JP2001178159A

JP2001178159A - 超音波モータとその製造方法

Info

Publication number: JP2001178159A
Application number: JP2000243149A
Authority: JP
Inventors: Takashi Yamamoto; 孝史山本; Toshiatsu Nagaya; 年厚長屋
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1999-10-08
Filing date: 2000-08-10
Publication date: 2001-06-29
Also published as: DE10049560A1; US6400064B1

Abstract

(57)【要約】【課題】高出力が得られる超音波モータ及びその製造
方法を提供する。【解決手段】上記課題を解決するために、圧電素子１
と振動体２１とを密着させた駆動体１００の状態で測定
された圧電定数ｄ３１、アドミッタンスＹｍ及び機械的
品質係数Ｑｍの積が６３×１０^-10ｍ・Ｓ／Ｖ以上であ
る駆動体１００を有する超音波モータとした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、低い駆動電圧で高
出力が得られる超音波モータ及びその製造方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、例えば自動車部品に対しては、小
型・軽量化に対する要求がますます高まってきている。
特に自動車に使用されるモータに関しては、低速で高出
力を得ることができるだけでなく、応答性や制御性に優
れ、かつ静粛であるといった特徴が要求されてきてい
る。

【０００３】このような事情より、自動車に使用される
モータとして、大型で高重量の減速機を必要とするＤＣ
モータから、減速機を必要としない圧電素子を使用した
超音波モータへの置き換えが検討されてきている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来使
用されているこの圧電素子は低出力駆動用（１５０Ｖｒ
ｍｓで１Ｎ・ｍ程度）でしかなく、従来の超音波用モー
タを高出力用として使用することが困難であった。

【０００５】本発明は上記問題点に鑑み、高出力が得ら
れる超音波モータおよびその製造方法を提供するもので
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】そこで、本願発明では、
請求項１として、円環状の圧電素子と、該圧電素子に配
設した振動体と、該振動体に加圧当接させた回転体とを
有してなり、上記圧電素子に位相が略９０度異なる２種
類の高周波交流電圧を印加することにより、上記振動体
に進行波を発生させて上記回転体を摩擦駆動させる超音
波モータにおいて、上記圧電素子と上記振動体とを密着
させた駆動源の共振-反共振法で得られる圧電特性であ
る圧電定数ｄ３１、アドミッタンスＹｍ及び機械的品質
係数Ｑｍの積が、ｄ３１×Ｙｍ×Ｑｍ≧６３×１０^-10
ｍ・Ｓ／Ｖである超音波モータを採用するものである。

【０００７】特に、請求項１においては、圧電素子と上
記振動体とを密着させた駆動源の共振−反共振法で得ら
れる圧電特性である圧電定数ｄ３１、アドミッタンスＹ
ｍ及び機械的品質係数Ｑｍの積が、ｄ３１×Ｙｍ×Ｑｍ
≧６３×１０^-10ｍ・Ｓ／Ｖである駆動源を採用するこ
とにより、高出力な超音波モータを提供することができ
ることを見出したものである。

【０００８】さらに、請求項２においては、超音波モー
タにおいて、圧電素子と振動体を密着させた状態におけ
る駆動源の共振-反共振法での圧電特性の評価は、超音
波モータを駆動させる際に高周波交流電圧を印加する２
つの相のうち、一方の相にモータの共振―反共振周波数
を含む周波数範囲で、±１Ｖのｓｉｎ波を印加すること
により行われることが好ましい。

【０００９】このような条件にて、測定して選られる圧
電定数ｄ３１、アドミッタンスＹｍ及び機械的品質係数
Ｑｍの積に基づいて、ｄ３１×Ｙｍ×Ｑｍ≧６３×１０
^-10ｍ・Ｓ／Ｖとなる駆動源を採用することにより、さ
らに確実に高出力な超音波モータを提供することができ
る。

【００１０】請求項３においては、超音波モータにおい
て、上記駆動源を構成する圧電素子と振動体との間に
は、接着層が介在され、この接着層の厚さが２〜１０μ
ｍである超音波モータを提供するものである。

