JP2001125664A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2001125664A
JP2001125664A JP30190699A JP30190699A JP2001125664A JP 2001125664 A JP2001125664 A JP 2001125664A JP 30190699 A JP30190699 A JP 30190699A JP 30190699 A JP30190699 A JP 30190699A JP 2001125664 A JP2001125664 A JP 2001125664A
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delay
circuits
clock
circuit
delay circuits
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JP30190699A
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Takeshi Sakata
健 阪田
Satoru Hanzawa
悟 半澤
Katsutaka Kimura
勝高 木村
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】従来のSMDと呼ばれるクロック再生回路で
は、精度が低い。 【解決手段】クロック再生回路を、クロック入力バッフ
ァCIBと、複数の遅延回路DE0からなりクロック入力バッ
ファに接続された遅延回路列ODAと、複数の遅延回路DE1
からなり遅延回路列ODAと並列に設けられた遅延回路列E
DAと、遅延回路列EDAに接続され内部クロックを供給す
るクロックドライバCIDと、複数の遅延回路DE1からなり
遅延モニタDDCを介して遅延回路列ODAに接続された遅延
回路列CDAと、複数の遅延回路DE0からなりクロック入力
バッファに接続された遅延回路列RDAと、遅延回路列CDA
の出力と遅延回路列RDAの出力を比較し遅延回路列ODAか
ら遅延回路列EDAへの信号経路を制御する位相比較回路
群PCAとを含んで構成する。 【効果】遅延回路DE0,DE1の遅延時間差(tDE0-tDE1)を
刻みとしてタイミングが調整され、高精度なクロック再
生回路を有する半導体装置が実現される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置に係り、
特に、外部から入力されるクロック信号に同期した内部
クロック信号を発生するクロック発生回路とそのクロッ
ク発生回路により形成されたクロック信号の半導体装置
への応用に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、高速なダイナミック・ランダム・
アクセス・メモリ(DRAM)として、外部から入力さ
れるクロック信号に同期してデータの授受を行うシンク
ロナスDRAM(SDRAM)が一般的になっている。
その動作周波数を向上させクロックサイクル時間を短縮
していく上で、外部クロックが入力されてからデータが
出力されるまでのクロックアクセス時間が問題となる。
メモリコントローラ側でのデータのセットアップ時間を
確保するために、クロックアクセス時間はクロックサイ
クル時間よりも十分短くなければならないためである。
【0003】そこで、クロックの立上りと立下りの両方
のエッジでデータの授受を行うダブル・データ・レート
(DDR)SDRAMでは、外部クロック信号からSD
RAM内の内部クロックを発生させるクロック発生回路
(またはクロック再生回路とも呼ぶ)により、クロック
アクセス時間を実質的に0としている。
【0004】そのためのクロック再生回路としては、1
993年インターナショナル・ソリッド−ステート・サ
ーキット・コンファレンスでの技術論文ダイジェスト第
160頁から第161頁(1993 International Solid-S
tate Circuit Conference Digest of Technical Paper
s, pp. 160-161, Feb. 1993)、及び1994年インタ
ーナショナル・ソリッド−ステート・サーキット・コン
ファレンスでの技術論文ダイジェスト第300頁から第
301頁(1994 International Solid-State Circuit C
onference Digest of Technical Papers, pp. 300-301,
Feb. 1994)に示されているような、フェーズ・ロック
ト・ループ(PLL)あるいはディレイ・ロックト・ル
ープ(DLL)を用いたものがある。これらはフィード
バック回路であるため、位相を合わせるまでに数百サイ
クルも要する。そのため、常に動作させておかなければ
ならず、待機電力が大きくなる。
【0005】一方、1996年インターナショナル・ソ
リッド−ステート・サーキット・コンファレンスでの技
術論文ダイジェスト第374頁から第375頁(1996 I
nternational Solid-State Circuit Conference Digest
of Technical Papers, pp.374-375, Feb. 1996)で、
待機時に動作を停止させておけるクロック再生回路とし
て、シンクロナス・ミラー・ディレイSMDが提案され
ている。この提案されたシンクロナス・ミラー・ディレ
イSMDは、動作を開始してから2クロックサイクル
で、外部クロックと位相を合わせた内部クロックを発生
できるため、アクティブコマンドにより起動させること
でデータの出力に内部クロックが間に合い、スタンバイ
期間に停止させておくことができることが開示されてい
る。
【0006】また、このシンクロナス・ミラー・ディレ
イSMDの技術は、特開平8−237091号公報にも
開示されている。
【0007】なお、1996年6月の電子情報通信学会
英文論文誌E79−C、No.6の第798頁から第8
07頁(IEICE Transaction on Electronics, vol. E79
-C,no. 6, pp.798-807, June 1996)の図1(b)に示
されているディジタルDLLも同種のクロック再生回路
である。
【0008】また、1996年シンポジウム・オン・V
LSIサーキットの技術論文ダイジェストの第192頁
から第193頁(1996 Symposium on VLSI Circuits, D
igest of Technical Papers, pp.192-193, June 1996)
及びインターナショナル・ワークショップ・オン・アド
バンストLSI's1996、スケールド・デバイス/プ
