JP2001151571A - 熱バリヤー組成物、熱バリヤー組成物を有するセラミック被膜を設けた超合金機械製品、およびセラミック被膜を製造する方法 - Google Patents

熱バリヤー組成物、熱バリヤー組成物を有するセラミック被膜を設けた超合金機械製品、およびセラミック被膜を製造する方法

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セルジユ・アレクサンドル・アルペリヌ
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ベロニク・アルノー
Odile Lavigne
オデイール・ラビーニユ
Remy Mevrel
レミ・メブレル
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 熱バリヤー組成物、熱バリヤー組成物を有す
るセラミック被膜を設けた超合金機械製品、およびセラ
ミック被膜を製造する。 【解決手段】 ジルコニア主成分、およびジルコニアを
安定させると共にその熱伝導率を低下させる二重の機能
を有する酸化ジスプロシウムとを含む、特に超合金製品
のための低熱伝導率熱バリヤー組成物を開示する。任意
に、本組成物は、二酸化ハフニウム、二酸化セリウム、
二酸化ウランおよびそれらの混合物からなる群から選択
される四価の金属イオンを含有する金属酸化物も含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、低熱伝導率熱バリ
ヤー組成物、こうした組成物を有する熱バリヤーセラミ
ック保護被膜を設けた超合金機械製品、および前記セラ
ミック被膜を製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】３０年を越える期間にわたり、地上使用
および航空使用両方のタービンエンジン製造業者は、タ
ーボ機械の効率を向上し、燃料消費率を低下させて、Ｃ
Ｏｘ、ＳＯｘ、ＮＯｘタイプの汚染廃棄物ならびに不燃
焼成分を低減させる問題に取り組んできた。これらの要
求を処理する１つの方法は、燃料の燃焼化学当量に近づ
けることであり、つまり、燃焼チャンバーから排出さ
れ、タービンの第１段階に侵入するガスの温度を上昇さ
せることである。
【０００３】結果として、この燃焼ガス温度の上昇に適
応するタービン用の材料を製造することが必要となって
きた。採用された１つの解決法は、タービン羽根冷却技
術を改善することであったが、これは技術的な複雑さお
よび羽根の生産コストを相当上げることとなった。もう
１つの解決法は、運転最高温度、クリープおよび疲労寿
命の点から用いられる超耐熱性材料を開発することであ
った。この解決法は、ニッケルおよび／またはコバルト
を主成分とした超合金が利用できるようになった時に用
いられ始め、等軸超合金から単結晶超合金（８０から１
００℃の耐クリープ性向上をもたらす）への変化の結果
として相当な技術進歩を経験した。この路線は、あとは
実質的な開発コストのみで今や開発することができ、約
２０℃の耐クリープ性をなお一層増大させる第３世代の
超合金をもたらすであろう。これを超えて、材料系統の
変化が求められている。材料系統を変化させることに代
わる別法は、超合金製品上に熱バリヤーと呼ばれる断熱
セラミック被膜を付着させることである。このセラミッ
ク被膜は、冷却される製品が、連続運転中にセラミック
被膜にわたって、おそらく２００℃を越えるであろう温
度勾配を有することを可能にする。求められる冷却用空
気の量、製品の使用寿命、およびエンジンの燃料消費量
率に少なからぬ影響を及ぼす比率で、下記の金属の使用
温度を低下させる。
【０００４】セラミック被膜を製品上に付着させて、種
々の方法で被覆することができる。これらの方法の大部
分は２つの異なるカテゴリー、すなわち、吹付け被覆お
よび物理蒸着被覆に属する。プラズマを利用した化学蒸
着（ＣＶＤ）タイプのその他の付着方法も用いることが
できる。
【０００５】吹付け被覆に関しては、ジルコニア系酸化
物がプラズマ吹付け技法により付着される。この被膜
は、後に急冷され、平らにされ、堆積されて、厚さが５
０μｍと１ｍｍの間の不完全に高密度化された付着物を
