JP2001100121A - 可動フィルム型表示装置 - Google Patents

可動フィルム型表示装置

Info

Publication number
JP2001100121A
JP2001100121A JP27400499A JP27400499A JP2001100121A JP 2001100121 A JP2001100121 A JP 2001100121A JP 27400499 A JP27400499 A JP 27400499A JP 27400499 A JP27400499 A JP 27400499A JP 2001100121 A JP2001100121 A JP 2001100121A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movable film
electrode
fixed
display device
type display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP27400499A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3643508B2 (ja
Inventor
Atsushi Sugawara
淳 菅原
Lunn Richard
ラン リチャード
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP27400499A priority Critical patent/JP3643508B2/ja
Priority to US09/651,024 priority patent/US6618034B1/en
Priority to KR10-2000-0052962A priority patent/KR100376903B1/ko
Priority to DE60016865T priority patent/DE60016865T2/de
Priority to EP00307897A priority patent/EP1089110B1/en
Priority to TW089119266A priority patent/TW455695B/zh
Priority to CN00129207A priority patent/CN1290000A/zh
Publication of JP2001100121A publication Critical patent/JP2001100121A/ja
Priority to US10/623,525 priority patent/US6963330B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3643508B2 publication Critical patent/JP3643508B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on semiconductor elements with at least one potential jump barrier, e.g. PN, PIN junction
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/37—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements
    • G09F9/372—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements the positions of the elements being controlled by the application of an electric field

