JP2001137740A

JP2001137740A - 石英ガラス原料粉の磁性体粉除去装置

Info

Publication number: JP2001137740A
Application number: JP32787399A
Authority: JP
Inventors: Takashi Suzuki; 崇鈴木
Original assignee: Toshiba Ceramics Co Ltd
Current assignee: Coorstek KK
Priority date: 1999-11-18
Filing date: 1999-11-18
Publication date: 2001-05-22

Abstract

(57)【要約】【課題】石英ガラス原料粉から磁性体粉を連続的にか
つ効率よく除去し、しかも、磁石が損耗することのない
石英ガラス原料粉の磁性体粉除去装置を提供する。【解決手段】石英ガラス原料粉Ｇを供給する圧電フィ
ーダ２１と、圧電フィーダ２１から供給される石英ガラ
ス原料粉Ｇを薄層状に載置して搬送するベルトコンベア
２２と、石英ガラス原料粉Ｇ中に含まれる磁性体（異
物）を吸引する磁力を有し、ベルトコンベア２２の搬出
側プーリを兼ねる磁気ドラム２３とにより石英ガラス原
料粉の鉄分除去装置Ｂ₁を構成し、磁気ドラム２３に吸
引されてベルトコンベア２２の復路側にさしかかって落
下する磁性体（異物）と、ベルトコンベア２２の搬出端
から落下する非磁性体粉（良品）との落下位置が異なる
ことを利用して異物を除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、石英ガラス原料粉
に含まれる異物のうち、品質に最も大きい影響を及ぼす
磁性体粉、例えば鉄粉を除去する石英ガラス原料粉の磁
性体粉除去装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、石英ガラス、例えば、光学分野や
半導体分野で使用される石英ガラスの製造に使われる石
英ガラス原料粉には、３０μｍから３００μｍ程度の異
物が混入しており、それらは主に黒鉛、鉄粉であること
が判明している。これらの異物が溶解後の石英るつぼの
黒点および泡の発生原因の一つと考えられ、特に鉄粉の
影響が最も大きいと考えられている。前記した異物を除
くために、従来から浮遊選鉱、磁力選鉱、酸処理などが
行われている。

【０００３】具体的に例示すれば、特公平５−６３４１
６号公報に示されているように、石英ガラス原料を磁気
選鉱機に通して、大粒の鉄粉を除去した後、石英ガラス
原料粉に付着している微粉状の鉄粉を除去するため塩酸
水溶液で酸処理し、次いで酸性のまま浮遊選鉱槽に移し
てパイン油を入れ、泡沫浮遊選鉱を行ってルツボ成形時
の泡の発生原因となるゴムと他の有機物を除去した後に
脱水し、所定の温度で仮焼してパイン油を分解、酸化除
去してからフッ酸水溶液で洗浄して粒子表面の汚れを除
去すると共にその純度を上げ、乾燥してから、最後に再
度磁力選鉱を通すことが行われている。また、特公昭５
５−４０５４５号公報に示されているように、珪石また
は珪砂の石英ガラス原料粉を粉砕、分級して磁力選鉱
法、浮遊選鉱法により精鉱を行った後、この原料粒子を
仮焼し、つづいてフッ化水素酸に浸漬せしめた原料粉を
溶融して石英ガラスを製造することが行われている。

【０００４】このように、不純物（異物）を除くために
石英ガラス原料粉に対して、浮遊選鉱、磁力選鉱、酸処
理、熱処理あるいはこれら処理を組合わせて処理してい
たが、石英ガラス原料粉に付着した金属や、石英ガラス
原料粉内に閉じ込められている金属は取り除き難く、石
英ガラス製品において、それら金属が茶色、黒色の点
（以下、黒点という）となって発現する原因となってい
た。