形成する溶融セラミック小滴の堆積物からなる。この種
の被膜の１つの特徴は、高い固有粗度（一般に、粗度Ｒ
ａは５μｍと３５μｍの間である）である。使用時にお
けるこの被膜に関連する最も一般的な種類の劣化は、セ
ラミック内でのセラミック／金属境界面に平行した亀裂
の緩慢な伝播である。
【０００６】物理蒸着によって付着された被膜の場合
は、問題がかなり異なる。この種の付着は、電子衝撃下
の蒸発によって行うことができる。主な特徴は、この被
膜が、実質的には被覆されるべき表面に垂直に伸びる、
一般に０．２μｍと１０μｍの間の非常に微細な柱状物
の集合体からなることである。こうした被膜の厚さは、
２０μｍと６００μｍの間であることができる。こうし
た集合体は、被覆された基板の表面構造を正確に再生す
る有用な特性を有する。特に、タービン羽根の場合、こ
れによって、１μｍよりかなり小さい最終的な粗度を得
ることが可能となり、このことは羽根の空気力学的特性
にとって非常に有利である。物理的なセラミック蒸着の
柱状構造のもう１つの重要性は、柱間の空隙が、被膜が
超合金基板の膨張と被膜の膨張の違いのために運転中に
発生する圧縮応力を非常に有効に処理するのに役立つこ
とである。この場合、高温における熱疲労下において長
い使用寿命を達成することができ、また被膜は下層とセ
ラミックの間の境界面付近において破断する傾向があ
る。
【０００７】化学蒸着法は、形態が柱状であり、実質的
に物理蒸着の形態に等しい被膜を生じる。これら両工法
では、金属原子または金属イオンと酸素との間の分子反
応から酸化物の形成がもたらされる。
【０００８】熱バリヤー被膜は、通常ジルコニアを主成
分とする酸化物の混合物からなる。この酸化物は、かな
り低い熱伝導率の材料と、被膜の付着を求められるニッ
ケルまたはコバルトを主成分とする合金の膨張率に近い
比較的高い膨張率の材料との間の有用な中間物である。
非常に申し分がないことが実証済みであるセラミック組
成物の１つは、例えば酸化イットリウムなどの酸化物に
よって完全に、または部分的に安定化されたジルコニア
（ＺｒＯ２＋６から８重量％のＹ２Ｏ３）である。酸化
イットリウムは、ジルコニアの立方同素体種Ｃおよび／
または非変形正方種ｔ’を安定させること、つまり、周
囲温度と高い製品使用温度との間の行程に応じたマルテ
ンサイト相転移を防止することに役立つ。
【０００９】熱バリヤー被膜の主な必要条件は、熱ガス
の外部環境と、冷ガスを強制的に流すことによってほぼ
常に冷却される被覆された金属製品との間の熱交換を減
速させなければならないことである。セラミック被膜と
その下の金属との間の熱交換は、伝導により、またより
小規模には放射により可能である。酸化物の熱伝導率
は、勿論、１／Ｔの関数として変化するフォノン寄与
と、Ｔ３の関数として変化する放射寄与との和である。
部分的にまたは完全に安定化されたジルコニアの場合、
放射寄与は、単結晶体では５００℃を越えて実在する
（熱伝導率は温度に伴い急速に増大する）ことが判る
が、多結晶では、熱伝導率が温度上昇時に減少すること
が判かるので、１２００℃までは無視しても構わないこ
とが判る。この現象は、粒子結合および空孔などの多結
晶中の欠陥における逆拡散に起因する。事実上多結晶で
ある熱バリヤー被膜の場合、放射による熱伝達は、伝導
による熱伝達より小さい。従って、熱バリヤーによって
もたらされる熱遮断性を改善するために重要な制御パラ
メーターは、フォノンによる熱伝達である。
【００１０】被膜の熱伝導率を低下させるために幾つか
の方法があり、これらは、熱バリヤー被膜が多孔質セラ
ミック層であること、および被膜の熱伝導率が２つの熱
伝導性媒体、すなわち、固有伝導率λｉｎｔｒのセラミ
ック材料自身と、伝導率が使用条件下においてそれらを
満たすガスの伝導率に近い被膜の空孔または微小な亀裂
との不均質集合体の熱伝導率であることに基づく。
【００１１】被膜の有効伝導率λａｃｔｕａｌは、λ
ｉｎｔｒと空気の伝導率λａｉｒとの間である。実際
に、λａｃｔｕａｌは、λｉｎｔｒとλａｉｒと被膜の
形態との複合関数であると言える。
【００１２】低熱伝導率被膜を得るという課題に対する
第１の解決法は、６重量％から８重量％の酸化イットリ
ウムによって部分的に安定化されたジルコニアなどの従
