JP2001148343A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 露光光の光路上に存在する光学部品を収容し、且つガスの流入口および流出口を備えた容器と、
前記流入口および前記流出口を介して、前記容器内のガスを不活性ガスで置換する置換手段とを備えた露光装置において、
前記不活性ガスが満たされる空間のうち少なくとも外部との隔壁を構成する素材にフッ素樹脂またはフッ素ゴムが用いられている部分の圧力を該外部より高い圧力に維持する手段を具備することを特徴とする露光装置。
【請求項２】 前記隔壁は、密閉用部品または前記不活性ガスを導くチューブを含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】 前記隔壁は、前記容器へ前記不活性ガスを供給するための配管を含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】 前記置換手段は、前記不活性ガスの供給流量を切り換える手段を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】 前記切り換える手段は、互いに並列に配された２つのフッ素樹脂製のチューブと、前記２つのチューブそれぞれに配され且つ開閉可能な電磁弁とを有し、前記２つのチューブ内の不活性ガスが、前記電磁弁それぞれの開閉にかかわらず、陽圧に保たれるように構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
前記基板を現像するステップと、を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１】 露光光の光路上に存在する光学部品を収容し、且つガスの流入口および流出口を備えた容器と、
前記流入口および前記流出口を介して、前記容器内のガスを不活性ガスで置換する置換手段とを備えた露光装置において、
前記不活性ガスが満たされる空間のうち少なくとも外部との隔壁を構成する素材にフッ素樹脂またはフッ素ゴムが用いられている部分の圧力を該外部より高い圧力に維持する手段を具備することを特徴とする露光装置。
【請求項２】 前記隔壁は、密閉用部品または前記不活性ガスを導くチューブを含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】 前記隔壁は、前記容器へ前記不活性ガスを供給するための配管を含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】 前記置換手段は、前記不活性ガスの供給流量を切り換える手段を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】 前記切り換える手段は、互いに並列に配された２つのフッ素樹脂製のチューブと、前記２つのチューブそれぞれに配され且つ開閉可能な電磁弁とを有し、前記２つのチューブ内の不活性ガスが、前記電磁弁それぞれの開閉にかかわらず、陽圧に保たれるように構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
前記基板を現像するステップと、を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光装置およびこれを用いたデバイス製造方法に関する。
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光装置およびこれを用いたデバイス製造方法に関する。
そこで、本発明は、フッ素樹脂またはフッ素ゴムを素材とした隔壁からの外気の侵入を減少させることを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するため、本発明の露光装置は、
露光光の光路上に存在する光学部品を収容し、且つガスの流入口および流出口を備えた容器と、
前記流入口および前記流出口を介して、前記容器内のガスを不活性ガスで置換する置換手段とを備えた露光装置において、前記不活性ガスが満たされる空間のうち少なくとも外部との隔壁を構成する素材にフッ素樹脂またはフッ素ゴムが用いられている部分の圧力を該外部より高い圧力に維持する手段を具備することを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するため、本発明の露光装置は、
露光光の光路上に存在する光学部品を収容し、且つガスの流入口および流出口を備えた容器と、
前記流入口および前記流出口を介して、前記容器内のガスを不活性ガスで置換する置換手段とを備えた露光装置において、前記不活性ガスが満たされる空間のうち少なくとも外部との隔壁を構成する素材にフッ素樹脂またはフッ素ゴムが用いられている部分の圧力を該外部より高い圧力に維持する手段を具備することを特徴とする。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、フッ素樹脂またはフッ素ゴムを素材とした隔壁からの外気の侵入を減少させることができる。
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、フッ素樹脂またはフッ素ゴムを素材とした隔壁からの外気の侵入を減少させることができる。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33190099A JP2001148343A (ja) | 1999-11-22 | 1999-11-22 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33190099A JP2001148343A (ja) | 1999-11-22 | 1999-11-22 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001148343A JP2001148343A (ja) | 2001-05-29 |
| JP2001148343A5 true JP2001148343A5 (ja) | 2007-01-11 |
Family
ID=18248894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33190099A Withdrawn JP2001148343A (ja) | 1999-11-22 | 1999-11-22 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001148343A (ja) |
-
1999
- 1999-11-22 JP JP33190099A patent/JP2001148343A/ja not_active Withdrawn
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