JP2001212721A - 形彫放電加工における揺動加工方法及び形彫放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 均一な仕上げ面が得られて且つ加工時間も短
縮することができる形彫放電加工における揺動加工方法
を提供する。 【解決手段】 加工深さ方向の加工が予め設定された所
望の地点１９に到達し、かつ側面方向の加工が予め設定
された所望の地点に到達したときに、その到達地点１８
が予め設定された分割数により分割された側面方向に電
極が相対移動させる所定の揺動形状１４の複数の分割領
域のうちの何れの分割領域にあるかを検知する工程と、
検知された分割領域または検知された分割領域が複数個
集合した集合領域の少なくとも１つの分割領域または分
割領域をスキップするように電極の相対移動軌跡を変更
する工程１４１と、を含み、全ての分割領域において、
加工深さ方向の加工が予め設定された所望の地点に到達
し、かつ側面方向の加工が予め設定された所望の地点に
到達するまで、工程を繰り返すようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、形彫放電加工にお
ける揺動加工方法及び形彫放電加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、放電加工は、加工の形態により
大別して形彫放電加工とワイヤカット放電加工とに分類
される。形彫放電加工は、被加工物に所望の形状の穴を
形成するものであり、その所望の形状に対応する形状を
有する総型の電極を用いてその電極の形状を被加工物に
転写するように加工する方法や、単純な形状の電極、例
えば円柱形状の電極を用いて被加工物に所望の形状を形
成する輪郭加工や創成加工といわれる加工方法がある。
１つの加工形状をいくつかの加工工程に分けて放電加工
するときは、各加工工程で設定される各電気的な加工条
件の値が異なるので、そのときの電極の消耗度や放電ギ
ャップの大きさが異なる。従って、各加工工程毎にその
加工工程における目標とする加工穴の輪郭形状と電気的
な加工条件に基づく放電ギャップを考慮して電極を製作
し、各加工工程毎に電極を準備して加工する必要があ
る。このため、加工工程が多数になると、その分電極も
必要になり、複数の相似の電極を製作することは、作業
が煩雑でそれだけの時間を要することになるから、１つ
の加工形状を加工するために全体的に要する作業時間は
相当要することになる。

【０００３】そこで、できる限り１つの加工形状の放電
加工において使用する電極の本数を減らすため、また、
使用する電極が複数であっても同形の電極を使用するこ
とができるように、電極を加工穴の深さ方向（以下、加
工深さ方向という）にだけ、電極を被加工物に対して相
対移動（サーボ動作を含む）させるだけでなく、加工深
さ方向と直角の水平面方向にも電極を相対移動させる方
法が行われる。この方法は広くは揺動加工と呼ばれてい
る。このような揺動加工あるいは寄せ加工と呼ばれる加
工方法は、例えば特開平６−１１４６３７号公報等に開
示されており、詳細には種々の方法に分類される。ま
た、電極の相対移動軌跡により、いくつかの形態があ
る。

【０００４】ところで、上記揺動加工の場合は、電極が
加工穴方向に対して垂直の平面方向（以下、揺動平面と
いう）に移動していることから、揺動平面上のある地点
で電極が所望の加工深さ位置に到達したからといって、
他の揺動平面上の地点で電極が所望の加工深さ位置に到
達しているとは限らない。したがって、所望の加工深さ
位置に到達したことを検出した時点ですぐに加工を終わ
らせてしまうと、仕上げ面が均一にならずにばらついた
り偏ったりした状態になってしまう場合がある。このこ
とは、複数の加工工程に分けて放電加工を行う場合も同
じであり、先の加工工程で取残しを生じたまま次の加工
工程を順次行っていくと、徐々にその取残しの量と偏り
が拡大し、その取残しが取り除かれることはない。

【０００５】そこで、上記問題を解決するために特開平
４−１９０１８号公報や特開平１０−１６６２２４号公
報等に開示されているように、揺動加工において、加工
穴の底面の形状あるいは予め設定された揺動平面におけ
る電極の相対移動軌跡（以下、揺動形状という）に囲ま
れた領域（以下、揺動領域という）を所定の数に分割し
て、各分割された揺動領域（以下、分割領域という）毎
に所望の加工深さ方向の位置に到達したかどうかを判定
して加工の終了を判断するようにした放電加工方法が提
案されており、この方法により、加工穴の底面を均一に
仕上げることができるようになった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来装置にあっては、揺動領域を分割してそれら分割
された揺動領域毎に所望の位置に到達したかどうかを判
断するとともに、それら分割された揺動領域の全てにお
いて所望の位置に到達したかどうかを判断するようにし
ているので、それだけ長い加工時間を要する。本発明
は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決す
べく創案されたものである。本発明の目的は、均一な仕
上げ面が得られて且つ加工時間も短縮することができる
形彫放電加工における揺動加工方法及び形彫放電加工装
置を提供することにある。本発明によって得られるその
他の本発明の有利な点は、発明の詳細な説明においてそ
の都度説明するものとする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に規定する発明
は、電極と被加工物とで形成される加工間隙に所要の加
工電圧を間欠的に印加しつつ、前記電極と前記被加工物
とを加工深さ方向と該加工深さ方向に垂直な加工穴の側
面方向とに相対移動させて前記被加工物を放電加工する
ようにした形彫放電加工方法における揺動加工方法にお
いて、前記加工深さ方向の加工が予め設定された所望の
地点に到達したかどうかを検出するとともに、前記側面
方向の加工が予め設定された所望の地点に到達したかど
うかを検出しつつ、前記被加工物を放電加工する工程
と、前記加工深さ方向の加工が予め設定された所望の地
点に到達し、かつ前記側面方向の加工が予め設定された
所望の地点に到達したときに、その到達地点が予め設定
された分割数により分割された前記側面方向に前記電極
が相対移動させる所定の揺動形状の複数の分割領域のう
ちの何れの分割領域にあるかを検知する工程と、前記検
知された分割領域または前記検知された分割領域が複数
個集合した集合領域の少なくとも１つの前記分割領域ま
たは前記分割領域をスキップするように電極の相対移動
軌跡を変更する工程と、を含み、全ての前記分割領域に
おいて、前記加工深さ方向の加工が前記予め設定された
所望の地点に到達し、かつ前記側面方向の加工が前記予
め設定された所望の地点に到達するまで、前記工程を繰
り返すようにしたものである。