ロセス・アンド・ハイ・パフォーマンス・サーキッツ、
プロシーディングズの第71から第75頁(Internatio
nal Workshop on Advanced LSI's 1996, Scaled Device
/Process and High Performance Circuits, Proceeding
s, pp. 71-75,July 1996)に示されているハイアラーキ
カル・フェーズ・ロッキング・ディレイ(HPLD)
と、1996年シンポジウム・オン・VLSIサーキッ
トの技術論文ダイジェストの第112頁から第113頁
(1996 Symposium on VLSI Circuits, Digest of Techn
ical Papers, pp. 112-113, June 1996)に示されてい
るネガティブ・ディレイ・サーキット(NDC)も、同
様に待機時に動作を停止させておけるクロック再生回路
である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】前述したシンクロナス
・ミラー・ディレイSMDで、1クロックサイクル分の
遅延時間を生成するのに必要な遅延段列における遅延時
間の変化量は、単位遅延段当たりの遅延時間である。そ
のため、外部クロックと内部クロックのタイミング誤差
は、動作クロックサイクル時間によって異なるが、単位
遅延段当たりの遅延時間と同等になる。また、遅延段数
が切り換わることにより生ずるジッタの大きさが単位遅
延段当たりの遅延時間と同等になる。この単位遅延段当
たりの遅延時間を小さくすることは困難であり、精度に
問題がある。
【0010】このようなシンクロナス・ミラー・ディレ
イ(SMD)の問題を解決し、外部クロックと内部クロ
ックのタイミング誤差が小さな内部クロックを発生する
クロック再生回路が、特開平8−237091号公報の
図12に示されている。このクロック再生回路は、遅延
調整回路により遅延モニタとなる遅延回路を制御して、
タイミング誤差を小さくしようとしている。しかし、こ
の遅延調整回路や外部クロックと内部クロックの位相を
比較する位相比較回路、この位相比較回路の出力を安定
化するフィルタを含む負帰還により遅延回路を制御する
ため、その負帰還に数サイクルかかり、内部クロック発
生タイミングは安定しない。しかも、前述のシンクロナ
ス・ミラー・ディレイ(SMD)動作と遅延時間調整動
作を同時に行うため、内部クロック発生過程が複雑にな
る。また、外部クロックに同期した内部クロックを発生
するまでに多くのクロックサイクルを要する。
【0011】本発明の目的は、以上に述べたような従来
のSMDの問題を解決し、待機時に動作を停止しておく
ことが可能で、外部クロックと内部クロックのタイミン
グ誤差が小さく、さらにジッタの小さな内部クロックを
短い時間で生成するクロック再生回路を備える半導体装
置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の代表的な本発明の構成は、外部から入力され一定の周
期を持つ外部クロックの入力端子と、上記外部クロック
と同期した内部クロックを発生するクロック再生回路と
を有する半導体装置において、上記クロック再生回路
を、後述する実施例1の図1に示すように、クロック入
力バッファCIBと、各々第1の遅延時間を持つ複数の
遅延回路DE0からなり上記クロック入力バッファに接
続された第1の遅延回路列ODAと、各々第2の遅延時
間を持つ複数の遅延回路DE1からなり第1の遅延回路
列と並列に設けられた第2の遅延回路列EDAと、第2
の遅延回路列に接続され内部クロックを供給するクロッ
クドライバCIDと、各々第2の遅延時間を持つ複数の
遅延回路からなり遅延モニタDDCを介して上記第1の
遅延回路列に接続された第3の遅延回路列CDAと、各
々第1の遅延時間を持つ複数の遅延回路からなり上記ク
ロック入力バッファに接続された第4の遅延回路列RD
Aと、上記第3の遅延回路列の出力と上記第4の遅延回
路列の出力を比較し、上記第1の遅延回路列から上記第
2の遅延回路列への信号経路を制御する位相比較回路群
PCAとを含んで構成することを特徴とするものであ
る。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る半導体装置の
好適な実施の形態につき、具体的な実施例を用いて添付
図面を参照しながら詳細に説明する。
【0014】<実施例1>図1は、本発明に係る半導体
装置の一実施例を示す回路構成図であり、クロック再生
回路である。以下、実施例で述べる各ブロックを構成す
る回路素子は、特に制限されないが、公知のCMOS
(相補型MOS)やバイポーラトランジスタ等の集積回
路技術によって、単結晶シリコンのような1個の半導体
基板上に形成される。
【0015】図1に示すクロック再生回路は、二つの遅
延回路の遅延時間差を刻みとしてタイミングを調整す
る。このクロック再生回路は、クロック入力バッファC
IBと、n個の第1の遅延回路DE0からなる第1の遅
延回路列ODAと、n個の第2の遅延回路DE1からな
り第1の遅延回路列と並列に設けられた第2の遅延回路
列EDAと、内部クロックを供給するクロックドライバ
CIDと、遅延モニタDDCと、n個の第2の遅延回路
DE1からなり上記遅延モニタDDCを介して上記第1
の遅延回路列ODAに接続された第3の遅延回路列CD
Aと、n個の第1の遅延回路DE0からなり上記クロッ
ク入力バッファに接続された第4の遅延回路列RDA
と、n個の位相比較器PCからなる位相比較回路群PC
Aとで構成されている。
【0016】このクロック再生回路では、前述の従来の
シンクロナス・ミラー・ディレイSMDと異なり、多数
の回路に共通に入力される信号が無い。従来のSMDで
は、鏡像制御回路内の多数の回路に共通にパルスを入力
して位相を比較するため、その共通なパルスの立上り時
間が大きくなり、位相比較の精度が低下する恐れがあ
る。このクロック再生回路では、二つの遅延回路列の出
力同士を比較するため、そのような問題が生じない。
【0017】図2に従い、このクロック再生回路の動作
を説明する。クロックイネーブル信号CKEが高レベル
になると、外部クロックCLKEはクロック入力バッフ
ァCIBから出力され、第1の遅延回路列ODAを伝播
し、さらに遅延モニタDDCを通じて第3の遅延回路列
CDAに入力され、n個の遅延回路DE1を順次伝播す
る。同時に、クロック入力バッファCIBの出力は、第
4の遅延回路列RDAにも入力され、n個の遅延回路D
E0を順次伝播し、1サイクル後のパルスが第3の遅延
回路列CDAの出力とほぼ同じタイミングとなる。
【0018】第3の遅延回路列CDAの出力ノードNC
1〜NCnのパルスと、第4の遅延回路列RDAの出力