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 可動フィルム型表示装置において、多数の走
査線、信号線を必要とせずに中間調を表示する。 【解決手段】 第１及び第２固定電極１３１と、第１固
定電極１３１と対を成し、固定された固定端及び変位可
能な変位端を有し、第１固定電極１３１との間の第１電
位差で変位する可撓性第１可動フィルム電極１３２と、
第２固定電極１３１と対を成し、固定された固定端及び
変位可能な変位端を有し、第２固定電極１３１との間の
第１電位差とは異なる第２電位差で変位する可撓性第２
可動フィルム電極１３２とを具備することを特徴とする
可動フィルム型表示装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、可動フィルム型表
示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、大型のディスプレイ装置、または
携帯可能なディスプレイ装置において、低消費電力化が
求められている。
【０００３】この低消費電力化を実現するディスプレイ
装置として、可動フィルムを静電力によって駆動する可
動フィルムシャッター方式の、可動フィルム型表示装置
がある。可動フィルム型表示装置の基本原理を図１１〜
図１８を用いて示す。
【０００４】図１１は可動フィルムシャッターを１つ取
り出したものである。可動フィルムシャッターは、透光
性の透明導光体１１１と、透明導光体１１１の湾曲した
表面に設けられる遮光部のブラックマトリクス１１２、
ブラックマトリクス１１２に囲まれる開口部１１３、透
明導光体１１１の開口部１１３に対向して設けられる遮
光性の可動フィルム１１４、透明導光体１１１を挟み可
動フィルム１１４と対向して設けられる遮光板１１５か
らなる。遮光板１１５は反射板であっても良い。
【０００５】光は矢印の向きに透明導光体１１１中に入
射し、透過する。複数の透明導光体１１１によって１画
素を構成し、任意の数の可動フィルム１１４を撓ませ、
開口部１１３を覆う面積を変化させることにより、開口
部１１３から出射する光量を変化させ、階調表示を行な
う。
【０００６】透明導光体１１１の表面には導電性が与え
られており固定電極と呼ぶ。また、可動フィルム１１４
にも導電性が与えられており、可動電極と呼ぶ。固定電
極の表面には図示しない透光性の絶縁膜が形成され、可
動電極と固定電極の短絡を防ぐ。
【０００７】可動フィルム１１４が変位する原理を示
す。図１２（ａ）に示すように、スイッチ１２１をＯＮ
状態とし、電源１２２から２つの電極１２３、１２４の
間に電圧を加えると静電力が生じる。図１２（ｂ）に示
すように、この２つの電極を、図１１の可動電極（可動
フィルム）１１４と透明導光体表面の固定電極１２５と
する。そして電圧を加えることにより、破線で示すよう
に可動フィルム１１４が撓んで固定電極１２５を覆う
と、可動フィルム１１４が遮光性である事から、電圧を
かけない場合は光が透過し、電圧をかけ可動フィルム１
１４が撓むと光が遮断される。
【０００８】電圧をかけ、可動フィルムが撓んだ際の、
印加電圧と可動フィルム先端の変位量の関係を図１２
（ｃ）に示す。図１２（ｃ）では、電圧を上げていく
と、それに伴い可動フィルムの先端変位量が緩やかに増
加する。変位量が臨界点に達すると急激に変位し、最大
変位量に到達する。ここでは、可動フィルムが固定電極
表面の絶縁膜に付着しているために、電圧を上げても変
位量は増加しない。また、電圧を下げてもしばらく変位
量は減少しない。これは電極間距離が狭まり、電極間の
静電力が強まっているためであり、可動フィルムの弾性
力が静電力に打ち勝つまで変位はない。いわば、ヒステ
リシス特性を持っていると言える。
【０００９】次に、このような特性を持った可動フィル
ムシャッターを用いた可動フィルム型表示装置について
説明する。
【００１０】図１３に示すように、１本の透明導光体固
定電極部１３１に対し、複数枚の可動フィルム電極１３
２ａ〜１３２ｅが対向配置されている。透明導光体固定
電極部１３１に隣接して回路基板１３３が設けられ、回
路基板１３３上に駆動用ＩＣ１３４が設置されている。
可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｅは、配線１３５を
介して駆動用ＩＣ１３４に接続されている。また、回路
基板１３３にはコネクタ部１３６が設けられ、隣接する
ディスプレイユニットと情報交換を行なうことが出来
る。
【００１１】そして、図１４に示すように、このように
列方向に配列された可動フィルムシャッターのユニット
１４１を行方向に並べることにより、マトリクス状の可
動フィルム型表示装置となる。図１４では、蛍光灯１４
２からの光が拡散板１４３で拡散され、透明導光体固定
電極部１３１に入射し、可動フィルム電極１３２が撓ん
で開口部１１３を覆っていない場合に開口部１１３から
出射し、図示しないカラーフィルタによって着色され出
力される。
【００１２】次に、この可動フィルム型表示装置の駆動
方法を、図１５の配線図を用いて説明する。
【００１３】この可動フィルム型表示装置では、透明導
光体固定電極部１３１が走査線の役割を果たしている。
信号源１５１から送られてきた映像情報は、一度駆動用
ＩＣ１３４に蓄えられ、可動フィルム電極１３２に電位
として伝えられる。この時、走査線駆動用ＩＣ１５２か
ら透明導光体固定電極部１３１に走査電位が与えられて
いれば、可動フィルム電極１３２との間に電位差が生
じ、可動フィルム電極１３２を透明導光体固定電極部１
３１の方へ撓ませることが出来る。もし、可動フィルム
電極１３２と透明導光体固定電極部１３１とが同電位な
らば、可動フィルム電極１３２と透明導光体固定電極部
１３１の間に引力は働かず、可動フィルム電極１３２の
弾性力によって、可動フィルム電極１３２と透明導光体
固定電極部１３１とは離れている。
【００１４】つぎに、可動フィルム型表示装置を用いて
中間調を表示する従来の方法を説明する。
【００１５】図１６は、複数の可動フィルムシャッター
からなる１画素を示している。この例では、１画素は、
３×２のマトリクスで配列された６つのサブ画素１６１
〜１６６を有する。
【００１６】これら６つのサブ画素１６１〜１６６の光
透過量は、全て異なるものにしてある。まず、サブ画素
１６１とサブ画素１６４は可動フィルムシャッターが１
つ、サブ画素１６２とサブ画素１６５は可動フィルムシ
ャッターが２つ、サブ画素１６３とサブ画素１６６は可
動フィルムシャッターが４つから構成されている。さら
に、可動フィルムシャッターの幅方向は、図面に対し法
線方向であり、図面に示していないが、図１６において
はサブ画素１６１、１６２、１６３の開口部の幅（奥行
き）は狭く、サブ画素１６４、１６５、１６６の開口部
の幅（奥行き）は広い。
【００１７】この場合、１画素は、複数（この場合、６
つ）のサブ画素によって中間調を表示することが出来
る。すなわち、６つのサブ画素を選択的に開閉すること
によって、面積的に光透過量が変わり、中間調が表示さ
れる。この原理を以下に説明する。
【００１８】図１６のように、各可動フィルムシャッタ
ーは、可動フィルム電極１３２が信号線につながり、Ｖ
１〜Ｖ３の電位が印加される。また各透明導光体固定電
極部１３１が走査線ａｎ、ｂｎ（ｎ＝１，２）につなが
り、それぞれ湾曲した側の面にＶａｎ（ｎ＝１，２）の
電位、湾曲しない側の面にＶｂｎ（ｎ＝１，２）の電位
が印加される。さらに、各サブ画素の湾曲した面の端に
は、Ｖｂｎが印加される平面電極が設けられている。こ
こでは、可動フィルム１３２はＶａｎとＶｂｎが印加さ
れる電極に挟まれ、両電極との静電力により変位する。
【００１９】このような構成での動作の一例を説明する
と、１組の駆動したい走査線に、正負対称な電位を印加
する。また、信号線には表示信号に応じて、Ｖｎ（ｎ＝
１〜３）の電位を与える。この際、Ｖｎが０であれば、
可動フィルム電極１３２は撓まず、Ｖｎが０でなけれ
ば、ＶａｎまたはＶｂｎとの電位差の大きい方へ、可動
フィルム電極１３２は撓む。そして、その１組の走査線
