JP2001127367A - レーザ駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ光源が放射する光を所望の特性に設定
できるレーザ駆動装置を提供する。 【解決手段】 レーザ駆動装置は、レーザ光源１から放
射される光を検出する光検出器２１と、光検出器２１か
らの検出信号をＤＣ〜１Ｈｚの範囲を含む第１周波数帯
域で増幅する増幅回路２３と、光検出器２１からの検出
信号を１０ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの範囲を含む第２周波数
帯域で増幅する増幅回路２４と、増幅回路２３からの光
パワー信号Ｐａおよび増幅回路２４からのノイズレベル
信号Ｐｂの少なくとも一方に基づいて、レーザ光源１の
駆動電流を設定するＣＰＵ４４と、ＣＰＵ４４で設定さ
れた駆動電流に基づいてレーザ光源１を駆動するレーザ
駆動回路３２などで構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光源を駆動
するためのレーザ駆動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体レーザやガスレーザ等のレーザ光
源は、光共振器による光帰還によって発振するため、動
作条件が変化すると、レーザ利得の温度特性や光共振器
の熱膨張など種々の要因に起因して光の出力レベルやノ
イズレベルが大きく変動する傾向がある。

【０００３】特にＳＨＧレーザや和周波レーザ、半導体
レーザ励起固体レーザ等のレーザ光源のように、光軸上
に複数の光共振器が存在したり、光共振器内に複数の光
学素子が存在すると、変動要因が増加するため、個体ご
とに複雑な温度特性を示す。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ駆動装置
として、半導体レーザの光出力を一定に保つＡＰＣ(Aut
omatic Power Control) 回路や半導体レーザの温度を一
定に保つＡＴＣ(Automatic Temperature Control) 回路
などは知られているが、半導体レーザの駆動電流、動作
温度、光の出力レベルおよびノイズレベルなど多数のパ
ラメータを最適化するには作業の熟練性や多大な労力を
要する。使用する光源の数が少ない研究室段階では手作
業でも何とか設定できるが、量産品段階では手作業によ
る設定は殆んど不可能である。

【０００５】また、光出力を安定化するモードとして、
a)ノイズより光の高出力化を優先するモード、b)光の出
力よりノイズ低減化を優先するモード、c)光のＳ／Ｎ比
を優先するモード、などがあり、光源の用途に応じて調
整モードを切替える必要がある。

【０００６】本発明の目的は、レーザ光源が放射する光
を所望の特性に設定できるレーザ駆動装置を提供するこ
とである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ光源か
ら放射される光を検出する光検出器と、光検出器からの
検出信号を第１周波数帯域で増幅する第１増幅回路と、
光検出器からの検出信号を第１周波数帯域より高周波で
ある第２周波数帯域で増幅する第２増幅回路と、第１増
幅回路からの第１出力信号および第２増幅回路からの第
２出力信号の少なくとも一方に基づいて、レーザ光源の
駆動電流を設定する制御回路と、制御回路で設定された
駆動電流に基づいて、レーザ光源を駆動する駆動回路と
を備えることを特徴とするレーザ駆動装置である。

【０００８】本発明に従えば、光検出器からの検出信号
を複数の周波数帯域に区分して別々に増幅することによ
って、レーザ光の変動特性を周波数帯域別に測定でき
る。そのため、a)第１周波数帯域の第１出力信号の特性
を優先するモード、b)第２周波数帯域の第２出力信号の
特性を優先するモード、c)第１出力信号および第２出力
信号の両方の特性を優先するモード、など光源の用途に
応じて調整モードを多様化できる。

【０００９】また本発明は、第２増幅回路の出力を整流
平滑して第２出力信号として出力する整流平滑回路を備
えることを特徴とする。

【００１０】本発明に従えば、第２増幅回路の出力を整
流平滑する整流平滑回路を設けることによって、レーザ
光の高周波変動をＤＣ領域の信号に変換できるため、光
ノイズ量が信号レベルの高さとして評価でき、制御回路
で信号処理が容易になる。

