JP2001183115A - 輪郭形状測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被測定物の形状に影響されることなく、被測
定物の任意の輪郭部の形状を正確かつ自動的に測定する
ことができるような輪郭形状測定方法を提供する。 【解決手段】 顕微鏡をサーチ開始位置からサーチ終了
位置まで移動させながら、サンプリング間隔毎に輪郭候
補点の近傍領域の画像を抽出し、この画像のコントラス
ト値を算出する。しかる後、コントラスト値の中から最
大値を検索し、この値に基づいて第１及び第２の閾値を
設定し、この２つの閾値間にあるコントラスト値を抽出
し、これに対して関数近似を施すことによってコントラ
スト値全体のピーク位置を算出し、このピーク位置に基
づいて顕微鏡の合焦位置を算出し、この合焦位置に顕微
鏡を移動させた後、この輪郭候補点の座標を算出する。
以上の処理を予め設定された複数個の輪郭候補点すべて
に対して行い、最後に、算出された複数個の輪郭候補点
の座標に基づいて被測定物の輪郭形状を求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、画像処理技術を用
いた輪郭形状測定方法に関し、特に、バイト等の工具先
端に接着されるチップについて、その形状あるいは寸法
を測定する場合に適用される輪郭形状測定方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、バイト等の工具先端に接着され
るチップ（以下「工具チップ」と記す）の形状あるいは
寸法を測定する場合には、拡大投影器を使用して間接的
に測定する方法や、工具顕微鏡を使用して作業者が手動
で測定する方法が採用されてきた。図５は工具チップ先
端部の形状例を示したものである。図５に示すように、
工具チップ先端部は一般に半球状に加工されており、そ
れ故に工具チップを側面から測定する場合、顕微鏡と工
具チップ先端部全体の位置を合焦位置に調節することは
不可能である。したがって、拡大投影器によって工具チ
ップ先端部全体を一度に測定した場合には、測定に誤差
を生ずる場合がある。また、工具顕微鏡を用いた場合に
は、顕微鏡と工具チップ先端部の位置を微妙に調節しな
がら測定する必要があり、測定に長時間を要する上、か
なりの労力と技能を必要とするという問題がある。この
問題を解決するための一方策として、例えば、レーザセ
ンサを用いて顕微鏡と工具チップ先端部の距離を測定
し、顕微鏡位置を合焦位置に自動的に調節する方法があ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、レーザセンサ
を用いた場合には、レーザの照射位置を工具チップ先端
部に正確に調節することが難しいばかりでなく、レーザ
センサの出力はその照射角に大きく影響を受けるため、
工具チップのように被測定物の表面が半球状の場合に
は、距離を精密に測定することは困難となる。

【０００４】本発明は、被測定物の形状に影響されるこ
となく、被測定物の任意の輪郭部の形状を正確かつ自動
的に測定することができるような輪郭形状測定方法を提
供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１にかかる発明では、まず、顕微鏡を被測
定物の設置面に対して垂直方向に予め設定されたサーチ
開始位置からサーチ終了位置まで予め設定された移動速
度で移動させながら、予め定められたサンプリング間隔
毎に、予め設定された輪郭候補点の近傍領域の画像（輪
郭候補点近傍画像）を抽出し、この輪郭候補点近傍画像
のコントラスト値を算出するとともに顕微鏡の位置を検
出する。しかる後、算出されたサンプリング間隔毎のコ
ントラスト値の中からその最大値である最大コントラス
ト値を検索し、この最大コントラスト値に基づいてコン
トラスト値に関する第１及び第２の閾値を設定する。そ
して、算出されたサンプリング間隔毎のコントラスト値
の中から第１の閾値以上でかつ第２の閾値以下のものを
抽出し、この抽出されたコントラスト値を所定の関数に
より近似することによって前記サンプリング間隔毎のコ
ントラスト値全体のピーク位置を算出する。次いで、こ
のコントラスト値のピーク位置に基づいて顕微鏡の合焦
位置を算出し、この合焦位置に顕微鏡を移動させた後、
この輪郭候補点の座標を算出する。以上の処理を予め設
定された複数個の輪郭候補点すべてに対して行い、最後
に、算出された複数個の輪郭候補点の座標に基づいて被
測定物の輪郭形状を求めるようにした。

