動ハンドル2
50の減速比を大きくする。
【0027】しかし、この方法では上記要求に対処する
ことはできるが、ステージの送りが細かすぎるため、通
常の観察においては粗動ハンドル240及び微動ハンド
ル250をより多く回転させなければならず、操作性が
悪い。
【0028】従来の粗動ハンドル240及び微動ハン
ドル250をそのまま残し、同軸上の外側に減速比がよ
り大きい超微動ハンドルを追加する。
【0029】しかし、粗動ハンドル240の外側に隣接
配置された微動ハンドル250の外側に超微動ハンドル
を更に隣接配置すると、顕微鏡装置の左右の出っ張りが
非常に大きくなり、操作性が悪くなる。
【0030】これに対し、顕微鏡装置の左右の出っ張り
が大きくならないように各ハンドルの厚さを薄くするこ
ともできるが、ハンドルの厚さを薄くしたときには隣接
するハンドルを誤って回転させてしまうおそれがあり、
操作性が悪い。
【0031】従来の粗動ハンドル240及び微動ハン
ドル250の中心軸を共有しないようにと異なる位置
に、従来の微動ハンドル250よりも大きな減速比の超
微動ハンドルを追加する。
【0032】しかし、粗動ハンドル240及び微動ハン
ドル250を回転させて通常の観察を行った後に超微動
ハンドルを操作して詳細観察を行う場合、超微動ハンド
ルに持ち代える必要があり、操作性が悪くなる。
【0033】しかも、超微動ハンドルを回転させるには
観察者Mは顕微鏡装置に対して身体をひねらなくてはな
らず、疲労し易くなる。
【0034】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、細かなピント合わせができ、しかも観察時に
おける観察者の疲労を最小限に抑えることができる操作
性に優れた顕微鏡装置を提供することである。
【0035】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項1記載の発明は、装置本体を貫く駆動軸(22
0,230)と、この駆動軸の一端に取り付けられ、焦
点合わせのための移動部材(スライダ270)を上下動
させる第1のハンドル(粗動ハンドル240)と、前記
駆動軸の他端に取り付けられ、前記移動部材を前記第1
のハンドル(粗動ハンドル240)よりも大きな減速比
で上下動させる第2のハンドル(超微動ハンドル60,
160)とを備え、前記駆動軸の両端に同じ減速比を有
しないことを特徴とする。
【0036】第1のハンドルによって移動部材を上下動
させる。また、第3のハンドルによって第1のハンドル
より大きな減速比で移動部材を上下動させることができ
る。
【0037】請求項2の発明は、請求項1に記載の顕微
鏡装置において、前記移動部材(スライダ270)を前
記第1のハンドル(粗動ハンドル240)と前記第2の
ハンドル(超微動ハンドル60,160)との中間の減
速比で上下動させる第3のハンドル(微動ハンドル25
0)が、前記駆動軸の一端又は他端に取り付けられてい
ることを特徴とする。
【0038】第3のハンドルによって中間の送り量で移
動部材を上下動させて焦点合わせを行なうことができ
る。
【0039】請求項3の発明は、装置本体を貫く駆動軸
と、この駆動軸の一端に取り付けられ、焦点合わせのた
めの移動部材(スライダ270)を上下動させる第1の
ハンドル(粗動ハンドル240)と、前記駆動軸の他端
に取り付けられ、前記移動部材(スライダ270)を前
記第1のハンドル(粗動ハンドル240)よりも大きな
減速比で上下動させる第2のハンドル(超微動ハンドル
60,160)とを備え、前記第1のハンドル(粗動ハ
ンドル240)及び前記第2のハンドル(超微動ハンド
ル60,160)のいずれか一方は前記駆動軸に着脱可
能であることを特徴とする。
【0040】第1のハンドルまたは第2のハンドルを駆
動軸から取り外し、代わりに任意の減速比のハンドルを
取り付けることができる。
【0041】請求項4の発明は、焦点合わせのための移
動部材を上下動させる第1のハンドル(粗動ハンドル2
40)と、前記第1のハンドル(粗動ハンドル240)
よりも大きな減速比で前記移動部材(スライダ270)
を上下動させる第3のハンドル(微動ハンドル250)
とを備え、装置本体を貫く駆動軸の一端に前記第1、第
3のハンドル(粗動ハンドル240,微動ハンドル25
0)が隣接配置され、前記第3のハンドル(微動ハンド
ル250)よりも大きな減速比で前記移動部材を上下動
させる第2のハンドル(超微動ハンドル60,160)
が前記駆動軸の他端に着脱可能に配置されていることを
特徴とする。
【0042】例えば駆動軸の両端にそれぞれ第1、第3
のハンドルが隣接配置されている場合、駆動軸の他端の
第1、第3のハンドルを取り外し、第3のハンドルより
も大きな減速比の第2のハンドルを取り付けることがで
きる。
【0043】請求項5の発明は、焦点合わせのための移