【０００８】請求項２に規定する発明は、電極と被加工
物とで形成される加工間隙に所要の加工電圧を間欠的に
印加しつつ、前記電極と前記被加工物とを加工深さ方向
と該加工深さ方向に垂直な加工穴の側面方向とに相対移
動させて前記被加工物を放電加工するようにした形彫放
電加工における揺動加工方法において、前記加工深さ方
向の加工が予め設定された所望の地点に到達したかどう
かを検出するとともに、前記側面方向の加工が予め設定
された所望の地点に到達したかどうかを検出しつつ、前
記被加工物を放電加工する工程と、前記加工深さ方向の
加工が予め設定された所望の地点に到達し、かつ前記側
面方向の加工が予め設定された所望の地点に到達したと
きに、その到達地点が予め設定された分割数により分割
された前記側面方向に前記電極が相対移動させる所定の
揺動形状の複数の分割領域のうちの何れの分割領域にあ
るかを検知する工程と、前記検知された分割領域の少な
くとも１つの前記分割領域における前記側面方向におけ
る前記電極の相対移動速度を速くする工程と、を含み、
全ての前記分割領域において、前記加工深さ方向の加工
が前記予め設定された所望の地点に到達し、かつ前記側
面方向の加工が前記予め設定された所望の地点に到達す
るまで前記工程を繰り返すようにしたものである。

【０００９】請求項３に規定する発明は、請求項１に規
定する方法発明を実施する装置発明であり、電極と被加
工物とで形成される加工間隙に所要の加工電圧を間欠的
に印加する加工用電源装置と、加工深さ方向と該加工深
さ方向に垂直な加工穴の側面方向とに前記電極と前記被
加工物を相対移動させる相対移動装置と、を備えた放電
加工装置であって、所定の加工パラメータを入力する入
力装置と、前記加工パラメータに基づいて前記側面方向
と前記加工深さ方向に前記電極と前記被加工物とを相対
移動させる軌跡を設定する手段と、前記設定された前記
電極を前記側面方向に相対移動させる軌跡に囲まれる領
域を前記加工パラメータの一部を形成する分割数または
分割角度に基づいて複数の領域に分割する手段と、前記
加工深さ方向の加工が予め設定された所望の地点に到達
したかどうかを検出するとともに、前記側面方向の加工
が予め設定された所望の地点に到達したかどうかを検出
する手段と、前記検出する手段により前記加工深さ方向
と前記側面方向とのそれぞれにおいて前記所望の地点に
到達したことが検出されたとき、前記到達地点が前記分
割数または分割角度により分割された前記複数の領域の
うちの何れの領域にあるかを判定する手段と、前記設定
する手段により設定された軌跡を、前記判定する手段に
より判定された前記分割された領域または前記領域が複
数個集合した集合領域の少なくとも１つの前記分割され
た領域または前記集合領域をスキップするような軌跡を
演算して前記設定する手段により設定された軌跡を変更
する手段と、全ての前記分割された領域において、前記
加工深さ方向と前記側面方向との加工が前記予め設定さ
れた所望の地点に到達したときに所望の放電加工を終了
させる手段と、を含む。

【００１０】請求項４に規定する発明は、請求項２に規
定する方法発明を実施する装置発明であり、電極と被加
工物とで形成される加工間隙に所要の加工電圧を間欠的
に印加する加工用電源装置と、加工深さ方向と該加工深
さ方向に垂直な加工穴の側面方向とに前記電極と前記被
加工物を相対移動させる相対移動装置と、を備えた放電
加工装置であって、所定の加工パラメータを入力する入
力装置と、前記加工パラメータに基づいて前記側面方向
と前記加工深さ方向に前記電極と前記被加工物とを相対
移動させる軌跡を設定する手段と、前記設定された前記
電極を前記側面方向に相対移動させる軌跡に囲まれる領
域を前記加工パラメータの一部を形成する分割数または
分割角度に基づいて複数の領域に分割する手段と、前記
加工深さ方向の加工が予め設定された所望の地点に到達
したかどうかを検出するとともに、前記側面方向の加工
が予め設定された所望の地点に到達したかどうかを検出
する手段と、前記検出する手段により前記加工深さ方向
と前記側面方向とのそれぞれにおいて前記所望の地点に
到達したことが検出されたとき、前記到達地点が前記分
割数または分割角度により分割された前記複数の領域の
うちの何れの領域にあるかを判定する手段と、前記判定
する手段により判定された前記分化された領域における
軌跡を演算し、前記軌跡上を前記電極が相対移動すると
きは、初期の相対移動速度より速い所定の相対移動速度
で前記電極が相対移動するように相対移動速度を設定す
る制御する手段と、全ての前記分割された領域におい
て、前記加工深さ方向と前記側面方向との加工が前記予
め設定された所望の地点に到達したときに所望の放電加
工を終了させる手段と、含んで成る形彫放電加工装置。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る形彫放電加
工における揺動加工方法及び形彫放電加工装置の一実施
例を添付図面に基づいて詳述する。図１は本発明に係る
形彫放電加工装置を示すブロック構成図、図２は本発明
の第１の方法発明を示すフローチャート、図３は終了判
定ルーチンの工程を示すフローチャート、図４は分割領
域と集合領域の態様を示す図、図５は分割領域と集合領
域の態様を示す図、図６は他の分割領域と集合領域の態
様を示す図である。

【００１２】まず、以下の本発明の説明において使用さ
れる用語について定義する。揺動領域は揺動形状に囲ま
れた揺動形状内の領域をいい、送り量Ｄは各加工工程で
電極を加工深さ方向に移動させる移動量を示し、揺動量
Ｌは各加工工程で電極を側面方向(揺動方向)に移動させ
る移動量を示す。また、分割数Ｎは揺動領域を等分割す
る数を示し、分割角度θは揺動形状の中心の角度を等分
割した角度を示す。分割領域は揺動領域を分割数Ｎまた
は分割角度θで等分割した１領域を示し、隣接領域は先
に終了が判定された新たに終了と判定された領域に隣接
する先に終了が判定されている分割領域を示し、集合領
域は終了と判定された１以上の分割領域をグループ化し
た領域を示し、集合領域符号は終了と判定された集合領
域に識別子として付される符号を示す。この場合、先に
終了が判定された領域に隣り合う領域が終了と判定され
た場合には、同じ符号を付して、終了と判定された領域
を統合してグループ化するためのものである。

