JP2001144385A - Printed wiring board and method for manufacturing the same - Google Patents

Printed wiring board and method for manufacturing the same

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JP2001144385A
JP2001144385A JP32536099A JP32536099A JP2001144385A JP 2001144385 A JP2001144385 A JP 2001144385A JP 32536099 A JP32536099 A JP 32536099A JP 32536099 A JP32536099 A JP 32536099A JP 2001144385 A JP2001144385 A JP 2001144385A
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JP
Japan
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pattern
solid pattern
printed wiring
wiring board
single line
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JP32536099A
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Japanese (ja)
Inventor
Masakazu Aoyama
雅一 青山
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provided a printed wiring board which reduces a level difference on the surface of an insulating layer, and also to provide a method for manufacturing the board. SOLUTION: Prior to lamination of a DFA layer 6 on a single-line pattern 3 and a solid pattern 4, only the solid pattern 4 is etched, and the thickness of the solid pattern 4 is made smaller than that of the line pattern 3. Thereafter the DFA 6 is laminated and pressed to obtain a printed wiring board. In the board, since the thickness of the solid pattern 4 is smaller than that of the line pattern 3, a level difference on the surface of the DFA layer 6 can be reduces. Accordingly, the surface of the board is substantially a flat surface.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、単独線パターンと
ベタパターンとを含む導体層とそれを覆う絶縁層とを有
するプリント配線板およびその製造方法に関する。さら
に詳細には、単独線パターンとベタパターンの上に形成
される絶縁層の表面に生じる高低差を減少させたプリン
ト配線板およびその製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed wiring board having a conductor layer including a single line pattern and a solid pattern and an insulating layer covering the conductor layer and a method of manufacturing the same. More particularly, the present invention relates to a printed wiring board in which a height difference generated on a surface of an insulating layer formed on a single line pattern and a solid pattern is reduced, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から行われているプリント配線板の
製造方法の概要を説明する。まず、基板2上に導体パタ
ーン(単独線パターン3とベタパターン4(図8参
照))を形成してからこれをDFA(接着剤)層で覆
う。DFA層は、熱硬化性の樹脂マトリックスおよび溶
剤に微細なフィラーを分散させたものである。そして、
これをプレスしてDFA層を半硬化させるとともにその
表面を平坦化した後、DFA層を乾燥させる本硬化を行
い、層間絶縁層7とする。これにより、図8に示すよう
なプリント配線板が得られる。また、適宜ビアホールの
形成や上層導体パターン等の形成を行う。
2. Description of the Related Art An outline of a conventional method for manufacturing a printed wiring board will be described. First, a conductor pattern (single line pattern 3 and solid pattern 4 (see FIG. 8)) is formed on the substrate 2 and then covered with a DFA (adhesive) layer. The DFA layer is obtained by dispersing a fine filler in a thermosetting resin matrix and a solvent. And
This is pressed to semi-harden the DFA layer and flatten the surface thereof, and then, the main hardening for drying the DFA layer is performed to form the interlayer insulating layer 7. Thereby, a printed wiring board as shown in FIG. 8 is obtained. In addition, formation of a via hole, formation of an upper conductor pattern, and the like are performed as appropriate.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のプリント配線板の製造方法では、単独線パター
ン3およびベタパターン4上に形成される層間絶縁層7
の表面に、図8に示すように、凸凹が発生し高低差が生
じるという問題点があった。すなわち、平坦化を行って
も層間絶縁層7の表面はフラットにはならず、ベタパー
タン4上において層間絶縁層7の表面が盛り上がるので
ある。その理由は、ベタパターン4の単位面積当たりの
体積が単独線パターン3の単位面積当たりの体積よりも
大きく、またDFA層があまり流動しないために、ベタ
パターン4上における層間絶縁層7が盛り上がると考え
られる。ここで、平坦化の際にプレス圧を高くすれば、
層間絶縁層7の表面における高低差は減少する。しか
し、層間絶縁層7の厚さが薄くなり絶縁層としての役割
を果たさなくなるおそれがある。従って、プレス圧を現
状より高くすることは困難である。このため現状におい
ては、DFA層の表面をプレス圧を高めることにより、
層間絶縁層7の表面に生じる高低差を低減させることは
困難な状況である。
However, in the above-described conventional method for manufacturing a printed wiring board, the interlayer insulating layer 7 formed on the single line pattern 3 and the solid pattern 4 is not provided.
As shown in FIG. 8, there was a problem that unevenness was generated on the surface and a height difference occurred. That is, even if the planarization is performed, the surface of the interlayer insulating layer 7 does not become flat, and the surface of the interlayer insulating layer 7 rises on the solid pattern 4. The reason is that the volume per unit area of the solid pattern 4 is larger than the volume per unit area of the single line pattern 3 and the DFA layer does not flow much, so that the interlayer insulating layer 7 on the solid pattern 4 rises. Conceivable. Here, if the press pressure is increased during flattening,
The height difference on the surface of the interlayer insulating layer 7 decreases. However, there is a possibility that the thickness of the interlayer insulating layer 7 becomes small and the interlayer insulating layer 7 does not function as an insulating layer. Therefore, it is difficult to make the press pressure higher than the current state. For this reason, at present, by increasing the pressing pressure on the surface of the DFA layer,
It is difficult to reduce the difference in height generated on the surface of the interlayer insulating layer 7.