【００１１】また本発明は、第１周波数帯域はＤＣ〜１
Ｈｚの範囲を含み、第２周波数帯域は１０ｋＨｚ〜１０
ＭＨｚの範囲を含むことを特徴とする。

【００１２】本発明に従えば、第１周波数帯域はＤＣ〜
１Ｈｚの範囲を含むため、第１出力信号はレーザ光の出
力レベルとして評価できる。さらに第２周波数帯域は１
０ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの範囲を含むため、第２出力信号
はレーザ光のノイズレベルとして評価できる。したがっ
て、a)ノイズより光の高出力化を優先するモード、b)光
の出力よりノイズ低減化を優先するモード、c)光のＳ／
Ｎ比を優先するモード、など多様な調整モードが可能と
なり、レーザ光の出力レベルおよび／またはノイズレベ
ルの最適化を図ることができる。

【００１３】また本発明は、制御回路で設定された温度
に基づいて、レーザ光源の温度を制御する温度制御回路
を備え、制御回路は、レーザ光源の温度スキャンを実行
して所望の温度に設定することを特徴とする。

【００１４】本発明に従えば、レーザ光源の温度を制御
する温度制御回路を設けることによって、レーザ光源の
温度が安定化され、レーザ光の特性、たとえばレーザ光
の出力レベルやノイズレベルの変動を抑制できる。

【００１５】また、レーザ光源の温度スキャンを実行す
ることによって、レーザ光源の温度変化に対応したレー
ザ光の出力レベルやノイズレベルの変動特性を確実に把
握できる。その結果、所望のレーザ光の特性が得られる
温度設定を迅速かつ容易に行なうことができる。

【００１６】また本発明は、レーザ光源は、レーザダイ
オード、固体レーザ媒質および非線形光学素子を含む固
体レーザユニットであることを特徴とする。

【００１７】本発明に従えば、レーザ光の変動特性を詳
細に把握した上でレーザ光源を定電流駆動しているた
め、レーザ光源の特性が複雑に変化する場合であっても
レーザ光の安定化を図ることができる。したがって、変
動特性が比較的単純なレーザダイオード単体だけでな
く、複雑な変動特性を示す固体レーザユニットにおいて
レーザ光の安定化を効果的に実現できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１は、本発明が適用可能なレー
ザ光源の一例を示す構成図である。レーザ光源１は、レ
ーザダイオード（ＬＤ）２と、固体レーザ媒質３と、非
線形光学素子４で構成される固体レーザユニットを含
み、各素子は光軸が一致するように直線的に配置され
る。

【００１９】レーザダイオード２は、キャリア注入によ
ってたとえば波長８１０ｎｍのレーザ光を放射して、Ｎ
ｄ：ＹＶＯ₄ 結晶などから成る固体レーザ媒質３を光励
起する。固体レーザ媒質３は、光励起されると、たとえ
ば波長１０６４ｎｍを中心とした光増幅特性を示す。固
体レーザ媒質３の光入射面および非線形光学素子４の光
出射面は、波長１０６４ｎｍに対して高反射率となるコ
ーティングによって光共振器が構成され、この光共振器
内で波長１０６４ｎｍのレーザ発振が開始する。非線形
光学素子４は、たとえばＫＴＰ結晶などで形成され、波
長１０６４ｎｍの発振光を第２高調波である波長５３２
ｎｍのレーザ光に変換して、外部に放射する。

【００２０】外部に放射されたレーザ光は、ビームスプ
リッタ１１によって一部分岐され、フォトダイオード等
の光検出器２１に入射する。

【００２１】固体レーザ媒質３および非線形光学素子４
は共通のマウント部材５に固定され、レーザダイオード
２は別のマウント部材６に固定され、マウント部材５，
６はベース部材７に対してねじ８の締付けによって固定
される。ベース部材７はペルチェ素子９の吸熱面に搭載
され、ペルチェ素子９の放熱面にはパッケージの一部を
構成する放熱板１０に搭載される。マウント部材５，６
およびベース部材７は銅等の熱伝導性材料で形成され、
温度の均一化が図られる。ベース部材７には、サーミス
タ等の温度センサ２２が埋め込まれる。

【００２２】図２は、本発明の実施の一形態を示すブロ
ック図である。レーザ駆動装置は、測定ブロックと、駆
動ブロックと、制御ブロックなどで構成される。

【００２３】測定ブロックは、図１に示す光検出器２１
と、光検出器２１からの検出信号を増幅する増幅回路２
３，２４と、図１に示す温度センサ２２と、温度センサ
２２からの検出信号を増幅する増幅回路２５と、各種検
出信号を時分割で選択するアナログマルチプレクサ２６
と、アナログマルチプレクサ２６のアナログ出力をデジ
タル信号に変換し制御ブロックに供給するＡＤコンバー
タ２７などで構成される。