【００１３】図１に基づいて形彫放電加工装置について
説明する。図１に示される彫放電加工機の本機は、側面
から見た概略の構成が示されている。図中、Ｅは工具電
極、Ｗはテーブル８に設けられた載置台上に固定した被
加工物、９は水平に据え置かれたベッド１０上にＹ軸方
向へ移動可能に設けられたサドルである。上記テーブル
８は、上記ベッド１０上にＸ軸方向（図中、紙面垂直方
向）へ移動可能に設けられる。電極Ｅは、Ｚ軸方向（上
下方向）へ移動可能になされた加工ヘッド７の下端に取
り付けられている。上記Ｘ、Ｙ方向は水平面内で直交し
ており、Ｚ方向はこの水平面に直交している。７Ｒ、８
Ｒ、９ＲはそれぞれＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸のロータリエンコ
ーダ、７Ｍ、８Ｍ、９ＭはそれぞれＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸の
サーボモータ、７Ｓ、８Ｓ、９ＳはそれぞれＺ軸、Ｘ
軸、Ｙ軸のリニアスケールである。間隙電圧検出装置５
は、電極Ｅと被加工物Ｗとの加工間隙の電圧を検知する
ものであり、加工間隙の電圧を検出するものであれば、
公知の装置が利用できる。加工用電源装置４は、所定の
電気的な加工条件に基づく加工電流を加工間隙に供給す
るものであり、少なくとも、直流または交流電源と、加
工間隙に電源の電圧を印加するための１以上のスイッチ
ング素子とを含む。

【００１４】モータ制御装置６は、速度指令値に基づい
て各軸モータ７Ｍ、８Ｍ、９Ｍを制御するものであり、
各エンコーダ７Ｒ、８Ｒ、９Ｒからの検出値に基づいて
フィードバック制御される。相対位置検出装置３は、各
リニアスケール７Ｓ、８Ｓ、９Ｓで検出された位置デー
タから加工深さ方向の位置と側面方向の位置（ｘ，ｙ，
ｚ）と送り量ｄと揺動量ｌを得る。サーボ制御手段１６
は、解析手段１１からサーボ基準電圧値とサーボゲイン
を得て、予め設定されるサーボ基準電圧と間隙電圧検出
装置５の検出電圧とを比較して、その差電圧をサーボ指
令信号として速度指令出力手段１５に出力する。放電加
工制御手段１７は、解析手段１１からの指令値に基づい
て加工用電源装置４に含まれるスイッチング素子へのゲ
ート信号、電源電圧、可変抵抗などを調整する信号を出
力する。

【００１５】入力装置２は、例えば外部磁気ディスク読
取装置、キーボード、ハードディスク、表示装置上に併
設されるタッチセンサ等を含むものであり、本実施例に
おける加工パラメータとしてのデータは少なくともＮＣ
プログラムのデータ、分割角度θ、送り速度Ｆを含み、
これらのデータを入力する。制御装置１は、少なくと
も、解析手段１１と、主記憶手段１２と、移動制御手段
１３と、サーボ制御手段１６と、放電加工制御手段１７
と、到達検出手段１８と、領域判定手段１９とを含んで
成る。

【００１６】解析手段１１は、入力装置２からのデータ
を、主記憶手段１２に記憶させるとともに、ＮＣプログ
ラムを解読して各種の指令値を演算する。この指令値の
うち移動に関する解析データは、移動制御手段１３へ出
力され、電気的な加工条件に関する解析データは、放電
加工制御手段１７へ出力され、更にサーボに関する解析
データは、サーボ制御手段１６へ出力される。そして、
この解析手段１１は、終了領域計数手段１９２から全て
の揺動領域において終了が判定されたときに出力され
る”終了信号”を入力したら移動制御手段１３と放電加
工制御手段１７を介してその加工工程の相対移動と放電
加工を停止させる。また、この解析手段１１は、入力装
置２より入力されたデータに基づいて電極Ｅや被加工物
Ｗを相対移動させる加工軌跡を設定し、その軌跡座標デ
ータを主記憶手段１２に記憶する。

【００１７】移動制御手段１３は、揺動指令手段１４と
速度指令出力手段１５とを有し、上記揺動指令手段１４
は、移動量演算手段１４１と変更軌跡演算手段１４２と
速度変更演算手段１４３を有している。移動制御手段１
３においては、指令値のうち移動に関するデータが移動
量演算手段１４１に入力されて各軸の移動量が演算され
る。そして、Ｚ軸の移動指令は、設定されている揺動加
工の方法に従い速度指令出力手段１５へ出力される。例
えば、加工深さ方向と揺動方向とを同時に移動させる方
式の場合は、ＸＹ軸の移動量に対して所定の割合で出力
される。また、加工深さ方向と揺動方向とを交互に移動
させる方式の場合は、Ｚ軸を単位移動量移動させてから
ＸＹ軸方向へ単位移動量移動させることが交互に繰り返
されるように指令値が出力される。揺動加工を行わない
場合は、Ｚ軸の指令値だけが出力される。また、Ｘ軸と
Ｙ軸に係るものは、解析手段１１から変更軌跡演算手段
１４２へも出力される。放電加工が開始された当初は、
揺動軌跡の変更はないので、計算される揺動軌跡に従う
Ｘ軸及びＹ軸方向の移動量が計算される。

【００１８】速度指令出力手段１５は、移動制御手段１
４から所定の比率で出力された上記各軸の移動量にサー
ボ指令値を加算して、モータ制御装置６へ所定の比率で
分配出力する。移動量演算手段１４１にて求められた各
加工工程における送り量Ｄ、揺動量Ｌは、到達検出手段
１８に出力される。変更軌跡演算手段１４２は、領域判
定手段１９から”軌跡変更信号”を入力したら、解析手
段１１から得られるＸ軸とＹ軸に係る指令値と領域判定
手段１９で計算された分割領域に関するデータから初期
の指令値に基づく揺動軌跡を変更した揺動軌跡のデータ
を演算し、移動量演算手段１４１に出力する。この揺動
量演算手段１４１は、変更された揺動軌跡に基づく移動
指令値に従って移動量を計算して速度指令出力手段１５
に出力する。

【００１９】到達検出手段１８は、相対位置検出装置３
からの送り量ｄ、揺動量ｌと移動制御手段１３で演算さ
れた送り量Ｄ、揺動量Ｎとを比較して現在の送り量ｄ、
揺動量ｌが移動量Ｄ、Ｎと一致したときに予め設定され
た所望の位置に到達したものとして”到達信号”を領域
判定手段１９に出力する。同時に、到達検出手段１８
は、相対位置検出装置３から得られるこの到達信号を出
力するときの位置データ（ｘ，ｙ，ｚ）も領域判定手段
１９に出力する。領域判定手段１９は、終了領域判定手
段１９１と、終了領域計数手段１９２と、集合領域演算
手段１９３と、変更要否判定手段１９４を有している。

