JP2001221281A - 除振台の位置決め装置 - Google Patents
除振台の位置決め装置Info
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- JP2001221281A JP2001221281A JP2000033412A JP2000033412A JP2001221281A JP 2001221281 A JP2001221281 A JP 2001221281A JP 2000033412 A JP2000033412 A JP 2000033412A JP 2000033412 A JP2000033412 A JP 2000033412A JP 2001221281 A JP2001221281 A JP 2001221281A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 固定基台；この固定基台に対して移動方向を
定めて支持した除振テーブル；及びこの固定基台と除振
テーブルの間に形成され、該除振テーブルを圧縮空気の
力で固定基台に対して進退させる空気圧保持機構；及び
この空気圧保持機構に圧縮空気を供給する圧縮空気源；
を有する除振台において、センサを必要とすることな
く、除振テーブルの高さ位置を精密に制御できる、安価
な除振台の位置決め装置を得る。 【構成】 空気圧保持機構への供給圧縮空気の圧力を制
御するために、除振テーブルの一部に設けたノズル対向
面と対向し、該除振テーブルが移動するとき該ノズル対
向面との距離を変化させるノズル先端部を有するノズル
フラッパを設け、このノズルフラッパを空気圧保持機構
に背圧連通路を介して連通させた除振台。
定めて支持した除振テーブル；及びこの固定基台と除振
テーブルの間に形成され、該除振テーブルを圧縮空気の
力で固定基台に対して進退させる空気圧保持機構；及び
この空気圧保持機構に圧縮空気を供給する圧縮空気源；
を有する除振台において、センサを必要とすることな
く、除振テーブルの高さ位置を精密に制御できる、安価
な除振台の位置決め装置を得る。 【構成】 空気圧保持機構への供給圧縮空気の圧力を制
御するために、除振テーブルの一部に設けたノズル対向
面と対向し、該除振テーブルが移動するとき該ノズル対
向面との距離を変化させるノズル先端部を有するノズル
フラッパを設け、このノズルフラッパを空気圧保持機構
に背圧連通路を介して連通させた除振台。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、除振台に関し、特にその除振テ
ーブルの位置決め装置に関する。
ーブルの位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】除振台の一タイプとし
て、固定基台に対し、一般的に垂直方向に移動可能にし
て除振テーブルを支持し、この固定基台と除振テーブル
の間に、該除振テーブルを圧縮空気の力で固定基台に対
して進退させる空気圧保持機構を設けたタイプが知られ
ている。空気圧保持機構は、例えばローリングダイアフ
ラムによって形成されている。
て、固定基台に対し、一般的に垂直方向に移動可能にし
て除振テーブルを支持し、この固定基台と除振テーブル
の間に、該除振テーブルを圧縮空気の力で固定基台に対
して進退させる空気圧保持機構を設けたタイプが知られ
ている。空気圧保持機構は、例えばローリングダイアフ
ラムによって形成されている。
【０００３】この除振台では従来、除振テーブルと機械
的に接触して動作するリリーフ弁を用いたり、あるい
は、除振テーブルの高さ位置を各種センサを用いて検出
し、その検出結果に応じて、空気圧保持機構への供給空
気圧力を制御することで、除振テーブルの高さ位置を一
定範囲に制御していた。しかし、リリーフ弁を用いる前
者はリリーフ弁経由で除振台に振動が伝達されてしまう
可能性があり、センサを用いる後者は、除振テーブルの
高さ位置を精密に制御することが困難で、仮に精密に制
御しようとすれば、より精密なセンサとそのフィードバ
ック系を必要とし、高価にならざるを得ない。
的に接触して動作するリリーフ弁を用いたり、あるい
は、除振テーブルの高さ位置を各種センサを用いて検出
し、その検出結果に応じて、空気圧保持機構への供給空
気圧力を制御することで、除振テーブルの高さ位置を一
定範囲に制御していた。しかし、リリーフ弁を用いる前
者はリリーフ弁経由で除振台に振動が伝達されてしまう
可能性があり、センサを用いる後者は、除振テーブルの
高さ位置を精密に制御することが困難で、仮に精密に制
御しようとすれば、より精密なセンサとそのフィードバ
ック系を必要とし、高価にならざるを得ない。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、センサを必要とすることな
