JP2001115972A5 - - Google Patents

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CN100374724C (zh) * 2006-06-01 2008-03-12 北京工业大学 压电式螺杆泵
KR101197332B1 (ko) 2011-09-06 2012-11-07 김양준 진동 증폭 압전 펌프
JP2013240172A (ja) * 2012-05-14 2013-11-28 Seiko Epson Corp 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置
JP5998980B2 (ja) * 2013-02-22 2016-09-28 セイコーエプソン株式会社 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置

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