【００２０】上記終了領域判定手段１９１は、解析手段
１１に、ある分割領域での放電加工が終了したことを意
味する”判定信号”を出力するとともに、解析手段１１
から出力される分割数Ｎまたは分割角度θのデータに基
づいて加工すべき領域（軌跡）を複数に分割するように
計算して各分割領域に関する所要のデータを得て、解析
手段１１を介して主記憶手段１２に記憶させる。また、
到達検出手段１８からの”到達信号”を入力したとき
に、到達検出手段１８から得られる位置データと解析手
段１１を介して得られる上記分割領域のデータとに基づ
いて、どの分割領域で加工が到達したかを演算する。そ
れとともに、加工が到達した分割領域のフラグデータ
（主記憶手段１２に記憶される）を解析手段１１を介し
てオンにする。

【００２１】上記終了領域計数手段１９２は、上記終了
領域判定手段１９１で求められた分割数Ｎ（予め設定さ
れている分割角度θにより決定される）を保持しておく
とともに、終了判定領域数をカウントアップし、このカ
ウント値ｎを集合領域演算手段１９３に出力する。そし
て、このカウント値ｎが分割数Ｎに一致したときに、解
析手段１１に”終了信号”を出力する。上記集合領域演
算手段１９３は、上記終了領域計数手段１９２から出力
されるカウント値ｎを入力したら、終了が判断された分
割領域が既にフラグデータがオンになっている分割領域
と隣接しているか否かを、解析手段１１を介して得られ
る上記フラグデータを検索して判断する。そして、隣接
している分割領域（隣接領域）がない場合にはその領域
に集合領域符号、例えばα、β、γなどを付して新たな
集合領域とし、解析手段１１を介して主記憶手段１２の
所定の記憶領域に設けられたメモリカウンタ（記憶手段
の記憶領域を利用して計数すること）のカウント値を１
とする。隣接領域がある場合には該当する集合領域符号
のカウント値（集合領域に含まれている分割領域の数）
ｍをカウントアップする。また、終了が判断された分割
領域の両側に隣接領域があって集合領域が互いに結合す
る場合には、それぞれの集合領域のカウント値を合計し
て主記憶装置１２のメモリカウンタをカウントアップす
る。そして、計算された集合領域のカウント値ｍを変更
要否判定手段１９４に出力する。

【００２２】変更要否判定手段１９４は、集合領域演算
手段１９３から得られる所定の集合領域のカウント値ｍ
を入力したときに、解析手段１１を介して主記憶手段１
２を検索し、主記憶手段１２に記憶されている集合領域
が複数ある場合には、各集合領域のカウント値のうち、
最もカウント値の多い集合領域のカウント値Ｍを主記憶
手段１２から得る。そして、カウント値ｍとＭとを比較
してカウント値ｍがＭよりも大きいときにだけ、カウン
ト値ｍをＭとして主記憶装置１２のカウント値Ｍの記憶
データを更新する。集合領域が１つかしかない場合に
は、その集合領域のカウントｍをＭとする。また、カウ
ント値ｍがＭよりも小さいときは、揺動軌跡を変更する
ように指令する”軌跡変更信号”を変更軌跡演算手段１
４２に出力する。

【００２３】次に、以上のように構成された装置に基づ
いて行われる揺動加工方法について図２乃至図６も参照
して説明する。ここで、加工軸の移動については、加工
深さ方向とは加工穴の底面方向、実施例では鉛直方向
（Ｚ軸）を示し、揺動方向とは加工穴の側面方向、すな
わち加工深さ方向に垂直な平面方向であって、実施例で
は水平１軸方向（Ｘ軸）とそれに直交する水平１軸方向
（Ｙ軸）となる。本発明の方法発明において特徴とする
点は、加工すべき領域を複数に分割して、それぞれ分割
領域について、加工深さ方向と揺動方向のそれぞれにつ
いて、所望の移動量（位置）に到達したと判断された分
割領域はスキップして通過しないようにする（第１の方
法発明）か、或いは揺動速度を速くして通過する（第２
の方法発明）点、である。

【００２４】図２は揺動加工方法のメインルーチンのス
テップを示しており、図３は上記メインルーチン中の終
了判定ルーチンのステップを示している。図４は円形の
揺動形状（揺動領域）を複数、ここでは３６個に分割し
てその各態様をケース１〜ケース６として示している。
図中、斜線、梨地及び格子が付された分割領域は加工終
了と判断された領域である。図４（Ａ）に示されるケー
ス１は、最初に１つの分割領域において加工が終了した
と判定された場合である。図（Ｂ）に示されるケース２
は、ケース１から放電加工が進んで、最初に加工が終了
したと判定された分割領域に隣接した分割領域において
加工が終了したと判定された場合である。図４（Ｃ）に
示されるケース３は、ケース１から放電加工が進んで、
最初に加工が終了したと判定された分割領域と離れた分
割領域において加工が終了したと判定された場合であ
る。図４（Ｄ）に示されるケース４は、ケース３の状態
からさらに放電加工が進んで、先に加工が終了したと判
定されている集合領域αとβとは隣り合わない別の分割
領域において加工が終了したと判定された場合である。
図４（Ｅ）に示されるケース５は、ケース２の状態から
放電加工が進んで、２つの分割領域を含む集合領域βが
形成されている場合である。図４（Ｆ）に示されるケー
ス６は、ケース４の状態から放電加工が進行して、集合
領域α（分割領域数４）と、集合領域β（分割領域数
８）、集合領域γ（分割領域数１）の３つの加工が終了
したと判断された集合領域が形成されている状態で、さ
らに集合領域αとβとに挟まれた分割領域において加工
が終了したと判定されフラグがオン（Ｆ＝１）にされた
状態を示している。このとき、２つの分割領域αとβは
１つの集合領域に結合される。なお、このときの最も多
く分割領域を含んでいる最大の分割領域βの分割領域数
Ｍは８である。

【００２５】このように集合領域が形成されると、その
集合領域（複数ある場合は含まれる分割領域数の数が最
も多い集合領域）を通らないようにスキップ（実施例で
は、集合領域αを挟んで往復）するように、予め設定さ
れている揺動形状に基づく揺動軌跡を変更する。例え
ば、図５（Ａ）に示されるように、図４（Ｂ）に示され
るケース２の状態では、集合領域αをスキップするよう
に矢印に示される揺動軌跡に変更される。また、図５
（Ｂ）に示されるように、図４（Ｆ）で示されるケース
６の状態では、集合領域αとβとが新たにフラグがオン
になった分割領域で結合されて符号αが付け直された集
合領域をスキップするように矢印に示される揺動軌跡に
変更される。