【００１１】この時、接着層の厚さが、２μｍより薄い
場合には、圧電素子と振動体の密着強度が低く、耐久性
が不十分となってしまう。

【００１２】また、接着層の厚さが１０μｍより厚い場
合には、圧電体と振動体とを密着させた状態での誘電率
が急激に減少することから、圧電素子表面に形成した電
極の少なくとも一箇所が金属部品である振動体に接触し
ていない。そのため、モータの最大トルクを十分に大き
くすることができない。

【００１３】請求項４において、円環状の圧電素子と、
該圧電素子に配設した振動体と、該振動体に加圧当接さ
せた回転体とを有してなり、上記圧電素子に位相が略９
０度異なる２種類の高周波交流電圧を印加することによ
り、上記振動体に進行波を発生させて上記回転体を摩擦
駆動させる超音波モータにおいて、上記圧電素子の組成
は一般式として、Ｐｂ_a-bＳｒ_b｛（Ｚｒ_xＴｉ_1-x）_1-y-z
Ｍｎ_yＳｂ_z｝Ｏ₃ ａ＝０．９０〜０．９７ｂ＝０．０３〜０．０７ｘ＝０．４８〜０．５３ｙ＝０．００５〜０．０２ｚ＝０．０１〜０．０４よりなる超音波モータを提供する。

【００１４】上記圧電素子を用いた超音波モータによれ
ば、従来に比して高出力なモータを提供できるものであ
る。

【００１５】請求項５においては、円環状の圧電素子
と、該圧電素子に配設した振動体と、該振動体に加圧当
接させた回転体とを有してなり、上記圧電素子に位相が
略９０度異なる２種類の高周波交流電圧を印加すること
により、上記振動体に進行波を発生させて上記回転体を
摩擦駆動させる超音波モータにおいて、圧電素子と振動
体とを密着させた駆動源に対して、高周波交流電圧を印
加する２つの相のうち、一方の相にモータの共振―反共
振周波数を含む周波数範囲で、±１Ｖのｓｉｎ波を印加
することでインピーダンスの共振―反共振特性を測定
し、これより得られる圧電定数ｄ３１、アドミッタンス
Ｙｍ及び機械的品質係数Ｑｍを測定することにより、上
記圧電定数ｄ３１、アドミッタンスＹｍ及び機械的品質
係数Ｑｍの積、ｄ３１×Ｙｍ×Ｑｍ≧６３×１０^-10ｍ
・Ｓ／Ｖとなるような駆動源を選択する超音波モータの
製造方法を提供するものである。

【００１６】このような、製造方法を採用することによ
り、どのような駆動源を使用すれば、高出力な超音波モ
ータとすることができるかが判断できるので、容易に高
出力の超音波モータを製造することができる。

【００１７】さらに、請求項６においては、上記駆動源
を構成する圧電素子と振動体との間には接着層が介在さ
れ、該接着層の厚さが２〜１０μｍである超音波モータ
の製造方法を提供するものである。

【００１８】

【発明の実施形態】本願発明の超音波用モータを図１及
び図２を用いて説明する。

【００１９】図１及び図２に示すごとく、圧電素子１の
表面は、例えば厚み５μｍ接着剤（一液性エポキシ配合
樹脂）で振動体２１に対し接着され、駆動体１００を形
成している。また、振動体２１の圧電素子１を接着した
面の反対側は多数の歯状突起が設けてある（図２参
照）。この歯状突起２１０の先端に対し回転体２２が積
層される。回転体２２の振動体２１と対面する側には摩
擦材２２０が設けられている。また、上記回転体２２は
皿バネ２３とシャフト２４により振動体２１に対し加圧
当接されている。

【００２０】これら皿バネ２３，回転体２２，振動体２
１及び圧電素子１は全て円環状で、中央の貫通孔にシャ
フト２４を配置する。また、これら部材らは、上部ハウ
ジング２０１と下部ハウジング２０２により構成された
ケース内に収納されている。尚、同図において、符号２
５０はベアリングを示す。

【００２１】また、後述する圧電素子１の両面に設けら
れた電極に対しては、駆動用の高周波（４０ＫＨｚ）の
交流電圧（電圧実効値２１０Ｖｒｍｓ）を印加するため
の配線や検知出力を得るための配線等が設けてある（図
示略）。また、接地電極は振動体２１側より取られてい
る（図示略）。