ノードNR1〜NRnのパルスが、位相比較回路群PC
Aに入力され、位相比較器PCでそれぞれ比較される。
ここでは、出力ノードNC2とNR2でパルスがほぼ同
時に立ち上がる場合を示している。その結果、位相比較
回路群PCAの出力NP1〜NPnのうち、出力NP2
だけがハイレベルとなる。
【0019】これにより、第2の遅延回路列EDA内で
スイッチSWが制御され、第1の遅延回路列ODA内で
遅延回路DE0を伝播してきたパルスが、ノードNO2
から第2の遅延回路列EDA内の遅延回路DE1へ乗り
換える。そして、第2の遅延回路列EDAの出力を、ク
ロックドライバCIDが増幅して内部クロックCLKI
として出力する。
【0020】次に、この動作により得られる内部クロッ
クCLKIのタイミングを考える。入力バッファの遅延
時間をtCIB、クロックドライバの遅延時間をtCIDと
し、遅延モニタDDCの遅延時間をtDDC とする。ま
た、遅延回路DE0, DE1の遅延時間をそれぞれtDE
0, tDE1とする。また、第3遅延回路列CDAと第4の
遅延回路列RDAの出力が、1からnまでのいずれかの
整数iに対して、出力ノードNCiとNRiで同時に立
ち上がるとすると、次の式(1)で表され、式(2)のように
なる。
【0021】 tCIB+n・tDE0+tDDC+i・tDE1=tCK+tCIB+i・tDE0 …(1) tCK=tDDC+n・tDE0−i・(tDE0−tDE1) …(2) 外部クロックCLKEから内部クロックCLKIまでの
遅延時間tD は、次の式(3)のように表せる。
【0022】 tD =tCIB+(n−i)・tDE0+i・tDE1+tCID =tCIB+n・tDE0−i・(tDE0−tDE1)+tCID …(3) 式(2)と式(3)から、次の式(4)が得られる。
【0023】 tD =tCK−(tDDC−tCIB−tCID) …(4) ここで、tNDを次の式(5)のようにすると、式(4)は式
(6)で表される。
【0024】tND=tDDC−tCIB−tCID …(5) tD =tCK−tND …(6) したがって、内部クロックCLKIは外部クロックCL
KEに対し、前倒し時間tNDだけ実効的に早いパルスと
なる。この前倒し時間tNDは、クロックサイクル時間t
CKに依らず一定に保たれ、これを出力回路の遅延時間と
同等にすることにより、クロックアクセス時間を実効的
に0にできる。
【0025】ただし、動作可能なクロックサイクル時間
tCK の範囲は、次の式(7)に示す範囲であるから、式
(2)より、式(8)となる。
【0026】 1≦i≦n …(7) tDDC+n・tDE1≦tCK≦tDDC+n・tDE0−(tDE0−tDE1) …(8) 上記式(2)に示されるように、クロックサイクル時間tC
K から所望の前倒し時間tNDだけ引いて遅らせるために
必要な遅延時間を、遅延回路DE0,DE1の遅延時間
差(tDE0−tDE1)の何倍であるか求めている。
【0027】この遅延時間測定法は、米国特許第5,2
29,668号(USP5,229,668)に開示されている概念
を用いている。その結果に応じて、式(3)に示されるよ
うに、内部クロックを再生するパスの遅延時間を、遅延
時間差(tDE0−tDE1)を刻みとして制御している。遅延
時間差(tDE0−tDE1)は、遅延回路の最小遅延時間に限
定されず小さくできるため、このクロック再生回路では
非常に小さな時間刻みでタイミングが制御され、高精度
な内部クロックCLKIが得られる。
【0028】なお、図2では、遅延回路DE0の遅延時
間tDE0が遅延回路DE1の遅延時間tDE1よりも大きい
場合を示しているが、遅延時間tDE0よりも遅延時間tD
E1が大きくても、遅延時間差を刻みとしてタイミングが
制御される。
【0029】以上に説明したクロック再生回路の具体的
回路構成を以下に示す。図3は、図1中の第1及び第2
の遅延回路列ODA,EDAからなるタイミング再生部
の構成例を示している。遅延回路列ODAは、n個の遅
延回路DEO1〜DEOnが直列接続されている。遅延
回路DEO1〜DEOnは、それぞれ2個のNANDゲ
ートと負荷容量調整用トランジスタで構成されている。
【0030】一方、遅延回路列EDAはn個の遅延回路
DEE1〜DEEnが直列接続されている。遅延回路D
EE1〜DEEnは、それぞれ3個のNANDゲートと
負荷容量調整用トランジスタで構成されており、位相比
較回路群の出力NP1〜NPnに応じて信号経路を切り
換えるスイッチ機能を有する。そのために、NANDゲ
ートを用いており、論理的にはインバータで良い部分に
も、入力の一方を電源電圧VCCとしたNANDゲート
を用いて、立上りと立下りの遅延時間を揃えている。
【0031】さらに、これらとプロセスや電源電圧など
に対する遅延時間の変動を揃えるため、遅延回路DEO
1〜DEOnもNANDゲートを用いて構成している。
遅延回路DEO1〜DEOn,DEE1〜DEEnの負
荷容量調整用MOSトランジスタの寸法設定により、そ
れぞれの遅延時間を所望の値に設定できる。
【0032】遅延回路DEE1〜DEEnの出力は次段
のみに接続されているのに対し、遅延回路DEO2〜D
EOnの出力は次段に加え、遅延回路DEE1〜DEE
(n−1)にも入力されているので、遅延回路DEO1
〜DEOnの遅延時間を遅延回路DEE1〜DEEnよ
りも大きくすることは、比較的小さな寸法の負荷容量調
整用MOSトランジスタで実現できる。
【0033】図4は、第3及び第4の遅延回路列CD
A,RDAと位相比較回路群PCAからなるタイミング
比較部の構成例を示している。遅延回路列CDA,RD
Aは、それぞれ遅延回路DEC1〜DECn,DER1
〜DERnの直列接続である。これらも、遅延回路DE
O1〜DEOnと同様に、それぞれ2個のNANDゲー
トと負荷容量調整用トランジスタで構成されており、負
荷容量調整用MOSトランジスタの寸法設定により、遅
延回路DEC1〜DECnは遅延回路DEE1〜DEE
nと同じ遅延時間に、遅延回路DER1〜DERnは遅
延回路DEO1〜DEOnと同じ遅延時間になるよう設
定する。遅延回路DEC1〜DECnの遅延時間を遅延
回路DER1〜DERnよりも小さくするとき、場合に
よっては、遅延回路DEC1〜DECnの負荷容量調整
用MOSトランジスタはなくても良い。
【0034】位相比較回路群PCAは、(n+1)個の
位相比較器PCP0〜PCPnとn個のAND回路PA
D1〜PADnから構成される。位相比較器PCP0〜
PCPnは、二つの入力の立上りを比較し、入力がロウ
レベルとなってもその結果を保持する。このタイミング
比較部の構成では、位相比較のタイミングが位相比較器
毎に異なるので、このように自動的に比較結果を保持す
る位相比較器が好適である。隣接する位相比較器の比較