【００２６】また、図６に示される揺動形状が正方形で
あって、揺動軌跡が電極を揺動形状の中心から各頂点へ
向けて往復させるような放射状の場合は、先に示したよ
うに円形の加工エリアを加工する場合と異なって、各分
割領域の角部に対して取残しが発生しないようにしてい
る。したがって、図６（Ａ）に示されるように加工が終
了されたと判断されている分割領域が少ない場合には、
まだ加工が終了していない加工エリアが広いので、この
加工エリアをスキップさせることはない。一方、図６
（Ｂ）に示されるように、集合領域αと集合領域βと
が、それらの集合領域に挟まれる分割領域の加工が終了
したと判定され（Ｆ＝１、フラグがオン）、１つの大き
な集合領域にグループ化されたときに、揺動形状の中心
から頂点へ向う２つの揺動軌跡に囲まれた加工エリア全
部が加工が終了されたと判定されるので、この加工エリ
アを電極が通過しなくても、加工の取残しがないことに
なる。したがって、図６（Ｂ）に示される状態になった
ときに、予め設定された揺動形状に基づく初期の揺動軌
跡を図６（Ｂ）に示されるように変更して、上記加工エ
リアをスキップさせている。

【００２７】次に、上述した加工穴の底面と側面の仕上
がり状態に応じて揺動軌跡を変更させる方法を具体的に
説明する。図２に示すメインルーチンにおいて、送り量
Ｄ等の設定値は、加工条件とともにＮＣプログラムにプ
ログラムされたデータから求められる（Ｓ１）。電極と
被加工物とのギャップは加工条件によってほぼ定まる。
実施例では、揺動領域の分割数Ｎは、各軸方向の移動量
及び加工条件とともにＮＣプログラムにプログラムされ
ている分割角度θから計算される。加工が予定されてい
る所望の加工深さに到達したかどうかは、一般的によく
知られている制御装置（ＮＣ装置）から出力される移動
指令値をカウントした値に基づいて計算する方式や各軸
に設けられているリニアスケールで検出される位置に基
づいて計算する方式の他に、特開平９−１７４３３４号
公報などに記載の公知の方式を利用できる。このとき、
揺動領域を分割させて加工の終了を判定しないときに
は、図２中のＳ５でＮＯの判断で処理される。また、加
工を完了したか否かを示す判断フラグＦは、終了と判断
されているときがオン（電圧レベルＨ，信号１）、終了
していないときはオフ（電圧レベルＬ，信号０）として
いる。また、加工工程数ｈのカウント（Ｓ３）と加工工
程数Ｈとの比較（Ｓ１４）は、実際にこのように計数し
ているのではなく、ＮＣプログラムにプログラムされた
加工工程が最後まで実行された時点で終了としている。
更に、現在の送り量ｄと現在の揺動量ｌをそれぞれ算出
しているのは、移動指令値の信号のカウント値または軸
の位置検出値から送り量と揺動量は直接得られないから
である（Ｘ軸Ｙ軸Ｚ軸の１軸方向に移動するのではな
く、２次元もしくは２次元方向に移動するので、三角関
数を用いて移動量を求めなければならないが、この点に
ついては図５及び図６を参照）。

【００２８】次に、図２のフローチャートに沿って主に
制御装置の動作に従って本発明の方法を説明すると、ま
ず、ＮＣプログラムにプログラムされている揺動形状の
分割角度θを、他の加工パラメータとともに入力装置２
（図１参照）から取り込む。このとき、分割角度θに代
えて、直接分割数Ｎを入力するようにできる。なお、分
割角度θまたは分割数Ｎが作業者により設定されない場
合には、予め定められた所定の分割角度θまたは分割数
Ｎが設定される。そして、解析手段１１（図１参照）は
このＮＣプログラムを解読し（Ｓ２）、揺動領域をＮ等
分してＮ個の分割領域を形成し、その座標などの所要の
データを記憶する。そして、加工工程数ｈを１つインク
リメントしてから（Ｓ３）、第ｈ番目の加工工程を開始
する（Ｓ４）。次に、この加工工程が揺動加工を行なう
場合には（Ｓ５のＹＥＳ）、各分割領域に対する加工の
終了の判断フラグＦをリセットする（Ｓ６）。そして、
各軸の軸移動を行ないつつ放電加工を行ない（Ｓ７）、
常時所定のタイミングで送り量ｄ、揺動量ｌを求める
（Ｓ８）。そして、そのときの送り量ｄ、揺動量ｌを設
定値Ｄ、Ｌとそれぞれ比較する（Ｓ９）。送り量ｄ、揺
動量ｌが共に設定値に達したならば、各軸の位置を検出
してそのときに位置している分割領域の判断フラグＦを
１にセットしてこの領域の加工の終了を記録する（Ｓ１
０）。そして、加工が終了したと判定された分割領域の
数を示すｎを１つインクリメントし（Ｓ１１）、この値
ｎが設定値Ｎより小さい時には（Ｓ１２のＮＯ）、終了
判定ルーチン（後述する）を行なう（Ｓ１３）。

【００２９】以上、Ｓ７〜Ｓ１３をｎ＝Ｎになるまで繰
り返し行なう。そして、加工工程数ｈが設定された加工
工程数Ｈになるまで、ステップＳ３〜Ｓ１３を繰り返し
行なう（Ｓ１４のＮＯ）。また、ステップＳ５において
揺動加工を行なわない場合は（Ｓ５のＮＯ）、揺動加工
を行なわないで、加工深さ方向の軸移動のみ行ない（Ｓ
１５）、その時の送り量ｄを求め（Ｓ１６）、その値が
設定値Ｄになるまで加工を行なう（Ｓ１７）。そして、
送り量ｄが設定値Ｄになったら、ステップＳ１４へ移行
する。このようにして、設定した加工工程数Ｈの全ての
加工工程が終了したならば、最終的に所望の放電加工を
終了することになる。

【００３０】次に、図３に示す終了判定ルーチンについ
て説明する。この実施例においては、揺動軌跡（図示せ
ず）の変更にともなって、例えば図５、図６に示される
ように特定の集合領域がスキップされる（放電加工せず
かつその領域への電極の移動を行なわないことをスキッ
プと呼ぶことにする、以下同じ）ので、図５のケース６
に示されるように、終了の判定がされた集合領域の数が
α、β、γのように複数あるときは、それらの集合領域
のうちの何れか１つにしかスキップできない。そこで、
集合領域の中で最も広い領域を占めている領域をスキッ
プさせるようにしている（Ｓ３１〜Ｓ３７）。