く、除振テーブルの高さ位置を精密に制御することがで
きる、安価な除振台の位置決め装置を得ることを目的と
する。
く、除振テーブルの高さ位置を精密に制御することがで
きる、安価な除振台の位置決め装置を得ることを目的と
する。
【０００５】
【発明の概要】本発明は、固定基台；この固定基台に対
して移動方向を定めて支持した除振テーブル；及びこの
固定基台と除振テーブルの間に形成され、該除振テーブ
ルを圧縮空気の力で固定基台に対して進退させる空気圧
保持機構；及びこの空気圧保持機構に圧縮空気を供給す
る圧縮空気源；を有する除振台において、該空気圧保持
機構への供給圧縮空気の圧力を制御するために、除振テ
ーブルの一部に設けたノズル対向面と対向し、該除振テ
ーブルが移動するとき該ノズル対向面との距離を変化さ
せるノズル先端部を有するノズルフラッパを設け、この
ノズルフラッパを空気圧保持機構に背圧連通路を介して
連通させたことを特徴としている。
して移動方向を定めて支持した除振テーブル；及びこの
固定基台と除振テーブルの間に形成され、該除振テーブ
ルを圧縮空気の力で固定基台に対して進退させる空気圧
保持機構；及びこの空気圧保持機構に圧縮空気を供給す
る圧縮空気源；を有する除振台において、該空気圧保持
機構への供給圧縮空気の圧力を制御するために、除振テ
ーブルの一部に設けたノズル対向面と対向し、該除振テ
ーブルが移動するとき該ノズル対向面との距離を変化さ
せるノズル先端部を有するノズルフラッパを設け、この
ノズルフラッパを空気圧保持機構に背圧連通路を介して
連通させたことを特徴としている。
【０００６】空気圧保持機構は例えば、例えばローリン
グダイアフラムやベローズによって形成された可変容積
圧力室を備えている。
グダイアフラムやベローズによって形成された可変容積
圧力室を備えている。
【０００７】ノズルフラッパは、除振テーブルの移動方
向に位置調節可能とし、そのノズル先端部とノズル対向
面との距離を調節可能であることが望ましい。また、ノ
ズルフラッパ内には可変絞りを設けることが好ましい。
向に位置調節可能とし、そのノズル先端部とノズル対向
面との距離を調節可能であることが望ましい。また、ノ
ズルフラッパ内には可変絞りを設けることが好ましい。
【０００８】除振テーブルの移動方向は垂直方向または
水平方向が一般的であるが、本発明装置は理論的には除
振テーブルの移動方向を問わずに適用できる。
水平方向が一般的であるが、本発明装置は理論的には除
振テーブルの移動方向を問わずに適用できる。
【０００９】
【発明の実施形態】図１に示すように平面矩形に形成し
た除振テーブル１０は、固定基台２０上に垂直（上下）
方向に移動可能に支持されており、除振テーブル１０と
固定基台２０の間には、その四隅にそれぞれ、空気圧保
持機構３０とノズルフラッパ機構４０のセットが備えら
れている。
た除振テーブル１０は、固定基台２０上に垂直（上下）
方向に移動可能に支持されており、除振テーブル１０と
固定基台２０の間には、その四隅にそれぞれ、空気圧保
持機構３０とノズルフラッパ機構４０のセットが備えら
れている。
【００１０】各空気圧保持機構３０は、アッパボディ３
１とロワボディ３２を有し、このアッパボディ３１とロ
ワボディ３２との間に、ローリングダイアフラム３３の
周縁部が挟着保持され、該ローリングダイアフラム３３
の下部に可変容積圧力室３４が形成されている。除振テ
ーブル１０の下面には、アッパボディ３１内に延び、ロ
ーリングダイアフラム３３に接触するブロック１１が固
定されていて、可変容積圧力室３４内の圧力に応じて除
振テーブル１０が昇降する。アッパボディ３１の上端部
には、可変容積圧力室３４内の圧力が所定値以下のと
き、除振テーブル１０の下面に接触して支持する受け面
３５が形成されている。
１とロワボディ３２を有し、このアッパボディ３１とロ
ワボディ３２との間に、ローリングダイアフラム３３の
周縁部が挟着保持され、該ローリングダイアフラム３３
の下部に可変容積圧力室３４が形成されている。除振テ
ーブル１０の下面には、アッパボディ３１内に延び、ロ
ーリングダイアフラム３３に接触するブロック１１が固
定されていて、可変容積圧力室３４内の圧力に応じて除
振テーブル１０が昇降する。アッパボディ３１の上端部
には、可変容積圧力室３４内の圧力が所定値以下のと
き、除振テーブル１０の下面に接触して支持する受け面
３５が形成されている。
【００１１】各空気圧保持機構３０とセットをなすノズ
ルフラッパ機構４０は、昇降自在に支持された筒状のノ
ズルフラッパ４２を有し、このノズルフラッパ４２の先
端部に、除振テーブル１０の下面のノズル対向面１２に
対向するノズル４１が形成されている。ノズルフラッパ
４２には、ウォームホイル４３が同軸に固定されてお
り、このウォームホイル４３にウォーム４４が噛み合っ
ている。従って、ウォーム４４を手動でまたは電動で回