結果を、AND回路PAD1〜PADnで論理をとるこ
とにより、どこで立上りタイミングが同じになるか検出
できる。
【0035】以上述べたように、遅延時間の設定は、そ
れぞれ負荷容量調整用トランジスタで行うことができ
る。これにより、遅延時間tDE0 に設定すべき遅延回路
DEO1〜DEOn,DER1〜DERn間の遅延時間
差及び遅延時間tDE1 に設定すべき遅延回路DEE1〜
DEEn,DEC1〜DECn間の遅延時間差は、タイ
ミングを制御する刻みである遅延時間差(tDE0−tDE
1)よりも小さくすることができる。
【0036】さらに、遅延回路列としての遅延時間差
が、タイミング制御の刻みよりも小さくなるよう、遅延
時間tDE0 に設定すべき遅延回路DEO1〜DEOn,
DER1〜DERn間の遅延時間差及び遅延時間tDE1
に設定すべき遅延回路DEE1〜DEEn,DEC1〜
DECn間の遅延時間差を、遅延回路列内の遅延回路数
nに対し、(tDE0−tDE1)/nよりも小さくすること
が望ましい。
【0037】<実施例2>本実施例では、ここまで説明
してきたクロック再生回路を発展させ、階層構成とする
ことにより、クロックサイクル時間の広い範囲で動作可
能としたクロック再生回路について説明する。図5に、
本実施例のクロック再生回路の回路構成を示す。図1に
示したクロック再生回路と同様な、クロック入力バッフ
ァCIB、遅延モニタDDC、クロックドライバCI
D、第1から第4の遅延回路列ODA,EDA,CD
A,RDA、位相比較回路群PCAに加え、粗調用遅延
モニタDMC、モニタ用遅延回路列DDA、進行方向遅
延回路列FDA、制御回路群MCA、逆方向遅延回路列
BDA、バッファ回路CBM,CBB,CBRが設けら
れている。進行方向遅延回路列FDAと逆方向遅延回路
列BDA及び制御回路群MCAにより粗調整を行い、第
1から第4の遅延回路列ODA,EDA,CDA,RD
A及び位相比較回路群PCAにより微調整を行う。
【0038】モニタ用遅延回路列DDAは、第1の遅延
回路列ODAと同じく、n個の第1の遅延回路DE0か
ら構成される。進行方向遅延回路列FDAはm個の第1
の遅延回路DE0から構成され、逆方向遅延回路列BD
Aはm個の第1の遅延回路DE0に加え、第2の遅延回
路列EDAと同様に、パルスの経路を切り換えるスイッ
チ機能を有する。制御回路群MCAは、m個の位相比較
器PCを有する。バッファ回路CBM,CBB,CBR
は、それぞれエネーブル信号CEM,CEB,CERに
より制御され、共通な入力N0に応じてパルスを駆動す
る。
【0039】このクロック再生回路の動作を、図6に従
い説明する。クロックイネーブル信号CKEが高レベル
になると、外部クロックCLKEは、クロック入力バッ
ファCIBから遅延モニタDMC及びモニタ用遅延回路
列DDAを通じて、進行方向遅延回路列FDAに入力さ
れる。進行方向遅延回路列FDA内のm個の遅延回路D
E0はパルスを順次伝播し、出力ノードNF1〜NFm
のパルスが制御回路群MCAに入力される。
【0040】2サイクル目から、バッファ回路CBMが
ノードN0Mにパルスを駆動し、制御回路群MCA内の
位相比較器PCにより、進行方向遅延回路列FDAの出
力NF1〜NFmと立ち上がりのタイミングが比較され
る。ここでは、出力NF2が立ち上がってから出力NF
3が立ち上がるまでの間にノードN0Mが立ち上がる場
合を示しており、制御回路群MCAの出力NM1〜NM
mのうちNM3だけがハイレベルとなる。これにより、
ノードN0Bから逆方向遅延回路BDAへの信号経路が
選択される。
【0041】3サイクル目から、バッファ回路CBBが
ノードN0Bにパルスを駆動し、逆方向遅延回路BDA
内の遅延回路DE0が順次パルスを伝播し、タイミング
を粗調整したパルスをノードNB0へ出力する。このパ
ルスが第1の遅延回路列ODAに入力され、第1から第
4の遅延回路列ODA,EDA,CDA,RDA及び位
相比較回路群PCAが、図2を用いて説明したような動
作を行う。すなわち、第1の遅延回路列ODAに入力さ
れたパルスは、第1の遅延回路列ODA内の遅延回路D
E0を伝播し、さらに遅延モニタDDCを通じて第3の
遅延回路列CDAに入力され、n個の遅延回路DE1を
順次伝播する。
【0042】4サイクル目から、バッファ回路CBRか
ら第4の遅延回路列RDAにもパルスが入力され、第3
の遅延回路列CDAの出力と第4の遅延回路列RDAの
出力が位相比較回路群PCAでそれぞれ比較される。こ
こでは、第3の遅延回路列の出力NC2と第4の遅延回
路列の出力NR2でパルスがほぼ同時に立ち上がる場合
を示している。その結果、位相比較回路群PCAの出力
NP1〜NPnのうちNP2だけがハイレベルとなる。
【0043】これにより、第2の遅延回路列EDA内で
スイッチSWが制御され、第1の遅延回路列ODA内で
遅延回路DE0を伝播してきたパルスが、ノードNO2
から第2の遅延回路列EDA内の遅延回路DE1へ乗り
換える。そして、第2の遅延回路列EDAの出力を、ク
ロックドライバCIDが増幅して内部クロックCLKI
として出力する。
【0044】この動作により得られる内部クロックCL
KIのタイミングを考える。入力バッファCIBの遅延
時間をtCIB、クロックドライバCIDの遅延時間をtC
IDとし、遅延モニタDDCの遅延時間をtDDC とする。
また、遅延回路DE0,DE1の遅延時間をそれぞれt
DE0,tDE1とする。さらに、遅延モニタDMCの遅延時
間をtDMC、バッファ回路CBM,CBB、CBRの遅
延時間をtCB とする。1からmまでのいずれかの整数
jに対して、進行方向遅延回路列FDAの出力NF(j
−1)が立ち上がってから出力NFjが立ち上がるまで
にノードN0Mが立ち上がるとすると、次の式(9)と式
(10)が成り立つ。
【0045】 tCIB+tDMC+n・tDE0+(j-1)・tDE0<tCK+tCIB+tCB …(9) tCK+tCIB+tCB<tCIB+tDMC+n・tDE0+j・tDE0 …(10) 外部クロックCLKEから逆方向遅延回路列BDAの出
力までの遅延時間tD0は、次の式(11)で表せる。また、
式(9)、式(10)と式(11)から、式(12)が得られる。ただ
し、式(12)における遅延時間tND0は式(13)で表され
る。
【0046】tD0=tCIB+tCB+j・tDE0 …(11) tCK−tND0−tDE0<tD0<tCK−tND0 …(12) tND0=tDMC+n・tDE0−2・tCB …(13) このように、逆方向遅延回路列BDAの出力は、遅延回
路DE0の遅延時間tDE0 を刻みとしてタイミングが調
整される。ただし、この動作が可能なクロックサイクル
時間tCKの範囲は、整数jが次の式(14)の範囲であるか