【００３１】まず、この実施例では、最初に、ある分割
領域において加工が終了したと判定された場合には（Ｓ
２０）、その分割領域に、集合領域の識別符号αを付し
て（Ｓ２１）、その集合領域αに含まれる分割領域数１
を加算して主記憶手段１２（図１参照）に記憶させる
（Ｓ２２）。例えば、図４（Ａ）に示されるケース１の
ように、集合領域αに含まれる分割領域が３６分割され
たうちの僅かに１つの分割領域である場合は、これをス
キップさせることで加工時間が大きく短縮されるわけで
はないからである。しかしながら、分割数Ｎが小さいと
きには、集合領域に含まれる分割領域がたった１つであ
ったとしてもスキップさせた場合がよいことがある。逆
に図６の例のように、終了の判定がされた分割領域がか
なり集まってからスキップした方がよい揺動形状があ
る。したがって、必ずしも実施例のようにする必要はな
い。例えば、最初に加工が終了したと判定された分割領
域もスキップさせたい場合には、図３のフローチャート
におけるステップＳ２０〜Ｓ２２で示される工程を除く
ことで実施できる。また、例えば、分割数Ｎや揺動形状
に基づいて、スキップの判断基準となる集合領域を形成
する分割領域の数を選択的に設定するようにして、加工
が終了したと判断された集合領域の大きさに応じてスキ
ップさせるようにできる。

【００３２】放電加工が進んで、次のある分割領域にお
いて加工が終了したと判定されたときには、その新たに
加工が終了したと判定された分割領域が、既に加工が終
了したと判定されている何れかの集合領域（含まれる分
割領域が１つである場合を含む）に隣接するかどうかを
判定する（Ｓ２３）。上記分割領域が既に加工が終了し
たと判定された集合領域と隣接しない場合は、新たな集
合領域が形成されるので、その集合領域に、先に使用さ
れている識別符号とは別の識別符号、例えばβの符号を
付して（Ｓ２４）、その集合領域βに含まれる分割領域
数を加算して（実際はステップ２２と同様に含まれる分
割領域数は１になる）主記憶手段に記憶させる（Ｓ２
５）。なお、この時点で、揺動軌跡が変更させることは
ない。なぜなら、分割領域は揺動領域全体における加工
の終了が判定される最小の単位であるから、既に加工が
終了したと判定されている集合領域よりも広い領域であ
ることがないからである。例えば、図４（Ｄ）に示され
るケース４のように集合領域αとβとに、新しく加工が
終了したと判定された分割領域が隣り合わない場合に
は、集合領域に符号γを付して、その分割領域数１を加
算する。また、例えば、既に説明されている図４（Ｃ）
に示されるケース３の状態では、先に集合領域αをスキ
ップするように揺動軌跡が設定されているので、同じ大
きさの集合領域βをスキップするように新しく揺動軌跡
を変更する格別の理由がないからである（常に１箇所だ
けをスキップし続けるようにすることを避けるために揺
動軌跡を変更させることは可能ではある）。

【００３３】さらに加工が進んで、ある集合領域（含ま
れる分割領域が１つの場合を含む）に隣り合う分割領域
（隣接領域と称する）において加工が終了したと判定さ
れた場合には（Ｓ２３）、その隣接領域に接する上記集
合領域の符号を検出する（Ｓ２６）。そして、その集合
領域における分割領域数を加算する（Ｓ２８）。例え
ば、上述した図４に示されるケース１からケース２に進
んだ場合には、集合領域αの分割領域数は１から２に加
算される。一方、上記加工が終了したと判定される隣接
領域が２つの集合領域に挟まれる場合には、２つの集合
領域がその隣接領域によって結合し、より多い分割領域
を含む１つの広い集合領域が形成される（Ｓ２７）。こ
のときは、集合領域の識別符号のうちの先に付けられた
識別符号を優先してその識別符号を付し（Ｓ２９）、そ
れらの分割領域数を総計して、１つの集合領域に吸収
（結合）させる（Ｓ３０）。例えば、図４に示されるケ
ース６のように、２つの集合領域αとβとの間の分割領
域が加工が終了したと判定されてフラグがオン（Ｆ＝
１）になったときには、この分割領域は集合領域αとβ
の両方の集合領域に隣り合い、１つの広い集合領域が形
成される。そこで、先に識別符号が付けられている集合
領域α（分割領域数４）の識別符号αを優先して付し、
集合領域β（分割領域数８）と隣接領域となっている分
割領域の１つを加算して分割領域数が１３の集合領域α
とする。

【００３４】集合領域が形成されたら、揺動軌跡を変更
するかどうかを判断する（Ｓ３１）。揺動軌跡を変更す
る場合は、次の通りである。第１に、分割領域の１以上
（実施例では２以上）において加工が終了したと判断さ
れたときであり、既に加工が終了したと判断された分割
領域あるいは集合領域において、できる限り加工の動作
を行わせないようにするためである。第２に、加工が進
んで、加工が終了したと判定された集合領域がより広く
なったときであり、加工が終了されたと判定された分割
領域を最も多く含む最も広い最大の集合領域をスキップ
させるようにするためである。具体的には、いくつかの
集合領域に含まれる分割領域の数を比較し（Ｓ３２）、
最も多い分割領域を含む集合領域（そのときの最大の集
合領域）の中に含まれる分割領域数をmとするとともに
（Ｓ３３）、複数の集合領域を検索して求められる、ま
たは主記憶手段に記憶されている、直前までの最も多い
分割領域を含む集合領域に含まれる分割領域をＭとする
（Ｓ３４）。そして、分割領域数mが分割領域数Ｍより
も多くなったときに（Ｓ３５）、新たな揺動軌跡を計算
して（Ｓ３６）、これまでの揺動軌跡を変更して移動指
令値を出力するようにする（Ｓ３７）。

【００３５】例えば、図４（Ａ）に示されるケース１の
状態から図４（Ｂ）に示されるケース２のように加工が
進んだときは、直前の最大の集合領域αに含まれる分割
領域数Ｍが１で、今回の最大の集合領域αに含まれる分
割領域数ｍが２であるから、ｍ＞Ｍであり、２つの分割
領域をスキップさせるような揺動軌跡を計算する。一
方、上記ケース２の状態から図４（Ｅ）に示されるケー
ス５のように加工が進んだときは、集合領域βに含まれ
る分割領域数が２に増加しても、直前の最大の集合領域
αに含まれる分割領域数Ｍが２であるから、m＝Ｍであ
って、揺動軌跡は変更されない。なお、直前に集合領域
がなかった場合には、直前の最大の集合領域に含まれる
分割領域数Ｍは０である。また、複数の集合領域が最大
の集合領域になるときには、最先の符号を有する集合領
域を最大の集合領域とする。図４（Ｆ）に示されるケー
ス６のときは、既に説明したように、新しく形成された
集合領域αに含まれる分割領域の数ｍが１３で、これま
でスキップしていた最大の集合領域βに含まれる分割領
域の数Ｍが８である。したがって、新たな集合領域αの
分割領域数が集合領域βの分割領域数Ｍを上回るので、
新しく形成された集合領域α（分割領域数１３）をスキ
ップするような揺動軌跡に変更される。以上のようにし
て、第１の方法発明が行なわれることになる。