動部材(スライダ270)を上下動させる第1減速比の
第1減速機構(ピニオンケース230、232,23
3)を含む第1のハンドル(粗動ハンドル240)と、
前記第1のハンドルよりも大きな第2減速比で前記移動
部材を上下動させる第2減速機構(ギア66a,66
b,66c、ギア166a,166b)を含む第2のハ
ンドル(超微動ハンドル60,160)と、前記第1減
速比と前記第2減速比との間の第3減速比で前記移動部
材を上下動させる第3減速機構(微動軸220、太陽歯
車221、遊星歯車222、軸224、内歯歯車22
3)を含む第3のハンドルとを備え、前記第1及び第3
のハンドルは顕微鏡本体(210)の一側面に配置さ
れ、また、前記第2のハンドルは前記顕微鏡本体の他側
面に配置され、前記第2減速比を得るために、前記第2
減速機構は前記第3減速機構から連結部材(微動軸22
0、ギア66d、ギア166b)を介して減速させたこ
とを特徴とする。
【0044】第2のハンドルの回転が減速されて第3減
速機構に伝達され、移動部材を上下動させる。
【0045】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
【0046】図1はこの発明の第1実施形態に係る顕微
鏡装置の横断面図であり、従来例と共通する部分には従
来例と同一の符号を付してその説明を省略する。
【0047】この顕微鏡装置は、顕微鏡装置本体210
と、微動軸(微動側駆動軸)220と、ピニオンケース
230と、粗動ハンドル(第1のハンドル)240と、
微動ハンドル(第3のハンドル)250と、超微動ハン
ドル(第2のハンドル)60と、スライダ(移動部材)
270とを備える。
【0048】微動軸220及びピニオンケース230の
他端には、微動ハンドル250及び粗動ハンドル240
(図3参照)に代えて、微動ハンドル50よりも大きな
減速比を有する超微動ハンドル60が取り付けられてい
る。
【0049】この超微動ハンドル60は、第1のギア6
6a、第2のギア66b、第3のギア66c及び筐体8
0を備えている。
【0050】超微動ハンドル60はほぼコの字形状の断
面をもつ。超微動ハンドル60を構成する円筒部61と
円板部62とが一体に成型されている。超微動ハンドル
60の開口部の内周縁には段部63と雌ねじ64とが全
周に亘って形成されている。
【0051】超微動ハンドル60の開口部には押え環8
1を介して環状の筐体80が回転可能に取り付けられて
いる。押え環81の外周面には雌ねじ64と螺合可能な
雄ねじ82が形成されている。
【0052】円板部62にはドライバを挿通するための
孔62aが形成されている。この円板部62は孔62a
を塞ぐための着脱可能な蓋65を備えている。
【0053】超微動ハンドル60はギア列を介して微動
軸220の他端と連結され、ギア列を介して超微動ハン
ドル60の回転運動が微動軸220に伝わる。
【0054】ギア列は、第1のギア66aと、第2のギ
ア66bと、第3のギア66cと、第4のギア66dと
で構成される。
【0055】第1のギア66aは微動軸220と同軸上
にある。すなわち、第1のギア66aの中心軸は微動軸
220の中心軸と一致する。第1のギア66aは超微動
ハンドル60の円板部62のほぼ中心に、超微動ハンド
ル60の成型時にインサート成型されている。
【0056】第2のギア66bは第1のギア66aと噛
み合っている。この第2のギア66bと中心軸を共有
し、第2のギア66bより歯数の少ない第3のギア66
cが第2のギア66bと一体に設けられている。
【0057】第2のギア66b及び第3のギア66cは
筐体80に回転可能に支持されている。第2のギア66
b及び第3のギア66cはナット67によって抜け止め
されている。
【0058】第3のギア66cは微動軸220に取り付
けられる第4のギア66dと噛み合う。
【0059】例えば、第1のギア66aの歯数と第2の
ギア66bの歯数との比を1:3、第3のギア66cの
歯数と第4のギア66dの歯数との比を1:2としたと
き、このギア列による減速比は1/6になる。
【0060】次に、この超微動ハンドルの顕微鏡装置へ
の取付方法を説明する。
【0061】なお、超微動ハンドル60には、第1のギ
ア66a、第2のギア66b、第3のギア66c及び筐
体80が予め組み込まれている。但し、蓋65は未だ取
り付けられていないものとする。
【0062】まず、微動軸220及びピニオンケース2
30の他端に取り付けられている微動ハンドル250、
粗動ハンドル240及び軸受245を取り外す。
【0063】次に、第4のギア66dを微動軸220の
他端に挿入し、第4のギア66dをビス68によって微
動軸220の他端に固定する。
【0064】その後,筐体80の孔85を介して第4の
ギア66dを超微動ハンドル60内に挿入し、第4のギ
ア66dを第3のギア66cに噛み合わせる。
【0065】次に、孔62aを介して止めビス84を挿