【００２４】駆動ブロックは、レーザ光源１のレーザダ
イオード２を定電流駆動するレーザ駆動回路３２と、レ
ーザダイオード２の保護回路３３と、ペルチェ素子９を
駆動するペルチェ駆動回路３５と、制御ブロックからの
デジタル信号をアナログ信号に変換してレーザ駆動回路
３２およびペルチェ駆動回路３５の制御目標値を出力す
るＤＡコンバータ３１，３４などで構成される。

【００２５】制御ブロックは、データやプログラムを不
揮発的に記憶するＲＯＭ(read onlymemory)４１と、デ
ータやプログラムを不揮発的かつ書換え可能に記憶する
ＥＥＰＲＯＭ(electrically erasable ROM )４２と、デ
ータやプログラムを書換え可能に記憶するＲＡＭ(rando
m access memory)４３と、所定プログラムに従ってデー
タ処理を行なうＣＰＵ(central processing unit )４４
と、ＣＰＵ４４の障害発生時に割り込みをかけるウォッ
チドッグタイマ(watch dog timer )４５と、外部ホスト
とシリアル通信を行なうインタフェイス４６と、これら
の回路素子およびＡＤコンバータ２７、ＤＡコンバータ
３１，３４を相互に接続するバス４０などで構成され
る。

【００２６】光検出器２１および増幅回路２３は、レー
ザ光源１の光出力レベルを監視する機能を有し、ＤＣ領
域を含む第１周波数帯域で増幅して、光パワー信号Ｐａ
としてアナログマルチプレクサ２６に出力する。

【００２７】光検出器２１および増幅回路２４は、レー
ザ光源１の光ノイズレベルを監視する機能を有し、第１
周波数帯域より高周波である第２周波数帯域で増幅し
て、ノイズレベル信号Ｐｂとしてアナログマルチプレク
サ２６に出力する。

【００２８】温度センサ２２および増幅回路２５は、レ
ーザ光源１の温度を監視する機能を有し、モニタ温度信
号Ｔｍとしてアナログマルチプレクサ２６に出力する。

【００２９】レーザ駆動回路３２は、ＣＰＵ４４が設定
するレーザ電流コマンドＩａに基づいてレーザダイオー
ド２を駆動するとともに、レーザダイオード２の駆動電
流Ｉｍおよび駆動電圧Ｖｍをアナログマルチプレクサ２
６に出力する。

【００３０】ペルチェ駆動回路３５は、ＣＰＵ４４が設
定するペルチェ電流コマンドＩｂに基づいてペルチェ素
子９を駆動する。

【００３１】図３は、増幅回路２３，２４の一例を示す
回路図である。高速のＰＩＮフォトダイオード等から成
る光検出器２１には、直流の逆バイアス電圧Ｖ１が印加
される。光検出器２１からの光検出信号は、同軸ケーブ
ル２１ａを介してインピーダンス整合用の抵抗Ｒ１によ
って終端され、増幅回路２３，２４に分岐する。

【００３２】増幅回路２３は、演算増幅器Ｑ２を用いた
非反転増幅回路で構成され、抵抗Ｒ５，Ｒ６は増幅率を
決定し、抵抗Ｒ６およびコンデンサＣ５でローパスフィ
ルタの遮断周波数を決定する。増幅回路２３の周波数帯
域はＤＣ〜１Ｈｚの範囲を含むことが好ましく、たとえ
ば遮断周波数は１Ｈｚ〜１０Ｈｚ程度に設定される。こ
うしたローパスフィルタ特性によって光パワー信号Ｐａ
が取り出される。

【００３３】増幅回路２４は、差動入出力型のビデオ増
幅器Ｑ２と、整流平滑回路と、バッファＱ３で構成され
る。ビデオ増幅器Ｑ２の入力には、抵抗Ｒ１およびコン
デンサＣ１から成るハイパスフィルタが介在する。ビデ
オ増幅器Ｑ２およびハイパスフィルタによる周波数帯域
は１０ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの範囲を含むことが好まし
く、こうしたバンドパスフィルタ特性によって光検出信
号のノイズ成分が取り出される。