【００３６】次に、第２の方法発明について説明する。
第１の方法発明では、加工が完了したとされる特定の集
合領域についてはスキップすることとしているが、この
第２の方法発明ではその集合領域をスキップすることな
く揺動速度を早くすることによって通過させている。従
って、この第２の方法発明においては、領域が隣り合っ
ているかどうかの判断不要である。また、一度加工終了
と判定された領域でも、電極と被加工物との間隙に加工
電圧を印加して、速い相対移動速度で通過させることと
しているが、電極と被加工物との間に加工電圧を供給せ
ず全く放電を発生させることなく通過させるようにして
もよいなど、種々の応用が可能である。

【００３７】この第２の方法発明では、スキップできな
い領域がないので、分割領域が多い場合などは特に有効
である。また、好ましくは、所望の位置に到達したこと
を特開平９−１７４３３４号公報に開示されるような方
式で検出するようにすると、所望の位置を超えて加工し
過ぎることもない。図１に示す装置の実施例は、第１の
方法発明と第２の方法発明を共に実施できる構成であ
り、第２の方方法発明を実施する場合には、速度変更演
算手段１４３を使用する。より具体的には、既に説明さ
れている領域判定手段１９から”軌跡変更信号”を入力
したら、領域判定手段１９で計算された分割領域に関す
るデータ、及び予め設定されている変更されるべき速度
のデータとを、解析手段１１を介して主記憶手段１２か
ら得る。そして、位置検出装置３から位置データを得
て、揺動方向における位置（ｘ，ｙ）が、加工が終了し
たと判定された分割領域内にあるときには、所定の速度
になるように各軸の移動指令値を出力させる”速度変更
信号”を移動量演算手段１４１に出力する。移動量演算
手段１４１は、速度変更演算手段１４３から入力された
上記データに基づいて、初期の所定の移動指令値を出力
するときに、所定の揺動軌跡上に位置するときには、各
軸の移動指令値（連続パルス列）を出力する間隔を短く
して速度指令出力手段１５に出力する。その結果、速度
指令出力手段１５は、電極が所定の揺動軌跡上に位置す
るときには、初期の速度指令値よりも高速の速度指令値
を出力する。

【００３８】図７はこの第２の方法発明の工程を示すフ
ローチャートである。この図７に示すフローチャートと
図２に示すフローチャートが異なる点は、図２に示すフ
ローチャートのステップＳ６とＳ７の間にステップＳ６
−１〜Ｓ６−４があり、ステップＳ９とＳ１０との間に
ステップＳ９−１が含まれている点、及び図２に示すフ
ローチャートのステップＳ１３（終了判定ルーチン）が
除かれている点である。従って、上記以外のステップに
ついては、基本的に図２に示すフローチャートと同じで
あるとして、その説明を省略する。この第２の方法発明
では、Ｓ６において判定フラグＦをリセットしたなら
ば、現在の揺動方向の位置を検出しつつ放電加工を行い
ながら（Ｓ６−１）、常時、上記検出されている現在の
揺動方向の位置が含まれる分割領域にフラグＦが１か０
か（主記憶手段に記憶されている信号）を判断する（Ｓ
６−２）。ここでフラグＦが１であれば（ＹＥＳ）、所
定の高速揺動速度にしてその部分の分割領域を高速で移
動させる（Ｓ６−３）。ここで、放電をさせながら移動
させているのは、サーボ動作を有効しておけるので、万
が一の電極と被加工物との衝突を回避できる点で有益で
あるからである。

【００３９】ステップＳ６−２において、ＮＯと判断さ
れた場合には、その分割領域は加工が終了していないこ
とになるので、通常の揺動速度で加工を行なう（Ｓ６−
４）また、Ｓ９において、現在の送り量ｄと揺動量ｌと
がそれぞれ設定値Ｄ、Ｌに達したならば、そのときの揺
動方向における位置を検出して（Ｓ９−１）、その位置
が含まれる分割領域を求める。そして、その分割領域に
ついては、加工が終了したと判定して、主記憶手段のそ
の分割領域に係る判定フラグＦのデータを１にする（Ｓ
１０）。なお、この第２の方法発明では、図３に示した
ような終了判定ルーチンを実施しないのは前述した通り
である。

【００４０】上述した実施例は、その説明において種々
の変形例を挙げている通り、本発明の技術思想を逸脱し
ない範囲で変更が可能である。また、本発明の形彫放電
加工装置は、その部材の多くが電子部品で構成されてい
るので、実施例に示されるブロック図を適宜変更するこ
とが容易である。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
次のように優れた作用効果を発揮することができる。揺
動形状（揺動領域）を分割してそれら分割された揺動領
域内の分割領域毎に所望の位置に到達したかどうかを判
断して揺動加工を行うようにしたので、均一な仕上げ面
が得られる。そして、上記分割領域毎に所望の位置に到
達したかどうかを判断するとともに、所望の位置に到達
したと判断された分割領域をできる限りスキップさせる
か、或いは分割領域における相対移動速度を速くするの
で、加工時間をより短縮することができる。また、各上
記分割領域において、加工深さ方向と側面方向とのそれ
ぞれに対して所望の位置に到達したかどうかを判断し、
その分割領域をできる限りスキップさせるか相対移動速
度を速くするようにしたので、加工穴の底面も側面も共
に均一に仕上げることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る形彫放電加工装置を示すブロック
構成図である。

【図２】本発明の第１の方法発明を示すフローチャート
である。

【図３】終了判定ルーチンの工程を示すフローチャート
である。

【図４】分割領域と集合領域の態様を示す図である。

【図５】分割領域と集合領域の態様を示す図である。

【図６】他の分割領域と集合領域の態様を示す図であ
る。

【図７】第２の方法発明の工程を示す図である。

【符号の説明】

２ 入力装置 ７ 加工ヘッド １１ 解析手段 １３ 移動制御手段 １４ 揺動指令手段 １９ 領域判定手段 Ｅ 工具電極 Ｗ 被加工物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 米田 康治 神奈川県横浜市都筑区仲町台３−12−１ 株式会社ソディック本社・技術研修センタ ー内 (72)発明者 虞 戦波 神奈川県横浜市都筑区仲町台３−12−１ 株式会社ソディック本社・技術研修センタ ー内 Ｆターム(参考） 3C059 AA01 AB03 CA01 CB08 CC03 CH01 CJ06 DA02