をＯＦＦとした後も、その変位が保持され、次の走査線
の組を駆動して、それぞれの信号線に信号電位を与え
る、ということを繰り返すことにより、画素内の所望の
サブ画素を開閉することが出来、面積階調表示が可能と
なる。よってこれらの信号線、走査線の電位設定によっ
て、６つのサブ画素に個々の画像情報を送ることが出来
る。
【００２０】図１７は、可動フィルム型表示装置の、カ
ラーフィルター側から画素を見た場合であり、１７１、
１７２、１７３はそれぞれカラーフィルターのＲＧＢを
示す。図１８は、図１７のＲＧＢのうちの１つ、例えば
Ｂをカラーフィルターをはずして見た図である。図１８
では、Ｓ１〜Ｓ１２８の８つのサブ画素があり、これら
のサブ画素の面積比が、１：２：４：８：１６：３２：
６４：１２８となっており、駆動されるサブ画素の組合
せによって、２５６階調を作ることが出来る。一般に２
５６階調あれば、テレビ画像を表示することも出来る。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような可動フィルム型表示装置で中間調を表示する場
合は、１画素中の複数のサブ画素を選択的に開閉する
際、多数の信号線、走査線が必要となる。従って、これ
ら多数の信号線、走査線を駆動するための、多数の駆動
用ＩＣが必要となり、コストがかかるという問題があっ
た。また、これら多数の駆動用ＩＣを配置するために装
置が大きくなるという問題もあった。
【００２２】
【課題を解決するための手段】そこで本発明の第１は、
第１及び第２固定電極と、第１固定電極と対を成し、固
定された固定端及び変位可能な変位端を有し、第１固定
電極との間の第１電位差で変位する可撓性第１可動フィ
ルム電極と、第２固定電極と対を成し、固定された固定
端及び変位可能な変位端を有し、第２固定電極との間の
第１電位差とは異なる第２電位差で変位する可撓性第２
可動フィルム電極とを具備することを特徴とする可動フ
ィルム型表示装置を提供する。
【００２３】本発明の第１では、第１可動フィルム電極
の固定端と変位端との間の長さが、第２可動フィルム電
極の固定端と変位端との間の長さと異なっても良い。
【００２４】また本発明の第１では、第１可動フィルム
電極の厚さが、第２可動フィルム電極の厚さと異なって
も良い。
【００２５】また本発明の第１では、第１固定電極と第
１可動フィルム電極の固定端との距離が、第２固定電極
と第２可動フィルム電極の固定端との距離と異なっても
良い。
【００２６】さらに本発明の第１では、１画素内に、第
１及び第２固定電極と第１及び第２可動フィルム電極の
対を有しても良い。
【００２７】また、本発明の第１では、異なる特性を有
する固定電極と可撓性可動フィルム電極の組は、複数種
類あればよく、その数は限定されるものではない。
【００２８】本発明の第２は、一端から長さが異なる絶
縁された複数の導体層を積層して成る固定電極と、固定
電極の一端側に固定された固定端及び変位可能な変位端
を有する可撓性可動フィルム電極と、固定電極の導体層
に異なる電位を与える電位供給手段とを具備することを
特徴とする可動フィルム型表示装置を提供する。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を詳細に
説明するが、本発明はこれらの実施形態に限定されるも
のではない。
【００３０】本発明の可動フィルム型表示装置は、図１
２と同様の原理で変位する、図１１と同様の可動フィル
ムシャッターを有する。これらの可動フィルムシャッタ
ーは図１３で示すように配置され、これら列方向に配列
された可動フィルムシャッターを、図１４のように行方
向に配置させることにより、マトリクス状の可動フィル
ム型表示装置を得る。また、この可動フィルム型表示装
置の配線は、図１５と同様に行われる。
【００３１】（第１の実施形態）まず本発明の第１の実
施形態を説明する。本発明の第１の実施形態の可動フィ
ルム型表示装置の１画素を図１に示す。
【００３２】本実施形態の可動フィルム型表示装置は、
少なくとも２種類以上の長さを有する可動フィルムシャ
ッターを用いて１画素を形成する。
【００３３】本実施形態では、長さの異なる可動フィル
ムシャッターを３種類用意する。即ち、各可動フィルム
シャッターは、異なる長さの可動フィルムと、それに対
応する長さの透明導光体固定電極部を備える。各透明導
光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃは接地されており、
各透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃに対応した
長さの各可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃには、可
変電圧電源１１によって電圧を印加する。また、蛍光灯
を光源１２として用い、この光源１２からの光は透明導
光体１３ａ〜１３ｃを透過し、矢印の方向に出射する。
【００３４】なお、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２
ｃは、厚さ約１２μｍのポリエチレンテレフタレート
（ＰＥＴ）フィルムからなり、両面にアルミニウムが約
１０〜約１００ｎｍ蒸着されている。これをカッターや
レーザー光を用いて所望の大きさに形成すれば良い。そ
の他、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃのフィルム
の材料としては、ポリイミド、アラミド、ポリエチレ
ン、ポリカーボネーとなどを用いても良く、これらの材
料は限定されない。
【００３５】また、透明導光体１３ａ〜１３ｃとして
は、ポリアセタール、ポリスチレン、液晶ポリマー等か
らなれば良く、これらを射出成形やプレス成形すること
により成形する。また、透明導光体１３ａ〜１３ｃ表面
には透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃとして、
アルミニウム、金、銅、銀などの金属が、約１０〜約１
００ｎｍ程度蒸着されている。透明導光体固定電極部１
３１ａ〜１３１ｃ表面には、図示しないが電着などによ
り厚さ約１〜約１０μｍ程度の絶縁膜が形成されてお
り、この絶縁膜の外周部にブラックマトリクスが設けら
れ、それ以外の部分が開口部となり、そこから光が出射
する。
【００３６】本実施形態では、各可動フィルム電極１３
２ａ〜１３２ｃの長さをそれぞれ、約３．５ｍｍ、約
２．５ｍｍ、約１．５ｍｍとして、これらに対応した長
さの透明導光体１３ａ〜１３ｃを形成する。
【００３７】本実施形態の動作を説明する。３種類の可
動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃに、等しい電圧を徐
々に印加することにより、図２に示すように臨界点に達
するとそれぞれ急激に変位するが、本実施形態では、黒
丸で示される臨界点となる電圧Ａ、Ｂ、Ｃがそれぞれ、
約５０Ｖ、約７０Ｖ、約１００Ｖとなり、それぞれ異な
る。これは、各可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃと
透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃの組の固定端
と変位端間の長さが異なることから、弾性力と静電力の
兼ね合いも異なり、これらの各可動フィルム電極１３２
ａ〜１３２ｃは、異なる電位差で急激に変位するのであ
る。本実施形態では、長さの長い可動フィルム電極１３
２ａが、最も小さい電位差で臨界点に達する。図示しな
いが、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃを挟んで透
明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃの反対側に平面
電極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの変
位をより安定させる事が出来る。