【０００６】上記の構成によれば、被測定物の輪郭形状
の測定に際して、予め設定しておいた複数個の輪郭候補
点のそれぞれについて、合焦位置の算出、合焦位置への
顕微鏡の移動、輪郭候補点の座標の算出、といった処理
を行うようにしたので、輪郭候補点の座標の算出精度が
向上し、輪郭候補点の座標から求められる輪郭形状の算
出精度についても向上することになる。さらに、顕微鏡
の合焦位置を算出する際に必要なコントラスト値全体の
ピーク位置については、ピーク位置近傍の両側のコント
ラスト値データを抽出し、この抽出データを所定の関数
により近似することにより算出するようにしたので、顕
微鏡が具備する対物レンズの焦点深度に起因する悪影響
が排除されるものとなり、その結果、顕微鏡の合焦位置
の算出精度が向上し、輪郭候補点の座標の算出精度がい
っそう向上することになる。

【０００７】請求項２にかかる発明によれば、請求項１
にかかる発明において、サンプリング間隔はテレビカメ
ラのフレーム間隔と同一とするようにした。一般に、サ
ンプリング間隔はテレビカメラのフレーム間隔の正数倍
となるようにすればよいが、サンプリング間隔をテレビ
カメラのフレーム間隔と同一とするように設定すれば、
得られるコントラスト値が多くなるので、コントラスト
値のピーク位置をより正確に算出することができるよう
になるばかりでなく、サンプリング間隔をテレビカメラ
のフレーム間隔と同期させることにより、演算装置内の
処理が簡素化される。

【０００８】請求項３にかかる発明によれば、請求項１
または２にかかる発明において、算出されたサンプリン
グ間隔毎のコントラスト値は輪郭候補点近傍画像の標準
偏差より求めるようにした。一般に標準偏差は領域全体
の特徴を示す指標として用いられているので、輪郭候補
点近傍画像の標準偏差よりコントラスト値を求めるよう
にすれば、コントラスト値のピーク位置を算出する際に
は不要な要素であるゴミやほこり等の局所的な影響を排
除したコントラスト値を得ることができる。

【０００９】請求項４にかかる発明によれば、請求項１
または２にかかる発明において、算出されたサンプリン
グ間隔毎のコントラスト値は輪郭候補点近傍画像を微分
処理した後の画像中の濃度上位部分の平均値より求める
ようにした。これにより、濃度上位部分の範囲を輪郭候
補点近傍画像に応じて適切に選択することにより、請求
項３にかかる発明と同様に、コントラスト値のピーク位
置を算出する際には不要な要素であるゴミやほこり等の
局所的な影響を排除したコントラスト値を得ることがで
きる。

【００１０】請求項５にかかる発明によれば、請求項１
乃至４のいずれかにかかる発明において、請求項１に記
載の顕微鏡の移動速度にサンプリング間隔を乗じた値を
オフセット値として算出し、このオフセット値をコント
ラスト値のピーク位置に加算した値を顕微鏡の合焦位置
とするようにした。理論的には算出されたコントラスト
値のピーク位置を顕微鏡の合焦位置とすればよいわけで
あるが、本発明ではコントラスト値は顕微鏡の移動途中
にサンプリング間隔毎に得るようにしているから、得ら
れたコントラスト値のデータは顕微鏡の移動速度の影響
を受けることになる。この影響を加味するためには、請
求項１に記載の顕微鏡の移動速度にサンプリング間隔を
乗じた値をオフセット値とし、このオフセット値を算出
されたコントラスト値のピーク位置に加算することによ
り、顕微鏡の合焦位置を正確に算出するようにすればよ
い。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図２は、本発明にかかる
輪郭形状測定方法が適用される画像処理技術を利用した
輪郭形状測定機構の概略図である。図２中の、１は被測
定物を観察するための顕微鏡、２は顕微鏡１に連結装備
されたテレビカメラ、３は顕微鏡１を保持するためのス
テージ、４はステージ３を駆動するためのモータ、５は
顕微鏡１の位置を検出するエンコーダ、６はテレビカメ
ラ２に接続されたフレームメモリ、７はフレームメモリ
６、モータ４、及びエンコーダ５にそれぞれ接続された
演算制御装置、８はフレームメモリ６に接続されたモニ
タテレビ、９はデータを記憶するためのワークメモリ、
Ｗは被測定物としての工具チップをそれぞれ示す。