来型セラミック組成物のセラミックを用いることであ
り、また、被膜の形態、すなわち、被膜の空孔および微
小亀裂の割合、分布および配向、または柱あるいは層形
状の材料の配列を修正し、λａｃｔｕａｌを低下させる
ことである。この結果は、被膜付着パラメーターを修正
することによって達成することができる。
【００１３】第２の解決法は、被膜の形態を変えること
なく、その被覆の他の特性を維持しながら、被膜の化学
組成を修飾することによって、直接的にλｉｎｔｒを低
下させるよう試みることである。例えば、ジルコニアへ
のイットリウムの導入は、ジルコニウムイオンがイット
リウムイオンとは異なるイオン価を有するために、結晶
格子内に空隙を生じることでジルコニアの熱伝導率を低
下させる、ということはよく知られている。一般に、フ
ォノン逆拡散中心として働く結晶格子への点欠陥の導入
は熱伝導率の低下を助長する。そして、これが本発明で
用いられる解決法である。
【００１４】公開された欧州特許出願ＥＰ０，８２５，
２７１Ａ１は、ジルコニアを主成分とすると共に二種類
の追加の酸化物、すなわち、正方または立方型のジルコ
ニアを安定させることに役立つ第１の酸化物であって、
酸化イットリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウ
ム、酸化インジウム、酸化スカンジウム、または酸化イ
ッテルビウムであり得る酸化物、およびフォノン性熱伝
導率を低下させることに役立つと共に、０．３μｍと５
μｍの間の波長バンドにおける放射エネルギーを吸収
し、光子による熱伝導率を低下させることに役立つ第２
の酸化物を含有するセラミック被膜を記載している。
【００１５】別法において、ジルコニアを主成分とする
セラミック層は三種類の追加の酸化物、すなわち、正方
または立方型のジルコニアを安定させることに役立つ第
１の酸化物であって、酸化イットリウム、酸化カルシウ
ム、酸化マグネシウム、酸化インジウム、酸化スカンジ
ウム、または酸化イッテルビウムであり得る酸化物、フ
ォノン性熱伝導率を低下させることに役立つ第２の酸化
物、および０．３μｍと５μｍの間の波長バンドにおけ
る放射エネルギーを吸収し、光子による熱伝導率を低下
させる第３の酸化物を含有する。
【００１６】しかしながら、この文献において提案され
た組成物は、複雑であり高価である。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】熱遮断システム、およ
び更に詳しくは熱バリヤーのために通常用いられるイッ
トリウム化ジルコニアより熱伝導性が低い熱バリヤー被
膜を達成するための新規ジルコニアを主成分とするセラ
ミック組成物を提供することが、本発明の目的である。
【００１８】
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、ジ
ルコニア主成分と、ジルコニアを安定させることおよび
フォノンによるジルコニアの熱伝導率を低下することの
二重の機能を有する酸化ジスプロシウムとからなる低熱
伝導率熱バリヤー組成物を提供する。更に詳しくは、酸
化ジスプロシウムは、ジルコニアを安定化させることに
役立つと共に、例えば、相の性質、膨張係数、および耐
熱特性などのその他の主要特性を維持しながら、結晶格
子内に点欠陥を導入することによってセラミックの固有
伝導率を低下させることに役立つ。
【００１９】好ましくは、本組成物におけるジスプロシ
ウムイオンの比率は、２原子重量％と３０原子重量％の
間である。
【００２０】任意に、セラミックの熱伝導率を更に低下
させるために、ジルコニアは、ジルコニウムイオンより
大きな質量の四価の金属イオンを含有する０ｍｏｌ％と
３０ｍｏｌ％の間の酸化物を含有してもよい。この四価
の金属イオン酸化物は、好ましくは、二酸化ハフニウ
ム、二酸化セリウム、二酸化ウラン、またはこれらの酸
化物の混合物である。
【００２１】本発明による組成物は、超合金機械製品上
にセラミック熱バリヤー被膜を形成するために特に有用
である。
【００２２】好ましくは、本セラミック被膜は、アルミ
ナ保護層を形成するよう適応された合金からなる接着下
層上に付着される。この合金は、例えば、ＭＣｒＡｌＹ