【００３８】本実施形態の可動フィルム表示装置では、
１画素に印加する電圧を変化させるのみで、選択的に開
閉する可動フィルムの数を変化させることが出来、多数
の信号線、走査線を用いて中間調を表示する必要がなく
なる。この事により、多数の信号線、走査線を駆動する
ための多数の駆動用ＩＣを使用する必要がなくなり、低
コスト化を図ることが出来る。また、多数の駆動用ＩＣ
を配置する必要がなくなるために装置サイズを小型化す
ることも出来る。
【００３９】（第２の実施形態）次に、本発明の第２の
実施形態を説明する。本発明の第２の実施形態の可動フ
ィルム型表示装置の１画素を図３に示し、第１の実施形
態と異なる点を中心に説明する。
【００４０】本実施形態の可動フィルム型表示装置は、
１画素中に複数の可動フィルムシャッターを設ける点は
第１の実施形態と同様であるが、少なくとも２種類以上
の厚さの可動フィルム電極を有する可動フィルムシャッ
ターを用いて１画素を形成する点が、第１の実施形態と
は異なる。
【００４１】図３に示すように、本実施形態の可動フィ
ルム型表示装置では、透明導光体固定電極部１３１ａ〜
１３１ｃ、透明導光体１３ａ〜１３ｃ、可動フィルム電
極１３２ａ〜１３２ｃは第１の実施形態と同様に配線さ
れている。また、これらは第１の実施形態と同様の材料
を用いて同様に形成すれば良い。
【００４２】しかし、本実施形態の可動フィルム型表示
装置の可動フィルムシャッターの長さは全て等しく、可
動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの長さを全て約２．
５ｍｍとする。そして、可動フィルム電極１３２ａ〜１
３２ｃの厚さをそれぞれ、約６μｍ、約１２μｍ、約１
８μｍとする。
【００４３】そして、３種類の可動フィルム電極１３２
ａ〜１３２ｃに、等しい電圧を徐々に印加すると、臨界
点に達した可動フィルム電極から急激に変位するが、本
実施形態では、図２と同様に黒丸で示される臨界点とな
る電圧Ａ、Ｂ、Ｃがそれぞれ、約２５Ｖ、約７０Ｖ、約
１６０Ｖとなり、それぞれ異なる。これは、各可動フィ
ルム電極１３２ａ〜１３２ｃの厚さが異なることから、
弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、これらの可動フィ
ルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電位差で急激に
変位するのである。図示しないが、可動フィルム電極１
３２ａ〜１３２ｃを挟んで透明導光体固定電極部１３１
ａ〜１３１ｃの反対側に平面電極を設け、可動フィルム
電極１３２ａ〜１３２ｃの変位をより安定させる事が出
来る。
【００４４】本実施形態では、厚さが薄い可動フィルム
電極１３２ａが、最も小さい電位差で臨界点に達する。
よって、本実施形態においても、第１の実施形態と同様
に、１画素に印加する電圧を変化させるのみで、選択的
に開閉する可動フィルムの数を変化させることが出来、
多数の信号線、走査線を用いて中間調を表示する必要が
なくなる。
【００４５】（第３の実施形態）次に、本発明の第３の
実施形態を説明する。本発明の第３の実施形態の可動フ
ィルム型表示装置の１画素を図４に示し、第１の実施形
態と異なる点を中心に説明する。
【００４６】本実施形態の可動フィルム型表示装置は、
１画素中に複数の可動フィルムシャッターを設ける点は
第１の実施形態と同様であるが、透明導光体固定電極部
と可動フィルム電極の一端の間の距離を、少なくとも２
種類以上とする可動フィルムシャッターを用いて１画素
を形成する点が、第１の実施形態とは異なる。
【００４７】図４に示すように、本実施形態の可動フィ
ルム型表示装置では、透明導光体固定電極部１３１ａ〜
１３１ｃ、透明導光体１３ａ〜１３ｃは第１の実施形態
と同様に配線されている。また、これらは第１の実施形
態と同様の材料を用いて同様に形成すれば良い。
【００４８】しかし、本実施形態の可動フィルム型表示
装置の可動フィルムシャッターの長さは全て等しく、可
動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの長さを全て約２．
５ｍｍである。
【００４９】そして、透明導光体固定電極部１３１ａ〜
１３１ｃと可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの固定
端との間の各距離を、それぞれ約１００μｍ、約５０μ
ｍ、約０μｍとする点が、第１の実施形態とは異なる。
これらの距離は、透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３
１ｃと可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの一端と
を、テープなどのスペーサーを介在させて貼り付ける等
すれば良い。
【００５０】そして、３種類の可動フィルム電極１３２
ａ〜１３２ｃに、等しい電圧を徐々に印加することによ
り、臨界点に達した可動フィルム電極から急激に変位す
るが、本実施形態では、図２と同様に黒丸で示される臨
界点となる電圧Ｃ、Ｂ、Ａがそれぞれ、約１８０Ｖ、約
１１０Ｖ、約７０Ｖとなり、それぞれ異なる。これは、
透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃと可動フィル
ム電極１３２ａ〜１３２ｃの固定端との間の各距離が異
なることから、弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、可
動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電位差で
急激に変位するのである。本実施形態では、この距離が
小さい１３２ｃが、最も小さい電位差で臨界点に達す
る。図示しないが、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２
ｃを挟んで透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃの
反対側に平面電極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜
１３２ｃの変位をより安定させる事が出来る。
【００５１】よって、本実施形態においても、第１の実
施形態と同様に１画素に印加する電圧を変化させるのみ
で、選択的に開閉する可動フィルムの数を変化させるこ
とが出来、多数の信号線、走査線を用いて中間調を表示
する必要がなくなる。
【００５２】（第４の実施形態）次に、本発明の第４の
実施形態を説明する。本発明の第４の実施形態の可動フ
ィルム型表示装置の１つの可動フィルムシャッターを図
５、図６に示す。
【００５３】本実施形態では、透明導光体表面に透明導
光体固定電極部が形成されるのではなく、図５（ａ）に
示すように、可動フィルム電極１３２と固定電極５１の
２つの平行平板電極を用いて、可動フィルムシャッター
を形成する。
【００５４】図５（ａ）に示すように、可動フィルム電
極１３２と固定電極５１の間の一端には、光を透過する
穴の形成された支持体５２が設けられている。両電極間
に電圧をかけない場合は、光源５３から出た光は、図５
（ａ）のように支持体５２の穴を通過し、外へ放出され
る。両電極間に電圧をかけた場合は、図５（ｂ）のよう
に可動フィルム電極１３２が撓むために、光を遮断す
る。ここで、可動フィルム電極１３２の固定電極５１と
対向する側の面と、支持体５２の内面は、光を吸収させ
るために、黒色とすることが好ましい。
【００５５】本実施形態の可動フィルムシャッターは、
さらに具体的には、図６に示すように、第１の実施形態
と同様の材料で同様に形成される可動フィルム電極１３
２と、可動フィルム電極１３２と対向して設けられ、ス
テンレス等の硬度の大きな金属、またはポリエステル、
ポリイミド等のプラスチックからなる固定電極５１、こ
れら両電極間に設けられ、光の透過できる穴を有し、ポ
リエステル、ポリイミド等のプラスチックや、セラミッ
クスからなる支持体５２からなる。