【００１２】次に、本発明の輪郭形状測定方法の一実施
形態について、図１に示すフローチャートに基づいて説
明する。

【００１３】本実施形態では、被測定物の輪郭部の形状
を測定するために、まず複数個の輪郭候補点を設定し、
次いでこの輪郭候補点のそれぞれの座標を測定し、最後
にこの輪郭候補点の座標に基づいて輪郭形状を算出する
という処理を行う。しかし、本実施形態のように被測定
物が工具チップの場合は、図５に示したように、その先
端部が半球状に加工されているため、画面内全ての輪郭
部に一度でピントを合わせることができないという問題
がある。具体的に言うと、図４は３つの輪郭候補点のそ
れぞれにピントを合わせたときの画像を示したものであ
るが、いずれもピントの合った輪郭候補点（○印）以外
の輪郭候補点（△印）についてはピントが合っていな
い。そのため、全ての輪郭候補点の座標を正確に求める
ためには、輪郭候補点のそれぞれにおいて、合焦位置の
算出、合焦位置への顕微鏡の移動、輪郭候補点の座標の
算出、といった処理を行うようにしなければならない。

【００１４】図１に示したフローチャートの処理を行う
前に、予め複数個の輪郭候補点を設定しておく必要があ
る。そのために、テレビカメラ２にて工具チップＷの画
像を取込み、その中から任意の輪郭候補点（図３の〜
に示した「×」印）及びこれら複数個の輪郭候補点そ
れぞれの近傍領域（図３の〜に示した破線枠内）を
抽出し、これらをフレームメモリ６に記憶しておく。

【００１５】ステップ１１：顕微鏡１をサーチ開始位置
に移動する。 本発明では、コントラスト値のピーク位置を算出する際
には、最大コントラスト値に基づいて設定された２つの
閾値の範囲内にあるコントラスト値のデータが必要とな
るので、顕微鏡１の移動中に得られたコントラスト値の
データには、この２つの閾値の範囲内にあるコントラス
ト値が含まれるようにするとともに顕微鏡１が具備する
対物レンズの焦点深度の範囲がその中央部を占めるよう
に、サーチ範囲すなわちサーチ開始位置及びサーチ終了
位置が設定されなければならない。このサーチ範囲は、
図１に示す一連の処理を行わせる前に予め設定しておけ
ばよいが、自動的に設定するようにしてもよい。

【００１６】ステップ１２：顕微鏡１の移動を開始す
る。 このステップでは、顕微鏡１をサーチ終了位置へ向け
て、予め設定された移動速度にて移動させる。顕微鏡１
は、モータ４を正逆いずれかの方向に回転させることに
よって、顕微鏡１及びテレビカメラ２を保持するステー
ジ３を被測定物としての工具チップＷに対して近接ない
し離間する方向に移動される。この場合の顕微鏡１の移
動速度は予め任意に設定することができる。サンプリン
グ間隔の設定値にも影響されるが、一般に、移動速度を
大きく設定すると得られるデータの量が少なくなるので
精度は低下するが処理は速くなり、逆に移動速度を小さ
く設定すると得られるデータの量が多くなるので精度は
高くなるが処理に時間がかかるようになる。したがっ
て、この移動速度の設定に際しては、精度と処理時間の
つり合いを考慮する必要がある。なお、以下のステップ
１３〜１５の処理は、顕微鏡１の移動中に行われるもの
である。

【００１７】ステップ１３：サンプリング間隔毎に１つ
の輪郭候補点近傍の画像を撮影する。 このステップでは、予め設定しておいた複数個の輪郭候
補点の一つについて、その輪郭候補点近傍の画像をサン
プリング間隔毎に撮影する。ここで、サンプリング間隔
とは、画像データを取得するタイミングを規定する時間
間隔であり、テレビカメラのフレーム間隔（時間）の正
数倍に設定される数値である。サンプリング間隔をテレ
ビカメラのフレーム間隔と同一とするように設定すれ
ば、得られるコントラスト値が多くなるので、コントラ
スト値のピーク位置をより正確に算出することができる
ようになる。また、サンプリング間隔をテレビカメラの
フレーム間隔と同期させることにより、演算装置内の処
理が簡素化されるという利点もある。