タイプ（式中、Ｍは、ニッケル、コバルト、鉄、および
これらの金属の混合物から選択される金属である）の合
金であってもよい。また、この合金はクロム、およびプ
ラチナ、パラジウム、ルテニウム、イリジウム、オスミ
ウム、ロジウムなどの貴金属から選択される一種以上の
金属を含有し得るニッケルアルミニドであってもよい。
【００２３】本発明は、以下の工程を含んでなる超合金
基板上に熱バリヤー被膜を製造する方法も提供する：超
合金基板上に接着下層を付着する工程、およびジルコニ
アと、ジルコニアを安定化させると共にジルコニアのフ
ォノン性熱伝導率を低下させる酸化ジスプロシウムと、
任意に、二酸化ハフニウム、二酸化セシウム、二酸化ウ
ランおよびそれらの混合物からなる群から選択される０
から３０ｍｏｌ％の酸化物とを含むセラミック被膜を接
着下層上に付着する工程。
【００２４】本発明のその他の好ましい特徴および利点
は、以下の非限定的実施例および説明から、ならびに添
付の図面を参照して明らかとなろう。
【００２５】
【発明の実施の形態】図１は、本発明により形成された
セラミック熱バリヤー被膜を具備する超合金機械製品を
倍尺で示す略断面図である。
【００２６】図２は、本発明による組成物を有するセラ
ミックにより形成された熱バリヤー被膜および従来のセ
ラミックにより形成された熱バリヤー被膜に関して異な
る温度で得られた熱伝導率の比較値を示すグラフであ
る。
【００２７】図１に示す機械製品は、ニッケルおよび／
またはコバルトを主成分とする超合金などの超合金で製
造された基板２上に付着された熱バリヤー被膜１からな
る。被膜１は、当該技術分野において知られる方法によ
って基板２上に付着された金属下層３、および下層３上
に付着された本発明による新規組成物のセラミック層４
からなる。
【００２８】下層３は、ＭＣｒＡｌＹタイプ（Ｍは、Ｎ
ｉおよび／またはＣｏおよび／またはＦｅである）の酸
化物耐食性アルミノ形成性合金であるか、またはクロ
ム、および／または白金、パラジウム、ルテニウム、イ
リジウム、オスミウム、ロジウムから選択される１種以
上の貴金属を添加することによって修飾され得るニッケ
ルアルミニドまたはコバルトアルミニドであってもよ
い。
【００２９】セラミック４は、ジルコニア主成分と、ジ
ルコニアを安定させると共に、驚くべきことに、その他
の従来から使用される酸化物より極めて大きくセラミッ
クの熱伝導率を低下させる利点を有する酸化ジスプロシ
ウムとからなる。なお更に熱伝導率を低下させるため
に、セラミックは、また、ジルコニウムイオンの原子質
量より大きな原子質量を有する四価の金属イオンを含ん
でなる追加の金属酸化物を含有してもよい。
【００３０】四価の金属イオンは、セリウム、ハフニウ
ムまたはウランであることが可能である。
【００３１】実施例１ ジルコニア安定剤としての、および材料中のフォノンに
よる伝導率を低下させることによってジルコニアの伝導
率を相当に低下させる酸化物としての酸化ジスプロシウ
ムの二重の機能において、酸化ジスプロシウムを用いる
利点を評価するするために、以下の試験を行った。
【００３２】セラミック粉末を以下の３つの組成で合成
した。
【００３３】１．ＺｒＯ２ ＋ ４ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３ ２．ＺｒＯ２ ＋ ４ｍｏｌ％ＤＹ２Ｏ３ ３．ＺｒＯ２ ＋ １２ｍｏｌ％ＤＹ２Ｏ３
【００３４】焼結剤を添加することなくこれらの粉末を
高温で焼結し、当量残留空孔率レベルを有する高密度ペ
レットを得た。ペレットの熱伝導率は、周囲温度におけ
るフラッシュ法を用いた熱伝導率測定によって決定し
た。この測定を行うために、標本の前面を短い熱パルス
によって照射する。標本の後面で発生した温度を記録す
ることによって、熱拡散率実験値を導き出すことができ
る。完全高密度材料の伝導率を評価するために、λ
ｉｎｔｒと呼ばれる伝導率値を、ペレットの全残留空孔
率に対して補正した。結果を以下の表に示す。
【００３５】 組成 Ｗ／ｍ．Ｋにおける伝導率 ＺｒＯ２ ＋ ４ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３ ２．８ ＺｒＯ２ ＋ ４ｍｏｌ％Ｄｙ２Ｏ３ ２．４ ＺｒＯ２ ＋ １２ｍｏｌ％Ｄｙ２Ｏ３ １．７