【００５６】これらの可動フィルムシャッターは例えば
図７のように６つ並べられ、１つの画素を形成する。図
７では６種類の長さを有する可動フィルム電極１３２ａ
〜１３２ｆを有し、これらは第１の実施形態と同様に図
示しない可変電圧電源によって電圧を印加される。また
固定電極５１は接地し、下方から光を照射すれば良い。
【００５７】本実施形態では、各可動フィルム電極１３
２ａ〜１３２ｆの長さをそれぞれ、約６．５ｍｍ、約
５．５ｍｍ、約４．５ｍｍ、約３．５ｍｍ、約２．５ｍ
ｍ、約１．５ｍｍとして、これらの可動フィルム電極１
３２ａ〜１３２ｆに、等しい電圧を徐々に印加すること
により、臨界点に達した可動フィルム電極から急激に変
位する。本実施形態では、臨界点となる電圧は、それぞ
れ約５２Ｖ、約５５Ｖ、約６０Ｖ、約７０Ｖ、約９０
Ｖ、約１２０Ｖとなる。これは、第１の実施形態と同様
に、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｆの長さが異な
ることから、弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、これ
らの可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電
位差で急激に変位するのである。本実施形態では、長さ
が長い可動フィルム電極１３２ａが、最も小さい電位差
で臨界点に達する。図示しないが、可動フィルム電極１
３２ａ〜１３２ｆを挟んで固定電極５１の反対側に平面
電極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｆの変
位をより安定させる事が出来る。
【００５８】よって、本実施形態においても、第１の実
施形態と同様に、１画素に印加する電圧を変化させるの
みで、選択的に開閉する可動フィルムの数を変化させる
ことが出来、多数の信号線、走査線を用いて中間調を表
示する必要がなくなる。
【００５９】（第５の実施形態）次に、本発明の第５の
実施形態を説明する。本発明の第５の実施形態の可動フ
ィルム型表示装置の１画素を図８に示す。
【００６０】本実施形態では、可動フィルム電極と固定
電極の平行平板電極を用いて、可動フィルムシャッター
を形成する点は第４の実施形態と同様であるが、長さが
等しく、少なくとも２種類以上の厚さの可動フィルム電
極を用いて１画素を形成する点が、第４の実施形態とは
異なる。
【００６１】本実施形態では、固定電極５１、支持体５
２、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、第４の実
施形態と同様な材料、方法で形成し、配線すれば良い。
【００６２】しかし、本実施形態の可動フィルム型表示
装置の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの長さは全
て等しく、全て約２．５ｍｍとし、厚さはそれぞれ、約
１８μｍ、約１２μｍ、約６μｍとする。
【００６３】そして、３種類の可動フィルム電極１３２
ａ〜１３２ｃに、等しい電圧を徐々に印加することによ
り、臨界点に達した可動フィルム電極から急激に変位す
るが、本実施形態では、図２と同様に黒丸で示される臨
界点となる電圧Ｃ、Ｂ、Ａがそれぞれ、約１８０Ｖ、約
９０Ｖ、約４５Ｖとなり、それぞれ異なる。これは、各
可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの厚さが異なるこ
とから、弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、これらの
可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電位差
で急激に変位するものである。本実施形態では、厚さの
薄い可動フィルム電極１３２ｃが、最も小さい電位差で
臨界点に達する。図示しないが、可動フィルム電極１３
２ａ〜１３２ｃを挟んで固定電極５１の反対側に平面電
極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの変位
をより安定させる事が出来る。
【００６４】よって、本実施形態においても、第１の実
施形態と同様に、１画素に印加する電圧を変化させるの
みで、選択的に開閉する可動フィルムの数を変化させる
ことが出来、多数の信号線、走査線を用いて中間調を表
示する必要がなくなる。
【００６５】（第６の実施形態）次に、本発明の第６の
実施形態を説明する。本発明の第６の実施形態の可動フ
ィルム型表示装置の１画素を図９に示す。
【００６６】本実施形態では、可動フィルム電極と固定
電極の平行平板電極を用いて、可動フィルムシャッター
を形成する点は第４の実施形態と同様であるが、固定電
極と可動フィルム電極の固定端の間の距離を、少なくと
も２種類以上とする可動フィルムシャッターを用いて１
画素を形成する点が、第４の実施形態とは異なる。
【００６７】本実施形態では、固定電極５１、支持体５
２ａ〜５２ｃ、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃ
は、第４の実施形態と同様な材料、方法で形成し、配線
すれば良い。
【００６８】しかし、本実施形態の可動フィルム型表示
装置の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの長さは全
て等しく、全て約２．５ｍｍとし、支持体５２ａ〜５２
ｃの厚さ、つまり、固定電極５１と可動フィルム電極１
３２ａ〜１３２ｃの間の距離をそれぞれ、約１５０μ
ｍ、約１００μｍ、約５０μｍとする。
【００６９】そして、３種類の可動フィルム電極１３２
ａ〜１３２ｃに、等しい電圧を徐々に印加することによ
り、臨界点に達した可動フィルムから急激に変位する
が、本実施形態では、図２と同様に黒丸で示される臨界
点となる電圧Ｃ、Ｂ、Ａがそれぞれ、約２１０Ｖ、約１
３０Ｖ、約９０Ｖとなり、異なる。これは、固定電極５
１と可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの各距離が異
なるため、弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、これら
の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電位
差で急激に変位するのである。本実施形態では、この距
離が小さい可動フィルム電極１３２ｃが、最も小さい電
位差で臨界点に達する。図示しないが、可動フィルム電
極１３２ａ〜１３２ｃを挟んで固定電極５１の反対側に
平面電極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃ
の変位をより安定させる事が出来る。
【００７０】よって、本実施形態においても、第１の実
施形態と同様に、１画素に印加する電圧を変化させるの
みで、選択的に開閉する可動フィルムの数を変化させる
ことが出来、多数の信号線、走査線を用いて中間調を表
示する必要がなくなる。
【００７１】（第７の実施形態）次に、本発明の第７の
実施形態を説明する。本発明の第７の実施形態の可動フ
ィルム型表示装置の１画素を図１０に示す。
【００７２】本実施形態では、１つの可動フィルムシャ
ッターの、各固定電極１０１ａ〜１０１ｄにそれぞれ異
なる電圧を印加し、可動フィルム電極１３２の撓み量を
変化させ、光透過量を変化させることにより中間調を表
示する。よって１つの可動フィルムシャッターで中間調
の表示の可能な１画素を形成する事が出来る。
【００７３】まず、可動フィルム電極１３２を第１の実
施形態と同様な材料、方法で形成する。次に、固定電極
１０１ａ〜１０１ｄをそれぞれ、例えば厚さ約１０〜約
１００ｎｍの金、銅またはアルミニウムなどの導体で形
成し、可動フィルム電極１３２に対向する側の表面を、
ポリイミド、ポリエステル、ナイロンまたはポリカーボ
ネート等の樹脂等で約１０μｍ被覆する。固定電極１０
１ａ〜１０１ｄは撓ませた形状で固定しても良いし、図