【００１８】ステップ１４：サンプリング間隔毎に輪郭
候補点近傍画像のコントラスト値を算出するとともに、
顕微鏡１の位置を検出する。 このステップでは、演算制御装置７においてフレームメ
モリ６に記憶された輪郭候補点近傍画像のデータを読み
込み、コントラスト値を算出する。コントラスト値の算
出にはいくつかの方法があるが、このうち輪郭候補点近
傍画像の標準偏差により算出する方法を用いれば、コン
トラスト値のピーク位置を算出する際には、不要な要素
であるゴミやほこり等の局所的な影響を排除したコント
ラスト値を得ることができる。また、別の方法として、
輪郭候補点近傍画像を微分処理した後の画像中の濃度上
位部分の平均値よりコントラスト値を算出する方法を用
いれば、濃度上位部分の範囲を輪郭候補点近傍画像に応
じて適切に選択することにより、標準偏差を用いる場合
と同様な効果が得られる。さらにこのステップでは、エ
ンコーダ５によりこのサンプリング点における顕微鏡１
の位置を検出する。なお、顕微鏡１の位置の検出は、図
１に示すフローチャートのステップ１３〜１５のループ
内であればよい。求められたコントラスト値及び検出さ
れた顕微鏡１の位置はワークメモリ９内に一時的に記憶
される。

【００１９】ステップ１５：顕微鏡１がサーチ終了位置
に到達したか？。 このステップでは、顕微鏡１がサーチ終了位置に到達し
ていない場合（ステップ１５Ｎ）は、再度ステップ１３
以降の処理を繰り返す。一方、顕微鏡１がサーチ終了位
置に到達していた場合（ステップ１５Ｙ）は、ステップ
１６の処理を行う。

【００２０】ステップ１６：最大コントラスト値を検索
する。 このステップでは、ワークメモリ９内に記憶されたコン
トラスト値の中から、その最大値である最大コントラス
ト値を検索する。

【００２１】ステップ１７：最大コントラスト値を基準
にして第１及び第２の閾値を設定する。 このステップでは、ステップ１６において検索された最
大コントラスト値を基準にして、コントラスト値に関す
る第１及び第２の閾値を設定する。このコントラスト値
に関する第１及び第２の閾値については、これらの閾値
は、顕微鏡１の合焦位置を求める際に必要な、コントラ
スト値のピーク位置を算出するためのデータとして、サ
ンプリング間隔毎に得られたコントラスト値の中から必
要とするコントラスト値を抽出する際に使用する閾値で
あり、第２の閾値は第１の閾値よりも大きく設定するも
のである。そして、この第１及び第２の閾値はステップ
１６において検索された最大コントラスト値を基準にし
たときの比率を基に表される。例えば、最大コントラス
ト値の基準値を１としたときの第１の閾値の比率を０．
７、第２の閾値の比率を０．８とした場合には、実際の
最大コントラスト値が２００であったとすれば、第１の
閾値は１４０（２００×０．７）、第２の閾値は１６０
（２００×０．８）となる。

【００２２】ステップ１８：第１の閾値以上でかつ第２
の閾値以下のコントラスト値を抽出する。 このステップでは、ワークメモリ９内に記憶されたコン
トラスト値の中から、ステップ１７において設定された
２つの閾値の範囲内にあるコントラスト値を抽出する。

【００２３】ステップ１９：抽出されたコントラスト値
よりピーク位置を算出する。 このステップでは、ステップ１８において抽出されたコ
ントラスト値より、ステップ１４において算出されたコ
ントラスト値全体のピーク位置を算出する。このピーク
位置の算出にあたっては、一般によく知られている二次
関数やガウス関数などの近似関数を用いればよい。