【００３６】これらの測定値は、酸化イットリウムを本
発明による酸化ジスプロシウムに置き換えることによっ
て達成される熱伝導率の有利な低下を示す。４０％近く
の伝導率の低下を周囲温度で達成することができる。
【００３７】実施例２ ハステロイ（Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ）Ｘ合金で製造された
製品を基板として用い、これを既知の方法によりＭＣｒ
ＡｌＹタイプの金属下層で被覆する。その後、本発明に
よるセラミック被膜を下層上に電子ビーム蒸着する。セ
ラミック被膜の組成は以下のとおりである。
【００３８】ＺｒＯ２ ： 主成分 Ｄｙ２Ｏ３ ： ２９．２重量％
【００３９】蒸着工程後、被覆された製品に、真空中１
０８０℃で２時間安定化熱処理を施す。
【００４０】本方法を用いて製造した柱状構造セラミッ
ク被膜は、４８００ｋｇ／ｍ３の密度と１９０μｍの厚
さを有する。被膜の結晶学的構造のＸ線回折試験は、被
膜が完全に立方相からなることを示し、これは１００時
間１２５０℃にさらした後も安定している。
【００４１】セラミック被膜の熱伝導率は、実施例１の
とおり決定したが、２０℃と１１００℃の間を変動する
温度において行った。この場合、被膜の空孔率に対する
補正は行わなかった。このセラミックの熱伝導率値を、
組成ＺｒＯ２＋８重量％Ｙ２Ｏ３を有し、同じ方法によ
って製造された従来のセラミックから得られた熱伝導率
と比較し、本発明によりもたらされる熱伝導率の低下を
評価した。両方のセラミックが同じ微細構造を有するこ
とを保証すると共に、２つの材料の熱伝導率間の違いが
微細構造における何らかの違いからではなく、組成の違
いから発生することを確認するための検査を行った。
【００４２】本発明による組成物を有するセラミックを
含んでなる被膜および従来のセラミックからなる被膜に
関する種々の温度で得られた比較熱伝導率値を図２に示
す。新規セラミックの測定熱伝導率は２０℃で１．０８
Ｗ／ｍ．Ｋ．であるのに対して、従来のセラミックの熱
伝導率は２．１９Ｗ／ｍ．ｋ．である。従って、新規セ
ラミックは２０℃における熱伝導率を半減させる。
【００４３】同様に、１１００℃で測定した熱伝導率間
の比較は、新規セラミックが熱伝導率を１．５３の率で
低下させることができることを示す。
【００４４】従って、図２は、新規セラミックの熱伝導
率がすべての温度において従来のセラミックの熱伝導率
よりかなり小さいことを示す。
【００４５】実施例３ ＭＣｒＡｌＹタイプの金属下層であらかじめ被覆された
ハステロイＸ製品上に、セラミック被覆材をプラズマ噴
射する。セラミック被覆の組成は、以下のとおりであ
る。
【００４６】ＺｒＯ２ ： 主成分 Ｄｙ２Ｏ３ ： １１．２重量％
【００４７】噴射された粗製被覆に、空気中において１
１００℃で１０時間熱処理を施し、運転中における使用
を代表する状態においてセラミックを安定させる（この
処理はセラミック中に存在する酸化物の化学当量を回復
する特別な特徴を有する）。処理後、本発明による被膜
は、同じ方法で製造した組成ＺｒＯ２＋８重量％Ｙ２Ｏ
３を有するセラミックに対して従来の方法で測定した空
孔率、すなわち約８．５％に非常に近い空孔率レベルを
有する。
【００４８】新規セラミック被膜の熱伝導率における新
規セラミック組成物の影響を、同じ方法で製造した組成
ＺｒＯ２＋８重量％Ｙ２Ｏ３からなる従来のセラミック
組成物と比較して評価するために、これら２つの被膜が
同じ微細構造を有することを保証するための検査を再び
行った。
【００４９】１１００℃において、従来のセラミック被
膜が１．１９Ｗ／ｍ．Ｋ．であるのに比べ、ＺｒＯ２＋
１１．２重量％Ｄｙ２Ｏ３被膜の測定熱伝導率は０．８
１Ｗ／ｍ．Ｋ．である。従って本実施例において説明し
た新規セラミック組成物は、セラミックによってもたら
される断熱性において３０％を越える改善を達成する。
【００５０】本発明は、上に詳しく説明している実施例
に限定されるものではない。接着下層は、例えば、普通
のニッケルアルミニド、またはクロム、白金、パラジウ
ム、ルテニウム、イリジウム、オスミウムおよびロジウ