ら、式(9) と式(10)から式(15)で表される。
【0047】 1≦j≦m …(14) tDMC−tCB+n・tDE0≦tCK≦tDMC−tCB+(n+m)・tDE0 …(15) また、第3遅延回路列CDAと第4の遅延回路列RDA
の出力が、1からnまでのいずれかの整数iに対して、
NCiとNRiで同時に立ち上がるとすると、次の式(1
6)で表され、式(17)となる。
【0048】 tD0+n・tDE0+tDDC+i・tDE1=2・tCK+tCIB+tCB+i・tDE0 …(16) 2・tCK=tD0+n・tDE0+tDDC−tCIB−tCB−i・(tDE0−tDE1) …(17) 外部クロックCLKEから内部クロックCLKIまでの
遅延時間tD1は、次の式(18)で表され、式(17)と式(18)
から、式(19)となる。
【0049】 tD1=tD0+(n−i)・tDE0+i・tDE1+tCID =tD0+n・tDE0−i・(tDE0−tDE1)+tCID …(18) tD1=2・tCK−(tDDC−tCIB−tCB−tCID) …(19) ここで、tND1を次の式(20)とすると、上式(19)は式(2
1)と表せる。
【0050】 tND1=tDDC−tCIB−tCB−tCID …(20) tD1 =2・tCK−tND1 …(21) したがって、内部クロックCLKIは外部クロックCL
KEに対し、前倒し時間tND1だけ実効的に早いパルス
となる。この前倒し時間tND1は、クロックサイクル時
間tCKに依らず一定に保たれ、これを出力回路の遅延時
間と同等にすることにより、クロックアクセス時間を実
効的に0にできる。
【0051】このクロック再生回路では、遅延回路DE
0の遅延時間tDE0 を刻みとして粗調整を行うことによ
り、式(15)に表されるように、比較的小さい回路規模で
長いクロックサイクル時間でも動作可能である。さら
に、図1に示したクロック再生回路と同様に、遅延回路
DE0,DE1の遅延時間差(tDE0−tDE1)を刻みと
して微調整を行っているので、高精度にタイミングが調
整された内部クロックCLKIが得られる。
【0052】以上に説明したクロック再生回路の粗調整
部の具体的回路構成を図7に示す。この回路と、図3及
び図4に示した回路を組合わせて、図5に示したような
クロック再生回路が実現される。進行方向遅延回路列F
DAと逆方向遅延回路列BDAは、それぞれm個の遅延
回路DEF1〜DEFmとDEB1〜DEBmが直列接
続されて構成されている。遅延回路DEF1〜DEFm
とDEB1〜DEBmは、それぞれ2個のNANDゲー
トと負荷容量調整用トランジスタで構成されており、負
荷調整用トランジスタのサイズを調整することにより、
これらが所望の遅延時間tDE0を持つようにできる。
【0053】制御回路群MCAは、それぞれ(m+1)
個のアービタARB0〜ARBmとSRラッチSRL0
〜SRLm及びm個のAND回路MAD1〜MADmか
ら構成される。アービタARB0〜ARBmは、それぞ
れ2個のNANDゲートからなり、二つの入力の立上り
を比較する。それらの出力を、SRラッチSRL0〜S
RLmで保持する。これらのアービタの入力の一方は共
通にノードN0Mに接続されており、ノードN0Mの立
上りで全アービタの出力が確定するため、ラッチを共通
な制御信号N0Mbで制御できる。このような構成にす
ることにより、図4に示した位相比較器を用いるより
も、回路規模を小さくできる。
【0054】以上に説明した本実施例のクロック再生回
路は、二つのパルスの立ち上がりタイミングを比較する
ことにより動作を行っている。これを、二つのパルスの
立ち下がりのタイミングを比較する構成にしても、これ
まで説明してきたような効果を持つクロック再生回路を
実現できる。その場合、例えば図7中のアービタを2個
のNANDゲートではなくNORゲートにより構成す
る。
【0055】<実施例3>次に、以上で説明したクロッ
ク再生回路の応用例を示す。図8は、データ・レート
(DDR)SDRAM要部のブロック図であり、カラム
(Y)系リードパス(データ読み出し経路)の構成例を
示している。同図で、ロウ(X)系及びライトパス(デ
ータ書き込み経路)は省略している。
【0056】図8において、CKBはクロックバッファ
を示し、クロックバッファCKBはクロックイネーブル
入力端子CKEbにより制御され、外部クロックCLK
Eを増幅して内部クロックCLK0を駆動する。CDは
コマンドデコーダで、コマンドを入力端子CSb,RA
Sb,CASb,WEbから取り込み、制御信号CNT
0〜CNT4を発生し、各回路ブロックの動作を制御す
る。CSb,RASb,CASb,WEbは、それぞれ
チップセレクト,ロウアドレスストローブ,カラムアド
レスストローブ,ライトイネーブルに相当する信号端子
である。なおここで、信号名の末尾の“b”は、バー信
号を示している。
【0057】ADBはアドレスカウンタの機能を有する
アドレスバッファであり、アドレス入力端子ADDか
ら、ロウアドレス、カラムアドレス、及びバンクアドレ
スを取り込む。PYDはプリYデコーダである。また、
DLe,DLoはデータ線、SAe,SAoはデータ線
DLe,DLoの信号を増幅するセンスアンプ、YG
e,YGoはセンスアンプSAe,SAoをサブ入出力
線SIOe,SIOoに接続するYゲート、IOSe,
IOSoはサブ入出力線SIOe,SIOoをメイン入
出力線MIOe,MIOoに接続する入出力線スイッ
チ、YDe,YDoはY選択線YSe,YSoによりY
ゲートYGe,YGoを選択するYデコーダ、MAe,
MAoはメイン入出力線MIOe,MIOoの信号を増
幅するメインアンプであり、これらは多数設けられるが
簡単のため一部のみが示されている。
【0058】CRCはクロック再生回路であり、図1あ
るいは図5に示したように構成される。RDCはリード
データ制御回路であり、リードデータラッチRDLe,
RDLoとリードデータセレクタRDSで構成される。
DOBはデータ出力バッファであり、データ出力ラッチ
DOLとデータ出力ドライバDODで構成される。リー
ドデータ制御回路RDC及びデータ出力バッファDOB
はそれぞれ、1サイクルに出力されるデータのビット数
と同じ個数だけ設けられるが、ここでは簡単のため1個
だけ示している。
【0059】メモリの出力データはデータ出力端子Dou
t から出力されるが、通常この端子は図示しないデータ
の入力端子と兼用される。DSBはデータストローブ出
力バッファであり、データストローブ制御回路DSCと
データストローブ出力ドライバDSDで構成され、デー
タをメモリコントローラで取り込むためのストローブ信
号DSを出力する。この端子も、メモリが書き込みデー
タを取り込むタイミングを制御する図示しないストロー