【００２４】ステップ２０：ピーク位置を基にして顕微
鏡１の合焦位置を設定する。 このステップでは、ステップ１９において算出されたコ
ントラスト値のピーク位置に基づいて顕微鏡１の合焦位
置を算出し設定する。ここで、算出されたコントラスト
値のピーク位置に基づいて顕微鏡１の合焦位置を算出す
る点について詳述すると、単純に、算出されたコントラ
スト値のピーク位置を顕微鏡１の合焦位置としてもよい
が、顕微鏡１の移動速度による影響を考慮し、顕微鏡１
の移動速度にサンプリング間隔を乗じた値をオフセット
値とし、このオフセット値を算出されたコントラスト値
のピーク位置に加算することにより、顕微鏡１の移動速
度による影響を排除した合焦位置を算出するようにすれ
ば、より精度が高くなる。

【００２５】ステップ２１：顕微鏡１を合焦位置に移動
する。 このステップでは、ステップ２０において算出された合
焦位置に顕微鏡１を移動する。

【００２６】ステップ２２：輪郭候補点の座標を算出す
る。 このステップでは、ステップ２１における合焦位置への
顕微鏡１の移動が完了した後、この輪郭候補点の座標を
算出し、これをワークメモリ９に記憶する。この座標の
算出にあたっては、通常用いられる画像処理技術を適用
すればよいので、ここでの詳細な説明は省略する。

【００２７】ステップ２３：全ての輪郭候補点を検出し
たか？。 このステップでは、全ての輪郭候補点の検出が終了して
いない場合（ステップ２３Ｎ）は、次の輪郭候補点につ
いて再度ステップ１１以降の処理を繰り返す。一方、全
ての輪郭候補点の検出が終了している場合（ステップ２
３Ｙ）は、ステップ２４の処理を行う。

【００２８】ステップ２４：算出された各輪郭候補点の
座標データに基づいて輪郭形状を算出する。 このステップでは、前ステップまでの処理において算出
された各輪郭候補点の座標データに基づいて、輪郭形状
を算出する。具体的には、演算制御装置７がワークメモ
リ９に記憶されている各輪郭候補点の座標データを取り
込み、この複数個の座標データに対して関数近似を適用
することにより、輪郭形状を算出する。例えば、図３に
示した例の場合は、輪郭候補点〜の各座標データに
対して関数近似としての円近似を適用することにより、
工具チップＷ先端部のＲ形状を測定することができる。

【００２９】以上、本発明の一実施形態について説明し
た。なお、本実施形態では被測定物として工具チップを
選択し、半球状の工具チップ先端部の輪郭形状を測定す
る場合について説明したが、これに限定されることな
く、種々の被測定物について適用可能である。また、本
実施形態では顕微鏡本体を移動するようにしていたが、
これに代えて、顕微鏡が有する対物レンズのみを移動す
るようにしてもよい。

【００３０】

【発明の効果】請求項１にかかる発明によれば、被測定
物の輪郭形状の測定に際して、予め設定しておいた複数
個の輪郭候補点のそれぞれについて、合焦位置の算出、
合焦位置への顕微鏡の移動、輪郭候補点の座標の算出、
といった処理が行われる。そのため、被測定物の形状が
複雑なものであったとしても、輪郭候補点のそれぞれに
ついて合焦位置を算出するようにした本発明の方法によ
れば、被測定物の任意の輪郭部の形状を正確かつ自動的
に測定することができるものとなった。

【００３１】請求項２にかかる発明によれば、請求項１
にかかる発明において、サンプリング間隔はテレビカメ
ラのフレーム間隔と同一とするようにした。そのため、
得られるコントラスト値の数についてはサンプリング間
隔をテレビカメラのフレーム間隔の正数倍としたときよ
りも多くなるので、コントラスト値のピーク位置をより
正確に算出することができるようになるばかりでなく、
サンプリング間隔をテレビカメラのフレーム間隔と同期
させることにより、演算装置内の処理が簡素化されるも
のとなった。

【００３２】請求項３にかかる発明によれば、請求項１
または２にかかる発明において、コントラスト値は輪郭
候補点近傍画像の標準偏差より求めるようにした。その
ため、コントラスト値のピーク位置を算出する際には不
要な要素であるゴミやほこり等の局所的な影響を排除し
たコントラスト値を得ることができるものとなった。