【０００５】また、各処理工程で使用される装置や搬送
治具、梱包には金属汚染を防ぐため、また酸処理での錆
の発生を考慮し、樹脂部品が多く使われている。しか
し、樹脂は金属やセラミックスに比べて耐摩耗性が劣
り、処理に伴う石英ガラス原料粉の振動や摩耗によって
剥離し、また機械自体の摩耗によって、石英ガラス原料
粉中に樹脂片が混入することがあった。このような樹脂
は、一旦混入すると篩や磁力選鉱では除去できず、酸処
理によっても除くことができない。一方、前記樹脂は酸
化雰囲気において溶融（燃焼）するとガスが発生するた
め、前記樹脂が混入した石英ガラス原料粉を用いると、
石英ガラス中に直径が３ｍｍ以上の巨大な気泡の発生の
原因になっていた。また、その樹脂の灰分がアルカリ金
属や重金属として石英ガラス中に残るため、純度の高い
石英ガラスを得ることができなかった。なお、前記樹脂
が混入した石英ガラス原料粉を非酸化雰囲気で溶融を行
った場合、ガラス中にカ−ボンが残留し黒点の原因とな
るという課題があった。

【０００６】このような課題を解決するために、本願出
願人は、先に、金属等の不純物である異物が混入した石
英ガラス原料粉から異物を容易に除去することができる
石英ガラス原料粉異物除去装置を提案している（特願平
１１−２４１１８４）。図４はその石英ガラス原料粉異
物除去装置Ａの概要を示す概略図であり、図に示すよう
に、この石英ガラス原料粉異物除去装置には、石英ガラ
ス原料粉を収容するホッパー１の下方に、石英ガラス原
料粉を搬送手段（例えば圧電フィ−ダ）３に供給する供
給管２が設けられている。また、この搬送手段３の上に
は、溝を形成する目的や、石英ガラス原料粉の汚染を防
止する目的で、石英ガラスやアルミナ、炭化珪素などの
高純度材料製やポリテトラフルオロエチレン製の板材３
ａが載置されている。

【０００７】また、前記供給管２の先端部は、石英ガラ
ス原料粉が重なり合って搬送手段３に供給されないよう
に、その形状、サイズ、配置位置が決められている。そ
して、供給管２から供給された石英ガラス原料粉は、圧
電フィ−ダ３の上のガラス板３ａに形成された溝（図示
せず）に供給され、圧電フィ−ダ３の振動により次の圧
電フィ−ダ４のガラス板４ａの上に搬送される。このと
き、石英ガラス原料粉の粒子はほぼ１層に、しかも隙間
なく広がり、重なり合わないように移載される。

【０００８】前記搬送手段４の搬送速度は、搬送手段３
の搬送速度より速い速度に調整され、搬送手段３の上に
おいて原料粉が重なりあって搬送されても、搬送手段４
では原料粉の粒子は重なり合わず、薄層、好ましくは１
層になされる。また、圧電フィ−ダ４の下流側には覆板
５ａが溝の上方に設けられ、前記覆板５ａとガラス板４
ａの間に吸引部５が構成されている。この覆板５ａは、
例えば汚染の問題のない石英ガラスやアルミナ等の高純
度材料やポリテトラフルオロエチレン等によって形成さ
れ、吸引部５を上方から撮影できるように透明のものが
用いられる。また、この吸引部５は、ノズル６が圧電フ
ィ−ダ４上を移動する異物を吸引に適した所定の空間に
形成されている。

【０００９】前記ノズル６はその先端部から徐々に太径
になるように形成され、接続パイプ６ａを介して、石英
ガラス原料粉を回収するトラップ７に接続されている。
前記トラップ７にはフィルタ−７ａが装着され、前記フ
ィルタ−７ａが装着された接続パイプ８にはバルブ１０
を介して吸引ホンプ９が接続されている。また、前記接
続パイプ８の管路中に、バルブ動作手段１０ａによって
開閉動作がなされる電磁バルブからなるバルブ１０が設
けられている。

【００１０】更に、前記吸引部５を構成する覆板５ａの
上方には、ＣＣＤカメラからなる撮像装置１１が設けら
れている。そして、前記撮像装置１１からの画像デ−タ
に基づいて異物を検出しバルブ動作手段１０ａに対し
て、動作信号を送出する画像処理動作制御部１２が設け
られている。なお、符号１３は照明手段である、