【0004】このような層間絶縁層7の表面に生じる高
低差のために、層間絶縁層7の上方に形成される上層パ
ターンの密着性が悪くなることがあった。また、高低差
があるということは層間絶縁層7の表面に部分的に傾斜
がついていることになるので、上層パターンの寸法精度
も低下しがちであった。さらに多層化する場合には、上
層に形成される層間絶縁層の表面に生じる高低差が倍増
されてしまうおそれがあった。このように、層間絶縁層
7の表面に生じる高低差はプリント配線板の良品率を下
げる原因となっていた。
[0004] Due to such a height difference generated on the surface of the interlayer insulating layer 7, the adhesion of an upper layer pattern formed above the interlayer insulating layer 7 may be deteriorated. In addition, the fact that there is a height difference means that the surface of the interlayer insulating layer 7 is partially inclined, so that the dimensional accuracy of the upper layer pattern tends to decrease. In the case of further multi-layering, there is a possibility that the height difference generated on the surface of the interlayer insulating layer formed on the upper layer is doubled. As described above, the difference in height generated on the surface of the interlayer insulating layer 7 has caused a decrease in the yield rate of the printed wiring board.

【0005】そこで、本発明は上記した問題点を解決す
るためになされたものであり、絶縁層の表面に生じる高
低差を低減させるプリント配線板およびその製造方法を
提供することを課題とする。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a printed wiring board capable of reducing a height difference generated on a surface of an insulating layer and a method of manufacturing the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めになされた本発明に係るプリント配線板によれば、単
独線パターンとベタパターンとを含む導体層と、導体層
を覆う絶縁層とを有するプリント配線板において、ベタ
パターンの単位面積当たりにおける体積が単独線パター
ンの単位面積当たりにおける体積よりも小さい。
According to the printed wiring board of the present invention which has been made to solve the above problems, a conductor layer including a single line pattern and a solid pattern, an insulating layer covering the conductor layer, , The volume per unit area of the solid pattern is smaller than the volume per unit area of the single line pattern.

【0007】このプリント配線板においては、ベタパタ
ーンの単位面積当たりにおける体積が単独線パターンの
単位面積当たりにおける体積よりも小さい。従って、ベ
タパターン上における絶縁層の表面の盛り上がりもその
分小さい。このため、単独線パターン上とベタパターン
上において生じていた絶縁層の表面における高低差も低
減されている。従って、本発明のプリント配線板の表面
は、ほとんどフラットな面となっている。
In this printed wiring board, the volume per unit area of the solid pattern is smaller than the volume per unit area of the single line pattern. Therefore, the swell of the surface of the insulating layer on the solid pattern is correspondingly small. For this reason, the height difference on the surface of the insulating layer, which has occurred on the single line pattern and the solid pattern, is also reduced. Therefore, the surface of the printed wiring board of the present invention is almost flat.

【0008】本発明に係るプリント配線板によれば、単
独線パターンとベタパターンとを含む導体層と、導体層
を覆う絶縁層とを有するプリント配線板において、ベタ
パターンの厚さが単独線パターンの厚さよりも薄い。
According to the printed wiring board of the present invention, in a printed wiring board having a conductor layer including a single line pattern and a solid pattern, and an insulating layer covering the conductor layer, the solid pattern has a single line pattern thickness. Thinner than the thickness of.

【0009】このプリント配線板においては、ベタパタ
ーンの厚さ単独線パターンの厚さよりも薄い。従って、
ベタパターン上においる絶縁層の表面の盛り上がりもそ
の分小さい。このため、単独線パターン上とベタパター
ン上において生じていた絶縁層の表面における高低差も
低減されている。従って、本発明のプリント配線板の表
面も、ほとんどフラットな面となっている。
In this printed wiring board, the thickness of the solid pattern is smaller than the thickness of the single line pattern. Therefore,
The bulge on the surface of the insulating layer on the solid pattern is correspondingly small. For this reason, the height difference on the surface of the insulating layer, which has occurred on the single line pattern and the solid pattern, is also reduced. Therefore, the surface of the printed wiring board of the present invention is also almost flat.