【００３３】請求項４にかかる発明によれば、請求項１
または２にかかる発明において、コントラスト値は輪郭
候補点近傍画像を微分処理した後の画像中の濃度上位部
分の平均値より求めるようにした。そのため、濃度上位
部分の範囲を輪郭候補点近傍画像に応じて適切に選択す
ることにより、請求項３にかかる発明と同様に、コント
ラスト値のピーク位置を算出する際には不要な要素であ
るゴミやほこり等の局所的な影響を排除したコントラス
ト値を得ることができるものとなった。

【００３４】請求項５にかかる発明によれば、請求項１
乃至４のいずれかにかかる発明において、顕微鏡の移動
速度にサンプリング間隔を乗じた値をオフセット値とし
て算出し、このオフセット値をコントラスト値のピーク
位置に加算した値を顕微鏡の合焦位置とするようにし
た。そのため、コントラスト値を得る際の顕微鏡の移動
速度による影響が排除された、より正確な合焦位置が算
出されるものとなった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の輪郭形状測定方法の一実施形態を示す
フローチャートである。

【図２】本発明にかかる輪郭形状測定方法が適用される
画像処理技術を利用した輪郭形状測定機構の概略図であ
る。

【図３】形状を測定すべき被測定物としての工具チップ
Ｗの輪郭候補点およびその近傍の例を示したものであ
る。

【図４】図３に示した輪郭候補点の一つにピントを合わ
せたときの撮影画像を示したものであり、（ａ）図は図
３に示した輪郭候補点にピントを合わせたときの撮影
画像、（ｂ）図は図３に示した輪郭候補点にピントを
合わせたときの撮影画像、（ｃ）図は図３に示した輪郭
候補点にピントを合わせたときの撮影画像をそれぞれ
示している。

【図５】工具チップ先端部の形状例を示したものであ
る。

【符号の説明】

１ 顕微鏡 ２ テレビカメラ ３ ステージ ４ モータ ５ エンコーダ ６ フレームメモリ ７ 演算制御装置 ８ モニタテレビ ９ ワークメモリ Ｗ 工具チップ（被測定物）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】顕微鏡を被測定物の設置面に対して垂直方
   向に予め設定されたサーチ開始位置からサーチ終了位置
   まで予め設定された移動速度で移動させながら、予め定
   められたサンプリング間隔毎に、予め設定された輪郭候
   補点の近傍領域の画像を抽出し、該輪郭候補点近傍画像
   のコントラスト値を算出するとともに顕微鏡の位置を検
   出し、 該サンプリング間隔毎のコントラスト値の中からその最
   大値である最大コントラスト値を検索し、 該最大コントラスト値に基づいてコントラスト値に関す
   る第１及び第２の閾値を設定し、 前記サンプリング間隔毎のコントラスト値の中から前記
   第１の閾値以上でかつ第２の閾値以下のものを抽出し、 該抽出されたコントラスト値を所定の関数により近似す
   ることによって前記サンプリング間隔毎のコントラスト
   値全体のピーク位置を算出し、 該コントラスト値のピーク位置に基づいて顕微鏡の合焦
   位置を算出し、 該合焦位置に顕微鏡を移動させた後、前記輪郭候補点の
   座標を算出し、 以上の処理を予め設定された複数個の輪郭候補点すべて
   に対して行い、 算出された複数個の輪郭候補点の座標に基づいて被測定
   物の輪郭形状を求めるようにしたことを特徴とする輪郭
   形状測定方法。
2. 【請求項２】前記サンプリング間隔を前記テレビカメラ
   のフレーム間隔と同一とするようにしたことを特徴とす
   る請求項１に記載の輪郭形状測定方法。
3. 【請求項３】前記サンプリング間隔毎のコントラスト値
   は前記輪郭候補点近傍画像の標準偏差より求めるように
   したことを特徴とする請求項１または２に記載の輪郭形
   状測定方法。
4. 【請求項４】前記サンプリング間隔毎のコントラスト値
   は前記輪郭候補点近傍画像を微分処理した後の画像の濃
   度上位部分の平均値より求めるようにしたことを特徴と
   する請求項１または２に記載の輪郭形状測定方法。
5. 【請求項５】前記移動速度に前記サンプリング間隔を乗
   じた値をオフセット値として算出し、該オフセット値を
   前記コントラスト値のピーク位置に加算した値を顕微鏡
   の合焦位置とするようにしたことを特徴とする請求項１
   乃至４のいずれかに記載の輪郭形状測定方法。