【００２２】次に、本例の圧電素子１の構造を説明す
る。

【００２３】本例の圧電素子１の表面を図３に、裏面を
図４に示した。

【００２４】圧電素子１の表面側には、圧電素子１の円
周方向において１８０度の角度を隔てて配設された第１
検知用電極１３及び第２検知用電極１４を設けてなる。
さらに、これら第１及び第２検知用電極１３，１４の間
の２つの領域には、円周方向の長さがλ／２の複数の駆
動用電極１１１，１１２，１２１，１２２よりなる第１
及び第２駆動用電極群１１，１２を設けてなる。そし
て、これら圧電素子１の表面に形成された、上記第１及
び第２検知用電極１３，１４及び上記各駆動用電極１１
１，１１２，１２１，１２２はそれぞれ隣接する電極と
逆方向となるよう分極処理されている。

【００２５】また、図４に示す如く、上記圧電素子１の
裏面には、上記第１検知用電極１３，上記第１及び第２
駆動用電極群１１，１２とそれぞれ対になるよう第１検
知用裏面電極１７，第１及び第２駆動用裏面電極１５，
１６が配設されている。

【００２６】さらに、圧電素子１の裏面には、円周方向
の長さが３λ／４に対応する位置に上記第２検知用電極
１４と対になるよう第２検知用裏面電極群１８が配設さ
れ、上記第２検知用裏面電極群１８は円周方向の長さが
λ／４の３つの第２検知用裏面電極１８１よりなる。

【００２７】次に、本例の圧電素子の製造方法を説明す
る。

【００２８】本発明の圧電素子は、ＰＺＴ（例えばＰｂ
０．９５Ｓｒ０．０５｛（Ｚｒ０．５２Ｔｉ０．４
８）０．９６（Ｍｎ１／３Ｓｂ２／３）０．０４｝Ｏ３
よりなるＰＺＴ組成物）を主成分とし、その寸法は、外
径がφ６０ｍｍ、内径がφ４５ｍｍ及び厚みが０．５ｍ
ｍよりなる円環状圧電素子である。そしてこの円環状圧
電素子の両面に主成分がＡｇ（粒度：２〜３μｍ、粉末
重量：６０ｗｔ％、フリット：４ｗｔ％、樹脂：８ｗｔ
％、溶剤：２８ｗｔ％）をスクリーン印刷する。このス
クリーン印刷によって、表面には図３に示すような第１
駆動用電極群１１及び第２駆動用電極群１２及び第１検
知用電極１３，第２検知用電極１４を設ける。その後、
室温中で１０分間の放置を行った後、１００℃中で１５
分間乾燥する。次に、裏面には、図４に示すように、第
１駆動用裏面電極１５，第２駆動用裏面電極１６，第１
検知用裏面電極１７及び第２検知用裏面電極群１８を設
ける。その後、室温中で１０分間の放置を行った後、１
００℃中で１５分間乾燥し、５５０℃にて焼付けをする
ことにより円環状圧電素子に電極を固着させ、両面に図
３及び図４に示すような電極を有する圧電素子１を得
る。

【００２９】この後、１００℃の絶縁液中にて２ＫＶ／
ｍｍの電圧を２０分間印加し、表面に形成された複数の
電極のうち隣合う電極間で分極方向が互いに逆方向（分
極方向が表面→裏面、裏面→表面）となるように分極処
理を行なう。

【００３０】以上のように、本例の圧電素子１を得た。

【００３１】このようにしてなる本例の超音波モータの
作動を説明する。

【００３２】超音波モータを作動させる場合は、圧電素
子１の裏面の第１及び第２駆動用裏面電極１５，１６と
振動体２１との間にそれぞれ電気的位相が略９０度異な
る高周波（４０ＫＨｚ）の交流電流（電圧実効値２１０
Ｖｒｍｓ）を印加する。これにより、２組の定在波が発
生し、両者が合成されて進行波となる。

【００３３】この結果、圧電素子１に接着された振動体
２１の歯状突起２１０の先端に楕円状の軌跡を描く振動
が発生する。

【００３４】上記歯状突起２１０は摩擦材２２０を介し
て回転体２２に接しており、またこの回転体２２は皿バ
ネ２３により加圧当接されている。従って、回転体２２
は摩擦力により回転する。