ムなどの金属により修飾されたニッケルアルミニドなど
の何か他の合金からなってもよい。任意に、ジルコニア
は、ジルコニウムイオンより原子質量が大きい四価の金
属イオンを含有する０ｍｏｌ％と３０ｍｏｌ％の間の酸
化物を含有してもよい。例えば、酸化物は、二酸化ハフ
ニウムまたは二酸化セリウムであることが可能である。
また、被覆された製品はハステロイＸ以外の超合金から
製造してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明により形成されたセラミック熱バリヤー
被膜を具備する超合金機械製品を倍尺で示す略断面図で
ある。
【図２】本発明による組成物を有するセラミックにより
形成された熱バリヤー被膜および従来のセラミックによ
り形成された熱バリヤー被膜に関して異なる温度で得ら
れた熱伝導率の比較値を示すグラフである。
【符号の説明】
１ 熱バリヤー被膜 ２ 基板 ３ 金属下層 ４ セラミック層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 オデイール・ラビーニユ フランス国、75013・パリ、リユ・ドユノ ワ−トウール・シエオプス、74 (72)発明者 レミ・メブレル フランス国、92350・ル・プレシ・ロバン ソン、リユ・デ・ガラルドン。35−37

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ジルコニア主成分と、ジルコニアを安定
    させると共にその熱伝導率を低下させる二重の機能を有
    する酸化ジスプロシウムと、任意に、ジルコニウムの原
    子質量より大きな原子質量を有する四価の金属イオンの
    酸化物とを含んでなる低熱伝導率熱バリヤー組成物。
  2. 【請求項２】 組成物におけるジスプロシウムの比率が
    ２原子重量％と３０原子重量％の間である、請求項１に
    記載の熱バリヤー組成物。
  3. 【請求項３】 前記の四価の金属イオンの酸化物が、二
    酸化ハフニウム、二酸化セリウム、二酸化ウラン、およ
    びそれらの混合物からなる群から選択される、請求項１
    に記載の熱バリヤー組成物。
  4. 【請求項４】 前記の四価金属イオン酸化物が０ｍｏｌ
    ％と３０ｍｏｌ％の間の量で存在する、請求項１に記載
    の熱バリヤー組成物。
  5. 【請求項５】 超合金で造られると共に、請求項１から
    ４のいずれか一項に記載の組成物を有するセラミック熱
    バリヤー被膜を具備する機械製品。
  6. 【請求項６】 前記セラミック被膜が付着される接着下
    層を更に具備する、請求項５に記載の製品。
  7. 【請求項７】 前記接着下層が、酸化により保護アルミ
    ナ層を形成するよう適合された合金からなる、請求項６
    に記載の製品。
  8. 【請求項８】 前記接着下層がＭＣｒＡｌＹタイプの合
    金（式中、Ｍはニッケル、コバルト、鉄、およびそれら
    の混合物からなる群から選択される金属である）からな
    る、請求項７に記載の製品。
  9. 【請求項９】 前記接着下層が、白金、クロム、パラジ
    ウム、ルテニウム、およびそれらの混合物からなる群か
    ら選択される金属を含有し得るニッケルアルミニドから
    なる、請求項７に記載の製品。
  10. 【請求項１０】 超合金基板上に熱バリヤー被膜を製造
    する方法であって、前記超合金基板上に接着下層を付着
    する工程、およびジルコニアと、ジルコニアを安定させ
    ると共にジルコニアフォノンによる熱伝導率を低下させ
    る酸化ジスプロシウムと、任意に、二酸化ハフニウム、
    二酸化セリウム、二酸化ウラン、およびそれらの混合物
    からなる群から選択される０から３０ｍｏｌ％の酸化物
    とを含有するセラミック被膜を前記下層上に付着する工
    程を含んでなる方法。
  11. 【請求項１１】 前記セラミック被膜を付着する前記工
    程に先立ち、前記接着下層を酸化する工程を更に含んで
    なる、請求項１０に記載の方法。
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