ブ端子と、通常は兼用される。
【0060】図9のタイミングチャートに従い、図8の
DDR SDRAMのリード動作を説明する。DDR
SDRAMは、2ビットずつプリフェッチしてパイプラ
イン動作し、外部クロックCLKEの立上りと立下りの
両方のエッジでデータを出力する。ここでは、ロウ系ア
クティベイト動作からリード動作までのコマンドインタ
ーバルtRCD が2クロックサイクル、CASレイテンシ
CLも2で、4ビットのバーストリードを行う場合を示
している。
【0061】外部からのクロックエネーブル信号CKE
bにより、クロックバッファCKBが動作しており、内
部クロックCLK0がコマンドデコーダCD等に供給さ
れている。クロックバッファCKBは内部クロックと外
部クロックとのタイミングを合わせる機能を持たず、こ
の内部クロックCLK0は外部クロックCLKEと同じ
周期であるが位相差は大きい。外部クロックCLKEの
立ち上がりに合わせ、制御信号CSb,RASb,CA
Sb,WEbの組み合わせによりアクティベイトコマン
ドAがコマンドデコーダCDに取り込まれ、ロウ系の動
作が行われる。また、クロック再生回路CRCが起動さ
れる。
【0062】その2サイクル後に、リードコマンドRが
コマンドデコーダCDに取り込まれ、コマンドデコーダ
CDが制御信号CNT0,CNT1,CNT2,CNT
3,CNT4により各回路ブロックを制御する。
【0063】また、クロックエネーブル信号CKEによ
りクロック再生回路CRCが起動される。リードコマン
ドRと同時に外部アドレスADDのアドレス信号aがア
ドレスバッファADBに取り込まれ、Yアドレスのアド
レス信号a0,a1がプリYデコーダPYDへ出力され
る。ここで、アドレス信号a0,a1は先頭アドレスと
その次のアドレスであり、2ビットずつプリフェッチし
ているので2サイクル分のアドレスが同時に出力され
る。そして、プリYデコーダPYDは最初の2サイクル
分のプリデコードされたアドレス信号をYアドレスバス
PYAe,PYAoに出力する。
【0064】このアドレス信号に従い、YデコーダYD
e,YDoがY選択線YSe,YSoによりYゲートY
Ge,YGoを選択し、センスアンプSAe,SAoか
ら信号がサブ入出力線SIOe,SIOo及び入出力線
スイッチIOSe,IOSoを通じてメイン入出力線M
IOe,MIOoに伝達され、メインアンプMAe,M
Aoで増幅されリードバスRDe,RDoに出力され
る。リードデータラッチRDLe,RDLoがデータを
ラッチし、リードデータセレクタRDSで切り換えなが
ら、データ出力バッファDOBへ送る。
【0065】ここで、アクティベイトコマンドAを取り
込んだ外部クロックCLKEの立ち上がりから3クロッ
クサイクル後、すなわちリードコマンドから1サイクル
後、外部クロックCLKEから前倒しのタイミングで内
部クロックCLKIが出力される。この内部クロックC
LKIにより、データストローブ出力バッファDSBを
制御して、データストローブDSが駆動される。データ
ストローブDSは、プリアンブルと呼ばれる1サイクル
分ロウレベルとなり、その後はクロックCLKEとタイ
ミングを合わせてハイレベルとロウレベルを繰り返す。
また、カラムレイテンシCLに合わせ、データ出力ラッ
チDOLのタイミングが制御され、データ出力ドライバ
DODが出力データDout を出力する。
【0066】このように、外部クロックCLKEとタイ
ミングを合わせた内部クロックCLKIをデータ出力の
制御に用いることにより、外部クロックCLKEの立ち
上がりからデータ出力までのクロックアクセス時間tAC
を実効的に0にできる。
【0067】本発明によるクロック再生回路は、クロッ
クエネーブル信号CLKEを投入してから数クロックサ
イクル遅れで内部クロックCLKIを発生させることが
できるので、このようにアクティベイトコマンドが外部
から投入されてからクロック再生回路を起動することが
でき、待機時の消費電力を小さくできる。
【0068】例えば、図9に示したように、ロウ系アク
ティベイト動作からリード動作までのコマンドインター
バルtRCD とCASレイテンシCLの合計が4の時、ク
ロック再生回路CRCが3クロックサイクル遅れで内部
クロックCLKIを発生させても、データストローブ及
びデータの出力に間に合う。
【0069】なお、CASレイテンシにクロック再生が
間に合う場合には、アクティベイトコマンドではなくリ
ードコマンドからクロック再生回路を起動しておくこと
により、ロウ系動作が行われた後でカラム系動作が入力
されない、いわゆるアクティブスタンバイ状態での消費
電流を小さくできる。
【0070】一方、コマンドデコーダなどに供給する内
部クロックを、クロック再生回路CRCを用いずにクロ
ックバッファCKBで発生させることにより、外部から
クロックエネーブル信号CKEbによりクロックバッフ
ァが起動されたらすぐに動作を開始できる。
【0071】なお、図8では、コマンドデコーダCD等
に用いる内部クロックCLK0を発生するクロックバッ
ファCKBと、出力バッファDOBに用いる内部クロッ
クCLKIを発生するクロック再生回路CRCが独立し
ているように示したが、部分的に共有することも可能で
ある。例えば、外部クロックCLKEが小振幅伝送され
ている場合に、チップ内の一般的な動作電圧と同じ電圧
振幅にするための差動アンプを共有化できる。それによ
り、回路規模を削減し、消費電力とレイアウト面積を低
減できる。
【0072】以上、本発明の好適な実施例について説明
したが、本発明は前記実施例に限定されることなく、本
発明の精神を逸脱しない範囲内において種種の設計変更
をなし得ることは勿論である。前記実施例では、シンク
ロナスDRAMに本発明を適用した場合を示したが、外
部クロックに同期してデータの入出力を行う同期式のメ
モリであれば、他のメモリでも好適に適用できる。例え
ば、入力端子と出力端子がそれぞれ交差結合された2つ
のインバータ(CMOSインバータ、あるいは抵抗負荷
型インバータ)からなるメモリセルを持つ同期式のスタ
ティック・ランダム・アクセス・メモリ(SRAM)に応
用しても、同様な効果が得られる。
【0073】
【発明の効果】前述した実施例から明らかなように、本
発明によれば、遅延回路の遅延時間の差を刻みとしてタ
イミングを調整して、外部クロックをその周期に応じて
遅延させて内部クロックを発生させる機能を有すること
により、回路規模が小さく、待機時に動作を停止してお
くことが可能で、外部クロックとの誤差が小さく、なお
かつ動作周波数範囲が広いクロック再生回路が実現され
る。その結果、高速に動作し消費電力が小さい半導体装
置が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体装置の一実施例を示す図で