【００３５】このような作用により、本例の超音波モー
タが機能するのである。

【００３６】さて、本発明の特徴である圧電素子１につ
いて以下詳細に説明する。

【００３７】本例において、どのような圧電素子が、高
出力の超音波モータを得ることができるのか、鋭意研究
した。

【００３８】そのため、組成の異なるＰＺＴ材料によ
り、円環状圧電素子を作成し、さらにこの円環状圧電素
子の両面に対して、図３及び図４に示すような電極パタ
ーンを形成した。

【００３９】尚、この時の駆動体１００の特性は、図５
のようにして評価した。

【００４０】ここで、圧電定数ｄ３１、機械的品質係数
Ｑｍ、アドミッタンスＹｍの測定としては、以下のよう
に測定した。

【００４１】即ち、圧電素子１としては、「日刊工業出
版社，超音波とその使い方」（第１５８頁参照）に記載
されるような、進行波型超音波モータの最も一般的な形
状（外径がφ６０ｍｍ、内径がφ４５ｍｍ、厚さが０．
５ｍｍの大きさにおいて、２相９波）を採用した。

【００４２】また、振動体２１としては、金属製（材質
ＳＰＣＣ）を採用した。

【００４３】そして、この圧電素子１と振動体２１と
は、圧電素子１の表面に厚さ５μｍの接着剤（一液性エ
ポキシ配合樹脂）よりなる接着層を介して接着され、駆
動源１００を形成した。

【００４４】そして、この駆動源１００を構成する圧電
素子１の裏面の駆動電極の一方と振動体２１との間に、
モータの共振―反共振周波数を含む周波数範囲で、±１
Ｖのｓｉｎ波を印加することにより、圧電特性としての
圧電定数ｄ３１、アドミッタンスＹｍ及び機械的品質係
数Ｑｍを測定した。

【００４５】なお、駆動体１００の特性としての最大ト
ルクは、超音波モータを駆動させた時の回転数が極めて
０に近い場合におけるトルクを最大トルクとした。

【００４６】図６は、横軸を駆動体１００の状態におけ
る圧電定数ｄ３１とアドミッタンスＹｍと機械的品質係
数Ｑｍの積、縦軸を最大トルクとした場合の関係を示し
た。また、図７は、横軸を圧電素子１のみからなる単体
における圧電定数ｄ３１とアドミッタンスＹｍと機械的
品質係数Ｑｍの積、縦軸を最大トルクとした場合の関係
を示した。

【００４７】その結果、図６に示されるように、駆動体
１００における圧電定数ｄ３１とアドミッタンスＹｍと
機械的品質係数Ｑｍの積とモータ最大トルクに相関があ
ることをはじめて見出した。

【００４８】即ち、駆動体１００における圧電定数ｄ３
１とアドミッタンスＹｍと機械的品質係数Ｑｍの積が大
であれば、最大トルクが大となる。特に、圧電定数ｄ３
１とアドミッタンスＹｍと機械的品質係数Ｑｍの積が６
３×１０^-10ｍ・Ｓ／Ｖ以上とすることにより、所望の
高出力な超音波モータを得ることができることを見いだ
したのである。

【００４９】ここで、駆動体１００において、ｄ３１×
Ｙｍ×Ｑｍの値が大きいほど最大トルクが増加するの
は、ｄ３１は振幅量でＱｍは共振時における振幅量の増
幅率であることより、駆動源１００の駆動条件（定電
圧）下における素子の振幅量が、アドミッタンスＹｍは
同一電圧下における入力エネルギーがそれぞれ大きくな
る為と我々は判断した。

【００５０】駆動体１００に採用される接着層の厚さに
関して、以下詳細に述べる。

【００５１】図８において、圧電素子１と振動体２１と
を接着する接着層厚さに対する静電容量及び最大トルク
の変化を示した。

【００５２】図８から、圧電素子１に振動体２１を配設
するために使う接着層の厚さが１０μｍ以上の場合に
は、圧電体１と振動体２１とを密着させた状態での静電
容量が大きく減少していることから、圧電素子１表面に
形成した電極の少なくとも一箇所が金属部品である振動
体２１に接触していないことがわかる。このため、超音
波モータにその駆動電圧である２１０Ｖｒｍｓを入力し
ても、接着層で電圧ロスが起こり、圧電素子１に入力電
圧が有効に印加できなくなるため、モータの最大トルク
は大きく低下してしまうという問題が生じる。