【0010】本発明に係るプリント配線板によれば、単
独線パターンとベタパターンとを含む導体層と、導体層
を覆う絶縁層とを有するプリント配線板において、ベタ
パターンにスリットが形成されている。
According to the printed wiring board of the present invention, in the printed wiring board having the conductor layer including the single line pattern and the solid pattern, and the insulating layer covering the conductor layer, the solid pattern has slits formed therein. .

【0011】このプリント配線板においては、ベタパタ
ーンにスリットが形成されている。このため、ベタパタ
ーンの単位面積当たりにおける体積が単独線パターンの
単位面積当たりにおける体積よりも小さい。これによ
り、ベタパターン上においる絶縁層の表面の盛り上がり
もその分小さい。このため、単独線パターン上とベタパ
ターン上において生じていた絶縁層の表面における高低
差も低減されている。従って、本発明のプリント配線板
の表面も、ほとんどフラットな面となっている。なお、
スリットのあるベタパターンの単位面積当たりの体積と
は、ベタパターンの体積を、スリットの部分を含んだベ
タパターンの面積で割ることにより算出されるものであ
る。
In this printed wiring board, a slit is formed in the solid pattern. Therefore, the volume per unit area of the solid pattern is smaller than the volume per unit area of the single line pattern. As a result, the bulge on the surface of the insulating layer on the solid pattern is correspondingly small. For this reason, the height difference on the surface of the insulating layer, which has occurred on the single line pattern and the solid pattern, is also reduced. Therefore, the surface of the printed wiring board of the present invention is also almost flat. In addition,
The volume per unit area of the solid pattern having the slit is calculated by dividing the volume of the solid pattern by the area of the solid pattern including the slit portion.

【0012】また、本発明に係るプリント配線板の製造
方法によれば、単独線パターンとベタパターンとを含む
導体層が形成され、その後導体層を覆う絶縁層が形成さ
れるプリント配線板の製造方法において、単独線パター
ンとベタパターンとを形成した後に、ベタパターンの単
位面積当たりにおける体積を単独線パターンの単位面積
当たりにおける体積よりも小さくする処理を行ってから
絶縁層を形成する。
Further, according to the method of manufacturing a printed wiring board of the present invention, a printed wiring board is manufactured in which a conductor layer including a single line pattern and a solid pattern is formed, and then an insulating layer covering the conductor layer is formed. In the method, after forming a single line pattern and a solid pattern, a process for reducing the volume per unit area of the solid pattern to less than the volume per unit area of the single line pattern is performed, and then the insulating layer is formed.

【0013】このプリント配線板の製造方法において
は、まず、1つの導体層の中に単独線パターンとベタパ
ターンとが形成される。これらの単独線パターンとベタ
パターンとの形成は、サブトラクティブプロセス等の公
知の方法により行えばよい。このとき、単独線パターン
の単位面積当たりにおける体積とベタパターンの単位面
積当たりにおける体積は同じである。次いで、ベタパタ
ーンの単位面積当たりにおける体積が単独線パターンの
単位面積当たりにおける体積よりも小さくされる。
In this method of manufacturing a printed wiring board, first, a single line pattern and a solid pattern are formed in one conductor layer. The formation of the single line pattern and the solid pattern may be performed by a known method such as a subtractive process. At this time, the volume per unit area of the single line pattern is the same as the volume per unit area of the solid pattern. Next, the volume per unit area of the solid pattern is made smaller than the volume per unit area of the single line pattern.

【0014】そして、単独線パターンとベタパターンと
の上に絶縁層が形成される。このため、単独線パターン
とベタパターンとが絶縁層で覆われるため、単独線パタ
ーンとベタパターンは他の部分から絶縁される。絶縁層
の形成は、フィルム状の層間絶縁材をラミネートした後
にプレスすることにより行ったり、あるいは液状の層間
絶縁材をロールコータを用いて塗布した後に乾燥させる
ことにより行う。そして、絶縁層の形成の際には、単位
面積当たりのベタパターンの体積が減容されているた
め、ベタパターン上に形成される絶縁層が減容された部
分に入り込む。これにより、ベタパターン上における絶
縁層の表面の盛り上がりが減少する。一方、単独線パタ
ーン上に形成された絶縁層にはほとんど変化がない。こ
のため、単独線パターン上とベタパターン上において生
じていた絶縁層の表面における高低差が低減される。従
って、ほとんど平坦と見なしうる絶縁層を有するプリン
ト配線板が製造される。
Then, an insulating layer is formed on the single line pattern and the solid pattern. For this reason, since the single line pattern and the solid pattern are covered with the insulating layer, the single line pattern and the solid pattern are insulated from other portions. The insulating layer is formed by laminating a film-like interlayer insulating material and then pressing, or by applying a liquid interlayer insulating material using a roll coater and then drying it. When the insulating layer is formed, the volume of the solid pattern per unit area is reduced, so that the insulating layer formed on the solid pattern enters the reduced volume. Thereby, the swelling of the surface of the insulating layer on the solid pattern is reduced. On the other hand, the insulating layer formed on the single line pattern hardly changes. For this reason, the height difference on the surface of the insulating layer, which has occurred on the single line pattern and the solid pattern, is reduced. Accordingly, a printed wiring board having an insulating layer which can be regarded as almost flat is manufactured.