あり、クロック再生回路のブロック図である。
【図2】図1のクロック再生回路の動作例を示すタイミ
ングチャートである。
【図3】図1のクロック再生回路におけるタイミング再
生部の具体的構成例を示す図である。
【図4】図1のクロック再生回路におけるタイミング比
較部の具体的構成例を示す図である。
【図5】本発明に係る半導体装置の別の実施例を示す図
であり、粗調整部を設けたクロック再生回路のブロック
図である。
【図6】図5の粗調整部を設けたクロック再生回路の動
作を示すタイミングチャートである。
【図7】図5のクロック再生回路における粗調整部の具
体的構成例を示す図である。
【図8】本発明に係る半導体装置のまた別の実施例を示
す図であり、図1または図5のクロック再生回路をダブ
ル・データ・レート(DDR)SDRAMに適用した要
部ブロック図である。
【図9】図8のDDR SDRAMの動作タイミングを
示す図である。
【符号の説明】
ADB…アドレスバッファ、ADD…外部アドレス、A
RB0〜ARBm…制御回路内のアービタ、BDA…逆
方向遅延回路列、BDE1〜BDEm…逆方向遅延回路
列内の遅延回路、CD…コマンドデコーダ、CDA…第
3の遅延回路列、CIB…クロック入力バッファ、CI
D…クロックドライバ、CKB…クロックバッファ、C
KE…クロック制御信号、CKEb…SDRAMのクロ
ックエネーブル信号、CL…CASレイテンシ、CLK
0…クロックバッファCKBにより出力される内部クロ
ック、CLKE…外部クロック、CLKI,CLKI2
…内部クロック、CNT0,CNT1,CNT2,CN
T3,CNT4…制御信号、CRC…クロック再生回
路、CSb,RASb,CASb,WEb…SDRAM
の制御信号、DDC,DMC…遅延モニタ、DE0,D
E1,DER1〜DERn,DEC1〜DECn…遅延
回路、DLe,DLo…データ線、DOB0,DOB
1,DOB…データ出力バッファ、DOD…データ出力
ドライバ、DOL…データ出力ラッチ、Dout…出力デ
ータ、EDA…第2の遅延回路列、FDA…進行方向遅
延回路列、FDE0〜FDEm…進行方向遅延回路列内
の遅延回路、INV0,INV1,INV2…インバー
タ、IOSe,IOSo…入出力線スイッチ、MAe,
MAo…メインアンプ、MCC…制御回路、MIOe,
MIOo…メイン入出力線、ODA…第1の遅延回路
列、PC,PCP0〜PCPn…位相比較器、PCA…
第3の遅延回路列、PCL1〜PCLm…制御回路内の
論理回路、PYAe,PYAo…Yアドレスバス、PY
D…プリYデコーダ、RDA…第4の遅延回路列、RD
C…リードデータ制御回路、RDe,RDo…リードバ
ス、RDLe,RDLo…リードデータラッチ、RDS
…リードデータセレクタ、SA,SAe,SAo…セン
スアンプ、SIOe,SIOo…サブ入出力線、YA…
Yアドレス、YDe,YDo…Yデコーダ、YGe,Y
Go…Yゲート、YSe,YSo…Y選択線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 勝高 東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 Fターム(参考) 5B079 BA01 BC03 CC02 DD13 5J106 AA03 CC30 CC58 DD08 DD09 DD24 DD26 DD43 DD48 KK02 KK05 KK39 KK40

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】外部クロックを受けて、該外部クロックに
    同期した内部クロックを発生するクロック再生回路を有
    する半導体装置において、 該クロック再生回路は、 クロック入力バッファと、 複数の第1の遅延回路からなり上記クロック入力バッフ
    ァに接続された第1の遅延回路列と、 複数の第2の遅延回路からなり上記第1の遅延回路列と
    並列に設けられた第2の遅延回路列と、 第2の遅延回路列に接続され内部クロックを供給するク
    ロックドライバと、 複数の第3の遅延回路からなり遅延モニタを介して上記
    第1の遅延回路列に接続された第3の遅延回路列と、 複数の第4の遅延回路からなり上記クロック入力バッフ
    ァに接続された第4の遅延回路列と、 上記複数の第3の遅延回路の出力と上記複数の第4の遅
    延回路の出力を比較し上記第1の遅延回路列から上記第
    2の遅延回路列への信号経路を制御する位相比較回路群
    とを含むことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】上記クロック入力バッファから上記クロッ
    クドライバまでの信号経路となる、上記複数の第1の遅
    延回路の少なくとも一部の個数と、上記複数の第2の遅
    延回路の少なくとも一部の個数の合計数は一定である請
    求項1に記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】上記第1の遅延回路列から上記第2の遅延
    回路列への上記信号経路は、一つだけ形成される請求項
    1に記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】上記位相比較回路群は、上記複数の第3の
    遅延回路の出力と上記複数の第4の遅延回路の出力の比
    較結果をラッチする機能を有する請求項1に記載の半導
    体装置。
  5. 【請求項5】上記複数の第1の遅延回路の各々の遅延時
    間と上記複数の第2の遅延回路の各々の遅延時間との差
    は、上記複数の第4の遅延回路の各々の遅延時間と上記
    複数の第3の遅延回路の各々の遅延時間との差と実質的
    に同じである請求項1に記載の半導体装置。
  6. 【請求項6】上記複数の第1の遅延回路の各々の遅延時
    間は、上記複数の第4の遅延回路の各々の遅延時間と実
    質的に同じであり、 上記複数の第2の遅延回路の各々の遅延時間は、上記複
    数の第3の遅延回路の各々の遅延時間と実質的に同じで
    ある請求項1に記載の半導体装置。
  7. 【請求項7】上記第1の遅延回路の各々の遅延時間は、
    上記複数の第2の遅延回路の各々の遅延時間よりも大き
    い請求項6に記載の半導体装置。
  8. 【請求項8】上記複数の第1の遅延回路の各々と上記複
    数の第2の遅延回路の各々と上記複数の第3の遅延回路
    の各々と上記複数の第4の遅延回路の各々は、それぞれ
    偶数段の論理ゲートで構成される請求項1に記載の半導
    体装置。
  9. 【請求項9】上記複数の第1の遅延回路の各々と上記複
    数の第2の遅延回路の各々と上記複数の第3の遅延回路