【００３４】ビデオ増幅器Ｑ２の各差動出力は、直流カ
ット用のコンデンサＣ２，Ｃ３を介して、ダイオードＤ
１，Ｄ２から成る整流回路、ダイオードＤ３，Ｄ４から
成る整流回路にそれぞれ接続される。これらの整流回路
の出力は加算されて、コンデンサＣ４および抵抗Ｒ３か
ら成る平滑回路に入力されると、高周波ノイズ成分が積
分されてＤＣ領域の信号レベルに変換され、さらにバッ
ファＱ３を介してノイズレベル信号Ｐｂとして出力され
る。

【００３５】図４は、レーザ駆動回路３２の一例を示す
回路図である。レーザ駆動回路３２は、演算増幅器Ｑ
４，Ｑ６およびトランジスタＱ５から成る定電流回路で
構成される。ＤＡコンバータ３１からの電流信号が抵抗
Ｒ１０によって電圧信号に変換されてレーザ電流コマン
ドＩａとなり、さらに抵抗Ｒ１１およびコンデンサＣ１
０から成るスロースタート回路（ローパスフィルタ）を
介して、演算増幅器Ｑ４の非反転入力に入力される。演
算増幅器Ｑ４はトランジスタＱ５を駆動する。

【００３６】レーザダイオード２、トランジスタＱ５お
よびモニタ抵抗Ｒｍは直列接続され、電源ラインＶ２と
グランドとの間に接続される。レーザダイオード２に流
れる電流はモニタ抵抗Ｒｍの両端電圧として監視され
る。演算増幅器Ｑ６は、この両端電圧を増幅する非反転
増幅回路として構成され、抵抗Ｒ１２，Ｒ１３は増幅率
を決定し、抵抗Ｒ１３およびコンデンサＣ１１でローパ
スフィルタの遮断周波数を決定する。演算増幅器Ｑ６の
出力は、演算増幅器Ｑ４の反転入力に入力され、さらに
バッファＱ７を介して駆動電流Ｉｍとして出力される。

【００３７】レーザダイオード２のカソード電圧もバッ
ファＱ８を介して駆動電圧Ｖｍとして出力されるが、レ
ーザダイオード２の印加電圧は電源ラインＶ２の電圧か
ら駆動電圧Ｖｍを引算した値として評価することにな
る。

【００３８】保護回路３３は、レーザダイオード２に並
列接続される半導体リレーＲＬ１と、レーザダイオード
２のカソードとトランジスタＱ５との間に介在する半導
体リレーＲＬ２とで構成される。リレーＲＬ１，ＲＬ２
のオンオフのタイミングは、ＣＰＵ４４によって制御さ
れ、レーザダイオード２の過電圧や過電流を防止してい
る。

【００３９】次に動作について説明する。制御プログラ
ムの入力変数として、光パワー信号Ｐａ、ノイズレベル
信号Ｐｂ、モニタ温度信号Ｔｍ、駆動電流Ｉｍという４
つの変数があり、制御プログラムの出力変数として、レ
ーザ電流コマンドＩａ、ペルチェ電流コマンドＩｂとい
う２つの変数がある。そのため、どの入力変数をどの程
度評価して、どの出力変数をどの程度制御するかが重要
であり、入力変数と出力変数の組合せによって多数の制
御モードが想定される。なお、駆動電圧Ｖｍについては
積極的に制御していないため、過電圧のモニタ信号とし
て使用する。

【００４０】ここでは、a)光パワー信号Ｐａが所定値に
なるように、ＣＰＵ４４がレーザダイオード２の駆動電
流をリアルタイムでフィードバック制御するＡＰＣモー
ド、b)光パワー信号Ｐａが変化したとき、ＣＰＵ４４が
レーザダイオード２の駆動電流をビット単位で変化させ
る逐次設定モード、c)ノイズレベル信号Ｐｂが大きくな
ったとき、ＣＰＵ４４がペルチェ素子９の電流制御によ
る温度スキャンを実行して低ノイズ温度領域を探索し、
レーザ光源１を最適温度に設定し直す温度スキャンモー
ド、などを採用している。

【００４１】一般的な半導体レーザでは、半導体レーザ
の光出力を一定に保つＡＰＣモードや半導体レーザの温
度を一定に保つＡＴＣモードだけで安定した光出力が得
られることが多いが、ＳＨＧレーザや和周波レーザ、半
導体レーザ励起固体レーザ等のレーザ光源のように、光
軸上に複数の光共振器が存在したり、光共振器内に複数
の光学素子が存在すると、変動要因が増加するため、個
体ごとに複雑な温度特性を示す。そのため、上述した複
数のモードを適宜切替えることによってレーザ光源１の
駆動条件を最適化している。