転駆動することにより、ノズルフラッパ４２が昇降し、
ノズル４１とノズル対向面１２との距離ｘが変化する。
ウォームホイル４３とウォーム４４間の遊びは、ノズル
フラッパ４２を上方に移動付勢する圧縮ばね４５が除去
する。
ルフラッパ機構４０は、昇降自在に支持された筒状のノ
ズルフラッパ４２を有し、このノズルフラッパ４２の先
端部に、除振テーブル１０の下面のノズル対向面１２に
対向するノズル４１が形成されている。ノズルフラッパ
４２には、ウォームホイル４３が同軸に固定されてお
り、このウォームホイル４３にウォーム４４が噛み合っ
ている。従って、ウォーム４４を手動でまたは電動で回
転駆動することにより、ノズルフラッパ４２が昇降し、
ノズル４１とノズル対向面１２との距離ｘが変化する。
ウォームホイル４３とウォーム４４間の遊びは、ノズル
フラッパ４２を上方に移動付勢する圧縮ばね４５が除去
する。
【００１２】空気圧保持機構３０の可変容積圧力室３４
には、空気供給口３６が形成され、この空気供給口３６
に接続された空気供給路３７は、レギュレータ５１を介
して圧縮空気源５０に接続されている。そして、ノズル
フラッパ機構４０のノズルフラッパ４２には、空気供給
口３６から分岐した背圧供給路４６が接続されており、
背圧供給路４６には可変絞り弁４７が設けられている。
図５は、ノズルフラッパ４２のノズル４１とノズル対向
面１２との距離ｘ、及び背圧供給路４６と可変絞り弁４
７をスケルトンで示したものである。
には、空気供給口３６が形成され、この空気供給口３６
に接続された空気供給路３７は、レギュレータ５１を介
して圧縮空気源５０に接続されている。そして、ノズル
フラッパ機構４０のノズルフラッパ４２には、空気供給
口３６から分岐した背圧供給路４６が接続されており、
背圧供給路４６には可変絞り弁４７が設けられている。
図５は、ノズルフラッパ４２のノズル４１とノズル対向
面１２との距離ｘ、及び背圧供給路４６と可変絞り弁４
７をスケルトンで示したものである。
【００１３】上記構成の本装置は次のように作動する。
除振テーブル１０の四隅の空気圧保持機構３０とノズル
フラッパ機構４０は、同じ動作をするように調整されて
いるものとする。空気圧保持機構３０に圧縮空気を供給
する前は、除振テール部１０は受け面３５に当接して支
持されている。圧縮空気源５０からの圧縮空気をレギュ
レータ５１、空気供給路３７及び空気供給口３６を介し
て、各空気圧保持機構３０の可変容積圧力室３４に供給
し、その圧力が一定値に達すると、ローリングダイアフ
ラム３３が弾性変形して可変容積圧力室３４が容積を拡
大し除振テーブル１０が上昇する。この圧縮空気は、同
時に背圧供給路４６と可変絞り弁４７を介してノズルフ
ラッパ４２のノズル４１から噴出する。ノズル４１から
の噴出空気量は、除振テーブル１０のノズル対向面１２
との間隔ｘに応じて変化するが、噴出する空気量が一定
に保たれる位置で除振テーブル１０の位置が安定する。
別言すれば、圧縮空気源５０及びレギュレータ５１を介
して空気供給路３６及び背圧供給路４６に所定圧力の圧
縮空気を供給し続けるときに除振テーブル１０の位置が
安定するように、ウォームホイル４３によりノズルフラ
ッパ４２の位置を調節し、可変絞り弁４７の絞り量を決
定する。
除振テーブル１０の四隅の空気圧保持機構３０とノズル
フラッパ機構４０は、同じ動作をするように調整されて
いるものとする。空気圧保持機構３０に圧縮空気を供給
する前は、除振テール部１０は受け面３５に当接して支
持されている。圧縮空気源５０からの圧縮空気をレギュ
レータ５１、空気供給路３７及び空気供給口３６を介し
て、各空気圧保持機構３０の可変容積圧力室３４に供給
し、その圧力が一定値に達すると、ローリングダイアフ
ラム３３が弾性変形して可変容積圧力室３４が容積を拡
大し除振テーブル１０が上昇する。この圧縮空気は、同
時に背圧供給路４６と可変絞り弁４７を介してノズルフ
ラッパ４２のノズル４１から噴出する。ノズル４１から
の噴出空気量は、除振テーブル１０のノズル対向面１２
との間隔ｘに応じて変化するが、噴出する空気量が一定
に保たれる位置で除振テーブル１０の位置が安定する。
別言すれば、圧縮空気源５０及びレギュレータ５１を介
して空気供給路３６及び背圧供給路４６に所定圧力の圧
縮空気を供給し続けるときに除振テーブル１０の位置が
安定するように、ウォームホイル４３によりノズルフラ
ッパ４２の位置を調節し、可変絞り弁４７の絞り量を決
定する。
【００１４】この安定状態において、何らかの原因で除
振テーブル１０が下降したとすると、ノズル４１とノズ
ル対向面１２との間隔ｘが狭まる結果、ノズル４１から
の噴出空気量が減少し、可変容積圧力室３４の圧力が上
昇する。このため、除振テーブル１０が再び上昇する。
逆に除振テーブル１０が上昇したとすると、ノズル４１