【００１１】前記撮像装置１１によって、石英ガラス原
料粉像を画像デ−タに変換し、画像処理動作制御部１２
によって、撮像装置１１からの映像アナログ信号をＡ／
Ｄ変換する。そして、Ａ／Ｄ変換回路からのデジタル信
号が一定の値（しきい値）より大きいかあるいは小さい
かによって、すなわち明度によって白色の場合は
「０」、黒色の場合は「１」として「０、１」の画像デ
−タに変換し、「１」のデ−タをカウントする。そし
て、「１」のデ−タが所定数を越えた場合に異物として
検出し、バルブ動作手段１０ａを制御する。

【００１２】以上のように構成された石英ガラス原料粉
異物除去装置Ａでは、まず原料ホッパ−１に投入された
石英ガラス原料粉が、供給管２を通って圧電フィ−ダ３
の上に置かれたガラス板３ａの溝に落下する。そして、
圧電フィ−ダ３、４によって石英ガラス原料粉は吸引部
５に搬送され、その上方から撮像装置１１によって撮影
される。前記撮像装置１１によって撮影された一定の範
囲の画像のアナログ信号は、前記したように画像処理動
作制御部１２において二値化処理され、白色粒子以外の
粒子、例えば薄茶、茶色の粒子は黒色の粒子の場合と同
様に、「１」としてデ−タ変換される。そして、
「１」のデ−タをカウントし、異物として検出すると、
前記バルブ動作手段１０ａに対して動作信号を送出し、
ノズル６の先端から異物を吸引する。前記ノズル６に
よって吸引された異物は接続パイプ６ａを通り、トラッ
プ７に捕捉される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記したように、本願
出願人が提案した石英ガラス原料粉異物除去装置にあっ
ては、０．５ｍｍ以上の黒点については略完全に除去で
きることが確認され、異物の混入の少ない石英ガラス原
料粉を得ることができる。しかしながら、異物が多量の
含まれる石英ガラス原料粉を前記石英ガラス原料粉異物
除去装置に供給した場合、ノズルの吸引が応答し切れ
ず、異物が残留するという技術的課題があることが判明
した。

【００１４】かかる課題を解決するには、石英ガラス原
料粉に多量の異物が含まれる場合には、前記石英ガラス
原料粉を磁選処理等してから、前記石英ガラス原料粉異
物除去装置に供給する方法が考えられる。この磁選処理
する方法としては、従来から、電磁力を利用する方法や
棒状の永久磁石を直接する方法などがある。しかしなが
ら、前記磁選処理機では、多量の石英ガラス原料粉から
磁性体粉を連続的に効率よく除去することができず、ま
た、磁性体粉の除去精度が悪く、石英ガラス原料粉が接
触するため、磁石が損耗するなどの技術的課題があっ
た。

【００１５】本発明は、上記技術的課題を解決するため
に鑑み成されたものであり、石英ガラス原料粉から磁性
体粉を連続的にかつ効率よく除去し、しかも、磁石が損
耗することのない石英ガラス原料粉の磁性体粉除去装置
を提供することを目的とするものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、石英ガラス原料粉を供給するフィーダと、該フィー
ダから供給された石英ガラス原料粉を搬送するベルトコ
ンベアと、石英ガラス原料粉に含まれる磁性体を吸引す
る磁力を有すると共に、前記ベルトコンベアの搬出側プ
ーリを兼ねる磁気ドラムとを備えることを特徴としてい
る。

【００１７】上記のように構成された本発明の石英ガラ
ス原料粉の磁性体粉除去装置は、フィーダによって供給
された石英ガラス原料粉が、ベルトコンベア上に薄層状
に載置されて搬送され、搬出端に到達したときに、搬出
側プーリである磁気ドラムの磁力を受けて磁性体粉（異
物）のみがコンベアベルトに吸引される。このとき、ベ
ルトコンベア上の原料粉は薄層状であるため、原料粉に
含まれる磁性体粉はほぼ一様の吸引力を受け、コンベア
ベルトに吸引されたまま、コンベアベルトの復路に移動
して磁気ドラムの磁力が弱まった位置まで到達したとき
に、自重により落下する。一方、石英ガラス原料粉の中
の非磁性体粉（良品）は、磁気ドラムの磁力を受けるこ
とがなく、ベルトコンベアの搬出端から落下するため、
落下位置の異なる磁性体粉（異物）と分離される。ま
た、磁気ドラムは石英ガラス原料粉とは直接接触しない
ので、損耗を防止することができる。