１０の破線で示すように、透明導光体を第１の実施形態
と同様に形成して、その表面に形成しても良い。
【００７４】そして、可動フィルム電極１３２を接地
し、固定電極１０１ａ〜１０１ｄにはそれぞれ表示信号
に応じて、Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄを与えることとす
る。これらそれぞれの電極に、電位を与えることによ
り、可動フィルム電極１３２の、撓み量によって、光透
過量が異なり、中間調が表示される。光は図１０の下方
から上方に向かって照射すれば良い。さらに、図示しな
いが、可動フィルム電極１３２を挟む固定電極１０１ａ
〜１０１ｄの反対側にも電極を設け、電位Ｖ0を与え
て、可動フィルム電極１３２の変位をより安定させる事
が出来る。
【００７５】本実施形態では、１画素で中間調を表示で
きるため、これまでの実施形態と同様に、多数の走査
線、信号線を用いることなく中間調を表示することが可
能となる。
【００７６】
【発明の効果】上述したように、本発明によって、可動
フィルム型表示装置で、多数の信号線、走査線を必要と
せずに中間調を表示できる。従って、多数の信号線、走
査線を駆動するための、多数の駆動用ＩＣが必要となく
なり、コストの低減が可能となる。また、これら多数の
駆動用ＩＣを配置する必要がないために、装置を小さく
することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施形態の可動フィルム型表
示装置の１画素を説明する図。
【図２】 可動フィルムシャッターに印加する電圧と可
動フィルム電極の先端変位量の関係を示す図。
【図３】 本発明の第２の実施形態の可動フィルム型表
示装置の１画素を説明する図。
【図４】 本発明の第３の実施形態の可動フィルム型表
示装置の１画素を説明する図。
【図５】 本発明の第４の実施形態の可動フィルムシャ
ッターの動作原理を説明する図。
【図６】 本発明の第４の実施形態の１つの可動フィル
ムシャッターを説明する図。
【図７】 本発明の第４の実施形態の可動フィルム型表
示装置の１画素を説明する図。
【図８】 本発明の第５の実施形態の可動フィルム型表
示装置の１画素を説明する図。
【図９】 本発明の第６の実施形態の可動フィルム型表
示装置の１画素を説明する図。
【図１０】 本発明の第７の実施形態の可動フィルム型
表示装置の１画素を説明する図。
【図１１】 １つの可動フィルムシャッターを説明する
図。
【図１２】 （ａ）、（ｂ）、（ｃ）とも可動フィルム
シャッターの動作原理を説明する図。
【図１３】 可動フィルム型表示装置について説明する
図。
【図１４】 可動フィルム型表示装置について説明する
図。
【図１５】 可動フィルム型表示装置について説明する
図。
【図１６】 従来の可動フィルム型表示装置における中
間調の表示を説明する図。
【図１７】 従来の可動フィルム型表示装置における中
間調の表示を説明する図。
【図１８】 従来の可動フィルム型表示装置における中
間調の表示を説明する図。
【符号の説明】
１１…可変電圧電源 １２…光源 １３…透明導光体 ５１…固定電極 ５２…支持体 ５３…光源 １０１…固定電極 １１１…透明導光体 １１２…ブラックマトリクス １１３…開口部 １１４…可動フィルム １１５…遮光板 １２１…スイッチ １２２…電源 １２３，１２４…電極 １２５…固定電極 １３１…透明導光体固定電極部 １３２…可動フィルム電極 １３３…回路基板 １３４…駆動用ＩＣ １３５…配線 １３６…コネクタ部 １４１…ユニット １４２…蛍光灯 １４３…拡散板 １５１…信号源 １５２…走査線駆動用ＩＣ １６１，１６２，１６３，１６４，１６５，１６６…サ
ブ画素 １７１…ＲＥＤ １７２…ＧＲＥＥＮ １７３…ＢＬＵＥ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】第１及び第２固定電極と、前記第１固定電
    極と対を成し、固定された固定端及び変位可能な変位端
    を有し、前記第１固定電極との間の第１電位差で変位す
    る可撓性第１可動フィルム電極と、前記第２固定電極と
    対を成し、固定された固定端及び変位可能な変位端を有
    し、前記第２固定電極との間の前記第１電位差とは異な
    る第２電位差で変位する可撓性第２可動フィルム電極と
    を具備することを特徴とする可動フィルム型表示装置。
  2. 【請求項２】前記第１可動フィルム電極の前記固定端と
    前記変位端との間の長さが、前記第２可動フィルム電極
    の前記固定端と前記変位端との間の長さと異なることを
    特徴とする請求項１記載の可動フィルム型表示装置。
  3. 【請求項３】前記第１可動フィルム電極の厚さが、前記
    第２可動フィルム電極の厚さと異なることを特徴とする
    請求項１記載の可動フィルム型表示装置。
  4. 【請求項４】前記第１固定電極と前記第１可動フィルム
    電極の前記固定端との距離が、前記第２固定電極と前記
    第２可動フィルム電極の前記固定端との距離と異なるこ
    とを特徴とする請求項１記載の可動フィルム型表示装
    置。
  5. 【請求項５】１画素内に、前記第１及び第２固定電極と
    前記第１及び前記第２可動フィルム電極の対を有するこ
    とを特徴とする請求項１記載の可動フィルム型表示装
    置。
  6. 【請求項６】一端から長さが異なる絶縁された複数の導
    体層を積層して成る固定電極と、前記固定電極の前記一
    端側に固定された固定端及び変位可能な変位端を有する
    可撓性可動フィルム電極と、前記固定電極の前記導体層
    に異なる電位を与える電位供給手段とを具備することを
    特徴とする可動フィルム型表示装置。
JP27400499A 1999-09-28 1999-09-28 可動フィルム型表示装置 Expired - Fee Related JP3643508B2 (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27400499A JP3643508B2 (ja) 1999-09-28 1999-09-28 可動フィルム型表示装置
US09/651,024 US6618034B1 (en) 1999-09-28 2000-08-30 Actuated film display device
KR10-2000-0052962A KR100376903B1 (ko) 1999-09-28 2000-09-07 가동막 표시 장치
EP00307897A EP1089110B1 (en) 1999-09-28 2000-09-13 Electrostatically actuated film display device
DE60016865T DE60016865T2 (de) 1999-09-28 2000-09-13 Bilddarstellungssystem mit elektrostatisch gesteuertem Film
TW089119266A TW455695B (en) 1999-09-28 2000-09-19 Actuated film display device
CN00129207A CN1290000A (zh) 1999-09-28 2000-09-28 激励膜显示装置
US10/623,525 US6963330B2 (en) 1999-09-28 2003-07-22 Actuated film display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27400499A JP3643508B2 (ja) 1999-09-28 1999-09-28 可動フィルム型表示装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001100121A true JP2001100121A (ja) 2001-04-13
JP3643508B2 JP3643508B2 (ja) 2005-04-27