【0015】ここで、ベタパターンの体積を単独線パタ
ーンの体積よりも小さくする処理としては、例えば以下
の方法が挙げられる。
Here, as a process for making the volume of the solid pattern smaller than the volume of the single line pattern, for example, the following method can be mentioned.

【0016】まず、エッチングによりベタパターンのみ
を減厚することにより、ベタパターンの単位面積当たり
の体積を単独線パターンの単位面積当たりの体積よりも
小さくする方法が挙げられる。具体的には、単独線パタ
ーンをマスクしてから、ベタパターンのみを選択的にエ
ッチングすればよい。これにより、ベタパターンの厚さ
が単独線パターンの厚さよりも薄くなり、ベタパターン
の単位面積当たりの体積が単独線パターンの単位面積当
たりの体積よりも小さくなる。なお、ここでいうエッチ
ングは、ベタパターンの導電性物質の厚みを減らすため
に行われる処理であり、ベタパターンの導電性物質の全
部を除去する処理ではない。
First, there is a method in which only the solid pattern is reduced in thickness by etching so that the volume per unit area of the solid pattern is smaller than the volume per unit area of the single line pattern. Specifically, only the solid pattern may be selectively etched after masking the single line pattern. Thereby, the thickness of the solid pattern becomes smaller than the thickness of the single line pattern, and the volume per unit area of the solid pattern becomes smaller than the volume per unit area of the single line pattern. Note that the etching here is a process performed to reduce the thickness of the conductive material of the solid pattern, and is not a process of removing all of the conductive material of the solid pattern.

【0017】次に、ベタパターンにスリットを形成する
ことにより、ベタパターンの単位面積当たりの体積を単
独線パターンの面積当たりの体積よりも小さくする方法
が挙げられる。ここで、ベタパターンに形成するスリッ
トは1本でも良いが、できれば複数本形成することが好
ましい。ベタパターンの体積をより減容できるからであ
る。また、複数本のスリットを形成する場合には、スリ
ットが互いに交差しないように形成するのが好ましい。
スリットが互いに交差すると、絶縁層の形成の際におけ
るエアの抜けが悪くなるからである。なお、スリットは
ベタパターンを形成する際に一緒に形成すればよいが、
ベタパターンを形成した後にスリットを形成することも
できる。
Next, there is a method of forming a slit in the solid pattern so that the volume per unit area of the solid pattern is smaller than the volume per area of the single line pattern. Here, although one slit may be formed in the solid pattern, it is preferable to form a plurality of slits if possible. This is because the volume of the solid pattern can be further reduced. When a plurality of slits are formed, it is preferable that the slits are formed so as not to cross each other.
This is because, when the slits intersect with each other, air escape during the formation of the insulating layer becomes worse. The slit may be formed together when forming the solid pattern,
The slit may be formed after the solid pattern is formed.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明のプリント配線板お
よびその製造方法を具体化した実施の形態について図面
に基づいて詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments embodying a printed wiring board and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0019】最初に、基板上に単独線パターンとベタパ
ターンとを含む配線パターン(導体パターン)を形成す
る。そこで、樹脂性の絶縁基材に銅箔をラミネートして
なる銅張積層板を用意してこれを出発材料とする。この
銅張積層板の銅箔を公知のサブトラクティブプロセスに
よりパターン状にエッチングする。すると図1に示すよ
うに、基板2上に所定形状の単独線パターン3(銅)と
ベタパターン4(銅)とが形成される。単独線パターン
3のライン幅Wは約100μmであり、単独線パターン
3とベタパターン4との間隔Sは約2mmである。ま
た、ベタパターン4の部分は約1cm2 程度の面積を
有している。このときの単独線パターン3の厚さとベタ
パターン4の厚さは同じであり、銅箔の厚さが約12μ
mで、その上に約15μmの厚さの銅メッキ層が形成さ
れて、約27μmとなっている。
First, a wiring pattern (conductor pattern) including a single line pattern and a solid pattern is formed on a substrate. Therefore, a copper-clad laminate obtained by laminating a copper foil on a resinous insulating base material is prepared and used as a starting material. The copper foil of the copper-clad laminate is etched in a pattern by a known subtractive process. Then, as shown in FIG. 1, a single line pattern 3 (copper) and a solid pattern 4 (copper) having a predetermined shape are formed on the substrate 2. The line width W of the single line pattern 3 is about 100 μm, and the interval S between the single line pattern 3 and the solid pattern 4 is about 2 mm. The solid pattern 4 has an area of about 1 cm 2 . At this time, the thickness of the single line pattern 3 and the thickness of the solid pattern 4 are the same, and the thickness of the copper foil is about 12 μm.
m, a copper plating layer having a thickness of about 15 μm is formed thereon to have a thickness of about 27 μm.