【００１８】ここで、前記ベルトコンベアの搬出端の下
方に、石英ガラス原料粉に含まれる磁性体粉の落下領域
と非磁性体粉の落下領域とに区分する仕切り壁を設ける
ことが望ましい。この構成により、落下位置の異なる磁
性体粉（異物）と非磁性体粉（良品）が混合することな
く正確に分離され、選別精度が確保される。

【００１９】また、前記ベルトコンベアの搬出端の下方
に、石英ガラス原料粉に含まれる強磁性体粉の落下領域
と、弱磁性体粉の落下領域と、非磁性体粉の落下領域と
の３つに区分する仕切り壁を設けることが望ましい。こ
の構成により、ベルトコンベアから落下した石英ガラス
原料粉は、非磁性体粉のみの良品と、弱磁性体粉の不良
品と、強磁性体粉のみの不良品の３種類に区分される。
この場合、弱磁性体粉も含まない良品（非磁性体粉）の
みを回収することができる。

【００２０】更に、複数の前記ベルトコンベアを多段に
配列し、上位のベルトコンベアの下方に配設される下位
のベルトコンベアは、上位のベルトコンベアの搬出端か
ら落下する非磁性体粉を受け入れ、前記上位のベルトコ
ンベアの磁気ドラムの吸引力を受けて落下する磁性体粉
を受け入れない位置に配設し、最下段のベルトコンベア
の下方には、非磁性体粉と磁性体粉をそれぞれ別個に回
収する粉体収容部が設けられていることが望ましい。こ
の構成により、石英ガラス原料粉はベルトコンベアの段
数だけ選別が繰り返して行われるので、１回目の選別で
良品に混じった磁性体粉も２回目、３回目の選別で良品
の中から除去されることになり、選別精度を高めること
ができる。

【００２１】更にまた、石英ガラス原料粉を撮影する撮
像装置と、該撮像装置によって得られた画像データを画
像処理し、石英ガラス原料粉内の異物を検出する画像処
理動作制御部と、該画像処理動作制御部からの異物検出
信号に基づいて異物を吸引するノズルとを備えた石英ガ
ラス原料粉異物除去装置の前工程に、前記石英ガラス原
料粉の磁性体粉除去装置を設置することが望ましい。こ
の構成により、石英ガラス原料粉は本発明の磁性体粉除
去装置により効率よく連続的に磁性体粉を除去した後
に、石英ガラス原料粉異物除去装置で異物を高精度に分
離される。したがって、この後工程に本願出願人が提案
した石英ガラス原料粉異物除去装置を用いれば、石英ガ
ラス原料粉に異物の混入量が多い場合であっても、異物
を連続的に、かつ十分に吸引除去することができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明の石英ガラス原料粉の磁性
体粉除去装置の実施の形態について、図面を参照しなが
ら説明する。図１は本発明の第１実施形態にかかる石英
ガラス原料粉の磁性体粉除去装置Ｂ ₁の構成を示す概略
図、図２は本発明の第２実施形態にかかる石英ガラス原
料粉の磁性体粉除去装置Ｂ₂の構成を示す概略図、図３
は本発明の第３実施形態にかかる石英ガラス原料粉の磁
性体粉除去装置Ｂ₃の構成を示す概略図である。

【００２３】前記石英ガラス原料粉の磁性体粉除去装置
Ｂ₁には、図１に示すように、石英ガラス原料粉Ｇを収
容するホッパ２０の下端に供給管２０ａが設けられてい
る。この供給管２０ａは、石英ガラス原料粉Ｇを圧電フ
ィーダ２１のガラス板２１ａの上に供給するもので、石
英ガラス原料粉Ｇがガラス板２１ａ上に薄層状に広がっ
て供給されるように、供給管２０ａの管径とガラス板２
１ａとの間隔が設定される。また、前記圧電フィーダ２
１は、ガラス板２１ａ上に供給された薄層状の石英ガラ
ス原料粉Ｇに振動を加えて下流側のベルトコンベア２２
に供給する搬送装置である。