入し、ドライバによって止めビス84を締め付けて超微
動ハンドル60を顕微鏡装置本体210に固定する。
【0066】最後に、蓋65を取り付けて孔62aを塞
ぐ。
【0067】通常の観察を行なうとき、右手で粗動ハン
ドル240及び微動ハンドル250を回転してステージ
を上下動させてピント合わせを行なう。このとき、粗動
ハンドル240によって粗いピント合わせを行ない、微
動ハンドル250によって細かいピント合わせを行な
う。
【0068】更に、微細構造物の観察や細胞組織の詳細
観察を行うとき、左手で超微動ハンドル60を回転させ
てステージを上下動させてより細かいピント合わせを行
う。このとき、超微動ハンドル60に設けられたギア列
によって、微動ハンドル250の回転時よりも大きく減
速されてステージが微動ハンドル250よりも細かい送
り量で上下動する。
【0069】この実施形態によれば、粗動ハンドル24
0及び微動ハンドル250と超微動ハンドル60とが観
察者から左右等距離にあるので、顕微鏡装置に対して身
体をひねることなく、自然な姿勢で操作することができ
る。そのため、観察時における疲労を最小限に抑えるこ
とができる。
【0070】また、微動ハンドル250及び粗動ハンド
ル240は微動軸220及びピニオンケース230に着
脱可能であるので、顕微鏡装置の内部を変更することな
く、超微動ハンドル60を後付けで顕微鏡装置に取り付
けることができる。そのため、任意の減速比の超微動ハ
ンドル60を選択することによって従来の顕微鏡装置よ
り細かなピント合わせを容易に行なうことができる。な
お、観察者はギアを選択することによって減速比を1/
6に限らず任意の減速比に変更することができる。
【0071】更に、ギア列が微動軸220に連結してい
るので、非常に細かな送り量を容易に達成できる。
【0072】なお、この実施形態では第1のギア66a
が微動軸220と同軸上にあるが、第1のギア66aの
歯数と第2のギア66bの歯数との比によっては第1の
ギア66aと微動軸220との中心軸が若干ずれる場合
もある。この場合でも、左右のハンドルはほぼ同軸上に
位置するので、同軸上にある場合と同様の効果を得るこ
とができる。
【0073】図2はこの発明の第2実施形態に係る顕微
鏡装置の横断面図であり、第1実施形態と同一部分には
同一符合を付してその説明を省略する。
【0074】この実施形態では、ギア列を第1のギア1
66aと第2のギア166bとで構成している。
【0075】第1のギア166aは超微動ハンドル(第
2のハンドル)160の円板部162のほぼ中心に、超
微動ハンドル160の成型時にインサート成型されてい
る。この第1のギア166aは筐体180に回転可能に
支持されている。第1のギア166aはナット167に
よって抜け止めされている。
【0076】この超微動ハンドル160は、第1のギア
166a、第2のギア166b及び筐体180を備えて
いる。
【0077】第1のギア166aは微動軸20に取り付
けられた第2のギア166bと噛み合っている。
【0078】例えば、第1のギア166aの歯数と第2
のギア166bの歯数との比を1:3としたとき、減速
比は1/3になる。
【0079】次に、この超微動ハンドル160の顕微鏡
装置への取付方法を説明する。
【0080】なお、超微動ハンドル160には、第1の
ギア166a及び筐体180が予め組み込まれている。
但し、蓋165は未だ取り付けられていないものとす
る。
【0081】まず、微動軸220及びピニオンケース2
30の他端に取り付けられている粗動軸232及び微動
ハンドル250、粗動ハンドル240及び軸受245を
取り外す。
【0082】次に、第2のギア166bを微動軸220
の他端に挿入し、ビス185によって微動軸220の他
端に固定する。
【0083】その後,筐体180の開口を介して第2の
ギア166bを超微動ハンドル160内に挿入し、第2
のギア166bを第1のギア166aに噛み合わせる。
【0084】次に、孔162aを介して止めビス184
を挿入し、ドライバによって止めビス184を回転させ
て超微動ハンドル160を顕微鏡装置本体210に固定
する。
【0085】最後に、蓋165をして孔162aを塞
ぐ。
【0086】この実施形態によれば、第1実施形態と同
様の効果を奏することができるとともに、第1実施形態
より部品点数が減少するので、構造が簡素化し、製造コ
ストを低減することができる。
【0087】なお、上記各実施形態では微動軸220及
びピニオンケース230の他端に1つの超微動ハンドル
60を設ける場合で説明したが、減速比の異なる複数の
超微動ハンドルを設けるようにしてもよい。
【0088】また、上記各実施形態では微動軸220及
びピニオンケース230の一端に粗動ハンドル240と
微動ハンドル250とを設けた顕微鏡装置に適用した場
合で説明したが、粗動ハンドル240、微動ハンドル2