【００５３】表１には、接着層の厚さと作動可能回数を
示す。

【００５４】作動は、数秒間隔のＯＮ-ＯＦＦ作動で行
い、ＯＮ時の時間に駆動周波数を掛けたものを作動回数
とした。

【００５５】

【表１】

【００５６】表１により明らかなように、接着層が２μ
ｍより薄い場合には作動回数が低下し、耐久性が不十分
であることがわかる。

【００５７】次に、どのような圧電素子１の材料であれ
ば場合には、駆動源１００の圧電特性である圧電定数ｄ
３１、アドミッタンスＹｍ及び機械的品質係数Ｑｍの積
をｄ３１×Ｙｍ×Ｑｍ≧６３×１０^-10ｍ・Ｓ／Ｖとす
ることができるかを以下述べる。

【００５８】本実施の形態においては、圧電素子１の原
料として、Ｐｂ０、ＳｒＣＯ３、Ｚｒ０２、Ｔｉ０２、
Ｓｂ２０３、ＭｎＣＯ３を所定の組成になるように秤量
し、ボールミルで混合した。次に混合粉末をアルミナ匣
鉢に入れ、８５０℃で仮焼した後、ボールミルで粉砕し
た。この粉砕粉にＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を加
えてスプレー造粒後、得られた造粒粉を１００ＭＰａで
成形し、１２００〜１３００℃で焼成した。次いで、得
られた焼結体をφ６０−φ４５-t０．５の円環形状に加
工し、表裏面に銀電極を形成した。この後、この試料を
１００℃のシリコンオイル中で２ＫＶ/ｍｍで分極し、
圧電素子とした。この圧電素子１を振動体２１に接着
し、駆動体１００を形成した状態で共振-反共振法で圧
電特性を評価した。その後、超音波モータに組み付け、
最大トルクを評価した。その結果を表２に示す。

【００５９】

【表２】

【００６０】この表２から明らかなように、一般式として、Ｐｂ_a-bＳｒ_b｛（Ｚｒ_xＴｉ_1-x）Ｍｎ_y
Ｓｂ_z｝Ｏ₃ ａ＝０．９〜０．９７ｂ＝０．０３〜０．０７ｘ＝０．４８〜０．５３ｙ＝０．００５〜０．０２ｚ＝０．０１〜０．０４の範囲以外の場合には、圧電特性の積ｄ３１×Ｙｍ×Ｑ
ｍの積が小さく、モータの最大トルクが小さくなってし
まう（圧電特性の積ｄ３１×Ｙｍ×Ｑｍの積とモータの
最大トルクの関係は図６参照）。

【００６１】以上のように、本発明によれば、圧電体と
振動体とを密着させた駆動源１００状態で、高周波交流
電圧を印加する２つの相のうち、一方の相にモータの共
振―反共振周波数を含む周波数範囲で、±１Ｖのｓｉｎ
波を印加した場合に得られる、圧電定数ｄ３１、アドミ
ッタンスＹｍ、機械的品質係数Ｑｍの積を６３×１０
^-10ｍ・Ｓ／Ｖ以上とすることより、安定して、高出力
の超音波モータを得ることができることがわかった。

【００６２】尚、本発明においては、高出力を得る超音
波モータを得るための圧電素子を示したが、本発明の圧
電素子は、従来の同等の大きさである場合には、従来よ
りも高出力を得ることができる圧電素子を提供すること
を目的としているのであるから、従来の同等の出力であ
りながら、より小型化を目的とした超音波モータにも適
用されることはいうまでもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態例における、超音波モータの断面説明
図である。