【００２４】また、ベルトコンベア２２は、搬入側およ
び搬出側のプーリにコンベアベルト２２ａを巻回し、一
方のプーリの回転駆動力によりコンベアベルト２２ａ上
の石英ガラス原料粉を搬送するものであるが、搬出側の
プーリを磁気ドラム２３とした点が一般のベルトコンベ
アと相違している。前記磁気ドラム２３は、搬出端に接
近した石英ガラス原料粉Ｇの中の、磁性体粉、例えば鉄
粉を、コンベアベルト２２ａを介して吸引する磁力を有
している。なお、ベルトコンベア２２上の石英ガラス原
料粉Ｇを薄層状（一層状）に維持して搬送するために
は、搬出側のプーリである磁気ドラム２３に回転駆動力
を与えて、搬送面が弛まないように緊張させるか、ある
いは中間にテンションプーリを設ける必要がある。

【００２５】以上のように構成された磁性体粉除去装置
Ｂ₁による磁性体粉の除去方法について説明すると、ま
ず、ホッパ２０の供給管２０ａからフィダー２１に供給
された石英ガラス原料粉Ｇは、重ならないように薄層状
に広げられてベルトコンベア２２に供給される。供給さ
れたベルトコンベア２２上の石英ガラス原料粉Ｇは、薄
層状を維持したまま搬出端に到達し、石英ガラス原料粉
Ｇ内に含まれる磁性体粉、例えば鉄粉（図１では便宜上
黒色で表現したもの）のみ、磁気ドラム２３からほぼ一
様の吸引力を受ける。そして、前記磁性体粉は、コンベ
アベルト２２ａに吸着されたままベルトコンベア２２上
の復路にさしかかり、磁気ドラム２３から遠ざかるにつ
れて磁気ドラム２３の吸引力が次第に減少するので、自
重により落下する。

【００２６】これに対して、石英ガラス原料粉Ｇ中の非
磁性体粉は、磁気ドラム２３の吸引力を受けることな
く、ベルトコンベア２２の搬出端より落下する。そのた
め、その落下位置に良品の石英ガラス原料粉（非磁性体
粉）のみを回収することができる。このようにして、石
英ガラス原料粉Ｇの磁性体粉（異物）除去を、化学薬品
を使用することなく、磁気ドラム２３を損耗させること
なく、連続して効率的に行うことができる。

【００２７】この石英ガラス原料粉の磁性体粉除去装置
Ｂ₁では、下方に落下した非磁性体粉（良品）が落下面
を転動して磁性体粉（異物）と混合するのを防止するた
めに、非磁性体粉（良品）の落下領域と磁性体粉（異
物）の落下領域とを区分し、非磁性体粉（良品）と磁性
体粉（異物）とを夫々別個に収容する回収容器２４を設
けることが望ましい。この回収容器２４には、図１に示
すように、磁性体粉（異物）の落下領域と、非磁性体粉
（良品）の落下領域とを区分する仕切り壁２５ａを設け
るが良い。

【００２８】また、微細な石英ガラス原料粉（良品）が
落下中の空気抵抗あるいは微風などにより鉛直方向に正
しく落下しないで選別精度が悪化する虞れを防止するた
めに、石英ガラス原料粉（良品）を鉛直方向に落下案内
するナイフエッジ状の上部仕切り壁２６ａを設けること
が望ましい。

【００２９】図２は、本発明の第２実施形態を示す石英
ガラス原料粉の磁性体粉除去装置Ｂ ₂の図面であり、落
下する石英ガラス原料粉Ｇを強磁性体粉、弱磁性体粉お
よび非磁性体粉に区分する仕切り壁２５ａ、２５ｂが回
収容器２４内に設けられている。また、仕切り壁２５
ａ、２５ｂの真上に、ナイフエッジ状の上部仕切り壁２
６ａ、２６ｂを設けたもので、その他の構成は第１実施
形態と同様である。この第２実施形態では、石英ガラス
原料粉Ｇから強磁性体粉を除去するのみならず、弱磁性
体粉も除去するようにしたので、選別精度の高い良品を
得ることができる。また、石英ガラス製品によっては透
明度が低くても良いものもあり、その場合には弱磁性体
粉も非磁性体粉に混入させても良く、この場合は原料を
より有効に活用することができる。