【００４２】次に温度スキャンモードについて説明す
る。温度スキャンモードは、レーザ光源１の通電開始時
やＣＰＵ４４のリセット時、レーザ光源１の交換時、あ
るいはユーザの要求に応じて実行される。

【００４３】まず、ＣＰＵ４４が所望の光出力となるよ
うにレーザ電流コマンドＩａを指令して、レーザ光源１
の駆動電流を設定し、さらにＣＰＵ４４がペルチェ素子
９の電流制御によってレーザ光源１の温度をスキャン開
始温度（たとえば１９．９℃）に設定し、モニタ温度信
号Ｔｍが安定するまで待つ。

【００４４】温度が安定した後、ペルチェ素子９の電流
制御によって設定温度を２０．０℃に変更し、モニタ温
度信号Ｔｍが安定するまで待ち、このときの光パワー信
号Ｐａおよびノイズレベル信号Ｐｂを測定し、モニタ温
度信号Ｔｍと関連付けてＲＡＭ４３等に保存する。

【００４５】以後、ＣＰＵ４４は、設定温度を０．１℃
単位で上昇させ、スキャン終了温度（たとえば３０．０
℃）になるまで、モニタ温度信号Ｔｍ、光パワー信号Ｐ
ａおよびノイズレベル信号Ｐｂの測定結果を保存する。

【００４６】次にＣＰＵ４４は測定結果を解析して、光
パワー信号Ｐａの最大値Ｐａmax とノイズレベル信号Ｐ
ｂの最大値Ｐｂmax を求め、これらの数値に基づいて光
パワー信号Ｐａの閾値Ｐａthおよびノイズレベル信号Ｐ
ｂの閾値Ｐｂthを決定する。たとえばＰａth＝０．６×
Ｐａmax 、Ｐｂth＝Ｐｂmax ／５０とする。なお、これ
らの閾値の算出式は適宜変更できる。

【００４７】これらの閾値を用いて測定結果を再び解析
し、Ｐａ＞Ｐａth、Ｐｂ＜Ｐｂth、かつ±０．２℃以内
でノイズレベル信号Ｐｂの差分値が２ステップ以上変化
しないという条件Ａを満たす温度領域を探索して、有望
な低ノイズ温度領域をいくつか選定する。さらに、選定
した低ノイズ温度領域のうち、上限温度と下限温度の差
が最大となる、すなわち最も広い温度窓を持つ領域を最
適温度領域とし、その中心温度を低ノイズ窓温度に選定
する。

【００４８】次にモニタ温度信号Ｔｍが低ノイズ窓温度
になるように、ＣＰＵ４４はペルチェ素子９の電流を制
御するとともに、このときの低ノイズ窓温度、レーザ電
流コマンドＩａ、ペルチェ電流コマンドＩｂ、光パワー
信号Ｐａ、ノイズレベル信号Ｐｂ、モニタ温度信号Ｔ
ｍ、駆動電流Ｉｍ、駆動電圧Ｖｍなどを最適駆動条件と
してＥＥＰＲＯＭ４２に記憶する。

【００４９】図５は、低ノイズ温度領域の一例を示すグ
ラフである。レーザ光源１として図１に示す固体レーザ
ユニットを使用し、レーザダイオード２の駆動電流を一
定に保持した状態で、ペルチェ電流制御によって光源温
度を２０．０℃から３０．０℃までゆっくりスキャン
し、各温度における光パワー信号Ｐａおよびノイズレベ
ル信号Ｐｂを測定した。横軸はレーザ光源１の温度
（℃）で、縦軸は信号Ｐａ，Ｐｂの強度（任意単位、リ
ニア表示）である。

【００５０】グラフを見ると、レーザダイオード２の駆
動電流が一定であっても、温度によって光パワーおよび
ノイズレベルが大きく変化することが判る。

【００５１】そこで、調整モードとして、a)ノイズより
光の高出力化を優先するモード、b)光の出力よりノイズ
低減化を優先するモード、c)光のＳ／Ｎ比を優先するモ
ード、が考えられ、レーザ光源１の用途に応じて適宜選
択できる。一般的な用途では、高出力かつローノイズの
光源が要求されるため、上述した条件Ａに合致する温度
を探索する。