【図２】実施形態例における、超音波モータの展開説明
図である。

【図３】実施形態例における、圧電素子の表面の平面図
である。

【図４】実施形態例における、圧電素子の裏面の平面図
である。

【図５】振動体サブアッシー特性を測定を説明する説明
図である。

【図６】振動体サブアッシーにおける圧電定数ｄ３１、
アドミッタンスＹｍ、機械的品質係数Ｑｍの積と最大ト
ルクとの関係を示す特性図である。

【図７】素子単体における圧電定数ｄ３１、アドミッタ
ンスＹｍ、機械的品質係数Ｑｍの積と最大トルクとの関
係を示す特性図である。

【図８】接着層厚さに対する静電容量及び最大トルクと
の関係を示す特性図である。

【符号の説明】

１・・・圧電素子、２１・・振動体、１００・・駆動体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 5H680 AA01 BB03 CC02 CC10 DD01 DD23 DD53 DD75 DD87 DD92 EE03 FF08 GG02 GG20 GG41 GG42 GG43

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円環状の圧電素子と、該圧電素子に配設
した振動体と、該振動体に加圧当接させた回転体とを有
してなり、上記圧電素子に位相が略９０度異なる２種類
の高周波交流電圧を印加することにより、上記振動体に
進行波を発生させて上記回転体を摩擦駆動させる超音波
モータにおいて、上記圧電素子と上記振動体とを密着させた駆動源の共振
-反共振法で得られる圧電特性である圧電定数ｄ３１、
アドミッタンスＹｍ及び機械的品質係数Ｑｍの積が、ｄ
３１×Ｙｍ×Ｑｍ≧６３×１０^-10ｍ・Ｓ／Ｖであるこ
とを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】請求項１記載の超音波モータにおいて、
圧電素子と振動体を密着させた状態における上記駆動源
の共振-反共振法での圧電特性の評価は、超音波モータ
を駆動させる際に高周波交流電圧を印加する２つの相の
うち、一方の相にモータの共振―反共振周波数を含む周
波数範囲で、±１Ｖのｓｉｎ波を印加することにより行
われることを特徴とする超音波モータ。
【請求項３】請求項１記載の超音波モータにおいて、
上記駆動源を構成する圧電素子と振動体との間には、接
着層が介在され、該接着層の厚さが２〜１０μｍである
ことを特徴とする超音波モータ。
【請求項４】円環状の圧電素子と、該圧電素子に配設
した振動体と、該振動体に加圧当接させた回転体とを有
してなり、上記圧電素子に位相が略９０度異なる２種類
の高周波交流電圧を印加することにより、上記振動体に
進行波を発生させて上記回転体を摩擦駆動させる超音波
モータにおいて、上記圧電素子の組成は一般式として、Ｐｂ_a-bＳｒ_b｛（Ｚｒ_xＴｉ_1-x）_1-y-z
Ｍｎ_yＳｂ_z｝Ｏ₃ ａ＝０．９０〜０．９７ｂ＝０．０３〜０．０７ｘ＝０．４８〜０．５３ｙ＝０．００５〜０．０２ｚ＝０．０１〜０．０４よりなることを特徴とする超音波モータ。
【請求項５】円環状の圧電素子と、該圧電素子に配設
した振動体と、該振動体に加圧当接させた回転体とを有
してなり、上記圧電素子に位相が略９０度異なる２種類
の高周波交流電圧を印加することにより、上記振動体に
進行波を発生させて上記回転体を摩擦駆動させる超音波
モータにおいて、圧電素子と振動体とを密着させた駆動源に対して、高周
波交流電圧を印加する２つの相のうち、一方の相にモー
タの共振―反共振周波数を含む周波数範囲で、±１Ｖの
ｓｉｎ波を印加することでインピーダンスの共振―反共
振特性を測定し、これより得られる圧電定数ｄ３１、ア
ドミッタンスＹｍ及び機械的品質係数Ｑｍを測定するこ
とにより、上記圧電定数ｄ３１、上記アドミッタンスＹ
ｍ及び上記機械的品質係数Ｑｍの積が、ｄ３１×Ｙｍ×
Ｑｍ≧６３×１０^-10ｍ・Ｓ／Ｖとなるように上記駆動
源を選択することを特徴とする超音波モータの製造方
法。
【請求項６】請求項５記載の超音波モータの製造方法
において、上記駆動源を構成する圧電素子と振動体との
間には接着層が介在され、該接着層の厚さが２〜１０μ
ｍであることを特徴とする超音波モータの製造方法。