50及び超微動ハンドル60,160の配置は任意の組
み合わせでよい。
【0089】
【発明の効果】以上に説明したように請求項1に記載の
発明の顕微鏡装置によれば、第2のハンドルを操作した
とき、従来よりも細かな送り量で移動部材を上下でき、
観察が難しかった半導体等の微細化構造物の観察や細胞
組織の詳細観察を容易に行なうことができる。また、第
1のハンドル及び第2のハンドルを自然な姿勢で操作し
易い同軸上に配置することができ、優れた操作性を有す
る。
【0090】請求項2に記載の発明の顕微鏡装置によれ
ば、種々の送り量が要求される場合に対応することがで
きる。
【0091】請求項3に記載の発明の顕微鏡装置によれ
ば、ハンドルを観察者が望む任意の減速比に容易に変更
して観察を行なうことができる。
【0092】請求項4に記載の発明の顕微鏡装置によれ
ば、第2のハンドルを操作したとき、従来よりもより細
かな送り量で移動部材を上下動でき、観察が難しかった
半導体等の微細化構造物の観察や細胞組織の詳細観察を
容易に行なうことができる。また、第1のハンドル及び
第2のハンドルと第3のハンドルとを自然な姿勢で操作
し易い同軸上に配置することができ、優れた操作性を有
する。
【0093】請求項5に記載の発明の顕微鏡装置によれ
ば、第2のハンドルを粗動側駆動軸に連結した場合より
減速比が大きくなり、非常に細かな送り量を簡単な構成
で容易に達成できる。更に、第2のハンドルを後で取り
付ける場合にも、第3減速機構に連結しているので、取
付けが容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の第1実施形態に係る顕微鏡装
置の横断面図である。
【図2】図2はこの発明の第2実施形態に係る顕微鏡装
置の横断面図である。
【図3】図3(a)は従来の一軸粗微動型の顕微鏡装置
を説明する横断面図、図3(b)は図3(a)のb−b
矢視断面図である。
【図4】図4は従来の顕微鏡装置の操作を説明する図で
ある。
【符号の説明】
60,160 超微動ハンドル(第2のハンドル) 210 顕微鏡装置本体 220 微動軸(微動側駆動軸) 232 粗動軸(粗動側駆動軸) 240 粗動ハンドル(第1のハンドル) 250 微動ハンドル(第3のハンドル) 270 スライダ(移動部材)

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 装置本体を貫く駆動軸と、この駆動軸の
    一端に取り付けられ、焦点合わせのための移動部材を上
    下動させる第1のハンドルと、前記駆動軸の他端に取り
    付けられ、前記移動部材を前記第1のハンドルよりも大
    きな減速比で上下動させる第2のハンドルとを備え、前
    記駆動軸の両端に同じ減速比を有しないことを特徴とす
    る顕微鏡装置。
  2. 【請求項2】 前記移動部材を前記第1のハンドルと前
    記第2のハンドルとの中間の減速比で上下動させる第3
    のハンドルが、前記駆動軸の一端又は他端に取り付けら
    れていることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装
    置。
  3. 【請求項3】 装置本体を貫く駆動軸と、この駆動軸の
    一端に取り付けられ、焦点合わせのための移動部材を上
    下動させる第1のハンドルと、前記駆動軸の他端に取り
    付けられ、前記移動部材を前記第1のハンドルよりも大
    きな減速比で上下動させる第2のハンドルとを備え、 前記第1のハンドル及び前記第2のハンドルのいずれか
    一方は前記駆動軸に着脱可能であることを特徴とする顕
    微鏡装置。
  4. 【請求項4】 焦点合わせのための移動部材を上下動さ
    せる第1のハンドルと、前記第1のハンドルよりも大き
    な減速比で前記移動部材を上下動させる第3のハンドル
    とを備え、 装置本体を貫く駆動軸の一端に前記第1、第3のハンド
    ルが隣接配置され、 前記第3のハンドルよりも大きな減速比で前記移動部材
    を上下動させる第2のハンドルが前記駆動軸の他端に着
    脱可能に配置されていることを特徴とする顕微鏡装置。
  5. 【請求項5】 焦点合わせのための移動部材を上下動さ
    せる第1減速比の第1減速機構を含む第1のハンドル
    と、 前記第1のハンドルよりも大きな第2減速比で前記移動
    部材を上下動させる第2減速機構を含む第2のハンドル
    と、 前記第1減速比と前記第2減速比との間の第3減速比で
    前記移動部材を上下動させる第3減速機構を含む第3の
    ハンドルとを備え、 前記第1及び第3のハンドルは顕微鏡本体の一側面に配
    置され、また、前記第2のハンドルは前記顕微鏡本体の
    他側面に配置され、 前記第2減速比を得るため、前記第2減速機構は前記第