Family

ID=17535619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27400499A Expired - Fee Related JP3643508B2 (ja) 1999-09-28 1999-09-28 可動フィルム型表示装置

Country Status (7)

Country Link
US (2) US6618034B1 (ja)
EP (1) EP1089110B1 (ja)
JP (1) JP3643508B2 (ja)
KR (1) KR100376903B1 (ja)
CN (1) CN1290000A (ja)
DE (1) DE60016865T2 (ja)
TW (1) TW455695B (ja)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006509643A (ja) * 2002-12-10 2006-03-23 コーニンクレッカ　フィリップス　エレクトロニクス　エヌ　ヴィ ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ−Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ−Ｓｙｓｔｅｍ）素子のアレイの駆動
CN100520486C (zh) * 2002-12-25 2009-07-29 株式会社东芝 运动薄膜显示设备及其驱动方法
JP2012230429A (ja) * 2005-02-23 2012-11-22 Pixtronix Inc 表示方法および装置
JP2014238585A (ja) * 2003-12-09 2014-12-18 クゥアルコム・メムス・テクノロジーズ・インコーポレイテッドＱＵＡＬＣＯＭＭ ＭＥＭＳ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ． 干渉系変調器におけるエリアアレイ変調及びリード低減
US9082353B2 (en) 2010-01-05 2015-07-14 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9087486B2 (en) 2005-02-23 2015-07-21 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9116344B2 (en) 2008-10-27 2015-08-25 Pixtronix, Inc. MEMS anchors
US9134552B2 (en) 2013-03-13 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators
US9135868B2 (en) 2005-02-23 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US9177523B2 (en) 2005-02-23 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9176318B2 (en) 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
US9182587B2 (en) 2008-10-27 2015-11-10 Pixtronix, Inc. Manufacturing structure and process for compliant mechanisms
US9229222B2 (en) 2005-02-23 2016-01-05 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US9261694B2 (en) 2005-02-23 2016-02-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US9336732B2 (en) 2005-02-23 2016-05-10 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9500853B2 (en) 2005-02-23 2016-11-22 Snaptrack, Inc. MEMS-based display apparatus

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7170500B2 (en) * 2000-08-29 2007-01-30 Palm, Inc. Flip-style user interface
JP3808740B2 (ja) * 2001-09-17 2006-08-16 株式会社東芝 画像表示装置
ITTO20031034A1 (it) 2003-12-23 2005-06-24 Fiat Ricerche Spettrofotometro con micro-filtri.
EP1693823A1 (en) * 2005-02-18 2006-08-23 SONY DEUTSCHLAND GmbH Shutter device for pixel element and pixel arrangement
WO2006087219A1 (en) * 2005-02-18 2006-08-24 Sony Deutschland Gmbh Shutter device for pixel element and pixel arrangement
US8482496B2 (en) 2006-01-06 2013-07-09 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate
US8159428B2 (en) 2005-02-23 2012-04-17 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
KR101458904B1 (ko) * 2008-01-18 2014-11-07 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN102077263B (zh) 2008-08-07 2013-05-01 夏普株式会社 显示装置
KR101573508B1 (ko) 2008-11-10 2015-12-01 삼성전자 주식회사 마이크로 셔터 디바이스 및 그 제조방법
KR101542400B1 (ko) * 2008-12-29 2015-08-07 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그 구동 방법
KR101588000B1 (ko) * 2009-08-18 2016-01-25 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 구동 방법 및 이를 이용한 표시 장치
US8804295B2 (en) * 2009-10-15 2014-08-12 Altera Corporation Configurable multi-gate switch circuitry
KR101633413B1 (ko) * 2009-12-31 2016-06-27 삼성디스플레이 주식회사 표시패널 및 이를 갖는 표시장치
KR20120132680A (ko) 2010-02-02 2012-12-07 픽스트로닉스 인코포레이티드 저온 실 유체 충전된 디스플레이 장치의 제조 방법