【００５２】グラフを参照すると、２１．７℃〜２２．
３℃、２２．５℃〜２４．５℃、２５．８℃〜２６．９
℃、２７．３℃〜２８．０℃、２８．５℃〜２９．４℃
という５つの低ノイズ温度領域が存在する。このうち光
パワー信号Ｐａが高く、かつ最も広い温度窓を持つ領域
は２２．５℃〜２４．５℃の領域であり、その中心温度
２３．５℃近傍を低ノイズ窓温度に選定する。このとき
の駆動条件を最適駆動条件として採用することによっ
て、多少の条件変動が生じてもレーザ光源１の安定駆動
を実現できる。

【００５３】以上の説明では、固体レーザユニットを使
用した構成を示したが、本発明が適用可能な光源とし
て、ＳＨＧレーザ、和周波レーザ、半導体レーザ励起固
体レーザ等が例示できる。

【００５４】

【発明の効果】以上詳説したように本発明によれば、光
検出器からの検出信号を複数の周波数帯域に区分して別
々に増幅することによって、レーザ光の変動特性を周波
数帯域別に測定できる。そのため、a)第１周波数帯域の
第１出力信号の特性を優先するモード、b)第２周波数帯
域の第２出力信号の特性を優先するモード、c)第１出力
信号および第２出力信号の両方の特性を優先するモー
ド、など光源の用途に応じて調整モードを多様化でき
る。

【００５５】また、第２増幅回路の出力を整流平滑する
整流平滑回路を設けることによって、レーザ光の高周波
変動をＤＣ領域の信号に変換できるため、光ノイズ量が
信号レベルの高さとして評価でき、制御回路で信号処理
が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が適用可能なレーザ光源の一例を示す構
成図である。

【図２】本発明の実施の一形態を示すブロック図であ
る。

【図３】増幅回路２３，２４の一例を示す回路図であ
る。

【図４】レーザ駆動回路３２の一例を示す回路図であ
る。

【図５】低ノイズ温度領域の一例を示すグラフである。

【符号の説明】

１ レーザ光源 ２ レーザダイオード ３ 固体レーザ媒質 ４ 非線形光学素子 ９ ペルチェ素子 １１ ビームスプリッタ ２１ 光検出器 ２２ 温度センサ ２３，２４，２５ 増幅回路 ２６ アナログマルチプレクサ ２７ ＡＤコンバータ ３１，３４ ＤＡコンバータ ３２ レーザ駆動回路 ３５ ペルチェ駆動回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F072 AB13 AB20 HH02 HH04 JJ05 JJ20 KK12 PP07 QQ02 QQ04 RR01 RR03 TT05 TT15 TT22 TT29 5F073 AB21 AB23 BA09 EA15 FA05 FA24 GA02 GA12 GA14 GA22 GA23 GA32

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光源から放射される光を検出する
   光検出器と、 光検出器からの検出信号を第１周波数帯域で増幅する第
   １増幅回路と、 光検出器からの検出信号を第１周波数帯域より高周波で
   ある第２周波数帯域で増幅する第２増幅回路と、 第１増幅回路からの第１出力信号および第２増幅回路か
   らの第２出力信号の少なくとも一方に基づいて、レーザ
   光源の駆動電流を設定する制御回路と、 制御回路で設定された駆動電流に基づいて、レーザ光源
   を駆動する駆動回路とを備えることを特徴とするレーザ
   駆動装置。
2. 【請求項２】 第２増幅回路の出力を整流平滑して第２
   出力信号として出力する整流平滑回路を備えることを特
   徴とする請求項１記載のレーザ駆動装置。
3. 【請求項３】 第１周波数帯域はＤＣ〜１Ｈｚの範囲を
   含み、第２周波数帯域は１０ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの範囲
   を含むことを特徴とする請求項１または２記載のレーザ
   駆動装置。
4. 【請求項４】 制御回路で設定された温度に基づいて、
   レーザ光源の温度を制御する温度制御回路を備え、 制御回路は、レーザ光源の温度スキャンを実行して所望
   の温度に設定することを特徴とする請求項１〜３のいず
   れかに記載のレーザ駆動装置。
5. 【請求項５】 レーザ光源は、レーザダイオード、固体
   レーザ媒質および非線形光学素子を含む固体レーザユニ
   ットであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに
   記載のレーザ駆動装置。