    の各々と上記複数の第4の遅延回路の各々は、それぞれ
    2段の論理ゲートで構成される請求項8に記載の半導体
    装置。
  10. 【請求項10】上記複数の第2の遅延回路の各々は、N
    ANDゲート2段の直列接続により構成される請求項1
    に記載の半導体装置。
  11. 【請求項11】上記複数の第1の遅延回路の各々と上記
    複数の第3の遅延回路の各々と上記複数の第4の遅延回
    路の各々は、それぞれNANDゲート2段の直列接続で
    構成される請求項8に記載の半導体装置。
  12. 【請求項12】上記遅延モニタの遅延時間は、上記クロ
    ック入力バッファの遅延時間と上記クロックドライバの
    遅延時間との和よりも大きい請求項1に記載の半導体装
    置。
  13. 【請求項13】外部クロックを受けて、該外部クロック
    に同期した内部クロックを発生するクロック再生回路を
    有する半導体装置において、 該クロック再生回路は、 クロック入力バッファと、 上記クロック入力バッファに接続された第1の遅延モニ
    タと、 複数の第1の遅延回路からなり上記第1の遅延モニタに
    接続された第1の遅延回路列と、 複数の第2の遅延回路からなり上記第1の遅延回路列と
    並列に設けられた第2の遅延回路列と、 上記複数の第1の遅延回路の出力と上記クロック入力バ
    ッファの出力を比較し上記第1の遅延回路列から上記第
    2の遅延回路列への信号経路を制御する第1の位相比較
    回路群と、 複数の第3の遅延回路からなり上記第2の遅延回路列に
    接続された第3の遅延回路列と、 複数の第4の遅延回路からなり第3の遅延回路列と並列
    に設けられた第4の遅延回路列と、 第4の遅延回路列に接続され内部クロックを供給するク
    ロックドライバと、 複数の第5の遅延回路からなり第2の遅延モニタを介し
    て上記第3の遅延回路列に接続された第5の遅延回路列
    と、 複数の第6の遅延回路からなり上記クロック入力バッフ
    ァに接続された第6の遅延回路列と、 上記複数の第5の遅延回路の出力と上記複数の第6の遅
    延回路の出力を比較し上記第3の遅延回路列から上記第
    4の遅延回路列への信号経路を制御する第2の位相比較
    回路群とを含むことを特徴とする半導体装置。
  14. 【請求項14】上記第1の遅延モニタから上記第3の遅
    延回路列までの信号経路となる、上記複数の第1の遅延
    回路の少なくとも一部の個数と、上記複数の第2の遅延
    回路の少なくとも一部の個数は同じである請求項13に
    記載の半導体装置。
  15. 【請求項15】上記第1の遅延回路列から上記第2の遅
    延回路列への上記信号経路は、一つだけ形成される請求
    項13に記載の半導体装置。
  16. 【請求項16】上記第2の遅延回路列から上記クロック
    ドライバまでの信号経路となる、上記複数の第3の遅延
    回路の少なくとも一部の個数と、上記複数の第4の遅延
    回路の少なくとも一部の個数の合計数は一定である請求
    項13に記載の半導体装置。
  17. 【請求項17】上記第3の遅延回路列から上記第4の遅
    延回路列への上記信号経路は、一つだけ形成される請求
    項13に記載の半導体装置。
  18. 【請求項18】上記第1の位相比較回路群は、上記複数
    の第1の遅延回路の出力と上記クロック入力バッファの
    出力との比較結果をラッチする機能を有する請求項13
    に記載の半導体装置。
  19. 【請求項19】上記位相比較回路群は、上記複数の第5
    の遅延回路の出力と上記複数の第6の遅延回路の出力の
    比較結果をラッチする機能を有する請求項13に記載の
    半導体装置。
  20. 【請求項20】上記複数の第1の遅延回路の各々の遅延
    時間は、上記複数の第2の遅延回路の各々の遅延時間と
    実質的に同じである請求項13に記載の半導体装置。
  21. 【請求項21】上記複数の第3の遅延回路の各々の遅延
    時間と上記複数の第4の遅延回路の各々の遅延時間との
    差は、上記複数の第6の遅延回路の各々の遅延時間と上
    記複数の第5の遅延回路の各々の遅延時間との差と実質
    的に同じである請求項13に記載の半導体装置。
  22. 【請求項22】上記複数の第3の遅延回路の各々の遅延
    時間は、上記複数の第6の遅延回路の各々の遅延時間と
    は、実質的に同じであり、 上記複数の第4の遅延回路の各々の遅延時間は、上記複
    数の第5の遅延回路の各々の遅延時間と実質的に同じで
    ある請求項13に記載の半導体装置。
  23. 【請求項23】上記複数の第1の遅延回路の各々の遅延
    時間と、上記複数の第2の遅延回路の各々の遅延時間
    と、上記複数の第3の遅延回路の各々の遅延時間と、上
    記複数の第6の遅延回路の各々の遅延時間とは、実質的
    に同じである請求項22に記載の半導体装置。
  24. 【請求項24】上記第2の遅延モニタの遅延時間は、上
    記クロック入力バッファの遅延時間と上記クロックドラ
    イバの遅延時間との和よりも大きい請求項13に記載の
    半導体装置。
  25. 【請求項25】上記第1の遅延モニタの遅延時間は、上
    記第2の遅延モニタの遅延時間よりも大きい請求項13
    に記載の半導体装置。
  26. 【請求項26】上記第1の遅延モニタの遅延時間は、上
    記第2の遅延モニタの遅延時間と上記複数の第3の遅延
    回路の合計の遅延時間よりも大きい請求項13に記載の
    半導体装置。
  27. 【請求項27】前記外部クロックに応じてデータが入力
    され、前記クロック再生回路により形成された内部クロ
    ックに応じてデータを出力するメモリを更に含む請求項
    1〜26のいずれか1項に記載の半導体装置。
  28. 【請求項28】前記メモリは、1個のMOSトランジス
    タと1個のキャパシタで構成された複数のダイナミック
    型メモリセルを含む請求項27に記載の半導体装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002358782A (ja) * 2001-05-31 2002-12-13 Nec Corp 半導体記憶装置
JP2009118210A (ja) * 2007-11-07 2009-05-28 Oki Semiconductor Co Ltd 遅延ロックループ回路

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