【0020】次に、ベタパターン4のみをエッチングし
て、ベタパターン4の厚さを減厚する。具体的には、単
独線パターン3上にエッチングレジストを形成して、塩
化銅(II)溶液を用いてベタパターン4のエッチングを
行う。すると、図2に示すように、ベタパターン4が単
独線パターンよりも薄くなる。ここで、プリント配線板
にスルーホールが形成されている場合には、スルーホー
ルの蓋メッキの部分にもエッチングレジストを形成し
て、蓋メッキの部分がエッチングされないようにする。
スルーホールの蓋メッキの部分は薄いため、この部分が
エッチングされてしまうと導通が取れなくなる可能性が
あるからである。なお、単独線パターン3上にエッチン
グレジストを形成せず、単独線パターン3もベタパター
ン4と一緒にエッチングしてもよいが、ベタパターン4
のみを選択的にエッチングするのが好ましい。
Next, only the solid pattern 4 is etched to reduce the thickness of the solid pattern 4. Specifically, an etching resist is formed on the single line pattern 3, and the solid pattern 4 is etched using a copper (II) chloride solution. Then, as shown in FIG. 2, the solid pattern 4 becomes thinner than the single line pattern. Here, when a through hole is formed in the printed wiring board, an etching resist is also formed on a portion of the through hole where the lid is plated, so that the portion of the lid plating is not etched.
This is because the portion of the through-hole that is covered with the lid is thin, and if this portion is etched, conduction may not be obtained. The single line pattern 3 may be etched together with the solid pattern 4 without forming an etching resist on the single line pattern 3.
It is preferable to selectively etch only.

【0021】なお、本実施の形態では、エッチングによ
りベタパターン4の厚さを約27μmから約17μmに
した。従って、単独線パターン3よりもベタパターン4
の方が約10μm薄くなっている。
In the present embodiment, the thickness of the solid pattern 4 is reduced from about 27 μm to about 17 μm by etching. Therefore, the solid pattern 4 is larger than the single line pattern 3.
Is about 10 μm thinner.

【0022】ここで、ベタパターン4をエッチングする
代わりに、図3に示すように、ベタパターン4に数本の
スリット8を設けてもよい。このようなスリット8をベ
タパターン4に設けることによっても、ベタパターン4
の単位面積当たりの体積を単独線パターン3の単位面積
当たりの体積よりも小さくできるからである。
Here, instead of etching the solid pattern 4, several slits 8 may be provided in the solid pattern 4, as shown in FIG. By providing such a slit 8 in the solid pattern 4, the solid pattern 4
Can be made smaller than the volume per unit area of the single line pattern 3.

【0023】続いて、接着剤ドライフィルムを基板2に
ラミネートする。ラミネートするのは、樹脂材料をマト
リクスとしてこれに溶剤や硬化剤を混合し、さらにシリ
カ等の微細なフィラーを分散させたものである。以下、
これを「DFA」という。その具体的組成は以下の通り
である。 ・樹脂マトリクス: ・・ビスフェノールA型エポキシ樹脂40〜50重量部 ・・フェノールノボラック型エポキシ樹脂50〜60重
量部 ・溶剤:MEK(メチルエチルケトン)樹脂マトリクス
100に対し30〜50重量部 ・硬化剤:イミダゾール型硬化剤樹脂マトリクス100
に対し5重量部 ・フィラー:針状フィラーまたは球状フィラー樹脂マト
リクス100に対し15〜25重量部
Subsequently, the adhesive dry film is laminated on the substrate 2. Lamination is performed by mixing a resin or a matrix with a solvent or a curing agent, and further dispersing a fine filler such as silica. Less than,
This is called "DFA". The specific composition is as follows. Resin matrix: 40 to 50 parts by weight of bisphenol A type epoxy resin 50 to 60 parts by weight of phenol novolak type epoxy resin Solvent: 30 to 50 parts by weight based on MEK (methyl ethyl ketone) resin matrix 100 Curing agent: imidazole Curing agent resin matrix 100
・ Filler: 15 to 25 parts by weight based on 100 parts of acicular filler or spherical filler resin matrix