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3553364A (en) 1968-03-15 1971-01-05 Texas Instruments Inc Electromechanical light valve
US3897997A (en) 1974-02-01 1975-08-05 Charles G Kalt Electrostatic display device with variable reflectivity
US3989357A (en) 1974-02-01 1976-11-02 Kalt Charles G Electro-static device with rolling electrode
FR2386898A2 (fr) * 1977-04-05 1978-11-03 Anvar Perfectionnements aux dispositifs de commande du genre des relais
US4248501A (en) 1978-06-16 1981-02-03 Bos-Knox, Ltd. Light control device
DE3047495A1 (de) 1980-12-17 1982-07-15 SWF-Spezialfabrik für Autozubehör Gustav Rau GmbH, 7120 Bietigheim-Bissingen Anzeigetafel zur darstellung einer sich aendernden information
US4704707A (en) 1984-08-21 1987-11-03 Bos-Knox, Ltd. Electrostatic random access memory
US4840460A (en) * 1987-11-13 1989-06-20 Honeywell Inc. Apparatus and method for providing a gray scale capability in a liquid crystal display unit
US5191452A (en) * 1989-09-20 1993-03-02 Honeywell Inc. Active matrix liquid crystal display fabrication for grayscale
JPH04199084A (ja) 1990-11-29 1992-07-20 Mitsubishi Kasei Corp 表示装置
US5312513A (en) * 1992-04-03 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Methods of forming multiple phase light modulators
US6057814A (en) * 1993-05-24 2000-05-02 Display Science, Inc. Electrostatic video display drive circuitry and displays incorporating same
FR2710161B1 (fr) * 1993-09-13 1995-11-24 Suisse Electronique Microtech Réseau miniature d'obturateurs de lumière.
US5943033A (en) 1994-09-06 1999-08-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Display device
JPH1195693A (ja) 1997-07-22 1999-04-09 Toshiba Corp 表示装置
JP4074714B2 (ja) * 1998-09-25 2008-04-09 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
US6034807A (en) * 1998-10-28 2000-03-07 Memsolutions, Inc. Bistable paper white direct view display

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006509643A (ja) * 2002-12-10 2006-03-23 コーニンクレッカ　フィリップス　エレクトロニクス　エヌ　ヴィ ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ−Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ−Ｓｙｓｔｅｍ）素子のアレイの駆動
CN100520486C (zh) * 2002-12-25 2009-07-29 株式会社东芝 运动薄膜显示设备及其驱动方法
JP2014238585A (ja) * 2003-12-09 2014-12-18 クゥアルコム・メムス・テクノロジーズ・インコーポレイテッドＱＵＡＬＣＯＭＭ ＭＥＭＳ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ． 干渉系変調器におけるエリアアレイ変調及びリード低減
US9336732B2 (en) 2005-02-23 2016-05-10 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9500853B2 (en) 2005-02-23 2016-11-22 Snaptrack, Inc. MEMS-based display apparatus
US9087486B2 (en) 2005-02-23 2015-07-21 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9261694B2 (en) 2005-02-23 2016-02-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US9274333B2 (en) 2005-02-23 2016-03-01 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US9135868B2 (en) 2005-02-23 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US9177523B2 (en) 2005-02-23 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
JP2012230429A (ja) * 2005-02-23 2012-11-22 Pixtronix Inc 表示方法および装置
US9229222B2 (en) 2005-02-23 2016-01-05 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US9176318B2 (en) 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
US9182587B2 (en) 2008-10-27 2015-11-10 Pixtronix, Inc. Manufacturing structure and process for compliant mechanisms
US9116344B2 (en) 2008-10-27 2015-08-25 Pixtronix, Inc. MEMS anchors
US9082353B2 (en) 2010-01-05 2015-07-14 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9134552B2 (en) 2013-03-13 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators

Also Published As

Publication number Publication date
JP3643508B2 (ja) 2005-04-27
EP1089110B1 (en) 2004-12-22
DE60016865D1 (de) 2005-01-27
US20050073533A1 (en) 2005-04-07
EP1089110A2 (en) 2001-04-04
DE60016865T2 (de) 2005-06-09
KR20010070054A (ko) 2001-07-25
US6963330B2 (en) 2005-11-08
CN1290000A (zh) 2001-04-04
EP1089110A3 (en) 2001-11-07
TW455695B (en) 2001-09-21
KR100376903B1 (ko) 2003-03-19
US6618034B1 (en) 2003-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3643508B2 (ja) 可動フィルム型表示装置
US4257041A (en) Electro optical display device
US7184615B2 (en) Electrically tunable diffractive grating element
US8698704B2 (en) Electro-optical device having parallax barrier system
CN111965888B (zh) 显示设备
US7446837B2 (en) Color filter substrate, transflective substrate, method for producing the color filter substrate, electro-optical device, and electronic apparatus
JP4442679B2 (ja) 液晶装置及び電子機器
US7068338B2 (en) Electro-optical device substrate, electro-optical device, and electronic apparatus
JP2001004998A (ja) 液晶表示装置
JPH0549238B2 (ja)
JPH1195693A (ja) 表示装置
US7701533B2 (en) Electro-optical device and electronic apparatus
KR100385880B1 (ko) 액정표시장치의 구동방법
RU2407047C2 (ru) Отражательное дисплейное устройство с управляющим электрическим полем
CN113109966A (zh) 液晶显示面板及液晶显示器
US7965356B2 (en) Liquid display device and method for fabricating the same
KR20050041010A (ko) 박막 다이오드 표시판 및 그 제조 방법
CN114200711B (zh) 显示装置
JP2007171442A (ja) 液晶表示素子及び液晶表示装置
CN114930234A (zh) 显示面板及其制造方法、显示装置
JPH10161044A (ja) ディスプレイ装置
KR20170006545A (ko) 어레이 기판 및 이를 포함한 액정표시장치
KR970048763A (ko) 액정표시소자

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041019

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041102

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041228

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050125

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050128

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees