JP2001143655A - 周回軌道を有する飛行時間型質量分析装置 - Google Patents

周回軌道を有する飛行時間型質量分析装置

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    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
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    • H01J49/34Dynamic spectrometers
    • H01J49/40Time-of-flight spectrometers
    • H01J49/408Time-of-flight spectrometers with multiple changes of direction, e.g. by using electric or magnetic sectors, closed-loop time-of-flight

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 周回軌道を有する飛行時間型質量分析装置で
あってイオンの入出射を容易に行うことのできる飛行時
間型質量分析装置を提供する。 【解決手段】 複数の扇形電場によって閉軌道を構成
し、イオンが閉軌道を周回可能とする。この周回軌道上
にリフレクトロンが配置される。リフレクトロンは、作
動させないときに周回軌道を進行するイオンが通過でき
る様な通過口を有する。リフレクトロンにより周回軌道
から取り出されたイオンを検出するためのイオン検出器
が設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、飛行時間型質量分
析装置(TOFMS)に関するものであり、特にイオン
が周回できる閉じた軌道を有する飛行時間型質量分析装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】飛行時間型質量分析装置においては、一
定の加速エネルギーで加速した試料イオンが質量に応じ
た飛行速度を持つことに基づき、一定距離を飛行するの
に要する飛行時間を計測して質量を求める。
【0003】この飛行時間型質量分析装置の分解能は、
イオン源の条件が同一の場合、イオンの飛行距離に比例
する。従って、高分解能を実現するためには飛行距離を
大きくすれば良いが、通常、それは装置の大型化に結び
つく。
【0004】そこで、飛行距離を長くすることと装置の
小型化を両立させるため、例えば、リフレクトロンと呼
ばれる電場を用いてイオンの飛行方向を変えてUターン
させることが行われている。さらには、複数の電場を用
いて閉じた軌道を構成し、この軌道上でイオンを周回さ
せることにより、長い飛行距離を実現しようとする試み
もある。
【0005】
【発明が解決すべき課題】リフレクトロンを用いて飛行
方向をUターンさせても、飛行距離を長くするためには
装置の大型化は避けられない。周回軌道を持つ場合に
は、多重周回させることにより、限られたスペースの中
で飛行距離を長くすることはできるが、イオンビームの
入出射に工夫が必要である。
【0006】本発明は、リフレクトロンを周回軌道を持
つ飛行時間型質量分析装置と組み合わせることにより、
イオンの入出射を容易に行うことのできる飛行時間型質
量分析装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決する手段】この目的を達成するため、本発
明は周回軌道を有する飛行時間型質量分析装置であっ
て、周回軌道上にリフレクトロンを配置し、該リフレク
トロンを用いて周回軌道を進むイオンを軌道外部へ取り
出して検出し得るように構成すると共に、該リフレクト
ロンを動作させない時に周回軌道を進むイオンが該リフ
レクトロンを通過できるように構成したことを特徴とし
ている。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図1は本発明を実施した飛行時間
型質量分析計の一例を示すイオン光学図である。図1に
おいて、旋回角度が180°よりも小さい4つの扇形電
場E1,E2,E3,E4を8の字の湾曲部分に配置するこ
とにより、8の字状の閉じたイオン軌道Aが形成され
る。この軌道Aは、4つの扇形電場E1〜E4内の円形軌
道A1〜A4と、扇形電場間を結ぶ4つの直進軌道A12,
A23,A34,A41から構成されている。
【0009】扇形電場E1,E2の間の直進軌道A12に
は、オルソゴナル(直交型)イオン源1が、直進軌道A12
上に扇形電場E2へ向けてイオンを出射し得るように配
置されている。このイオン源1は、イオン化部2と、直
進軌道上に配置されイオン化部2で生成されたイオンが
低速で導入されるイオン溜3とから構成される。イオン
溜2内には、引出し電極4及び押し出し電極5が設けら
れており、この2つの電極間に電圧を印加することによ
り、イオンに加速エネルギーを与えて外部へ取り出すた
めの電場が発生される。また、イオン溜3には、イオン
源を動作させないとき、直進軌道A12に沿って進むイオ
ンが影響を受けずに通過できるよう、通過口が設けられ
ている。
【0010】イオン源1と扇形電場E2との間の直進軌
道A12上には、リフレクトロン6が配置されている。リ
フレクトロン6は、間隔をおいて並べられた少なくとも
2枚の電極により、イオンを減速する電場を発生させ、
この電場にイオンを斜めに入射させてUターンさせるも