【0024】このDFAの厚さ50μmのフィルムを基
板2にラミネートする。ラミネートの工程は、DFAの
フィルムを離型性のよいベースフィルムおよびカバーフ
ィルムで挟んだ積層フィルムを用い、カバーフィルムを
剥離しつつ、ベースフィルム側の面からローラで基板に
圧着することにより行う。ベースフィルムも後に除去す
る。ラミネート条件は、 ・ラミネートスピード:0.5〜3.0m/分 ・ラミネート温度 :70℃程度 ・ラミネート圧 :600kPa程度 が適当である。ラミネートすると図4に示す状態とな
る。この状態では,基板2上の単独線パターン3および
ベタパターンはDFA層6に覆われている。そして、ベ
タパターン4が単独線パターン3よりも薄くなっている
ため、ベタパターン4上におけるDFA層6の盛り上が
りも小さくなっている。従って、単独線パターン3上と
ベタパターン4上とにおけるDFA層6の表面にあまり
高低差が生じることがなく、DFA層6がほぼフラット
な状態でラミネートされる。
A 50 μm thick DFA film is laminated on the substrate 2. The laminating step is performed by using a laminated film in which a DFA film is sandwiched between a base film and a cover film having good releasability, and pressure-bonding the substrate to the substrate from a surface on the base film side while peeling the cover film. The base film is also removed later. Laminating conditions are as follows: laminating speed: 0.5 to 3.0 m / min; laminating temperature: about 70 ° C .; laminating pressure: about 600 kPa. After lamination, the state shown in FIG. 4 is obtained. In this state, the single line pattern 3 and the solid pattern on the substrate 2 are covered with the DFA layer 6. Since the solid pattern 4 is thinner than the single line pattern 3, the swelling of the DFA layer 6 on the solid pattern 4 is also small. Therefore, the surface of the DFA layer 6 on the single line pattern 3 and the solid pattern 4 does not have much difference in height, and the DFA layer 6 is laminated in a substantially flat state.

【0025】次に、ラミネート工程を終了した基板2に
対しプレスを実施する。このプレスの工程は、DFA層
6がラミネートされている状態の基板2を、一対のステ
ンレス板を用い、ラミネート時より高温高圧で挟持する
ことにより行う。プレス条件は、 ・プレス温度:100〜200℃ ・プレス圧 :700〜2000kPa ・プレス時間:10分〜20時間 が適当である。プレスすると図5に示す状態となる。こ
の状態では、DFA層6の表面に高低差がないフラット
な状態となっている。この時点でのDFA層6は、溶剤
含有量が1.5重量部程度に減少した状態となってい
る。このため、図4に示す状態と比較して体積的には収
縮し、単独線パターン3およびベタパターンのない箇所
での厚さが約40μm程度となっている。この状態での
DFA層6は、プレス前と比較して粘度が増した半硬化
状態となっている。
Next, pressing is performed on the substrate 2 after the lamination process. This pressing step is performed by sandwiching the substrate 2 on which the DFA layer 6 is laminated using a pair of stainless steel plates at a higher temperature and a higher pressure than at the time of lamination. The pressing conditions are as follows: ・ Press temperature: 100 to 200 ° C. ・ Press pressure: 700 to 2000 kPa ・ Press time: 10 minutes to 20 hours When pressed, the state shown in FIG. 5 is obtained. In this state, the surface of the DFA layer 6 is in a flat state with no height difference. At this point, the DFA layer 6 is in a state where the solvent content has been reduced to about 1.5 parts by weight. Therefore, compared to the state shown in FIG. 4, the volume shrinks, and the thickness at a portion where there is no single line pattern 3 or a solid pattern is about 40 μm. The DFA layer 6 in this state is in a semi-cured state in which the viscosity is increased as compared to before the pressing.

【0026】最後に、半硬化状態のDFA層6を完全に
硬化させるために公知の方法により本乾燥が行われる。
本乾燥の工程を経ると、DFA層6が含有溶剤を全部失
って完全に硬化し、層間絶縁層7となる(図6参照)。
このため、図5に示すプレスによりフラットとなったD
FA層6の表面が保たれた状態で、これが層間絶縁層7
の表面となる。この表面における凹凸の高低差は、最大
でも15μm程度であり何ら問題ない程度に収まる。か
くして、図6に示すフラットな表面の絶縁層を有するプ
リント配線板が製造される。なお、ベタパターン4に図
3に示すようなスリット8を設けた場合には、図7に示
すプリント配線板が製造される。このプリント配線板に
おいても、層間絶縁層7の表面はフラットとなってい
る。
Finally, in order to completely cure the semi-cured DFA layer 6, main drying is performed by a known method.
After the final drying step, the DFA layer 6 loses all the contained solvent and is completely cured, and becomes the interlayer insulating layer 7 (see FIG. 6).
Therefore, the flattened D by the press shown in FIG.
While the surface of the FA layer 6 is maintained, this is
Surface. The height difference of the unevenness on this surface is about 15 μm at the maximum, which is within a range that causes no problem. Thus, a printed wiring board having a flat surface insulating layer shown in FIG. 6 is manufactured. When the solid pattern 4 is provided with the slits 8 as shown in FIG. 3, the printed wiring board shown in FIG. 7 is manufactured. Also in this printed wiring board, the surface of the interlayer insulating layer 7 is flat.