【００３０】図３は、本発明の第３実施形態を示す石英
ガラス原料粉の磁性体粉除去装置Ｂ ₃の図面であり、磁
気ドラム２３を備えたベルトコンベア２２を多段に設け
たものである。この磁性体粉除去装置Ｂ₃にあっては、
圧電フィーダ２１から石英ガラス原料粉Ｇを受けるベル
トコンベア２２が最上位に、その下方にベルトコンベア
２２と同様の第２のベルトコンベア２２′が、更に第３
のベルトコンベア２２″が設けられている。なお、本実
施形態ではベルトコンベア２２を３段に配列したが、２
段あるいは４段以上であっても良い。

【００３１】また、前記第２のベルトコンベア２２′
は、上位のベルトコンベア２２の搬出端から落下する非
磁性体粉を受け入れるが、磁気ドラム２３の吸引力を受
けて落下する磁性体粉を受け入れない位置に配設されて
いる。また、第３のベルトコンベア２２″も、同様に、
第２のコンベア２２′の搬出端から落下する非磁性体粉
を受け入れるが、磁気ドラム２３の吸引力を受けて落下
する磁性体粉を受け入れない位置に配設されている。更
に、最下位のベルトコンベア２２″の下方に配置される
回収容器２４には、落下する非磁性体粉と磁性体粉を区
分する仕切り壁２５ａ、２５ｂ、２５ｃが設けられ、仕
切り壁２５の上方に上部仕切り壁２６ａ、２６ｂ、２６
ｃが設けられている。

【００３２】以上のように構成された石英ガラス原料粉
の磁性体粉除去装置Ｂ₃による磁性体粉除去方法を説明
すると、ホッパ２０から供給された石英ガラス原料粉Ｇ
は、圧電フィーダ２１のガラス板２１ａに薄層状に載置
され、搬出端から上位のベルトコンベア２２に薄層の状
態をもって移載される。そして上位のベルトコンベア２
２の搬出端に搬送された石英ガラス原料粉Ｇは、磁性体
粉のみ磁気ドラム２３に吸引されてベルトコンベア２２
の復路に移動し、磁気ドラム２３から遠ざかった位置で
吸引力が低下して自重により下方の回収容器２４内に落
下する。

【００３３】また、弱磁性体粉は、上位のベルトコンベ
ア２２の第１回目の磁気選別では充分に選別されない
で、非磁性体粉と共にベルトコンベア２２の搬出端から
第２のベルトコンベア２２′に落下することがある。し
かし、第２のベルトコンベア２２′で２回目の磁気選別
を受け、この第２のベルトコンベア２２′の磁気選別か
ら更に漏れた弱磁性粉があったとしても、第３のベルト
コンベア２２″で３度目の磁気選別を受ける。このよう
にして、磁気選別が数回繰り返して行われるので、磁性
体粉の除去精度が極めて高くなる。

【００３４】第１回目の選別で除去された磁性体粉には
強磁性体粉が多く含まれ、第３回目の選別では比較的に
弱磁性体粉が回収され易い傾向があるので、それぞれの
選別で回収される磁性体粉（異物）を区分する仕切り壁
２５ａ、２５ｂ、２５ｃを収容容器２４内に設けること
が望ましい。更にその真上に上部仕切り壁２６ａ、２６
ｂ、２６ｃを設けることが望ましい。

【００３５】以上述べた石英ガラス原料粉の磁性体粉除
去装置Ｂ₁、Ｂ₂あるいはＢ₃を、図４に示す石英ガラ
ス原料粉異物除去装置Ａの上流側に設けると、元の石英
ガラス原料粉に多量の異物が含まれる場合であっても、
吸引応答仕切れないという石英ガラス原料粉異物除去装
置の問題を解消し、石英ガラス原料粉の異物を連続的に
効率よく、しかも、高精度に除去することが可能にな
る。