とノズル対向面１２との間隔ｘが広がる結果、ノズル４
１からの噴出空気量が増加し、可変容積圧力室３４の圧
力が下降する。このため、除振テーブル１０が下降す
る。以上の動作が繰り返される結果、除振テーブル１０
の高さ位置は狭い範囲に制御される。
振テーブル１０が下降したとすると、ノズル４１とノズ
ル対向面１２との間隔ｘが狭まる結果、ノズル４１から
の噴出空気量が減少し、可変容積圧力室３４の圧力が上
昇する。このため、除振テーブル１０が再び上昇する。
逆に除振テーブル１０が上昇したとすると、ノズル４１
とノズル対向面１２との間隔ｘが広がる結果、ノズル４
１からの噴出空気量が増加し、可変容積圧力室３４の圧
力が下降する。このため、除振テーブル１０が下降す
る。以上の動作が繰り返される結果、除振テーブル１０
の高さ位置は狭い範囲に制御される。
【００１５】以上の説明から明らかなように、本実施形
態の利点は、特別なセンサを要することなく、除振テー
ブル１０に機械的に接触する要素もなく、除振テーブル
１０の位置をほぼ一定に制御できる点にある。除振テー
ブル１０に機械的に接触する要素がないため、固定基台
２０からの振動が除振テーブル１０に伝達されることも
ない。従来の電空変換器としてのノズルフラッパは、ノ
ズル４１とノズル対向面１２との距離によって変化する
ノズルフラッパ４２内の圧力を電気信号に変換し、その
電気信号で圧縮空気圧力を調節するもので、本発明の思
想とは区別される。
態の利点は、特別なセンサを要することなく、除振テー
ブル１０に機械的に接触する要素もなく、除振テーブル
１０の位置をほぼ一定に制御できる点にある。除振テー
ブル１０に機械的に接触する要素がないため、固定基台
２０からの振動が除振テーブル１０に伝達されることも
ない。従来の電空変換器としてのノズルフラッパは、ノ
ズル４１とノズル対向面１２との距離によって変化する
ノズルフラッパ４２内の圧力を電気信号に変換し、その
電気信号で圧縮空気圧力を調節するもので、本発明の思
想とは区別される。
【００１６】除振テーブル１０の位置制御精度は、可変
絞り弁４７の絞り度を調節することで制御できる。ま
た、ノズルフラッパ４２の初期位置は、圧縮空気源５
０、レギュレータ５１から供給される圧縮空気の圧力に
応じ、ウォーム４４を回転させることで調節することが
できる。勿論、ノズルフラッパ４２の上下調節機構は、
ウォームホイル機構以外の機構を採用することができ
る。また可変容積圧力室は、ローリングダイアフラムの
他、ベローズその他によっても形成することができる。
絞り弁４７の絞り度を調節することで制御できる。ま
た、ノズルフラッパ４２の初期位置は、圧縮空気源５
０、レギュレータ５１から供給される圧縮空気の圧力に
応じ、ウォーム４４を回転させることで調節することが
できる。勿論、ノズルフラッパ４２の上下調節機構は、
ウォームホイル機構以外の機構を採用することができ
る。また可変容積圧力室は、ローリングダイアフラムの
他、ベローズその他によっても形成することができる。
【００１７】除振テーブル１０のノズル対向面１２は、
除振テーブル１０と一体に動く部材に設ければよいか
ら、ノズルフラッパ４２の位置にも自由度がある。以上
の実施形態は、除振テーブル１０の移動方向が上下（垂
直）方向であるが、同様にして除振テーブルの水平方向
の動きも制御可能である。
除振テーブル１０と一体に動く部材に設ければよいか
ら、ノズルフラッパ４２の位置にも自由度がある。以上
の実施形態は、除振テーブル１０の移動方向が上下（垂
直）方向であるが、同様にして除振テーブルの水平方向
の動きも制御可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、簡単な機
構により、除振テーブルの位置を正確に制御することが
できる。
構により、除振テーブルの位置を正確に制御することが
できる。
【図１】本発明による除振台の位置決め装置の一実施形
態を示す平面図である。
態を示す平面図である。
【図２】図１のII‐II線に沿う断面図である。
【図３】図２のノズルフラッパ昇降機構部分の拡大断面
図である。
図である。
【図４】ノズルフラッパ昇降機構及び昇降シリンダ装置
の一部分解拡大断面図である。
の一部分解拡大断面図である。
【図５】ノズルフラッパと間隙の関係を示すスケルトン
図である。
図である。
１０ 除振テーブル １２ ノズル対向面 ２０ 固定基台 ３０ 空気圧保持機構 ３３ ローリングダイアフラム ３４ 可変容積圧力室 ３６ 空気供給口 ３７ 空気供給路 ４０ ノズルフラッパ機構 ４１ ノズル先端部 ４２ ノズルフラッパ ４６ 背圧供給路 ４７ 可変絞り弁 ５０ 圧縮空気源 ５１ レギュレータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 染谷 久雄 埼玉県大宮市三橋１丁目840 藤倉ゴム工 業株式会社大宮工場内 Ｆターム(参考） 3J048 AA07 BE02 EA13