【0027】以上、詳細に説明したように本実施の形態
に係るプリント配線板の製造方法によれば、DFA層6
を単独線パターン3およびベタパターン4上にラミネー
トする前に、ベタパターン4のみをエッチングして、ベ
タパターン4の厚さを単独線パターン3の厚さよりも薄
くしたので、DFA層6をラミネートしてそれをプレス
した後には、DFA層6の表面に生じる高低差が低減さ
れる。従って、表面をほとんどフラットな面と見なしう
るプリント配線板が製造でき、その後の上層パターン等
の形成を高寸法精度にかつ密着性よく行うことができる
ため、良品率の向上に貢献することができる。
As described above in detail, according to the method of manufacturing a printed wiring board according to the present embodiment, the DFA layer 6
Before laminating on the single line pattern 3 and the solid pattern 4, only the solid pattern 4 was etched to make the thickness of the solid pattern 4 thinner than that of the single line pattern 3, so that the DFA layer 6 was laminated. After that, the height difference generated on the surface of the DFA layer 6 is reduced. Therefore, it is possible to manufacture a printed wiring board whose surface can be regarded as a substantially flat surface, and it is possible to form an upper layer pattern and the like with high dimensional accuracy and good adhesion, thereby contributing to an improvement in the yield rate. .

【0028】なお、上記した実施の形態は単なる例示に
すぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがっ
て本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で種々
の改良、変形が可能である。例えば、上記実施の形態で
は、ベタパターン4をエッチングすることにより、単独
線パターン3の体積よりベタパターン4の体積を小さく
したが、メッキ条件を調整することによっても同様のこ
とができる。すなわち、単独線パターン3とベタパター
ン4とのそれぞれ別々のメッキリードと電源を設け、メ
ッキ処理の際に単独線パターン3に流す電流とベタパタ
ーン4に流す電流の大きさを変えるのである。具体的に
は、単独線パターン3に流す電流をベタパターン4に流
す電流よりも大きくする。これにより、単独線パターン
3に付着するメッキ層の厚さがベタパターン4に付着す
るメッキ層の厚さよりも厚くなる。従って、ベタパター
ン4の体積が単独線パターン3の体積よりも小さくな
る。このため、上記実施の形態で説明したのと同様の効
果が得られ、フラットな表面の絶縁層を有するプリント
配線板を製造することができる。
The above-described embodiment is merely an example, and does not limit the present invention. Therefore, naturally, the present invention can be variously modified and modified without departing from the gist thereof. For example, in the above embodiment, the volume of the solid pattern 4 is made smaller than the volume of the single line pattern 3 by etching the solid pattern 4, but the same can be achieved by adjusting the plating conditions. That is, separate plating leads and power supplies for the single line pattern 3 and the solid pattern 4 are provided separately, and the magnitude of the current flowing in the single line pattern 3 and the magnitude of the current flowing in the solid pattern 4 during the plating process are changed. Specifically, the current flowing through the single line pattern 3 is made larger than the current flowing through the solid pattern 4. Thereby, the thickness of the plating layer attached to the single line pattern 3 becomes thicker than the thickness of the plating layer attached to the solid pattern 4. Therefore, the volume of the solid pattern 4 is smaller than the volume of the single line pattern 3. Therefore, the same effect as that described in the above embodiment can be obtained, and a printed wiring board having an insulating layer with a flat surface can be manufactured.

【0029】また、上記実施の形態ではエッチング液と
して、塩化銅(II)溶液を用いたが、硫酸過酸化水素溶
液等を用いてもよい。
In the above embodiment, a copper (II) chloride solution is used as an etching solution, but a sulfuric acid hydrogen peroxide solution or the like may be used.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上、説明した通り本発明によれば、絶
縁層の表面に生じる高低差を低減させるプリント配線板
およびその製造方法が提供されている。
As described above, according to the present invention, there is provided a printed wiring board for reducing a height difference generated on the surface of an insulating layer and a method for manufacturing the same.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】基板上に配線パターンを形成した状態を示す図
である。
FIG. 1 is a diagram showing a state where a wiring pattern is formed on a substrate.

【図2】ベタパターンのみをエッチングした状態を示す
図である。
FIG. 2 is a diagram showing a state where only a solid pattern is etched.