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電極と被加工物とで形成される加工間隙
   に所要の加工電圧を間欠的に印加しつつ、前記電極と前
   記被加工物とを加工深さ方向と該加工深さ方向に垂直な
   加工穴の側面方向とに相対移動させて前記被加工物を放
   電加工するようにした形彫放電加工方法における揺動加
   工方法において、 前記加工深さ方向の加工が予め設定された所望の地点に
   到達したかどうかを検出するとともに、前記側面方向の
   加工が予め設定された所望の地点に到達したかどうかを
   検出しつつ、前記被加工物を放電加工する工程と、 前記加工深さ方向の加工が予め設定された所望の地点に
   到達し、かつ前記側面方向の加工が予め設定された所望
   の地点に到達したときに、その到達地点が予め設定され
   た分割数により分割された前記側面方向に前記電極が相
   対移動させる所定の揺動形状の複数の分割領域のうちの
   何れの分割領域にあるかを検知する工程と、 前記検知された分割領域または前記検知された分割領域
   が複数個集合した集合領域の少なくとも１つの前記分割
   領域または前記分割領域をスキップするように電極の相
   対移動軌跡を変更する工程と、を含み、 全ての前記分割領域において、前記加工深さ方向の加工
   が前記予め設定された所望の地点に到達し、かつ前記側
   面方向の加工が前記予め設定された所望の地点に到達す
   るまで、前記工程を繰り返すようにしたことを特徴とす
   る形彫放電加工における揺動加工方法。
2. 【請求項２】 電極と被加工物とで形成される加工間隙
   に所要の加工電圧を間欠的に印加しつつ、前記電極と前
   記被加工物とを加工深さ方向と該加工深さ方向に垂直な
   加工穴の側面方向とに相対移動させて前記被加工物を放
   電加工するようにした形彫放電加工における揺動加工方
   法において、 前記加工深さ方向の加工が予め設定された所望の地点に
   到達したかどうかを検出するとともに、前記側面方向の
   加工が予め設定された所望の地点に到達したかどうかを
   検出しつつ、前記被加工物を放電加工する工程と、 前記加工深さ方向の加工が予め設定された所望の地点に
   到達し、かつ前記側面方向の加工が予め設定された所望
   の地点に到達したときに、その到達地点が予め設定され
   た分割数により分割された前記側面方向に前記電極が相
   対移動させる所定の揺動形状の複数の分割領域のうちの
   何れの分割領域にあるかを検知する工程と、 前記検知された分割領域の少なくとも１つの前記分割領
   域における前記側面方向における前記電極の相対移動速
   度を速くする工程と、を含み、 全ての前記分割領域において、前記加工深さ方向の加工
   が前記予め設定された所望の地点に到達し、かつ前記側
   面方向の加工が前記予め設定された所望の地点に到達す
   るまで前記工程を繰り返すようにしたことを特徴とする
   形彫放電加工における揺動加工方法。
3. 【請求項３】 電極と被加工物とで形成される加工間隙
   に所要の加工電圧を間欠的に印加する加工用電源装置
   と、加工深さ方向と該加工深さ方向に垂直な加工穴の側
   面方向とに前記電極と前記被加工物を相対移動させる相
   対移動装置と、を備えた放電加工装置であって、 所定の加工パラメータを入力する入力装置と、 前記加工パラメータに基づいて前記側面方向と前記加工
   深さ方向に前記電極と前記被加工物とを相対移動させる
   軌跡を設定する手段と、 前記設定された前記電極を前記側面方向に相対移動させ
   る軌跡に囲まれる領域を前記加工パラメータの一部を形
   成する分割数または分割角度に基づいて複数の領域に分
   割する手段と、 前記加工深さ方向の加工が予め設定された所望の地点に
   到達したかどうかを検出するとともに、前記側面方向の
   加工が予め設定された所望の地点に到達したかどうかを
   検出する手段と、 前記検出する手段により前記加工深さ方向と前記側面方
   向とのそれぞれにおいて前記所望の地点に到達したこと
   が検出されたとき、前記到達地点が前記分割数または分
   割角度により分割された前記複数の領域のうちの何れの
   領域にあるかを判定する手段と、 前記設定する手段により設定された軌跡を、前記判定す
   る手段により判定された前記分割された領域または前記
   領域が複数個集合した集合領域の少なくとも１つの前記
   分割された領域または前記集合領域をスキップするよう
   な軌跡を演算して前記設定する手段により設定された軌
   跡を変更する手段と、 全ての前記分割された領域において、前記加工深さ方向
   と前記側面方向との加工が前記予め設定された所望の地
   点に到達したときに所望の放電加工を終了させる手段
   と、 含んで成る形彫放電加工装置。
4. 【請求項４】 電極と被加工物とで形成される加工間隙
   に所要の加工電圧を間欠的に印加する加工用電源装置
   と、加工深さ方向と該加工深さ方向に垂直な加工穴の側
   面方向とに前記電極と前記被加工物を相対移動させる相
   対移動装置と、を備えた放電加工装置であって、 所定の加工パラメータを入力する入力装置と、 前記加工パラメータに基づいて前記側面方向と前記加工
   深さ方向に前記電極と前記被加工物とを相対移動させる
   軌跡を設定する手段と、 前記設定された前記電極を前記側面方向に相対移動させ
   る軌跡に囲まれる領域を前記加工パラメータの一部を形
   成する分割数または分割角度に基づいて複数の領域に分
   割する手段と、 前記加工深さ方向の加工が予め設定された所望の地点に
   到達したかどうかを検出するとともに、前記側面方向の
   加工が予め設定された所望の地点に到達したかどうかを
   検出する手段と、 前記検出する手段により前記加工深さ方向と前記側面方
   向とのそれぞれにおいて前記所望の地点に到達したこと
   が検出されたとき、前記到達地点が前記分割数または分
   割角度により分割された前記複数の領域のうちの何れの
   領域にあるかを判定する手段と、 前記判定する手段により判定された前記分化された領域
   における軌跡を演算し、前記軌跡上を前記電極が相対移
   動するときは、初期の相対移動速度より速い所定の相対
   移動速度で前記電極が相対移動するように相対移動速度
   を設定する制御する手段と、 全ての前記分割された領域において、前記加工深さ方向
   と前記側面方向との加工が前記予め設定された所望の地
   点に到達したときに所望の放電加工を終了させる手段
   と、 含んで成る形彫放電加工装置。