Claims (5)
- 【請求項１】 固定基台；この固定基台に対して移動方
向を定めて支持した除振テーブル；この固定基台と除振
テーブルの間に形成され、該除振テーブルを圧縮空気の
力で固定基台に対して進退させる空気圧保持機構；この
空気圧保持機構に圧縮空気を供給する圧縮空気源；上記
除振テーブルの一部に設けたノズル対向面と対向し、該
除振テーブルが移動するとき該ノズル対向面との距離を
変化させるノズル先端部を有するノズルフラッパ；及び
このノズルフラッパを空気圧保持機構に連通させる背圧
連通路；を有することを特徴とする除振台の位置決め装
置。 - 【請求項２】 請求項１記載の除振台の位置決め装置に
おいて、上記空気圧保持機構は、ローリングダイアフラ
ムまたはベローズによって形成された可変容積圧力室を
備えている除振台の位置決め装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の除振台の位置決
め装置において、上記ノズルフラッパは、除振テーブル
の移動方向に位置調節可能で、そのノズル先端部とノズ
ル対向面との距離が調節可能である除振台の位置決め装
置。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか１項記載の
除振台の位置決め装置において、ノズルフラッパ内には
可変絞りが備えられている除振台の位置決め装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか１項記載の
除振台の位置決め装置において、除振テーブルの移動方
向は垂直方向または水平方向である除振台の位置決め装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000033412A JP2001221281A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 除振台の位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000033412A JP2001221281A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 除振台の位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001221281A true JP2001221281A (ja) | 2001-08-17 |
Family
ID=18557902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000033412A Pending JP2001221281A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 除振台の位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001221281A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001271878A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Fujikura Rubber Ltd | 防振台の位置決め装置 |
| JP2007154992A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Fujikura Rubber Ltd | 水平保持装置 |
-
2000
- 2000-02-10 JP JP2000033412A patent/JP2001221281A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001271878A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Fujikura Rubber Ltd | 防振台の位置決め装置 |
| JP2007154992A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Fujikura Rubber Ltd | 水平保持装置 |
| JP4721885B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2011-07-13 | 藤倉ゴム工業株式会社 | 水平保持装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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