【図3】ベタパターンにスリットを設けた状態を示す図
である。
FIG. 3 is a diagram showing a state in which a slit is provided in a solid pattern.

【図4】DFAフィルムをラミネートして配線パターン
を覆った状態を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a state in which a DFA film is laminated to cover a wiring pattern.

【図5】プレスしてDFAフィルムを半硬化させるとと
もに平面化した状態を示す図である。
FIG. 5 is a view showing a state in which the DFA film is semi-cured by pressing and flattened.

【図6】本発明に係るプリント配線板の製造方法により
製造されたプリント配線板を示す図である。
FIG. 6 is a view showing a printed wiring board manufactured by the method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention.

【図7】ベタパターンにスリットを設ける方法により製
造されたプリント配線板を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a printed wiring board manufactured by a method of providing a slit in a solid pattern.

【図8】従来のプリント配線板の製造方法により製造さ
れたプリント配線板を示す図である。
FIG. 8 is a view showing a printed wiring board manufactured by a conventional method for manufacturing a printed wiring board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 基板 3 単独線パターン 4 ベタパターン 6 DFA層 7 層間絶縁層 8 スリット 2 Substrate 3 Single line pattern 4 Solid pattern 6 DFA layer 7 Interlayer insulating layer 8 Slit

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 単独線パターンとベタパターンとを含む
導体層と、前記導体層を覆う絶縁層とを有するプリント
配線板において、 前記ベタパターンの単位面積当たりにおける体積が前記
単独線パターンの単位面積当たりにおける体積よりも小
さいことを特徴とするプリント配線板。
1. A printed wiring board having a conductor layer including a single line pattern and a solid pattern, and an insulating layer covering the conductor layer, wherein a volume per unit area of the solid pattern is a unit area of the single line pattern. A printed wiring board having a smaller volume per hit.
【請求項2】 単独線パターンとベタパターンとを含む
導体層と、前記導体層を覆う絶縁層とを有するプリント
配線板において、 前記ベタパターンの厚さが前記単独線パターンの厚さよ
りも薄いことを特徴とするプリント配線板。
2. A printed wiring board having a conductor layer including a single line pattern and a solid pattern, and an insulating layer covering the conductor layer, wherein the thickness of the solid pattern is smaller than the thickness of the single line pattern. A printed wiring board characterized by the above.
【請求項3】 単独線パターンとベタパターンとを含む
導体層と、前記導体層を覆う絶縁層とを有するプリント
配線板において、 前記ベタパターンにスリットが形成されていることを特
徴とするプリント配線板。
3. A printed wiring board having a conductor layer including a single line pattern and a solid pattern, and an insulating layer covering the conductor layer, wherein a slit is formed in the solid pattern. Board.
【請求項4】 単独線パターンとベタパターンとを含む
導体層が形成され、その後前記導体層を覆う絶縁層が形
成されるプリント配線板の製造方法において、 前記単独線パターンと前記ベタパターンとを形成した後
に、前記ベタパターンの単位面積当たりにおける体積を
前記単独線パターンの単位面積当たりにおける体積より
も小さくする処理を行ってから前記絶縁層を形成するこ
とを特徴とするプリント配線板の製造方法。
4. A method for manufacturing a printed wiring board, wherein a conductor layer including a single line pattern and a solid pattern is formed, and then an insulating layer covering the conductor layer is formed. Forming the insulating layer after performing a process of reducing the volume per unit area of the solid pattern to be smaller than the volume per unit area of the single line pattern after the formation. .
【請求項5】 請求項4に記載するプリント配線板の製
造方法において、 エッチングにより前記ベタパターンのみを減厚すること
により、前記ベタパターンの単位面積当たりにおける体
積を前記単独線パターンの単位面積当たりにおける体積
よりも小さくすることを特徴とするプリント配線板の製
造方法。
5. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 4, wherein only the solid pattern is reduced in thickness by etching to reduce the volume per unit area of the solid pattern per unit area of the single line pattern. A method for manufacturing a printed wiring board, wherein the volume is smaller than the volume of the printed wiring board.
【請求項6】 請求項4に記載するプリント配線板の製
造方法において、 前記ベタパターンにスリットを形成することにより、前
記ベタパターンの単位面積当たりにおける体積を前記単
独線パターンの単位面積当たりにおける体積よりも小さ
くすることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
6. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 4, wherein a volume per unit area of the solid pattern is reduced by forming a slit in the solid pattern. A method for producing a printed wiring board, characterized in that the printed wiring board is made smaller.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005183740A (en) * 2003-12-19 2005-07-07 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd Printed wiring board and semiconductor device
JP2009239164A (en) * 2008-03-28 2009-10-15 Ngk Spark Plug Co Ltd Wiring board

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