のである。リフレクトロン6により進行方向が変えられ
て直進軌道A12を外れたイオンを検出するため、イオン
検出器7が設けられている。また、リフレクトロン6に
は、非作動時、直進軌道A12に沿って進むイオンが影響
を受けずに通過できるよう、通過口が設けられていると
共にすべての電極が接地電位とされる。
【0011】このような構成において、イオン化部2で
生成された試料イオンは、イオン化部から低速度で取り
出され、矢印方向に進んでイオン溜3内へ導かれる。適
宜な量のイオンが蓄積された時、引き出し電極と押し出
し電極にパルス的に電圧を供給することにより、イオン
溜内のイオンはパルス的に外に取り出され、直進軌道A
12に沿って進み始める。
【0012】なお、イオン溜内において、イオンはイオ
ン化部で付与された速度V0で進んでいるため、その進
行方向に直交する方向に取り出しのための電場を印加し
ても、電場の方向に取り出されるのではなく、速度V0
の影響により電場の方向に対して斜めに出射する。その
出射方向が直進軌道A12に一致するように、イオン源1
が配置されていることは言うまでもない。
【0013】このようにして、イオン源1から発射され
直進軌道A12に沿って飛行を開始したパルス化された一
団のイオンは、時間の経過と共に質量に応じて展開され
て行く。質量分析装置に要求される分解能が最も低い低
分解能モードの場合、リフレクトロン6は、常に作動状
態とされる。従って、イオン源1から発射されたイオン
はリフレクトロン6に到着次第次々に直進軌道A12の外
に取り出され、検出器7に入射して検出される。
【0014】一方、更に高い分解能が要求される高分解
能モードの場合、リフレクトロン6は当初、非作動状態
とされる。そのため、イオン源1から発射されたイオン
は、リフレクトロン6を通過し、後ろに続く周回軌道A
2,A23,A3,A34,A4,A41,A1に沿って飛行し、
1周してイオン源1に戻って来る。イオン源1は、発射
後イオンが1周して戻って来るまでには、非作動状態と
されているため、イオンはイオン源1をそのまま通過し
てリフレクトロン6へ到達することとなる。リフレクト
ロン6は、イオンが通過してから再び接近するまでの間
に作動状態とされるため、リフレクトロン6へ到達した
イオンは、到着次第次々に直進軌道A12の外に取り出さ
れ、検出器7に入射して検出される。このときのイオン
の飛行距離は、周回軌道1周の分前記低分解能モードの
時よりも長いため、低分解能モードよりも高い分解能の
測定が可能である。
【0015】イオンの周回数を更に増やすことにより、
更に高い分解能が要求される場合にも対応することが出
来る。すなわち、リフレクトロン6を作動状態とするタ
イミングを更に遅らせれば、イオンは更に周回を重ねる
ので、所望の周回数を重ねた時点で、リフレクトロンを
作動状態としてイオンを検出するようにすればよい。た
だし、先頭のイオンが最後尾のイオンを追い越してしま
っては解析が困難になるので、リフレクトロンを作動状
態とするのは、追い越しが起こる前であって、最後尾の
イオンがリフレクトロンを通過し且つ先頭のイオンがリ
フレクトロン6に到達する前のタイミングであることは
言うまでもない。
【0016】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れることなく変形が可能である。例えば、図2に示すよ
うに、イオン源11を直進軌道の延長線上に設け、扇形
電場を形成する電極に開けた穴を介してイオンを周回軌
道に打ち込むようにしても良い。
【0017】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明では、周回
軌道上にリフレクトロンを配置し、このリフレクトロン
を用いて周回軌道を進むイオンを軌道外部へ取り出して
検出し得るように構成すると共に、リフレクトロンを動
作させない時に周回軌道を進むイオンがリフレクトロン
を通過できるように構成したため、イオンの入出射を容
易に行うことのできる飛行時間型質量分析装置が実現さ
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態の一例を示す図である。
【図2】 本発明の変形例を示す図である。
【符号の説明】
E1,E2,E3,E4・・・扇形電場、1・・・オルソゴナル
イオン源、6・・・リフレクトロン、7・・・イオン検出

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 周回軌道を有する飛行時間型質量分析装
    置であって、周回軌道上にリフレクトロンを配置し、該
    リフレクトロンを用いて周回軌道を進むイオンを軌道外
    部へ取り出して検出し得るように構成すると共に、該リ
    フレクトロンを動作させない時に周回軌道を進むイオン
    が該リフレクトロンを通過できるように構成したことを
    特徴とする周回軌道を有する飛行時間型質量分析装置。
  2. 【請求項2】イオン生成部と生成されたイオンを収容す
    るイオン溜とから構成され、該イオン溜からイオンをパ
    ルス的に一方向に取り出すイオン源を備え、該イオン源
    は、前記周回軌道上にイオンを送り出すように配置され
    ると共に、該イオン源を動作させない時に、周回軌道を
    進むイオンが該イオン源を通過できるように構成されて
    いることを特徴とする請求項1記載の周回軌道を有する
    飛行時間型質量分析装置。
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