    3減速機構から連結部材を介して減速させたことを特徴
    とする顕微鏡装置。
JP2000054467A 2000-02-29 2000-02-29 顕微鏡装置 Withdrawn JP2001242387A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000054467A JP2001242387A (ja) 2000-02-29 2000-02-29 顕微鏡装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000054467A JP2001242387A (ja) 2000-02-29 2000-02-29 顕微鏡装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001242387A true JP2001242387A (ja) 2001-09-07

Family

ID=18575715

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000054467A Withdrawn JP2001242387A (ja) 2000-02-29 2000-02-29 顕微鏡装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001242387A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004310093A (ja) * 2003-04-01 2004-11-04 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh 光学システムのための操作ノブ
JP2013148166A (ja) * 2012-01-19 2013-08-01 Fit's Inc 粗微回転駆動装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004310093A (ja) * 2003-04-01 2004-11-04 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh 光学システムのための操作ノブ
JP2013148166A (ja) * 2012-01-19 2013-08-01 Fit's Inc 粗微回転駆動装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8485275B2 (en) Power tool
US7395876B1 (en) Drill driver
JP2002192940A (ja) 換気システム用エアベント
JP4904546B2 (ja) ダイヤル式コントロール操作装置
US20150047464A1 (en) Microtome having means for reversing a direction of rotation
US20070281822A1 (en) Electric hand tool device
KR100997196B1 (ko) 수술용 로봇의 조작 장치
US20020152847A1 (en) Variable speed ratchet wrench and method of use
KR20170048192A (ko) 조작기
JP2001242387A (ja) 顕微鏡装置
CN216317970U (zh) 一种手术机器人及手术机器人用内窥镜旋转调节装置
JP4378762B2 (ja) ステージ装置
US4083256A (en) Single-axis coarse and fine adjustment device provided with medium adjustment
JP2001166195A (ja) 焦準装置の粗微動駆動装置
JPH11119114A (ja) 顕微鏡の載物ステージ用同軸駆動装置
CN1234517A (zh) 具有直接同轴对焦机构的显微镜
JP2020148216A (ja) 不思議遊星歯車減速機、そのバックドライブ構造、バックドライブ方法、およびロボット
JP4717746B2 (ja) ギヤードモータおよびその製造方法
JP4034536B2 (ja) 手動入力装置
JP4387478B2 (ja) 差動歯車式バルブ駆動装置
JPS5919616A (ja) 工具径可変形主軸装置
JP2003048186A (ja) ロボット関節構造
JP2002266954A (ja) モータアクチュエータ
JPH10257716A (ja) ボールスクリュースプライン軸の駆動方法
JPS6097537A (ja) 電子線装置の試料装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070501