【００３６】

【発明の効果】本発明の石英ガラス原料粉の磁性体粉除
去装置は、以上述べたように構成されているので、石英
ガラス原料粉の磁性体粉を連続して効率よく除去するこ
とができる効果を奏する。また、石英ガラス原料粉異物
除去装置の上流に、本発明にかかる磁性体粉除去装置を
設置することにより、磁性体粉を除去した後に石英ガラ
ス原料粉異物除去装置に石英ガラス原料粉を供給するこ
とができる。そのため、元の石英ガラス原料粉に多量の
異物を含む場合であっても、連続して効率よく、しか
も、高精度に異物を除去することができる。更に、本発
明に使用される磁気ドラムは、石英ガラス原料粉に直接
接触しないので、損耗を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態にかかる石英ガラス原料
粉の磁性体粉除去装置の構成を示す概略図である。

【図２】本発明の第２実施形態にかかる石英ガラス原料
粉の磁性体粉除去装置の構成を示す概略図である。

【図３】本発明の第３実施形態にかかる石英ガラス原料
粉の磁性体粉除去装置の構成を示す概略図である。

【図４】石英ガラス原料粉異物除去装置の構成を示す概
略図である。

【符号の説明】

Ｇ石英ガラス原料粉Ｂ₁、Ｂ₂、Ｂ₃ 石英ガラス原料粉の磁性体粉
除去装置Ａ石英ガラス原料粉異物除去装
置２０ホッパ２０ａ供給管２１圧電フィーダ２１ａガラス板２２ベルトコンベア２２ａコンベアベルト２３磁気ドラム２４回収容器２５ａ、２５ｂ、２５ｃ仕切り壁２６ａ、２６ｂ、２６ｃ上部仕切り壁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】石英ガラス原料粉を供給するフィーダ
と、該フィーダから供給された石英ガラス原料粉を搬送する
ベルトコンベアと、石英ガラス原料粉に含まれる磁性体を吸引する磁力を有
すると共に、前記ベルトコンベアの搬出側プーリを兼ね
る磁気ドラムとを備えることを特徴とする石英ガラス原
料粉の磁性体粉除去装置。
【請求項２】前記ベルトコンベアの搬出端の下方に、
石英ガラス原料粉に含まれる磁性体粉の落下領域と非磁
性体粉の落下領域とに区分する仕切り壁を設けたことを
特徴とする請求項１に記載された石英ガラス原料粉の磁
性体粉除去装置。
【請求項３】前記ベルトコンベアの搬出端の下方に、
石英ガラス原料粉に含まれる強磁性体粉の落下領域と、
弱磁性体粉の落下領域と、非磁性体粉の落下領域の３つ
領域に区分する仕切り壁を設けたことを特徴とする請求
項１または請求項２に記載された石英ガラス原料粉の磁
性体粉除去装置。
【請求項４】複数の前記ベルトコンベアが多段に配列
され、上位のベルトコンベアの下方に配設される下位のベルト
コンベアは、上位のベルトコンベアの搬出端から落下す
る非磁性体粉を受け入れ、前記上位のベルトコンベアの
磁気ドラムの吸引力を受けて落下する磁性体粉を受け入
れない位置に配設され、最下段のベルトコンベアの下方には、非磁性体粉と磁性
体粉をそれぞれ別個に回収する粉体収容部が設けられて
いることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか
に記載された石英ガラス原料粉の磁性体粉除去装置。
【請求項５】石英ガラス原料粉を撮影する撮像装置
と、該撮像装置によって得られた画像データを画像処理
し、石英ガラス原料粉内の異物を検出する画像処理動作
制御部と、該画像処理動作制御部からの異物検出信号に
基づいて異物を吸引するノズルとを備えた石英ガラス原
料粉異物除去装置の前工程に、前記石英ガラス原料粉の磁性体粉除去装置を設置するこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
された石英ガラス原料粉の磁性体粉除去装置。